JP2009192520A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る表面検査装置1は、所定の繰り返しパターンを有するウェハ10の表面に直線偏光を照射する照明系30と、直線偏光が照射されたウェハ10の表面からの反射光を受光する受光系40と、繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する信号処理ユニット50と、信号処理ユニット50による検査結果を表示するモニタ55とを備え、受光系40は、互いに透過軸の向きが異なる複数種の偏光素子の領域からなる偏光素子アレイ44と、反射光のうち偏光素子アレイ44を透過した光を偏光素子の領域毎に受光する二次元撮像素子49とを有し、モニタ55は、繰り返しパターンで反射する際に生じる直線偏光の偏光状態の変化を輝度情報に換算して偏光素子の領域毎に二次元的に表示するようになっている。
【選択図】図1
Description
10 ウェハ(被検基板) 12 繰り返しパターン
20 ステージ(角度設定部) 30 照明系(照明部)
40 受光系(結像光学部および受光部)
42 偏光イメージング装置 44 偏光素子アレイ
45 第1の偏光素子 46 第2の偏光素子
47 第3の偏光素子 48 第4の偏光素子
49 二次元撮像素子
50 信号処理ユニット(検査部) 55 モニタ(表示部)
Claims (7)
- 所定の繰り返しパターンが形成された被検基板の表面に偏光を照明するための照明部と、
前記被検基板に形成された前記パターンに依存して前記偏光の偏光状態が変化した正反射光による前記被検基板の表面像を形成する結像光学部とを備えた表面検査装置であって、
前記表面像を受光する受光部であり、互いに透過軸の向きが異なる複数種の偏光素子からなる偏光素子アレイおよび、前記正反射光のうち前記偏光素子アレイを透過した光を前記偏光素子毎に受光する二次元撮像素子を有する受光部と、
前記受光部からの出力信号に基づいて前記正反射光の偏光状態を算出し、予め記憶しておいた値と比較して前記被検基板の欠陥を検出する検出部とを有することを特徴とする表面検査装置。 - 前記偏光は、直線偏光であることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記検出部は、前記正反射光の偏光状態を輝度値に変換し、予め記憶しておいた正常パターンの輝度値を比較して前記被検基板の欠陥を検出することを特徴とする請求項1もしくは請求項2に記載の表面検査装置。
- 前記輝度値を画像情報として二次元的に表示する表示部をさらに有することを特徴とする請求項3に記載の表面検査装置。
- 前記偏光は、直線偏光であり、
前記繰り返しパターンの繰り返し方向と前記被検基板の表面における前記直線偏光の振動方向とのなす角度を所定の角度に設定可能な角度設定部をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の表面検査装置。 - 前記偏光は、直線偏光であり、前記繰り返しパターンの繰り返しピッチの2倍を超える長さの波長を有していることを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記二次元撮像素子は、前記偏光素子アレイを透過した光を前記偏光素子毎に複数の画素単位で受光することを特徴とする請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載の表面検査装置。
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