KR20230119597A - 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 - Google Patents

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KR20230119597A
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유이치로 구누기모토
히데키 가지와라
가즈히로 마츠우라
신이치 미즈시노
호쿠토 시게모토
아키히로 도요자와
유지 사카이
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 기판에 대한 도포액의 도포에 관해서, 편리성이 높은 기판 처리 장치를 제공하는 것이다. 레지스트 도포 장치(1)는, 기판(W)을 보유 지지해서 회전시키는 스핀 척(12a)과, 스핀 척(12a)에 보유 지지된 기판(W)을 둘러싸도록 해서 배치된 컵(21a)과, 기판(W)에 대하여 도포액을 토출 가능하게 구성된 도포액 노즐(41)을 구비한다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)는, 제거액 노즐(50a)과, 도포액 노즐(41)을 보유 지지하는 노즐 암(133)에 설치됨으로써 도포액 노즐(41)에 추종해서 이동하여, 도포액 노즐(41)을 촬상 가능하게 구성된 노즐 추종 카메라(60)를 구비한다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)는, 스핀 척(12a) 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 처리 공간용 카메라를 구비한다.

Description

기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND STORAGE MEDIUM}
본 개시는, 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 기판에 도포액을 도포하는 장치에 있어서, 기판의 로트의 전환 시에, 다음 로트의 기판 처리로 빠르게 이행할 수 있는 기술이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2012-142381호 공보
본 개시는, 기판에 대한 도포액의 도포에 관해서, 편리성이 높은 기판 처리 장치를 제공한다.
본 개시의 일 측면에 관한 기판 처리 장치는, 기판을 보유 지지해서 회전시키는 회전 보유 지지부와, 회전 보유 지지부에 보유 지지된 기판을 둘러싸도록 해서 배치된 컵과, 기판에 대하여 도포액을 토출 가능하게 구성된 도포액 노즐과, 기판에 대하여 해당 기판의 주연부의 막 제거용 제거액을 토출 가능하게 구성된 제거액 노즐과, 도포액 노즐을 보유 지지하는 노즐 암에 설치됨으로써 도포액 노즐에 추종해서 이동하여, 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성된 노즐 추종 카메라와, 회전 보유 지지부 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 처리 공간용 카메라를 구비한다.
본 개시에 의하면, 기판에 대한 도포액의 도포에 관해서, 편리성이 높은 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태에 관한 레지스트 도포 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시되는 레지스트 도포 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 3은 도 1에 도시되는 레지스트 도포 장치의 종단 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시되는 레지스트 도포 장치의 종단 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시되는 레지스트 도포 장치의 종단 측면도이다.
도 6은 다방향으로부터의 도포액 노즐의 촬상을 설명하는 도면이다.
도 7은 제거액 노즐용 대기 버스 및 버스 카메라의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 8은 제어부의 하드웨어 구성을 예시하는 모식도이다.
도 9는 변형예에 관한 제2 대기 버스에 관한 구성을 설명하는 도면이다.
도 10은 변형예에 관한 제2 대기 버스에 관한 구성을 설명하는 도면이다.
도 11은 변형예에 관한 제2 대기 버스에 관한 구성을 설명하는 도면이다.
도 12는 변형예에 관한 컵 인출 구조의 사시도이다.
도 13은 변형예에 관한 레지스트 도포 장치의 평면도이다.
도 14는 도 13에 도시되는 레지스트 도포 장치의 종단 측면도이다.
도 15는 변형예에 관한 컵 교환의 동작 플로를 나타내는 도면이다.
도 1은, 본 실시 형태에 관한 레지스트 도포 장치(1)의 평면도이다. 레지스트 도포 장치(1)는, 기판에 대하여, 감광성 피막의 형성, 당해 감광성 피막의 노광, 및 당해 감광성 피막의 현상을 실시하는 기판 처리 시스템에 포함되는 장치(기판 처리 장치)이다. 처리 대상의 기판으로서는, 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 마스크 기판, 또는 FPD(Flat Panel Display) 등을 들 수 있다. 기판은, 반도체 웨이퍼 등의 위에, 전단의 처리에서 피막 등이 형성된 것도 포함한다. 레지스트 도포 장치(1)는, 기판 처리 시스템에 포함되는 노광 장치(도시하지 않음)에 의한 노광 처리 전에, 기판의 표면에 레지스트막을 형성하는 처리를 행한다. 보다 구체적으로는, 레지스트 도포 장치(1)는, 레지스트막 형성용 도포액을 기판의 표면에 공급하여, 상기 베이크전 레지스트막을 형성한다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)는, 기판의 표면에 베이크전 레지스트막을 형성한 후에, 기판의 주연부에 제거액을 공급함으로써, 베이크전 레지스트막의 주연부를 제거한다.
레지스트 도포 장치(1)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 2개의 도포 처리부(1a, 1b)와, 노즐 유닛(40)과, 제1 대기 버스(80)(도포액 노즐용 대기 버스)와, 이동 기구(3)를 구비한다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)는, 2개의 제거액 노즐(50a, 50b)과, 2개의 제2 대기 버스(90a, 90b)(제거액 노즐용 대기 버스)와, 노즐 추종 카메라(60)와, 2개의 처리 공간용 카메라(70a, 70b)를 구비한다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)는, 2개의 버스 카메라(95a, 95b)와, 배기 덕트(110)와, 제어부(7)(도 2 참조)를 구비한다.
2개의 도포 처리부(1a, 1b)는, 서로 인접해서 배열해서 배치되어 있다. 도포 처리부(1a)는, 스핀 척(12a)(회전 보유 지지부) 및 컵(21a) 등을 포함해서 구성되어 있다. 도포 처리부(1b)는, 스핀 척(12b)(회전 보유 지지부) 및 컵(21b) 등을 포함해서 구성되어 있다. 도포 처리부(1a, 1b)는, 서로 마찬가지의 구성으로 되어 있으므로, 이하에서는 도 2를 참조하여, 도포 처리부(1a)만을 예로 들어 설명한다.
도포 처리부(1a)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 기판(W)의 이면 중앙부를 흡착해서 수평하게 보유 지지함과 함께 기판(W)을 회전시키는 회전 보유 지지부인 스핀 척(12a)을 구비하고 있다. 스핀 척(12a)은, 회전축(13a)을 통해서 회전 구동 기구(14a)와 접속되어 있다. 스핀 척(12a)은, 회전 구동 기구(14a)를 통해서 기판(W)을 보유 지지한 상태에서 연직축 주위로 회전 가능하게 구성되어 있고, 그 회전축 상에 기판(W)의 중심이 위치하도록 설정되어 있다. 회전 구동 기구(14a)는, 제어부(7)로부터의 제어 신호를 받아서 스핀 척(12a)의 회전 속도를 제어한다.
스핀 척(12a)의 주위에는, 스핀 척(12a) 상의 기판(W)을 둘러싸도록 해서 상방측에 개구부(20a)를 구비한 컵(21a)이 마련되어 있다. 컵(21a)의 측 둘레면 상단측은 내측으로 경사진 경사부(22a)를 형성하고 있다. 컵(21a)의 저부측에는 예를 들어 오목부 형상을 이루는 액 수용부(23a)가 마련되어 있다. 액 수용부(23a)는, 격벽(24a)에 의해 기판(W)의 주연 하방측에 전체 둘레에 걸쳐서 외측 영역과 내측 영역으로 구획되어 있다. 외측 영역의 저부에는 저류한 레지스트 등을 배출하기 위한 배액구(25a)가 마련되고, 내측 영역의 저부에는 처리 분위기를 배기하기 위한 배기구(26a)가 마련되어 있다.
배기구(26a)에는 배기 덕트(110)의 일단이 접속되어 있고, 배기 덕트(110)의 타단은, 배기 댐퍼를 통해서 공장의 배기원(도 1 참조)에 접속되어 있다. 이와 같이, 배기 덕트(110)는, 컵(21a)의 배기구(26a)에 접속됨과 함께 배기원에 접속되어 있다.
컵(21a) 내에는, 3개의 승강 핀(15a)이 마련되어 있다(도 2에서는 편의상 2개만 표시하고 있음). 승강 핀(15a)은, 승강 기구(16a)에 의해 승강함으로써, 레지스트 도포 장치(1)에 기판(W)을 반송하는 도시하지 않은 기판 반송 기구와 스핀 척(12a)의 사이에서 기판(W)의 전달을 행할 수 있다.
여기서, 컵(21a)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 상세하게는, 컵 베이스(21y)와, 가동 컵부(21x)를 갖고 있다. 컵 베이스(21y)는, 가동 컵부(21x)를 지지하는 부분이다. 가동 컵부(21x)는, 분리 가능한 상태에서 컵 베이스(21y)에 적재되어 있다. 가동 컵부(21x)는, 컵 인출 구조(120)에 의해 인출 가능하게 구성되어 있다.
컵 인출 구조(120)는, 컵 승강기(121)와, 슬라이드 레일을 구성하는 제1 레일(122) 및 제2 레일(123)과, 컵 위치 결정부(125)를 갖고 있다. 컵 승강기(121)는, 상하로 이동함으로써, 슬라이드 레일 및 컵 위치 결정부(125)를 상하로 이동시켜서, 슬라이드 레일에 보유 지지된 가동 컵부(21x)를 승강시키는 구성이다. 컵 위치 결정부(125)는, 슬라이드 레일에 보유 지지된 가동 컵부(21x)의 상방에 위치하여, 가동 컵부(21x)의 위치 결정을 행하는 구성이다. 제1 레일(122) 및 제2 레일(123)은, 가동 컵부(21x)를 보유 지지함과 함께, 소정의 방향(상세하게는 작업자 영역측)으로 연장됨으로써 가동 컵부(21x)를 인출 가능하고 또한 밀어 넣기 가능하게 구성된 슬라이드 레일이다. 제1 레일(122)은, 가동 컵부(21x)를 직접적으로 보유 지지하는 구성이다. 제2 레일(123)은, 제1 레일(122)을 보유 지지하는 구성이다. 컵 위치 결정부(125)는, 인출되기 전의 위치(통상 위치)에 있는 가동 컵부(21x)에 대하여, 그 외측 둘레 방향에서 접촉하는 원호상의 접촉부를 갖는다. 가동 컵부(21x)보다도 가동 컵부(21x)를 견고하게 고정 가능한 컵 고정 기구(도시없음)가, 제1 레일(122)과 제2 레일(123)에 마련되어 있어도 된다. 그 컵 고정 기구는, 예를 들어 제1 레일(122)과 제2 레일을 상대적으로 고정하는 기구이며, 래치와 같은 물리적인 고정 부재나, 전자석 등을 사용한 전기적 제어에 의한 고정 부재이어도 된다. 이 컵 고정 기구가 있을 경우, 가동 컵부(21x)를 밀어 넣는 작업 시에는, 컵 위치 결정부에 의한 원호상의 접촉으로 가동 컵을 수평 방향과 높이 방향의 위치가 대략 규정된다. 그리고, 밀어 넣은 후에 컵 고정 기구를 사용해서 최종적으로 가동 컵부(21x)가 고정되는 양태가 된다. 즉, 다른 부재에의 간섭에 의한 파손과 같은 우려가 적어, 컵을 밀어 넣어서 설치하기 쉬워진다.
도 4에서는, 슬라이드 레일을 구성하는 제1 레일(122) 및 제2 레일(123)이 연장됨으로써 가동 컵부(21x)가 작업자 영역측으로 인출되는 상태가 도시되어 있다. 또한, 작업자 영역이란, 평면으로 보았을 때의 작업자측의 영역(전방측 영역)이며, 기판(W)의 반송 처리가 행해지는 영역인 반송 영역(후방측 영역)의 반대측 영역이다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 가동 컵부(21x)를 인출할 경우에는, 최초로, 가동 컵부(21x)가 수납되어 있던 상태로부터 컵 승강기(121)가 상승하고, 계속해서 작업자 영역측으로 제2 레일(123)이 연장된다. 또한, 작업자 영역측으로 제1 레일(122)이 연장됨으로써, 가동 컵부(21x)가 작업자 영역측으로 인출된다. 이와 같이, 제1 레일(122) 및 제2 레일(123)이 2단계로 연장됨으로써, 가동 컵부(21x)를 보다 앞쪽(작업자 영역측)으로 인출할 수 있어, 가동 컵부(21x)의 인출에 관한 작업성을 향상시킬 수 있다.
노즐 유닛(40)은, 후술하는 이동 기구(3)의 노즐 암(133)의 선단부에 설치되어 있다. 노즐 유닛(40)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 복수 종류(예를 들어 10종류)의 레지스트를 기판(W)에 대하여 토출 가능하게 구성된 복수의 도포액 노즐(41)을 갖는다. 또한, 노즐 유닛(40)은, 기판(W) 상에서 레지스트를 확산시키기 쉽게 하는 처리액(예를 들어 시너)을 토출 가능하게 구성된 처리액 노즐(42)을 갖는다. 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)은, 연직 하방으로 개구된 토출구를 갖고 있다. 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)로부터 토출된 약액은 원심력에 의해 기판(W)의 주연부로 전신되는 소위 스핀 코팅에 의해 기판(W)의 표면 전체에 도포된다.
도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 약액 공급 유닛(43)으로부터 약액의 공급을 받는다. 약액 공급 유닛(43)은, 도포액 노즐(41)에 공급하는 약액이 저류되는 탱크와, 탱크 내를 가압해서 당해 탱크 내의 약액을 도포액 노즐에 송액하기 위한 송액 기구를 구비한 레지스트 공급 기구(44)를 갖고 있다. 레지스트 공급 기구(44)는, 도포액 노즐(41)과 동일 수만큼 마련되어 있다. 또한, 약액 공급 유닛(43)은, 처리액 노즐(42)에 공급하는 약액이 저류된 탱크와, 탱크 내를 가압해서 당해 탱크 내의 약액을 처리액 노즐(42)에 송액하기 위한 송액 기구를 구비한 시너 공급 기구(6)를 갖고 있다.
도포액 노즐(41)과 레지스트 공급 기구(44)를 접속함과 함께, 처리액 노즐(42)과 시너 공급 기구(6)를 접속하도록, 약액 공급 라인(45)이 마련되어 있다. 약액 공급 라인(45)에는, 밸브(46)를 포함하는 유량 제어부(47)가 개재 설치되어 있다. 제어부(7)로부터의 제어 신호에 따라서 각 밸브(46)가 개폐 제어됨으로써, 각 종류의 레지스트 및 시너가 전환되어 기판(W)에 공급된다.
도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)의 1차측에는, 노즐 헤드(34) 내에서, 토출 밸브(V) 및 석백 밸브(SV)가, 토출측으로부터 이 순으로 직렬로 마련되어 있다. 토출 밸브(V) 및 석백 밸브(SV)는, 예를 들어 공기압을 동력으로 해서 동작한다. 토출 밸브(V)는, 공기압에 의해 각 약액 공급 라인(45)과 각 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)의 사이에서 유로의 개폐를 행한다. 석백 밸브(SV)는, 공기압에 의해 동작하는 피스톤 기구에 의해, 용적 및 약액 압력을 조정 가능하게 되어 있다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐 암(133)으로부터 작업자 영역측에는, 도포액 노즐(41)용 배관 배선 케이블 베어 영역(160)과, 보조 기기 탑재 영역(150)이 마련되어 있다. 보조 기기 탑재 영역(150)에는, 공급계용 밸브나 소형 전장품이 배치된다.
배기 덕트(110)는, 복수의 처리 공간을 1개의 배기원으로 공용해서 배기할 경우는 특히, 배기 성능을 고려해서 어느 정도의 단면적이 필요하게 된다. 만일 배기 덕트(110)를 컵에 대하여 노즐의 이동 기구(3)와 동일한 측에 수평 방향으로 배열해서 마련하면, 컵 인출 구조(120)의 컵 인출에 필요한 스트로크가 신장되어 이 기구 자체의 대형화나 더한층의 강도 개선 설계가 필요하게 된다는 과제가 있다. 배기 덕트(110)를 노즐의 이동 기구 또는 보조 기기 탑재 영역(150)과 세로로 배열해서 배치하면, 컵 인출에 필요한 경로에의 간섭 또는 접근에 의해, 컵 인출의 작업성을 손상시키는 것으로 이어진다. 이것은, 내부 공간을 콤팩트하게 해서 그 내부를 직접적으로 수작업으로 메인터넌스하는 것이 곤란해지는 기판 처리 장치에 있어서, 필요한 작업을 성립시키기 위해서 최대한 피하고 싶은 과제이다. 즉, 본기판 처리 장치에서는, 컵(21a)을 사이에 두고 노즐의 이동 기구(3)와 반대측에 배기 덕트(110)가 배치되어 있음으로써, 상기와 같은 과제가 해소된다.
제1 대기 버스(80)는, 도 1 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 도포액 노즐(41)을 포함하는 노즐 유닛(40)의 대기 구역에 마련된 대기용 버스이다. 제1 대기 버스(80)는, 예를 들어, 2개의 도포 처리부(1a, 1b)의 사이의 영역에 마련되어 있다(도 1 참조). 도 5에 도시하는 바와 같이, 제1 대기 버스(80)의 상면의 높이는, 수납된 상태의 가동 컵부(21x)의 상면의 높이와 대략 동등 또는 약간 높게 되어 있다. 또한, 제1 대기 버스(80)의 상면의 높이는, 2개의 컵(21a, 21b)간에 있어서의 노즐 유닛(40)의 이동 경로의 높이보다도 낮게 되어 있다. 이에 의해, 노즐 유닛(40)의 승강 스트로크를 짧게 할 수 있어, 레지스트 도포 장치(1)의 높이 방향의 스페이스를 억제할 수 있다.
이동 기구(3)는, 노즐 유닛(40)을 보유 지지해서 이동시키는 구성이다. 이동 기구(3)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 노즐 이동축(131)과, 노즐 구동부(132)와, 노즐 암(133)과, 수평 이동부(134)를 갖고 있다.
노즐 암(133)은, 도포액 노즐(41)을 포함하는 노즐 유닛(40)을 보유 지지하는 보유 지지 부재이다. 노즐 암(133)은, 그 선단에서 노즐 유닛(40)을 보유 지지하고 있다. 노즐 암(133)은, 도 3 등에 도시하는 바와 같이, 실린더·모터 등에 의해 상하로 승강 가능하게 되어 있다. 수평 이동부(134)는, 노즐 암(133)의 기단에 마련되어 있고, 노즐 이동축(131)을 따라 수평 이동 가능하게 구성되어 있다. 노즐 이동축(131)은, 작업자 영역측에서, 2개의 도포 처리부(1a, 1b)의 배열 방향을 따라 연장되어 있다. 노즐 이동축(131)은, 수평 이동부(134)의 수평 이동을 가이드함으로써, 해당 수평 이동부(134)로부터 연장되는 노즐 암(133)의 이동을 가이드한다. 노즐 구동부(132)는, 예를 들어 모터 등이며, 노즐 이동축(131)을 따라 수평 이동부(134)를 이동시킨다. 노즐 구동부(132)는, 제어부(7)로부터의 제어 신호에 따라서 수평 이동부(134)의 이동을 제어한다.
상술한 바와 같이 노즐 이동축(131)이 작업자 영역측에 배치되어 있는 것에 반해, 도 1에 도시하는 바와 같이, 배기 덕트(110)는, 작업자 영역과는 반대측의 반송 영역측에 배치되어 있다. 즉, 배기 덕트(110)와 노즐 이동축(131)이 반송 영역측과 작업자 영역측으로 나뉘어서 배치되어 있다. 이에 의해, 레지스트 도포 장치(1)의 높이 방향의 스페이스를 억제할 수 있다. 또한, 배기 덕트(110) 및 노즐 이동축(131)의 위치 관계는, 서로 반대이어도 된다. 즉, 배기 덕트(110)가 작업자 영역측 및 반송 영역측의 한쪽에 배치됨과 함께, 노즐 이동축(131)이 작업자 영역측 및 반송 영역측의 다른 쪽에 배치되어 있으면 된다. 또한, 배기 덕트(110)는, 도 1에 도시하는 구성에 한정되지는 않고, 예를 들어 반송측 영역에서 컵(21a, 21b) 각각의 중앙에 대향하는 위치로부터 분기되어 각 컵을 향해서 신장되는 덕트 분기부(도시없음)가 각각의 컵의 배기구(26a)에 접속되어도 된다. 또한, 그 배기구(26a)가 1개의 컵에 있어서 복수 마련되고, 그 배기구(26a)의 개수에 맞도록 덕트 분기부로부터 또한 분기된 것이 복수의 배기구(26a) 각각에 접속되어도 된다.
노즐 추종 카메라(60)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 노즐 암(133)에 설치됨으로써, 도포액 노즐(41)을 포함하는 노즐 유닛(40)에 추종해서 이동하여, 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)을 촬상 가능하게 구성된 카메라이다. 또한, 노즐 암(133)의 선단에는, 노즐 추종 카메라(60)용 조명(61)이 마련되어 있다(도 3 참조). 노즐 추종 카메라(60)는, 제1 대기 버스(80)에 대한 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)의 위치에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성됨과 함께, 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)의 액 거동에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성되어 있다. 노즐 추종 카메라(60)는, 노즐 유닛(40)으로서 일체적으로 움직이는 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)의 양쪽에 핀트를 맞추는 것이 가능한 액체 렌즈를 갖고 있어도 된다.
처리 공간용 카메라(70a)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 영역측에 마련되어, 스핀 척(12a) 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 카메라이다. 처리 공간용 카메라(70b)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 영역측에 마련되어, 스핀 척(12b)상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 카메라이다.
여기서, 본 실시 형태에 관한 레지스트 도포 장치(1)에서는, 도포액 노즐(41) 등의 노즐의 센터링 조정에 있어서, 노즐 추종 카메라(60)에 의해 촬상된 정보와, 처리 공간용 카메라(70a)(또는 처리 공간용 카메라(70b))에 의해 촬상된 정보가 사용된다. 도 6에 도시되는 예에서는, 노즐 추종 카메라(60)가, 스핀 척(12a)에 대한 도포액 노즐(41)의 센터링에 관한 정보로서, 도포액 노즐(41)을 포함하는 노즐 유닛(40)을 촬상하고 있다. 또한, 처리 공간용 카메라(70a)가, 스핀 척(12a)에 대한 도포액 노즐(41)의 센터링에 관한 정보로서, 노즐 추종 카메라(60)와는 다른 각도로부터, 도포액 노즐(41)을 포함하는 노즐 유닛(40)을 촬상하고 있다. 이 경우의 촬상 각도의 차는, 예를 들어 90도 정도로 되어도 된다. 이와 같이, 노즐 추종 카메라(60) 및 처리 공간용 카메라(70a)에 의해, 서로 다른 각도로부터 도포액 노즐(41)이 촬상됨으로써, 도포액 노즐(41)을 3차원적으로 고정밀도로 센터링 조정하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 처리 공간용 카메라(70a, 70b)는, 상면으로 보아 촬상 대상 노즐인 도포액 노즐(41)과 조명(61)을 연결하는 직선 상으로부터 어긋난 위치에 마련되어 있다. 또한, 도 1과 도 3에서 도시하는 바와 같이, 레지스트 도포 장치(1) 내에서 인접하는 도포 처리부(1a, 1b) 각각에 대응하도록 마련된 처리 공간용 카메라(70a, 70b)는, 노즐 추종 카메라(60)보다도 상방이다. 처리 공간용 카메라(70a, 70b)는, 컵(21a, 21b)으로부터 가로 방향으로 어긋난 위치(컵의 외측 위치)에 마련된다. 처리 공간용 카메라(70a, 70b)는 각각, 상기 위치로부터 대응하는 도포 처리부에 존재하는 기판에 대하여 비스듬히 하방향의 시야에서 촬상한다. 노즐 추종 카메라(60)보다도 상방에서, 대응하는 컵(21a 또는 21b)의 외측의 위치에 있으므로, 처리에 의한 액튐이나 휘발한 액의 결로 등에 의한 액의 부착 리스크를 낮게 하면서, 좁은 공간 내에 배치하기 쉽다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)를 콤팩트하게 할 수 있다. 또한, 처리 공간용 카메라(70a, 70b)는, 기판 상방에 위치할 때의 도포액 노즐(41)에 대한 촬상 시야가, 노즐 추종 카메라(60)의 그것에 비해서 연직 방향면(예를 들어, 도 3에서 보았을 때의 면) 내에서 다른 방향이 된다. 이 때문에, 양쪽 카메라로 대략 수평하게 촬상할 경우보다도, 도포액 노즐(41)의 3차원적인 위치·자세의 변화를 포착하기 쉬워진다. 즉, 상기 센터링 조정을 고정밀도로 실시 가능하게 된다.
상술한 노즐의 센터링 조정은, 이하의 제1 공정 내지 제3 공정을 포함하는 기판 처리 방법에 의해 실현된다. 제1 공정에서는, 노즐 추종 카메라(60)에 의해, 제1 방향으로부터 도포액 노즐(41)이 촬상된다. 제2 공정에서는, 처리 공간용 카메라(70a)(또는 처리 공간용 카메라(70b))에 의해, 제1 방향과는 다른 제2 방향으로부터 도포액 노즐(41)이 촬상된다. 제3 공정에서는, 노즐 추종 카메라(60)의 촬상 결과 및 처리 공간용 카메라(70a)(또는 처리 공간용 카메라(70b))의 촬상 결과에 기초하여, 도포액 노즐(41)의 센터링 조정이 행해진다. 또한, 제3 공정에 대해서는, 제어부(7)가 제어 신호를 출력함으로써 자동적으로 행해져도 된다.
제거액 노즐(50a, 50b)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 기판(W)에 대하여 기판(W)의 주연부의 막 제거용 제거액을 토출 가능하게 구성된 노즐이다. 제거액 노즐(50a)은, 도포 처리부(1a)에 대응해서 마련되어 있다. 제거액 노즐(50b)은, 도포 처리부(1b)에 대응해서 마련되어 있다.
제2 대기 버스(90a)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 제거액 노즐(50a)의 대기 구간에 마련된 제거액 노즐(50a)의 대기용 버스이다. 제2 대기 버스(90b)는, 제거액 노즐(50b)의 대기 구간에 마련된 제거액 노즐(50b)의 대기용 버스이다. 또한, 제거액 노즐(50a)의 대기 구간과 기판(W)에 제거액을 토출하는 위치의 사이에서의 이동은, 도 1의 화살표가 나타내는 바와 같은 선회 이동에 한정되지 않고, 예를 들어 직선 이동시키는 제거액 노즐 이동 기구가 마련되어 있어도 된다. 또한, 제거액 노즐 이동 기구는 승강 이동이 가능하여도 된다.
버스 카메라(95a)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 제2 대기 버스(90a)에 위치하는 제거액 노즐(50a)을 촬상 가능하게 구성된 카메라이다. 버스 카메라(95b)는, 제2 대기 버스(90b)에 위치하는 제거액 노즐(50b)을 촬상 가능하게 구성된 카메라이다.
제2 대기 버스(90a) 및 버스 카메라(95a)에 대해서, 도 7을 참조하여 설명한다. 또한, 도 7에는 제2 대기 버스(90a) 및 버스 카메라(95a)만이 도시되어 있는데, 제2 대기 버스(90b)에 대해서는 제2 대기 버스(90a)와 마찬가지이며, 버스 카메라(95b)에 대해서는 버스 카메라(95a)와 마찬가지이다.
도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 대기 버스(90a)는, 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 제2 대기 버스(90a)의 상면 부분은 개구로 되어 있고, 해당 개구로부터 제거액 노즐(50a)을 출입시킬 수 있다. 제2 대기 버스(90a)에서의 컵(21a)에 대향하는 면에는, 채광용 창(97)이 마련되어 있다. 또한, 제2 대기 버스(90a)에서의 창(97)에 대향하는 면에는, 버스 카메라(95a)가 마련되어 있다. 즉, 버스 카메라(95a)는, 제2 대기 버스(90a)에서의, 컵(21a)에 대향하지 않는 영역에 마련되어 있다. 버스 카메라(95a)가 마련되어 있는 면에는, 카메라용 창(96)이 마련되어 있다. 또한, 버스 카메라(95a)에는, 피액 및 반사 방지용 커버가 마련되어 있어도 된다.
제2 대기 버스(90a)는, 창(96, 97) 이외의 영역이 흑색면으로 형성되어 있어도 된다. 또한, 제2 대기 버스(90a)는, 전체면 또는 일부가 경면으로 형성되어 있어도 된다.
제어부(7)는, 레지스트 도포 장치(1)의 각 구성을 제어한다. 제어부(7)는, 1개 또는 복수의 제어용 컴퓨터에 의해 구성된다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 제어부(7)는 회로(190)를 갖는다. 회로(190)는, 적어도 하나의 프로세서(191)와, 메모리(192)와, 스토리지(193)와, 입출력 포트(194)와, 입력 디바이스(195)와, 표시 디바이스(196)를 포함한다.
스토리지(193)는, 예를 들어 하드 디스크 등, 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기억 매체를 갖는다. 스토리지(193)는, 기판 처리 장치의 정보 처리 방법을 제어부(7)에 실행시키기 위한 프로그램을 기억하고 있다.
메모리(192)는, 스토리지(193)의 기억 매체로부터 로드한 프로그램 및 프로세서(191)에 의한 연산 결과를 일시적으로 기억한다. 프로세서(191)는, 메모리(192)와 협동해서 상기 프로그램을 실행함으로써, 상술한 각 기능 모듈을 구성한다. 입출력 포트(194)는, 프로세서(191)로부터의 지령에 따라서 각 구성과의 사이에서 전기 신호의 입출력을 행한다.
입력 디바이스(195) 및 표시 디바이스(196)는, 제어부(7)의 유저 인터페이스로서 기능한다. 입력 디바이스(195)는, 예를 들어 키보드 등이며, 유저에 의한 입력 정보를 취득한다. 표시 디바이스(196)는, 예를 들어 액정 모니터 등을 포함하고, 유저에 대한 정보 표시에 사용된다. 입력 디바이스(195) 및 표시 디바이스(196)는, 소위 터치 패널로서 일체화되어 있어도 된다.
이어서, 본 실시 형태에 관한 레지스트 도포 장치(1)의 작용 효과에 대해서 설명한다.
본 실시 형태에 관한 레지스트 도포 장치(1)는, 기판(W)을 보유 지지해서 회전시키는 스핀 척(12a)과, 스핀 척(12a)에 보유 지지된 기판(W)을 둘러싸도록 해서 배치된 컵(21a)과, 기판(W)에 대하여 도포액을 토출 가능하게 구성된 도포액 노즐(41)을 구비한다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)는, 제거액 노즐(50a)과, 도포액 노즐(41)을 보유 지지하는 노즐 암(133)에 설치됨으로써 도포액 노즐(41)에 추종해서 이동하여, 도포액 노즐(41)을 촬상 가능하게 구성된 노즐 추종 카메라(60)를 구비한다. 또한, 레지스트 도포 장치(1)는, 스핀 척(12a) 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 처리 공간용 카메라를 구비한다.
본 실시 형태에 관한 레지스트 도포 장치(1)에서는, 도포액 노즐(41)을 촬상 가능하게 구성된 노즐 추종 카메라(60)와, 스핀 척(12a) 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 처리 공간용 카메라(70a)가 마련되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 도포액 노즐(41)에 관한 동작 감시, 및 처리 공간에 관한 동작 감시를 적합하게 실시할 수 있다. 그리고, 동작 감시 결과에 기초하여, 다양한 하드 조정이나 메인터넌스를 적합하게 실시할 수 있다. 이상과 같이, 본 실시 형태에 관한 레지스트 도포 장치(1)에 의하면, 도포 처리에 관한 편리성을 향상시킬 수 있다.
본 레지스트 도포 장치(1)는, 컵(21a)의 배기구(26a)에 접속됨과 함께 배기원에 접속되는 배기 덕트(110)와, 도포액 노즐(41)을 보유 지지하는 노즐 암(133)의 이동을 가이드하는 노즐 이동축(131)을 더 구비하고 있다. 그리고, 배기 덕트(110)는 반송 영역측에 배치되어 있고, 노즐 이동축(131)은 작업자 영역측에 배치되어 있다. 이와 같이, 배기 덕트(110)와 노즐 이동축(131)이 반송 영역측과 작업자 영역측으로 나뉘어서 배치됨으로써, 레지스트 도포 장치(1)의 높이를 얕게 할 수 있다. 레지스트 도포 장치(1)가 박형으로 됨으로써, 다수 탑재가 가능하게 되어, 고트랜잭션 처리를 실현할 수 있다.
본 레지스트 도포 장치(1)는, 가동 컵부(21x)를 보유 지지하는 제1 레일(122)과, 해당 제1 레일(122)을 보유 지지하는 제2 레일(123)을 갖는다. 그리고, 레지스트 도포 장치(1)에서는, 소정의 방향으로 제2 레일(123)이 연장되고, 또한 소정의 방향으로 제1 레일(122)이 연장됨으로써, 가동 컵부(21x)를 인출한다. 이렇게 제1 레일(122) 및 제2 레일(123)이 2단계로 연장됨으로써, 가동 컵부(21x)를 보다 앞쪽까지 인출할 수 있어, 가동 컵부(21x)의 인출에 관한 작업성을 향상시킬 수 있다.
본 레지스트 도포 장치(1)는, 도포액 노즐(41)의 대기 구역에 마련된 제1 대기 버스(80)를 더 구비한다. 그리고, 노즐 추종 카메라(60)는, 제1 대기 버스(80)에 대한 도포액 노즐(41)의 위치에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성됨과 함께, 도포액 노즐(41)의 액 거동에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 노즐 추종 카메라(60)에 의해, 제1 대기 버스(80)에서의 도포액 노즐(41)의 위치가 인식됨과 함께, 도포액 노즐(41)의 액 거동이 인식된다. 이와 같이, 도포액 노즐(41)의 위치뿐만 아니라 액 거동에 대해서도 노즐 추종 카메라(60)에 의해 감시됨으로써, 도포액 노즐(41)에 관한 동작 감시를 보다 적절하게 실시할 수 있다.
본 레지스트 도포 장치(1)는, 제거액 노즐(50a)의 대기 구역에 마련된 제2 대기 버스(90a)와, 제2 대기 버스(90a)에 위치하는 제거액 노즐(50a)을 촬상 가능하게 구성된 버스 카메라(95a)를 더 구비하고 있다. 그리고, 버스 카메라(95a)는, 제2 대기 버스(90a)에서의, 컵(21a)에 대향하지 않는 영역에 마련되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 버스 카메라(95a)에 의해, 제2 대기 버스(90a)에서의 제거액 노즐(50a)의 동작 감시를 적절하게 실시할 수 있다. 그리고, 버스 카메라(95a)가 컵(21a)에 대향하지 않는 영역에 마련되어 있음으로써, 컵(21a)으로부터 비산하는 액체 등의 영향을 억제하면서, 버스 카메라(95a)로 적절하게 제거액 노즐(50a)을 촬상할 수 있다.
제2 대기 버스(90a)는, 전체면 또는 일부가 경면으로 형성되어 있어도 된다. 이와 같은 구성에 의하면, 광을 반사시켜, 버스 카메라(95a)에 의한 촬상성을 향상시킬 수 있다.
제2 대기 버스(90a)는, 창(96, 97) 이외의 영역이 흑색면으로 형성되어 있어도 된다. 이와 같은 구성에 의하면, 불필요한 광의 반사가 억제되어, 버스 카메라(95a)에 의한 촬상성을 향상시킬 수 있다.
노즐 추종 카메라(60)는, 스핀 척(12a)에 대한 도포액 노즐(41)의 센터링에 관한 정보로서, 도포액 노즐(41)을 촬상 가능하게 구성되어 있다. 처리 공간용 카메라(70a)는, 도포액 노즐(41)의 센터링에 관한 정보로서, 노즐 추종 카메라(60)와는 다른 각도로부터 도포액 노즐(41)을 촬상 가능하게 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 서로 다른 각도로부터 도포액 노즐(41)을 촬상할 수 있어, 도포액 노즐(41)의 3차원적인 센터링을 실현할 수 있다.
본 레지스트 도포 장치(1)는, 도포액 노즐(41)과 함께 노즐 암(133)에 설치되고, 기판(W)에 대하여 도포액을 확산시키기 쉽게 하는 처리액을 토출 가능하게 구성된 처리액 노즐(42)을 더 구비한다. 노즐 추종 카메라(60)는, 일체적으로 움직이는 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42) 양쪽에 핀트를 맞추는 것이 가능한 액체 렌즈를 갖고 있어도 된다. 일체적으로 움직이는 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42) 양쪽에 핀트를 맞추는 것이 가능한 액체 렌즈를 갖는 노즐 추종 카메라(60)가 사용됨으로써, 도포액 노즐(41) 및 처리액 노즐(42)에 대한 동작 감시를 보다 적절하게 실시할 수 있다.
본 개시는, 상기 실시 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제거액 노즐(50b)의 대기용 버스로서 제2 대기 버스(90a)를 설명했지만, 당해 제2 대기 버스(90a)에 관한 구성은, 상기 실시 형태에 한정되지 않는다. 도 9 내지 도 11은, 변형예에 관한 제2 대기 버스(90a)에 관한 구성을 설명하는 도면이다. 도 9 내지 도 11에서는, 서로 교차하는 3개의 방향인, X 방향, Y 방향, Z 방향이 나타내져 있다. X 방향은 평면으로 보았을 때 2개의 도포 처리부가 인접하는 방향이며, Y 방향은 평면으로 보았을 때 X 방향에 교차하는 방향이며, Z 방향은 상하 방향(높이 방향)이다. 도 9는 제2 대기 버스(90a)의 XZ 단면을 모식적으로 도시한 도면이며, 도 10은 제2 대기 버스(90a)의 XY 단면을 모식적으로 도시한 도면이며, 도 11은 제2 대기 버스(90a)의 YZ 단면을 모식적으로 도시한 도면이다.
도 9 내지 도 11에 도시되는 구성에서는, 제2 대기 버스(90a)에 관한 구성으로서, 조명부(210)가 또한 마련되어 있다. 조명부(210)는, 제2 대기 버스(90a)에 위치하는 제거액 노즐(50b) 방향으로 광을 조사하는 조명이다. 조명부(210)는, 예를 들어 LED(Light Emitting Diode) 조명을 포함하여 구성되어 있어도 된다. 조명부(210)는, 버스 카메라(95a)와의 사이에 제2 대기 버스(90a)를 두도록, 버스 카메라(95a)의 반대측에 마련되어 있다. 이러한 배치로 조명부(210) 및 버스 카메라(95a)가 마련되어 있음으로써, 조명부(210)는, 제2 대기 버스(90a)보다도 상방에 마련되어 있어, 상방으로부터 제거액 노즐(50b)에 광을 조사한다. 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같이, 조명부(210)는, 제2 대기 버스(90a)의 길이 방향인 Y 방향을 따라 마련되어 있다. 조명부(210)는, 제2 대기 버스(90a)에서의 상부의 개구 부분의 대략 전역(Y 방향의 대략 전역)에 마련되어 있다. 이에 의해, 조명부(210)로부터 조사되는 광에 의해, 제2 대기 버스(90a)의 내부의 전역을 명확하게 확인할 수 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같은, 노즐 다계통화의 구성에도 적절하게 대응할 수 있다.
또한, 제2 대기 버스(90a)에서는, 적어도 버스 카메라(95a)에 대향하는 면이, 흑색 표면 처리가 실시된 면으로 되어 있어도 된다. 또한, 제2 대기 버스(90a)의 각 표면의 표면 조도는 경면 마무리로 되어 있어도 된다. 이에 의해, 제2 대기 버스(90a) 내에서 시인하고자 하는 대상을 고콘트라스트로 명료하게 확인할 수 있다. 또한, 버스 카메라(95a)는, 제거액 노즐(50b)의 토출 방향에 교차하는 방향으로부터 촬상 가능하게 배치되어 있어도 된다. 즉, 도 9에 도시하는 바와 같이, 예를 들어 제거액 노즐(50b)로부터 Z 방향으로 토출되는 액 기둥을, Z 방향에 교차하는 X 방향측으로부터 감시 가능하게 되도록, 버스 카메라(95a)가 배치되어 있어도 된다.
또한, 컵 인출 구조는, 상술한 컵 인출 구조(120)의 구성에 한정되지 않고, 예를 들어 도 12에 도시되는 변형예에 관한 컵 인출 구조(420)이어도 된다. 도 12는, 변형예에 관한 컵 인출 구조(420)의 사시도이다. 컵 인출 구조(420)는, 컵 승강기(421)와, 슬라이드 레일을 구성하는 제1 레일(422) 및 제2 레일(423)과, 컵 적재부(430)와, 액 수용부(440)와, 스토퍼(450)를 구비하고 있다. 또한, 컵 인출 구조(420)는, 인출시 로크 마그네트(460)와, 수납시 로크 마그네트(470)와, 컵 누름부(480)를 구비하고 있다.
컵 승강기(421), 제1 레일(422) 및 제2 레일(423)은 각각, 상술한 컵 인출 구조(120)의 컵 승강기(121), 제1 레일(122) 및 제2 레일(123)과 마찬가지의 구성이다. 제1 레일(422) 및 제2 레일(423)에 의한 컵(21a)의 인출량은, 예를 들어 450mm 정도로 되어도 된다. 컵 적재부(430)는, 한 쌍의 제1 레일(422)간에 걸쳐지도록 연장되어 있는 부분이며, 가동 컵부(21x)의 일부가 적재되는 부분이다. 컵 적재부(430)에서의 폭 방향의 중앙부에는, 상하 방향으로 관통한 관통 구멍(430x)이 형성되어 있다. 당해 관통 구멍(430x)에는, 컵(21a)의 컵측 드레인 배관(601)(도 15의 (b) 등 참조)이 삽입된다. 컵측 드레인 배관(601)(도 15의 (b) 등 참조)은, 컵(21a)의 배액구(25a)(도 2 참조)에 연결되는 배관이며, 컵(21a)의 하단으로부터 하방으로 연장되는 배관이다.
액 수용부(440)는, 컵 적재부(430)의 폭 방향의 중앙부에 마련되어 있고, 컵측 드레인 배관(601)에 덮개를 덮는 드레인 팬이다. 스토퍼(450)는, 액 수용부(440)에 접촉함으로써 액 수용부(440)를 변위시키는 구성이다. 액 수용부(440) 및 스토퍼(450)의 상세에 대해서는, 도 15를 참조하여 후술한다.
인출시 로크 마그네트(460)는, 컵 적재부(430)의 전단부(작업자 영역측의 단부)에 마련되어 있고, 컵(21a)이 인출될 때 컵(21a)을 끌어 당겨서 로크하여, 컵 적재부(430)에 컵(21a)을 얹기 쉽게 하는 구성이다. 수납시 로크 마그네트(470)는, 컵 승강기(421)의 근방에 마련되어 있고, 컵(21a)이 수납될 때 컵(21a)을 끌어 당겨서 로크하는 구성이다. 컵 누름부(480)는, 컵 승강기(421)의 상방에 마련되어 있고, 컵(21a)을 상방으로부터 눌러서 컵(21a)의 위치 결정을 행하는 구성이다. 컵 인출 구조(420)는, 그 밖에, 컵 승강기(121)에 의한 컵(21a)의 승강 상태를 검지하는 승강 센서나, 제1 레일(422) 및 제2 레일(423)에 의한 컵(21a)의 인출 상태를 검지하는 인출 센서 등을 구비하고 있어도 된다.
예를 들어 상술한 컵 인출 구조(420)를 구비하는 구성에 있어서, 도 13 및 도 14에 도시하는 바와 같이, 드레인관(300)을 더 구비하고 있어도 된다. 도 13은, 변형예에 관한 레지스트 도포 장치(1X)의 평면도이다. 도 14는, 도 13에 도시되는 레지스트 도포 장치(1X)의 종단 측면도이다. 드레인관(300)은, 컵측 드레인 배관(601)(도 15의 (b) 등 참조)에 접속되는(즉, 컵(21a)의 배액구(25a)(도 2 참조)에 접속되는) 관이다. 드레인관(300)은, 컵측 드레인 배관(601)(도 15의 (b) 등 참조)에 접속되는, 2개의 도포 처리부(1a, 1b)에 대응한 접속관(302, 302)과, 접속관(302, 302)간을 연결하는 배관(301)을 구비하고 있다.
드레인관(300)은, 도 14에 도시하는 바와 같이, 배기 덕트(110)보다도 수직 단면에서의 면적이 작고, 높이가 낮게 구성되어 있다. 그리고, 드레인관(300)은, 도 13에 도시하는 바와 같이, 평면으로 보았을 때의 작업자 영역 및 반송 영역 중, 배기 덕트(110)가 배치된 영역의 반대측(타방측)에 배치되어 있다. 도 13에 도시되는 예에서는, 배기 덕트(110)가 반송 영역측에 마련되어 있고, 드레인관(300)이 작업 영역측에 마련되어 있다. 이와 같이, 드레인관(300)의 높이가 작게 됨으로써, 상술한 바와 같이, 드레인관(300) 및 배기 덕트(110)를, 작업자 영역 및 반송 영역으로 나누어서 배치하는 것이 가능해진다. 이로써, 예를 들어 동일한 영역 상에서 배기 덕트(110)에 겹쳐서 드레인관(300)이 배치되는 구성과 비교하여, 높이 방향에 있어서 소형화된 구성을 실현할 수 있다.
도 15는, 상술한 변형예에 관한 컵 인출 구조(420) 및 드레인관(300)에서의 컵 교환의 동작 플로를 나타내는 도면이다. 도 15의 (a) 등에 도시하는 바와 같이, 컵 인출 구조(420)의 액 수용부(440)는, 덮개부(441)와, 손잡이부(442)를 갖고 있다. 덮개부(441)는, 컵측 드레인 배관(601)(배액구)의 하방으로부터 덮개를 덮도록 배치 가능하게 구성된 구성이다. 손잡이부(442)는, 덮개부(441)에 연속하도록 덮개부(441)와 일체적으로 마련된 구성이다. 액 수용부(440)는, 손잡이부(442)에 힘이 가해짐으로써, 소정의 개소를 회전축으로 해서 회전 동작 가능하게 구성되어 있다. 액 수용부(440)에서는, 손잡이부(442)에 대하여 하방을 향해서 힘이 가해짐으로써, 액 수용부(440)가 상방으로 변위하여, 도 15의 (c)에 도시하는 바와 같이, 액 수용부(440)가 컵측 드레인 배관(601)에 덮개를 덮는다. 또한, 액 수용부(440)에서는, 손잡이부(442)가 스토퍼(450)의 상부에 접촉하여, 손잡이부(442)에 대하여 상방을 향해서 힘이 가해짐으로써, 액 수용부(440)가 하방으로 변위하여, 액 수용부(440)가 컵측 드레인 배관(601)으로부터 분리된다. 이와 같이, 스토퍼(450)는, 컵측 드레인 배관(601)과 드레인관(300)의 접속관(302)을 접속하기 위해서 컵(21a)을 이동시킬 때, 손잡이부(442)에 접촉한다. 이에 의해, 액 수용부(440)가 회전하여, 컵측 드레인 배관(601)에 설치된 덮개부(441)가 컵측 드레인 배관(601)으로부터 분리된다.
이러한 동작에 대해서, 도 15의 (a) 내지 도 15의 (f)를 참조하여 설명한다. 도 15의 (a)는, 컵(21a)이 수납되어 있고, 컵측 드레인 배관(601)과 드레인관(300)의 접속관(302)이 접속된 상태를 도시하고 있다. 이 상태로부터, 예를 들어 컵 교환이 행하여지는 경우에는, 컵(21a)이 상방으로 끌어올려진다(도 15의 (b) 참조).
그리고, 도 15의 (c)에 도시하는 바와 같이, 컵 교환을 위해서 컵(21a)이 작업자 영역측으로 인출되기 전의 상태에서, 액 수용부(440)의 손잡이부(442)에 하방을 향해서 힘이 가해진다. 이에 의해, 덮개부(441)가 상방을 향해서 회전하여, 덮개부(441)가, 컵측 드레인 배관(601)에 덮개를 덮는다.
그리고, 도 15의 (d)에 도시하는 바와 같이 컵(21a)의 교환이 완료되면, 도 15의 (e)에 도시하는 바와 같이, 컵측 드레인 배관(601)과 드레인관(300)의 접속관(302)을 접속하기 위해서 컵(21a)이 하방으로 이동시켜진다. 이 경우, 도 15의 (e)에 도시하는 바와 같이, 스토퍼(450)의 상부가 손잡이부(442)에 접촉함으로써, 액 수용부(440)가 회전하여, 컵측 드레인 배관(601)에 설치된 덮개부(441)가 컵측 드레인 배관(601)으로부터 분리된다. 그리고, 도 15의 (f)에 도시하는 바와 같이, 더 하방을 향해서 컵(21a)이 이동시켜짐으로써, 덮개부(441)가 분리된 컵측 드레인 배관(601)과 드레인관(300)의 접속관(302)이 접속된다.
이와 같은 구성에 의하면, 컵(21a)을 하방으로 이동시키는 동작에 있어서, 스토퍼(450)에 의해 덮개부(441)가 자동적으로 컵측 드레인 배관(601)으로부터 분리된다. 이로써, 용이하면서 또한 확실하게, 컵측 드레인 배관(601)과 드레인관(300)의 접속관(302)의 접속을 행할 수 있다.
마지막으로, 본 개시에 포함되는 다양한 예시적 실시 형태를, 이하의 [E1] 내지 [E14]에 기재한다.
[E1] 기판을 보유 지지해서 회전시키는 회전 보유 지지부와,
상기 회전 보유 지지부에 보유 지지된 상기 기판을 둘러싸도록 해서 배치된 컵과, 상기 기판에 대하여 도포액을 토출 가능하게 구성된 도포액 노즐과,
상기 기판에 대하여 해당 기판의 주연부의 막 제거용 제거액을 토출 가능하게 구성된 제거액 노즐과,
상기 도포액 노즐을 보유 지지하는 노즐 암에 설치됨으로써 상기 도포액 노즐에 추종해서 이동하여, 상기 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성된 노즐 추종 카메라와,
상기 회전 보유 지지부 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 처리 공간용 카메라를 구비하는 기판 처리 장치.
[E2] 상기 컵의 배기구에 접속됨과 함께 배기원에 접속되는 배기 덕트와,
상기 도포액 노즐을 보유 지지하는 상기 노즐 암의 이동을 가이드하는 노즐 이동축을 더 구비하고,
평면으로 보았을 때의 작업자측의 영역을 전방측 영역, 해당 전방측 영역의 반대측 영역이며 반송 처리가 행해지는 영역을 후방측 영역으로 한다. 그 경우에, 상기 배기 덕트는 상기 전방측 영역 및 상기 후방측 영역의 일방측에 배치되어 있고, 상기 노즐 이동축은 상기 전방측 영역 및 상기 후방측 영역의 타방측에 배치되어 있는, [E1]에 기재된 기판 처리 장치.
[E3] 상기 컵을 보유 지지함과 함께, 소정의 방향으로 연장됨으로써 상기 컵을 인출 가능하게 구성된 슬라이드 레일을 더 구비하고,
상기 슬라이드 레일은,
상기 컵을 보유 지지하는 제1 레일과, 해당 제1 레일을 보유 지지하는 제2 레일을 갖고, 상기 소정의 방향으로 상기 제2 레일이 연장되고, 또한 상기 소정의 방향으로 상기 제1 레일이 연장됨으로써 상기 컵을 인출하는, [E1] 또는 [E2]에 기재된 기판 처리 장치.
[E4] 상기 도포액 노즐의 대기 구역에 마련된 도포액 노즐용 대기 버스를 더 구비하고,
상기 노즐 추종 카메라는, 상기 도포액 노즐용 대기 버스에 대한 상기 도포액 노즐의 위치에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성됨과 함께, 상기 도포액 노즐의 액 거동에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성되어 있는, [E1] 내지 [E3] 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치.
[E5] 상기 제거액 노즐의 대기 구역에 마련된 제거액 노즐용 대기 버스와,
상기 제거액 노즐용 대기 버스에 위치하는 상기 제거액 노즐을 촬상 가능하게 구성된 버스 카메라를 더 구비하고,
상기 버스 카메라는, 상기 제거액 노즐용 대기 버스에서의, 상기 컵에 대향하지 않는 영역에 마련되어 있는, [E1] 내지 [E4] 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치.
[E6] 상기 제거액 노즐용 대기 버스는, 전체면 또는 일부가 경면으로 형성되어 있는, [E5]에 기재된 기판 처리 장치.
[E7] 상기 제거액 노즐용 대기 버스는, 채광용 창 이외의 영역이 흑색면으로 형성되어 있는, [E5]에 기재된 기판 처리 장치.
[E8] 상기 노즐 추종 카메라는, 상기 회전 보유 지지부에 대한 상기 도포액 노즐의 센터링에 관한 정보로서, 상기 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성되어 있고,
상기 처리 공간용 카메라는, 상기 회전 보유 지지부에 대한 상기 도포액 노즐의 센터링에 관한 정보로서, 상기 노즐 추종 카메라와는 다른 각도로부터 상기 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성되어 있는, [E1] 내지 [E7] 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치.
[E9] 상기 도포액 노즐과 함께 상기 노즐 암에 설치되고, 상기 기판에 대하여 상기 도포액을 확산시키기 쉽게 하는 처리액을 토출 가능하게 구성된 처리액 노즐을 더 구비하고,
상기 노즐 추종 카메라는, 일체적으로 움직이는 상기 도포액 노즐 및 상기 처리액 노즐 양쪽에 핀트를 맞추는 것이 가능한 액체 렌즈를 갖고 있는, [E1] 내지 [E8] 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치.
[E10] 상기 컵의 배액구에 접속되는 드레인관을 더 구비하고,
상기 드레인관은, 상기 배기 덕트보다도 높이가 낮게 구성되어 있고, 상기 타방측에 배치되어 있는, [E2]에 기재된 기판 처리 장치.
[E11] 상기 배액구에 덮개를 덮도록 배치 가능하게 구성된 덮개부와, 상기 덮개부에 연속하는 손잡이부를 갖는 액 수용부와, 상기 배액구와 상기 드레인관을 접속하기 위해서 상기 컵을 이동시킬 때, 상기 손잡이부에 접촉함으로써, 상기 배액구에 설치된 상기 덮개부를 상기 배액구로부터 분리하는 스토퍼를 더 구비하는, [E10]에 기재된 기판 처리 장치.
[E12] 상기 제거액 노즐용 대기 버스에 위치하는 상기 제거액 노즐 방향으로 광을 조사하는 조명부를 더 구비하고,
상기 조명부는, 상기 버스 카메라와의 사이에 상기 제거액 노즐용 대기 버스를 두도록, 상기 버스 카메라의 반대측에 마련되어 있는, [E5] 내지 [E7] 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치.
[E13] 회전 보유 지지부와, 도포액 노즐과, 노즐 추종 카메라와, 처리 공간용 카메라를 구비하는 기판 처리 장치를 사용해서 실시하는 기판 처리 방법이며,
상기 노즐 추종 카메라에 의해, 제1 방향으로부터 상기 도포액 노즐의 제1 영상을 촬상하는 제1 공정과,
상기 처리 공간용 카메라에 의해, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로부터 상기 도포액 노즐의 제2 영상을 촬상하는 제2 공정과,
상기 노즐 추종 카메라의 촬상 결과 및 상기 처리 공간용 카메라의 촬상 결과에 기초하여, 상기 회전 보유 지지부에 대한 상기 도포액 노즐의 센터링 조정을 행하는 제3 공정을 포함하는 기판 처리 방법.
[E14] [E13]에 기재된 기판 처리 방법을 장치에 실행시키기 위한 프로그램을 기억한, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.

Claims (14)

  1. 기판을 보유 지지해서 회전시키는 회전 보유 지지부와,
    상기 회전 보유 지지부에 보유 지지된 상기 기판을 둘러싸도록 해서 배치된 컵과, 상기 기판에 대하여 도포액을 토출 가능하게 구성된 도포액 노즐과,
    상기 기판에 대하여 해당 기판의 주연부의 막 제거용 제거액을 토출 가능하게 구성된 제거액 노즐과,
    상기 도포액 노즐을 보유 지지하는 노즐 암에 설치됨으로써 상기 도포액 노즐에 추종해서 이동하여, 상기 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성된 노즐 추종 카메라와,
    상기 회전 보유 지지부 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 처리 공간용 카메라를 포함하는, 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 컵의 배기구에 접속됨과 함께 배기원에 접속되는 배기 덕트와,
    상기 도포액 노즐을 보유 지지하는 상기 노즐 암의 이동을 가이드하는 노즐 이동축을 더 포함하고,
    평면으로 보았을 때의 작업자측의 영역을 전방측 영역, 해당 전방측 영역의 반대측 영역이며 반송 처리가 행해지는 영역을 후방측 영역으로 한 경우에, 상기 배기 덕트는 상기 전방측 영역 및 상기 후방측 영역의 일방측에 배치되어 있고, 상기 노즐 이동축은 상기 전방측 영역 및 상기 후방측 영역의 타방측에 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 컵을 보유 지지함과 함께, 미리 결정된 방향으로 연장됨으로써 상기 컵을 인출 가능하게 구성된 슬라이드 레일을 더 포함하고,
    상기 슬라이드 레일은,
    상기 컵을 보유 지지하는 제1 레일과, 해당 제1 레일을 보유 지지하는 제2 레일을 포함하고,
    상기 미리 결정된 방향으로 상기 제2 레일이 연장되고, 또한 상기 미리 결정된 방향으로 상기 제1 레일이 연장됨으로써 상기 컵을 인출하는, 기판 처리 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도포액 노즐의 대기 구역에 마련된 도포액 노즐용 대기 버스를 더 포함하고,
    상기 노즐 추종 카메라는, 상기 도포액 노즐용 대기 버스에 대한 상기 도포액 노즐의 위치에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성됨과 함께, 상기 도포액 노즐의 액 거동에 관한 정보를 촬상 가능하게 구성되어 있는, 기판 처리 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제거액 노즐의 대기 구역에 마련된 제거액 노즐용 대기 버스와,
    상기 제거액 노즐용 대기 버스에 위치하는 상기 제거액 노즐을 촬상 가능하게 구성된 버스 카메라를 더 포함하고,
    상기 버스 카메라는, 상기 제거액 노즐용 대기 버스에서의, 상기 컵에 대향하지 않는 영역에 마련되어 있는, 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제거액 노즐용 대기 버스는, 전체면 또는 일부가 경면으로 형성되어 있는, 기판 처리 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제거액 노즐용 대기 버스는, 채광용 창 이외의 영역이 흑색면으로 형성되어 있는, 기판 처리 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 노즐 추종 카메라는, 상기 회전 보유 지지부에 대한 상기 도포액 노즐의 센터링에 관한 정보로서, 상기 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성되어 있고,
    상기 처리 공간용 카메라는, 상기 회전 보유 지지부에 대한 상기 도포액 노즐의 센터링에 관한 정보로서, 상기 노즐 추종 카메라와는 다른 각도로부터 상기 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성되어 있는, 기판 처리 장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도포액 노즐과 함께 상기 노즐 암에 설치되고, 상기 기판에 대하여 상기 도포액을 확산시키기 쉽게 하는 처리액을 토출 가능하게 구성된 처리액 노즐을 더 포함하고,
    상기 노즐 추종 카메라는, 일체적으로 움직이는 상기 도포액 노즐 및 상기 처리액 노즐 양쪽에 핀트를 맞추는 것이 가능한 액체 렌즈를 포함하는, 기판 처리 장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 컵의 배액구에 접속되는 드레인관을 더 포함하고,
    상기 드레인관은, 상기 배기 덕트보다도 높이가 낮게 구성되어 있고, 상기 타방측에 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 배액구에 덮개를 덮도록 배치 가능하게 구성된 덮개부와, 상기 덮개부에 연속하는 손잡이부를 포함하는 액 수용부와,
    상기 배액구와 상기 드레인관을 접속하기 위해서 상기 컵을 이동시킬 때, 상기 손잡이부에 접촉함으로써 상기 액 수용부를 회전시켜서, 상기 배액구에 설치된 상기 덮개부를 상기 배액구로부터 분리하는 스토퍼를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  12. 제5항에 있어서, 상기 제거액 노즐용 대기 버스에 위치하는 상기 제거액 노즐 방향으로 광을 조사하는 조명부를 더 포함하고,
    상기 조명부는, 상기 버스 카메라와의 사이에 상기 제거액 노즐용 대기 버스를 두도록, 상기 버스 카메라의 반대측에 마련되어 있는, 기판 처리 장치.
  13. 기판을 보유 지지해서 회전시키는 회전 보유 지지부와, 상기 기판에 대하여 도포액을 토출 가능하게 구성된 도포액 노즐과, 상기 도포액 노즐을 보유 지지하는 노즐 암에 설치됨으로써 상기 도포액 노즐에 추종해서 이동하여, 상기 도포액 노즐을 촬상 가능하게 구성된 노즐 추종 카메라와, 상기 회전 보유 지지부 상의 처리 공간을 촬상 가능하게 구성된 처리 공간용 카메라를 포함하는 기판 처리 장치를 사용해서 실시하는 기판 처리 방법이며,
    상기 노즐 추종 카메라에 의해, 제1 방향으로부터 상기 도포액 노즐의 제1 영상을 촬상하는 제1 공정과,
    상기 처리 공간용 카메라에 의해, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로부터 상기 도포액 노즐의 제2 영상을 촬상하는 제2 공정과,
    상기 노즐 추종 카메라의 촬상 결과 및 상기 처리 공간용 카메라의 촬상 결과에 기초하여, 상기 회전 보유 지지부에 대한 상기 도포액 노즐의 센터링 조정을 행하는 제3 공정을 포함하는, 기판 처리 방법.
  14. 제13항에 기재된 기판 처리 방법을 장치에 실행시키기 위한 프로그램을 기억한, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.
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