JP5500427B2 - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents
表面検査装置および表面検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5500427B2 JP5500427B2 JP2009552513A JP2009552513A JP5500427B2 JP 5500427 B2 JP5500427 B2 JP 5500427B2 JP 2009552513 A JP2009552513 A JP 2009552513A JP 2009552513 A JP2009552513 A JP 2009552513A JP 5500427 B2 JP5500427 B2 JP 5500427B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarized light
- inspection
- image
- linearly polarized
- information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 155
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 28
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 47
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 44
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 34
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 6
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 120
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 37
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 33
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 31
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Description
10 ウェハ(被検基板)
12 繰り返しパターン
30 照明光学系(照明部)
40 撮像光学系(撮像部)
50 画像処理装置(情報処理部、表示部および検査部)
55 制御装置(設定部)
L 直線偏光
Claims (9)
- 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に直線偏光を照射する照明部と、
前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が異なる偏光成分による前記繰り返しパターンの画像を撮像する撮像部と、
前記画像を形成する偏光の振動方向と前記照明部により照射される前記直線偏光の振動方向とがなす角度および、前記繰り返しパターンと前記照明部により照射される前記直線偏光の振動方向とがなす角度のうち少なくとも一方を、複数の角度に設定可能な設定部と、
前記設定部により設定される前記複数の角度において前記撮像部により撮像された複数の前記繰り返しパターンの画像について画像上の同一部分の信号強度を比較し、各部分において最小となる信号強度を該各部分の信号強度として抽出し、前記各部分において抽出された信号強度の情報を用いて前記被検基板の検査用情報を生成する情報処理部とを備えて構成されることを特徴とする表面検査装置。 - 前記画像を形成する偏光の振動方向と前記照明部により照射される前記直線偏光の振動方向とがなす角度は、90度近傍の角度であることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記信号強度は、正常である前記繰り返しパターンからの信号強度で規格化された信号強度であることを特徴とする請求項1または2に記載の表面検査装置。
- 前記情報処理部に生成された前記検査用情報に基づいて検査用画像を生成し、前記検査用画像を目視可能に表示する表示部を備えて構成されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部を備え、
前記検査部は、前記検査用情報と所定の基準情報とを比較することにより、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査するように構成されており、
前記照明部は、前記検査の基準となる基準基板の表面に直線偏光を照射し、
前記撮像部は、前記直線偏光が照射された前記基準基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が異なる偏光成分による前記基準基板の繰り返しパターンの画像を撮像し、
前記情報処理部は、前記設定部により設定される前記複数の角度において前記撮像部により撮像された複数の前記基準基板の繰り返しパターンの画像について画像上の同一部分の信号強度を比較し、各部分において最小となる信号強度を該各部分の信号強度として抽出し、前記各部分において抽出された信号強度の情報を用いて前記基準情報を生成することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の表面検査装置。 - 検査条件を設定する第1のステップと、
所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に直線偏光を照射する第2のステップと、
前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が異なる偏光成分による前記繰り返しパターンの画像を撮像する第3のステップと、
前記第1のステップにおいて、前記画像を形成する偏光の振動方向と前記照射する前記直線偏光の振動方向とがなす角度および、前記繰り返しパターンと前記照射する前記直線偏光の振動方向とがなす角度のうち少なくとも一方が、前記検査条件として複数の角度に設定され、該複数の角度において前記第3のステップで撮像した複数の前記繰り返しパターンの画像について画像上の同一部分の信号強度を比較し、各部分において最小となる信号強度を該各部分の信号強度として抽出し、前記各部分において抽出された信号強度の情報を用いて前記被検基板の検査用情報を生成する第4のステップとを有することを特徴とする表面検査方法。 - 前記画像を形成する偏光の振動方向と前記照射する前記直線偏光の振動方向とがなす角度は、90度近傍の角度であることを特徴とする請求項6に記載の表面検査方法。
- 前記第4のステップで生成した前記検査用情報に基づいて検査用画像を生成し、前記検査用画像を目視可能に表示する第5のステップを有することを特徴とする請求項6または7に記載の表面検査方法。
- 前記第4のステップで生成した前記検査用情報に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する第6のステップを有し、
前記第6のステップでは、前記検査用情報と所定の基準情報とを比較することにより、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査しており、
前記検査の基準となる基準基板の表面に直線偏光を照射する第7のステップと、
前記直線偏光が照射された前記基準基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が異なる偏光成分による前記基準基板の繰り返しパターンの画像を撮像する第8のステップと、
前記第1のステップで設定される前記複数の角度において前記第8のステップで撮像した複数の前記基準基板の繰り返しパターンの画像について画像上の同一部分の信号強度を比較し、各部分において最小となる信号強度を該各部分の信号強度として抽出し、前記各部分において抽出された信号強度の情報を用いて前記基準情報を生成する第9のステップとを有することを特徴とする請求項6から8のいずれか一項に記載の表面検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009552513A JP5500427B2 (ja) | 2008-02-06 | 2009-02-05 | 表面検査装置および表面検査方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008026759 | 2008-02-06 | ||
JP2008026759 | 2008-02-06 | ||
JP2009552513A JP5500427B2 (ja) | 2008-02-06 | 2009-02-05 | 表面検査装置および表面検査方法 |
PCT/JP2009/051962 WO2009099142A1 (ja) | 2008-02-06 | 2009-02-05 | 表面検査装置および表面検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009099142A1 JPWO2009099142A1 (ja) | 2011-05-26 |
JP5500427B2 true JP5500427B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=40952215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009552513A Active JP5500427B2 (ja) | 2008-02-06 | 2009-02-05 | 表面検査装置および表面検査方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20100321677A1 (ja) |
JP (1) | JP5500427B2 (ja) |
TW (1) | TWI464390B (ja) |
WO (1) | WO2009099142A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9017334B2 (en) | 2009-02-24 | 2015-04-28 | Microport Orthopedics Holdings Inc. | Patient specific surgical guide locator and mount |
JP2015068668A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 株式会社Screenホールディングス | 外観検査装置 |
US11217009B2 (en) | 2015-11-30 | 2022-01-04 | Photopotech LLC | Methods for collecting and processing image information to produce digital assets |
US10778877B2 (en) * | 2015-11-30 | 2020-09-15 | Photopotech LLC | Image-capture device |
US10861726B2 (en) * | 2018-09-21 | 2020-12-08 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Apparatus and method for measuring warpage |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01147349A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-09 | Hitachi Ltd | 透明薄膜中の塊状粒子検出方法 |
JP2001013085A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
JP2005147691A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Hitachi Ltd | 検査装置及び検査方法 |
JP2007309874A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
JP2007327796A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
JP2008008777A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3692685B2 (ja) | 1997-02-19 | 2005-09-07 | 株式会社ニコン | 欠陥検査装置 |
AU2004312851A1 (en) * | 2003-12-24 | 2005-07-21 | 3M Innovative Properties Company | Device and method for measuring the profile of a surface |
TWI388798B (zh) * | 2004-11-30 | 2013-03-11 | Shibaura Mechatronics Corp | 表面檢查裝置及表面檢查方法 |
JP2007248291A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
JP4692892B2 (ja) * | 2006-06-01 | 2011-06-01 | 株式会社ニコン | 表面検査装置 |
-
2009
- 2009-02-05 WO PCT/JP2009/051962 patent/WO2009099142A1/ja active Application Filing
- 2009-02-05 JP JP2009552513A patent/JP5500427B2/ja active Active
- 2009-02-05 TW TW098103618A patent/TWI464390B/zh active
-
2010
- 2010-08-06 US US12/852,015 patent/US20100321677A1/en not_active Abandoned
-
2011
- 2011-09-22 US US13/241,029 patent/US8223328B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01147349A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-09 | Hitachi Ltd | 透明薄膜中の塊状粒子検出方法 |
JP2001013085A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
JP2005147691A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Hitachi Ltd | 検査装置及び検査方法 |
JP2007309874A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
JP2007327796A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
JP2008008777A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI464390B (zh) | 2014-12-11 |
US20120069335A1 (en) | 2012-03-22 |
US8223328B2 (en) | 2012-07-17 |
US20100321677A1 (en) | 2010-12-23 |
WO2009099142A1 (ja) | 2009-08-13 |
JPWO2009099142A1 (ja) | 2011-05-26 |
TW200938829A (en) | 2009-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5201350B2 (ja) | 表面検査装置 | |
US7697139B2 (en) | Surface inspection apparatus | |
JP5585615B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
TWI449898B (zh) | Observation device, inspection device and inspection method | |
US8072592B2 (en) | Reticle defect inspection apparatus and reticle defect inspection method | |
JP5500427B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP5212779B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP4605089B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP4696607B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2006258472A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP5299764B2 (ja) | 評価装置および評価方法 | |
JP5201443B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP5354362B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2011141135A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2006250839A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2009300296A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2010107465A (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP2009300216A (ja) | 観察装置 | |
JP2010002274A (ja) | 表面検査装置および照明光の光量制御方法 | |
JP2010122121A (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140227 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5500427 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |