KR20170071978A - 글래스 크랙 검사 시스템 - Google Patents

글래스 크랙 검사 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20170071978A
KR20170071978A KR1020150180264A KR20150180264A KR20170071978A KR 20170071978 A KR20170071978 A KR 20170071978A KR 1020150180264 A KR1020150180264 A KR 1020150180264A KR 20150180264 A KR20150180264 A KR 20150180264A KR 20170071978 A KR20170071978 A KR 20170071978A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
defect
glass
chamber
defective
Prior art date
Application number
KR1020150180264A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101779974B1 (ko
Inventor
정보혁
이석엽
Original Assignee
주식회사 씨브이아이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 씨브이아이 filed Critical 주식회사 씨브이아이
Priority to KR1020150180264A priority Critical patent/KR101779974B1/ko
Publication of KR20170071978A publication Critical patent/KR20170071978A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101779974B1 publication Critical patent/KR101779974B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08C—TRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
    • G08C17/00—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link
    • G08C17/02—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link using a radio link
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/062—LED's
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/063—Illuminating optical parts
    • G01N2201/0636—Reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/08—Optical fibres; light guides
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
    • G01N2201/126—Microprocessor processing
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10—Image acquisition modality
    • G06T2207/10004—Still image; Photographic image

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은 글래스 결함 검사 시스템에 관한 것으로, 연속하여 이송되는 글래스 기판의 결함을 검사하는 글래스 결함 검사 시스템에 있어서, 특정 방향으로 글래스 기판이 입출되며, 상부면과 하부면에 서로 대항한 위치에 광투시가 가능한 뷰포트가 형성되어 있는 직육면체 형태의 챔버; 상기 챔버의 상부면 또는 하부면의 뷰포트에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판 방향으로 광을 조사하는 적어도 하나 이상의 LED 광원; 상기 챔버의 상부면에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판의 영상을 촬영하는 적어도 둘 이상의 카메라; 및 상기 카메라에서 촬영된 글래스 기판의 영상정보를 전송받아 글래스 기판의 결함을 검출하는 검사부;를 포함하는 글래스 결함 검사 시스템에 관한 것이다.

Description

글래스 크랙 검사 시스템{SYSTEM FOR INSPECTING DEFECTS OF GLASS}
본 발명은 글래스 결함 검사 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스마트폰, 태블릿 PC 등 터치스크린 기반 모바일기기와 디스플레이 위에 적용되는 보호용 글래스를 생산하는 데 있어서, 생산공정에 영향을 주는 글래스 엣지 또는 표면의 균열, 부스러기, 휨 등을 포함한 각종 결함을 실시간 검출하는 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 글래스 결함 검사 시스템에 관한 것으로, 커버 글래스는 스마트폰과 태블릿PC 등 터치스크린 기반 모바일기기와 디스플레이 위에 적용되는 보호용 글래스로서, 이와 같은 글래스의 생산 공정에서 유리원료의 용해부족, 이물질의 혼입, 장치의 노후화 및 성형조건의 변동 등으로 인하여 글래스 표면에 균열, 부스러기, 휨 등의 결함이 있을 경우 CVD 공정 중 챔버 내에서의 파손이나 공정 불량이 유발된다.
따라서 마이크로 회로 패턴을 증착하기 전에 제공되는 글래스 기판 상에 이물질이 있는지 여부를 정확하게 검사할 필요가 있다.
이에 따라 본 발명에서는 글래스 가공 시 발생할 수 있는 글래스 엣지 또는 표면의 균열, 부스러기, 휨 등을 포함한 각종 결함을 실시간으로 검출할 수 있는 시스템을 제시하고자 한다.
다음으로 본 발명의 기술이 속하는 분야에 존재하는 선행기술에 대하여 간략하게 설명하고, 이어서 본 발명이 상기 선행기술에 비하여 차별적으로 이루고자 하는 기술적 사항에 대해 설명하도록 한다.
먼저 한국등록특허 제10-1127796호(2012.03.12.)는 글래스 기판 크랙 검사 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 TFT 글래스 기판이 지니는 고유의 영상 이미지 패턴이 지닌 주기성을 디지털 데이터로 된 주파수 정보로 변환하여, 크랙이 없는 글래스 기판으로부터 기준이 되는 주파수 정보를 데이터베이스에 저장하고, 이후 검사 대상 글래스 기판의 주파수 정보를 검출한 다음, 그 주파수 정보에서 기준이 되는 주파수 정보를 감산 연산하여, 크랙이 있는 경우 그에 따라 잔류 및 검출되는 특이 주파수 정보를 화상 정보로 변환하여 디스플레이함으로써, 미세한 크랙까지도 검출할 수 있는 기술이 기재되어 있다.
또한, 한국공개특허 제10-2014-0060280호(2014.05.19.)는 판글래스 검사장치, 판글래스 검사방법, 판글래스 제조장치 및 판글래스 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 복수의 판글래스를 검사하는 판글래스 검사장치로서, 제1 판글래스의 결함후보범위와, 상기 제1 판글래스와 상이한 제2 판글래스의 결함후보범위를 검출하는 검출부와, 상기 제1 판글래스의 결함후보범위 위치와 상기 제2 판글래스의 결함후보범위 위치를 비교하고, 상기 비교결과에 기초하여 상기 제1 판글래스와 상기 제2 판글래스에 연속되는 결함의 유무를 판정하는 판정부로 구성되는 판글래스 검사장치에 관한 기술이 기재되어 있다.
또한, 한국등록특허 제10-1209857호(2012.12.03.)는 유리 표면 이물 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 유리 기판의 이물을 검출하기 위한 레이저광 조사부를 상기 유리 기판의 상부 측면과 하부 측면에 각각 하나씩 소정의 간격을 두고 구비하되, 상기 레이저광 조사부로부터 출사되는 광이 상기 유리 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 조사되도록 구성하여 유리 표면에 부착된 이물질을 빠짐없이 정확하게 검출할 수 있도록 하는 기술이 기재되어 있다.
상기 선행기술들은, 모두 글래스 결함에 대한 검사 기술이라는 점에서 본 발명과 유사점이 있으나, 챔버 내에서 미세 결함 검사하는 것이 어렵고, 글래스 기판의 고정부(finger)을 포함한 모든 사(4)변 검사, 검사정밀도, 검사속도 또는 장치비용 등에 있어서 문제가 있어, 본 발명을 통해 이를 개선하고자 한다.
본 발명은 글래스 기판의 엣지 또는 표면의 균열, 부스러기, 휨 등을 포함한 각종 결함을 영상정보를 통해 실시간 검출하는 시스템을 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 글래스 기판의 결함을 검출하는 데 있어서 글래스 기판을 지지하거나 또는 이동시키는 수단에 의해 글래스 기판의 결함 검사가 방해 받지 않도록 상기 글래스 기판을 지지하거나 또는 이동시키는 수단을 구성하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 연속하여 이송되는 글래스 기판의 결함을 검사하는 글래스 결함 검사 시스템은, 특정 방향으로 글래스 기판이 입출되며, 상부면과 하부면에 서로 대항한 위치에 광투시가 가능한 뷰포트가 형성되어 있는 직육면체 형태의 챔버; 상기 챔버의 상부면 또는 하부면의 뷰포트에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판 방향으로 광을 조사하는 적어도 하나 이상의 LED 광원; 상기 챔버의 상부면에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판의 영상을 촬영하는 적어도 둘 이상의 카메라; 및 상기 카메라에서 촬영된 글래스 기판의 영상정보를 전송받아 글래스 기판의 결함을 검출하는 검사부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 일 실시예로서, 상기 LED 광원이 챔버의 상부면의 뷰포트에 위치할 경우, 상기 챔버의 하부면의 뷰포트에는 상기 LED 광원에서 조사하는 광을 챔버 내 글래스 기판 방향으로 반사하는 반사판;이 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한, 일 실시예로서, 상기 챔버는, 글래스 기판을 지지 및 이송하는 글래스 기판 이송부;를 포함하되, 상기 글래스 기판 이송부에서 글래스 기판을 지지하는 고정부의 재질이 투명한 소재로 구성하여, 고정부에 의해 지지되는 글래스 기판의 엣지면 부분도 결함 검사가 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 일 실시예로서, 상기 고정부는, 투명한 Quartz 또는 Polycabonate 재질로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 일 실시예로서, 상기 검사부는, 글래스 기판에서 결함을 검출하였을 경우, 유무선 방식으로 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제1 모드; 글래스 기판의 이송을 중지하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보하는 제2 모드; 결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하는 제3 모드; 및 결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제4 모드; 중 어느 하나의 모드로 동작하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 글래스 결함 검사 시스템에 관한 것으로, 챔버 하부에 위치한 뷰포트를 통해 LED 광원의 광이 챔버 내 글래스 기판으로 조사되도록 하고, 챔버 상부에 위치한 뷰포트에서 적어도 하나 이상의 카메라를 통해 광이 조사되는 글래스의 영상정보를 수집하여 결함여부를 측정함으로써, 종래의 레이저, 주파수 등의 글래스 검사장치로 불가능하였던 미세 결함 검사와 검사 후 이미지 확인도 가능하여 검사의 신뢰도를 높게 구성할 수 있을 뿐만 아니라, 글래스 기판의 엣지 또는 표면의 균열, 부스러기, 휨 등의 각종 미세 결함을 실시간으로 정밀하게 검출할 수 있다.
상기 검사 결과에 따라 공정 정지, 전문가 검수, 알람 등으로 다양하게 적합하게 대처할 수 있도록 프로세스를 구축함으로써, 글래스 기판의 생산성을 향상할 수 있다.
또한, 피씨 혹은 쿼츠 등의 투명한 글래스 기판 고정부(finger)를 사용하여 글래스 기판 고정부에 가려져 검사가 불가능한 부분을 개선하였다.
도 1은 글래스 결함의 유형을 보여주기 위한 도면이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 결함 검사 시스템에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 글래스 결함 검사 시스템에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 피쉬 본 로봇 핑거 부분에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 로봇 핑거를 적용한 글래스 결함 검사 시스템에서 촬영되는 영상이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 결함 검사 방법에 대해 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명에 따른 글래스 결함 검사 시스템의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다.
본 발명의 각 도면에 있어서, 구조물들의 사이즈나 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시한 것이고, 특징적 구성이 드러나도록 공지의 구성들은 생략하여 도시하였으므로 도면으로 한정하지는 아니한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 대한 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1에서 보여주는 바와 같이, 글래스 기판 엣지면 또는 표면에 균열(crack), 휨(arching), 부스러기(chiping), 모서리결함(edge defect), 오염(stain), 긁힘(scratch) 등이 글래스 기판 생산 공정(CVD 공정) 중에서 발생될 수 있다.
본 발명은 이와 같이, 글래스 기판 생산 공정(CVD 공정)에서 발생할 수 있는 글래스 기판 엣지면 또는 표면의 결함을 검출하여, 글래스 기판의 불량률을 낮추고 생산성을 높이기 위한 것이다.
이를 위하여, 본 발명은 특정 방향으로 글래스 기판이 입출되며, 상부면과 하부면에 서로 대항한 위치에 광투시가 가능한 뷰포트가 형성되어 있는 직육면체 형태의 챔버;를 비롯하여, 상기 챔버의 상부면 또는 하부면의 뷰포트에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판 방향으로 광을 조사하는 적어도 하나 이상의 LED 광원; 상기 챔버의 상부면에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판의 영상을 촬영하는 적어도 둘 이상의 카메라; 및 상기 카메라에서 촬영된 글래스 기판의 영상정보를 전송받아 글래스 기판의 결함을 검출하는 검사부;를 포함한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 구성에 대해 더욱 상세히 설명하도록 한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 결함 검사 시스템(100)에 대해 설명하기 위한 도면이다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 글래스 결함 검사 시스템(100)은, 챔버(110), 카메라(120), LED 광원(130) 및 검사부(140)를 포함하며, 반사판(135)(도 2)을 더 포함하여 구성될 수도 있다.
상기 챔버(110)는 글래스 기판(10) 엣지면 또는 표면의 결함을 검출하기 위해 글래스 기판(10)을 이송시키는 것으로, 통상 직육면체 형태의 케이스 형태이나 이에 한정되지 않는다.
글래스 기판 생산 공정 중 먼지 등과 같은 이물질이 글래스 기판(10) 상에 부착되게 되면 글래스 기판 표면에 마이크로 회로 패턴을 증착한 후, 상기 이물질에 의해 회로가 불량으로 증착되어 정상적으로 작동하지 않을 위험이 있기 때문에, 상기 챔버(110)는 전면은 챔버(110) 케이스로 덮혀 있는 것이 바람직하다.
상기 챔버(110)는 글래스 기판이 들어오고 나가는 입출구가 전후면에 형성되어 있으며, 또한 글래스 기판을 고정하여, 입구에서 출구 방향으로 이송하는 글래스 기판 이송부를 포함한다.
또한, 상기 챔버(110)는 상면부에는 카메라(120)가 위치하는 뷰포트(viewport)(111)가 형성되어 있다. 상기 뷰포트(111)는 카메라(120)가 글래스 기판의 영상을 수집하는 데 있어서 광의 왜곡 등으로 인한 방해가 없도록 광투시가 가능한 재질로 되어 있거나, 또는 홀(hole)로 형성되어 있을 수 있다.
또한, 상기 챔버(110) 하면부에는 상기 상면부에 위치하는 뷰포트(111)와 수직으로 마주보는 위치에 뷰포트(111)가 형성되며, 이와 같이 형성된 챔버(110) 하면부의 뷰포트(111)에는 상기 LED 광원(130) 또는 반사판(135)이 형성될 수 있다.
상기 카메라(120)는 챔버(110) 상부면의 뷰포트(111)에 위치하며, 챔버(110) 내에서 이송되고 있는 글래스 기판 부분 중 챔버(110) 상부면의 뷰포트(111)에서 하부면의 뷰포트(111) 방향으로 수직방향에 위치한 글래스 기판 부분의 영상을 촬영하여 상기 검사부(140)로 전송한다.
도 4는 본 발명의 글래스 결함 시스템에서 글래스의 영상을 촬영하는 과정을 보여준다.
이때, 본 발명의 글래스 결함 검사 시스템(100)이 글래스 기판의 양 엣지면 부분만을 검사하는 용도로 구성될 경우 카메라(120)는 2대가 사용되나, 이에 한정되지 않고, 또한 이에 맞춰 상기 챔버(110) 상면부의 뷰포트(111)도 2곳이 형성되어 있다. 도 4에서 볼 수 있는 바와 같이, 2대의 카메라(120)가 검사하고자 하는 글래스의 엣지면에 설치되어 글래스 표면의 영상을 촬영하게 된다.
또한, 글래스 기판의 전체 엣지면 및 표면을 검사할 경우에는 카메라 촬영 각에 따라 카메라가 2대 이상이 필요하나, 이에 한정되지 않으며, 카메라의 촬영각에 따라서 글래스의 엣지면을 비롯한 글래스의 전체 표면을 촬영할 수 있는 정도의 카메라가 필요하다.
챔버(110) 상면부의 뷰포트(111)도 이에 맞추어 형성되거나 혹은 긴 일자형 뷰포트(111)가 형성되어 복수의 카메라(120)가 일자형 뷰포트(111)를 통해 글래스 기판의 엣지면 및 표면의 영상을 수집할 수 있다.
즉, 상기 뷰포트(111)는 글래스 기판의 두(2) 변을 볼 수 있는 뷰포트 양 쪽 두 곳이나 사(4) 변을 볼 수 있는 긴 직사각형의 뷰포트를 구성하는 것이 바람직할 것이다.
상기한 바와 같이, LED 광원(130)은 챔버(110) 상부면 또는 하면부에 위치하여 챔버(110) 상하면부를 잊는 라인에 위치한 글래스 기판에 광을 조사하여, 상기 카메라(120)가 글래스 기판의 영상을 촬영할 때 보다 정확하게 글래스 기판의 결함 및 이물질 영상을 수집할 수 있도록 한다.
이때, 보다 정확하게 상기 카메라(120)가 글래스 기판의 결함 및 이물질 영상을 촬영하기 위해서는 광원의 광이 글래스 기판 하부면으로 조사되어야 하기 때문에, 상기 LED가 챔버(110) 상면부의 뷰포트(111)에 위치할 경우에는, 챔버(110) 하면부의 뷰포트(111)에는 LED 광을 반사하여 글래스 기판 하부면으로 반사해주는 반사판(135)이 위치될 수 있다.
상기 검사부(140)는 상기 카메라(120)에서 촬영한 글래스 기판의 영상정보를 전송받아 결함 여부를 검사하고, 챔버(110), 카메라(120) 및 LED 조명의 동작을 제어한다.
검사부는 1차검사에서 이물질 외 결점(Defect)의 경우 도입되는 글래스의 면취선을 기준으로, filtering algorithm에 의해서 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 면취로 부터의 결함 위치 등과 같은 결함여부를 판단할 수 있는 특정 파라미터 값 중에 하나 이상을 선택하여 계산한다. 계산된 파라미터 값으로부터 글래스에 결함이 있는지 여부를 판단하며, 결함으로 의심이 될 수 있는 어떠한 결함도 없는 것으로 판정이 되면, 정상 글래스로 분류한다. 본 발명에서 ‘파라미터’는 글래스의 결함여부를 판단할 수 있는 성질의 값이라면 어느 것이라도 선택되어 질 수 있다.
도입되는 글래스에는 실질적으로 결함이 아니더라도, 공정 중에 미세한 먼지 혹은 이물질의 자국 등이 글래스 표면에 발생될 수 있으며, 이러한 경우에도 1차검사 시에 행한 파라미터 값에 근거한 검사에서 글래스에 결함이 있는 것으로 판정될 수 있다. 1차 검사에서는 결함으로 의심이 될 만한 어떠한 결함이 존재하여도 결함이 있는 것으로 판정된다.
이러한 경우, 즉 결함이 없으나 결함이 있는 것으로 판정되는 경우가 발생할 수 있으므로, 결함이 있는 것으로 판정된 글래스에 대한 2차검사가 추가된다. 2차검사는 글래스에 대한 정밀검사가 이루어져야 하며, 이때 검사 시간을 단축하기 위하여, 1차검사 결과에 기반하여 결함의 유형(혹은 형태)을 타입 1, 타입 2, 타입 3 ... 타입 N으로 나누게 된다. 결함의 유형은 도 1에서도 보여준 바와 같이 여러 가지 유형으로 나눌 수 있으며, 도 1에서 보여주는 유형에만 한정되지는 않는다.
유형을 분류한 후에, 각각의 유형에 의존해서 여러 가지 방식의 판정기준이 복합적으로 적용된다. 유형에 따라서 gray level(명암비), 코너컷 각도 등과 같은 파라미터 값에 의해서 결함이 판정될 수 있고, 이러한 파라미터 값을 측정하기 위하여 흔들림 보정 혹은 이미지 resize 등과 같은 특정 기능이 수반될 수도 있다.
더불어, 특정한 경우에는, 즉 이러한 파리미터에 의한 판정 외 결함의 특정 패턴이나 결함 형태의 구분이 필요한 경우, 특정 이미지의 정상 유무를 판단하기 위하여 정상 글래스(mother glass)의 이미지가 저장되어 있는 DB와 비교하여 글래스의 결함 존재여부를 검사하여, 최종 검사 결과를 도출한다.
또한, 상기 검사부(140)는 카메라(120)로부터 전송받은 영상정보에서 글래스 기판의 결함을 검출하였을 경우에는, 검출한 결함 사실을 관리자에게 통보하거나, 글래스 기판의 이송을 중지하거나, 글래스 기판을 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출하거나, 또는 상기 동작을 혼합한 제어동작을 수행할 수 있다.
즉, 상기 검사부(140)는 글래스 기판에서 결함을 검출하였을 경우, 유무선 방식으로 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제1 모드, 글래스 기판의 이송을 중지하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보하는 제2 모드, 결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하는 제3 모드, 결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제4 모드 중 어느 하나의 모드로 동작한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 피쉬 본 로봇 핑거 부분에 대해 설명하기 위한 예시도이다.
이에 도시되어 있는 바와 같이, 챔버(110) 내에서 글래스 기판을 고정하여 이송시키는 글래스 기판 이송부에서, 고정부(112)가 글래스 기판의 엣지면을 고정하고 있기 때문에, 이 고정부(112)에 의해 고정되는 글래스 기판의 엣지면 부분의 영상정보는 상기 카메라(120)에서 수집할 수가 없게 되며, 만일 고정부가 위치한 글래스 부분에 결함이 있을 경우 결함을 파악하지 못해 생산 공정에 문제가 생길 우려가 있다.
이와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 상기 고정부(112)를 빛이 투과될 수 있는 투명한 재질로 구성하여, 종래의 고정부에 의해서 쵤영할 수 없었던 글래스 기판 엣지면 부분을 포함한 글래스 기판 전체의 영상정보를 수집할 수 있도록 한다. 상기 고정부(112)는 바람직하게는 투명한 소재의 Quartz 또는 Polycabonate 재질로 구성되도록 한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 로봇 핑거(고정부)를 적용한 글래스 결함 검사 시스템(100)에서 촬영된 영상으로, 고정부(112)에 의해서 가려진 엣지면에 발생된 결함도 투명한 고정부를 사용하여 감지할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 결함 검사 방법에 대해 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7에 도시되어 있는 바와 같이 본 발명의 글래스 결함 검사 방법은, 먼저 글래스 기판이 챔버 내로 투입된다(S501).
상기 챔버에서는 투입된 글래스 기판의 ID를 인식하고(S502), 실시간으로 글래스 기판의 엣지면 및/또는 표면의 이미지를 뷰포트에 형성된 카메라를 통해 스캐닝한다(S503).
카메라에 스캐닝된 이미지를 기반으로, 정상 글래스 정보와 비교하여 결함 여부를 판단하거나, 또는 스캐닝된 영상정보에서 광이 균일하기 않은 부분이 존재하는지 여부를 판단하여, 결함 여부를 결정하고, 글래스 기판의 결함 여부, 결함으로 판정된 경우에는 결함의 글래스에서의 위치 및 크기를 측정한다(S504).
상기 글래스 기판의 결함 여부 및 결함부분의 사이즈에 대한 검사 결과를 저장하고, 디스플레이를 통해 출력한다(S505).
상기 결함이 발견되지 않았을 경우 글래스 기판은 정상적으로 배출되며(S506), 결함이 발견되었을 경우에는, 유무선 방식으로 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제1 모드; 글래스 기판의 이송을 중지하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보하는 제2 모드; 결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하는 제3 모드; 결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제4 모드; 중 어느 하나의 모드로 동작한다(S507)
이상으로 본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참조하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술에 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 것을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 글래스 기판
100 : 글래스 결함 검사 시스템
110 : 챔버
111 : 뷰포트
112 : 고정부
120 : 카메라
130 : LED 광원
135 : 반사판
140 : 검사부

Claims (11)

  1. 연속하여 이송되는 글래스 기판의 결함을 검사하는 글래스 결함 검사 시스템에 있어서,
    특정 방향으로 글래스 기판이 입출되며, 상부면과 하부면에 서로 대항한 위치에 광투시가 가능한 뷰포트가 형성되어 있는 챔버;
    상기 챔버의 상부면의 뷰포트에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판 방향으로 광을 조사하는 적어도 하나 이상의 LED 광원;
    상기 챔버의 상부면에 위치하며, 챔버 내 글래스 기판의 영상을 촬영하는 적어도 둘 이상의 카메라; 및
    상기 카메라에서 촬영된 글래스 기판의 영상정보를 전송받아 글래스 기판의 결함을 검출하는 검사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 챔버 하부면의 뷰포트에는 상기 LED 광원에서 조사하는 광을 챔버 내 글래스 기판 방향으로 반사하는 반사판;이 위치하는 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는, 글래스 기판을 지지 및 이송하는 글래스 기판 이송부;를 포함하고, 고정부에 의해 지지되는 글래스 기판의 엣지면 부분도 결함 검사가 가능하도록 상기 글래스 기판 이송부에 글래스 기판을 지지하는 고정부의 재질이 투명한 소재로 구성한 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 고정부는, 투명한 Quartz 또는 Polycabonate 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 검사부는, 상기 전송받은 영상정보의 파라미터를 분석하여 상기 글래스 기판의 결함 여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 영상정보의 파라미터는 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 면취로 부터의 결함의 위치 중에 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 검사부는, 특정 패턴이나 형태의 구분이 필요한 경우, 상기 파라미터 분석에서 결함으로 판정된 글래스 기판의 상기 전송받은 영상정보와 정상 글래스의 영상정보를 비교하는 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 검사부는, 글래스 기판에서 결함을 검출하였을 경우,
    유무선 방식으로 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제1 모드;
    글래스 기판의 이송을 중지하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보하는 제2 모드;
    결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하는 제3 모드; 및
    결함이 검출된 글래스 기판이 정상 글래스 기판과는 다른 패스웨이로 배출되도록 하고, 유무선 방식을 통해 관리자에게 결함 사실을 통보 하는 제4 모드; 중 어느 하나의 모드로 동작하는 것을 특징으로 하는 글래스 결함 검사 시스템.
  9. 글래스 결함 검사 방법에 있어서,
    챔버 내로 글래스 기판이 투입되는 단계;
    상기 챔버에서 투입된 글래스 기판의 ID를 인식하는 단계;
    실시간으로 상기 글래스 기판의 엣지면 및/또는 표면의 이미지를 스캐닝하는 단계;
    상기 스캐닝된 이미지를 기반으로 상기 글래스 기판의 결함 여부 판정하는 단계;
    상기 글래스 기판이 결함이 존재하는 경우 글래스 기판에서의 위치 및 크기를 측정하는 단계;
    상기 글래스 기판의 결함 여부 및 결함부분의 사이즈에 대한 검사 결과를 저장하고, 디스플레이를 통해 출력하는 단계를 포함하는 글래스 결함 검사 방법.
  10. 상기 제9항에 있어서,
    상기 글래스 기판의 결함 여부 판정하는 단계에서, 상기 전송받은 영상정보의 파라미터를 분석하여 상기 글래스 기판의 결함 여부를 판정하고,
    상기 영상정보의 파라미터는 명암비, 결함의 형태, 결함의 크기, 면취로 부터의 결함의 위치 중에 어느 하나 이상인 글래스 결함 검사 방법.
  11. 상기 제10항에 있어서,
    상기 글래스 기판의 결함 여부 판정하는 단계에서, 특정 패턴이나 형태의 구분이 필요한 경우, 상기 파라미터 분석에서 결함으로 판정된 글래스 기판의 상기 전송받은 영상정보와 정상 글래스의 영상정보를 비교하는 글래스 결함 검사 방법.
KR1020150180264A 2015-12-16 2015-12-16 글래스 크랙 검사 시스템 KR101779974B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150180264A KR101779974B1 (ko) 2015-12-16 2015-12-16 글래스 크랙 검사 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150180264A KR101779974B1 (ko) 2015-12-16 2015-12-16 글래스 크랙 검사 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170071978A true KR20170071978A (ko) 2017-06-26
KR101779974B1 KR101779974B1 (ko) 2017-10-10

Family

ID=59282614

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150180264A KR101779974B1 (ko) 2015-12-16 2015-12-16 글래스 크랙 검사 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101779974B1 (ko)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101867015B1 (ko) 2017-10-24 2018-06-14 (주) 엠브이텍 글라스 결함 검사 장치, 검사 방법 및 검사 시스템
CN108709859A (zh) * 2018-06-26 2018-10-26 华南理工大学 用于曲面玻璃视觉检测的通用型夹具及检测方法
KR20190021605A (ko) * 2017-08-23 2019-03-06 삼성전자주식회사 휴대 단말의 커버 글래스의 광학적 특성을 확인하는 검사 장치 및 커버 글래의 광학적 특성의 확인 방법
KR20190134103A (ko) * 2018-05-24 2019-12-04 (주)쎄미시스코 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법
JP2020003469A (ja) * 2018-06-29 2020-01-09 キヤノントッキ株式会社 基板検査システム、電子デバイスの製造装置、基板検査方法、及び電子デバイスの製造方法
KR20200018942A (ko) * 2018-08-13 2020-02-21 강구만 유리 외관 촬영장치 및 유리 외관 검사시스템

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156924A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Toppan Printing Co Ltd 検査装置用ホルダー
KR100840832B1 (ko) * 2007-09-06 2008-06-23 호서대학교 산학협력단 엘시디패널의 외관 검사장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190021605A (ko) * 2017-08-23 2019-03-06 삼성전자주식회사 휴대 단말의 커버 글래스의 광학적 특성을 확인하는 검사 장치 및 커버 글래의 광학적 특성의 확인 방법
KR101867015B1 (ko) 2017-10-24 2018-06-14 (주) 엠브이텍 글라스 결함 검사 장치, 검사 방법 및 검사 시스템
KR20190134103A (ko) * 2018-05-24 2019-12-04 (주)쎄미시스코 챔버에서의 결함 검사 시스템 및 그 방법
CN108709859A (zh) * 2018-06-26 2018-10-26 华南理工大学 用于曲面玻璃视觉检测的通用型夹具及检测方法
CN108709859B (zh) * 2018-06-26 2023-11-07 华南理工大学 用于曲面玻璃视觉检测的通用型夹具及检测方法
JP2020003469A (ja) * 2018-06-29 2020-01-09 キヤノントッキ株式会社 基板検査システム、電子デバイスの製造装置、基板検査方法、及び電子デバイスの製造方法
KR20200018942A (ko) * 2018-08-13 2020-02-21 강구만 유리 외관 촬영장치 및 유리 외관 검사시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR101779974B1 (ko) 2017-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101779974B1 (ko) 글래스 크랙 검사 시스템
JP5190405B2 (ja) ガラス表面の異物検査装置及びその方法
KR101177299B1 (ko) 평판 유리 표면 이물질 검사 장치
KR100399507B1 (ko) 반사표면코팅부에있는결함을인식평가하는방법
EP1943502B1 (en) Apparatus and methods for inspecting a composite structure for defects
JP5583102B2 (ja) ガラス基板の表面不良検査装置および検査方法
CN107796825B (zh) 器件检测方法
US20130128026A1 (en) Image processing device for defect inspection and image processing method for defect inspection
WO2010024082A1 (ja) 欠陥検査システムおよび欠陥検査方法
TW201502498A (zh) 檢查系統
KR102580389B1 (ko) 유리 시트 검사 장치 및 방법
JP3595226B2 (ja) ガラス板のエッジ欠陥検出方法及び同検出装置
US20200378899A1 (en) Glass processing apparatus and methods
JP4747602B2 (ja) ガラス基板検査装置および検査方法
JP2015105930A (ja) 透光性基板の微小欠陥検査方法および透光性基板の微小欠陥検査装置
JP2005214980A (ja) ウエハのマクロ検査方法および自動ウエハマクロ検査装置
JP2010048602A (ja) プリント基板検査装置及び検査方法
JPH10148619A (ja) 検査基体の面欠陥検査方法及び装置
WO2009142346A1 (en) Glass waviness inspection device and inspection method thereof
KR20180136421A (ko) 결함 검출 시스템 및 방법
WO2012153718A1 (ja) ガラスシートの端面検査方法、及びガラスシートの端面検査装置
CN110646432A (zh) 玻璃裂纹检查系统及方法
KR102558405B1 (ko) 반도체 웨이퍼 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법
US20240288376A1 (en) Curved substrate bubble detection method and detection system
KR102495565B1 (ko) 광학 표시 패널의 손상 검사 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right