JP4668809B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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- 被検査物に光を照射する光照射手段と、
前記光の照射で前記検査物から散乱する散乱光を検出する光学系の第1光検出手段と、
前記光の照射で前記検査物から反射する反射光を検出する第2光検出手段と、
前記光照射手段から前記被検査物上に照射される光の位置が変るように該被検査物を縦横に移動させる被検査物移動手段と、
前記被検査物を保持する被検査物保持手段と、
前記光照射手段から前記被検査物上に照射される光の反射光を前記第2光検出手段で検出して前記被検査物表面の高さ情報を取得し、前記高さ情報を用いて前記光学系の第1光検出手段の焦点位置を補正する焦点位置補正手段とを備え、
前記被検査物移動手段による前記検査物保持手段の上下動作と、前記被検査物を裏面側から吸引する吸引制御とを併用して前記焦点位置を補正し、
前記被検査物移動手段の水平駆動による前記検査物保持手段の水平移動にともなう前記被検査物の表面の高さの変化を前記第2光検出手段で検出し、その検出した前記高さ変化情報を基に前記被検査物移動手段を上下に駆動して前記被検査物の表面の高さの変化に追従させることにより、前記被検査物の表面の高さが常に焦点位置となるように高さ方向の補正を行うことを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1記載の表面検査装置において、
前記焦点位置補正手段は、前記光照射手段から前記被検査物上に照射される光の反射光を検出する第2光検出手段と、第2光検出手段に検出されてフィードバックされた前記被検査物表面の高さ情報を基づいて前記焦点位置と被検査物表面の高さが同一となるように制御する制御系を有することを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1記載の表面検査装置において、
前記被検査物からの反射光の量を光学素子等によって最適化する光量最適化手段を有することを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記被検査物の裏面が非接触の状態で測定するように前記被検査物の外周縁部を前記検査物保持手段で保持することを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第2光検出手段が受光する反射光を透過させるNDフィルタを備え、
前記NDフィルタは光学特性が異なる複数の光学素子を有し、前記被検査物の膜種、膜厚の少なくとも一つに応じて前記光学素子を選択するために回すことができることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記被検査物を回しながら一方向に移動させて被検査物を縦横に移動させることを特徴とする表面検査装置。
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