JP5015660B2 - ワーク検査方法 - Google Patents
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Description
(2)請求項2の発明では、前記ワークは、表面と裏面を有する板状の基板であって、該基板の表面には、枠状の金メッキが施されたシールリングを備えたことを特徴とする。
(3)請求項3の発明では、前記ワークは、前記基板の表面の枠状のシールリング内に、表面に金が被覆されたパッドが形成されていることを特徴とする。
本発明は、好ましい照明の光を例示したものである。赤色LEDによる赤色光は、金(Au)の部分の画像化に対して有効であり(即ち濃淡差が得やすく)、特に電子部品では、パッド表面などにAuが施される場合が殆どなので、電子部品に対して有効である。
トレイが帯電していると、例えばトレイが重ねられている場合などには、ワークが上側のトレイの裏面に一旦付着して落下することで、一旦収容されたワークがトレイの所定の位置に配置されない場合があるが、本発明では、トレイは帯電しにくいので、そのような不具合はない。
ワークが5mm以下と小さい場合には、ワークが軽量であるので、ワークがトレイから脱落したり、トレイ上で傾いたりして所定の位置に配置されない場合があるが、本発明では、ワークの状態を容易に把握できるので、特に5mm以下のワークの検査に好適である。
(7)請求項7の発明では、前記第2工程で撮影された画像に基づいて、前記ワークの収納もれの判定及び外形寸法の計測のうち、少なくとも1種を行うことを特徴とする。
(8)請求項8の発明では、前記第3工程で撮影された画像に基づいて、前記ワークの方向の判定、ワークの表裏の判定、他品種の混入の判定、シールリングのズレの判定、及びシールリングの有無の判定のうち、少なくとも1種を行うことを特徴とする。
(9)請求項9の発明では、前記第3工程は、前記第2工程の後に行うことを特徴とする。
本発明では、第2工程にて、ワークを収納したトレイの下側から光を照射し、カメラによりトレイの上方からワークを撮影し、その後、第3工程にて、ワークを収納したトレイの下側及び上側から光を照射し、カメラによりトレイの上方からワークを撮影する。
つまり、この様に第2工程と第3工程とを組み合わせることにより、ワークの状態にかかわらず、容易に且つ精度良くワークの検査を行うことができる。
例えばシールリングのズレが大きい場合でもあっても、第2工程からワークの外形を確実に捉えることができるので、(この第2工程の後に実施される)第3工程と組み合わせることにより、シールリングのズレを容易に把握することができる。
[第1実施形態]
a)まず、本実施形態のワーク検査方法に用いるワーク検査装置について説明する。
であり、図示しない水晶振動子が収容される中央凹部29を有するアルミナ製の容器31と、容器31の外周を構成する枠部33の表面に(中央凹部29を囲むように)形成されたシールリング35と、容器31内の段部37の表面に形成されたパッド39、41などを備えている。
本実施形態では、まず、基準画像の登録を行い、その後、自動検査を行う。以下、詳細に説明する。
この基準画像の登録とは、後の自動検査の際に不良品との比較を行うために、基準となるデータを記憶するものである。
(2)次に、カメラ9にて良品ワーク3の表面画像、裏面画像を撮像する。
(3)次に、撮像した表面画像、裏面画像より、各画像で指定した領域(例えば後述する図6のウインドW1、W2、W3、W4)におけるパッドの輪郭情報を取得して、マッチング用の基準パターンとして登録する。なお、ウインドW1、W2、W3、W4より基準パターンの検索範囲KE1、KE2が設定(自動生成)される。
この自動検査とは、トレイ5に載置されたワーク3の状態を自動検査するものである。
(1)まず、トレイ5に、図示しない自動機器によりワーク3を入れる。
ここでは、カメラ9の撮影領域は、図4に示す様に、8個のワーク3を撮影するように設定されているので、8個づつワーク3を撮影可能な様に、カメラ9の撮影方向を8個のワーク3の中心位置(同図の+印位置)に合わせるように移動させる。
ここでは、下方から照明(面発光照明)を照射して、透過光を受ける状態で撮影するので、図5の画像1に示す様に、ワーク3のシルエットを示す画像が得られる。
ここでは、下方及び上方から照明(面発光照明+リング照明)を当てて、透過光及び反射光を受ける状態で撮影するので、図5の画像2に示す様に、ワーク3のシルエットだけでなく、ワーク3の表面のシールリング35やパッド39、41が分かる画像が得られる。
(イ)収納もれ:収納凹部25内にワーク3があるかどうかの検査
例えば、画像1を2値化し(明るい領域を1、暗い領域を0とする)、収納凹部
25の領域においてどの程度明るい領域があるかを判定する。そして、明るい領
域が所定以上の場合には、収納凹部25内にワーク3が無いと判定する。
例えば、画像1の2値化画像から、ワーク3に外接する最小の四角形(最小外接
四角形)を求め、その縦H、 横Wの寸法を求め、これをワーク3の外形寸法とし
て計測する。
ここでは、画像2の濃淡画像を用いる。そして、ワーク3として、例えば図6に
示す水晶振動子用セラミックパッケージ27の場合は、シールリング35やパッド
39、41のある側において、その収納凹部25内に形成されたパッド39、41
のパターンにより、ワーク3の向きを判定する。
て、基準画像で登録したパッドの輪郭情報に整合性のある箇所を探索する(マッチ
ングを行う)。ここでは、ワーク3は長方形であるので、画像を180°回転させ
、同様に、両ウインドW1、W2におけるパッド39、41のパターンの一致を調
べる。
する(整合性が一定の割合以上取れた場合)かによって、ワーク3がどちら向きか
が分かる。ここで、0°でパターンが一致した場合、180°回転して確認する必
要はない。
能性もあるので、0°と90°と180°と270°回転させた画像をチェックす
る。
画像2の濃淡画像を用い、ワーク3の裏面において、例えば図6(b)に示す様
に、その四隅に形成されている場合には、その裏側パッド43のパターンにより、
ワーク3の表裏を判定する。
像で設定した検索範囲KE2において、基準画像で登録したパッドの輪郭情報に整
合性のある箇所を探索する(マッチングを行う)。
致した場合には、ワーク3が裏面と判定する。なお、裏面についても、表面(前項
の方向違い)と同様に検査している。
方向検査でマッチングしておらず、しかも裏面でない場合には、他品種が混合し
ていると判断する。
(なお、内部パッド基準のリングズレを検査してもよい)
ここでは、画像2の濃淡画像を用い、図7に示す様にウインドW5〜12を設定
して、図8に示す様に、ワーク3の外周からシールリング35までの距離A1、A
2、B1、B2、C1、C2、D1、D2を測定する。
なお、各ズレの値は絶対値をとる。
<X方向のズレ>
・ΔX1=(C1−D1)/2
・ΔX2=(C2−D2)/2
<Y方向のズレ>
・ΔY1=(A1−B1)/2
・ΔY2=(A2−B2)/2
<θ方向のズレ>
・θ1=(A1−A2)/2
・θ2=(B1−B2)/2
・θ3=(C1−C2)/2
・θ4=(D1−D2)/2
(ト)シールリング有無:シールリング35の有無を検査
例えばウインドW9で、2値化画像からシールリング35に該当する明るい領域
の幅(SW)を求める。ここで、幅が異常な値(リング幅の規格値を外れる値)で
ある場合は、シールリング35が無いと判定することができる。
c)次に、電子制御装置21で行われる処理内容について説明する。
電子制御装置21では、上述した検査手法にて、カメラ9による撮影と、撮影した画像を用いた自動検査を行う。
まず、図9のステップ(S)100では、XYステージ11を制御して、カメラ9を所定の撮影位置に移動する
続くステップ110では、下方照明15を点灯し、トレイ5の上方からカメラ9で撮影を行う(画像取込1回目:画像1)。
続くステップ130では、照明を消して、一旦本処理を終了する。
(2)画像処理
まず、図10のステップ200では、初期化処理を行う。
続くステップ220では、ワーク3の有無を判定する。具体的には、前記画像1の2値化画像を利用し、(イ)の収納もれの検査(収納凹部25内にワーク3があるかどうかの検査)を行う。ここで、ワーク3が無いと判定されるとステップ320に進み、ワーク3があると判定されるとステップ230に進む。
ステップ240では、方向検査の結果、マッチングが成功してワーク3の方向が分かった場合(即ち表面のパッド39、41のパターンが一致した場合)には、ステップ270に進み、マッチングが不成功の場合には、ステップ250に進む。
続くステップ260では、裏面検査の結果、裏面であると判定された場合には、前記ステップ320に進み、裏面でないと判定された場合には、ステップ270に進む。
続くステップ290では、前記画像2の2値化画像を利用して、前記(ト)のシールリング(SR)35の有無の検査を行う。
続くステップ310では、前記画像2の濃淡画像を利用して、パッド基準のシールリング35のズレの有無の検査を行う。具体的には、あるパッド39、41を基準にして、そのパッド39、41からの距離を求め、その距離が基準のデータからどの程度ずれているかによってズレの有無を判定する。なお、ステップ300とステップ310は、どちらか一方を採用してもよい。
c)この様に、本実施形態では、透明なトレイ5に多数の収納凹部25を設け、各収納凹部25にそれぞれワーク3を収納する。そして、まず、トレイ5の下側から光を照射し
、カメラ9によりトレイ5の上方からワーク3を撮影し、次に、トレイ5の下側及び上側から光を照射し、カメラ9によりトレイ5の上方からワーク3を撮影する。
3…ワーク
5…トレイ
9…カメラ
11…XYステージ
13…上方照明
15…下方照明
21…電子制御装置
23…モニタ
Claims (9)
- 1又は複数のワークに光を照射してカメラで撮影し、その撮影した画像に基づいて前記ワークの検査を行うワーク検査方法において、
透光性を有するトレイの1又は複数の収納部に、前記ワークをそれぞれ収納する第1工程と、
前記ワークを収納した前記トレイの下側から光を照射し、前記カメラにより前記トレイの上方から前記ワークを撮影する第2工程と、
前記ワークを収納した前記トレイの下側及び上側から光を照射し、前記カメラにより前記トレイの上方から前記ワークを撮影する第3工程と、
を有することを特徴とするワーク検査方法。 - 前記ワークは、表面と裏面を有する板状の基板であって、該基板の表面には、枠状の金メッキが施されたシールリングを備えたことを特徴とする請求項1に記載のワーク検査方法。
- 前記ワークは、前記基板の表面の枠状のシールリング内に、表面に金が被覆されたパッドが形成されていることを特徴とする請求項2に記載のワーク検査方法。
- 前記光は、赤色LEDによる光であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のワーク検査方法。
- 前記トレイは、帯電防止グレードのABS樹脂製であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のワーク検査方法。
- 前記ワークの外形寸法が5mm以下であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のワーク検査方法。
- 前記第2工程で撮影された画像に基づいて、前記ワークの収納もれの判定及び外形寸法の計測のうち、少なくとも1種を行うことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載のワーク検査方法。
- 前記第3工程で撮影された画像に基づいて、前記ワークの方向の判定、ワークの表裏の判定、他品種の混入の判定、シールリングのズレの判定、及びシールリングの有無の判定のうち、少なくとも1種を行うことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載のワーク検査方法。
- 前記第3工程は、前記第2工程の後に行うことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載のワーク検査方法。
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JPH0513917A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-22 | Nippon Steel Corp | 光学的基板検査装置 |
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JPH11165717A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Yuki Gijutsu Sogo:Kk | シート包装検査装置 |
JP3215858B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2001-10-09 | ライオンエンジニアリング株式会社 | 物品外観検査装置 |
JP4434417B2 (ja) * | 2000-03-23 | 2010-03-17 | 日本特殊陶業株式会社 | プリント配線板の検査装置 |
JP4368808B2 (ja) * | 2005-01-07 | 2009-11-18 | シーケーディ株式会社 | 外観検査装置及びptp包装機 |
JP2006210576A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Kyocera Corp | 電子部品搭載用基板および電子装置 |
KR100527211B1 (ko) * | 2005-02-28 | 2005-11-08 | 윈텍 주식회사 | 전자부품 검사 시스템 |
JP2007073713A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイス用パッケージ |
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