KR102186155B1 - 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 세척 대상 노즐(nozzle)들이 배치되는 노즐 플레이트; 상기 세척 대상 노즐들을 세척하는 세척부를 포함하는 세척실; 상기 세척 대상 노즐들을 건조시키는 건조부를 포함하는 건조실; 상기 세척 대상 노즐들의 세척 상태를 확인하는 검사부를 포함하는 검사실; 및 상기 노즐 플레이트를 이송하는 이송부;를 포함하고, 상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실은 순차적으로 일렬로 배치된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템에 관한 것이다.

Description

자동 노즐 세척-검사 관리 시스템{Automatic Nozzle Cleaning-Inspection Management System}
본 발명의 일 실시예는 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템에 관한 것이다.
정밀한 공정이 요구되는 반도체 또는 전자, 전장 등의 공정에서 반도체 칩 이송 간 노즐을 통한 진공 흡착 방식이 이용되고 있다. 하지만, 노즐의 반복 사용으로 진공 흡착 노즐의 내부에 분진 등의 이물질이 존재하는 경우 반도체 칩의 진공 흡착이 불안정하게 되고, 정밀한 작업을 요하는 반도체, 휴대폰, 전장, 전자 등의 공정에서 불량 원인이 될 수 있다. 이에, 상술한 공정에 이용하기 위한 노즐은 항시 청결상태를 유지해야 하는데, 종래에는 초음파 세척 및 세척액 분사 방식 등으로 노즐의 세척 작업이 이루어졌다.
하지만, 세척 후 노즐의 재사용을 위해서는 노즐 내부의 완전 건조가 요구되는데, 종래에는 작업자가 수작업으로 세척이 완료된 노즐들을 건조시키거나 건조실 내부로 별도 운반하였고, 노즐의 세척 및 건조 상태를 일일이 확인해야 하는 등의 불편함이 존재하였다. 특히, 노즐의 내관 및 외관의 검사 역시 작업자가 일일이 수동으로 진행하였고, 이에 따라 생산성 저하 및 비용 증가의 문제가 발생하였다.
즉, 종래에는 노즐의 세척, 건조 및 세척 상태 확인(검사) 각각이 별개 공정으로써 수동으로 이루어진 바, 많아야 약 40여 개의 노즐만 세척 가능하였고 다량의 노즐 세척이 어려워 작업자의 노즐 세척 효율이 크게 저하되었다. 또한, 각각의 공정이 모두 수동으로 이루어지다 보니 전체 작업 공정의 관리가 어려워지는 문제가 존재하였다.
따라서, 노즐의 세척, 건조, 내외관 검사 및 바코드 관리까지 모든 공정이 일체로 이루어져지고, 리프트 방식 적용을 통해 다량의 노즐을 연속 투입할 수 있어 노즐의 투입부터 검사까지 전 공정의 자동화 및 지능화가 가능하여 각 공정의 수행 간 작업자가 직접 확인하지 않을 수 있는 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 필요성이 제기되고 있다.
한국등록특허공보 제10-1647794호(2016.08.11)
본 발명의 실시예들은 노즐의 내경 홀 세척 공정, 건조 공정 및 검사 공정을 하나의 장치로 일체화하여 노즐 세척 작업의 효율성을 향상시킬 수 있는 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 실시예들은 노즐의 세척, 건조 및 검사 각각의 공정 간 노즐 플레이트의 이동이 자동으로 수행되는 바, 작업 효율이 증가될 수 있는 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 실시예들은 노즐 내경 홀의 세척력 증대와 함께 세척 품질이 균일하게 유지되고, 그에 따른 품질 신뢰도가 향상될 수 있는 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 세척 대상 노즐(nozzle)들이 배치되는 노즐 플레이트; 상기 세척 대상 노즐들을 세척하는 세척부를 포함하는 세척실; 상기 세척 대상 노즐들을 건조시키는 건조부를 포함하는 건조실; 상기 세척 대상 노즐들의 세척 상태를 확인하는 검사부를 포함하는 검사실; 및 상기 노즐 플레이트를 이송하는 이송부;를 포함하고, 상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실은 순차적으로 일렬로 배치된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 제공할 수 있다.
상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실 상호 간을 구획하는 복수 개의 격벽부;를 더 포함할 수 있다.
상기 복수 개의 격벽부 각각은, 격벽 플레이트; 상기 노즐 플레이트가 통과 가능하도록 상기 격벽 플레이트 상에 관통 형성된 이송구; 및 상기 이송구를 개방 또는 폐쇄 가능한 개폐부;를 포함할 수 있다.
상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실 각각에는, 상기 노즐 플레이트의 이송 방향을 따라 소정 길이로 형성되고 상기 노즐 플레이트를 지지 및 안내하는 가이드 프레임이 형성될 수 있다.
상기 가이드 프레임은 상기 노즐 플레이트를 사이에 두고 상호 대면하는 한 쌍의 가이드 프레임부재를 포함하고, 상기 한 쌍의 가이드 프레임부재 각각에는 상기 노즐 플레이트를 측면에서 접촉 지지하는 복수 개의 롤러부가 형성될 수 있다.
상기 한 쌍의 가이드 프레임부재 중 적어도 일측에는, 상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실 각각에서 상기 노즐 플레이트의 위치를 고정하는 지그부가 형성될 수 있다.
상기 이송부는, 상기 노즐 플레이트의 이송 방향을 따라 수평 이동 가능하고 상기 노즐 플레이트를 파지 가능한 적어도 하나의 파지부를 포함할 수 있다.
상기 이송부는, 상기 노즐 플레이트의 이송 방향을 따라 수평 이동 가능한 이송 바(bar)를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 파지부는 상기 이송 바에 결합될 수 있다.
상기 노즐 플레이트에는 피고정부재가 형성되고, 상기 적어도 하나의 파지부 각각에는 상기 노즐 플레이트 측으로 진퇴 가능하여 상기 피고정부재와 상호 결속 가능한 결속부재가 형성될 수 있다.
상기 노즐 플레이트는 각각이 상기 세척 대상 노즐들 각각을 수용하는 복수 개의 삽입 홈을 포함하고, 상기 복수 개의 삽입 홈은 복수 개씩 복수 개의 열로 형성될 수 있다.
상기 세척부는, 상기 노즐 플레이트의 상측 및 하측 중 적어도 일측에 위치되고 상기 세척 대상 노즐들을 세척하는 세척 노즐 블록을 포함할 수 있다.
상기 세척 노즐 블록은 복수 개의 세척 노즐을 포함하고, 상기 복수 개의 세척 노즐은 적어도 하나의 열로 복수 개씩 정렬 배치될 수 있다.
상기 복수 개의 세척 노즐은 세정 유체 또는 압축 에어(air)를 선택적으로 분사 가능하다.
상기 세척 노즐 블록은, 지면에 수직한 제1 방향 및 상기 노즐 플레이트가 이송되는 제2 방향을 따라 이동 가능하다.
상기 건조부는, 상기 노즐 플레이트의 상측 및 하측 중 적어도 일측에 위치되고 상기 세척 대상 노즐들을 건조시키는 건조 노즐 블록을 포함할 수 있다.
상기 검사부는 상기 세척 대상 노즐들 각각의 세척 상태를 확인하는 검사 모듈을 포함하고, 상기 검사 모듈은 지면에 수직한 제1 방향, 상기 노즐 플레이트가 이송되는 제2 방향 및 상기 제1 방향과 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향을 따라 3축 이동 가능하다.
상기 검사부는 상기 노즐 플레이트에 배치된 상기 세척 대상 노즐들 각각의 바코드를 인식하는 인식부를 더 포함하고, 상기 검사실은 상기 세척 대상 노즐들 각각의 바코드 및 상기 세척 상태의 결과를 대응 저장하는 데이터 저장부를 더 포함할 수 있다.
상기 노즐 플레이트 복수 개를 수용 가능하고 상기 복수 개의 노즐 플레이트 각각을 순차적으로 상기 세척실에 투입하는 리프트부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면, 노즐의 내경 홀 세척 공정, 건조 공정 및 검사 공정을 하나의 장치로 일체화하여 노즐 세척 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 노즐의 세척, 건조 및 검사 각각의 공정 간 노즐 플레이트의 이동이 자동으로 수행되는 바, 작업 효율이 증가될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면, 노즐 내경 홀의 세척력 증대와 함께 세척 품질이 균일하게 유지되고, 그에 따른 품질 신뢰도가 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 나타낸 일측 사시도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 나타낸 타측 사시도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 저면 측 사시도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 측면을 나타낸 도면
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 노즐 플레이트가 이송되는 방향 일측에서 나타낸 도면
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 파지부 부분을 확대하여 나타낸 도면
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 노즐 플레이트를 나타낸 도면
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 세척실을 확대하여 나타낸 도면
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 건조실을 확대하여 나타낸 도면
도 10은 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템의 검사실을 확대하여 나타낸 도면
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템을 나타낸 일측 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)을 나타낸 타측 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)의 저면 측 사시도이다. 이 때, 도 2 이하에서는 설명의 편의를 위해 하우징(20) 및 격벽부(200)의 도시를 생략하도록 한다.
도 1 내지 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 세척 대상 노즐(nozzle)들이 배치된 노즐 플레이트(10), 세척 대상 노즐들을 세척하는 세척부(300)를 포함하는 세척실(30), 세척 대상 노즐들을 건조시키는 건조부(400)를 포함하는 건조실(40), 세척 대상 노즐들의 세척 상태를 확인하는 검사부(500)를 포함하는 검사실(50)을 포함할 수 있다. 이 때, 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50)은 순차적으로 일렬로 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 노즐 플레이트(10)를 이송하는 이송부(60)를 포함할 수 있고, 노즐 플레이트(10)는 이송부(60)에 의해 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50)을 순차적으로 통과할 수 있다. 즉, 세척실(30)로 투입된 노즐 플레이트(10)는 이송부(60)에 의해 자동으로 이송될 수 있고, 건조실(40) 및 검사실(50)을 순차적으로 통과함으로써 노즐 플레이트(10)에 배치된 세척 대상 노즐들의 세척, 건조 및 검사가 이루어질 수 있다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 단일의 노즐 플레이트(10)를 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50)을 통과시키며 단일의 노즐 플레이트(10)에 배치된 세척 대상 노즐들을 세척, 건조 및 검사할 수 있을 뿐만 아니라, 복수 개의 노즐 플레이트(10)를 연속적으로 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50)을 통과시키며 다량의 세척 대상 노즐들을 세척, 건조 및 검사할 수 있다. 즉, 첫 번째 노즐 플레이트(10)가 건조실(40)에서 검사실(50)로 이동되면 두 번째 노즐 플레이트(10)가 세척실(30)에서 건조실(40)로 이동되고, 세 번째 노즐 플레이트(10)가 연속적으로 세척실(30)로 투입될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 검사실(50)에 인접하게 형성된 배출부(90)를 더 포함할 수 있다. 배출부(90)는 검사실(50)을 기준으로 건조실(40) 반대 측에 형성될 수 있고, 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90)는 순차적으로 일렬 배치될 수 있다. 또한, 세척, 건조 및 검사를 마친 노즐 플레이트(10)는 이송부(60)에 의해 배출부(90)로 배출될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 복수 개의 노즐 플레이트(10)를 수용 가능하고 복수 개의 노즐 플레이트(10) 각각을 순차적으로 세척실(30)에 투입하거나 배출부(90)에서 복수 개의 노즐 플레이트(10)를 순차적으로 적층할 수 있는 리프트부(80)를 더 포함할 수 있다. 이 때, 리프트부(80)는 하우징부(20)의 외측에서 세척실(30)에 인접하게 위치될 수 있다.
구체적으로, 복수 개의 노즐 플레이트(10)는 상호 적층된 상태로 리프트부(80)에 수용될 수 있고, 가이드 프레임(70)과 동일한 높이에 위치된 노즐 플레이트(10)는 세척실(30) 내부로 자동 투입될 수 있다. 이후, 적층된 복수 개의 노즐 플레이트(10)는 순차적으로 승강될 수 있고, 세척실(30) 내부의 노즐 플레이트(10)가 이송되면 다시 가이드 프레임(70)과 동일 높이에 위치된 노즐 플레이트(10)는 세척실(30) 내부로 투입될 수 있다.
한편, 복수 개의 노즐 플레이트(10)는 후술할 소정 높이의 피고정부재(11)를 통해 상호 적층될 수 있다. 이 때, 리프트부(80)는 피고정부재(11)에 결속되어 노즐 플레이트(10)의 위치를 고정 가능한 적어도 하나의 높이 고정부(810)를 포함할 수 있다. 또한, 리프트부(80)는 복수 개의 노즐 플레이트(10) 하측에 위치되어 최하측의 노즐 플레이트(10)를 지지하며 승강 또는 하강시킬 수 있는 승강지지부(820)를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50) 상호 간을 수용하는 하우징부(20)를 포함할 수 있다. 반면, 배출부(90)는 하우징부(20) 외측에 형성될 수 있고, 작업자는 세척, 건조 및 검사가 완료된 노즐 플레이트(10)를 용이하게 수거할 수 있다.
이 때, 하우징부(20)는 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90) 상호 간을 구획하는 복수 개의 격벽부(200)를 더 포함할 수 있다. 또한, 복수 개의 격벽부(200) 각각은 세척실(30)과 건조실(40) 사이, 건조실(40)과 검사실(50) 사이 및 검사실(50)과 배출부(90)에 형성되어 상호 인접한 공간을 구획할 수 있다.
한편, 상술한 복수 개의 격벽부(200) 각각은 플레이트(plate) 형상의 격벽 플레이트(210), 노즐 플레이트(10)가 통과 가능하도록 격벽 플레이트(210) 상에 관통 형성된 이송구(220) 및 이송구(220)를 개방 또는 폐쇄 가능한 개폐부(230)를 포함할 수 있다.
이 때, 이송구(220)는 노즐 플레이트(10)가 통과 가능할 정도의 크기로 형성될 수 있고, 바람직하게는 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상술한 개폐부(230)는 이송구(220)의 측부에서 수직 방향으로 배치된 한 쌍의 슬라이딩 가이드(231) 및 슬라이딩 가이드(231)를 따라 상하 이동 가능한 슬라이드 패널(232)을 포함할 수 있다.
나아가, 상술한 개폐부(230) 각각은 세척실(30)과 건조실(40) 사이 및 건조실(40)과 검사실(50) 사이에 배치되어 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50) 각각에서의 노즐 세척, 노즐 건조 및 세척상태 검사 진행 간 이송구(220)를 폐쇄할 수 있고, 노즐 세척, 노즐 건조 및 세척상태 검사가 완료된 경우 이송구(220)를 개방하여 노즐 플레이트(10)가 통과 가능하도록 할 수 있다.
예를 들어, 세척실(30)과 건조실(40) 사이에 배치된 개폐부(230)는 세척실(30)에 노즐 플레이트(10)가 투입되는 경우 슬라이드 패널(232)이 하강됨에 따라 이송구(220)를 폐쇄할 수 있고, 세척부(300) 구동이 완료된 경우 슬라이드 패널(232)이 승강됨에 따라 이송구(220)를 개방시킬 수 있다. 동시에, 건조실(40)과 검사실(50) 사이에 배치된 개폐부(230)는 세척이 완료된 노즐 플레이트(10)가 건조실(40)에 투입되는 경우 슬라이드 패널(232)이 하강됨에 따라 이송구(220)를 폐쇄할 수 있고, 건조부(400) 구동이 완료된 경우 슬라이드 패널(232)이 승강됨에 따라 이송구(220)를 개방시킬 수 있다.
한편, 복수 개의 슬라이드 패널(232) 각각은 모터(미도시 됨)와 랙(미도시 됨) 및 피니언 기어(미도시 됨) 연결 등에 의해 자동으로 승하강 될 수 있고, 바람직하게는, 복수 개의 슬라이드 패널(232)은 노즐 플레이트(10)가 이송구(220)를 통과한 경우 동시에 하강되어 세척부(300), 건조부(400) 및 검사부(500) 작동 간 이송구(220)를 폐쇄할 수 있고, 세척부(300), 건조부(400) 및 검사부(500) 작동이 완료된 경우 동시에 승강 구동되어 이송구(220)를 개방할 수 있다.
위와 같이, 노즐 세척, 노즐 건조 및 세척상태 검사 진행 간 복수 개의 이송구(220)는 모두 폐쇄 되는 바, 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50) 각각의 공정을 독립적으로 구분된 환경에서 수행할 수 있게 하며, 후술할 세척부(300)의 세정 유체 또는 건조부(400)의 드라잉(drying) 온풍 등이 인접한 타 공간(세척실(30), 건조실(40) 또는 검사실(50))으로 침투되어 각각의 공정 효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90) 각각에는 노즐 플레이트(10)의 이송 방향(제2 방향(d2))을 따라 소정 길이로 형성되고 노즐 플레이트(10)를 지지 및 안내하는 가이드 프레임(70)이 형성될 수 있다. 이 때, 가이드 프레임(70)은 노즐 플레이트(10)를 사이에 두고 상호 대면하는 한 쌍의 가이드 프레임부재(710)를 포함할 수 있고, 한 쌍의 가이드 프레임부재(710) 각각에는 노즐 플레이트(10)를 측면에서 접촉 지지하는 복수 개의 롤러부(72)가 형성될 수 있다.
구체적으로, 상술한 한 쌍의 가이드 프레임부재(710)는 L자형 단면의 바(bar) 형상으로 형성되어 소정 길이로 형성될 수 있고, 복수 개의 롤러부(72)는 한 쌍의 가이드 프레임부재(710) 각각에서 제2 방향(d2)을 따라 일렬로 위치될 수 있다. 또한, 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90) 각각에 위치된 한 쌍의 가이드 프레임부재(710) 중 적어도 일측에는 노즐 플레이트(10)의 위치를 고정하는 지그부(730)가 형성될 수 있다.
한편, 롤러부(72)의 구체적인 형상, 노즐 플레이트(10)에 대한 접촉 지지 구조 및 지그부(730) 작동 구조는 도 4에 대한 설명에서 후술하도록 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)의 측면을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 상술한 이송부(60)는 노즐 플레이트(10)의 이송 방향(제2 방향(d2))을 따라 수평 이동 가능한 이송 바(620)(bar) 및 이송 바(620)에 결합되어 제2 방향(d2)으로 수평 이동 가능하고 각각이 노즐 플레이트(10)를 파지 가능한 적어도 하나의 파지부(630)를 포함할 수 있다.
또한, 이송부(60)는 상술한 복수 개의 격벽부(200) 중 인접한 2개의 격벽부(200) 사이에 배치된 인접한 2개의 격벽부(200) 각각에 고정된 복수 개의 이송 샤프트(610) 및 복수 개의 이송 샤프트(610) 중 어느 하나의 샤프트를 회전시킬 수 있는 이송 모터(613)를 포함할 수 있다. 나아가, 이송 바(620)는 상술한 복수 개의 이송 샤프트(610) 상에 배치되어 복수 개의 이송 샤프트(610) 길이 방향을 따라 이동 가능한 연장부(621)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 이송 모터(613)는 인접한 2개의 격벽부(200) 중 일측에 고정되어 배치될 수 있고, 복수 개의 이송 샤프트(610)는 인접한 2개의 격벽부(200) 사이에서 지면에 수직한 방향(제1 방향(d1))으로 일렬 배치될 수 있다. 이 때, 복수 개의 이송 샤프트(610) 중 어느 하나(제1 이송 샤프트(611))는 외면에 나사선(미도시 됨)이 형성될 수 있다. 한편, 이송 바(620)의 연장부(621)는 복수 개의 이송 샤프트(610)에 결속될 수 있다.
이 때, 연장부(621) 중 제1 이송 샤프트(611)에 결속되는 부분에는 나사홈(미도시 됨)이 형성될 수 있고, 연장부(621)는 제1 이송 샤프트(611)에 나사 결합될 수 있다. 또한, 이송부(60)는 복수 개의 이송 샤프트(610) 중 제1 이송 샤프트(611)를 제외한 나머지 제2 이송 샤프트(612)에 수평 이동 가능하게 지지될 수 있다.
따라서, 연장부(621)는 이송 모터(613)가 구동되어 제1 이송 샤프트(611)가 회전됨에 따라 제2 이송 샤프트(612)에 지지된 상태로 제2 방향(d2)을 따라 수평 이동될 수 있다. 한편, 이송부(60)는 가이드 프레임(70)의 폭 방향(제1 방향(d1) 및 제2 방향(d2)에 수직한 방향 : 제3 방향(d3)) 일측 외부에 위치될 수 있다. 즉, 이송부(60)는 노즐 플레이트(10)의 이송 경로 외측 측부에 위치될 수 있다.
한편, 적어도 하나의 파지부(630)는 상술한 이송 바(620)의 수평 이동에 따라 제2 방향(d2)을 따라 수평 이동될 수 있다. 바람직하게는, 파지부(630)는 4개 형성될 수 있고, 4개의 파지부(630) 각각은 세척실(30) 투입 측의 리프트부(80), 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90) 각각에 위치된 노즐 플레이트(10) 간의 배치 간격과 동일한 간격으로 일렬 배치될 수 있다.
구체적으로, 복수 개의 노즐 플레이트(10) 각각이 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50) 각각에 배치되어 각각의 공정이 완료된 경우, 4개의 파지부(630) 각각은 세척실(30) 투입 측의 리프트부(80), 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50) 각각에 위치된 4개의 노즐 플레이트(10) 각각을 파지할 수 있다. 이후, 이송 모터(613)의 구동으로 이송부(60)가 수평 이동됨에 따라 4개의 파지부(630)에 파지된 4개의 노즐 플레이트(10)는 롤러부(72)에 지지된 상태로 가이드 프레임(70)을 따라 제2 방향(d2)으로 이송될 수 있다.
한편, 상술한 4개의 파지부(630) 구성은 예시적인 것으로, 파지부(630)는 하나만 형성되어 단일의 노즐 플레이트(10)를 세척실(30), 건조실(40) 및 검사실(50) 순으로 이송시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)을 노즐 플레이트(10)가 이송되는 방향(제2 방향(d2)) 일측에서 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 노즐 플레이트(10)는 한 쌍의 가이드 프레임부재(710) 상에 형성된 롤러부(72)에 접촉 지지된 상태로 위치될 수 있다. 구체적으로, 롤러부(72)는 한 쌍의 가이드 프레임부재(710) 상에 중심 축을 기준으로 회전 가능하게 결합될 수 있다. 또한, 복수 개의 롤러부(72) 각각은 노즐 플레이트(10)의 측면에 접촉되어 노즐 플레이트(10)가 이송됨에 따라 회전되는 베어링부(721) 및 베어링부(721)의 하측에서 베어링부(721)의 직경보다 큰 직경으로 형성되어 노즐 플레이트(10)가 안착 지지되는 안착부(722)를 포함할 수 있다.
즉, 노즐 플레이트(10)는 복수 개의 안착부(722)에 안착된 상태에서 파지부(630)에 의해 파지될 수 있고, 이송부(60)가 제2 방향(d2)으로 수평 이동되는 경우 베어링부(721)에 접촉 지지된 상태로 가이드 프레임(70)을 따라 이송될 수 있다.
한편, 상술한 지그부(730)는 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90) 각각에 위치된 한 쌍의 가이드 프레임부재(710) 중 파지부(630)의 반대 측 가이드 프레임부재(710)에는 노즐 플레이트(10)의 위치를 고정하는 지그부(730)가 형성될 수 있다.
구체적으로, 복수 개의 지그부(730) 각각은 내부의 지그 핀(미도시 됨)을 왕복 직선 운동시키는 유압 실린더(Hydraulic Cylinder) 방식으로 형성될 수 있고, 지그부(730)의 작동으로 지그 핀은 노즐 플레이트(10) 측으로 인출될 수 있다. 이 때, 인출된 지그 핀은 노즐 플레이트(10)의 피고정부재(11) 상에 형성된 지그 홈(13)(도 7에 도시됨)에 삽입될 수 있다.
따라서, 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90) 각각에서 노즐 플레이트(10)가 기 결정된 위치로 이송되는 경우 지그 핀이 인출되어 노즐 플레이트(10) 상의 지그 홈(13)에 삽입될 수 있다. 즉, 노즐 플레이트(10)는 제3 방향(d3) 일측에서 파지부(630)에 의해 파지되고, 타측에서 지그부(730)에 의해 이동이 제한됨으로써 기 결정된 위치에 고정될 수 있다.
위와 같이, 노즐 플레이트(10)는 세척실(30), 건조실(40), 검사실(50) 및 배출부(90) 각각에서 상술한 지그부(730) 및 파지부(630)를 통해 기 결정된 위치에 견고히 고정되는 바, 세척부(300), 건조부(400) 및 검사부(500) 각각의 작동 간 각 공정의 정확성 및 신속성이 향상될 수 있다.
한편, 상술한 파지부(630) 각각은 가이드 프레임(70) 외측에 위치된 파지 실린더(631), 파지 실린더(631)에 결합되어 파지 실린더(631) 구동에 따라 노즐 플레이트(10) 측으로 진퇴되는 결속부재(632)를 포함할 수 있다. 또한, 노즐 플레이트(10)의 제3 방향(d3) 양측에 위치된 피고정부재(11) 중 파지부(630) 측의 피고정부재(11)에는 복수 개의 파지 홈(14)이 형성될 수 있고, 파지 실린더(631)의 작동에 따라 결속부재(632)는 복수 개의 파지 홈(14)과 상호 결속 지지될 수 있다.
이 때, 결속부재(632)는의 수평 이동 간 롤러부(72) 및 가이드 프레임(70)과의 간섭으로 이동이 제한되지 않도록 결속부재(632)는 롤러부(72) 및 가이드 프레임(70)의 상단보다 상측에 위치될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)의 파지부(630) 부분을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 상술한 복수 개의 파지 홈(14)은 피고정부재(11) 상에서 제2 방향(d2)을 따라 일렬로 형성될 수 있고, 결속부재(632)에는 피고정부재(11) 측으로 돌출된 복수 개의 결속 핀(6321)이 형성될 수 있다. 이 때, 복수 개의 결속 핀(6321)은 복수 개의 파지 홈(14) 간격에 대응되는 간격으로 형성될 수 있다.
즉, 복수 개의 결속 핀(6321)은 결속부재(632)가 이동됨에 따라 복수 개의 파지 홈(14) 내에 삽입될 수 있고, 노즐 플레이트(10)는 파지부(630)(더 구체적으로, 결속부재(632))에 의해 파지되어 제2 방향(d2) 이동이 구속될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)의 노즐 플레이트(10)를 나타낸 도면이다.
도 7을 참조하면, 노즐 플레이트(10)는 각각이 상술한 세척 대상 노즐들 각각을 수용하는 복수 개의 삽입 홈(12)을 포함할 수 있다. 이 때, 복수 개의 삽입 홈(12)은 노즐 플레이트(10)를 관통하여 형성될 수 있다. 즉, 삽입 홈(12)은 관통 형성되는 바, 노즐 플레이트(10)의 일측으로는 세척 대상 노즐의 일단이 노출되고 타측으로는 세척 대상 노즐의 타단이 노출될 수 있다.
또한, 상술한 복수 개의 삽입 홈(12)은 복수 개씩 복수 개의 열로 형성될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 삽입 홈(12)은 제3 방향(d3)을 따라 12개씩 제2 방향(d2)을 따라 6개의 열로 총 72개(12*6)가 형성될 수 있다.
따라서, 단일의 노즐 플레이트(10)로도 다량의 세척 대상 노즐들을 수용하여 세척할 수 있다. 또한, 복수 개의 삽입 홈(12)은 상호 균일한 간격으로 형성될 수 있는 바, 세척 대상 노즐들의 세척, 건조 및 검사 공정 간 품질이 일정하게 유지될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)의 세척실(30)을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 상술한 세척실(30)에 배치된 세척부(300)는 노즐 플레이트(10)의 상측 및 하측 중 적어도 일측에 위치될 수 있고 세척 대상 노즐들을 세척하는 세척 노즐 블록(310)을 포함할 수 있다. 이 때, 바람직하게는 노즐 플레이트(10)의 상측 및 하측 모두에 세척부(300)가 위치될 수 있다.
구체적으로, 세척 노즐 블록(310)은 복수 개의 세척 노즐(311)을 포함할 수 있고, 복수 개의 세척 노즐(311)은 적어도 하나의 열로 복수 개씩 정렬 배치될 수 있다. 이 때, 복수 개의 세척 노즐(311)은 노즐 플레이트(10)에 형성된 제3 방향(d3) 삽입 홀의 배열 개수와 동일한 개수씩 삽입 홀의 복수 개의 열보다 적은 수의 열로 정렬 배치될 수 있다. 예를 들어, 제3 방향(d3)을 따라 12개씩 제2 방향(d2)을 따라 2개 열로 총 24개(12*2)가 정렬 형성될 수 있다.
한편, 상측에 위치된 세척부(300)의 세척 노즐 블록(310)은 노즐 플레이트(10)에 정렬 배치된 복수의 세척 대상 노즐들 각각을 향해 상측에서 세정 유체를 분사할 수 있고, 세척 대상 노즐의 내경 홀을 세척할 수 있다. 동시에, 하측에 위치된 세척부(300)의 세척 노즐 블록(310)은 노즐 플레이트(10)에 정렬 배치된 복수의 세척 대상 노즐들 각각을 향해 하측에서 세정 유체를 분사할 수 있고, 세척 대상 노즐의 내경 홀을 세척할 수 있다.
즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 세척부(300)를 노즐 플레이트(10)의 상측 및 하측 양측에 구비하여 하방 또는 상방으로 세정 유체를 분사하는 바, 세척 대상 노즐의 내경에 위치된 이물질 등이 용이하게 제거될 수 있다.
또한, 상술한 복수 개의 세척 노즐(311)은 세정 유체 또는 압축 에어(air)를 선택적으로 분사 가능하다.
구체적으로, 세척부(300)는 세척 노즐 블록(310) 측부에 위치되어 세정액 유관(321)을 통해 복수 개의 세척 노즐(311)에 세정 유체를 공급하는 세정액 탱크(320)를 더 포함할 수 있다. 또한, 세척부(300)는 세척 노즐(311)에 압축 에어를 공급하는 컴프레서(미도시 됨)를 더 포함할 수 있고, 컴프레서는 세정액 유관(321)에 연결될 수 있다. 이 때, 세정액 유관(321)에는 밸브(미도시 됨)가 형성되어 세정 유체 또는 압축 에어를 선택적으로 유동시킬 수 있다.
한편, 바람직하게는 세정 유체의 분사로 세척 대상 노즐이 세척된 경우, 순차적으로 압축 에어가 분사될 수 있다. 이 때, 압축 에어는 세척 대상 노즐의 내주면에 남아있는 세정 유체를 쉽게 제거할 수 있고, 후속의 건조부(400)에 의한 세척 대상 노즐의 건조 속도를 향상시킬 수 있다.
한편, 세척 노즐 블록(310)은 지면에 수직한 제1 방향(d1) 및 노즐 플레이트(10)가 이송되는 제2 방향(d2)을 따라 이동 가능하다. 구체적으로, 상술한 세척부(300)는 제2 방향(d2)을 따라 소정 길이로 배치된 적어도 하나의 제1 세척 샤프트(332), 세1 세척 샤프트 상에 배치되어 제1 세척 샤프트(332)를 따라 이동 가능한 한 쌍의 세척 가이드(333), 한 쌍의 세척 가이드(333)에 고정되어 제3 방향(d3)을 따라 소정 길이로 배치된 적어도 하나의 제2 세척 샤프트(340) 및 적어도 하나의 제2 세척 샤프트(340) 상에 배치된 세척 승하강부(350)를 포함할 수 있다.
이 때, 세척부(300)는 제1 세척 샤프트(332)를 회전시킬 수 있는 제1 세척 모터(331)를 더 포함할 수 있다. 또한, 제1 세척 샤프트(332) 및 한 쌍의 세척 가이드(333)는 상호 나사 결합된 바, 제1 세척 샤프트(332) 회전에 따라 한 쌍의 세척 가이드(333)는 제2 방향(d2)으로 수평 이동될 수 있다.
나아가, 세척 승하강부(350)는 세척 노즐 블록(310)의 일측에 결합되어 구동됨에 따라 세척 노즐 블록(310)을 승강 또는 하강시키는 제2 세척 모터(351)를 포함할 수 있다. 즉, 제2 세척 모터(351)의 구동으로 세척 노즐 블록(310)은 노즐 플레이트(10) 측으로 이동될 수 있다.
예를 들어, 세척 대상 노즐들의 내경을 세척하는 경우 세척 노즐 블록(310)은 노즐 플레이트(10) 측으로 이동되어 밀착될 수 있고, 세척이 완료된 경우 세척 노즐 블록(310)은 다시 노즐 플레이트(10)의 반대 측으로 이동될 수 있다.
또한, 세척 가이드(333)가 제2 방향(d2)으로 이동됨에 따라 세척 승하강부(350)에 결합된 세척 노즐 블록(310) 역시 제2 방향(d2)으로 수평 이동될 수 있다. 이를 통해, 세척 노즐 블록(310)에 의해 노즐 플레이트(10) 상에 배치된 24개의 세척 대상 노즐 세척이 완료된 경우 세척 노즐 블록(310)은 제2 방향(d2)으로 이동되어 인접한 24개의 세척 대상 노즐을 세척할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)의 건조실(40)을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 건조실(40)에 배치된 건조부(400)는 세척 대상 노즐들을 건조시키는 건조 노즐 블록(410)을 포함할 수 있고 노즐 플레이트(10)의 상측 및 하측 중 적어도 일측에 위치될 수 있다. 바람직하게는, 노즐 플레이트(10)의 상측 및 하측 모두에 건조부(400)가 위치될 수 있다.
구체적으로, 건조 노즐 블록(410)은 복수 개의 건조 노즐(411)을 포함할 수 있고, 복수 개의 건조 노즐(411)은 적어도 하나의 열로 복수 개씩 정렬 배치될 수 있다. 예를 들어, 제3 방향(d3)을 따라 12개씩 제2 방향(d2)을 따라 2개 열로 총 24개(12*2)가 정렬 형성되어 복수 개의 세척 노즐(311)과 동일하게 배치될 수 있다.
한편, 노즐 플레이트(10)의 상측 및 하측에 배치된 건조 노즐 블록(410)의 건조 노즐(411)은 세척 대상 노즐들에 온풍을 분사할 수 있다. 이를 통해, 세척실(30)에서의 압축 에어에도 불구하고 세척 대상 노즐의 내주면에 남아있을 수 있는 세정 유체를 완전히 건조시킬 수 있다.
또한, 건조 노즐 블록(410) 지면에 수직한 제1 방향(d1) 및 노즐 플레이트(10)가 이송되는 제2 방향(d2)을 따라 이동 가능하다. 이 때, 건조 노즐 블록(410)의 제1 방향(d1) 및 제2 방향(d2) 이동에 대한 구체적인 구동 방식은 상술한 세척 노즐 블록(310)의 제1 방향(d1) 및 제2 방향(d2) 이동 구조와 동일한 바, 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
도 10은 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)의 검사실(50)을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 10을 참조하면, 검사실(50)에 배치된 검사부(500)는 세척 대상 노즐들 각각의 세척 상태를 확인하는 검사 모듈(510)을 포함할 수 있고, 검사 모듈(510)은 노즐 플레이트(10)의 상측 또는 하측에 배치될 수 있다. 이 때, 검사 모듈(510)은 단일의 세척 대상 노즐의 내측으로 빛을 조사할 수 있고, 빛의 조사를 통해 단일의 세척 대상 노즐 내주면의 세정 유체 잔존여부를 확인할 수 있다.
또한, 검사 모듈(510)은 지면에 수직한 제1 방향(d1), 노즐 플레이트(10)가 이송되는 제2 방향(d2) 및 제1 방향(d1)과 상기 제2 방향(d2)에 직교하는 제3 방향(d3)을 따라 3축 이동 가능하게 형성될 수 있다.
구체적으로, 검사부(500)는 제2 방향(d2)을 따라 소정 길이로 배치된 적어도 하나의 제1 검사 샤프트(522), 세1 검사 샤프트 상에 배치되어 제1 검사 샤프트(522)를 따라 이동 가능한 한 쌍의 검사 가이드(523), 한 쌍의 검사 가이드(523)에 고정되어 제3 방향(d3)을 따라 소정 길이로 배치된 적어도 하나의 제2 검사 샤프트(541) 및 적어도 하나의 제2 검사 샤프트(541) 상에 배치된 검사 승하강부(530)를 포함할 수 있다.
이 때, 검사부(500)는 제1 검사 샤프트(522)를 회전시킬 수 있는 제1 검사 모터(521)를 더 포함할 수 있다. 또한, 제1 검사 샤프트(522) 및 한 쌍의 검사 가이드(523)는 상호 나사 결합된 바, 제1 검사 샤프트(522)의 회전에 따라 한 쌍의 검사 가이드(523)는 제2 방향(d2)으로 수평 이동될 수 있다. 나아가, 검사 승하강부(530)는 검사 모듈(510)의 일측에 결합되어 구동됨에 따라 검사 모듈(510)을 승강 또는 하강시키는 제2 검사 모터(531)를 포함할 수 있다. 즉, 제2 검사 모터(531)의 구동으로 검사 모듈(510)은 노즐 플레이트(10) 측으로 이동될 수 있다.
뿐만 아니라, 검사부(500)는 제2 검사 샤프트(541)를 회전 이동시킬 수 있는 제3 검사 모터(542)를 더 포함할 수 있다. 이 때, 검사 승하강부(530) 및 제2 검사 샤프트(541)는 상호 나사 결합될 수 있고, 제3 검사 모터(542)의 구동에 의해 검사 승하강부(530)는 제3 방향(d3)으로 이동될 수 있다.
상기 검사부(500)는 노즐 플레이트(10)에 배치된 세척 대상 노즐들 각각의 바코드를 인식하는 인식부(550)를 더 포함할 수 있고, 인식부(550)는 노즐 플레이트(10)의 하측 또는 상측(즉, 검사 모듈(510)의 반대 측)에 배치될 수 있다. 통상적으로, 세척 대상 노즐의 일측 외면에는 고유의 바코드가 기재돼 있고, 인식부(550)는 세척 대상 노즐들 각각에 기재된 바코드를 인식할 수 있다.
또한, 인식부(550) 역시 제1 방향(d1), 제2 방향(d2) 및 제 3 방향을 따라 3축 이동 가능하다. 한편, 바람직하게는 검사 모듈(510) 및 인식부(550)는 동일한 세척 대상 노즐에 대해 동시에 세척 상태를 확인하고 바코드를 인식할 수 있다. 즉, 세척 대상 노즐들 각각의 세척 상태를 확인하고, 각각의 세척 상태에 대응하는 세척 대상 노즐들 각각의 바코드를 인식할 수 있다. 또한, 검사실(50)은 세척 대상 노즐들 각각의 바코드 및 세척 상태의 결과를 대응 저장하는 데이터 저장부(미도시 됨)를 더 포함할 수 있다. 사용자는 데이터 저장부에 저장된 정보(세척 상태 및 바코드)를 통해 세척 대상 노즐들의 세척 상태를 쉽게 파악하고 관리할 수 있다.
한편, 인식부(550)의 구체적인 이동 방식은 상술한 검사 모듈(510)의 이동 방식과 동일한 바 자세한 설명은 생략하도록 한다. 나아가, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템(1)은 MES(Manufacturing Execution System)와 연동될 수 있고, 이를 통해 각 공정의 실시간 모니터링, 작업내역 확인 및 상태파악이 용이해질 수 있다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1 : 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템
10 : 노즐 플레이트
11 : 피고정부재
12 : 삽입 홈
13 : 지그 홈
14 : 파지홈
20 : 하우징부
200 : 격벽부
210 : 격벽 플레이트
220 : 이송구
230 : 개폐부
231 : 슬라이딩 가이드
232 : 슬라이드 패널
30 : 세척실
300 : 세척부
310 : 세척 노즐 블록
311 : 세척 노즐
320 : 세정액 탱크
321 : 세정액 유관
331 : 제1 세척 모터
332 : 제1 세척 샤프트
333 : 세척 가이드
340 : 제2 세척 샤프트
350 : 세척 승하강부
351 : 제2 세척 모터
40 : 건조실
400 : 건조부
410 : 건조 노즐 블록
411 : 건조 노즐
50 : 검사실
500 : 검사부
510 : 검사 모듈
521 : 제1 검사 모터
522 : 제1 검사 샤프트
523 : 검사 가이드
530 : 검사 승하강부
531 : 제2 검사 모터
541 : 제2 검사 샤프트
542 : 제3 검사 모터
550 : 인식부
60 : 이송부
610 : 이송 샤프트
611 : 제1 이송 샤프트
612 : 제2 이송 샤프트
613 : 이송 모터
620 : 이송 바
621 : 연장부
630 : 파지부
631 : 파지 실린더
632 : 결속부재
6321 : 결속 핀
70 : 가이드 프레임
710 : 가이드 프레임부재
720 : 롤러부
721 : 베어링부
722 : 안착부
730 : 지그부
80 : 리프트부
810 : 높이 고정부
820 : 승강지지부
90 : 배출부
d1 : 제1 방향
d2 : 제2 방향
d3 : 제3 방향

Claims (18)

  1. 세척 대상 노즐(nozzle)들이 배치되는 노즐 플레이트;
    상기 세척 대상 노즐들을 세척하는 세척부를 포함하는 세척실;
    상기 세척 대상 노즐들을 건조시키기 위하여 온풍을 분사하는 건조부를 포함하는 건조실;
    상기 세척 대상 노즐들의 세척 상태를 확인하는 검사부를 포함하는 검사실;
    상기 노즐 플레이트를 이송하는 이송부; 및
    상기 노즐 플레이트 복수 개를 수용 가능하고 상기 복수 개의 노즐 플레이트 각각을 순차적으로 상기 세척실에 투입하는 리프트부;를 포함하고,
    상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실은 순차적으로 일렬로 배치되고,
    상기 세척부는, 상기 노즐 플레이트의 상측 및 하측에 위치되고 상기 세척 대상 노즐들을 세척하는 세척 노즐 블록을 포함하며,
    상기 복수 개의 노즐 플레이트는 소정 높이를 가지는 피고정부재를 통해 상호 적층되고,
    상기 리프트부는 상기 피고정부재에 결속되어 상기 복수 개의 노즐 플레이트의 위치를 고정하는 적어도 하나의 높이 고정부를 포함하는, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실 상호 간을 구획하는 복수 개의 격벽부;를 더 포함하는, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수 개의 격벽부 각각은,
    격벽 플레이트;
    상기 노즐 플레이트가 통과 가능하도록 상기 격벽 플레이트 상에 관통 형성된 이송구; 및
    상기 이송구를 개방 또는 폐쇄 가능한 개폐부;를 포함하는, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실 각각에는,
    상기 노즐 플레이트의 이송 방향을 따라 소정 길이로 형성되고 상기 노즐 플레이트를 지지 및 안내하는 가이드 프레임이 형성된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 가이드 프레임은 상기 노즐 플레이트를 사이에 두고 상호 대면하는 한 쌍의 가이드 프레임부재를 포함하고,
    상기 한 쌍의 가이드 프레임부재 각각에는 상기 노즐 플레이트를 측면에서 접촉 지지하는 복수 개의 롤러부가 형성된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 한 쌍의 가이드 프레임부재 중 적어도 일측에는,
    상기 세척실, 상기 건조실 및 상기 검사실 각각에서 상기 노즐 플레이트의 위치를 고정하는 지그부가 형성된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 노즐 플레이트의 이송 방향을 따라 수평 이동 가능하고 상기 노즐 플레이트를 파지 가능한 적어도 하나의 파지부를 포함하는, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 이송부는,
    상기 노즐 플레이트의 이송 방향을 따라 수평 이동 가능한 이송 바(bar)를 더 포함하고,
    상기 적어도 하나의 파지부는 상기 이송 바에 결합된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 노즐 플레이트에는 피고정부재가 형성되고,
    상기 적어도 하나의 파지부 각각에는 상기 노즐 플레이트 측으로 진퇴 가능하여 상기 피고정부재와 상호 결속 가능한 결속부재가 형성된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 노즐 플레이트는 각각이 상기 세척 대상 노즐들 각각을 수용하는 복수 개의 삽입 홈을 포함하고,
    상기 복수 개의 삽입 홈은 복수 개씩 복수 개의 열로 형성된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  11. 삭제
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 세척 노즐 블록은 복수 개의 세척 노즐을 포함하고,
    상기 복수 개의 세척 노즐은 적어도 하나의 열로 복수 개씩 정렬 배치된, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 복수 개의 세척 노즐은 세정 유체 또는 압축 에어(air)를 선택적으로 분사 가능한, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 세척 노즐 블록은,
    지면에 수직한 제1 방향 및 상기 노즐 플레이트가 이송되는 제2 방향을 따라 이동 가능한, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  15. 청구항 1에 있어서,
    상기 건조부는,
    상기 노즐 플레이트의 상측 및 하측 중 적어도 일측에 위치되고 상기 세척 대상 노즐들을 건조시키는 건조 노즐 블록을 포함하는, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 검사부는 상기 세척 대상 노즐들 각각의 세척 상태를 확인하는 검사 모듈을 포함하고,
    상기 검사 모듈은 지면에 수직한 제1 방향, 상기 노즐 플레이트가 이송되는 제2 방향 및 상기 제1 방향과 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향을 따라 3축 이동 가능한, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 검사부는 상기 노즐 플레이트에 배치된 상기 세척 대상 노즐들 각각의 바코드를 인식하는 인식부를 더 포함하고,
    상기 검사실은 상기 세척 대상 노즐들 각각의 바코드 및 상기 세척 상태의 결과를 대응 저장하는 데이터 저장부를 더 포함하는, 자동 노즐 세척-검사 관리 시스템.
  18. 삭제
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