JP5241245B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
100 ロードポート
110 ウェーハポッド
200 搬送部
210 搬送装置
220 ハンドリングアーム
230 固持側壁部
240 把持ブロック
250 Y軸搬送ユニット
300 プリアライメント部
310 載置台
320 センサー
400 検査部
410 被検査体移動ステージ
411 チャック
412 保持爪
413 リム
414 内部空間
415 ガス供給部
416 ガス供給経路
417 エアーギャップ形成部
418 排気口
420 回転駆動機構
430 昇降駆動機構
440 進退駆動機構
450 検査座標検出部
500 データ処理部
510 コントローラ
511 演算処理装置
512 記憶装置
513 制御装置
520 入力装置
530 表示装置
540 出力装置
550 外部記憶装置
600 第一光照射部
651 レーザ光源
652 シャッタ
653 アッテネータ
654 光軸補正機構
655 照射方向切換え機構
656a,656b ビーム成形機構
657a〜657g ミラー
658 光ビーム
660 出射部
710,910 第二検出器
720,920 第二光照射部
770 第一検出部
771〜780 PMT
800 ガス制御系
801 流量制御器
802 遮断弁
803 電磁弁
804 フィルター
805 配管
820 設定画面
821 流量設定表示部
822 種別選択表示部
823 流量補正表示部
824 スローアップ設定表示部
825 タイミング設定表示部
900 高さ位置制御部
930a,930b 増幅器
940 昇降駆動制御回路
950 A/D変換機
960 照射位置制御機構
1000 表示設定画面
1010 結果表示機能
1020,1120,1140 ポインター
1030 形状表示機能
1040 基点
1050 反り状態表示機能
1060 表示選択機能
1070 供給ガス量試算機能
1080 目標設定機能
1090 条件設定機能
1100 処理指示機能
1110 結果表示機能
1130 試算モード選択機能
Claims (18)
- 被検査体に光を照射する第一の光照射部と、
該被検査体からの散乱光を検出する第一の検出器と、
前記被検査体に光を照射する第二の光照射部と、
前記第二の光照射部の光によって前記被検査体から反射した光を検出する第二の検出器と、
前記第一の光照射部の光と前記第二の光照射部の光が前記被検査物上の照射される位置を変わるように前記被検査体を移動させる被検査体移動ステージと、
前記第二の光照射部の光が照射される位置座標の情報を出力する検査座標検査部と、
前記第二の検出器からの検出信号に基づいて前記被検査体の高さ情報を出力する昇降駆動制御回路と、
前記検査座標検査部からの位置座標の情報と前記昇降駆動制御回路からの高さ情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得るデータ処理部と、
前記被検査体の裏面へガスを供給するガス供給部を有し、
前記データ処理部は、前記ガスを供給するためのシミュレーションを行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記被検査体を搭載するエッジグリップシステムを有し、
前記エッジグリップシステムは、
前記被検査体の裏面と対向する面に形成された複数の凸部を有し、
前記複数の凸部は前記被検査体の中心に行くに従い密に形成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置において、
前記エッジグリップシステムは、前記被検査体の端部を搭載するためのリムを有し、
前記凸部は前記リムよりも低い位置に形成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置において、
前記リムと前記凸部との間に前記ガスを排気するための排気口を有することを特徴とする検査装置。 - 被検査体に光を照射する第一の光照射部と、
該被検査体からの散乱光を検出する第一の検出器と、
前記被検査体に光を照射する第二の光照射部と、
前記第二の光照射部の光によって前記被検査体から反射した光を検出する第二の検出器と、
前記第一の光照射部の光と前記第二の光照射部の光が前記被検査物上の照射される位置を変わるように前記被検査体を移動させる被検査体移動ステージと、
前記第二の光照射部の光が照射される位置座標の情報を出力する検査座標検査部と、
前記第二の検出器からの検出信号に基づいて前記被検査体の高さ情報を出力する昇降駆動制御回路と、
前記検査座標検査部からの位置座標の情報と前記昇降駆動制御回路からの高さ情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得るデータ処理部と、
前記被検査体の裏面へガスを供給するガス供給部と、
前記ガスの流量を制御する流量制御部と、を有し、
前記流量制御部は、
前記ガスを供給するための配管と、
前記配管を開閉するための第1の弁と、
前記第1の弁を制御するための第2の弁と、を有し、
前記第1の弁は圧縮空気によって駆動され、
前記第2の弁は前記圧縮空気の供給を制御する電磁弁であることを有することを特徴とする検査装置。 - 被検査体に光を照射する第一の光照射部と、
該被検査体からの散乱光を検出する第一の検出器と、
前記被検査体に光を照射する第二の光照射部と、
前記第二の光照射部の光によって前記被検査体から反射した光を検出する第二の検出器と、
前記第一の光照射部の光と前記第二の光照射部の光が前記被検査物上の照射される位置を変わるように前記被検査体を移動させる被検査体移動ステージと、
前記第二の光照射部の光が照射される位置座標の情報を出力する検査座標検査部と、
前記第二の検出器からの検出信号に基づいて前記被検査体の高さ情報を出力する昇降駆動制御回路と、
前記検査座標検査部からの位置座標の情報と前記昇降駆動制御回路からの高さ情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得るデータ処理部と、
前記被検査体の裏面へガスを供給するガス供給部と、
前記ガスの流量を制御する流量制御部と、を有し、
前記流量制御部は、前記ガスの種類を考慮して、前記ガスの流量を制御することを特徴とする検査装置。 - 請求項6に記載の検査装置において、
前記流量制御部は、
前記ガスの種類に応じたコンバージョンファクターを使用して前記ガスの流量を制御することを特徴する検査装置。 - 被検査体に光を照射する第一の光照射部と、
該被検査体からの散乱光を検出する第一の検出器と、
前記被検査体に光を照射する第二の光照射部と、
前記第二の光照射部の光によって前記被検査体から反射した光を検出する第二の検出器と、
前記第一の光照射部の光と前記第二の光照射部の光が前記被検査物上の照射される位置を変わるように前記被検査体を移動させる被検査体移動ステージと、
前記第二の光照射部の光が照射される位置座標の情報を出力する検査座標検査部と、
前記第二の検出器からの検出信号に基づいて前記被検査体の高さ情報を出力する昇降駆動制御回路と、
前記検査座標検査部からの位置座標の情報と前記昇降駆動制御回路からの高さ情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得るデータ処理部と、
前記被検査体の裏面へガスを供給するガス供給部と、
前記ガスの流量を制御する流量制御部と、
前記被検査体を搭載するためのチャックと、を有し、
前記流量制御部は、前記被検査体が前記チャックに搭載された時刻に対して遅延時間を持たせて前記ガスを供給することを特徴とする検査装置。 - 被検査体に光を照射する第一の光照射部と、
該被検査体からの散乱光を検出する第一の検出器と、
前記被検査体に光を照射する第二の光照射部と、
前記第二の光照射部の光によって前記被検査体から反射した光を検出する第二の検出器と、
前記第一の光照射部の光と前記第二の光照射部の光が前記被検査物上の照射される位置を変わるように前記被検査体を移動させる被検査体移動ステージと、
前記第二の光照射部の光が照射される位置座標の情報を出力する検査座標検査部と、
前記第二の検出器からの検出信号に基づいて前記被検査体の高さ情報を出力する昇降駆動制御回路と、
前記検査座標検査部からの位置座標の情報と前記昇降駆動制御回路からの高さ情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得るデータ処理部と、
前記被検査体の裏面へガスを供給するガス供給部と、
前記ガスの流量を制御する流量制御部と、
前記被検査体移動ステージは前記被検査体を回転させる回転部と、を有し、
前記流量制御部は、前記回転部の回転数が所定の回転数以下となった時刻に対して遅延時間を持たせて前記ガスの供給を停止することを特徴とする検査装置。 - 被検査体に光ビームを走査しながら照射して、前記被検査体からの散乱光を検出する検査方法において、
前記光ビームとは別の第二の光ビームを前記被検査体に照射し、
前記第二の光ビームの反射光によって前記被検査体の高さ情報を採取し、
前記高さ情報に応じて前記被検査体の高さを所定位置に制御し、
前記所定位置への制御情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得、
前記被検査体の裏面へガスを供給し、
前記ガスを供給するためのシミュレーションを行うことを特徴とする検査方法。 - 被検査体に光ビームを走査しながら照射して、前記被検査体からの散乱光を検出する検査方法において、
前記光ビームとは別の第二の光ビームを前記被検査体に照射し、
前記第二の光ビームの反射光によって前記被検査体の高さ情報を採取し、
前記高さ情報に応じて前記被検査体の高さを所定位置に制御し、
前記所定位置への制御情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得、
前記被検査体の裏面へガスを供給し、
前記被検査体の端部を保持し、
前記被検査体の裏側の空間を前記ガスが供給された際に、圧力分布が前記被検査体の中央部分では高く、外周部分では前記中央部分よりも低くなるよう形成することを特徴とする検査方法。 - 被検査体に光ビームを走査しながら照射して、前記被検査体からの散乱光を検出する検査方法において、
前記光ビームとは別の第二の光ビームを前記被検査体に照射し、
前記第二の光ビームの反射光によって前記被検査体の高さ情報を採取し、
前記高さ情報に応じて前記被検査体の高さを所定位置に制御し、
前記所定位置への制御情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得、
前記被検査体の裏面へガスを供給し、
前記被検査体の裏面と対向する面に複数の凸部を形成し、
前記複数の凸部を前記被検査体の中心に行くに従い密に形成することを特徴とする検査方法。 - 請求項12に記載の検査方法において、
前記ガスを前記被検査体の外周側で排気することを特徴とする検査方法。 - 被検査体に光ビームを走査しながら照射して、前記被検査体からの散乱光を検出する検査方法において、
前記光ビームとは別の第二の光ビームを前記被検査体に照射し、
前記第二の光ビームの反射光によって前記被検査体の高さ情報を採取し、
前記高さ情報に応じて前記被検査体の高さを所定位置に制御し、
前記所定位置への制御情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得、
前記被検査体の裏面へガスを供給し、
前記ガスの流量を制御し、
前記ガスを供給するための配管と、
前記配管を開閉するための第1の弁と、
前記第1の弁を制御するための第2の弁と、を使用し、
前記第1の弁を圧縮空気によって駆動し、
前記第2の弁を電磁的に駆動することを特徴とする検査方法。 - 被検査体に光ビームを走査しながら照射して、前記被検査体からの散乱光を検出する検査方法において、
前記光ビームとは別の第二の光ビームを前記被検査体に照射し、
前記第二の光ビームの反射光によって前記被検査体の高さ情報を採取し、
前記高さ情報に応じて前記被検査体の高さを所定位置に制御し、
前記所定位置への制御情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得、
前記被検査体の裏面へガスを供給し、
前記ガスの種類を考慮して、前記ガスの流量を制御することを特徴とする検査方法。 - 請求項15に記載の検査方法において、
前記ガスの種類に応じたコンバージョンファクターを使用して前記ガスの流量を制御することを特徴する検査方法。 - 被検査体に光ビームを走査しながら照射して、前記被検査体からの散乱光を検出する検査方法において、
前記光ビームとは別の第二の光ビームを前記被検査体に照射し、
前記第二の光ビームの反射光によって前記被検査体の高さ情報を採取し、
前記高さ情報に応じて前記被検査体の高さを所定位置に制御し、
前記所定位置への制御情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得、
前記被検査体の裏面へガスを供給し、
前記被検査体を検査位置に移動させた時刻に対して遅延時間を持たせて前記ガスを供給することを特徴とする検査方法。 - 被検査体に光ビームを走査しながら照射して、前記被検査体からの散乱光を検出する検査方法において、
前記光ビームとは別の第二の光ビームを前記被検査体に照射し、
前記第二の光ビームの反射光によって前記被検査体の高さ情報を採取し、
前記高さ情報に応じて前記被検査体の高さを所定位置に制御し、
前記所定位置への制御情報に基づいて検査中の前記被検査体の反りを得、
前記被検査体の裏面へガスを供給し、
前記被検査体の回転数が所定の回転数以下となった時刻に対して遅延時間を持たせて前記ガスの供給を停止することを特徴とする検査方法。
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