JP2009300216A - 観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る観察装置は、所定のホールパターン12を有するウェハの表面に偏光を照射する照明部と、ホールパターン12の構造性複屈折により生じた偏光状態の変化を検出する検出部と、検出部により検出された偏光状態の変化に基づいて、ホールパターン12の画像を表示する表示部とを備え、ホールパターン12は、複数のホール13が第1の方向に所定の配列ピッチP1で並ぶとともに、ホール13の並ぶ列14が第2の方向に所定の繰り返しピッチP2で繰り返し配列されるように形成されており、照明部は、繰り返しピッチP2よりも長い波長を有する偏光を照射するように構成される。
【選択図】図3
Description
10 半導体ウェハ(基板) 12 ホールパターン
13 ホール 14 列
30 照明系(照明部)
35 偏光子 39 回転駆動装置(設定部)
40 受光系 42 検光子
44 撮像カメラ(検出部) 49 回転駆動装置(設定部)
50 画像処理部 55 モニタ(表示部)
Claims (4)
- 所定のホールパターンを有する基板の表面に偏光を照射する照明部と、
前記偏光が前記基板の表面で反射する際に前記ホールパターンの構造性複屈折により生じた偏光状態の変化を検出する検出部とを備え、
前記ホールパターンは、複数のホールが第1の方向に所定の配列ピッチで並ぶとともに、前記ホールの並ぶ列が第2の方向に所定の繰り返しピッチで繰り返し配列されるように形成されており、
前記照明部は、前記繰り返しピッチよりも長い波長を有する偏光を照射するように構成されることを特徴とする観察装置。 - 前記配列ピッチが前記繰り返しピッチよりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の観察装置。
- 前記検出部により検出された前記偏光状態の変化に基づいて、前記ホールパターンの画像を表示する表示部をさらに備え、
前記照明部は、前記基板の表面に直線偏光を照射し、
前記検出部は、前記直線偏光が照射された前記基板の表面からの正反射光のうち、前記直線偏光の偏光方向に対し略直角な偏光成分を前記偏光状態の変化として検出し、
前記表示部は、前記検出部により検出された前記偏光成分に基づいて、前記ホールパターンの画像を表示することを特徴とする請求項1もしくは2に記載の観察装置。 - 前記基板の表面に対する前記直線偏光の偏光方向を設定する設定部を備え、
前記設定部は、前記偏光状態の変化を最も検出しやすくするように前記偏光方向を設定することを特徴とする請求項3に記載の観察装置。
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JP2004294194A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Nikon Corp | 欠陥検査装置、欠陥検査方法及びホールパターンの検査方法 |
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