JP5208896B2 - 欠陥検査装置およびその方法 - Google Patents
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- 被検査対象へ光ビームを照射する照明手段と、
上記被検査対象の被検査領域からの、上記被検査対象の表面の法線に対して傾斜した方向への散乱光を検出して検出信号へ変換する斜方検出手段と、
上記照明手段からの光ビームの散乱光を検出した上記斜方検出手段の合焦位置の検出に使用する特定パターンが形成された基準部材と、
上記基準部材に形成された特定パターンに上記照明手段からの光ビームを照射させ、上記斜方検出手段により得られる検出信号を処理し、上記斜方検出手段の合焦位置を検出し、検出した合焦位置に光ビームが照射されるように上記照明手段を移動させ、上記照明手段が移動した状態で上記照明手段から光ビームを照射させ、上記斜方検出手段により得られる検出信号を処理し、処理した信号から、上記照明手段からの光ビームにより照明された照明認識領域と上記合焦位置とのずれ量を算出し、算出したずれ量に相当する量だけ、照明光が移動するように上記照明手段を移動させ、上記ずれ量が許容ずれ量以下となったことを判断すると、上記光ビームの上記基準部材における照明幅を算出し、算出した照明幅が許容幅となるように上記照明手段を調整し、調整した上記照明手段からの光ビームにより照明されるように、上記被検査対象物を上記合焦位置に移動させ、上記照明手段から上記被検査対象へ光ビームを照射させ、上記斜方検出手段からの検出信号に基づいて上記被検査対象の欠陥を検査する演算処理手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置において、上記演算処理手段は、上記照明手段の、上記光ビームを照射する位置及び上記光ビームを照射する領域の広さのいずれか一方またはその両方を制御することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1に記載の欠陥検査装置において、上記斜方検出手段は、2次元あるいは1次元に配置された光電変換素子を有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1に記載の欠陥検査装置において、上記斜方検出手段の検出信号は、光ビームを照射した領域の画像を示し、上記演算処理手段は、上記画像が示す特定のパターン像から上記斜方検出手段の合焦位置を検出することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項4に記載の欠陥検査装置において、上記照射手段を移動させる照明手段移動部を備え、上記演算処理手段は、上記照明手段移動部により、上記照明手段の位置を移動させて、上記斜方検出手段の合焦位置を検出し、上記照明手段からの光ビームの照射位置を調整することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1に記載の欠陥検査装置において、上記被検査対象の表面に略垂直な方位への散乱光を検出して検出信号へ変換する上方検出手段を備え、上記演算処理手段は、上記斜方検出手段または上記上方検出手段が検出した散乱光に基づいて、上記光ビームの幅を制御することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項4に記載の欠陥検査装置において、上記斜方検出手段を移動させる斜方検出手段移動部を備え、上記演算処理手段は、上記斜方検出手段移動部により、上記斜方検出手段を移動させて、上記照明手段からの光ビームの合焦位置を検出し、上記照明手段からの光ビームの照射位置を調整することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項6に記載の欠陥検査装置において、上記演算処理手段は、上記斜方検出手段及び上記上方検出手段の両方またはいずれか一方のみのからの検出信号に基づいて、上記被検査対象の欠陥を検査することを特徴とする欠陥検査装置。
- 基準部材に形成された特定パターンに照明手段により光ビームを照射し、
上記基準部材の表面の法線に対して傾斜した方向への斜方散乱光を斜方検出手段により検出し、
検出した斜方散乱光に基づいて、上記斜方検出手段の合焦位置を検出し、検出した合焦位置に光ビームが照射されるように上記照明手段を移動させ、上記照明手段が移動した状態で上記照明手段から光ビームを照射させ、上記斜方検出手段により得られる検出信号を処理し、処理した信号から、上記照明手段からの光ビームにより照明された照明認識領域と上記合焦位置とのずれ量を算出し、算出したずれ量に相当する量だけ、照明光が移動するように上記照明手段を移動させ、上記ずれ量が許容ずれ量以下となったことを判断すると、上記光ビームの上記基準部材における照明幅を算出し、算出した照明幅が許容幅となるように上記照明手段を調整し調整した、上記照明手段からの光ビームにより照明されるように、被検査対象を上記合焦位置に移動させ、上記被検査対象へ光ビームを照射させ、散乱光に基づいて上記被検査対象の欠陥を検査することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項9に記載の欠陥検査方法において、上記光ビームを照射する位置及び上記光ビームを照射する領域の広さのいずれか一方またはその両方を制御することを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項9に記載の欠陥検査方法において、2次元あるいは1次元に配置された光電変換素子により、散乱光を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項9に記載の欠陥検査方法において、光ビームを照射した領域の画像が示す特定のパターン像から上記斜方検出手段の合焦位置を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項9に記載の欠陥検査方法において、上記被検査対象の表面に略垂直な方位への上方散乱光を検出し、上記斜方散乱光または上記上方散乱光に基づいて、上記光ビームの幅を制御することを特徴とする欠陥検査方法。
- 請求項13に記載の欠陥検査方法において、上記斜方散乱光及び上記上方散乱光の両方またはいずれか一方のみのからの検出信号に基づいて、上記被検査対象の欠陥を検査することを特徴とする欠陥検査方法。
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