JP4934275B2 - レーザ走査型顕微鏡 - Google Patents
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請求項9記載の発明は請求項8記載の発明において、前記光軸ずれ検出手段は、前記2次元センサの複数分割された前記受光面の分割線上にあって前記受光面に垂直に光ビームが入射する状態で該光ビームに対して平行方向に遮光部材を配置した光軸ガイドをさらに有することを特徴としている。
請求項10記載の発明は、光ビームを発生する光源と、前記光源からの光ビームを標本上に集光させる対物レンズと、前記光ビームを前記標本上で2次元走査する光走査手段と、前記光ビームのビーム径を変化させるビーム径変換手段と、前記ビーム径変換手段により前記光ビームのビーム径を変化させることにより生じる光軸の角度ずれと平行ずれを検出する光軸ずれ検出手段と、前記ビーム径変換手段より出射される光ビームのビーム径を検出するビーム径検出手段と、該ビーム径検出手段で検出したビーム径の情報を表示する表示手段と、を具備し、前記ビーム径検出手段で検出したビーム径の情報を前記ビーム径変換手段にフィードバックすることを特徴としている。
図1は、本発明の第1の実施の形態にかかるレーザ走査型顕微鏡の概略構成を示すものである。図において、1はレーザ光源で、このレーザ光源1から出射される光ビームの光軸2上には、ビーム径変換手段としてのビーム径変換光学装置3と光軸調整手段としての光軸調整装置4が配置されている。
バリアフィルタ161と光検出器171が配置されている。光検出器171は、共焦点ピンホール16を透過した、焦点のあっている検出光の成分を受光し、光電変換により電気信号に変換するものである。
次に、本発明の第2の実施の形態を説明する。
次に、本発明の第3の実施の形態を説明する。
次に、本発明の第4の実施の形態を説明する。
図6は、上述した第1乃至4の実施の形態に対応する変形例の概略構成を示すもので、図1と同一部分には同符号を付している。上述した第1乃至4の実施の形態では、2個の2次元センサ7、8を使用して、光軸のずれ(角度ずれと平行ずれ)を検知するようにしているが、この変形例では、ビーム径検出手段として1個の2次元センサのみにより同等の効果を得られるようにしている。この場合、反射ミラー4aの反射光路には、光路分割手段としてハーフミラー36が配置されている。ハーフミラー36の反射光路には、位置センサとして2次元センサ37配置されている。
4…光軸調整装置、4a…反射ミラー
4b…回転角度調整部、4c…平行移動調整部
5.6…ハーフミラー、7、8…2次元センサ
7a〜7d、8a〜8d…受光面、9…制御部
10…走査ユニット、11…コリメートレンズ
12…ダイクロイックミラー、13…ガルバノミラーユニット
13a.13b…ガルバノミラー、14…共焦点レンズ
15…反射ミラー、16…共焦点ピンホール
161…バリアフィルタ、171…光検出器
17…ビームスポット、18…表示部
181…顕微鏡鏡基、19…ステージ
20…標本、21…反射ミラー、22…対物レンズ
231…レボルバ、23…ビーム径測定センサ
24…光軸ガイド、31.32…モータ
33…入力装置、34…ハーフミラー
35…ビーム径測定センサ、
36…ハーフミラー、37…2次元センサ
37a〜37d…受光面、38…光軸ガイド
38a.38b…板部材、39…反射ミラー
40…光ビーム
Claims (10)
- 光ビームを発生する光源と、
前記光源からの光ビームを標本上に集光させる対物レンズと、
前記光ビームを前記標本上で2次元走査する光走査手段と、
前記光ビームのビーム径を変化させるビーム径変換手段と、
前記ビーム径変換手段により前記光ビームのビーム径を変化させることにより生じる光軸の角度ずれと平行ずれを検出する光軸ずれ検出手段と、
を具備し、
前記光軸ずれ検出手段は、前記ビーム径変換手段と前記光走査手段との間の光軸上の分岐位置から分岐された分岐光路上に配置されたことを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。 - さらに、前記ビーム径変換手段より出射する光ビームの光軸を調整可能とする光軸調整手段を有し、前記光軸ずれ検出手段により検出された光軸の角度ずれと平行ずれに基づいて前記光軸調整手段により光ビームの光軸を調整することを特徴とする請求項1記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記光軸調整手段は、前記ビーム径変換手段と前記分岐位置との間に配置されていることを特徴とする請求項2記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記光軸調整手段は、前記光軸ずれ検出手段により検出された光軸の角度ずれと平行ずれに応じて光ビームの光軸を自動的に調整することを特徴とする請求項2又は3記載のレーザ走査型顕微鏡。
- さらに、前記ビーム径変換手段より出射される光ビームのビーム径を検出するビーム径検出手段と、該ビーム径検出手段で検出したビーム径の情報を表示する表示手段とを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記ビーム径検出手段で検出したビーム径の情報を前記ビーム径変換手段にフィードバックすることを特徴とする請求項5記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記ビーム径変換手段は、前記対物レンズの瞳位置における光ビームのビーム径を変化させるものであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記光軸ずれ検出手段は、複数分割された受光面を有する2次元センサからなることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 前記光軸ずれ検出手段は、前記2次元センサの複数分割された前記受光面の分割線上にあって前記受光面に垂直に光ビームが入射する状態で該光ビームに対して平行方向に遮光部材を配置した光軸ガイドをさらに有することを特徴とする請求項8記載のレーザ走査型顕微鏡。
- 光ビームを発生する光源と、
前記光源からの光ビームを標本上に集光させる対物レンズと、
前記光ビームを前記標本上で2次元走査する光走査手段と、
前記光ビームのビーム径を変化させるビーム径変換手段と、
前記ビーム径変換手段により前記光ビームのビーム径を変化させることにより生じる光軸の角度ずれと平行ずれを検出する光軸ずれ検出手段と、
前記ビーム径変換手段より出射される光ビームのビーム径を検出するビーム径検出手段と、
該ビーム径検出手段で検出したビーム径の情報を表示する表示手段と、を具備し、
前記ビーム径検出手段で検出したビーム径の情報を前記ビーム径変換手段にフィードバックすることを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
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