JP3692685B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子等の製造過程における、ウェハ表面の傷、レジストの塗布ムラ等の欠陥を検出する欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、ウェハ表面の傷、レジストの塗布ムラ等の欠陥検査としては人手による目視検査が行われている。また、近年は自動的に検査を行うものとして、例えば特公平6−8789号に開示された装置がある。この装置は、ウェハに照明した光の反射光によるウェハの像を画像処理装置に取り込み、ウェハ表面の欠陥を検出するものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の装置では、以下のような問題点があった。
即ち、人手による目視検査では個人差があり、非効率的である。
また、反射光を用いた自動検査装置においては、一回の検査でウェハ表面の傷が検出可能であり、レジストの塗布ムラを同時に検出することができなかった。更に、ウェハ表面の傷の検出の後、レジストの塗布ムラを検査するときは、異なる装置を使用するため、非常に大きいスペースが必要であった。
【0004】
本発明は斯かる問題点に鑑みてなされるものであり、自動化による効率化を図ると共に、場所を取らない小型の欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために本発明は、被検面を照明する第一照明光学系と、該第一照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの回折光のみを結像する第一受光光学系と、該第一受光光学系によって結像された像を撮影する第一撮像手段と、前記被検面を照明する第二照明光学系と、該第二照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの散乱光を結像する第二受光光学系と、該第二受光光学系によって結像された像を撮影する第二撮像手段と、前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段からの出力信号を受信して、得られた前記被検面の画像に基づいて画像処理を行う同一の画像処理装置とを備え、前記被検面のパターンのピッチにより変化する回折角に対応するように、前記被検面又は前記第一受光光学系と前記第一照明光学系とは、所定の軸を中心に回転可能であることを特徴とする欠陥検査装置である。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明では、例えば図2に示すように、第一照明光学系11と第二照明光学系21とを別々に設けている。これにより、好ましい光源をそれぞれ選択することができるので、高精度な欠陥検査装置とすることができる。また、第一照明光学系11に対応し第一受光光学系12及び第一撮像手段13を設け、第二照明光学系21に対応し第二受光光学系22及び第二撮像手段23を設けているので、回折光と散乱光とを同一に検知できるようになり、迅速な検査が可能になる。
【0007】
また、本発明では、被検面であるウェハ4面上に入射する第一照明光学系11からの照明光線と被検面上で回折され第一受光光学系12へ到達する回折光線とを含む平面は、被検面上に入射する第二照明光学系21からの照明光線と被検面上で散乱され第二受光光学系22へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わるようにしている。これはつまり、回折光を検出するための光学系と散乱光を検出する光学系とが、重ならず、機械的干渉を起こさないようにすることを意味している。この構成により、回折光を検出するための光学系と散乱光を検出する光学系とがあるにも関わらず、装置全体の小型化を達成できる。
【0008】
【実施例】
以下に、本発明よる各実施例を示す。
〔第一実施例〕
以下に、第一実施例を示す。図1及び図2は、本実施例における装置の構成図である。本実施例における装置は、第一照明光学系11、第一受光光学系12、第一撮像手段13、第二照明光学系21、第二受光光学系22、第二撮像手段23及び画像処理装置3より構成されている。
【0009】
第一照明光学系11から射出された光は、ウェハ4に照射される。ウェハ4に照射された光は、ウェハ4に形成された被検面である回路パターンによって回折される。回折された光のうち、一次回折光は、第一受光光学系11を通り第一撮像手段13上に、ウェハ4の一次回折光による干渉色のついた像を形成する。本実施例中では、第一照明光学系11は、面状光源であり、単色光をウェハ4の全面に放射している。具体的には、蛍光灯を複数本配置し、ウェハ照射側に特定の波長行きの光のみを選択的に透過させるフィルターを設けている。そして、このフィルターを変換することにより、複数の波長を選択することが可能になっている。尚、本実施例中では、フィルターとして干渉フィルターを用いてる。
【0010】
ここで、ステッパーで回路パターンを露光する際のフォーカスにムラがある場合、パターンの断面形状が変化するので、回折光の強度が変化し、明暗の差となって表れる。これにより、フォーカスムラを検出することができる。また、ウェハ4にレジストの塗りムラや現像不良のムラ或いはレジストの剥離忘れがある場合、ムラ等の部分は周囲と膜厚が異なるので、ウェハ4の一次回折光による干渉色に違いが生じ、明暗の差となって現われる。これにより、ウェハ4の表面のレジストの塗りムラや現像不良のムラ或いはレジストの剥離忘れを検出することができる。
【0011】
これに対し、第二照明光学系21、第二受光光学系22及び第二撮像手段23は、ウェハ4からの散乱光を検出するためのものである。ここで、第二照明光学系21は電球及びファイバーから構成されている。電球から放射された光線はファイバーを通ることにより、拡散され、ウェハ4上を全面隈なく照明している。そして、第二受光光学系22は、第二照明光学系21の正反射光ならびに回折光が第二撮像手段23上に結像されない領域に配置されている。この構成により、ウェハ4の表面に傷が無い場合は、第二撮像手段23上には光が到達しない。しかし、ウェハ4の表面に傷がある場合は、散乱光が発生し、散乱した光が第二受光光学系22を通り、第二撮像手段23上に達するようになる。
【0012】
画像処理装置3は、第二撮像手段23によって電気信号化された検査中のウェハ4の像と、あらかじめ記憶させておいた欠陥のないウェハの像とを比較する。ムラや傷などの欠陥がある場合はその部分の明暗の差から、その部分を欠陥として画像処理装置3の外側に付設されたブラウン管に表示出力する。
本実施例の場合、第一照明光学系11、第一受光光学系12及び第一撮像手段13により、ウェハ4の表面のレジストの塗りムラや現像不良のムラを検出している。ここで、第一撮像素子13からの出力信号を画像処理装置3へ取り入れることにより、第二照明光学系21、第二受光光学系22及び第二撮像手段23による傷の検査とレジストの塗りムラや現像不良のムラの検査とが、同時に行える。当然のことながら、傷の検査とレジストの塗りムラや現像不良のムラの検査とをそれぞれ別個に行っても構わない。
【0013】
また、ウェハ4又は第一受光光学系12と第一照明光学系11とは、所定の軸を中心に回転可能にすることが好ましい。本実施例では、図1において紙面上下方向を回転軸として、ウェハ4が回転可能になっている。これは、ウェハ4のパターンのピッチにより回折光の回折角が異なるためで、回折角が変化しても回折光が第一受光光学系12に入るようにウェハ4が適宜回転される。当然のことながら、第一受光光学系12と第一照明光学系11とを固定させてウェハ4が回転するか、ウェハ4を固定させて第一受光光学系12と第一照明光学系11とが回転するかは相対的なものなので、第一受光光学系12と第一照明光学系11とのどちらか、或いは両方を同時に回転させてもよい。
【0014】
ところで、ウェハのパターンのピッチをp、入射光の波長をλ、入射角をθi、回折角をθd、回折次数をmとすれば、以下の式が成り立つ。
p(sinθd−sinθi)=mλ (1)
但し、入射角θiは、ウェハ面の法線を基準として入射側に見込む角度方向をプラス、反対側に見込む角度方向をマイナスとし、回折角θdは、ウェハ面の法線を基準として入射側に見込む角度方向をマイナス、反対側に見込む角度方向をプラスとしている。また、回折次数mは、ウェハへの入射光の正反射光を基準として、入射側に見込む角度方向をマイナス、反対側に見込む角度方向をプラスとしている。
従って、本実施例では、この関係が保たれるようにウェハ4又は第一受光光学系12と第一照明光学系11とを回転させる。
【0015】
また、回折角θdは、
sinθd=(mλ/p)+sinθi (2)
となるので、ウェハ4のパターンのピッチが粗くなるに従って回折角θdがプラス側へ大きくなり、波長が短くなるに従って回折角θdがプラス側へ大きくなることがわかる。回折角θdが大きいと第一受光光学系12に正反射光や一次以外の回折光が混入するおそれががあるので、ピッチの粗いパターンに対しては第一照明光学系11の波長は長いものを選択することが好ましい。
【0016】
正反射光や一次以外の回折光の混入を防ぐには、あらかじめ照明光の入射角θiをプラス側へ大きくして、回折角θdをマイナス寄りにしておけばよい。しかし、入射角θiをプラス側へ大きく取ると散乱光用の第二照明光学系21と機械的に干渉するので、本実施例では、図2に斜視図として示すように、ウェハ4上に入射する第一照明光学系11からの照明光線とウェハ4上で回折され第一受光光学系12へ到達する回折光線とを含む平面は、ウェハ4上に入射する第二照明光学系21からの照明光線とウェハ4上で散乱され第二受光光学系22へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わるようにしている。このように、第一照明光学系11と第一受光光学系12とによって回折光用光学系を構成し、第二照明光学系21と第二受光光学系22とによって散乱光用光学系を構成することにより、それぞれの系は、機械的干渉を起こさず、比較的小さいチャンバーの中に収納することができるようになる。
【0017】
また、図3に示すように、第一照明光学系11及び第一受光光学系12をテレセントリックな光学系にしてもよい。この場合にも前述の式(1)が成り立っているのは勿論である。
テレセントリックな光学系を用いた場合、ウェハ全面の画像を一括に取り込むのではなく、不図示であるが、照明領域を線状にしてウェハ4を照明領域の短辺方向に走査させたり、図4に示すように、複数の回折光用の第一照明光学系11a〜11d(部分光学系)を用いてウェハ4上の照明領域を千鳥状4a〜4dにして画像を取り込めば、それぞれの第一受光光学系12a〜12d(部分光学系)の小型化が可能となる。図4に示す場合は、ウェハ4上の照明領域を四分割して、回折光用の光学系を四対設けている。
【0018】
また、第一受光光学系12にセルフォックレンズを用いることでも、小型化が可能である。
〔第2実施例〕
以下では、図5を参照しながら、第2実施例を説明する。
上記第1実施例同様に、ウェハ4上の欠陥の検査には回折光を用いる。そして、回折光用光学系は、第一照明光学系11及び第一受光光学系12によって構成されている。
【0019】
第一照明光学系11は、光源111、リレーレンズ112、平面反射鏡113及び球面反射鏡114で構成されている。また、第一受光光学系12は、受光レンズ124、球面反射鏡122及び平面反射鏡123によって構成されている。光源111から射出された照明光は、リレーレンズ112を通り、平面反射鏡113で反射され、球面反射鏡114に入射する。球面反射鏡114で反射された照明光は、ほぼ平行な光束となって、ウェハ4に向かう。ウェハ4では、パターンのピッチに応じた回折光が生じる。生じた回折光は、順に、球面反射鏡122、平面反射鏡123、受光レンズ124を通過し、第一撮像手段であるCCD(撮像素子)131に像を結ぶ。CCD131で取り込んだ画像は、画像処理装置3にて適宜処理される。画像処理装置3は、検査中のウェハ4の像とあらかじめ記憶させておいた欠陥のないウェハの像とを比較する。ムラなどの欠陥がある場合はその部分の明暗の差から、その部分を欠陥として出力する。
【0020】
ウェハ4又は第一受光光学系12と第一照明光学系11とは、図5において紙面上下方向を回転軸として回転可能になっている。これは、ウェハ4のパターンのピッチにより回折光の回折角が異なるためで、このように、回転させることにより、回折角が変化しても回折光が第一受光光学系12に入るようなる。
また、本実施例では、前記(1)式の関係が保たれるように第一照明光学系11、ウェハ4、及び第一受光光学系12を配置している。取り込む回折光の次数はマイナス一次である。
【0021】
更に、本実施例では、第一照明光学系11及び第一受光光学系12は、球面反射鏡を用いた反射型の光学系で、テレセントリック光学系としている。第一照明光学系11では、光源111が球面反射鏡114の前側焦点位置、もしくはリレーレンズ112を介して球面反射鏡114の前側焦点位置と共役な位置に、ウェハ4面が球面反射鏡114の後側焦点面とほぼ一致するように配置されている。第一受光光学系12では、球面反射鏡122の前側焦点面とウェハ4面とを、球面反射鏡122の後側焦点面と受光レンズ121の入射瞳面とを、それぞれほぼ一致させ、テレセントリック光学系にしている。テレセントリック光学系にするのは、CCD131で取り込んだ画像の見え方を、ウェハ4全面に渡って同じにするためである。
【0022】
テレセントリックでない光学系では、ウェハ4上の位置により、(1)式の入射角θi、回折角θdがそれぞれ異なる。従って、回折光の強度は入射光の入射角に依存して変化するため、同じ欠陥でもウェハ上の位置により見え方が異なる場合がある。しかし、本実施例ではテレセントリック光学系を採用しているので、ウェハ全面に渡って入射角θi、回折角θdが一様となる。故に、ウェハ上の位置にかかわらず同じ欠陥であれば見え方が同じになり、欠陥の特定に、より有利となる。
【0023】
本実施例では、球面反射鏡を用いた反射型の光学系にしているので、屈折系のテレセントリック光学系を用いるた場合より装置を小型化することが可能である。ただ、本実施例では、偏心光学系を採用したので、球面反射鏡に入射する光線の入射角は出来るだけ小さいことが望ましい。入射角があまり大きいと、非点収差が大きくなるので、好ましくない。本実施例では、入射角は10度に設定している。
【0024】
ところで、上記(2)式より、回折角θdは、パターンのピッチが小さくなるほど、また波長が長くなるほどマイナス側へ大きくなるのがわかる。回折角θdがマイナス側へ大きくなり過ぎると照明光学系11と受光光学系12が機械的干渉を起こしてしまう。機械的干渉を防ぐのと、年々進むパターンのピッチの微細化を考慮すれば波長は短いほうがよいが、あまりに短いと未現像のレジストを感光させてしまう。従って、本実施例では、照明光の波長は、550nm付近の波長のものを使用している。
【0025】
レジストの塗布忘れ、剥離忘れ、塗布や剥離のムラを検出する際に、レジストの有無によるウェハ4の見え方の差が少ない場合がある。これは、レジストのない所の光の強度とある所の干渉後の強度とが、一致するためである。この様な場合は、強度に差を出させるために、ウェハ4又は第一受光光学系12と第一照明光学系11とを、入射面と垂直な軸を中心にわずかに回転するか、又は光源の波長を変更する。本実施例では、880nmとしている。
【0026】
なお、本実施例においては、球面反射鏡を用いているが、反射型のフレネルゾーンプレートを用いても同様の効果を得ることが出来るのは勿論である。
更に、ウェハ全面の画像を一括に取り込んでいるが、照明領域を線状にしてウェハを照明領域の短辺方向に走査させたり、複数の光学系を用いて画像を取り込めば、第一受光光学系12及び第一照明光学系の小型化が可能となる。
【0027】
また、第一受光光学系12及び第一照明光学系にセルフォックレンズを用いることでも、小型化が可能である。
傷を検出するときには、第一実施例同様に、散乱光を用いる。第二照明光学系21は、光源211、波長選択フィルタ213、光ファイバー212及びシリンドリカルレンズ214から構成されている。第二受光光学系22は、対物レンズ221からなり、第二撮像手段は、CCD231からなる。また、図5では分かりづらいが、散乱光用の光学系は回折光用の光学系と干渉しないように、異なる平面内に配置されている。
【0028】
白色光源211から射出された光は、光ファイバー212を経由する。本実施例では、光ファイバー212の射出側の端面の形状をスリット状にしている。
波長選択フィルタ213は、光源211から射出された光のうち、短波長の光を選択的に吸収し、未現像のレジストの感光を防いでいる。
光ファイバー212の端面から射出された光は、広がりを持つため、シリンドリカルレンズ214によってスリットの短手方向の面内で平行もしくはほぼ平行な光にする。これにより、光ファイバー212から射出された光を効率良くウェハ4に照射させることが出来る。その後、光はウェハ4で反射されるが、その際にパターンによる回折光と、傷がある場合には傷による散乱光とが生じる。回折光の回折角は、ウェハ4上のパターンのピッチ及び光源の波長によって決定される。
【0029】
第二受光光学系22は、照明光のうち、ウェハ4からの正反射光ならびに回折光が通らない領域に配置されている。これにより、ウェハ上の傷によって生じた散乱光のみがCCD231に取り込まれる。結果、散乱光による傷の像のみが得られる。
本実施例における装置では、シリンドリカルレンズ214を用いているが、シリンドリカルレンズ214のかわりにセルフォックレンズを用いてもよい。この場合は複数個のセルフォックレンズを束ねたものが使用され、光ファイバーの端面はセルフォックレンズの焦点位置に配置される。光ファイバーから射出された光はセルフォックレンズで平行光束となってウェハに向かう。この時使用される光源や、CCDの位置はシリンドリカルレンズを用いたときと同様である。また、セルフォックレンズの代わりにフライアイレンズを用いても同様の効果を得ることが出来る。
【0030】
以上のように本実施例においては、回折光によるウェハの画像に基づいて画像処理を行うことで、効率的な自動欠陥検査が可能となる。特に反射鏡を付加することにより、容易にテレセントリックな光学系を構成することが出来る。また、散乱光の検出を行うので特に傷の検出に効果的である。
〔第3実施例〕
以下、本発明による第3実施例を、図6を用いて説明する。
【0031】
図6において、第一照明光学系11から射出された光はウェハ4に照射される。ウェハ4に照射された光はウェハ4に形成された回路のパターンによって回折される。回折された光は、表面反射鏡123、受光レンズ124とで構成されている第一受光光学系12によって、ウェハ4の回折光による像をCCD131の撮像素子上に形成する。CCD131で取り込んだ画像は画像処理装置3にて適宜処理される。画像処理装置3は、検査中のウェハ4の像と、あらかじめ記憶させておいた欠陥のないウェハの像とを比較する。ムラなどの欠陥がある場合はその部分の明暗の差から、その部分を欠陥として出力する。ウェハ4又は第一照明光学系11と第一受光光学系12とは、図6において紙面上下方向を回転軸として回転可能になっているのは、第1実施例や第2実施例に開示した装置と同様である。
【0032】
本実施例では、図11に示すように、ウェハ4上に入射する第一照明光学系11からの照明光線とウェハ4上で回折され第一受光光学系12へ到達する回折光線とを含む平面は、ウェハ4上に入射する第二照明光学系21からの照明光線とウェハ4上で散乱され第二受光光学系22へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わるようにしている。その上、CCD131に入射する第一受光光学系12の光軸は、表面反射鏡123で紙面と垂直な面内に反射されることにより、ウェハ4を挟んだ第一照明光学系11の光軸と第一受光光学系12の光軸とがなす平面、図6では紙面と平行な面とは異なる面内にある。これは、場合によっては、ウェハ4からの回折光のうち0次回折光、即ち正反射光が直接CCD131に入射し、画像処理に影響を与えるのを防ぐためである。
【0033】
第一受光光学系12及びウェハ4は、図6においては紙面上下方向を回転軸として回転可能になっている。これは、ウェハ4のパターンのピッチにより回折光の回折角が異なるためで、回折角が変化しても回折光が第一受光光学系12に入るように12ウェハ4または第一受光光学系12と第一照明光学系11とが適宜回転される。
【0034】
図6に示す装置は、式(1)の関係が保たれるように第一照明光学系11、ウェハ4、及び第二受光光学系12が配置される。取り込む回折光の次数はマイナス一次である。
ところで、回折角θdは、式(2)に示した通りであるから、パターンのピッチが小さくなるほど、また波長が長くなるほどマイナス側へ大きくなるのがわかる。回折角θdがマイナス側へ大きくなり過ぎると第一照明光学系11と第一受光光学系12が機械的干渉を起こしてしまう。機械的干渉を防ぐのと、年々進むパターンのピッチの微細化を考慮すれば波長は短いほうがよいが、あまりに短いと未現像のレジストを感光させてしまう。従って、本実施例では、照明光の波長として、550nm付近の波長を使用している。
【0035】
レジストの塗布忘れ、剥離忘れ、塗布や剥離のムラを検出する際に、レジストの有無によるウェハ4の見え方の差が少ない場合がある。これは、レジストのない所の光の強度と、ある所の干渉後の強度とが一致するためである。このときは、強度に差が出るように、第一照明光学系11やウェハ4、あるいは第一受光光学系12を、ウェハ4への入射面と垂直なある軸を中心にわずかに回転するか、もしくは第一照明光学系11の波長を変更する。波長を変更した場合、式(1)の関係を満足するようにウェハ4又は第一受光光学系12と第一照明光学系11とを回転させるのは言うまでもない。本実施例においては、変更後の波長を880nmとしている。
【0036】
本実施例の第一照明光学系の光源は、図8に示すように、波長が880nm、546nmの2種類のLED102、103と、拡散板104とで構成している。2種類のLED102、103は、それぞれ格子状に配列されていて、LED102もしくはLED103のどちらかを電気的に切り替えて点灯する。全部を点灯させるだけでなく、一部だけでを点灯させることも可能である。
【0037】
2種類のLED102、103は、それぞれ発光強度が異なるので、ウェハ4面での光量が等しくなるよう、数量や間隔が決められている。また、LEDのみではウェハ面でムラが生じるので、拡散板104によってムラを取り除き一様にしている。拡散板が実質的な光源面となる。
傷を検出するには散乱光を用いる。第二照明光学系21は、光源211、光ファイバー212、波長選択フィルタ213及びシリンドリカルレンズ214からなる。第二受光光学系22は、受光レンズ221からなり、第二撮像手段は、撮像素子CCD231からなる。散乱光用の第二照明光学系21及び第二受光光学系22は、回折光用の第一照明光学系11、第一受光光学系12と機械的干渉を起こさないように異なる平面内に配置されている。その概略的な様子を図11に示す。
【0038】
白色光源211から射出された光は光ファイバー212を経由する。光ファイバー212の射出側の端面の形状はスリット状である。
波長選択フィルタ213は光源211から射出された光のうち、短波長の光を選択的に吸収し、未現像のレジストの感光を防いでいる。
光ファイバー212の端面から射出された光は広がりを持つため、シリンドリカルレンズ214にてスリットの短手方向の面内で平行、もしくはほぼ平行な光にする。これにより光ファイバー212から射出された光を効率良くウェハ4に照射させることが出来る。その後、光は、ウェハ4で反射されるが、その際にパターンによる回折光と、傷がある場合には傷による散乱光が生じる。回折光の回折角は、ウェハ上のパターンのピッチ、光源の波長によって決定される。
【0039】
第二受光光学系22は、照明光のうち、ウェハ4からの正反射光ならびに回折光が通らない領域に配置されている。これにより、ウェハ上の傷によって生じた散乱光のみがCCD231に取り込まれる。結果、散乱光による傷の像が得られる。
〔第4実施例〕
図7は、本発明による第4実施例の装置を示した図である。以下、図7を参照しながら、説明を行う。
【0040】
図7において光源111から射出された照明光は、リレーレンズ112を通り、表面反射鏡113で反射された後、球面反射鏡114に入射する。球面反射鏡114で反射された照明光は、ほぼ平行な光束となってウェハ4に向かう。ウェハ4では、パターンのピッチに応じた回折光が生じる。生じた回折光は、球面反射鏡122、表面反射鏡123及び受光レンズ124で構成されている第一受光光学系12によって、ウェハ4の回折光による像をCCD131上に形成する。
【0041】
CCD131に入射する第一受光光学系12の光軸は、ウェハ4を挟んだ第一照明光学系11の光軸と第一受光光学系12へ入射する光線とがなす平面とは異なる面内にあり、CCD131に0次回折光が直接入らない構成となっている。CCD131で取り込んだ画像は画像処理装置3にて適宜処理されるが、これについては、第3実施例に開示した装置と同様である。また、第一照明光学系11、第二受光光学系12及びウェハ4は、図7においてはそれぞれ紙面上下方向を回転軸として回転可能なこと、第一照明光学系11、第一受光光学系12及びウェハ4が、それぞれ式(1)の関係を満たすように配置されること、取り込む回折次数がマイナス一次であること、使用する波長が550nm、880nmの2種類であることも、第3実施例に開示した装置と同様である。
【0042】
第一照明光学系11及び第一受光光学系12は、球面反射鏡を用いた反射型の光学系でテレセントリック光学系である。第一照明光学系11では、光源111が球面反射鏡114の前側焦点位置もしくはリレーレンズ112を介して球面反射鏡114の前側焦点位置と共役な位置に、ウェハ4面が後側焦点面とほぼ一致するように配置され、第一受光光学系12では、球面反射鏡122の前側焦点面とウェハ4面とが、また後側焦点面と受光レンズ124の入射瞳面をほぼ一致させ、テレセントリック光学系にしている。テレセントリック光学系にするのは、CCD131で取り込んだ画像の見え方を、ウェハ全面に渡って同じにするためである。
【0043】
テレセントリックでない光学系では、ウェハ上の位置により、式(1)の入射角θi、回折角θdがそれぞれ異なる。回折光の強度は入射光の入射角に依存して変化するため、同じ欠陥でもウェハ上の位置により見え方が異なる場合がある。しかし、本実施例ではテレセントリックなので、ウェハ全面に渡って入射角θi、回折角θdが一様となる。故に、ウェハ上の位置にかかわらず同じ欠陥であれば見え方が同じになり、欠陥の特定に、より有利である。
【0044】
また、本実施例では、球面反射鏡を用いた反射型の光学系にすることで、屈折系のテレセントリック光学系を用いる装置よりも更に装置を小型化している。ただ偏心光学系なので、球面反射鏡に対する反射光の入射角は出来るだけ小さいのが望ましい。あまり大きいと非点収差が大きくなるからである。本実施例に開示した装置では、10度になっている。
【0045】
図9として示した実施例は、図7として開示した実施例の装置において、表面反射鏡123で光軸を紙面と垂直な面内に曲げる代わりに、球面反射鏡122で光路を曲げたものである。図9aでは、紙面の垂直方向に、つまり手前方向に回折光が反射されていることを示している。図9bは、図9aの装置を右側から見た図で、ウェハ4で紙面と垂直な面内に回折された光が、球面反射鏡122で紙面と平行な面に内に反射されている。この様な構成でも第3実施例と同等の効果を得られるのは勿論であるし、図10a及びbに示すように、球面反射鏡122から直接、受光レンズ124、CCD131に回折光を取り込む構成を取っても何ら問題はない。
【0046】
なお、図6及び図10として開示した装置では、CCD撮像素子上に形成される像は上下、若しくは左右が反転した像となるが、画像処理の際に特に問題となるものではない。必要であれば球面反射鏡をもう1枚挿入するか、画像処理装置3で電気的な処理を施して正立像にすればよい。
また、図7、図9及び図10として開示した装置においては、球面反射鏡を用いているが、反射型のフレネルゾーンプレートを用いても同様の効果を得ることが出来るのは勿論である。
【0047】
更に、ウェハ全面の画像を一括に取り込んでいるが、照明領域を帯状にしてウェハ4を照明領域の短辺方向に走査させたり、複数の光学系を用いて画像を取り込めば、第一受光光学系12及び第一照明光学系が小型化が可能であるし、第一受光光学系12及び第一照明光学系にセルフォックレンズを用いることでも、小型化が可能である。
【0048】
傷を検出するには散乱光を用いる。第二照明光学系21は、光源211、光ファイバー212、波長選択フィルタ213及びシリンドリカルレンズ214からなる。第二受光光学系22は、受光レンズ221からなり、第二撮像手段は、撮像素子CCD231からなる。散乱光用の第二照明光学系21及び第二受光光学系22は、回折光用の第一照明光学系11、第一受光光学系12と機械的干渉を起こさないように異なる平面内に配置されている。その概略的な様子を図11に示す。
【0049】
白色光源211から射出された光は光ファイバー212を経由する。光ファイバー212の射出側の端面の形状はスリット状である。
波長選択フィルタ213は光源211から射出された光のうち、短波長の光を選択的に吸収し、未現像のレジストの感光を防いでいる。
光ファイバー212の端面から射出された光は広がりを持つため、シリンドリカルレンズ214にてスリットの短手方向の面内で平行、もしくはほぼ平行な光にする。これにより光ファイバー212から射出された光を効率良くウェハ4に照射させることが出来る。その後、光は、ウェハ4で反射されるが、その際にパターンによる回折光と、傷がある場合には傷による散乱光が生じる。回折光の回折角は、ウェハ上のパターンのピッチ、光源の波長によって決定される。
【0050】
第二受光光学系22は、照明光のうち、ウェハ4からの正反射光ならびに回折光が通らない領域に配置されている。これにより、ウェハ上の傷によって生じた散乱光のみがCCD231に取り込まれる。結果、散乱光による傷の像が得られる。
本実施例に開示した装置では、シリンドリカルレンズを用いているが、シリンドリカルレンズのかわりにセルフォックレンズを用いてもよい。この場合は複数個のセルフォックレンズを束ねたものが使用され、光ファイバーの端面はセルフォックレンズの焦点位置に配置される。光ファイバーから射出された光はセルフォックレンズで平行光束となってウェハ に向かう。この時使用される光源や、CCDの位置はシリンドリカルレンズを用いたときと同様である。また、セルフォックレンズの代わりにフライアイレンズを用いても同様の効果を得ることが出来る。
【0051】
以上のように本実施例においては、回折光によるウェハの画像に基づいて画像処理を行なうことで、効率的な自動欠陥検査が可能となる。特に0次回折光の光軸とCCDカメラに入射する光軸とを異なる面内に配置することで、0次回折光のCCDカメラへの混入を防ぐことが出来る。
また、散乱光の検出を行なうので特に傷の検出に効果的である。
【0052】
【発明の効果】
以上のように本発明においては、一つの装置で、第一照明光学系11と第一受光光学系12とによって回折光用光学系を構成し、第二照明光学系21と第二受光光学系22とによって散乱光用光学系を構成し、且つ、それぞれの系は、機械的干渉を起こさないように配置しているので、小型な欠陥検査装置を提供することができる。また、回折光用光学系によって塗布ムラ等を、散乱光用光学系によって傷を、同時に検出できるので、効率的な検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明による第1実施例を示す側面図である。
【図2】 図2は、本発明による第1実施例を示す斜視図である。
【図3】 図3は、本発明による第1実施例の変形例示す図である。
【図4】 図4は、本発明による第1実施例の変形例示す図である。
【図5】 図5は、本発明による第2実施例を示す側面図である。
【図6】 図6は、本発明による第3実施例を示す側面図である。
【図7】 図7は、本発明による第4実施例を示す側面図である。
【図8】 図8は、第3実施例における第一照明光学系及び第一受光光学系を示す斜視図である。
【図9】 図9は、本発明による第4実施例の変形例示す図である。
【図10】 図10は、本発明による第4実施例の変形例示す図である。
【図11】 図11は、本発明による第4実施例の変形例示す図である。
【符号の説明】
11 第一照明光学系
12 第一受光光学系
13 第一撮像手段
21 第二照明光学系
22 第二受光光学系
23 第二撮像手段
3 画像処理装置
4 ウェハ
Claims (8)
- 被検面を照明する第一照明光学系と、
該第一照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの回折光のみを結像する第一受光光学系と、
該第一受光光学系によって結像された像を撮影する第一撮像手段と、
前記被検面を照明する第二照明光学系と、
該第二照明光学系からの照明光のうち前記被検面からの散乱光を結像する第二受光光学系と、
該第二受光光学系によって結像された像を撮影する第二撮像手段と、
前記第一撮像手段及び前記第二撮像手段からの出力信号を受信して、得られた前記被検面の画像に基づいて画像処理を行う同一の画像処理装置とを備え、
前記被検面のパターンのピッチにより変化する回折角に対応するように、前記被検面又は前記第一受光光学系と前記第一照明光学系とは、所定の軸を中心に回転可能であり、
ことを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記第一照明光学系は反射鏡を用いた反射型のテレセントリック光学系であり、また、前記第一受光光学系は反射鏡を用いた反射型のテレセントリック光学系であり、且つ
前記被検面上に入射する前記第一照明光学系からの照明光線と前記被検面上で回折され前記第一受光光学系へ到達する回折光線とを含む平面は、前記被検面上に入射する前記第二照明光学系からの照明光線と前記被検面上で散乱され前記第二受光光学系へ到達する散乱光線とを含む平面と、角度をもって交わることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。 - 前記所定の軸は、前記被検面上に入射する前記第一照明光学系からの照明光線と前記被検面上で回折され前記第一受光光学系へ到達する回折光線とを含む平面の垂直方向に伸びた回転軸であり、前記被検面が回転可能に構成されたことを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記第一照明光学系と前記第二照明光学系とのうち少なくとも一方の照明光学系は、複数の波長を選択可能であることを特徴とする請求項1乃至3記載の欠陥検査装置。
- 前記第一照明光学系と前記第二照明光学系とのうち少なくとも一方の照明光学系は、LEDからなることを特徴とする請求項4記載の欠陥検査装置。
- 前記被検面と前記第一受光光学系と前記第二受光光学系とのうちの少なくとも一つは、所定の軸を中心に回転可能なことを特徴とする請求項1乃至5記載の欠陥検査装置。
- 前記第一照明光学系と前記第一受光光学系とのうち少なくとも一方は、複数の部分光学系からなることを特徴とする請求項1乃至6に記載の欠陥検査装置。
- 前記第一照明光学系及び前記第一受光光学系を構成する少なくとも一つの部材を傾けて配置することにより、前記被検面上で正反射した前記第一照明光学系からの光線を避けるように、前記第一受光光学系または前記第一撮像手段を配置したことを特徴とする請求項1乃至7記載の欠陥検査装置。
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