KR100892610B1 - 카세트내의 기판 유무 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 카세트내의 기판 적재 여부를 검사하는 기판 유무 검사 장치에 관한 것이다. 상기 기판 유무 검사 장치는 소정의 공정 장비에 고정 장착되는 제1 본체부, 및 상기 제1 본체부와 마주보는 위치에 장착되어 상기 제1 본체부로부터 방사되는 신호를 수신할 수 있는 제2 본체부를 구비한다. 상기 제1 본체부는 적어도 하나 이상의 발광 소자들로 이루어지는 투광부, 및 상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어하는 투광 제어부를 포함한다. 상기 제2 본체부는 상기 투광부로부터의 신호를 감지하는 적어도 하나 이상의 감지 센서들로 이루어지는 수광부, 및 상기 수광부의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 이용하여 카세트의 각 채널에 기판이 존재하는지 여부를 판단하고, 판단 결과 데이터들을 외부로 전송하는 수광 제어부를 포함한다. 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 공정 장비상에 고정 장착되어 동작되므로 별도의 구동 장치가 필요치 아니하며, 또한 전체적으로 구조가 간단하고 검사 장치를 카세트내로 이동시키기 위한 별도의 구동 시간이 필요치 않을 뿐만 아니라, 투,수광 센서를 이용함으로써 투과율과 정반사율이 높은 투명그라스에서도 안정적인 검출이 가능하게 된다.

LCD, 기판, 카세트

Description

카세트내의 기판 유무 검사 장치{APPARATUS FOR SENSING GLASS SUBSTRATES IN A CASSETTE}

도 1 및 도 2는 종래의 기술에 따른 기판 유무 검사 장치를 개략적으로 도시한 정면도 및 측면도이다.

도 3은 종래의 기술에 따른 기판 유무 검사 장치가 장착된 공정 장비에서의 기판 유무 검사 장치의 동작 상태를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치를 도시한 사시도이다.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치가 공정 장비에 장착된 상태를 도시한 구성도이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치를 도시한 사시도이다.

도 7은 도 6의 기판 유무 검사 장치가 공정 장비에 장착된 상태를 도시한 구성도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

40, 80 : 제1 본체부

42, 82 : 투광부

44, 84 : 투광 제어부

50, 90 : 제2 본체부

52, 92 : 수광부

54, 94 : 수광 제어부

60 : 공정 장비

70 : 카세트

72 : 채널

74 : 기판

본 발명은 카세트내의 유리 기판의 유무를 감지하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 액정 표시 장치(LCD)의 제조 공정에 사용되는 것으로서, 카세트내에 유리 기판이 탑재되어 있는지 여부를 감지하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치는 기판으로서 유리(Glass) 기판을 사용하게 되는데, 액정 표시 장치를 제조하는 공정에서는 카세트에 여러장의 유리를 적재하여 다음공정으로 이동시키거나, 또는 소정의 공정에 유리판을 투입하여 소정의 작업을 시행하게 된다. 또한 소정의 공정작업이 이루어진 기판에 대하여도 다시 카세트에 적재하여 다음 공정을 준비하게 된다. 이러한 과정은 통상 로봇팔을 이용하여 소정의 카세트에 유리기판을 적재하거나 추출하게 된다.

로봇팔 또는 다른 방법에 의하여 카세트에 유리기판을 적재 또는 추출하기 전에 반드시 카세트 내의 해당 채널에 유리 기판이 존재하는지 여부를 먼저 확인하여야 한다. 이러한 카세트내의 각 채널에 유리기판의 존재 여부를 판단하는 목적의 센서를 통상 맵핑센서(mapping sensor)라고 하며, 맵핑센서는 각 채널의 유리기판의 유.무 센싱정보를 상위 컨트롤러에 보내 주며, 상위 컨트롤러에서는 이 정보를 바탕하여 각 채널에 유리기판을 적재 또는 추출하게 한다. 만약 잘못된 맵핑 정보에 의하여, 유리기판이 있는 채널에 다시 유리기판을 적재하게 되는 경우, 유리 기판이 파손된다. 이 경우, 해당 유리 기판만이 파손되는 것이 아니라 통상 해당 카세트내에 적재된 유리기판들이 모두 파손되므로, 공정상의 대형 트러블이 발생하게 된다. 만약 유리기판이 존재하지 않는 채널로부터 유리기판을 추출하려고 하는 경우, 공정상의 타임 로스(loss) 또는 미스매칭(mismatching)이 발생하게 된다. 따라서 전술한 맵핑센서는 LCD 제조 공정 등 박판처리 공정에 있어서 매우 중요하며, 안정적인 검출능력을 갖추어야 한다.

종래 LCD 생산라인에 적용되는 맵핑센서는 크게 2가지 타입이 있다.

LCD 생산 라인의 초기에는 '엘리베이터 방식'이라고 불리우는 방식을 많이 사용하였는데, 이는 레이져를 사용한 하나의 센서를 상하로 이동시키면서 유리기판의 측면을 검지하는 방식이다. 이러한 검출 방식에서는 센서를 상하로 이동하는 시간이 많이 걸리고, 진동등에 의하여 검출이 불안한 경우가 많이 발생하였으며, LCD의 유리기판의 크기가 커짐에 따라서 점차 적용하기가 어렵게 되었다. 따라서 전술한 엘리베이터 방식의 검출 방식은 8,9년 전부터 새로이 신설되는 LCD 생산 라 인에서는 거의 적용되지 못하게 되었다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 빗살형 타입의 센서를 이용하는 맵핑센서의 주종을 이루게 되었다. 이하, 현재 LCD생산라인 맵핑센서의 주종을 이루고 있는 빗살형 타입의 맵핑센서를 설명한다.

도 1과 도 2는 종래의 빗살형 타입의 센서를 이용하는 기판 유무 검사 장치(10)를 도시한 정면도와 단면도이며, 도 3은 소정의 공정 장비에 로딩(loading)된 카세트내의 각 채널에 탑재된 기판의 유무를 확인하기 위하여 종래의 기판 유무 검사 장치가 동작되는 과정을 도시한 도면이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 종래의 기판 유무 검사 장치(10)는 공정 장비내에서 이동 가능하게 설치되는 수직한 타워 형태의 본체부(1)과, 상기 본체부(1)의 일측면을 따라 돌출된 형상으로 이루어지며, 상기 본체부의 상하 방향을 따라 서로 일정거리 이격되어 고정 배치된 복수 개의 검출부(2)와, 상기 각 검출부(2)의 상부면 끝단의 개구된 창을 통하여 빛을 발광하고 반사된 빛을 수광하도록 설계된 광학부(3)로 구성된다.

본체부(1)의 내부에는 각 검출부로의 전원 공급 등의 부분과 각 검출부로부터 검출된 신호를 각 채널별로 출력해주는 부분이 설치되어 있다.

전술한 구성을 갖는 종래의 기판 유무 검사 장치(10)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 공정 장비(5)의 구동부(8)상에 장착된다. 그리고, 다수 개의 유리 기판(6)이 각 채널에 적재된 카세트(4)가 상기 공정 장비(5)에 로딩되면, 상기 구동부(8)가 화살표의 방향으로 이동함에 따라 상기 기판 유무 검사 장치(10)는 상기 카세트(4) 쪽으로 이동하며, 상기 기판 유무 검사 장치(10)의 각 검출부(2)는 카세트의 일측면의 개방된 부분을 통해 카세트내의 각 채널 내부로 진입하게 된다. 그 결과, 각 검출부는 카세트의 각 채널에 적재된 각각의 유리 기판(6)의 사이 사이에 유리와 일정 거리 이상의 검출 거리를 두고 위치하게 된다. 이 경우, 반사형 센서의 검출 거리의 한계로 인하여 투과율이 높은 박형 투명 그라스의 경우에는 검출 거리가 20mm를 넘기 어렵다.

다음, 각 검출부(2)의 끝단에 위치한 광학부(3)를 통하여 카세트내의 해당 채널에 기판이 존재하는지 여부를 감지하고, 감지 결과를 기판 이송 장치에 대한 제어 장치로 전송한다. 상기 기판 유무 검사 장치로부터 기판 유무 감지 결과를 전송받은 제어 장치는 해당 정보를 이용하여 특정 채널에 대하여 유리 기판의 적재 또는 추출하는 기판 이송 장치의 작동을 제어한다.

그런데, 종래의 구성을 갖는 기판 유무 검사 장치(10)는 카세트내로 이동시키기 위하여 공정 장비에 별도의 구동부가 장착되어야 하므로 전체적인 구조가 복잡해지며, 공정 장비내에서 구동부가 이동될 수 있는 공간이 확보되어야 하는 문제점이 있다. 또한, 검출부와 광학부를 카세트 내부로 이동시켜 검출을 한 후 다시 원래 위치로 이동시켜야 하므로, 소정의 구동 시간이 소요되는 문제점이 있다.

전술한 방식의 검출 메카니즘은 전적으로 반사되어 입사되는 광량에 의존하게 되므로 주변의 타 요소에 의한 영향으로 오 검출의 우려가 있었다. 예컨대, 한 채널 위에 위치한 유리기판이 특히 표면의 광택이 높은 유리 기판(예컨대, sputter glass )인 경우, 하부의 채널에서 유리기판이 있는 것으로 판단하게 되어 오검출 우려가 발생하게 된다.

또한, 상기 기판 유무 검사 장치를 장기간 사용하는 경우, 광케이블의 열화나 주위 환경에 의해 광센서(3)의 감도가 떨어지게 됨으로써, 상기 기판 유무 검사 장치는 카세트내의 특정 채널에 유리 기판이 존재함에도 불구하고 해당 채널의 유리 기판을 제대로 감지하지 못하게 되는 문제점이 발생하게 된다.

또한 정반사율이 매우 높은 종류의 유리기판의 경우 각도에 민감하게 반응하여 진동이나, 그라스의 휨 등의 현장의 상황에 의하여 때로 잘못된 검출을 하는 경우가 있다. 따라서 LCD등의 현장에서는 오래전부터 이러한 문제점을 해결할 수 있는 고정된 투.수광 타입의 매핑센서에 대힌 요구가 있었다.

오래 전부터 산업용 센서(특히 광센서 분야)에서는 2가지 방식의 판단 메커니즘을 사용하여 왔다. 그 첫 번째 방법은 처음부터 특정레벨의 전기적 기준 값을 정하여 놓고 이 기준값보다 입력레벨이 높은가 또는 낮은가에 따라 물체의 유무를 판단하는 방식이다. 두 번째 방법은 현장에 센서를 설치한 상태에서 초기 세팅시에 기준값을 매뉴얼 티칭(manual teaching) 또는 오토티칭(auto teaching)으로 기준 레벨을 결정하여 기억하게 하고 이 기준레벨보다 입력 레벨이 높은가 또는 낮은가에 따라 물체의 유무를 판단하는 방식이다. 이 두가지 방식을 기초로 하여 약간의 부가적 기능을 추가하여 정밀도를 높여주는 방식이었다. 물론 현재의 엘리베이터 방식이나 빗살형 방식 모두 이 두 가지 방법을 이용하여 광학계나 회로적인 부분을 조정함으로써 소정의 목적을 달성하고 있다.

그러나, 전술한 종래의 모든 방식들은 투과율 및 반사율에 매우 크게 영향을 받게 되어, 투명유리 및 여러 가지 표면 상태가 다른 유리기판이 존재하는 LCD 생산라인에 사용될 투.수과형 방식의 맵핑센서를 제작하는 것은 거의 불가능한 것으로 인식되어 왔다.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 구조가 간단하고 투,수광 센서를 이용하여 별도의 구동부가 필요하지 않은 고정 방식의 기판 유무 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 광센서의 광 레벨이나 장시간 사용으로 인한 발광 또는 수광 소자의 열화에 영향을 적게 받으며, 카세트내의 각 채널에 적재된 유리 기판의 존재 유무를 정확하게 판별할 수 있는 기판 유무 검사 장치를 제공하는 것이다.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징은 카세트가 로딩되는 공정 장비에 장착되어 상기 카세트내의 각 채널에 기판이 적재되었는지 여부를 검사하는 기판 유무 검사 장치에 관한 것으로서,

상기 기판 유무 검사 장치는 상기 공정 장비에 고정 장착되는 제1 본체부, 및 상기 제1 본체부로부터 방사되는 신호를 수신할 수 있는 상기 공정 장비의 제1 본체부와 대향되는 소정의 위치에 고정 장착되는 제2 본체부를 구비하며,

상기 제1 본체부는

적어도 하나 이상의 발광 소자들로 이루어지는 투광부, 및

상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어하는 투광 제어부를 포함하며,

상기 제2 본체부는

상기 투광부로부터의 신호를 감지하는 적어도 하나 이상의 감지 센서들로 이루어지는 수광부, 및

상기 수광부의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 적정한 수준의 전기적 신호 레벨로 증폭하는 증폭부 및 각 채널 광축의 레퍼런스 레벨과 데이터 레벨을 비교하는 신호 비교부 및 상기 신호 비교부의 비교 결과에 따른 신호를 이용하여 카세트의 각 채널에 기판이 존재하는지 여부를 판단하고, 판단 결과 데이터들을 외부로 전송하는 수광 제어부를 포함한다.

전술한 특징을 갖는 기판 유무 검사 장치의 상기 제1 본체부의 투광부를 구성하는 각 발광 소자는 카세트내 각 채널에의 유리기판이 놓이는 위치보다 상부에 위치하도록 상기 제1 본체부의 일측면에 순차적으로 장착되며,

상기 제2 본체부의 수광부를 구성하는 각 감지 센서는 카세트내 각 채널에 유리기판이 놓이는 위치보다 하부에 위치하도록 상기 제2 본체부의 일측면에 순차적으로 장착되며,

상기 투광부의 발광 소자는 상기 발광 소자가 감지할 채널을 관통하는 방향으로 방사되며, 상기 수광부의 감지 센서는 상기 해당 채널을 관통하는 신호를 감지함으로써, 해당 채널에 기판이 적재되었는지 여부를 검사하는 것이 바람직하다.

한편, 전술한 특징을 갖는 기판 유무 검사 장치의 제1 본체부의 투광부를 구성하는 각 발광 소자는 상기 제1 본체부의 일측면에 장착시키되, 카세트내의 각 채 널의 상부 또는 하부에 선택적으로 위치시키고,

상기 제2 본체부의 수광부를 구성하는 각 감지 센서는 상기 투광부의 발광 소자로부터 신호를 수신할 수 있는 제2 본체부의 일측면에 장착시키되, 발광 소자로부터의 광선이 해당 채널의 유리 기판을 관통한 후 수광할 수 있는 상부 또는 하부에 위치시킨다.

상기 제2 본체부의 수광부를 구성하는 각 감지 센서는 상기 투광부의 발광 센서로부터의 신호를 수신할 수 있는 제2 본체부의 일측면에 장착시키되, 카세트내의 각 채널의 상부 및 하부에 모두 위치시키고,

상기 제2 본체부의 수광 제어부는 카세트의 특정 채널의 상부에 위치한 수광부의 감지센서가 감지한 신호의 크기와 해당 채널의 하부에 위치한 수광부의 감지센서가 감지한 신호를 각각 독립적으로 증폭하고 소정의 신호 변조를 한 후 두 개의 신호의 크기를 비교하고, 신호의 크기가 일정값 이상 차이가 있는 경우에는 해당 채널에 대한 기판의 적재 유무를 판단할 수 있다.

바람직한 제1 실시예

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 카세트내의 기판 유무 검사 장치의 구성 및 동작을 구체적으로 설명한다.

도 4는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치를 전체적으로 도시한 사시도이며, 도 5는 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치의 사용 상태를 설명하기 위하여 상기 기판 유무 검사 장치가 장착된 공정 장비 및 상기 공정 장비에 로딩된 카세트를 전체적으로 도시한 구성도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치는 카세트(70)가 로딩되는 공정 장비(60)에 장착되어 카세트(70)내의 각 채널(72)에 기판(74)이 적재되었는지 여부를 검사하는 장치로서, 상기 기판 유무 검사 장치는 상기 공정 장비에 고정 장착되는 제1 본체부(40), 및 상기 제1 본체부로부터 방사되는 신호를 수신할 수 있는 소정의 위치에 고정 장착되는 제2 본체부(50)로 이루어진다.

상기 제1 본체부(40)는 투광부(42) 및 투광 제어부(44)를 포함하는데, 상기 투광부(42)는 적어도 하나 이상의 발광 소자들로 이루어지며, 상기 투광 제어부(44)는 상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어한다. 상기 투광부(42)의 발광 소자들은 카세트(70)의 각 채널(72)의 상부에 위치하도록 배치된다.

상기 제2 본체부(50)는 수광부(52) 및 수광 제어부(54)를 포함한다. 상기 수광부(52)는 상기 투광부(42)로부터의 신호를 감지하는 적어도 하나 이상의 감지 센서들로 이루어지며, 상기 감지 센서들은 상기 카세트(70)의 각 채널(72)의 하부에 각각 배치된다. 상기 수광 제어부(54)는 상기 수광부의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 이용하여 카세트의 각 채널에 기판이 존재하는지 여부를 판단하고, 판단 결과 데이터들을 외부의 기판 이송 장치의 제어 장치로 전송한다.

한편, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 본체부(40)의 투광부(42)를 구성하는 각 발광 소자들은 카세트(70)의 각 채널(72)의 상부에 위치하도록 상기 제1 본체부(40)의 일측면에 순차적으로 장착된다. 또한, 상기 제2 본체부(50)의 수광부(52)를 구성하는 각 감지 센서들은 카세트(70)의 각 채널(72)의 하부에 위치 하도록 상기 제2 본체부의 일측면에 순차적으로 장착된다. 그리고, 상기 투광부의 발광 소자들이 장착되는 면과 상기 수광부의 감지 센서들이 장착되는 면은 서로 마주보도록 배치함으로써, 상기 기판 유무 검사 장치의 제2 본체부(50)의 감지 센서들이 제1 본체부(40)로부터 방사되는 신호를 정확하게 감지할 수 있도록 한다.

또한, 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치의 제1 본체부(40)의 투광 제어부(44)는 투광부를 구성하는 각 발광 소자들을 순차적으로 작동시키고, 각 발광 소자에 대응되는 제2 본체부(50)의 감지 센서들이 해당 채널을 통과하는 신호들을 순차적으로 감지함으로써, 카세트내의 모든 채널들을 순차적으로 검사하게 된다. 또한, 상기 투광부(42)의 발광 소자는, 도 4에 도시된 화살표 방향과 같이, 상기 발광 소자가 감지할 채널을 관통하는 방향으로 방사되며, 상기 수광부(52)의 감지 센서는 상기 해당 채널을 관통하는 신호를 감지하게 된다.

한편, 수광부(52)의 수광 제어부는 감지 센서가 감지한 신호 레벨과 사전에 기설정된 기준 레벨을 비교하고, 신호 레벨이 기준 레벨보다 일정값 이상의 차이가 있는 경우에는 해당 채널에 유리 기판이 존재하는 것으로 판단하며, 판단 결과 데이터들을 외부의 기판 이송 장치의 제어 장치로 전송한다.

그 결과, 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 종래의 기판 유무 검사 장치에서 센서를 카세트내로 삽입하기 위하여 사용하였던 검출부가 장착될 필요가 없다. 또한, 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 검출부를 카세트내로 삽입시킬 필요가 없기 때문에, 공정 장비에 고정시켜 사용할 수 있으며, 그 결과 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 카세트 방향으로 이동시키기 위한 별도의 구동부가 필 요없다.

상기 투광부 및 수광부는 각 채널의 신호가 순차적으로 발광 및 수광하도록 하는 전자적인 스위치가 내장되어 순차적으로 작동하는 스캔 방식을 채택할 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치에 있어서, 투광부의 발광 센서를 채널의 하부에 설치하고, 수광부의 감지 센서를 채널의 상부에 설치할 수도 있다. 이경우 각 투광 제어부와 수광 제어부의 동작은 전술한 바와 동일하다.

제2 실시예

이하, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치의 구성 및 동작을 설명한다. 도 6은 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치를 전체적으로 도시한 사시도이며, 도 7은 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치의 사용 상태를 구체적으로 설명하기 위하여 상기 기판 유무 검사 장치가 장착된 공정 장비를 전체적으로 도시한 구성도이다. 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치의 구성 중 전술한 실시예와 중복되는 설명은 생략한다.

본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치의 제1 본체부(80)의 투광부(82)를 구성하는 발광 소자들은 상기 제1 본체부(80)의 일측면에 장착시키되, 카세트내의 각 채널의 상부 또는 하부에 선택적으로 위치시킨다. 또한, 제2 본체부(90)의 수광부(92)를 구성하는 감지 센서들은 상기 투광부(82)의 발광 센서로부터의 신호를 수신할 수 있는 제2 본체부의 일측면에 장착시키되, 카세트내의 각 채널의 상부 및 하부에 모두 위치시킨다. 따라서, 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치는 카세트 의 채널수와 동일한 갯수의 발광 소자들이 투광부(82)에 장착되며, 카세트의 채널수의 두배에 해당하는 갯수의 감지 센서들이 수광부(92)에 장착된다.

한편, 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 본체부(90)의 각 채널의 상. 하에 각각 설치된 감지 센서에 있어서, 해당 채널에 해당하는 제 1본체부의 발광소자의 발광 광선에 대하여, 유리 기판을 관통하지 않는 위치에 있는 하나의 감지 센서로부터 유기되는 전기신호는 참조신호(reference signal)가 되며, 유리기판을 관통하는 위치에 놓이는 하나의 감지 센서로부터 유기되는 전기신호는 데이터신호(data signal)가 된다. 상기 제2 본체부의 수광 제어부(94)는 각각의 채널로부터 유기되어 나오는 참조신호와 데이터 신호를 증폭시킨 후 두 신호의 크기를 비교하여, 두 신호의 차이가 소정의 값 이상이 되면 해당 채널에 유리 기판이 존재하는 것으로 판단하고, 두 신호의 차이가 소정의 값 이하가 되면 해당 채널에 유리기판이 존재하지 않는 것으로 판단한 후, 각 채널의 유리기판 유무의 판단 결과를 외부의 기판 이송 장치에 대한 제어 장치로 송신하게 된다.

제3 실시예

한편, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치는 수광부 및 투광부가 카세트의 채널수와 동일한 갯수의 감지 센서 및 발광 소자들로 이루어지도록 한다. 본 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치는 상기 제 2 본체부의 각 채널에 대하여 하나씩의 수광 소자만을 설치하고도 각각의 채널에 대하여 상기한 참조신호와 데이터 신호를 만들 수 있다. 가령 2번째의 채널의 발광 소자가 발광할 때 수광부에서는 2번째 채널과 세 번째 채널의 감지 센서를 각각 데이터 신호와 참조 신호로 판단하고, 다음 3번째 투광신호가 발광할때에는 3번째와 4번째 감지 센서를 각각 데이터 신호와 참조 신호로 판단하게 한다. 즉 수광부의 각각의 감지 센서는 투광소자의 순차적인 발광에 대하여 한번은 데이터신호, 다음번은 참조신호로 작용하게 회로를 구성할 수 있다. 이렇게 함으로써 채널간의 간격이 좁을 때 또는 수광소자의 수를 줄임으로써 경제적으로 센서를 제작할 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 유무 검사 장치는 투광부의 발광 소자를 대신하여 초음파 신호를 출력하는 초음파 센서를 사용하며, 상기 수광부의 감지 센서는 초음파 신호를 감지하는 센서를 사용할 수도 있다.

이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에서, 발광 소자와 감지 센서의 종류, 투광 제어부와 수광 제어부의 제어 알고리즘, 센서의 동작 레벨을 나타내기 위한 여러 가지 표시 방법 등은 기판 유무 검사 장치의 전체 성능을 향상시키기 위하여 다양하게 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고, 발광부 및 수광부의 창에 렌즈를 장착함으로써 본 센서의 광학적 특성을 향상시킬 수도 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

반사형 센서를 사용하는 종래의 기판 유무 검사 장치와는 달리, 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 카세트의 양 측면에 설치된 투,수광 센서를 사용함으로써, 카세트내로 센서를 삽입하기 위한 별도의 센서 브라켓 또는 센서검출부가 없으므로, 센서 브라켓이나 센서 검출부가 파손될 염려가 없다.

또한, 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 공정 장비에 고정시켜 작동되므로, 종래의 기판 유무 검사 장치에서 필요했던 별도의 구동 장치가 필요없게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 구동 장치가 없기 때문에 전체적으로 구조가 매우 간단하며, 기판 유무 검사 장치를 카세트 근처로 이동시키기 위한 구동 시간이 소요되지 않으므로 공정을 신속하게 진행시킬 수 있게 된다. 또한, 본 발명에 따른 기판 유무 검사 장치는 고정된 상태에서 동작하므로, 공정 장비에 별도의 구동 장치가 구동될 수 있는 공간을 확보할 필요가 없게 된다. 또한 본 발명에 따른 기판유무 검사 장치는 참조신호와 데이터신호를 비교하는 새로운 검출 방식을 고안함으로써 기존의 투.수과형 센서의 검출 불안정성을 확실하게 개선하게 되어 투명유리기판, 스퍼터유리기판 등 투명도 및 고 정반사 표면의 유리기판 등에도 안정적으로 적용할 수 있게 되었다.

Claims (9)

1. 카세트의 각 채널에 유리 기판이 적재되었는지 여부를 검사하는 기판 유무 검사 장치에 있어서,

   상기 기판 유무 검사 장치는 소정의 공정 장비에 고정 장착되는 제1 본체부, 및 상기 제1 본체부와 대향되는 위치에 고정 장착되어 상기 제1 본체부로부터 방사되는 신호를 수신하는 제2 본체부를 구비하며,

   상기 제1 본체부는 카세트의 각 채널에 대응되도록 배치되는 다수 개의 발광 소자들로 이루어지는 투광부, 및 상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어하는 투광 제어부를 포함하며,

   상기 제1 본체부의 투광부의 발광 소자들은 상기 제1 본체부의 일측면에 장착시키되, 카세트내의 각 채널의 상부 또는 하부에 선택적으로 위치시키는 것을 특징으로 하며,

   상기 제2 본체부는 상기 투광부로부터의 신호를 감지하는 다수 개의 감지 센서들로 이루어지는 수광부, 및 상기 수광부의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 이용하여 카세트의 각 채널에 기판이 존재하는지 여부를 판단하고, 판단 결과 데이터들을 외부로 전송하는 수광 제어부를 포함하며, 상기 제2 본체부의 수광부의 감지 센서들은 상기 투광부의 발광 센서로부터의 신호를 수신할 수 있는 제2 본체부의 일측면에 장착시키되, 카세트내의 각 채널의 상부 및 하부에 모두 위치시키며,

   상기 제2 본체부의 수광 제어부는 카세트의 특정 채널의 상부에 위치한 수광부의 감지센서가 감지한 제1 신호의 크기와 해당 채널의 하부에 위치한 수광부의 감지센서가 감지한 제2 신호의 크기를 비교하고, 비교된 신호의 차이값이 사전에 설정된 일정값 이상인 경우에는 해당 채널에 기판이 존재한다고 판단하고, 차이값이 일정값보다 작은 경우 해당 채널에 기판이 존재하지 않는다고 판단하며,

   상기 제1 본체부의 투광 제어부는 상기 투광부의 발광 소자들을 순차적으로 작동시켜 카세트내의 기판 유무를 각 채널별로 순차적으로 검사하는 것을 특징으로 하는 카세트내의 기판 유무 검사 장치.
2. 카세트의 각 채널에 유리 기판이 적재되었는지 여부를 검사하는 기판 유무 검사 장치에 있어서,

   상기 기판 유무 검사 장치는 소정의 공정 장비에 고정 장착되는 제1 본체부, 및 상기 제1 본체부와 대향되는 위치에 고정 장착되어 상기 제1 본체부로부터 방사되는 신호를 수신하는 제2 본체부를 구비하며,

   상기 제1 본체부는 다수 개의 발광 소자들로 이루어지는 투광부, 및 상기 투광부의 발광 소자들의 동작을 제어하는 투광 제어부를 포함하며, 상기 제1 본체부의 투광부의 발광 소자들은 카세트의 각 채널의 상부 또는 하부에 위치하도록 상기 제1 본체부의 일측면에 순차적으로 장착되는 것을 특징으로 하며,

   상기 제2 본체부는 상기 투광부로부터의 신호를 감지하는 다수 개의 감지 센서들로 이루어지는 수광부, 및 상기 수광부의 감지 센서들에 의해 감지된 신호를 이용하여 카세트의 각 채널에 기판이 존재하는지 여부를 판단하고, 판단 결과 데이터들을 외부로 전송하는 수광 제어부를 포함하며, 상기 제2 본체부의 수광부의 감지 센서들은 카세트내의 각 채널의 하부 또는 상부에 위치하도록 상기 제2 본체부의 일측면에 순차적으로 장착되는 것을 특징으로 하며,

   상기 제2 본체부의 수광 제어부는 제1 본체부의 특정 채널의 발광소자의 발광에 대하여 해당 채널에 대응하는 감지 센서가 감지한 제1 신호 및 상기 채널의 상부 또는 하부 채널에 설치되어 있는 감지 센서가 감지한 제2 신호를 검출하고, 검출된 제1 신호 및 제2 신호의 크기를 비교하고, 제1 및 제2 신호의 차이가 소정값 이상인 경우에는 해당 채널에 기판이 존재한다고 판단하며,

   상기 제1 본체부의 투광 제어부는 상기 투광부의 발광 소자들을 순차적으로 작동시켜 카세트내의 기판 유무를 각 채널별로 순차적으로 검사하는 것을 특징으로 하는 카세트내의 기판 유무 검사 장치.
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