本発明は、吸着ノズルを載置可能なノズルパレットを収納するためのノズル収納庫に関する。
回路基板に電子部品を装着する電子部品装着機では、電子部品の形状,サイズ等に応じた吸着ノズルが用いられるため、多くの吸着ノズルが必要である。このため、吸着ノズルを載置可能なノズルパレットを収納するためのノズル収納庫が存在する。具体的には、例えば、下記特許文献に記載のノズル収納庫では、ノズルパレットを収納するための複数の収納部が、ノズル収納庫内で循環する。そして、所定の位置に循環した収納部へのノズルパレットの収納および、その位置に循環した収納部からのノズルパレットの取出が行われる。
上記特許文献に記載のノズル収納庫によれば、複数のノズルパレットを収納することで、多くの吸着ノズルを収納することが可能である。ただし、上記特許文献に記載のノズル収納庫では、収納部を循環させるための機構等により、構造が複雑化する虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、ノズル収納庫の構造を簡素化することである。
上記課題を解決するために、本願に記載のノズル収納庫は、吸着ノズルを載置可能なノズルパレットを収納するための複数の収納部を備えたノズル収納庫において、前記複数の収納部が、上下方向に並んで配設されるとともに、当該ノズル収納庫が、前記複数の収納部への前記ノズルパレットの収納および、前記複数の収納部からの前記ノズルパレットの取出を行うためのアームと、前記アームを、前記複数の収納部と対向させた状態で前記複数の収納部の並ぶ方向に移動させる第1移動機構と、前記アームを、前記複数の収納部に近づける方向および、前記複数の収納部から離す方向に移動させる第2移動機構とを備えることを特徴とする。
本願に記載のノズル収納庫では、複数の収納部が、上下方向に並んで配設されている。そして、アームが、複数の収納部の並ぶ方向に移動し、それら複数の収納部に近づく方向および、複数の収納部から離れる方向に移動する。つまり、アームの2方向への移動により、収納部からのノズルパレットの取出および、収納部へのノズルパレットの収納を行うことが可能となる。これにより、アームを移動させるための機構を簡素化することが可能となり、ノズル収納庫の構造の簡素化を図ることが可能となる。
電子部品装着装置を示す斜視図である。
吸着ノズルを示す斜視図である。
ノズル管理装置を示す斜視図である。
ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。
ノズルパレットが載置されたパレット移動装置を示す斜視図である。
パレット収容装置を示す斜視図である。
支持アームを示す斜視図である。
延び出した状態の支持アームを示す斜視図である。
パレット収容タワーにノズルパレットを収納する際のパレット移動装置を示す斜視図である。
パレット収容タワーにノズルパレットを収納する際のパレット移動装置を示す斜視図である。
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
<電子部品装着装置の構成>
図1に、電子部品装着装置(以下、「装着装置」と略す場合がある)10を示す。装着装置10は、1つのシステムベース12と、そのシステムベース12の上に隣接された2台の電子部品装着機(以下、「装着機」と略す場合がある)14とを有している。なお、装着機14の並ぶ方向をX軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をY軸方向と称する。
各装着機14は、主に、装着機本体20、搬送装置22、装着ヘッド移動装置(以下、「移動装置」と略す場合がある)24、装着ヘッド26、供給装置28、ノズルステーション30を備えている。装着機本体20は、フレーム部32と、そのフレーム部32に上架されたビーム部34とによって構成されている。
搬送装置22は、2つのコンベア装置40,42を備えている。それら2つのコンベア装置40,42は、互いに平行、かつ、X軸方向に延びるようにフレーム部32に配設されている。2つのコンベア装置40,42の各々は、電磁モータ(図示省略)によって各コンベア装置40,42に支持される回路基板をX軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置(図示省略)によって固定的に保持される。
移動装置24は、XYロボット型の移動装置である。移動装置24は、スライダ50をX軸方向にスライドさせる電磁モータ(図示省略)と、Y軸方向にスライドさせる電磁モータ(図示省略)とを備えている。スライダ50には、装着ヘッド26が取り付けられており、その装着ヘッド26は、2つの電磁モータの作動によって、フレーム部32上の任意の位置に移動させられる。
装着ヘッド26は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド26の下端面には、吸着ノズル60が設けられている。吸着ノズル60は、図2に示すように、胴体筒64とフランジ部66と吸着管68と掛止ピン70とによって構成されている。胴体筒64は、円筒状をなし、フランジ部66は、胴体筒64の外周面に張り出すようにして固定されている。そのフランジ部66の上面には、2Dコード71が記されている。2Dコード71は、吸着ノズル60の固有情報を識別するための識別記号である。
また、吸着管68は、細いパイプ状をなし、胴体筒64の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒64に軸線方向に移動可能に保持されている。吸着管68と胴体筒64との間には、ばね(図示省略)が圧縮された状態で配設されており、吸着管68は、ばねの弾性力によって、胴体筒64の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。つまり、吸着管68の先端に、ばねの弾性力に抗した力が加えられることで、吸着管68は、胴体筒64の内部に向かって後退する。
また、掛止ピン70は、胴体筒64の径方向に延びるように、胴体筒64の上端部に設けられている。吸着ノズル60は、掛止ピン70を利用して、装着ヘッド26にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、吸着ノズル60は、負圧エア,正圧エア通路を介して、正負圧供給装置(図示省略)に通じている。各吸着ノズル60は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド26は、吸着ノズル60を昇降させるノズル昇降装置(図示省略)を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド26は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。
供給装置28は、フィーダ型の供給装置であり、図1に示すように、フレーム部32の前方側の端部に配設されている。供給装置28は、テープフィーダ72を有している。テープフィーダ72は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ72は、送出装置(図示省略)によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置28は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。
ノズルステーション30は、複数の吸着ノズル60を収容するノズルトレイ76を有している。このノズルステーション30では、装着ヘッド26に取り付けられている吸着ノズル60と、ノズルトレイ76に収容されている吸着ノズル60との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ76は、ノズルステーション30に着脱可能であり、ノズルトレイ76に収容された吸着ノズル60の回収,ノズルトレイ76への吸着ノズル60の補給等を装着機14の外部において行うことが可能である。なお、ノズルトレイ76の上面には、2Dコード78が記されている。
<装着機による装着作業>
装着機14では、上述した構成によって、搬送装置22に保持された回路基板に対して、装着ヘッド26によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機14の制御装置(図示省略)の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ72は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド26が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル60によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド26は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
<ノズルステーションでの吸着ノズルの交換>
装着機14では、上述したように、テープフィーダ72によって供給された電子部品を、吸着ノズル60によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このように構成された装着機14では、電子部品の大きさ,種類等に応じて、吸着ノズル60が変更される。つまり、例えば、大きな電子部品を吸着保持する際には、径の大きな吸着ノズル60が用いられ、小さな電子部品を吸着保持する際には、径の小さな吸着ノズル60が用いられる。このため、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル60を用いる必要が有り、ノズルステーション30には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル60が収容されている。そして、装着ヘッド26に取り付けられている吸着ノズル60と、ノズルステーション30の収容されている吸着ノズル60との交換等が、必要に応じて行われる。なお、装着ヘッド26に取り付けられている吸着ノズル60と、ノズルステーション30の収容されている吸着ノズル60との交換等は、公知の手法であることから、説明は省略する。
上述したように、ノズルステーション30には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル60が収容されている。このため、例えば、製造対象の回路基板の種類が変更される場合には、ノズルステーション30からノズルトレイ76が取り外され、ノズル管理装置を用いて、ノズルトレイ76に収容されている吸着ノズル60が交換される。以下に、ノズル管理装置について、詳しく説明する。
<ノズル管理装置の構成>
ノズル管理装置80は、図3に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ76をノズル管理装置80内に収納、若しくは、ノズル管理装置80からノズルトレイ76を取り出すための扉82が設けられている。その扉82の上方には、各種情報を表示するパネル86、情報等の入力を行うための操作スイッチ88等が配設されている。
ノズル管理装置80は、図4に示すように、管理装置本体90、パレット収容装置92、ノズル移載装置94、ノズル検査装置96、ノズル洗浄装置98を有している。なお、図4は、ノズル管理装置80の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置80の内部構造を示している。
(a)管理装置本体
管理装置本体90は、フレーム部100と、そのフレーム部100に上架されたビーム部102とによって構成されている。フレーム部100は、中空構造とされており、フレーム部100の上面にパレット収容装置92の上端部が露出した状態で、パレット収容装置92がフレーム部100の内部に配設されている。
(b)パレット収容装置
パレット収容装置92は、図5に示すノズルパレット110を収容する装置である。ノズルパレット110には、複数の載置穴112が形成されている。載置穴112は、ノズルパレット110を上下方向に貫通しており、それの内径は、吸着ノズル60の吸着管68の外径より大きく、フランジ部66の外径より小さい。このため、載置穴112に吸着管68を挿通させた状態で吸着ノズル60が載置される。
ノズルパレット110には、隣り合う2つの角部に、2個のアーム用係合穴114が形成されており、それら2個のアーム用係合穴114の近傍に、2個のブラケット用係合穴116が形成されている。また、ノズルパレット110には、別の角部に、2Dコード118が記されている。さらに、ノズルパレット110には、2Dコード118が記された角部以外の3つの角部に、3個の基準マーク120が記されている。
パレット収容装置92は、上記構造のノズルパレット110を収容する装置である。パレット収容装置92は、図6に示すように、パレット移動装置130とパレット収容タワー132とを有しており、それらパレット移動装置130とパレット収容タワー132とは、互いに向かい合うようにして配設されている。
パレット移動装置130は、支持アーム134とアーム移動機構136とによって構成されている。支持アーム134は、図7に示すように、アーム部138と基端部140とによって構成されている。アーム部138は、概してコの字型をなし、開口する側の端部が先端部として機能する。つまり、アーム部138の先端部は、二股に延び出している。基端部140は、アーム部138の先端部と反対側の端部に位置している。アーム部138の基端部140側には、2個の係合ピン146が形成されている。それら2個の係合ピン146は、ノズルパレット110の2個のアーム用係合穴114と対応する位置に形成されており、係合ピン146の外径は、アーム用係合穴114の内径より小さい。また、コの字型のアーム部138の開口部の寸法、つまり、アーム部138の二股に延び出す先端部の間隔は、ノズルパレット110の幅より小さい。このため、図5に示すように、アーム部138の上面に、ノズルパレット110が載置され、その状態において、ノズルパレット110の2個のアーム用係合穴114に、アーム部138の2個の係合ピン146が係合している。これにより、ノズルパレット110は、位置ズレを生じることなく、支持アーム134により適切に支持される。また、アーム部138の下面側には、図7に示すように、反射板148が取り付けられている。
アーム移動機構136は、図6に示すように、ベース150と上部カバー152とガイドレール154とねじ機構156と第1スライダ158と第2スライダ(図8参照)160とを有している。ガイドレール154は、上下方向に延びるように配設されており、下端部において、ベース150に固定されている。また、ガイドレール154の上端部には、上部カバー152が固定されている。
ねじ機構156は、ねじロッド162とナット164とによって構成されている。ねじロッド162の外周面には、雄ねじ(図示省略)が形成されており、ねじロッド162は、上下方向に延びるように、ガイドレール154と平行に配設されている。ねじロッド162の下端部は、軸受166を介して、ベース150に保持され、ねじロッド162の上端部は、軸受(図5参照)168を介して、上部カバー152に保持されている。これにより、ねじロッド162は、それの軸心周りに回転可能にベース150と上部カバー152とによって保持されている。なお、ねじロッド162は、電磁モータ(図示省略)の駆動により、制御可能に軸心周りに回転する。
一方、ナット164は、図8に示すように、ねじロッド162の外周面に形成された雄ねじに螺合している。また、ナット164は、第1スライダ158に固定されている。その第1スライダ158には、上下方向に貫通する貫通穴(図示省略)が形成されている。そして、その貫通穴に、ガイドレール154が挿通されており、第1スライダ158は、ガイドレール154に沿って移動する。このような構造により、ねじロッド162が、電磁モータの駆動により回転することで、第1スライダ158が、ガイドレール154に沿って、上下方向の任意の位置に移動する。
また、第1スライダ158の上面には、パレット収容タワー132に向かって延び出すように、スライド溝170が形成されている。一方、第2スライダ160の裏面には、突起部(図示省略)が形成されており、その突起部がスライド溝170にスライド可能に嵌合されている。これにより、第2スライダ160は、第1スライダ158の上面において、スライド溝170に沿って移動する。なお、第2スライダ160は、電磁モータ(図示省略)の駆動により、スライド溝170に沿って、任意の位置に移動する。
また、支持アーム134は、アーム部138の先端部をパレット収容タワー132に向けた状態で、基端部140において第2スライダ160に固定されている。このような構造によって、支持アーム134は、ねじロッド162が回転することで、上下方向に移動し、第2スライダ160がスライド溝170に沿ってスライドすることで、パレット収容タワー132に接近・離間する。
また、パレット収容タワー132は、図6に示すように、1つの側壁が切り欠かれた4角筒形状をなしており、切り欠かれた箇所がパレット移動装置130と向かい合っている。つまり、パレット収容タワー132は、3つの壁面180,182,184から構成されており、それら3つの壁面180,182,184のうち1対の壁面180,182が所定の間隔をおいて向かい合っている。そして、それら1対の壁面180,182の側縁が、残りの壁面184によって連結されている。なお、1対の壁面180,182の壁面184が連結されていない側縁が、パレット移動装置130と向かい合っている。
パレット収容タワー132の1対の壁面180,182は、下端部側を除いて、櫛歯状をしており、複数の櫛歯186がパレット移動装置130に向かって延び出している。また、1対の壁面180,182は、同形状である。このため、壁面180の複数の櫛歯186と壁面182の複数の櫛歯186とは、同形状であり、壁面180の複数の櫛歯186の上からN番目の櫛歯186と、壁面182の複数の櫛歯186の上からN番目の櫛歯186、つまり、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186は、同じ高さに位置している。また、壁面180と壁面182との間の距離、つまり、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の間の距離は、ノズルパレット110の幅より短い。さらに、上下方向で隣り合う2つの櫛歯186の間の距離、つまり、複数の櫛歯186の上からN番目の櫛歯186とN+1番目の櫛歯186との間の距離は、ノズルパレット110の厚さより長い。このため、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に、ノズルパレット110を載置することが可能となっている。
具体的には、例えば、図5に示すように、支持アーム134に支持されたノズルパレット110を、パレット収容タワー132の左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置する場合について、説明する。なお、図5に示す支持アーム134は、ねじ機構156の作動により最も上方に移動しており、第2スライダ160のスライドによりパレット収容タワー132から離間する方向に移動している。
図5に示す支持アーム134は、まず、ねじ機構156の作動により、下方に移動する。この際、支持アーム134に支持されるノズルパレット110が、上下方向で隣り合う2つの櫛歯186の間に位置するように、支持アーム134は下方に移動する。そして、支持アーム134は、第2スライダ160のスライドによりパレット収容タワー132に接近する方向に移動する。これにより、図9に示すように、支持アーム134に支持されたノズルパレット110は、上下方向で隣り合う2つの櫛歯186の間に挿入される。そして、支持アーム134は、ねじ機構156の作動により、下方に移動する。
これにより、支持アーム134に支持されていたノズルパレット110は、図10に示すように、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置される。この際、ノズルパレット110のアーム用係合穴114への支持アーム134の係合ピン146の係合が解除される。アーム用係合穴114への係合ピン146の係合が解除されると、支持アーム134の下方への移動が停止し、支持アーム134は、第2スライダ160のスライダにより、パレット収容タワー132から離間する方向に移動する。このように、ノズルパレット110が、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置されることで、パレット収容タワー132に収容される。
なお、櫛歯186の先端部の上面側には、係合ピン190が形成されており、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の係合ピン190の間の距離は、ノズルパレット110の2個のブラケット用係合穴116の間の距離と同じである。さらに、係合ピン190の外径は、ブラケット用係合穴116の内径より小さい。このため、ノズルパレット110が、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置されると、櫛歯186の係合ピン190が、ノズルパレット110のブラケット用係合穴116に係合する。これにより、ノズルパレット110は、位置ズレを生じることなく、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置される。
また、パレット収容タワー132に収容されたノズルパレット110は、支持アーム134により取り出される。具体的には、支持アーム134は、取り出し対象のノズルパレット110が載置された2つの櫛歯186と対向する位置に移動する。そして、支持アーム134は、第2スライダ160のスライドによりパレット収容タワー132に接近する方向に移動する。これにより、図10に示すように、支持アーム134のアーム部138が、取り出し対象のノズルパレット110が載置された2つの櫛歯186の側方に移動する。そして、支持アーム134は、ねじ機構156の作動により、上方に移動する。
この際、支持アーム134の係合ピン146が、ノズルパレット110のアーム用係合穴114に係合する。そして、ノズルパレット110のブラケット用係合穴116への櫛歯186の係合ピン190の係合が解除される。ブラケット用係合穴116への係合ピン190の係合が解除されると、支持アーム134の上方への移動が停止し、支持アーム134は、第2スライダ160のスライダにより、パレット収容タワー132から離間する方向に移動する。これにより、ノズルパレット110は、パレット収容タワー132から取り出される。
また、パレット収容装置92の上端部は、上述したように、フレーム部100の上面に露出している。このため、支持アーム134が、ねじ機構156の作動により、最も上昇した場合には、図4に示すように、フレーム部100の上面に露出する。つまり、支持アーム134に支持されたノズルパレット110が、フレーム部100の上面に露出する。また、パレット収容タワー132の上端部には、載置プレート196が配設されており、載置プレート196も、フレーム部100の上面に露出している。その載置プレート196には、ノズルパレット110の載置穴112と同形状の載置穴198が複数形成されており、載置プレート196上に、吸着ノズル60を載置することが可能である。
(c)ノズル移載装置
ノズル移載装置94は、ノズルトレイ76とノズルパレット110との間で吸着ノズル60を移載するための装置であり、図4に示すように、ビーム部102に配設されている。ノズル移載装置94は、移載ヘッド200とヘッド移動装置202とを有している。移載ヘッド200の下端面には、下方を向いた状態のカメラ206と、吸着ノズル60を保持するための保持チャック208とが取り付けられている。また、ヘッド移動装置202は、移載ヘッド200をフレーム部100の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるXYZ型の移動装置である。
また、フレーム部100の上面には、ノズルトレイ76をセットするための固定ステージ210が設けられており、固定ステージ210にセットされたノズルトレイ76と、支持アーム134に支持されたノズルパレット110との間で、吸着ノズル60が移載される。
具体的には、吸着ノズル60のノズル管理装置80への収納作業時において、作業者は、吸着ノズル60が搭載されたノズルトレイ76を、固定ステージ210にセットする。また、パレット収容装置92では、吸着ノズル60を搭載可能なノズルパレット110を支持する支持アーム134が、ねじ機構156の作動により、最も上方に移動する。そして、移載ヘッド200が、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76および、ノズルパレット110の上方に移動し、ノズルトレイ76,ノズルパレット110の各々の2Dコード78,118が、カメラ206によって撮像される。これにより、ノズルトレイ76および、ノズルパレット110のIDナンバー等の固有情報が得られる。
また、ノズルパレット110の2Dコード118が撮像される際に、ノズルパレット110の基準マーク120も撮像され、基準マーク120の撮像データに基づいて、ノズルパレット110の位置のキャリブレーションが行われる。さらに、ノズルパレット110の載置穴112も撮像され、載置穴112への吸着ノズル60の載置の有無が判定される。詳しくは、支持アーム134の下方には、上述したように、反射板148が配設されている。このため、ノズルパレット110の載置穴112に吸着ノズル60が載置されていない場合には、ノズルパレット110の上方から照射された光が、載置穴112を介して、反射板148により反射する。一方、載置穴112に吸着ノズル60が載置されている場合には、ノズルパレット110の上方から照射された光は、吸着ノズル60に遮られ、反射板148により反射しない。つまり、載置穴112の撮像データに、反射光が含まれている場合には、載置穴112に吸着ノズル60が載置されていないと判定され、載置穴112の撮像データに、反射光が含まれていない場合には、載置穴112に吸着ノズル60が載置されていると判定される。
続いて、移載ヘッド200が、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76の上方に移動し、移載対象の吸着ノズル60の2Dコード71が、カメラ206によって撮像される。これにより、移載対象の吸着ノズル60のIDナンバー等の固有情報が得られる。そして、移載対象の吸着ノズル60が、保持チャック208によって保持される。
移載対象の吸着ノズル60が保持チャック208に保持されると、移載ヘッド200が、ヘッド移動装置202の作動により、吸着ノズル60の移載先となるノズルパレット110の上方に移動し、保持された吸着ノズル60が、ノズルパレット110の載置穴112に載置される。これにより、吸着ノズル60が、ノズルトレイ76からノズルパレット110に移載される。なお、吸着ノズル60移載時には、移載先のノズルパレット110のIDナンバーと、移載された吸着ノズル60のIDナンバーと、移載先のノズルパレット110の移載位置とが関連付けて記憶される。
そして、ノズルパレット110への吸着ノズル60の移載が完了すると、そのノズルパレット110は、ねじ機構156および、第2スライダ160の作動により、パレット収容タワー132に収容される。これにより、吸着ノズル60のノズル管理装置80への収納作業が終了する。
なお、吸着ノズル60が移載される際に、移載先のノズルパレット110の載置穴112に空きが無い場合等には、吸着ノズル60を保持した保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、載置プレート196の上方に移動し、吸着ノズル60は、載置プレート196の載置穴198に仮載置される。
また、ノズル管理装置80に収納されている吸着ノズル60のノズルトレイ76への搭載作業時には、作業者が、吸着ノズル60を搭載可能なノズルトレイ76を固定ステージ210にセットする。また、パレット収容装置92では、ノズルパレット110を支持する支持アーム134が、ねじ機構156の作動により、最も上方に移動する。なお、支持アーム134に支持されたノズルパレット110には、ノズルトレイ76への搭載予定の吸着ノズル60が載置されている。そして、ノズルパレット110に載置されている吸着ノズル60が、ノズル移載装置94によって、ノズルトレイ76に移載される。なお、ノズルパレット110に載置されている吸着ノズル60のノズルトレイ76への移載作業は、ノズルトレイ76に載置されている吸着ノズル60のノズルパレット110への移載作業と同じである。
(d)ノズル検査装置
ノズル検査装置96は、吸着ノズル60の先端部、つまり、吸着管68の状態の検査(以下、「先端部検査」と略す場合がある)と、吸着管68を胴体筒64の内部に向かって後退させるために必要な力の検査(以下、「後退力検査」と略す場合がある)と、吸着ノズル60内を流れるエアの流量の検査(以下、「エア流量検査」と略す場合がある)とを実行する装置である。
ノズル検査装置96は、図4に示すように、カメラ装置220とロードセル222とエア供給装置224とを有している。カメラ装置220は、上方を向いた状態でフレーム部100の上面に配設されており、カメラ装置220を用いて、先端部検査が行われる。詳しくは、検査対象の吸着ノズル60が、ノズル移載装置94の保持チャック208によって保持される。そして、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、カメラ装置220の上方に移動する。保持チャック208がカメラ装置220の上方に移動すると、保持チャック208に保持された吸着ノズル60が、下方からカメラ装置220によって撮像される。これにより、吸着ノズル60の吸着管68の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着管68の状態が検査される。この検査により、吸着管68の曲がり,先端欠け,先端潰れ等の異常の有無が確認され、異常の発生している吸着ノズル60が、不良ノズルと判定される。
また、ロードセル222は、カメラ装置220の隣に配設されており、ロードセル222を用いて、後退力検査が行われる。詳しくは、検査対象の吸着ノズル60が、ノズル移載装置94の保持チャック208によって保持される。そして、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、ロードセル222の上方に移動する。さらに、保持チャック208に保持された吸着ノズル60の吸着管68の下端部がロードセル222に当接するように、保持チャック208が下方に移動する。この際、吸着ノズル60の吸着管68が、胴体筒64の内部に向かって設定量、後退するように、保持チャック208は下方に移動する。ロードセル222は、吸着管68が胴体筒64の内部に向かって設定量、後退した際の荷重を検出し、その検出値が、閾値より大きいか否かが判断される。ロードセル222による検出値は、吸着管68を胴体筒64の内部に向かって後退させるために必要な力を指標するものであり、その値が閾値より大きい場合には、異物の吸着ノズル60内への混入、吸着ノズル60の破損等により、吸着管68が胴体筒64の内部に向かって後退し難くなっていると考えられる。このため、ロードセル222による検出値が、閾値より大きいと判定された吸着ノズル60は、不良ノズルと判定される。
また、エア供給装置224は、ノズル移載装置94の移載ヘッド200に装着されており、フレーム部100上の任意の位置に移動可能となっている。エア供給装置224は、エアジョイント226を有しており、そのエアジョイント226を吸着ノズル60の胴体筒64に接続することで、エア流量検査が行われる。詳しくは、エア供給装置224が、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76とノズルパレット110と載置プレート196との何れかに載置された吸着ノズル60の上方に移動する。そして、エアジョイント226が、検査対象の吸着ノズル60の胴体筒64に接続されるように、エア供給装置224が下方に移動する。エアジョイント226が胴体筒64と接続すると、エア供給装置224は、接続された胴体筒64にエアを供給する。そして、エア供給時のエア圧が測定され、そのエア圧が、閾圧より大きいか否かが判断される。正常な吸着ノズル60にエアが供給される際には、吸着ノズル60内をエアが通り抜けていくため、測定されたエア圧は、比較的低い。一方、詰まり等の生じた吸着ノズル60にエアが供給される際には、吸着ノズル60内をエアが通り抜け難いため、測定されたエア圧は、比較的高くなる。このため、測定されたエア圧が閾圧より大きい吸着ノズル60は、不良ノズルと認定される。
なお、フレーム部100の上面には、複数の廃棄ボックス228が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル60は、廃棄ボックス228に廃棄される。また、上記検査により正常であると判定された吸着ノズル60は、ノズルトレイ76とノズルパレット110と載置プレート196との何れかに載置される。
(e)ノズル洗浄装置
ノズル洗浄装置98は、吸着ノズル60の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置92の隣に配設されている。ノズル洗浄装置98は、洗浄・乾燥機構230と洗浄パレット移動機構232とブロー装置234とを備えている。洗浄・乾燥機構230は、内部において吸着ノズル60の洗浄および乾燥を行う機構である。洗浄パレット移動機構232は、洗浄パレット238が露出する露出位置(図4で洗浄パレット238が図示されている位置)と、洗浄・乾燥機構230の内部との間で、洗浄パレット238を移動させる機構である。ブロー装置234は、筒状をなし、内部に向かってエアを噴出する装置である。上記構造のノズル洗浄装置98では、吸着ノズル60の洗浄および乾燥が行われる。
詳しくは、洗浄対象の吸着ノズル60が、ノズル移載装置94の保持チャック208によって保持される。そして、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、洗浄パレット移動機構232の露出位置の上方に移動する。この際、洗浄パレット238は、洗浄パレット移動機構232の作動により、露出位置に移動している。そして、保持チャック208が下方に移動し、吸着ノズル60が洗浄パレット238に搭載される。吸着ノズル60の洗浄パレット238への搭載が完了すると、洗浄パレット238が、洗浄パレット移動機構232の作動により、洗浄・乾燥機構230の内部に移動する。そして、洗浄・乾燥機構230の内部において、吸着ノズル60の洗浄および乾燥が行われる。
洗浄・乾燥機構230による吸着ノズル60の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット238が、洗浄パレット移動機構232の作動により、露出位置に移動する。この際、吸着ノズル60は、ある程度乾燥しているが、洗浄・乾燥機構230内では、洗浄パレット238に搭載された状態で吸着ノズル60の乾燥が行われるため、吸着ノズル60に水分が付着している虞がある。このため、ブロー装置234を用いて、吸着ノズル60の乾燥が行われる。
詳しくは、洗浄後の吸着ノズル60が、洗浄パレット238から保持チャック208によって保持される。次に、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、ブロー装置234の上方に移動し、保持チャック208に保持された吸着ノズル60がブロー装置234の内部に挿入されるように、保持チャック208が下方に移動する。そして、ブロー装置234は、内部に向かってエアを噴出する。これにより、吸着ノズル60に付着している水分が吹き飛ばされ、吸着ノズル60の乾燥が完了する。そして、ブロー装置234による乾燥が完了した吸着ノズル60は、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76とノズルパレット110と載置プレート196との何れかに載置される。
なお、吸着ノズル60が、吸着ノズルの一例である。ノズル管理装置80が、ノズル収納庫の一例である。ノズル移載装置94が、移載装置の一例である。ノズルパレット110が、ノズルパレットの一例である。載置穴112が、載置穴の一例である。アーム用係合穴114が、第1被掛止部の一例である。ブラケット用係合穴116が、第2被掛止部の一例である。支持アーム134が、アームの一例である。係合ピン146が、第1掛止部の一例である。反射板148が、反射部材の一例である。ねじ機構156が、第1移動機構の一例である。第2スライダ160が、第2移動機構の一例である。櫛歯186が、収納部の一例である。係合ピン190が、第2掛止部の一例である。載置プレート196が、ノズル載置部の一例である。カメラ206が、受光部の一例である。
また、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、支持アーム134を上下方向に移動させるための機構として、ねじ機構が採用され、支持アーム134を前後方向に移動させるための機構として、スライド機構が採用されているが、種々の機構を採用することが可能である。
60:吸着ノズル 80:ノズル管理装置(ノズル収納庫) 94:ノズル移載装置(移載装置) 110:ノズルパレット 112:載置穴 114:アーム用係合穴(第1被掛止部) 116:ブラケット用係合穴(第2被掛止部) 134:支持アーム(アーム) 146:係合ピン(第1掛止部) 148:反射板(反射部材) 156:ねじ機構(第1移動機構) 160:第2スライダ(第2移動機構) 186:櫛歯(収納部)190:係合ピン(第2掛止部) 196:載置プレート(ノズル載置部) 206:カメラ(受光部)
本発明は、ノズルを洗浄するノズル洗浄装置を備えるノズル管理装置に関する。
回路基板に電子部品を装着する電子部品装着機では、電子部品の形状,サイズ等に応じた吸着ノズルが用いられるため、多くの吸着ノズルが必要である。このため、下記特許文献に記載されているように、ノズル管理装置により多くの吸着ノズルが管理されている。
本発明の課題は、ノズル管理装置により吸着ノズルを適切に管理することである。
上記課題を解決するために、本願に記載のノズル管理装置は、フレームと、前記フレームの上面に備えられノズルを洗浄するノズル洗浄装置と、を備え、前記ノズル洗浄装置は、洗浄機構と、前記洗浄機構へ前記ノズルを移動させる洗浄パレット移動機構と、前記ノズルに向かってエアを噴出するブロー装置と、を備えることを特徴とする。
本願に記載のノズル管理装置は、フレームと、フレームの上面に備えられノズルを洗浄するノズル洗浄装置とを備え、ノズル洗浄装置は、洗浄機構と、洗浄機構へノズルを移動させる洗浄パレット移動機構と、ノズルに向かってエアを噴出するブロー装置とを備える。これにより、ノズル管理装置により吸着ノズルを適切に管理することが可能となる。
電子部品装着装置を示す斜視図である。
吸着ノズルを示す斜視図である。
ノズル管理装置を示す斜視図である。
ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。
ノズルパレットが載置されたパレット移動装置を示す斜視図である。
パレット収容装置を示す斜視図である。
支持アームを示す斜視図である。
延び出した状態の支持アームを示す斜視図である。
パレット収容タワーにノズルパレットを収納する際のパレット移動装置を示す斜視図である。
パレット収容タワーにノズルパレットを収納する際のパレット移動装置を示す斜視図である。
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
<電子部品装着装置の構成>
図1に、電子部品装着装置(以下、「装着装置」と略す場合がある)10を示す。装着装置10は、1つのシステムベース12と、そのシステムベース12の上に隣接された2台の電子部品装着機(以下、「装着機」と略す場合がある)14とを有している。なお、装着機14の並ぶ方向をX軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をY軸方向と称する。
各装着機14は、主に、装着機本体20、搬送装置22、装着ヘッド移動装置(以下、「移動装置」と略す場合がある)24、装着ヘッド26、供給装置28、ノズルステーション30を備えている。装着機本体20は、フレーム部32と、そのフレーム部32に上架されたビーム部34とによって構成されている。
搬送装置22は、2つのコンベア装置40,42を備えている。それら2つのコンベア装置40,42は、互いに平行、かつ、X軸方向に延びるようにフレーム部32に配設されている。2つのコンベア装置40,42の各々は、電磁モータ(図示省略)によって各コンベア装置40,42に支持される回路基板をX軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置(図示省略)によって固定的に保持される。
移動装置24は、XYロボット型の移動装置である。移動装置24は、スライダ50をX軸方向にスライドさせる電磁モータ(図示省略)と、Y軸方向にスライドさせる電磁モータ(図示省略)とを備えている。スライダ50には、装着ヘッド26が取り付けられており、その装着ヘッド26は、2つの電磁モータの作動によって、フレーム部32上の任意の位置に移動させられる。
装着ヘッド26は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド26の下端面には、吸着ノズル60が設けられている。吸着ノズル60は、図2に示すように、胴体筒64とフランジ部66と吸着管68と掛止ピン70とによって構成されている。胴体筒64は、円筒状をなし、フランジ部66は、胴体筒64の外周面に張り出すようにして固定されている。そのフランジ部66の上面には、2Dコード71が記されている。2Dコード71は、吸着ノズル60の固有情報を識別するための識別記号である。
また、吸着管68は、細いパイプ状をなし、胴体筒64の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒64に軸線方向に移動可能に保持されている。吸着管68と胴体筒64との間には、ばね(図示省略)が圧縮された状態で配設されており、吸着管68は、ばねの弾性力によって、胴体筒64の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。つまり、吸着管68の先端に、ばねの弾性力に抗した力が加えられることで、吸着管6
8は、胴体筒64の内部に向かって後退する。
また、掛止ピン70は、胴体筒64の径方向に延びるように、胴体筒64の上端部に設けられている。吸着ノズル60は、掛止ピン70を利用して、装着ヘッド26にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、吸着ノズル60は、負圧エア,正圧エア通路を介して、正負圧供給装置(図示省略)に通じている。各吸着ノズル60は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド26は、吸着ノズル60を昇降させるノズル昇降装置(図示省略)を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド26は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。
供給装置28は、フィーダ型の供給装置であり、図1に示すように、フレーム部32の前方側の端部に配設されている。供給装置28は、テープフィーダ72を有している。テープフィーダ72は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ72は、送出装置(図示省略)によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置28は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。
ノズルステーション30は、複数の吸着ノズル60を収容するノズルトレイ76を有している。このノズルステーション30では、装着ヘッド26に取り付けられている吸着ノズル60と、ノズルトレイ76に収容されている吸着ノズル60との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ76は、ノズルステーション30に着脱可能であり、ノズルトレイ76に収容された吸着ノズル60の回収,ノズルトレイ76への吸着ノズル60の補給等を装着機14の外部において行うことが可能である。なお、ノズルトレイ76の上面には、2Dコード78が記されている。
<装着機による装着作業>
装着機14では、上述した構成によって、搬送装置22に保持された回路基板に対して、装着ヘッド26によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機14の制御装置(図示省略)の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ72は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド26が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル60によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド26は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
<ノズルステーションでの吸着ノズルの交換>
装着機14では、上述したように、テープフィーダ72によって供給された電子部品を、吸着ノズル60によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このように構成された装着機14では、電子部品の大きさ,種類等に応じて、吸着ノズル60が変更される。つまり、例えば、大きな電子部品を吸着保持する際には、径の大きな吸着ノズル60が用いられ、小さな電子部品を吸着保持する際には、径の小さな吸着ノズル60が用いられる。このため、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル60を用いる必要が有り、ノズルステーション30には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル60が収容されている。そして、装着ヘッド26に取り付けられている吸着ノズル60と、ノズルステーション30の収容されている吸着ノズル60との交換等が、必要に応じて行われる。なお、装着ヘッド26に取り付けられている吸着ノズル60と、ノズルステーション30の収容されている吸着ノズル60との交換等は、公知の手法であることから、説明は省略する。
上述したように、ノズルステーション30には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル60が収容されている。このため、例えば、製造対象の回路基板の種類が変更される場合には、ノズルステーション30からノズルトレイ76が取り外され、ノズル管理装置を用いて、ノズルトレイ76に収容されている吸着ノズル60が交換される。以下に、ノズル管理装置について、詳しく説明する。
<ノズル管理装置の構成>
ノズル管理装置80は、図3に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ76をノズル管理装置80内に収納、若しくは、ノズル管理装置80からノズルトレイ76を取り出すための扉82が設けられている。その扉82の上方には、各種情報を表示するパネル86、情報等の入力を行うための操作スイッチ88等が配設されている。
ノズル管理装置80は、図4に示すように、管理装置本体90、パレット収容装置92、ノズル移載装置94、ノズル検査装置96、ノズル洗浄装置98を有している。なお、図4は、ノズル管理装置80の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置80の内部構造を示している。
(a)管理装置本体
管理装置本体90は、フレーム部100と、そのフレーム部100に上架されたビーム部102とによって構成されている。フレーム部100は、中空構造とされており、フレーム部100の上面にパレット収容装置92の上端部が露出した状態で、パレット収容装置92がフレーム部100の内部に配設されている。
(b)パレット収容装置
パレット収容装置92は、図5に示すノズルパレット110を収容する装置である。ノズルパレット110には、複数の載置穴112が形成されている。載置穴112は、ノズルパレット110を上下方向に貫通しており、それの内径は、吸着ノズル60の吸着管68の外径より大きく、フランジ部66の外径より小さい。このため、載置穴112に吸着管68を挿通させた状態で吸着ノズル60が載置される。
ノズルパレット110には、隣り合う2つの角部に、2個のアーム用係合穴114が形成されており、それら2個のアーム用係合穴114の近傍に、2個のブラケット用係合穴116が形成されている。また、ノズルパレット110には、別の角部に、2Dコード118が記されている。さらに、ノズルパレット110には、2Dコード118が記された角部以外の3つの角部に、3個の基準マーク120が記されている。
パレット収容装置92は、上記構造のノズルパレット110を収容する装置である。パレット収容装置92は、図6に示すように、パレット移動装置130とパレット収容タワー132とを有しており、それらパレット移動装置130とパレット収容タワー132とは、互いに向かい合うようにして配設されている。
パレット移動装置130は、支持アーム134とアーム移動機構136とによって構成されている。支持アーム134は、図7に示すように、アーム部138と基端部140とによって構成されている。アーム部138は、概してコの字型をなし、開口する側の端部が先端部として機能する。つまり、アーム部138の先端部は、二股に延び出している。基端部140は、アーム部138の先端部と反対側の端部に位置している。アーム部138の基端部140側には、2個の係合ピン146が形成されている。それら2個の係合ピン146は、ノズルパレット110の2個のアーム用係合穴114と対応する位置に形成されており、係合ピン146の外径は、アーム用係合穴114の内径より小さい。また、コの字型のアーム部138の開口部の寸法、つまり、アーム部138の二股に延び出す先端部の間隔は、ノズルパレット110の幅より小さい。このため、図5に示すように、アーム部138の上面に、ノズルパレット110が載置され、その状態において、ノズルパレット110の2個のアーム用係合穴114に、アーム部138の2個の係合ピン146が係合している。これにより、ノズルパレット110は、位置ズレを生じることなく、支持アーム134により適切に支持される。また、アーム部138の下面側には、図7に示すように、反射板148が取り付けられている。
アーム移動機構136は、図6に示すように、ベース150と上部カバー152とガイドレール154とねじ機構156と第1スライダ158と第2スライダ(図8参照)160とを有している。ガイドレール154は、上下方向に延びるように配設されており、下端部において、ベース150に固定されている。また、ガイドレール154の上端部には、上部カバー152が固定されている。
ねじ機構156は、ねじロッド162とナット164とによって構成されている。ねじロッド162の外周面には、雄ねじ(図示省略)が形成されており、ねじロッド162は、上下方向に延びるように、ガイドレール154と平行に配設されている。ねじロッド162の下端部は、軸受166を介して、ベース150に保持され、ねじロッド162の上端部は、軸受(図5参照)168を介して、上部カバー152に保持されている。これにより、ねじロッド162は、それの軸心周りに回転可能にベース150と上部カバー152とによって保持されている。なお、ねじロッド162は、電磁モータ(図示省略)の駆動により、制御可能に軸心周りに回転する。
一方、ナット164は、図8に示すように、ねじロッド162の外周面に形成された雄ねじに螺合している。また、ナット164は、第1スライダ158に固定されている。その第1スライダ158には、上下方向に貫通する貫通穴(図示省略)が形成されている。そして、その貫通穴に、ガイドレール154が挿通されており、第1スライダ158は、ガイドレール154に沿って移動する。このような構造により、ねじロッド162が、電磁モータの駆動により回転することで、第1スライダ158が、ガイドレール154に沿って、上下方向の任意の位置に移動する。
また、第1スライダ158の上面には、パレット収容タワー132に向かって延び出すように、スライド溝170が形成されている。一方、第2スライダ160の裏面には、突起部(図示省略)が形成されており、その突起部がスライド溝170にスライド可能に嵌合されている。これにより、第2スライダ160は、第1スライダ158の上面において、スライド溝170に沿って移動する。なお、第2スライダ160は、電磁モータ(図示省略)の駆動により、スライド溝170に沿って、任意の位置に移動する。
また、支持アーム134は、アーム部138の先端部をパレット収容タワー132に向けた状態で、基端部140において第2スライダ160に固定されている。このような構造によって、支持アーム134は、ねじロッド162が回転することで、上下方向に移動し、第2スライダ160がスライド溝170に沿ってスライドすることで、パレット収容タワー132に接近・離間する。
また、パレット収容タワー132は、図6に示すように、1つの側壁が切り欠かれた4角筒形状をなしており、切り欠かれた箇所がパレット移動装置130と向かい合っている。つまり、パレット収容タワー132は、3つの壁面180,182,184から構成されており、それら3つの壁面180,182,184のうち1対の壁面180,182が所定の間隔をおいて向かい合っている。そして、それら1対の壁面180,182の側縁が、残りの壁面184によって連結されている。なお、1対の壁面180,182の壁面184が連結されていない側縁が、パレット移動装置130と向かい合っている。
パレット収容タワー132の1対の壁面180,182は、下端部側を除いて、櫛歯状をしており、複数の櫛歯186がパレット移動装置130に向かって延び出している。また、1対の壁面180,182は、同形状である。このため、壁面180の複数の櫛歯186と壁面182の複数の櫛歯186とは、同形状であり、壁面180の複数の櫛歯186の上からN番目の櫛歯186と、壁面182の複数の櫛歯186の上からN番目の櫛歯186、つまり、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186は、同じ高さに位置している。また、壁面180と壁面182との間の距離、つまり、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の間の距離は、ノズルパレット110の幅より短い。さらに、上下方向で隣り合う2つの櫛歯186の間の距離、つまり、複数の櫛歯186の上からN番目の櫛歯186とN+1番目の櫛歯186との間の距離は、ノズルパレット110の厚さより長い。このため、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に、ノズルパレット110を載置することが可能となっている。
具体的には、例えば、図5に示すように、支持アーム134に支持されたノズルパレット110を、パレット収容タワー132の左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置する場合について、説明する。なお、図5に示す支持アーム134は、ねじ機構156の作動により最も上方に移動しており、第2スライダ160のスライドによりパレット収容タワー132から離間する方向に移動している。
図5に示す支持アーム134は、まず、ねじ機構156の作動により、下方に移動する。この際、支持アーム134に支持されるノズルパレット110が、上下方向で隣り合う2つの櫛歯186の間に位置するように、支持アーム134は下方に移動する。そして、支持アーム134は、第2スライダ160のスライドによりパレット収容タワー132に接近する方向に移動する。これにより、図9に示すように、支持アーム134に支持されたノズルパレット110は、上下方向で隣り合う2つの櫛歯186の間に挿入される。そして、支持アーム134は、ねじ機構156の作動により、下方に移動する。
これにより、支持アーム134に支持されていたノズルパレット110は、図10に示すように、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置される。この際、ノズルパレット110のアーム用係合穴114への支持アーム134の係合ピン146の係合が解除される。アーム用係合穴114への係合ピン146の係合が解除されると、支持アーム134の下方への移動が停止し、支持アーム134は、第2スライダ160のスライダにより、パレット収容タワー132から離間する方向に移動する。このように、ノズルパレット110が、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置されることで、パレット収容タワー132に収容される。
なお、櫛歯186の先端部の上面側には、係合ピン190が形成されており、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の係合ピン190の間の距離は、ノズルパレット110の2個のブラケット用係合穴116の間の距離と同じである。さらに、係合ピン190の外径は、ブラケット用係合穴116の内径より小さい。このため、ノズルパレット110が、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置されると、櫛歯186の係合ピン190が、ノズルパレット110のブラケット用係合穴116に係合する。これにより、ノズルパレット110は、位置ズレを生じることなく、左右方向で隣り合う2つの櫛歯186の上に載置される。
また、パレット収容タワー132に収容されたノズルパレット110は、支持アーム134により取り出される。具体的には、支持アーム134は、取り出し対象のノズルパレット110が載置された2つの櫛歯186と対向する位置に移動する。そして、支持アーム134は、第2スライダ160のスライドによりパレット収容タワー132に接近する方向に移動する。これにより、図10に示すように、支持アーム134のアーム部138が、取り出し対象のノズルパレット110が載置された2つの櫛歯186の側方に移動する。そして、支持アーム134は、ねじ機構156の作動により、上方に移動する。
この際、支持アーム134の係合ピン146が、ノズルパレット110のアーム用係合穴114に係合する。そして、ノズルパレット110のブラケット用係合穴116への櫛歯186の係合ピン190の係合が解除される。ブラケット用係合穴116への係合ピン190の係合が解除されると、支持アーム134の上方への移動が停止し、支持アーム134は、第2スライダ160のスライダにより、パレット収容タワー132から離間する方向に移動する。これにより、ノズルパレット110は、パレット収容タワー132から取り出される。
また、パレット収容装置92の上端部は、上述したように、フレーム部100の上面に露出している。このため、支持アーム134が、ねじ機構156の作動により、最も上昇した場合には、図4に示すように、フレーム部100の上面に露出する。つまり、支持アーム134に支持されたノズルパレット110が、フレーム部100の上面に露出する。また、パレット収容タワー132の上端部には、載置プレート196が配設されており、載置プレート196も、フレーム部100の上面に露出している。その載置プレート196には、ノズルパレット110の載置穴112と同形状の載置穴198が複数形成されており、載置プレート196上に、吸着ノズル60を載置することが可能である。
(c)ノズル移載装置
ノズル移載装置94は、ノズルトレイ76とノズルパレット110との間で吸着ノズル60を移載するための装置であり、図4に示すように、ビーム部102に配設されている。ノズル移載装置94は、移載ヘッド200とヘッド移動装置202とを有している。移載ヘッド200の下端面には、下方を向いた状態のカメラ206と、吸着ノズル60を保持するための保持チャック208とが取り付けられている。また、ヘッド移動装置202は、移載ヘッド200をフレーム部100の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるXYZ型の移動装置である。
また、フレーム部100の上面には、ノズルトレイ76をセットするための固定ステージ210が設けられており、固定ステージ210にセットされたノズルトレイ76と、支持アーム134に支持されたノズルパレット110との間で、吸着ノズル60が移載される。
具体的には、吸着ノズル60のノズル管理装置80への収納作業時において、作業者は、吸着ノズル60が搭載されたノズルトレイ76を、固定ステージ210にセットする。また、パレット収容装置92では、吸着ノズル60を搭載可能なノズルパレット110を支持する支持アーム134が、ねじ機構156の作動により、最も上方に移動する。そして、移載ヘッド200が、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76および、ノズルパレット110の上方に移動し、ノズルトレイ76,ノズルパレット110の各々の2Dコード78,118が、カメラ206によって撮像される。これにより、ノズルトレイ76および、ノズルパレット110のIDナンバー等の固有情報が得られる。
また、ノズルパレット110の2Dコード118が撮像される際に、ノズルパレット110の基準マーク120も撮像され、基準マーク120の撮像データに基づいて、ノズルパレット110の位置のキャリブレーションが行われる。さらに、ノズルパレット110の載置穴112も撮像され、載置穴112への吸着ノズル60の載置の有無が判定される。詳しくは、支持アーム134の下方には、上述したように、反射板148が配設されている。このため、ノズルパレット110の載置穴112に吸着ノズル60が載置されていない場合には、ノズルパレット110の上方から照射された光が、載置穴112を介して、反射板148により反射する。一方、載置穴112に吸着ノズル60が載置されている場合には、ノズルパレット110の上方から照射された光は、吸着ノズル60に遮られ、反射板148により反射しない。つまり、載置穴112の撮像データに、反射光が含まれている場合には、載置穴112に吸着ノズル60が載置されていないと判定され、載置穴112の撮像データに、反射光が含まれていない場合には、載置穴112に吸着ノズル60が載置されていると判定される。
続いて、移載ヘッド200が、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76の上方に移動し、移載対象の吸着ノズル60の2Dコード71が、カメラ206によって撮像される。これにより、移載対象の吸着ノズル60のIDナンバー等の固有情報が得られる。そして、移載対象の吸着ノズル60が、保持チャック208によって保持される。
移載対象の吸着ノズル60が保持チャック208に保持されると、移載ヘッド200が、ヘッド移動装置202の作動により、吸着ノズル60の移載先となるノズルパレット110の上方に移動し、保持された吸着ノズル60が、ノズルパレット110の載置穴112に載置される。これにより、吸着ノズル60が、ノズルトレイ76からノズルパレット110に移載される。なお、吸着ノズル60移載時には、移載先のノズルパレット110のIDナンバーと、移載された吸着ノズル60のIDナンバーと、移載先のノズルパレット110の移載位置とが関連付けて記憶される。
そして、ノズルパレット110への吸着ノズル60の移載が完了すると、そのノズルパレット110は、ねじ機構156および、第2スライダ160の作動により、パレット収容タワー132に収容される。これにより、吸着ノズル60のノズル管理装置80への収納作業が終了する。
なお、吸着ノズル60が移載される際に、移載先のノズルパレット110の載置穴112に空きが無い場合等には、吸着ノズル60を保持した保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、載置プレート196の上方に移動し、吸着ノズル60は、載置プレート196の載置穴198に仮載置される。
また、ノズル管理装置80に収納されている吸着ノズル60のノズルトレイ76への搭載作業時には、作業者が、吸着ノズル60を搭載可能なノズルトレイ76を固定ステージ210にセットする。また、パレット収容装置92では、ノズルパレット110を支持する支持アーム134が、ねじ機構156の作動により、最も上方に移動する。なお、支持アーム134に支持されたノズルパレット110には、ノズルトレイ76への搭載予定の吸着ノズル60が載置されている。そして、ノズルパレット110に載置されている吸着ノズル60が、ノズル移載装置94によって、ノズルトレイ76に移載される。なお、ノズルパレット110に載置されている吸着ノズル60のノズルトレイ76への移載作業は、ノズルトレイ76に載置されている吸着ノズル60のノズルパレット110への移載作業と同じである。
(d)ノズル検査装置
ノズル検査装置96は、吸着ノズル60の先端部、つまり、吸着管68の状態の検査(以下、「先端部検査」と略す場合がある)と、吸着管68を胴体筒64の内部に向かって後退させるために必要な力の検査(以下、「後退力検査」と略す場合がある)と、吸着ノズル60内を流れるエアの流量の検査(以下、「エア流量検査」と略す場合がある)とを実行する装置である。
ノズル検査装置96は、図4に示すように、カメラ装置220とロードセル222とエア供給装置224とを有している。カメラ装置220は、上方を向いた状態でフレーム部100の上面に配設されており、カメラ装置220を用いて、先端部検査が行われる。詳しくは、検査対象の吸着ノズル60が、ノズル移載装置94の保持チャック208によって保持される。そして、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、カメラ装置220の上方に移動する。保持チャック208がカメラ装置220の上方に移動すると、保持チャック208に保持された吸着ノズル60が、下方からカメラ装置220によって撮像される。これにより、吸着ノズル60の吸着管68の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着管68の状態が検査される。この検査により、吸着管68の曲がり,先端欠け,先端潰れ等の異常の有無が確認され、異常の発生している吸着ノズル60が、不良ノズルと判定される。
また、ロードセル222は、カメラ装置220の隣に配設されており、ロードセル222を用いて、後退力検査が行われる。詳しくは、検査対象の吸着ノズル60が、ノズル移載装置94の保持チャック208によって保持される。そして、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、ロードセル222の上方に移動する。さらに、保持チャック208に保持された吸着ノズル60の吸着管68の下端部がロードセル222に当接するように、保持チャック208が下方に移動する。この際、吸着ノズル60の吸着管68が、胴体筒64の内部に向かって設定量、後退するように、保持チャック208は下方に移動する。ロードセル222は、吸着管68が胴体筒64の内部に向かって設定量、後退した際の荷重を検出し、その検出値が、閾値より大きいか否かが判断される。ロードセル222による検出値は、吸着管68を胴体筒64の内部に向かって後退させるために必要な力を指標するものであり、その値が閾値より大きい場合には、異物の吸着ノズル60内への混入、吸着ノズル60の破損等により、吸着管68が胴体筒64の内部に向かって後退し難くなっていると考えられる。このため、ロードセル222による検出値が、閾値より大きいと判定された吸着ノズル60は、不良ノズルと判定される。
また、エア供給装置224は、ノズル移載装置94の移載ヘッド200に装着されており、フレーム部100上の任意の位置に移動可能となっている。エア供給装置224は、エアジョイント226を有しており、そのエアジョイント226を吸着ノズル60の胴体筒64に接続することで、エア流量検査が行われる。詳しくは、エア供給装置224が、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76とノズルパレット110と載置プレート196との何れかに載置された吸着ノズル60の上方に移動する。そして、エアジョイント226が、検査対象の吸着ノズル60の胴体筒64に接続されるように、エア供給装置224が下方に移動する。エアジョイント226が胴体筒64と接続すると、エア供給装置224は、接続された胴体筒64にエアを供給する。そして、エア供給時のエア圧が測定され、そのエア圧が、閾圧より大きいか否かが判断される。正常な吸着ノズル60にエアが供給される際には、吸着ノズル60内をエアが通り抜けていくため、測定されたエア圧は、比較的低い。一方、詰まり等の生じた吸着ノズル60にエアが供給される際には、吸着ノズル60内をエアが通り抜け難いため、測定されたエア圧は、比較的高くなる。このため、測定されたエア圧が閾圧より大きい吸着ノズル60は、不良ノズルと認定される。
なお、フレーム部100の上面には、複数の廃棄ボックス228が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル60は、廃棄ボックス228に廃棄される。また、上記検査により正常であると判定された吸着ノズル60は、ノズルトレイ76とノズルパレット110と載置プレート196との何れかに載置される。
(e)ノズル洗浄装置
ノズル洗浄装置98は、吸着ノズル60の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置92の隣に配設されている。ノズル洗浄装置98は、洗浄・乾燥機構230と洗浄パレット移動機構232とブロー装置234とを備えている。洗浄・乾燥機構230は、内部において吸着ノズル60の洗浄および乾燥を行う機構である。洗浄パレット移動機構232は、洗浄パレット238が露出する露出位置(図4で洗浄パレット238が図示されている位置)と、洗浄・乾燥機構230の内部との間で、洗浄パレット238を移動させる機構である。ブロー装置234は、筒状をなし、内部に向かってエアを噴出する装置である。上記構造のノズル洗浄装置98では、吸着ノズル60の洗浄および乾燥が行われる。
詳しくは、洗浄対象の吸着ノズル60が、ノズル移載装置94の保持チャック208によって保持される。そして、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、洗浄パレット移動機構232の露出位置の上方に移動する。この際、洗浄パレット238は、洗浄パレット移動機構232の作動により、露出位置に移動している。そして、保持チャック208が下方に移動し、吸着ノズル60が洗浄パレット238に搭載される。吸着ノズル60の洗浄パレット238への搭載が完了すると、洗浄パレット238が、洗浄パレット移動機構232の作動により、洗浄・乾燥機構230の内部に移動する。そして、洗浄・乾燥機構230の内部において、吸着ノズル60の洗浄および乾燥が行われる。
洗浄・乾燥機構230による吸着ノズル60の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット238が、洗浄パレット移動機構232の作動により、露出位置に移動する。この際、吸着ノズル60は、ある程度乾燥しているが、洗浄・乾燥機構230内では、洗浄パレット238に搭載された状態で吸着ノズル60の乾燥が行われるため、吸着ノズル60に水分が付着している虞がある。このため、ブロー装置234を用いて、吸着ノズル60の乾燥が行われる。
詳しくは、洗浄後の吸着ノズル60が、洗浄パレット238から保持チャック208によって保持される。次に、保持チャック208が、ヘッド移動装置202の作動により、ブロー装置234の上方に移動し、保持チャック208に保持された吸着ノズル60がブロー装置234の内部に挿入されるように、保持チャック208が下方に移動する。そして、ブロー装置234は、内部に向かってエアを噴出する。これにより、吸着ノズル60に付着している水分が吹き飛ばされ、吸着ノズル60の乾燥が完了する。そして、ブロー装置234による乾燥が完了した吸着ノズル60は、ヘッド移動装置202の作動により、ノズルトレイ76とノズルパレット110と載置プレート196との何れかに載置される。
なお、吸着ノズル60が、吸着ノズルの一例である。ノズル管理装置80が、ノズル収納庫の一例である。ノズル移載装置94が、移載装置の一例である。ノズルパレット110が、ノズルパレットの一例である。載置穴112が、載置穴の一例である。アーム用係合穴114が、第1被掛止部の一例である。ブラケット用係合穴116が、第2被掛止部の一例である。支持アーム134が、アームの一例である。係合ピン146が、第1掛止部の一例である。反射板148が、反射部材の一例である。ねじ機構156が、第1移動機構の一例である。第2スライダ160が、第2移動機構の一例である。櫛歯186が、収納部の一例である。係合ピン190が、第2掛止部の一例である。載置プレート196が、ノズル載置部の一例である。カメラ206が、受光部の一例である。
また、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、支持アーム134を上下方向に移動させるための機構として、ねじ機構が採用され、支持アーム134を前後方向に移動させるための機構として、スライド機構が採用されているが、種々の機構を採用することが可能である。
60:吸着ノズル 80:ノズル管理装置(ノズル収納庫) 94:ノズル移載装置(移載装置) 110:ノズルパレット 112:載置穴 114:アーム用係合穴(第1被掛止部) 116:ブラケット用係合穴(第2被掛止部) 134:支持アーム(アーム) 146:係合ピン(第1掛止部) 148:反射板(反射部材) 156:ねじ機構(第1移動機構) 160:第2スライダ(第2移動機構)
186:櫛歯(収納部)190:係合ピン(第2掛止部) 196:載置プレート(ノズル載置部) 206:カメラ(受光部)