JP2023114977A - 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に対する塗布液の塗布に関して、利便性が高い基板処理装置を提供すること。
【解決手段】レジスト塗布装置１は、基板Ｗを保持して回転させるスピンチャック１２ａと、スピンチャック１２ａに保持された基板Ｗを囲むようにして配置されたカップ２１ａと、基板Ｗに対して塗布液を吐出可能に構成された塗布液ノズル４１と、を備える。また、レジスト塗布装置１は、除去液ノズル５０ａと、塗布液ノズル４１を保持するノズルアーム１３３に取り付けられることにより塗布液ノズル４１に追従して移動し、塗布液ノズル４１を撮像可能に構成されたノズル追従カメラ６０と、を備える。更に、レジスト塗布装置１は、スピンチャック１２ａ上の処理空間を撮像可能に構成された処理空間用カメラと、を備える。
【選択図】図１

Description

本開示は、基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体に関する。

特許文献１には、基板に塗布液を塗布する装置において、基板のロットの切り替え時に、次ロットの基板の処理に速やかに移行することができる技術が開示されている。

特開２０１２－１４２３８１号公報

本開示は、基板に対する塗布液の塗布に関して、利便性が高い基板処理装置を提供する。

本開示の一側面に係る基板処理装置は、基板を保持して回転させる回転保持部と、回転保持部に保持された基板を囲むようにして配置されたカップと、基板に対して塗布液を吐出可能に構成された塗布液ノズルと、基板に対して該基板の周縁部の膜除去用の除去液を吐出可能に構成された除去液ノズルと、塗布液ノズルを保持するノズルアームに取り付けられることにより塗布液ノズルに追従して移動し、塗布液ノズルを撮像可能に構成されたノズル追従カメラと、回転保持部上の処理空間を撮像可能に構成された処理空間用カメラと、を備える。

本開示によれば、基板に対する塗布液の塗布に関して、利便性が高い基板処理装置を提供することができる。

本実施形態に係るレジスト塗布装置の平面図である。 図１に示されるレジスト塗布装置の概略構成を示す図である。 図１に示されるレジスト塗布装置の縦断側面図である。 図１に示されるレジスト塗布装置の縦断側面図である。 図１に示されるレジスト塗布装置の縦断側面図である。 多方向からの塗布液ノズルの撮像を説明する図である。 除去液ノズル用待機バス及びバスカメラの概略構成を示す図である。 制御部のハードウェア構成を例示する模式図である。 変形例に係る第２待機バスに関する構成を説明する図である。 変形例に係る第２待機バスに関する構成を説明する図である。 変形例に係る第２待機バスに関する構成を説明する図である。 変形例に係るカップ引き出し構造の斜視図である。 変形例に係るレジスト塗布装置の平面図である。 図１３に示されるレジスト塗布装置の縦断側面図である。 変形例に係るカップ交換の動作フローを示す図である。

図１は、本実施形態に係るレジスト塗布装置１の平面図である。レジスト塗布装置１は、基板に対し、感光性被膜の形成、当該感光性被膜の露光、及び当該感光性被膜の現像を施す基板処理システムに含まれる装置（基板処理装置）である。処理対象の基板としては、半導体ウエハ、ガラス基板、マスク基板、又はＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）等が挙げられる。基板は、半導体ウエハ等の上に、前段の処理において被膜等が形成されたものも含む。レジスト塗布装置１は、基板処理システムに含まれる露光装置（不図示）による露光処理の前に、基板の表面にレジスト膜を形成する処理を行う。より具体的には、レジスト塗布装置１は、レジスト膜形成用の塗布液を基板の表面に供給し、上記ベーク前レジスト膜を形成する。また、レジスト塗布装置１は、基板の表面にベーク前レジスト膜を形成した後に、基板の周縁部に除去液を供給することで、ベーク前レジスト膜の周縁部を除去する。

レジスト塗布装置１は、図１に示されるように、２つの塗布処理部１ａ，１ｂと、ノズルユニット４０と、第１待機バス８０（塗布液ノズル用待機バス）と、移動機構３と、を備える。更に、レジスト塗布装置１は、２つの除去液ノズル５０ａ，５０ｂと、２つの第２待機バス９０ａ，９０ｂ（除去液ノズル用待機バス）と、ノズル追従カメラ６０と、２つの処理空間用カメラ７０ａ，７０ｂと、を備える。更に、レジスト塗布装置１は、２つのバスカメラ９５ａ，９５ｂと、排気ダクト１１０と、制御部７（図２参照）と、を備える。

２つの塗布処理部１ａ，１ｂは、互いに隣り合って並んで配置されている。塗布処理部１ａは、スピンチャック１２ａ（回転保持部）及びカップ２１ａ等を含んで構成されている。塗布処理部１ｂは、スピンチャック１２ｂ（回転保持部）及びカップ２１ｂ等を含んで構成されている。塗布処理部１ａ，１ｂは、互いに同様の構成とされているので、以下では図２を参照して、塗布処理部１ａのみを例に挙げて説明する。

塗布処理部１ａは、図２に示されるように、基板Ｗの裏面中央部を吸着して水平に保持すると共に基板Ｗを回転させる回転保持部であるスピンチャック１２ａを備えている。スピンチャック１２ａは、回転軸１３ａを介して回転駆動機構１４ａと接続されている。スピンチャック１２ａは、回転駆動機構１４ａを介して基板Ｗを保持した状態で鉛直軸回りに回転自在に構成されており、その回転軸上に基板Ｗの中心が位置するように設定されている。回転駆動機構１４ａは、制御部７からの制御信号を受けてスピンチャック１２ａの回転速度を制御する。

スピンチャック１２ａの周囲には、スピンチャック１２ａ上の基板Ｗを囲むようにして上方側に開口部２０ａを備えたカップ２１ａが設けられている。カップ２１ａの側周面上端側は内側に傾斜した傾斜部２２ａを形成している。カップ２１ａの底部側には例えば凹部状をなす液受け部２３ａが設けられている。液受け部２３ａは、隔壁２４ａにより基板Ｗの周縁下方側に全周に亘って外側領域と内側領域とに区画されている。外側領域の底部には貯留したレジストなどを排出するための排液口２５ａが設けられ、内側領域の底部には処理雰囲気を排気するための排気口２６ａが設けられている。

排気口２６ａには排気ダクト１１０の一端が接続されており、排気ダクト１１０の他端は、排気ダンパを介して工場の排気源（図１参照）に接続されている。このように、排気ダクト１１０は、カップ２１ａの排気口２６ａに接続されると共に排気源に接続されている。

カップ２１ａ内には、３本の昇降ピン１５ａが設けられている（図２では便宜上２本のみ表示している）。昇降ピン１５ａは、昇降機構１６ａにより昇降することで、レジスト塗布装置１に基板Ｗを搬送する図示しない基板搬送機構とスピンチャック１２ａとの間で基板Ｗの受け渡しを行うことができる。

ここで、カップ２１ａは、図３に示されるように、詳細には、カップベース２１ｙと、可動カップ部２１ｘとを有している。カップベース２１ｙは、可動カップ部２１ｘを支持する部分である。可動カップ部２１ｘは、取り外し可能な状態でカップベース２１ｙに載置されている。可動カップ部２１ｘは、カップ引き出し構造１２０によって引き出し可能に構成されている。

カップ引き出し構造１２０は、カップ昇降機１２１と、スライドレールを構成する第１レール１２２及び第２レール１２３と、カップ位置決め部１２５と、を有している。カップ昇降機１２１は、上下に移動することにより、スライドレール及びカップ位置決め部１２５を上下に移動させて、スライドレールに保持された可動カップ部２１ｘを昇降させる構成である。カップ位置決め部１２５は、スライドレールに保持された可動カップ部２１ｘの上方に位置し、可動カップ部２１ｘの位置決めを行う構成である。第１レール１２２及び第２レール１２３は、可動カップ部２１ｘを保持すると共に、所定の方向（詳細には作業者領域側）に延びることによって可動カップ部２１ｘを引き出し可能且つ押入れ可能に構成されたスライドレールである。第１レール１２２は、可動カップ部２１ｘを直接的に保持する構成である。第２レール１２３は、第１レール１２２を保持する構成である。カップ位置決め部１２５は、引き出される前の位置（通常位置）にある可動カップ部２１ｘに対し、その外側周方向で接触する円弧状の接触部を持つ。可動カップ部２１ｘよりも可動カップ部２１ｘを強固に固定可能なカップ固定機構（図示無し）が、第１レール１２２と第２レール１２３に設けられていてもよい。そのカップ固定機構は、例えば、第１レール１２２と第２のレールを相対的に固定する機構であって、ラッチといった物理的な固定部材や、電磁石などを用いた電気的制御による固定部材でもよい。このカップ固定機構がある場合、可動カップ部２１ｘを押し入れる作業の際は、カップ位置決め部による円弧状の接触で可動カップを水平方向と高さ方向の位置が大まかに規定される。そして、押し入れの後でカップ固定機構を用いて最終的に可動カップ部２１ｘが固定される様態となる。つまり、他部材への干渉による破損といった心配が少なく、カップを押し入れて設置し易くなる。

図４では、スライドレールを構成する第１レール１２２及び第２レール１２３が延びることによって可動カップ部２１ｘが作業者領域側に引き出される状態が示されている。なお、作業者領域とは、平面視した際の作業者側の領域（前側領域）であり、基板Ｗの搬送処理が行われる領域である搬送領域（後側領域）の反対側の領域である。図４に示されるように、可動カップ部２１ｘを引き出す場合には、最初に、可動カップ部２１ｘが収納されていた状態からカップ昇降機１２１が上昇し、つづいて、作業者領域側に第２レール１２３が延びる。更に、作業者領域側に第１レール１２２が延びることにより、可動カップ部２１ｘが作業者領域側に引き出される。このように、第１レール１２２及び第２レール１２３が２段階で延びることにより、可動カップ部２１ｘをより手前（作業者領域側）に引き出すことができ、可動カップ部２１ｘの引き出しに係る作業性を向上させることができる。

ノズルユニット４０は、後述する移動機構３のノズルアーム１３３の先端部に取り付けられている。ノズルユニット４０は、図２に示されるように、複数種類（例えば１０種類）のレジストを基板Ｗに対して吐出可能に構成された複数の塗布液ノズル４１を有する。また、ノズルユニット４０は、基板Ｗ上でレジストを広がりやすくする処理液（例えばシンナー）を吐出可能に構成された処理液ノズル４２を有する。塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２は、鉛直下方に開口した吐出口を有している。塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２から吐出された薬液は遠心力により基板Ｗの周縁部への展伸するいわゆるスピンコーティングによって基板Ｗの表面全体に塗布される。

塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２は、図２に示されるように、薬液供給ユニット４３から薬液の供給を受ける。薬液供給ユニット４３は、塗布液ノズル４１に供給する薬液が貯留されタンクと、タンク内を加圧して当該タンク内の薬液の塗布液ノズルへ送液するための送液機構と、を備えたレジスト供給機構４４を有している。レジスト供給機構４４は、塗布液ノズル４１と同じ数だけ設けられている。また、薬液供給ユニット４３は、処理液ノズル４２に供給する薬液が貯留されたタンクと、タンク内を加圧して当該タンク内の薬液を処理液ノズル４２へ送液するための送液機構と、を備えたシンナー供給機構６を有している。

塗布液ノズル４１とレジスト供給機構４４とを接続すると共に、処理液ノズル４２とシンナー供給機構６とを接続するように、薬液供給ライン４５が設けられている。薬液供給ライン４５には、バルブ４６を含む流量制御部４７が介設されている。制御部７からの制御信号に応じて各バルブ４６が開閉制御されることにより、各種類のレジスト及びシンナーが切り替えられて基板Ｗに供給される。

塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２の一次側には、ノズルヘッド３４内において、吐出バルブＶ及びサックバックバルブＳＶが、吐出側からこの順に直列に設けられている。吐出バルブＶ及びサックバックバルブＳＶは、例えば空気圧を動力として動作する。吐出バルブＶは、空気圧により各薬液供給ライン４５と各塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２との間にて流路の開閉を行う。サックバックバルブＳＶは、空気圧により動作するピストン機構により、容積及び薬液圧力を調整可能となっている。

なお、図３に示されるように、ノズルアーム１３３より作業者領域側には、塗布液ノズル４１用の配管這いまわしケーブルベア領域１６０と、補機搭載領域１５０とが設けられている。補機搭載領域１５０には、供給系用バルブや小型電装品が配置される。

排気ダクト１１０は、複数の処理空間を１つの排気源で共用して排気する場合は特に、排気性能を考慮してある程度の断面積が必要になる。もし、排気ダクト１１０をカップに対してノズルの移動機構３と同じ側に水平方向に並べて設けると、カップ引き出し構造１２０のカップ引出しに必要なストロークが伸びてこの機構自体の大型化や更なる強度改善設計が必要になるといった課題がある。排気ダクト１１０をノズルの移動機構または補機搭載領域１５０と縦に並べて配置するとカップ引出しに必要な経路への干渉または接近により、カップ引出しの作業性を損ねることに繋がる。このことは、内部空間をコンパクトにしてその内部を直接的に手作業でメンテナンスすることが困難になる基板処理装置において、必要な作業を成立させるために極力避けたい課題である。つまり、本基板処理装置では、カップ２１ａを挟んでノズルの移動機構３と反対側に排気ダクト１１０が配置されていることで、上記のような課題が解消される。

第１待機バス８０は、図１及び図５に示されるように、塗布液ノズル４１を含むノズルユニット４０の待機区域に設けられた待機用のバスである。第１待機バス８０は、例えば、２つの塗布処理部１ａ，１ｂの間の領域に設けられている（図１参照）。図５に示されるように、第１待機バス８０の上面の高さは、収納された状態の可動カップ部２１ｘの上面の高さと略同等又は少し高くされている。また、第１待機バス８０の上面の高さは、２つのカップ２１ａ，２１ｂ間におけるノズルユニット４０の移動経路の高さよりも低くされている。これにより、ノズルユニット４０の昇降ストロークを短くすることができ、レジスト塗布装置１の高さ方向のスペースを抑制することができる。

移動機構３は、ノズルユニット４０を保持して移動させる構成である。移動機構３は、図１に示されるように、ノズル移動軸１３１と、ノズル駆動部１３２と、ノズルアーム１３３と、水平移動部１３４と、を有している。

ノズルアーム１３３は、塗布液ノズル４１を含むノズルユニット４０を保持する保持部材である。ノズルアーム１３３は、その先端においてノズルユニット４０を保持している。ノズルアーム１３３は、図３等に示されるように、シリンダ・モータ等によって上下に昇降可能とされている。水平移動部１３４は、ノズルアーム１３３の基端に設けられており、ノズル移動軸１３１に沿って水平移動可能に構成されている。ノズル移動軸１３１は、作業者領域側において、２つの塗布処理部１ａ，１ｂの配列方向に沿って延びている。ノズル移動軸１３１は、水平移動部１３４の水平移動をガイドすることにより、該水平移動部１３４から延びるノズルアーム１３３の移動をガイドする。ノズル駆動部１３２は、例えばモータ等であり、ノズル移動軸１３１に沿って水平移動部１３４を移動させる。ノズル駆動部１３２は、制御部７からの制御信号に応じて水平移動部１３４の移動を制御する。

上述したようにノズル移動軸１３１が作業者領域側に配置されているのに対して、図１に示されるように、排気ダクト１１０は作業者領域とは反対側の搬送領域側に配置されている。すなわち、排気ダクト１１０とノズル移動軸１３１とが搬送領域側と作業者領域側とに分かれて配置されている。これにより、レジスト塗布装置１の高さ方向のスペースを抑制することができる。なお、排気ダクト１１０及びノズル移動軸１３１の位置関係は、互いに反対であってもよい。すなわち、排気ダクト１１０が作業者領域側及び搬送領域側の一方に配置されると共に、ノズル移動軸１３１が作業者領域側及び搬送領域側の他方に配置されていればよい。また、排気ダクト１１０は、図１に示す構成には限定されず、例えば、搬送側領域にてカップ２１ａ、２１ｂそれぞれの中央に対向する位置から分岐して各カップに向けて伸びるダクト分岐部（図示無し）がそれぞれのカップの排気口２６ａに接続されてもよい。また、その排気口２６ａが１つのカップにおいて複数設けられ、その排気口２６ａの個数に合う様にダクト分岐部から更に分岐されたものが複数の排気口２６ａのそれぞれに接続されてもよい。

ノズル追従カメラ６０は、図１に示されるように、ノズルアーム１３３に取り付けられることにより、塗布液ノズル４１を含むノズルユニット４０に追従して移動し、塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２を撮像可能に構成されたカメラである。なお、ノズルアーム１３３の先端には、ノズル追従カメラ６０用の照明６１が設けられている（図３参照）。ノズル追従カメラ６０は、第１待機バス８０に対する塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２の位置に係る情報を撮像可能に構成されると共に、塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２の液挙動に係る情報を撮像可能に構成されている。ノズル追従カメラ６０は、ノズルユニット４０として一体的に動く塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２の双方にピントを合わせることが可能な液体レンズを有していてもよい。

処理空間用カメラ７０ａは、図１に示されるように、搬送領域側に設けられ、スピンチャック１２ａ上の処理空間を撮像可能に構成されたカメラである。処理空間用カメラ７０ｂは、図１に示されるように、搬送領域側に設けられ、スピンチャック１２ｂ上の処理空間を撮像可能に構成されたカメラである。

ここで、本実施形態に係るレジスト塗布装置１では、塗布液ノズル４１等のノズルのセンタリング調整において、ノズル追従カメラ６０によって撮像された情報と、処理空間用カメラ７０ａ（又は処理空間用カメラ７０ｂ）によって撮像された情報とが用いられる。図６に示される例では、ノズル追従カメラ６０が、スピンチャック１２ａに対する塗布液ノズル４１のセンタリングに係る情報として、塗布液ノズル４１を含むノズルユニット４０を撮像している。また、処理空間用カメラ７０ａが、スピンチャック１２ａに対する塗布液ノズル４１のセンタリングに係る情報として、ノズル追従カメラ６０とは異なる角度から、塗布液ノズル４１を含むノズルユニット４０を撮像している。この場合の撮像角度の差は、例えば９０度程度とされてもよい。このように、ノズル追従カメラ６０及び処理空間用カメラ７０ａによって、互いに異なる角度から塗布液ノズル４１が撮像されることにより、塗布液ノズル４１を３次元的に高精度にセンタリング調整することが可能になっている。なお、処理空間用カメラ７０ａ，７０ｂは、上面視において撮像対象ノズルである塗布液ノズル４１と照明６１とを結ぶ直線上からずれた位置に設けられている。また、図１と図３で示すように、レジスト塗布装置１内において隣り合う塗布処理部１ａ，１ｂのそれぞれに対応するように設けられた処理空間用カメラ７０ａ，７０ｂは、ノズル追従カメラ６０よりも上方である。処理空間用カメラ７０ａ，７０ｂは、カップ２１ａ，２１ｂから横方向に外れた位置（カップの外側の位置）に設けられる。処理空間用カメラ７０ａ，７０ｂはそれぞれ、上記の位置から対応する塗布処理部に存在する基板に対し斜め下方向の視野で撮像する。ノズル追従カメラ６０よりも上方で、対応するカップ２１ａ又は２１ｂの外側の位置にあることから、処理による液跳ねや揮発した液の結露などによる液の付着のリスクを低くしながら、狭い空間内に配置し易い。また、レジスト塗布装置１をコンパクトにできる。また、処理空間用カメラ７０ａ，７０ｂは、基板上方に位置するときの塗布液ノズル４１に対する撮像視野が、ノズル追従カメラ６０のそれに比べて鉛直方向面（例えば、図３で見た時の面）内で異なる方向になる。このため、両方のカメラで略水平に撮像する場合よりも、塗布液ノズル４１の３次元的な位置・姿勢の変化を捉え易くなる。つまり、上記のセンタリング調整を高精度に実施可能となる。

上述したノズルのセンタリング調整は、以下の第１工程～第３工程を含む基板処理方法により実現される。第１工程では、ノズル追従カメラ６０によって、第１の方向から塗布液ノズル４１が撮像される。第２工程では、処理空間用カメラ７０ａ（又は処理空間用カメラ７０ｂ）によって、第１の方向とは異なる第２の方向から塗布液ノズル４１が撮像される。第３工程では、ノズル追従カメラ６０の撮像結果、及び、処理空間用カメラ７０ａ（又は処理空間用カメラ７０ｂ）の撮像結果に基づき、塗布液ノズル４１のセンタリング調整が行われる。なお、第３工程については、制御部７が制御信号を出力することによって自動的に行われてもよい。

除去液ノズル５０ａ，５０ｂは、図１に示されるように、基板Ｗに対して基板Ｗの周縁部の膜除去用の除去液を吐出可能に構成されたノズルである。除去液ノズル５０ａは、塗布処理部１ａに対応して設けられている。除去液ノズル５０ｂは、塗布処理部１ｂに対応して設けられている。

第２待機バス９０ａは、図１に示されるように、除去液ノズル５０ａの待機区間に設けられた除去液ノズル５０ａの待機用のバスである。第２待機バス９０ｂは、除去液ノズル５０ｂの待機区間に設けられた除去液ノズル５０ｂの待機用のバスである。なお、除去液ノズル５０ａの待機区間と基板Ｗに除去液を吐出する位置との間における移動は、図１の矢印が示すような旋回移動に限られず、例えば直線移動をさせる除去液ノズル移動機構が設けられていてもよい。また、除去液ノズル移動機構は昇降移動が可能であってもよい。

バスカメラ９５ａは、図１に示されるように、第２待機バス９０ａに位置する除去液ノズル５０ａを撮像可能に構成されたカメラである。バスカメラ９５ｂは、第２待機バス９０ｂに位置する除去液ノズル５０ｂを撮像可能に構成されたカメラである。

第２待機バス９０ａ及びバスカメラ９５ａについて、図７を参照して説明する。なお、図７には第２待機バス９０ａ及びバスカメラ９５ａのみが示されているが、第２待機バス９０ｂについては第２待機バス９０ａと同様であり、バスカメラ９５ｂについてはバスカメラ９５ａと同様である。

図７に示されるように、第２待機バス９０ａは、略直方体形状に形成されている。第２待機バス９０ａの上面部分は開口とされており、該開口から除去液ノズル５０ａを出し入れすることができる。第２待機バス９０ａにおけるカップ２１ａに対向する面には、採光用の窓９７が設けられている。また、第２待機バス９０ａにおける窓９７に対向する面には、バスカメラ９５ａが設けられている。すなわち、バスカメラ９５ａは、第２待機バス９０ａにおける、カップ２１ａに対向しない領域に設けられている。バスカメラ９５ａが設けられている面には、カメラ用の窓９６が設けられている。なお、バスカメラ９５ａには、被液及び反射防止用のカバーが設けられていてもよい。

第２待機バス９０ａは、窓９６，９７以外の領域が黒面で形成されていてもよい。また、第２待機バス９０ａは、全面又は一部が鏡面で形成されていてもよい。

制御部７は、レジスト塗布装置１の各構成を制御する。制御部７は、一つ又は複数の制御用コンピュータにより構成される。図８に示されるように、制御部７は回路１９０を有する。回路１９０は、少なくとも一つのプロセッサ１９１と、メモリ１９２と、ストレージ１９３と、入出力ポート１９４と、入力デバイス１９５と、表示デバイス１９６とを含む。

ストレージ１９３は、例えばハードディスク等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ１９３は、基板処理装置の情報処理方法を制御部７に実行させるためのプログラムを記憶している。

メモリ１９２は、ストレージ１９３の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ１９１による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ１９１は、メモリ１９２と協働して上記プログラムを実行することで、上述した各機能モジュールを構成する。入出力ポート１９４は、プロセッサ１９１からの指令に応じて各構成との間で電気信号の入出力を行う。

入力デバイス１９５及び表示デバイス１９６は、制御部７のユーザインタフェースとして機能する。入力デバイス１９５は、例えばキーボード等であり、ユーザによる入力情報を取得する。表示デバイス１９６は、例えば液晶モニタ等を含み、ユーザに対する情報表示に用いられる。入力デバイス１９５及び表示デバイス１９６は、所謂タッチパネルとして一体化されていてもよい。

次に、本実施形態に係るレジスト塗布装置１の作用効果について説明する。

本実施形態に係るレジスト塗布装置１は、基板Ｗを保持して回転させるスピンチャック１２ａと、スピンチャック１２ａに保持された基板Ｗを囲むようにして配置されたカップ２１ａと、基板Ｗに対して塗布液を吐出可能に構成された塗布液ノズル４１と、を備える。また、レジスト塗布装置１は、除去液ノズル５０ａと、塗布液ノズル４１を保持するノズルアーム１３３に取り付けられることにより塗布液ノズル４１に追従して移動し、塗布液ノズル４１を撮像可能に構成されたノズル追従カメラ６０と、を備える。更に、レジスト塗布装置１は、スピンチャック１２ａ上の処理空間を撮像可能に構成された処理空間用カメラと、を備える。

本実施形態に係るレジスト塗布装置１では、塗布液ノズル４１を撮像可能に構成されたノズル追従カメラ６０と、スピンチャック１２ａ上の処理空間を撮像可能に構成された処理空間用カメラ７０ａとが設けられている。このような構成によれば、塗布液ノズル４１に係る動作監視、及び、処理空間に係る動作監視を好適に実施することができる。そして、動作監視結果に基づいて、種々のハード調整やメンテナンスを好適に実施することができる。以上のように、本実施形態に係るレジスト塗布装置１によれば、塗布処理に係る利便性を向上させることができる。

本レジスト塗布装置１は、カップ２１ａの排気口２６ａに接続されると共に排気源に接続される排気ダクト１１０と、塗布液ノズル４１を保持するノズルアーム１３３の移動をガイドするノズル移動軸１３１と、を更に備えている。そして、排気ダクト１１０は搬送領域側に配置されており、ノズル移動軸１３１は作業者領域側に配置されている。このように、排気ダクト１１０とノズル移動軸１３１とが搬送領域側と作業者領域側とに分かれて配置されることにより、レジスト塗布装置１の高さを薄くすることができる。レジスト塗布装置１が薄型になることによって、多数搭載が可能になり、高トランザクション処理を実現することができる。

本レジスト塗布装置１は、可動カップ部２１ｘを保持する第１レール１２２と、該第１レール１２２を保持する第２レール１２３と、を有する。そして、レジスト塗布装置１では、所定の方向に第２レール１２３が延び、更に所定の方向に第１レール１２２が延びることにより、可動カップ部２１ｘを引き出す。このように第１レール１２２及び第２レール１２３が２段階で延びることにより、可動カップ部２１ｘをより手前まで引き出すことができ、可動カップ部２１ｘの引き出しに係る作業性を向上させることができる。

本レジスト塗布装置１は、塗布液ノズル４１の待機区域に設けられた第１待機バス８０を更に備える。そして、ノズル追従カメラ６０は、第１待機バス８０に対する塗布液ノズル４１の位置に係る情報を撮像可能に構成されると共に、塗布液ノズル４１の液挙動に係る情報を撮像可能に構成されている。このような構成によれば、ノズル追従カメラ６０によって、第１待機バス８０における塗布液ノズル４１の位置が認識されると共に、塗布液ノズル４１の液挙動が認識される。このように、塗布液ノズル４１の位置だけでなく液挙動についてもノズル追従カメラ６０により監視されることにより、塗布液ノズル４１に係る動作監視をより適切に実施することができる。

本レジスト塗布装置１は、除去液ノズル５０ａの待機区域に設けられた第２待機バス９０ａと、第２待機バス９０ａに位置する除去液ノズル５０ａを撮像可能に構成されたバスカメラ９５ａと、を更に備えている。そして、バスカメラ９５ａは、第２待機バス９０ａにおける、カップ２１ａに対向しない領域に設けられている。このような構成によれば、バスカメラ９５ａによって、第２待機バス９０ａにおける除去液ノズル５０ａの動作監視を適切に実施することができる。そして、バスカメラ９５ａがカップ２１ａに対向しない領域に設けられていることにより、カップ２１ａから飛び散る液体等の影響を抑制しながら、バスカメラ９５ａで適切に除去液ノズル５０ａを撮像することができる。

第２待機バス９０ａは、全面又は一部が鏡面で形成されていてもよい。このような構成によれば、光を反射させて、バスカメラ９５ａによる撮像性を向上させることができる。

第２待機バス９０ａは、窓９６，９７以外の領域が黒面で形成されていてもよい。このような構成によれば、不必要な光の反射が抑制され、バスカメラ９５ａによる撮像性を向上させることができる。

ノズル追従カメラ６０は、スピンチャック１２ａに対する塗布液ノズル４１のセンタリングに係る情報として、塗布液ノズル４１を撮像可能に構成されている。処理空間用カメラ７０ａは、塗布液ノズル４１のセンタリングに係る情報として、ノズル追従カメラ６０とは異なる角度から塗布液ノズル４１を撮像可能に構成されている。このような構成によれば、互いに異なる角度から塗布液ノズル４１を撮像することができ、塗布液ノズル４１の３次元的なセンタリングを実現することができる。

本レジスト塗布装置１は、塗布液ノズル４１と共にノズルアーム１３３に取り付けられ、基板Ｗに対して塗布液を広がりやすくする処理液を吐出可能に構成された処理液ノズル４２を更に備える。ノズル追従カメラ６０は、一体的に動く塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２の双方にピントを合わせることが可能な液体レンズを有していてもよい。一体的に動く塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２の双方にピントを合わせることが可能な液体レンズを有するノズル追従カメラ６０が用いられることにより、塗布液ノズル４１及び処理液ノズル４２についての動作監視をより適切に実施することができる。

本開示は、上記実施形態に限定されない。例えば、除去液ノズル５０ｂの待機用のバスとして第２待機バス９０ａを説明したが、当該第２待機バス９０ａに関する構成は、上記実施形態に限定されない。図９～図１１は、変形例に係る第２待機バス９０ａに関する構成を説明する図である。図９～図１１においては、互いに交差する３つの方向である、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向が示されている。Ｘ方向は平面視した際に２つの塗布処理部が隣り合う方向であり、Ｙ方向は平面視した際にＸ方向に交差する方向であり、Ｚ方向は上下方向（高さ方向）である。図９は第２待機バス９０ａのＸＺ断面を模式的に示した図であり、図１０は第２待機バス９０ａのＸＹ断面を模式的に示した図であり、図１１は第２待機バス９０ａのＹＺ断面を模式的に示した図である。

図９～図１１に示される構成では、第２待機バス９０ａに関する構成として、照明部２１０が更に設けられている。照明部２１０は、第２待機バス９０ａに位置する除去液ノズル５０ｂ方向に光を照射する照明である。照明部２１０は、例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）照明を含んで構成されていてもよい。照明部２１０は、バスカメラ９５ａとの間に第２待機バス９０ａを挟むように、バスカメラ９５ａの反対側に設けられている。このような配置で照明部２１０及びバスカメラ９５ａが設けられていることにより、照明部２１０は、第２待機バス９０ａよりも上方に設けられており、上方から、除去液ノズル５０ｂに光を照射する。図１０及び図１１に示されるように、照明部２１０は、第２待機バス９０ａの長尺方向であるＹ方向に沿って設けられている。照明部２１０は、第２待機バス９０ａにおける上部の開口部分の略全域（Ｙ方向の略全域）に設けられている。これにより、照明部２１０から照射される光によって、第２待機バス９０ａの内部の全域を明確に確認することができる。このような構成によれば、図１０及び図１１に示されるような、ノズル多系統化の構成にも適切に対応することができる。

なお、第２待機バス９０ａにおいては、少なくともバスカメラ９５ａに対向する面が、黒色表面処理が施された面とされていてもよい。また、第２待機バス９０ａの各表面の表面粗さは鏡面仕上げとされていてもよい。これにより、第２待機バス９０ａ内において視認したい対象を高コントラストで明瞭に確認することができる。また、バスカメラ９５ａは、除去液ノズル５０ｂの吐出方向に交差する方向から撮像可能に配置されていてもよい。すなわち、図９に示されるように、例えば、除去液ノズル５０ｂからＺ方向に吐出される液柱を、Ｚ方向に交差するＸ方向側から監視可能になるように、バスカメラ９５ａが配置されていてもよい。

また、カップ引き出し構造は、上述したカップ引き出し構造１２０の構成に限定されず、例えば、図１２に示される変形例に係るカップ引き出し構造４２０であってもよい。図１２は、変形例に係るカップ引き出し構造４２０の斜視図である。カップ引き出し構造４２０は、カップ昇降機４２１と、スライドレールを構成する第１レール４２２及び第２レール４２３と、カップ載置部４３０と、液受け部４４０と、ストッパー４５０と、を備えている。また、カップ引き出し構造４２０は、引き出し時ロックマグネット４６０と、収納時ロックマグネット４７０と、カップ抑え４８０と、を備えている。

カップ昇降機４２１、第１レール４２２、及び第２レール４２３は、それぞれ、上述したカップ引き出し構造１２０のカップ昇降機１２１、第１レール１２２、及び第２レール１２３と同様の構成である。第１レール４２２及び第２レール４２３によるカップ２１ａの引き出し量は、例えば４５０ｍｍ程度とされてもよい。カップ載置部４３０は、一対の第１レール４２２間に架け渡されるように延びている部分であり、可動カップ部２１ｘの一部が載置される部分である。カップ載置部４３０における幅方向の中央部には、上下方向に貫通した貫通孔４３０ｘが形成されている。当該貫通孔４３０ｘには、カップ２１ａのカップ側ドレイン配管６０１（図１５（ｂ）等参照）が挿入される。カップ側ドレイン配管６０１（図１５（ｂ）等参照）は、カップ２１ａの排液口２５ａ（図２参照）につながる配管であり、カップ２１ａの下端から下方に延びる配管である。

液受け部４４０は、カップ載置部４３０の幅方向の中央部に設けられており、カップ側ドレイン配管６０１に蓋をするドレインパンである。ストッパー４５０は、液受け部４４０に接触することにより液受け部４４０を変位させる構成である。液受け部４４０及びストッパー４５０の詳細については、図１５を参照して後述する。

引き出し時ロックマグネット４６０は、カップ載置部４３０の前端（作業者領域側の端部）に設けられており、カップ２１ａが引き出される際においてカップ２１ａを引き付けてロックし、カップ載置部４３０にカップ２１ａを載せやすくする構成である。収納時ロックマグネット４７０は、カップ昇降機４２１の近傍に設けられており、カップ２１ａが収納される際においてカップ２１ａを引き付けてロックする構成である。カップ抑え４８０は、カップ昇降機４２１の上方に設けられており、カップ２１ａを上方から抑えてカップ２１ａの位置決めを行う構成である。カップ引き出し構造４２０は、その他、カップ昇降機１２１によるカップ２１ａの昇降状態を検知する昇降センサや、第１レール４２２及び第２レール４２３によるカップ２１ａの引き出し状態を検知する引き出しセンサ等を備えていてもよい。

例えば上述したカップ引き出し構造４２０を備える構成において、図１３及び図１４に示されるように、ドレイン管３００を更に備えていてもよい。図１３は、変形例に係るレジスト塗布装置１Ｘの平面図である。図１４は、図１３に示されるレジスト塗布装置１Ｘの縦断側面図である。ドレイン管３００は、カップ側ドレイン配管６０１（図１５（ｂ）等参照）に接続される（すなわち、カップ２１ａの排液口２５ａ（図２参照）に接続される）管である。ドレイン管３００は、カップ側ドレイン配管６０１（図１５（ｂ）等参照）に接続される、２つの塗布処理部１ａ，１ｂに対応した接続管３０２，３０２と、接続管３０２，３０２間をつなぐ配管３０１と、を備えている。

ドレイン管３００は、図１４に示されるように、排気ダクト１１０よりも垂直断面における面積が小さく、高さが低く構成されている。そして、ドレイン管３００は、図１３に示されるように、平面視した際の作業者領域及び搬送領域の内、排気ダクト１１０が配置された領域の反対側（他方側）に配置されている。図１３に示される例では、排気ダクト１１０が搬送領域側に設けられており、ドレイン管３００が作業領域側に設けられている。このように、ドレイン管３００の高さが小さくされることにより、上述したように、ドレイン管３００及び排気ダクト１１０を、作業者領域及び搬送領域に分けて配置することが可能になる。このことで、例えば同じ領域上において排気ダクト１１０に重ねてドレイン管３００が配置される構成と比較して、高さ方向において小型化された構成を実現することができる。

図１５は、上述した変形例に係るカップ引き出し構造４２０及びドレイン管３００におけるカップ交換の動作フローを示す図である。図１５（ａ）等に示されるように、カップ引き出し構造４２０の液受け部４４０は、蓋部４４１と、取手部４４２と、を有している。蓋部４４１は、カップ側ドレイン配管６０１（排液口）の下方から蓋をするように配置可能に構成された構成である。取手部４４２は、蓋部４４１に連続するように蓋部４４１と一体的に設けられた構成である。液受け部４４０は、取手部４４２に力が加わることにより、所定の箇所を回転軸にして回転動作可能に構成されている。液受け部４４０では、取手部４４２に対して下方に向かって力が加えられることにより、液受け部４４０が上方に変位して、図１５（ｃ）に示されるように、液受け部４４０がカップ側ドレイン配管６０１に蓋をする。また、液受け部４４０では、取手部４４２がストッパー４５０の上部に接触し、取手部４４２に対して上方に向かって力が加えられることにより、液受け部４４０が下方に変位して、液受け部４４０がカップ側ドレイン配管６０１から取り外される。このように、ストッパー４５０は、カップ側ドレイン配管６０１とドレイン管３００の接続管３０２とを接続するためにカップ２１ａを移動させる際に、取手部４４２に接触する。これにより、液受け部４４０が回転し、カップ側ドレイン配管６０１に取り付けられた蓋部４４１がカップ側ドレイン配管６０１から取り外される。

このような動作について、図１５（ａ）～図１５（ｆ）を参照して説明する。図１５（ａ）は、カップ２１ａが収納されており、カップ側ドレイン配管６０１とドレイン管３００の接続管３０２とが接続された状態を示している。この状態から、例えばカップ交換が行われる場合においては、カップ２１ａが上方に引き上げられる（図１５（ｂ）参照）。

そして、図１５（ｃ）に示されるように、カップ交換のためにカップ２１ａが作業者領域側に引き出される前の状態において、液受け部４４０の取手部４４２に下方に向けて力が加わる。これにより、蓋部４４１が上方に向かって回転し、蓋部４４１が、カップ側ドレイン配管６０１に蓋をする。

そして、図１５（ｄ）に示されるようにカップ２１ａの交換が完了すると、図１５（ｅ）に示されるように、カップ側ドレイン配管６０１とドレイン管３００の接続管３０２とを接続するためにカップ２１ａが下方に移動させられる。この場合、図１５（ｅ）に示されるように、ストッパー４５０の上部が取手部４４２に接触することにより、液受け部４４０が回転し、カップ側ドレイン配管６０１に取り付けられた蓋部４４１がカップ側ドレイン配管６０１から取り外される。そして、図１５（ｆ）に示されるように、更に下方に向けてカップ２１ａが移動させられることにより、蓋部４４１が取り外されたカップ側ドレイン配管６０１とドレイン管３００の接続管３０２とが接続される。

このような構成によれば、カップ２１ａを下方に移動させる動作において、ストッパー４５０によって蓋部４４１が自動的にカップ側ドレイン配管６０１から取り外される。このことで、容易且つ確実に、カップ側ドレイン配管６０１とドレイン管３００の接続管３０２との接続を行うことができる。

最後に、本開示に含まれる種々の例示的実施形態を、以下の［Ｅ１］～［Ｅ１４］に記載する。

［Ｅ１］
基板を保持して回転させる回転保持部と、
前記回転保持部に保持された前記基板を囲むようにして配置されたカップと、
前記基板に対して塗布液を吐出可能に構成された塗布液ノズルと、
前記基板に対して該基板の周縁部の膜除去用の除去液を吐出可能に構成された除去液ノズルと、
前記塗布液ノズルを保持するノズルアームに取り付けられることにより前記塗布液ノズルに追従して移動し、前記塗布液ノズルを撮像可能に構成されたノズル追従カメラと、
前記回転保持部上の処理空間を撮像可能に構成された処理空間用カメラと、を備える基板処理装置。

［Ｅ２］
前記カップの排気口に接続されると共に排気源に接続される排気ダクトと、
前記塗布液ノズルを保持する前記ノズルアームの移動をガイドするノズル移動軸と、を更に備え、
平面視した際の作業者側の領域を前側領域、該前側領域の反対側の領域であって搬送処理が行われる領域を後側領域とする。その場合に、前記排気ダクトは前記前側領域及び前記後側領域の一方側に配置されており、前記ノズル移動軸は前記前側領域及び前記後側領域の他方側に配置されている、［Ｅ１］記載の基板処理装置。

［Ｅ３］
前記カップを保持すると共に、所定の方向に延びることによって前記カップを引き出し可能に構成されたスライドレールを更に備え、
前記スライドレールは、
前記カップを保持する第１レールと、該第１レールを保持する第２レールと、を有し、
前記所定の方向に前記第２レールが延び、更に前記所定の方向に前記第１レールが延びることにより、前記カップを引き出す、［Ｅ１］又は［Ｅ２］記載の基板処理装置。

［Ｅ４］
前記塗布液ノズルの待機区域に設けられた塗布液ノズル用待機バスを更に備え、
前記ノズル追従カメラは、前記塗布液ノズル用待機バスに対する前記塗布液ノズルの位置に係る情報を撮像可能に構成されると共に、前記塗布液ノズルの液挙動に係る情報を撮像可能に構成されている、［Ｅ１］～［Ｅ３］のいずれか一項記載の基板処理装置。

［Ｅ５］
前記除去液ノズルの待機区域に設けられた除去液ノズル用待機バスと、
前記除去液ノズル用待機バスに位置する前記除去液ノズルを撮像可能に構成されたバスカメラと、を更に備え、
前記バスカメラは、前記除去液ノズル用待機バスにおける、前記カップに対向しない領域に設けられている、［Ｅ１］～［Ｅ４］のいずれか一項記載の基板処理装置。

［Ｅ６］
前記除去液ノズル用待機バスは、全面又は一部が鏡面で形成されている、［Ｅ５］記載の基板処理装置。

［Ｅ７］
前記除去液ノズル用待機バスは、採光用の窓以外の領域が黒面で形成されている、［Ｅ５］記載の基板処理装置。

［Ｅ８］
前記ノズル追従カメラは、前記回転保持部に対する前記塗布液ノズルのセンタリングに係る情報として、前記塗布液ノズルを撮像可能に構成されており、
前記処理空間用カメラは、前記回転保持部に対する前記塗布液ノズルのセンタリングに係る情報として、前記ノズル追従カメラとは異なる角度から前記塗布液ノズルを撮像可能に構成されている、［Ｅ１］～［Ｅ７］のいずれか一項記載の基板処理装置。

［Ｅ９］
前記塗布液ノズルと共に前記ノズルアームに取り付けられ、前記基板に対して前記塗布液を広がりやすくする処理液を吐出可能に構成された処理液ノズルを更に備え、
前記ノズル追従カメラは、一体的に動く前記塗布液ノズル及び前記処理液ノズルの双方にピントを合わせることが可能な液体レンズを有している、［Ｅ１］～［Ｅ８］のいずれか一項記載の基板処理装置。

［Ｅ１０］
前記カップの排液口に接続されるドレイン管を更に備え、
前記ドレイン管は、前記排気ダクトよりも高さが低く構成されており、前記他方側に配置されている、［Ｅ２］記載の基板処理装置。

［Ｅ１１］
前記排液口に蓋をするように配置可能に構成された蓋部と、前記蓋部に連続する取手部と、を有する液受け部を更に備える。
また、前記排液口と前記ドレイン管とを接続するために前記カップを移動させる際に、前記取手部に接触することにより、前記排液口に取り付けられた前記蓋部を前記排液口から取り外すストッパーと、を更に備える、［Ｅ１０］記載の基板処理装置。

［Ｅ１２］
前記除去液ノズル用待機バスに位置する前記除去液ノズル方向に光を照射する照明部を更に備え、
前記照明部は、前記バスカメラとの間に前記除去液ノズル用待機バスを挟むように、前記バスカメラの反対側に設けられている、［Ｅ５］～［Ｅ７］のいずれか一項記載の基板処理装置。

［Ｅ１３］
回転保持部と、塗布液ノズルと、ノズル追従カメラと、処理空間用カメラと、を備える基板処理装置を用いて実施する基板処理方法であって、
前記ノズル追従カメラによって、第１の方向から前記塗布液ノズルを撮像する第１工程と、
前記処理空間用カメラによって、前記第１の方向とは異なる第２の方向から前記塗布液ノズルを撮像する第２工程と、
前記ノズル追従カメラの撮像結果、及び、前記処理空間用カメラの撮像結果に基づき、前記回転保持部に対する前記塗布液ノズルのセンタリング調整を行う第３工程と、を含む基板処理方法。

［Ｅ１４］
［Ｅ１３］記載の基板処理方法を装置に実行させるためのプログラムを記憶した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体。

１…レジスト塗布装置（基板処理装置）、１２ａ，１２ｂ…スピンチャック（回転保持部）、２１ａ，２１ｂ…カップ、２６ａ…排気口、４１…塗布液ノズル、４２…処理液ノズル、５０ａ，５０ｂ…除去液ノズル、６０…ノズル追従カメラ、７０ａ，７０ｂ…処理空間用カメラ、８０…第１待機バス（塗布液ノズル用待機バス）、９０ａ，９０ｂ…第２待機バス（除去液ノズル用待機バス）、９５ａ，９５ｂ…バスカメラ、１１０…排気ダクト、１２２…第１レール、１２３…第２レール、１３１…ノズル移動軸、１３３…ノズルアーム、２１０…照明部、３００…ドレイン管、４４０…液受け部、４４１…蓋部、４４２…取手部、４５０…ストッパー、６０１…カップ側ドレイン配管、Ｗ…基板。

Claims (14)

1. 基板を保持して回転させる回転保持部と、
   前記回転保持部に保持された前記基板を囲むようにして配置されたカップと、
   前記基板に対して塗布液を吐出可能に構成された塗布液ノズルと、
   前記基板に対して該基板の周縁部の膜除去用の除去液を吐出可能に構成された除去液ノズルと、
   前記塗布液ノズルを保持するノズルアームに取り付けられることにより前記塗布液ノズルに追従して移動し、前記塗布液ノズルを撮像可能に構成されたノズル追従カメラと、
   前記回転保持部上の処理空間を撮像可能に構成された処理空間用カメラと、を備える基板処理装置。
2. 前記カップの排気口に接続されると共に排気源に接続される排気ダクトと、
   前記塗布液ノズルを保持する前記ノズルアームの移動をガイドするノズル移動軸と、を更に備え、
   平面視した際の作業者側の領域を前側領域、該前側領域の反対側の領域であって搬送処理が行われる領域を後側領域とした場合に、前記排気ダクトは前記前側領域及び前記後側領域の一方側に配置されており、前記ノズル移動軸は前記前側領域及び前記後側領域の他方側に配置されている、請求項１記載の基板処理装置。
3. 前記カップを保持すると共に、所定の方向に延びることによって前記カップを引き出し可能に構成されたスライドレールを更に備え、
   前記スライドレールは、
   前記カップを保持する第１レールと、該第１レールを保持する第２レールと、を有し、
   前記所定の方向に前記第２レールが延び、更に前記所定の方向に前記第１レールが延びることにより、前記カップを引き出す、請求項１又は２記載の基板処理装置。
4. 前記塗布液ノズルの待機区域に設けられた塗布液ノズル用待機バスを更に備え、
   前記ノズル追従カメラは、前記塗布液ノズル用待機バスに対する前記塗布液ノズルの位置に係る情報を撮像可能に構成されると共に、前記塗布液ノズルの液挙動に係る情報を撮像可能に構成されている、請求項１又は２記載の基板処理装置。
5. 前記除去液ノズルの待機区域に設けられた除去液ノズル用待機バスと、
   前記除去液ノズル用待機バスに位置する前記除去液ノズルを撮像可能に構成されたバスカメラと、を更に備え、
   前記バスカメラは、前記除去液ノズル用待機バスにおける、前記カップに対向しない領域に設けられている、請求項１又は２記載の基板処理装置。
6. 前記除去液ノズル用待機バスは、全面又は一部が鏡面で形成されている、請求項５記載の基板処理装置。
7. 前記除去液ノズル用待機バスは、採光用の窓以外の領域が黒面で形成されている、請求項５記載の基板処理装置。
8. 前記ノズル追従カメラは、前記回転保持部に対する前記塗布液ノズルのセンタリングに係る情報として、前記塗布液ノズルを撮像可能に構成されており、
   前記処理空間用カメラは、前記回転保持部に対する前記塗布液ノズルのセンタリングに係る情報として、前記ノズル追従カメラとは異なる角度から前記塗布液ノズルを撮像可能に構成されている、請求項１又は２記載の基板処理装置。
9. 前記塗布液ノズルと共に前記ノズルアームに取り付けられ、前記基板に対して前記塗布液を広がりやすくする処理液を吐出可能に構成された処理液ノズルを更に備え、
   前記ノズル追従カメラは、一体的に動く前記塗布液ノズル及び前記処理液ノズルの双方にピントを合わせることが可能な液体レンズを有している、請求項１又は２記載の基板処理装置。
10. 前記カップの排液口に接続されるドレイン管を更に備え、
    前記ドレイン管は、前記排気ダクトよりも高さが低く構成されており、前記他方側に配置されている、請求項２記載の基板処理装置。
11. 前記排液口に蓋をするように配置可能に構成された蓋部と、前記蓋部に連続する取手部と、を有する液受け部と、
    前記排液口と前記ドレイン管とを接続するために前記カップを移動させる際に、前記取手部に接触することにより、前記液受け部を回転させて、前記排液口に取り付けられた前記蓋部を前記排液口から取り外すストッパーと、を更に備える、請求項１０記載の基板処理装置。
12. 前記除去液ノズル用待機バスに位置する前記除去液ノズル方向に光を照射する照明部を更に備え、
    前記照明部は、前記バスカメラとの間に前記除去液ノズル用待機バスを挟むように、前記バスカメラの反対側に設けられている、請求項５記載の基板処理装置。
13. 基板を保持して回転させる回転保持部と、前記基板に対して塗布液を吐出可能に構成された塗布液ノズルと、前記塗布液ノズルを保持するノズルアームに取り付けられることにより前記塗布液ノズルに追従して移動し、前記塗布液ノズルを撮像可能に構成されたノズル追従カメラと、前記回転保持部上の処理空間を撮像可能に構成された処理空間用カメラと、を備える基板処理装置を用いて実施する基板処理方法であって、
    前記ノズル追従カメラによって、第１の方向から前記塗布液ノズルを撮像する第１工程と、
    前記処理空間用カメラによって、前記第１の方向とは異なる第２の方向から前記塗布液ノズルを撮像する第２工程と、
    前記ノズル追従カメラの撮像結果、及び、前記処理空間用カメラの撮像結果に基づき、前記回転保持部に対する前記塗布液ノズルのセンタリング調整を行う第３工程と、を含む基板処理方法。
14. 請求項１３記載の基板処理方法を装置に実行させるためのプログラムを記憶した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体。

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