CN114424688B - 干燥装置及干燥方法 - Google Patents

Abstract

干燥装置具备：被划分出的多个空间及喷出装置，在多个空间中的各空间向元件保持件喷出空气。

Description

干燥装置及干燥方法

技术领域

本公开涉及对元件保持件进行干燥的干燥装置、干燥方法。

背景技术

在下述专利文献中记载了通过空气的喷出来对元件保持件进行干燥的技术。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2014-168745号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本说明书以通过空气的喷出而对元件保持件适当地进行干燥为课题。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本说明书公开一种干燥装置，其具备：被划分出的多个空间及喷出装置，在上述多个空间中的各空间向元件保持件喷出空气。

另外，本说明书公开一种干燥装置，其具备：被划分出的多个空间；喷出装置，向上述多个空间中的各空间喷出空气；及控制装置，控制上述喷出装置的工作，上述控制装置如下地控制上述喷出装置的工作：通过在上述多个空间中的一个空间即第一空间向清洗完的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥；然后，通过在上述多个空间中的不同于上述第一空间的空间即第二空间向在上述第一空间中进行干燥后的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥。

另外，本说明书公开一种干燥方法，通过干燥装置对清洗完的元件保持件进行干燥，上述干燥装置具备被划分出的多个空间和向上述多个空间中的各空间喷出空气的喷出装置，上述干燥方法包含如下的工序：第一干燥工序，通过在上述多个空间中的一个空间即第一空间向清洗完的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥；及第二干燥工序，通过在上述多个空间中的不同于上述第一空间的空间即第二空间向在上述第一空间中进行干燥后的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥。

发明效果

根据本公开，能够在多个空间中的任意的空间向元件保持件喷出空气，能够对各种元件保持件适当地进行干燥。

附图说明

图1是表示电子元件安装装置的立体图。

图2是表示吸嘴的立体图。

图3是表示吸嘴管理装置的外观的立体图。

图4是表示吸嘴管理装置的内部结构的立体图。

图5是表示吸嘴干燥装置的剖视图。

图6是表示吸嘴干燥装置的立体图。

图7是表示吸嘴干燥装置的剖视图。

图8是表示吸嘴管理装置具备的控制装置的框图。

图9是表示废弃箱的剖视图。

图10是表示废弃箱的剖视图。

图11是表示废弃箱的剖视图。

图12是表示废弃箱的剖视图。

图13是表示废弃箱的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图来对本公开的优选的实施方式详细地进行说明。

图1表示电子元件安装装置10。首先，对电子元件安装装置10的结构进行说明。电子元件安装装置10具有一个系统基座12、在该系统基座12上相邻的两台电子元件安装机(以下，有时简称为安装机)14。另外，将安装机14的排列方向称为X轴方向，将与该方向垂直的水平的方向称为Y轴方向。

各安装机14主要具备：安装机主体20、输送装置22、安装头移动装置(以下，有时简称为移动装置)24、安装头26、供给装置28及吸嘴站30。安装机主体20由框架32和架设于该框架32的梁34构成。

输送装置22具备两个输送装置40、42。这两个输送装置40、42以相互平行且沿着X轴方向延伸的方式配置于框架32。两个输送装置40、42分别通过电磁电动机(省略图示)沿着X轴方向输送由各输送装置40、42支撑的电路基板。另外，电路基板在预定的位置由基板保持装置(省略图示)保持。

移动装置24是XY机器人型的移动装置。移动装置24具备使滑动件50在X轴方向上滑动的电磁电动机(省略图示)及在Y轴方向上滑动的电磁电动机(省略图示)。在滑动件50安装有安装头26，该安装头26通过两个电磁电动机的工作而移动到框架32上的任意位置。

安装头26是对电路基板安装电子元件的部件。在安装头26的下端面设置有吸嘴60。如图2所示，吸嘴60由主体筒64、凸缘部66、吸附管68及卡定销70构成。主体筒64呈圆筒状，凸缘部66以伸出的方式固定于主体筒64的外周面。吸附管68呈较细的管状，以从主体筒64的下端部朝向下方延伸出的状态，以能够在轴线方向上移动的方式保持于主体筒64。卡定销70以在主体筒64的径向上延伸的方式设置于主体筒64的上端部。吸嘴60利用卡定销70以一次操作可拆装地安装于安装头26。另外，卡定销70的图示在后述的图5、图7、图9至图13中省略。另外，在安装头26中内置有弹簧(省略图示)，该弹簧向安装于安装头26的吸嘴60的吸附管68施加弹性力。由此，该吸附管68通过内置于安装头26的弹簧的弹性力而被向从主体筒64的下端部向下方延伸的方向施力。另外，在凸缘部66的上表面附设有2D码74。在2D码74中，作为个别信息，示出吸嘴60的ID(identification：识别信息)等。另外，也可以取代2D码74而在凸缘部66的上表面附设条形码或RF标签。但是，在RF标签附设于凸缘部66的上表面的情况下，用于从RF标签取得个别信息的读取器安装于后述的吸嘴管理装置(参照图3)80的移载头(参照图4)120上。

另外，吸嘴60经由负压空气、正压空气通路而与正负压供给装置(省略图示)连通。吸嘴60利用负压吸附保持电子元件，利用正压使保持的电子元件脱离。另外，安装头26具有使吸嘴60进行升降的吸嘴升降装置(省略图示)。通过该吸嘴升降装置，安装头26变更保持的电子元件的上下方向上的位置。

供给装置28是供料器型的供给装置，如图1所示，具有多个带式供料器72。带式供料器72对元件编带以卷绕的状态收纳。元件编带是电子元件被编带化后的部件。并且，带式供料器72通过进给装置(省略图示)将元件编带送出。由此，供料器型的供给装置28通过元件编带的送出，在供给位置处供给电子元件。

吸嘴站30具有吸嘴托盘76。在吸嘴托盘76中收纳有多个吸嘴60。在该吸嘴站30中，根据需要进行安装于安装头26的吸嘴60和收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60的更换等。另外，吸嘴托盘76能够相对于吸嘴站30拆装，能够在安装机14的外部进行收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60的回收和对于吸嘴托盘76的吸嘴60的补给等。

接着，对安装机14的安装作业进行说明。在安装机14中，通过上述的结构，能够利用安装头26对保持于输送装置22的电路基板进行安装作业。具体而言，根据安装机14的控制装置(省略图示)的指令，电路基板被输送至作业位置，在该位置由基板保持装置保持。另外，带式供料器72根据控制装置的指令送出元件编带，在供给位置供给电子元件。并且，安装头26移动到电子元件的供给位置的上方，通过吸嘴60吸附保持电子元件。接着，安装头26移动到电路基板的上方，将所保持的电子元件向电路基板上安装。

在安装机14中，如上所述，利用吸嘴60吸附保持由带式供料器72供给的电子元件，并将该电子元件安装在电路基板上。因此，在吸嘴60产生了不良情况的情况下，有可能无法适当地进行安装作业，所以需要适当地管理吸嘴60。因此，通过以下说明的吸嘴管理装置进行吸嘴60的管理。

接着，对吸嘴管理装置的结构进行说明。如图3所示，吸嘴管理装置80呈大致长方体形状，在正面设置有用于将吸嘴托盘76向吸嘴管理装置80内收纳或从吸嘴管理装置80取出吸嘴托盘76的门82。在该门82的上方，配置有显示各种信息并进行各操作的触摸面板86等。

如图4所示，吸嘴管理装置80具有：管理装置主体90、托盘收纳装置92、吸嘴移载装置94、吸嘴检查装置96、吸嘴清洗装置98及吸嘴干燥装置100。另外，图4是表示吸嘴管理装置80的拆下了外壳部件的状态的立体图，表示吸嘴管理装置80的内部结构。另外，吸嘴管理装置80与控制装置200连接。另外，控制装置200的详细的说明将在后面叙述。

管理装置主体90由框架102和架设在该框架102上的梁104构成。框架102为中空构造，在框架102内配置有托盘收纳装置92，托盘收纳装置92的上端部在框架102的上表面露出。

托盘收纳装置92包含多个托盘载置架106和支撑臂108。托盘载置架106是用于载置吸嘴托盘110的架子，多个托盘载置架106在框架102的内部在上下方向上排列配置。另外，在吸嘴托盘110中收纳有多个吸嘴60。另外，支撑臂108通过臂移动装置(省略图示)的工作，在多个托盘载置架106的前方，沿着上下方向移动，并且接近、远离托盘载置架106。由此，吸嘴托盘110向托盘载置架106的收纳、吸嘴托盘110从托盘载置架106的取出通过支撑臂108来进行。另外，通过支撑臂108向上方移动，而从托盘载置架106取出的吸嘴托盘110向框架102的上表面侧移动。

吸嘴移载装置94是用于在吸嘴托盘76与吸嘴托盘110之间移载吸嘴60的装置，配置于梁104。吸嘴移载装置94具有移载头120和头移动装置122。在移载头120的下端面安装有朝向下方的状态的相机126、用于保持吸嘴60的保持卡盘128、空气供给装置130。

如图5所示，保持卡盘128具有两个保持爪132，通过使这两个保持爪132接近而在主体筒64处保持吸嘴60，通过使两个保持爪132分离而使保持的吸嘴60脱离。另外，在保持卡盘128的主体部134中形成有空气流路136。该空气流路136的下端部在两个保持爪132之间开口，上端部与空气供给装置130连接。因此，在保持卡盘128保持有吸嘴60的状态下，通过空气供给装置130向空气流路136供给空气，由此从空气流路136的下端部向吸嘴60的内部喷出空气。由此，向吸嘴60的内部喷入空气，从吸附管68的前端部喷出空气。此外，保持卡盘128具有使自身自转的自转装置(参照图8)138。由此，保持于保持卡盘128的吸嘴60自转。

另外，如图4所示，头移动装置122是使移载头120在框架102上在前后方向、左右方向、上下方向上移动的XYZ型的移动装置。另外，在框架102的前方侧的上表面设置有用于安设吸嘴托盘76的固定工作台131，在安设于固定工作台131的吸嘴托盘76与支撑于托盘收纳装置92的支撑臂108的吸嘴托盘110之间移载吸嘴60。

吸嘴检查装置96具有：相机140、测力传感器142及接头146。相机140以朝向上方的状态配置于框架102的上表面，使用相机140检查吸嘴60的前端部。详细而言，作为检查对象的吸嘴60由保持卡盘128保持，保持于该保持卡盘128的吸嘴60由相机140从下方进行拍摄。由此，得到吸嘴60的前端部的拍摄数据，基于该拍摄数据，检查吸嘴60的前端部的状态。

另外，测力传感器142配置在相机140的旁边，使用测力传感器142来检查吸嘴60的前端部的伸缩状态。详细而言，作为检查对象的吸嘴60由保持卡盘128保持，保持于该保持卡盘128的吸嘴60的前端部与测力传感器142抵接。如上所述，吸嘴60的前端部能够伸缩，根据由测力传感器142测定出的载荷来检查吸嘴60的前端部的伸缩状态。

另外，接头146配置在空气供给装置130的下表面，从该空气供给装置130供给空气。并且，使用从空气供给装置130向接头146供给的空气，进行吸嘴60的空气流量检查。详细而言，接头146通过头移动装置122的工作而移动到载置于后述的清洗托盘158的吸嘴60的上方。并且，接头146与作为检查对象的吸嘴60连接，从空气供给装置130供给空气。此时，测定空气压力，根据该空气压力进行吸嘴60的空气流量检查。

另外，在框架102的上表面配置有多个废弃箱148，由上述检查判定为不良吸嘴的吸嘴60被废弃到废弃箱148中。另外，由上述检查判定为正常的吸嘴的吸嘴60返回到吸嘴托盘76或吸嘴托盘110。

吸嘴清洗装置98是进行吸嘴60的清洗及干燥的装置，配置于托盘收纳装置92的旁边。吸嘴清洗装置98具备清洗、干燥机构150和清洗托盘移动机构152。清洗、干燥机构150是在内部进行吸嘴60的清洗及干燥的机构。另外，清洗托盘移动机构152是使清洗托盘158在清洗托盘158露出的露出位置(在图4中图示清洗托盘158的位置)与清洗、干燥机构150的内部之间移动的机构。

吸嘴干燥装置100是进行吸嘴60的干燥的装置，配置于位于露出位置的清洗托盘158的旁边。如图6所示，吸嘴干燥装置100具有壳体160和鼓风装置162。壳体160呈大致块状，在壳体160上形成有三个有底孔164、166、168。各有底孔164、166、168在壳体160的上表面开口，并且形成为向下方凹陷的圆筒形状。并且，这三个有底孔164、166、168的内部作为用于对吸嘴60进行干燥的三个干燥室170、172、174发挥功能。这三个干燥室170、172、174的内径不同，干燥室170的内径最大，干燥室174的内径最小，干燥室172的内径为干燥室170的内径与干燥室174的内径之间的中间程度。另外，在区分三个干燥室170、172、174时，将干燥室170记载为第一干燥室170，将干燥室172记载为第二干燥室172，将干燥室174记载为第三干燥室174。

另外，如作为图6中的AA线处的剖视图的图5所示，在壳体160以沿着有底孔164的径向延伸的方式形成有两个贯通孔176、178，这两个贯通孔176、178在壳体160的外壁面和第一干燥室170的内壁面上开口。贯通孔176从壳体160的外壁面朝向第一干燥室170的内壁面向斜上方贯通壳体160的侧壁。另一方面，贯通孔178在贯通孔176的上方以沿着大致水平方向延伸的方式贯通壳体160的侧壁。另外，在贯通孔176的在壳体160的外壁面上的开口连结有阀180，在贯通孔178的在壳体160的外壁面上的开口也连结有阀182。并且，阀180经由配管184而与鼓风装置162连接，阀182经由配管186而与鼓风装置162连接。由此，通过使鼓风装置162工作，并且打开阀180、182，而从贯通孔176、178向第一干燥室170的内部喷出空气。另外，阀180、182是常闭阀。

另外，如图6所示，在壳体160上形成有贯通孔188，该贯通孔188从有底孔166的底面、即第二干燥室172的底面向下方延伸出，向壳体160的外壁面呈直角地弯曲，在壳体160的外壁面开口。在该贯通孔188的在壳体160的外壁面上的开口连结有阀190，阀190经由配管192而与鼓风装置162连接。由此，通过鼓风装置162工作，并且打开阀190，而从贯通孔188向第二干燥室172的内部喷出空气。此外，阀190是常闭阀。

此外，在壳体160上形成有贯通孔194，该贯通孔194从有底孔168的底面、即第三干燥室174的底面向下方延伸出，向壳体160的外壁面呈直角地弯曲，在壳体160的外壁面开口。在该贯通孔194的在壳体160的外壁面上的开口连结有阀196，阀196经由配管198而与鼓风装置162连接。由此，通过使鼓风装置162工作，并且打开阀196，而从贯通孔194向第三干燥室174的内部喷出空气。另外，阀196是常闭阀。

另外，如图8所示，控制装置200具备控制器202和多个驱动电路206。多个驱动电路206与托盘收纳装置92、空气供给装置130、自转装置138、吸嘴检查装置96、吸嘴清洗装置98、鼓风装置162及阀180、182、190、196连接。控制器202具备CPU、ROM、RAM等，以计算机为主体，与多个驱动电路206连接。由此，托盘收纳装置92、吸嘴移载装置94等的工作由控制器202控制。

在吸嘴管理装置80中，通过上述结构，为了适当地管理吸嘴60而进行吸嘴60的清洗等。详细而言，作业者将收纳有作为清洗对象的吸嘴60的吸嘴托盘76载置于吸嘴管理装置80的固定工作台131。在吸嘴管理装置80中，当在固定工作台131是载置了吸嘴托盘76时，相机126通过头移动装置122的工作而移动到载置的吸嘴托盘76的上方，对收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60进行拍摄。此时，控制器202基于通过该拍摄得到的拍摄数据取得收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60的ID。并且，控制器202利用取得的吸嘴60的ID在吸嘴管理装置80中管理吸嘴60。另外，在控制装置200，针对每个吸嘴60的ID存储有吸嘴60的尺寸等，基于吸嘴60的ID，也可以取得吸嘴60的尺寸等。

并且，当通过对收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60的拍摄而取得了吸嘴60的ID时，收纳于吸嘴托盘76的吸嘴60通过吸嘴移载装置94被移载到吸嘴清洗装置98的清洗托盘158。此时，清洗托盘158通过清洗托盘移动机构152的工作移动到露出位置。并且，当吸嘴60向清洗托盘158的移载完成时，清洗托盘158通过清洗托盘移动机构152的工作而移动到清洗、干燥机构150的内部，进行吸嘴60的清洗及干燥。当通过清洗、干燥机构150进行的吸嘴60的清洗及干燥完成时，清洗托盘158通过清洗托盘移动机构152的工作而从清洗、干燥机构150的内部移动到露出位置。此时，保持卡盘128通过头移动装置122的工作而移动至移动到露出位置的清洗托盘158的上方。并且，通过空气供给装置130的工作，从保持卡盘128向搭载于清洗托盘158的吸嘴60喷出空气。由此，水分被从搭载于清洗托盘158的吸嘴60的上表面、特别是凸缘部66的上表面等吹飞。

另外，吸嘴60通过清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气喷出，而一定程度地干燥。但是，由于清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气喷出在吸嘴60搭载于清洗托盘158的状态下进行，因此有可能在吸嘴60上残留有水分。特别是，在吸嘴60中，如上所述，主体筒64与吸附管68能够相对移动，水侵入主体筒64与吸附管68之间，因此存在侵入到主体筒64与吸附管68之间的水残留的情况。这样在主体筒64与吸附管68之间残留有水分的吸嘴60在使用上述测力传感器142的检查中，有可能被判定为不良吸嘴。详细而言，如上所述，使用测力传感器142的检查是吸嘴60的前端部的伸缩状态的检查，在主体筒64与吸附管68之间残留有水分的吸嘴60中，由于水分而主体筒64与吸附管68之间的滑动阻力变大，由测力传感器142测定的载荷变高。因此，有可能被判定为吸嘴60的前端部的伸缩状态不适当，而将该吸嘴60判定为不良吸嘴。

鉴于这样的情况，在吸嘴管理装置80中，当清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气喷出完成时，使用吸嘴干燥装置100进行吸嘴60的干燥。详细而言，当清洗、干燥机构150中的干燥及来自保持卡盘128的空气喷出完成时，通过保持卡盘128保持搭载于清洗托盘158的吸嘴60。接着，保持卡盘128通过头移动装置122的工作，移动到吸嘴干燥装置100的壳体160的第一干燥室170的上方并下降。由此，如图5所示，保持于保持卡盘128的吸嘴60插入到壳体160的第一干燥室170的内部。另外，保持卡盘128下降到吸嘴60的凸缘部66的下表面侧及吸附管68的侧面位于贯通孔178的横向的部位。

然后，在第一干燥室170的内部，保持于保持卡盘128的吸嘴60通过自转装置138的工作而自转。此时，通过空气供给装置130的工作，从保持卡盘128喷出空气，从保持于保持卡盘128的吸嘴60的上方喷出的空气被向吸嘴60的内部吹送。这样，通过向吸嘴60的内部吹送空气，而吸附管68相对于主体筒64向下方相对移动，并向下方延伸出。由此，在凸缘部66的下侧，吸附管68相对于主体筒64的滑动面露出。另外，在保持卡盘128自转时，通过使鼓风装置162工作，并且打开阀180、182，而从贯通孔176、178向自转的吸嘴60喷出空气。此时，从贯通孔178喷出的空气被向从吸嘴60的主体筒64露出的吸附管68的滑动面吹送，并且从贯通孔176喷出的空气被向吸嘴60的吸附管68的前端吹送。也就是说，从贯通孔176、178喷出的空气遍及吸嘴60的整周地向凸缘部66的下方整体吹送。由此，能够适当地去除残留在主体筒64与吸附管68之间的水分。另外，吸嘴干燥装置100还能够去除除了水分以外的附着物、具体而言例如油分、尘埃、电子元件或其一部分、焊料、粘接剂等。

这样，在吸嘴干燥装置100中，能够通过向保持于保持卡盘128的吸嘴60喷出空气，而适当地对吸嘴60进行干燥。但是，在吸嘴干燥装置100中，由于管理尺寸不同的多个种类的吸嘴，因此有可能无法通过上述方法对大尺寸的吸嘴适当进行干燥。具体而言，在吸嘴干燥装置100中，还管理比吸嘴60的吸嘴直径大的吸嘴直径的吸嘴210(参照图9)。该吸嘴210在由吸嘴清洗装置98清洗后，由保持卡盘128保持，如图9所示，插入到第一干燥室170中。另外，由于第一干燥室170的内径比吸嘴210的凸缘部212的外径大，因此能够将吸嘴210整体插入到第一干燥室170中。此时，保持卡盘128下降到吸嘴210的凸缘部212的下表面侧及吸附管214的侧面位于贯通孔178的横向的部位，而吸嘴210插入到第一干燥室170中。

并且，保持于保持卡盘128的吸嘴210也与吸嘴60相同地自转，从贯通孔176、178喷出空气，从保持卡盘128也喷出空气。由此，在凸缘部212的下侧，吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出，从贯通孔178喷出的空气被向吸嘴210的凸缘部212的下表面侧及从主体筒216露出的吸附管214的滑动面吹送。但是，由于吸嘴210比吸嘴60大，所以从贯通孔176喷出的空气也向吸嘴210的吸附管214的滑动面吹送。也就是说，在第一干燥室170中，在向保持于保持卡盘128的吸嘴210吹送空气时，空气向吸嘴210的凸缘部212的下表面侧及吸附管214的侧面吹送，但空气不向吸附管214的前端吹送。因此，有可能无法通过第一干燥室170中的空气的吹送，对吸嘴210整体适当地进行干燥。

因此，当第一干燥室170中的干燥结束时，如图7所示，保持于保持卡盘128的吸嘴210插入到吸嘴干燥装置100的第二干燥室172中。但是，由于吸嘴210的凸缘部212的外径比第二干燥室172的内径大，所以仅吸嘴210的吸附管214插入到第二干燥室172中。此时，以使第二干燥室172向壳体160的上表面的开口被吸嘴210的凸缘部212覆盖的方式将吸嘴210的吸附管214插入第二干燥室172中。但是，以在壳体160的上表面与吸嘴210的凸缘部212的下表面之间能够形成微小的间隙的方式，通过凸缘部212覆盖第二干燥室172的在壳体160的上表面的开口。

这样，当保持于保持卡盘128的吸嘴210的吸附管214插入到第二干燥室172中时，首先，通过空气供给装置130的工作，从保持卡盘128喷出空气，从保持于保持卡盘128的吸嘴210的上方喷出的空气向吸嘴210的内部吹送。这样，通过向吸嘴210的内部吹送空气，而吸附管214相对于主体筒216向下方相对移动，并向下方延伸出。由此，在凸缘部212的下侧，吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出。

接着，空气供给装置130的动作停止，停止从保持卡盘128喷出空气后，鼓风装置162工作，并且阀190打开。由此，如图10所示，从贯通孔188向吸嘴210的吸附管214的前端喷出空气。此时，通过向吸嘴210的吸附管214的前端喷出的空气，将附着于吸附管214的前端的水分吹飞。另外，通过从贯通孔188喷出的空气，吸附管214相对于主体筒216向上方相对移动，从而向上方延伸，在主体筒216的上侧，吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出。

这样，在主体筒216的上侧，当吸附管214相对于主体筒216的滑动面露出时，鼓风装置162的动作停止，并且阀190关闭，停止从贯通孔188喷出空气后，再次通过空气供给装置130的工作，从保持卡盘128喷出空气。此时，从保持卡盘128向在主体筒216的上侧露出的吸附管214的滑动面吹送空气。由此，附着于在主体筒216的上侧露出的吸附管214的滑动面的水分被吹飞。并且，通过从保持卡盘128喷出空气，如图7所示，吸附管214再次向下方延伸出。

这样，当通过从保持卡盘128喷出空气而吸附管214向下方延伸出时，空气供给装置130的动作停止，在停止从保持卡盘128喷出空气后，鼓风装置162再次动作，并且阀190打开。由此，从贯通孔188喷出空气，如图10所示，吸附管214再次向上方延伸出。也就是说，在第二干燥室172中，交替地进行从保持卡盘128喷出空气和从贯通孔188喷出空气，在使吸附管214相对于主体筒216上下反复滑动的状态下，向吸附管214喷出空气。由此，能够适当地去除残留在吸嘴210的主体筒216与吸附管214之间的水分。

也就是说，在第一干燥室170中，向比吸嘴60的吸嘴直径大的吸嘴直径的吸嘴210的凸缘部212的下方的吸附管214的除了前端以外的部位吹送空气。并且，在第一干燥室170中的向吸嘴210的空气的吹送完成后，在第二干燥室172中，在吸附管214的前端吹送空气，并且在使吸附管214相对于主体筒216滑动后的状态下向吸附管214吹送空气。由此，能够对吸嘴210整体适当进行干燥。另外，在第二干燥室172中，从保持卡盘128及贯通孔188喷出的空气从壳体160的上表面与吸嘴210的凸缘部212的下表面的间隙泄漏。由此，可抑制第二干燥室172内的空气压力的上升。

另外，在吸嘴干燥装置100中，还管理虽然比吸嘴60的吸嘴直径大，但比吸嘴210的吸嘴直径小的吸嘴直径的吸嘴230(参照图11)。该吸嘴230也在吸嘴清洗装置98被清洗后，被保持卡盘128保持，如图11所示，插入到第一干燥室170中。另外，由于第一干燥室170的内径比吸嘴230的凸缘部232的外径大，因此能够将吸嘴230整体插入第一干燥室170中。此时，保持卡盘128下降至吸嘴230的凸缘部232的下表面侧及吸附管234的侧面位于贯通孔178的横向的部位，而吸嘴230插入第一干燥室170中。

并且，保持于保持卡盘128的吸嘴230也与吸嘴60相同地自转，并且从贯通孔176、178喷出空气，从保持卡盘128也喷出空气。由此，在凸缘部232的下侧，吸附管234相对于主体筒236的滑动面露出，从贯通孔178喷出的空气向吸嘴60的凸缘部232的下表面侧及从主体筒236露出的吸附管234的滑动面吹送。但是，由于吸嘴230也比吸嘴60大，所以从贯通孔176喷出的空气被向吸附管234的滑动面吹送，而不向吸附管234的前端吹送。因此，通过第一干燥室170中的空气的吹送，无法对吸嘴230整体适当地进行干燥。

因此，保持于保持卡盘128的吸嘴230的第一干燥室170中的干燥结束后，如图12所示，插入到吸嘴干燥装置100的第三干燥室174中。但是，由于吸嘴230的凸缘部232的外径比第三干燥室174的内径大，因此仅吸嘴230的吸附管234插入到第三干燥室174中。此时，以使第三干燥室174的在壳体160的上表面上的开口由吸嘴230的凸缘部232覆盖的方式将吸嘴230的吸附管234插入到第三干燥室174中。但是，以在壳体160的上表面与吸嘴230的凸缘部232的下表面之间能够形成微小的间隙的方式，通过凸缘部232覆盖第三干燥室174的在壳体160的上表面上的开口。

这样，当保持于保持卡盘128的吸嘴230的吸附管234插入到第三干燥室174时，与第二干燥室172相同地，交替地从保持卡盘128喷出空气和从贯通孔194喷出空气。也就是说，首先，通过空气供给装置130的工作，从保持卡盘128喷出空气，从保持于保持卡盘128的吸嘴230的上方喷出的空气向吸嘴230的内部吹送。由此，如图12所示，吸附管234相对于主体筒236向下方相对移动，并向下方延伸出，从而在凸缘部232的下侧，吸附管234相对于主体筒236的滑动面露出。

接着，空气供给装置130的工作停止，停止从保持卡盘128喷出空气后，使鼓风装置162工作，并且打开阀196。由此，如图13所示，从贯通孔194向吸嘴230的吸附管234的前端喷出空气。此时，通过向吸嘴230的吸附管234的前端喷出的空气，附着于吸附管234的前端的水分被吹飞。另外，通过从贯通孔194喷出的空气，吸附管234相对于主体筒236向上方相对移动，从而向上方延伸出，而在主体筒236的上侧，吸附管234相对于主体筒236的滑动面露出。

然后，通过交替地从保持卡盘128喷出空气和从贯通孔194喷出空气，在使吸附管234相对于主体筒236上下反复滑动的状态下，向吸附管234喷出空气。由此，能够适当地去除残留在吸嘴230的主体筒236与吸附管234之间的水分。

也就是说，比吸嘴60的吸嘴直径大且比吸嘴210的吸嘴直径小的吸嘴直径的吸嘴230在第一干燥室170中，向凸缘部232的下方的吸附管234的除了前端以外的部位吹送空气。并且，在第一干燥室170中的向吸嘴230的空气的吹送完成后，在第三干燥室174中，向吸附管234的前端吹送空气，并且在使吸附管234相对于主体筒236滑动后的状态下向吸附管234吹送空气。由此，能够对吸嘴230整体适当地进行干燥。另外，在第三干燥室174中，从保持卡盘128及贯通孔194喷出的空气从壳体160的上表面与吸嘴230的凸缘部232的下表面的间隙泄漏。由此，可抑制第三干燥室174内的空气压力的上升。

这样，在吸嘴管理装置80中，比较小的尺寸的吸嘴60通过第一干燥室170中的空气的吹送而被干燥。另外，比较大的尺寸的吸嘴210在通过第一干燥室170中的空气的吹送而被干燥后，通过第二干燥室172中的空气的吹送被干燥。另外，吸嘴60与吸嘴210的中间程度的尺寸的吸嘴230在通过第一干燥室170中的空气的吹送被干燥后，通过第三干燥室174中的空气的吹送被干燥。也就是说，在吸嘴管理装置80中，吸嘴根据尺寸而在三个干燥室170、172、174中的一个以上的干燥室中被干燥。由此，能够对各种尺寸的吸嘴适当地进行干燥。

另外，作为干燥对象的吸嘴的尺寸基于先前取得的吸嘴的ID来判定。也就是说，如上所述，当吸嘴被收纳于吸嘴管理装置80时，基于相机126的拍摄数据，控制器202取得吸嘴的ID。另外，在控制装置200中存储有将吸嘴的ID与该吸嘴的尺寸建立了对应的数据。因此，控制器202通过参照该数据，并基于作为干燥对象的吸嘴的ID来确定干燥对象的吸嘴的尺寸。并且，控制器202根据所确定的吸嘴的尺寸，通过上述方法对吸嘴进行干燥。

顺便说一下，利用与吸嘴的尺寸对应的方法被干燥的吸嘴在吸嘴检查装置96中被进行检查，检查结果良好的吸嘴被收纳在载置于固定工作台131的吸嘴托盘76或托盘收纳装置92的吸嘴托盘110中。另外，检查结果不良好的吸嘴被废弃到配置在固定工作台131的旁边的废弃箱148中。

另外，吸嘴60是元件保持件及吸嘴的一例。凸缘部66是凸缘部的一例。吸附管68是吸嘴的一例。吸嘴干燥装置100是干燥装置的一例。鼓风装置162是喷出装置的一例。第一干燥室170是第一空间的一例。第二干燥室172是第二空间的一例。第三干燥室174是第二空间的一例。贯通孔176、178是第一喷出口的一例。贯通孔188、194是第二喷出口的一例。控制装置200是控制装置的一例。吸嘴210是元件保持件及吸嘴的一例。凸缘部212是凸缘部的一例。吸附管214是吸嘴的一例。吸嘴230是元件保持件及吸嘴的一例。凸缘部232是凸缘部的一例。吸附管234是吸嘴的一例。

以上，在上述的本实施方式中，起到以下的效果。

在吸嘴干燥装置100中，设置有多个干燥室170、172、174，在这些多个干燥室170、172、174中的各干燥室中，向保持于保持卡盘128的吸嘴喷出空气。由此，在多个干燥室170、172、174中的任意的干燥室中，能够向吸嘴吹送空气，能够对各种吸嘴适当地进行干燥。

另外，在吸嘴干燥装置100中，保持于保持卡盘128的吸嘴210在第一干燥室170中被干燥后，在第二干燥室172中被干燥，保持于保持卡盘128的吸嘴230在第一干燥室170中被干燥后，在第三干燥室174中被干燥。由此，能够在第二干燥室172或第三干燥室174中向在第一干燥室170无法吹送空气的吸嘴210、230的吸附管214、234的前端吹送空气，能够对吸嘴210、230整体适当地进行干燥。

另外，在吸嘴干燥装置100中，在第二干燥室172或第三干燥室174中，通过交替地从保持卡盘128喷出空气和从贯通孔188、194喷出空气，而在使吸嘴210、230的吸附管214、234滑动的同时向吸附管214、234喷出空气。也就是说，在第二干燥室172或第三干燥室174中，通过交替地从吸嘴210、230的上方喷出空气和从下方喷出空气，而在使吸嘴210、230的吸附管214、234伸缩的同时向吸附管214、234喷出空气。由此，能够适当地去除残留在吸嘴210、230的主体筒216、236与吸附管214、234之间的水分。

另外，在吸嘴干燥装置100中，第一干燥室170的内径比吸嘴210、230的凸缘部212、232的外径大。因此，向第一干燥室170插入吸嘴210、230整体，向吸嘴210、230的吸附管214、234的除了前端以外的部位吹送空气。另一方面，第二干燥室172的内径比吸嘴210的凸缘部212的外径小，第三干燥室174的内径比吸嘴230的凸缘部232的外径小。因此，向第二干燥室172或第三干燥室174插入吸嘴210、230的吸附管214、234，向吸附管214、234的前端吹送空气。由此，能够对吸嘴210、230整体适当地进行干燥。

另外，在吸嘴干燥装置100中，设置有三个干燥室170、172、174，这三个干燥室170、172、174的内径不同。由此，能够在三个干燥室170、172、174中的任意干燥室中向各种尺寸的吸嘴吹送空气，能够对各种尺寸的吸嘴适当地进行干燥。

另外，本公开不限定于上述实施方式，能够以基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更、改良的各种方式来实施。具体而言，例如，在上述实施方式中，公开了吸嘴的干燥方法，但只要是能够保持部件的元件保持件，就能够将本公开应用于各种元件保持件。例如，能够将本公开应用于通过多个爪把持部件的把持件、所谓的卡盘。

另外，在上述实施方式中，在由有底孔164、166、168的内壁面划分出的干燥室170、172、174中进行吸嘴的干燥，但也可以在至少由一个面划分出的空间中进行吸嘴的干燥。

另外，在上述实施方式中，在吸嘴210、230在第一干燥室170中被干燥后，在第二干燥室172或第三干燥室174中被干燥，但也可以在第二干燥室172或第三干燥室174中被干燥后，在第一干燥室170中被干燥。

另外，在上述实施方式中，吸嘴210、230在三个干燥室170、172、174中的两个干燥室中被干燥，但也可以在一个干燥室中被干燥。在这样的情况下，需要设置能够向吸嘴210、230整体吹送空气的干燥室。具体而言，例如，通过在第一干燥室170设置形成有与第二干燥室172的贯通孔188相同的贯通孔的干燥室，能够在该一个干燥室中向吸嘴210、230整体吹送空气。

另外，在上述实施方式中，例如，以在壳体160的上表面与吸嘴210的凸缘部212的下表面之间能够形成微小的间隙的方式，通过由凸缘部212覆盖第二干燥室172的向壳体160的上表面的开口，从而抑制第二干燥室172的空气压力的上升。另一方面，也可以通过在第二干燥室172或贯通孔188形成泄漏孔，来抑制第二干燥室172的空气压力的上升。在这样的情况下，也可以以使壳体160的上表面与吸嘴210的凸缘部212的下表面紧贴的方式，通过凸缘部212覆盖第二干燥室172的在壳体160的上表面上的开口。另外，能够通过在该泄漏孔配置消声器来抑制风噪声。另外，在第三干燥室174中，当然也可以采用相同的方法。

附图标记说明

60：吸嘴(元件保持件) 66：凸缘部 68：吸附管(吸嘴) 100：吸嘴干燥装置(干燥装置) 162：鼓风装置(喷出装置) 170：第一干燥室(第一空间) 172：第二干燥室(第二空间)174：第三干燥室(第二空间) 176：贯通孔(第一喷出口) 178：贯通孔(第一喷出口) 188：贯通孔(第二喷出口) 194：贯通孔(第二喷出口) 200：控制装置 210：吸嘴(元件保持件)212：凸缘部 214：吸附管(吸嘴) 230：吸嘴(元件保持件) 232：凸缘部 234：吸附管(吸嘴)。

Claims (8)

1.一种干燥装置，具备：

呈块状的壳体，通过在所述壳体上形成多个有底孔而划分出多个空间，所述多个有底孔在所述壳体的表面形成开口，各所述开口的内径不同；及

喷出装置，在所述多个空间中的各空间向元件保持件喷出空气。

2.一种干燥装置，具备：

呈块状的壳体，通过在所述壳体上形成多个有底孔而划分出多个空间，所述多个有底孔在所述壳体的表面形成开口，各所述开口的内径不同；

喷出装置，向所述多个空间中的各空间喷出空气；及

控制装置，控制所述喷出装置的工作，

所述控制装置如下地控制所述喷出装置的工作：

通过在所述多个空间中的一个空间即第一空间向清洗完的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥；然后，通过在所述多个空间中的不同于所述第一空间的空间即第二空间向在所述第一空间中进行干燥后的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其中，

在所述第一空间形成有用于朝所述元件保持件的预定部位喷出空气的喷出口即第一喷出口，

在所述第二空间形成有用于朝所述元件保持件的不同于所述预定部位的部位喷出空气的喷出口即第二喷出口。

4.根据权利要求2所述的干燥装置，其中，

所述元件保持件是具有可伸缩的嘴的吸嘴，

通过在所述第一空间与所述第二空间中的至少一个空间交替地从所述吸嘴的上方喷出空气和从所述吸嘴的下方喷出空气，在使所述吸嘴伸缩的同时对所述吸嘴进行干燥。

5.根据权利要求3所述的干燥装置，其中，

所述元件保持件是具有可伸缩的嘴的吸嘴，

通过在所述第一空间与所述第二空间中的至少一个空间交替地从所述吸嘴的上方喷出空气和从所述吸嘴的下方喷出空气，在使所述吸嘴伸缩的同时对所述吸嘴进行干燥。

6.根据权利要求2至权利要求5中任一项所述的干燥装置，其中，

所述元件保持件具有凸缘部，

所述多个空间中的各空间是由侧壁划分并且上方开口的空间，

所述第一空间与所述第二空间中的一个空间的开口的内径大于所述凸缘部的外径，

所述第一空间与所述第二空间中的另一个空间的开口的内径小于所述凸缘部的外径。

7.根据权利要求2至权利要求5中任一项所述的干燥装置，其中，

所述多个空间是三个以上的空间，

所述三个以上的空间中的各空间是由侧壁划分并且上方开口的空间，

所述三个以上的空间的开口的内径不同。

8.一种干燥方法，通过干燥装置对清洗完的元件保持件进行干燥，所述干燥装置具备：呈块状的壳体，通过在所述壳体上形成多个有底孔而划分出多个空间，所述多个有底孔在所述壳体的表面形成开口，各所述开口的内径不同；及喷出装置，向所述多个空间中的各空间喷出空气，

所述干燥方法包含如下的工序：

第一干燥工序，通过在所述多个空间中的一个空间即第一空间向清洗完的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥；及

第二干燥工序，通过在所述多个空间中的不同于所述第一空间的空间即第二空间向在所述第一空间中进行干燥后的元件保持件喷出空气，对该元件保持件进行干燥。