JP5134603B2 - 光ビーム調整方法及び光ビーム調整装置 - Google Patents
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- 光源からの光ビームを反射ミラーにより反射させて、撮像手段を照射させ、光ビームの上記撮像手段の照射位置に基づいて、上記反射ミラーによる上記光ビームの反射方向を調整する光ビーム調整方法であって、
上記反射ミラーから反射された光ビームを、集光レンズを介して上記撮像手段を照射させ、光ビームの照射位置に基づいて、上記反射ミラーの反射角度を調整し、
上記集光レンズを移動させて、上記反射ミラーから反射された光ビームを、集光レンズを介することなく、上記撮像手段を照射させ、光ビームの照射位置に基づいて、上記反射ミラーへの上記光ビームの照射位置を調整し、
上記反射ミラーによる上記光ビームの反射方向を調整することを特徴とする光ビーム調整方法。 - 光源からの光ビームを反射ミラーにより反射させて、撮像手段を照射させ、光ビームの上記撮像手段への照射位置に基づいて、上記反射ミラーによる上記光ビームの反射方向を調整する光ビーム調整方法であって、
上記反射ミラーから反射された光ビームを、集光レンズを介して上記撮像手段を照射させ、上記撮像手段への上記光ビームの照射位置が所定の位置となるように、上記反射ミラーの反射角度を調整するチルト調整を行い、
上記集光レンズを移動させ、上記反射ミラーから反射された光ビームを、集光レンズを介することなく、上記撮像手段を照射させ、上記撮像手段への上記光ビームの照射位置が所定の位置となるように、上記反射ミラーへの上記光ビームの照射位置を調整するシフト調整を行い、
上記反射ミラーによる上記光ビームの反射方向を調整することを特徴とする光ビーム調整方法。 - 光ビームを発生する光源と、
上記光源から発生された光ビームを反射する光ビーム反射手段と、
上記光ビーム反射手段によって反射された光ビームが照射される撮像手段と、
集光レンズと、
上記集光レンズを、上記光ビーム反射手段から上記撮像手段に至る光路中と、上記光路外とに移動させる集光レンズ移動手段と、
上記光ビームの上記撮像手段への照射位置を判断するビーム画像解析手段と、
上記ビーム画像解析手段の判断に基づいて、上記光ビーム反射手段の反射角度を調整するチルト調整を行うとともに、上記光ビーム反射手段への上記光ビームの照射位置を調整するシフト調整を行う反射手段移動機構と、
を備えることを特徴とする光ビーム調整装置。 - 請求項3に記載の光ビーム調整装置において、上記反射手段移動機構は、上記ビーム画像解析手段の判断に基づいて、上記光ビーム反射手段から反射された光ビームを、上記集光レンズを介して上記撮像手段を照射させ、上記撮像手段への上記光ビームの照射位置が所定の位置となるように、上記光ビーム反射手段の反射角度を調整するチルト調整を行い、上記集光レンズを移動させ、上記光ビーム反射手段から反射された光ビームを、集光レンズを介することなく、上記撮像手段を照射させ、上記撮像手段への上記光ビームの照射位置が所定の位置となるように、上記光ビーム反射手段への上記光ビームの照射位置を調整するシフト調整を行い、上記光ビーム反射手段による上記光ビームの反射方向を調整することを特徴とする光ビーム調整装置。
- 請求項4に記載の光ビーム調整装置において、上記撮像手段は、CCDカメラであることを特徴とする光ビーム調整装置。
- 請求項4に記載の光ビーム調整装置において、上記光ビーム反射手段は、互いに対向する第1の反射ミラーと第2の反射ミラーとを有することを特徴とする光ビーム調整装置。
- 請求項6に記載の光ビーム調整装置において、上記反射手段移動機構は、上記第1の反射ミラーのチルト調整を行う第1のチルト機構と、第2の反射ミラーのチルト調整を行う第2のチルト機構と、第1の反射ミラーのシフト調整を行う第1のシフト機構と、第2の反射ミラーのシフト調整を行う第2のシフト機構とを備えることを特徴とする光ビーム調整装置。
- 請求項4に記載の光ビーム調整装置において、上記撮像手段により撮像された画像を表示する表示部を備えることを特徴とする光ビーム調整装置。
- 請求項8に記載の光ビーム調整装置において、上記表示部は、チルト量確認画像と、シフト量確認画像とを表示し、上記チルト量確認画像、および上記シフト量確認画像は2つの線によって四分割され、表示されることを特徴とする光ビーム調整装置。
- 検査ステージに配置された試料の所定の位置に光ビームを照射し、上記試料表面から反射された光を検出して試料表面の欠陥を検査する欠陥検査装置において、
光ビームを発生する光源と、
上記光源から発生された光ビームを反射する光ビーム反射手段と、
上記光ビーム反射手段によって反射された光ビームが照射される撮像手段と、
集光レンズと、
上記集光レンズを、上記光ビーム反射手段から上記撮像手段に至る光路中と、上記光路外とに移動させる集光レンズ移動手段と、
上記光ビームの上記撮像手段への照射位置を判断するビーム画像解析手段と、
上記ビーム画像解析手段の判断に基づいて、上記光ビーム反射手段の反射角度を調整するチルト調整を行うとともに、上記光ビーム反射手段への上記光ビームの照射位置を調整するシフト調整を行う反射手段移動機構と、
上記光ビーム反射手段により反射された光ビームの一部を上記撮像手段に向けて透過し、上記光ビームの他の部分を反射するハーフミラーと、
上記ハーフミラーにより反射された光ビームを、上記検査ステージに配置された試料の所定の位置に照射する反射鏡と、
上記試料表面から反射された光を検出して試料表面の欠陥を検査する画像処理部と、
上記画像処理部により処理された画像を表示する画像表示部と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項10に記載の欠陥検査装置において、上記反射手段移動機構は、上記ビーム画像解析手段の判断に基づいて、上記光ビーム反射手段から反射された光ビームを、上記集光レンズを介して上記撮像手段を照射させ、上記撮像手段への上記光ビームの照射位置が所定の位置となるように、上記光ビーム反射手段の反射角度を調整するチルト調整を行い、上記集光レンズを移動させ、上記光ビーム反射手段から反射された光ビームを、集光レンズを介することなく、上記撮像手段を照射させ、上記撮像手段への上記光ビームの照射位置が所定の位置となるように、上記光ビーム反射手段への上記光ビームの照射位置を調整するシフト調整を行い、上記光ビーム反射手段による上記光ビームの反射方向を調整することを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009208347A JP5134603B2 (ja) | 2009-09-09 | 2009-09-09 | 光ビーム調整方法及び光ビーム調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011059335A JP2011059335A (ja) | 2011-03-24 |
JP5134603B2 true JP5134603B2 (ja) | 2013-01-30 |
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ID=43947047
Family Applications (1)
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5134603B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6566416B2 (ja) * | 2014-06-10 | 2019-08-28 | サムコ株式会社 | 光ビーム測定装置 |
DE102014216084B4 (de) | 2014-08-13 | 2019-05-29 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zum Ermitteln von Abstandskorrekturwerten beim Laserbearbeiten eines Werkstücks und zugehörige Laserbearbeitungsmaschine sowie Computerprogrammprodukt |
KR101582175B1 (ko) * | 2015-03-17 | 2016-01-05 | 에이피시스템 주식회사 | 레이저 패터닝을 이용한 섀도우 마스크의 제조 장치 및 레이저 패터닝을 이용한 섀도우 마스크의 제조 방법 |
US10495579B2 (en) * | 2016-05-02 | 2019-12-03 | Kla-Tencor Corporation | System and method for compensation of illumination beam misalignment |
EP3467588A1 (en) * | 2017-10-03 | 2019-04-10 | ASML Netherlands B.V. | Method and apparatus for determining alignment properties of a beam of radiation |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4934275B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2012-05-16 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型顕微鏡 |
JP2006208590A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Olympus Corp | 走査型レーザ顕微鏡装置 |
JP5058624B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2012-10-24 | オリンパス株式会社 | レーザ顕微鏡 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011059335A (ja) | 2011-03-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |