JP5354362B2 - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5354362B2 JP5354362B2 JP2009137840A JP2009137840A JP5354362B2 JP 5354362 B2 JP5354362 B2 JP 5354362B2 JP 2009137840 A JP2009137840 A JP 2009137840A JP 2009137840 A JP2009137840 A JP 2009137840A JP 5354362 B2 JP5354362 B2 JP 5354362B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analyzer
- polarized light
- pattern
- signal intensity
- surface inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
8 信号処理ユニット(信号強度検出部、表面検査部)
8a 内部メモリ(信号強度検出部) 8b 位置検出部
8c 位置記憶部 10 光源(照明部)
20 ウェハ(被検基板) 23 繰り返しパターン(パターン)
30 回転駆動装置(検光子回転駆動装置)
45 1/2λ板(1/2波長板)
48 回転駆動装置(波長板回転駆動装置)
Claims (8)
- 所定のパターンが形成された被検基板の表面に直線偏光を照射する照明部と、
前記直線偏光が前記被検基板の表面に照射されることにより前記被検基板から射出される楕円偏光を受光し、前記直線偏光と振動方向が異なる直線偏光成分を透過軸を介して通過させる検光子と、
前記検光子を通過した光を受光し光電変換された信号強度を検出する信号強度検出部と、
前記直線偏光の振動方向と前記検光子の透過軸とが直交せず、かつ前記パターンから射出した楕円偏光における楕円の短軸と前記検光子の透過軸とが略一致するように前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対して相対回転させて前記楕円偏光に対する前記検光子の検査用相対位置を決定する相対回転制御部と、
前記相対回転制御部により決定された前記検査用相対位置に前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対し前記相対回転をさせた状態で、前記検光子を介して前記信号強度検出部で検出された信号強度に基づいて前記被検基板の表面検査を行う表面検査部とを備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 前記信号強度検出部で検出された信号強度に基づいて前記被検基板の表面における前記パターンが形成されている領域の位置を検出する位置検出部をさらに備え、
前記相対回転制御部は、前記パターンが形成されている領域の信号強度に基づいて前記検査用相対位置を決定することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。 - 前記被検基板の表面における予め指定した領域の位置情報が記憶されている位置記憶部をさらに備え、
前記相対回転制御部は、前記所望の位置の信号強度に基づいて前記検査用相対位置を決定することを特徴とする請求項1または2に記載の表面検査装置。 - 前記相対回転制御部は、前記検光子を回転させる検光子回転駆動装置を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の表面検査装置。
- 前記検光子の上流側に1/2波長板が設けられ、
前記相対回転制御部は、前記1/2波長板を前記検光子に対して回転させる波長板回転駆動装置を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の表面検査装置。 - 所定のパターンが形成された被検基板の表面に直線偏光を照射する照明ステップと、
前記第1の直線偏光が前記被検基板の表面に照射されることにより前記被検基板から射出される楕円偏光を検光子において受光し、前記直線偏光と振動方向が異なる直線偏光成分を前記検光子の透過軸を介して抽出する抽出ステップと、
前記検光子を通過した光を受光し光電変換された信号強度を検出する信号強度検出ステップと、
前記直線偏光の振動方向と前記検光子の透過軸とが直交せず、かつ前記パターンから射出した楕円偏光における楕円の短軸と前記検光子の透過軸とが略一致するように前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対して相対回転させて前記楕円偏光に対する前記検光子の検査用相対位置を決定する相対位置制御ステップと、
前記検査用相対位置に前記楕円偏光及び前記検光子のいずれか一方を他方に対し前記相対回転をさせた状態で、前記検光子を介して検出された信号強度に基づいて前記被検基板の表面検査を行う表面検査ステップとを有することを特徴とする表面検査方法。 - 前記信号強度検出ステップで検出された信号強度に基づいて前記被検基板の表面における前記パターンが形成されている領域の位置を検出する位置検出ステップをさらに有し、
前記相対位置制御ステップでは、前記パターンが形成されている領域の位置の信号強度に基づいて前記検査用相対位置を決定することを特徴とする請求項6に記載の表面検査方法。 - 前記被検基板における予め指定した領域の位置情報が記憶される記憶ステップをさらに有し、
前記相対位置制御ステップでは、前記所望の位置の信号強度に基づいて前記検査用相対位置を決定することを特徴とする請求項6または7に記載の表面検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009137840A JP5354362B2 (ja) | 2009-06-09 | 2009-06-09 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009137840A JP5354362B2 (ja) | 2009-06-09 | 2009-06-09 | 表面検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010286247A JP2010286247A (ja) | 2010-12-24 |
JP2010286247A5 JP2010286247A5 (ja) | 2012-07-19 |
JP5354362B2 true JP5354362B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=43542065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009137840A Active JP5354362B2 (ja) | 2009-06-09 | 2009-06-09 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5354362B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59231402A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-26 | Hitachi Ltd | 生セラミックス基材上の配線パターン検出方法 |
JPH0440349A (ja) * | 1990-06-06 | 1992-02-10 | Hitachi Ltd | 異物検査装置 |
JP3610837B2 (ja) * | 1998-09-18 | 2005-01-19 | 株式会社日立製作所 | 試料表面の観察方法及びその装置並びに欠陥検査方法及びその装置 |
JP4802481B2 (ja) * | 2004-11-09 | 2011-10-26 | 株式会社ニコン | 表面検査装置および表面検査方法および露光システム |
-
2009
- 2009-06-09 JP JP2009137840A patent/JP5354362B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010286247A (ja) | 2010-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4548385B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP4529366B2 (ja) | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及びホールパターンの検査方法 | |
JP5585615B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP5489003B2 (ja) | 評価装置および評価方法 | |
JP2012154941A (ja) | 検査装置 | |
JP4692892B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2009192520A (ja) | 表面検査装置 | |
US8223328B2 (en) | Surface inspecting apparatus and surface inspecting method | |
JP5212779B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP4605089B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2007303903A (ja) | 表面検査装置 | |
JP4696607B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP5354362B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2010096596A (ja) | 評価装置 | |
JP2007309874A (ja) | 表面検査装置 | |
JP4552202B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2009236839A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2008008777A (ja) | 表面検査装置 | |
JP5299764B2 (ja) | 評価装置および評価方法 | |
JP5201443B2 (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP2009300296A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2009068892A (ja) | 検査装置 | |
JP2008281502A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2010002274A (ja) | 表面検査装置および照明光の光量制御方法 | |
JP2010122121A (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120525 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130815 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5354362 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |