JP2020175358A - 自動ノズル洗浄−検査管理システム - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルの内径ホールの洗浄工程、乾燥工程および検査工程を１つの装置として一体化し、ノズル洗浄作業の効率性を向上させることができる自動ノズル洗浄−検査管理システムを提供すること。【解決手段】本発明は、洗浄対象ノズル（Ｎｏｚｚｌｅ）が配置されるノズルプレートと、前記洗浄対象ノズルを洗浄する洗浄部を含む洗浄室と、前記洗浄対象ノズルを乾燥させる乾燥部を含む乾燥室と、前記洗浄対象ノズルの洗浄状態を確認する検査部を含む検査室と、前記ノズルプレートを移送する移送部と、を含み、前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室は、順次に一列に配置される自動ノズル洗浄−検査管理システムに関するものである。【選択図】図１

Description

本発明の一実施例は、自動ノズル洗浄−検査管理システムに関するものである。

精密な工程が要求される半導体または電子、電装などの工程において、半導体チップ移送間のノズルを通じる真空吸着方式が用いられている。しかし、ノズルの繰り返し使用により、真空吸着ノズルの内部に粉塵などの異物が存在する場合、半導体チップの真空吸着が不安定になり、精密な作業を要する半導体、携帯電話、電場、電子などの工程で不良の原因になり得る。したがって、前述した半導体工程に用いるためのノズルは、常に清潔状態を維持する必要があり、従来は、超音波洗浄および洗浄液噴射方式などで、ノズルの洗浄作業が行われた。

しかし、洗浄後ノズルの再使用のためには、ノズル内部の完全乾燥が要求されるが、従来は、作業者が手作業で洗浄を完了したノズルを乾燥させるか、または乾燥室の内部に別途運搬し、ノズルの洗浄と乾燥状態をいちいち確認しなければならないなどの不便さが存在した。特に、ノズルの内観および外観の検査も作業者がいちいち手動で進行し、これにより、生産性の低下やコストの増加の問題が発生した。

すなわち、従来は、ノズルの洗浄、乾燥および洗浄状態の確認（検査）工程がそれぞれ別個に手動で行われるため、最大約４０個のノズルだけ洗浄可能であり、多量のノズル洗浄が難しくて作業者のノズル洗浄の効率が大きく低下する。また、それぞれの工程がすべて手動で行われるため、全体の作業工程の管理が困難となる問題が存在した。

したがって、ノズルの洗浄、乾燥、内外観の検査およびバーコードの管理まですべての工程が一体として構成され、リフト方式の適用により多量のノズルを連続投入できるため、ノズルの投入から検査までの全工程の自動化および知能化が可能であり、各工程の動作を作業者が直接確認しなくてもよい自動ノズル洗浄−検査管理システムの必要性が提起される。

韓国登録特許公報第１０−１６４７７９４号（２０１６.０８.１１）

本発明の実施例は、ノズルの内径ホールの洗浄工程、乾燥工程および検査工程を１つの装置として一体化し、ノズル洗浄作業の効率性を向上させることができる自動ノズル洗浄−検査管理システムを提供するためのものである。

また、本発明の実施例は、ノズルの洗浄、乾燥および検査のそれぞれの工程間のノズルプレートの移動が自動に行われるため、作業効率を増大させることができる自動ノズル洗浄−検査管理システムを提供するためのものである。

また、本発明の実施例は、ノズル内径ホールの洗浄力の増大とともに洗浄品質が均一に維持され、それによる品質の信頼性を向上させることができる自動ノズル洗浄−検査管理システムを提供するためのものである。

本発明の一実施例によると、洗浄対象ノズル（Ｎｏｚｚｌｅ）が配置されるノズルプレートと、前記洗浄対象ノズルを洗浄する洗浄部を含む洗浄室と、前記洗浄対象ノズルを乾燥させる乾燥部を含む乾燥室と、前記洗浄対象ノズルの洗浄状態を確認する検査部を含む検査室と、前記ノズルプレートを移送する移送部と、を含み、前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室は、順次に一列に配置される自動ノズル洗浄−検査管理システムを提供できる。

前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室の相互間を区画する複数の隔壁部をさらに含み得る。

前記複数の隔壁部のそれぞれは、隔壁プレートと、前記ノズルプレートが通過できるように前記隔壁プレート上に貫通形成された移送口と、前記移送口を開放または閉鎖できる開閉部と、を含み得る。

前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室のそれぞれには、前記ノズルプレートの移送方向に沿って所定の長さに形成され、前記ノズルプレートを支持および案内するガイドフレームが形成され得る。

前記ガイドフレームは、前記ノズルプレートを挟んで相互対面する一対のガイドフレーム部材を含み、前記一対のガイドフレーム部材のそれぞれには、前記ノズルプレートを側面から接触支持する複数のローラー部が形成され得る。

前記一対のガイドフレーム部材のうち、少なくとも一側には、前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室のそれぞれで前記ノズルプレートの位置を固定するジグ部が形成され得る。

前記移送部は、前記ノズルプレートの移送方向に沿って水平移動が可能であり、前記ノズルプレートを把持できる少なくとも１つの把持部を含み得る。

前記移送部は、前記ノズルプレートの移送方向に沿って水平移動が可能な移送バー（Ｂａｒ）をさらに含み、前記少なくとも１つの把持部は、前記移送バーに結合され得る。

前記ノズルプレートには、被固定部材が形成され、前記少なくとも１つの把持部には、前記ノズルプレート側に進退が可能であり、前記被固定部材と相互結束できる結束部材が形成され得る。

前記ノズルプレートのそれぞれは、前記洗浄対象ノズルのそれぞれを収容する複数の挿入溝を含み、前記複数の挿入溝は、複数個ずつ複数の列として形成され得る。

前記洗浄部は、前記ノズルプレートの上側および下側のうち、少なくとも一側に位置し、前記洗浄対象ノズルを洗浄する洗浄ノズルブロックを含み得る。

前記洗浄ノズルブロックは、複数の洗浄ノズルを含み、前記複数の洗浄ノズルは、少なくとも１つの列として複数個ずつ整列配置できる。

前記複数の洗浄ノズルは、洗浄流体または圧縮エア（Ａｉｒ）を選択的に噴射することができる。

前記洗浄ノズルブロックは、地面に垂直な第１方向および前記ノズルプレートが移送される第２方向に沿って移動することができる。

前記乾燥部は、前記ノズルプレートの上側および下側のうち、少なくとも一側に位置し、前記洗浄対象ノズルを乾燥させる乾燥ノズルブロックを含み得る。

前記検査部は、前記洗浄対象ノズルのそれぞれの洗浄状態を確認する検査モジュールを含み、前記検査モジュールは、地面に垂直な第１方向、前記ノズルプレートが移送される第２方向および前記第１方向と前記第２方向に直交する第３方向に沿って３軸移動することができる。

前記検査部は、前記ノズルプレートに配置された前記洗浄対象ノズルのそれぞれのバーコードを認識する認識部をさらに含み、前記検査室は、前記洗浄対象ノズルのそれぞれのバーコードおよび前記洗浄状態の結果を対応保存するデータ保存部をさらに含み得る。

前記ノズルプレートを複数収容でき、前記複数のノズルプレートを順次に前記洗浄室に投入するリフト部をさらに含み得る。

本発明の実施例によると、ノズルの内径ホールの洗浄工程、乾燥工程および検査工程を１つの装置として一体化し、ノズル洗浄作業の効率性を向上させることができる。

また、本発明の実施例によると、ノズルの洗浄、乾燥および検査のそれぞれの工程間のノズルプレートの移動が自動に行われるため、作業効率を増大させることができる。

また、本発明の実施例によると、ノズル内径ホールの洗浄力の増大とともに洗浄品質が均一に維持され、これによる品質の信頼性を向上させることができる。

図１は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムを示した一側斜視図である。

図２は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムを示した他側斜視図である。

図３は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムの底面側斜視図である。

図４は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムの側面を示した図である。

図５は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムをノズルプレートが移送される方向の一側で示した図である。

図６は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムの把持部の部分を拡大して示した図である。

図７は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムのノズルプレートを示した図である。

図８は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムの洗浄室を拡大して示した図である。

図９は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムの乾燥室を拡大して示した図である。

図１０は、図３に示された本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムの検査室を拡大して示した図である。

以下、図面を参照して本発明の具体的な実施形態を説明する。しかし、これは例示に過ぎず、本発明はこれに限定されない。

本発明を説明するにおいて、本発明と係る公知技術についての具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曖昧にし得ると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。そして、後述する用語は、本発明での機能を考慮して定義された用語として、これは使用者、運用者の意図または慣例などによって変わることができる。したがって、その定義は、本明細書の全般にわたる内容に基づいてなされるべきである。

本発明の技術的思想は、特許請求の範囲によって決定され、以下の実施例は、本発明の技術的思想を本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に効率的に説明するための１つの手段にすぎない。

図１は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システムを示した一側斜視図であり、図２は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１を示した他側斜視図であり、図３は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１の底面側斜視図である。このとき、図２以下では、説明の便宜のために、ハウジング２０と隔壁部２００の図示を省略する。

図１ないし図３を参照すると、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、洗浄対象ノズル（Ｎｏｚｚｌｅ）が配置されたノズルプレート１０と、洗浄対象ノズルを洗浄する洗浄部３００を含む洗浄室３０と、洗浄対象ノズルを乾燥させる乾燥部４００を含む乾燥室４０と、洗浄対象ノズルの洗浄状態を確認する検査部５００を含む検査室５０と、を含み得る。このとき、洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０は、順次に一列に配置できる。

また、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、ノズルプレート１０を移送する移送部６０を含み得、ノズルプレート１０は、移送部６０によって洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０を順次に通過できる。すなわち、洗浄室３０に投入されたノズルプレート１０は、移送部６０によって自動に移送され、乾燥室４０および検査室５０を順次に通過することにより、ノズルプレート１０に配置された洗浄対象ノズルの洗浄、乾燥および検査が行われることができる。

このとき、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、単一のノズルプレート１０を洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０を通過させて単一のノズルプレート１０に配置された洗浄対象ノズルを洗浄、乾燥および検査することだけでなく、複数のノズルプレート１０を連続的に洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０を通過させて多量の洗浄対象ノズルを洗浄、乾燥および検査できる。すなわち、最初のノズルプレート１０が乾燥室４０から検査室５０に移動すると、２番目のノズルプレート１０が洗浄室３０から乾燥室４０に移動し、３番目のノズルプレート１０が連続的に洗浄室３０に投入されることができる。

一方、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、検査室５０に隣接して形成された排出部９０をさらに含み得る。排出部９０は、検査室５０を基準に乾燥室４０の反対側に形成され得、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０は、順次に一列に配置できる。また、洗浄、乾燥および検査を終えたノズルプレート１０は、移送部６０によって排出部９０に排出されることができる。

一方、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、複数のノズルプレート１０を収容でき、複数のノズルプレート１０を順次に洗浄室３０に投入するか、または排出部９０で複数のノズルプレート１０を順次に積層することができるリフト部８０をさらに含み得る。このとき、リフト部８０は、ハウジング部２０の外側で洗浄室３０に隣接して位置できる。

具体的に、複数のノズルプレート１０は、相互積層された状態でリフト部８０に収容され得、ガイドフレーム７０と同一の高さに位置するノズルプレート１０は、洗浄室３０の内部に自動投入されることができる。以後、積層された複数のノズルプレート１０は、順次に昇降することができ、洗浄室３０の内部のノズルプレート１０が移送されると、再びガイドフレーム７０と同一の高さに位置するノズルプレート１０は、洗浄室３０の内部に投入されることができる。

一方、複数のノズルプレート１０は、後述する所定の高さの被固定部材１１を介して相互積層されることができる。このとき、リフト部８０は、被固定部材１１に結束されてノズルプレート１０の位置を固定できる少なくとも１つの高さ固定部８１０を含み得る。また、リフト部８０は、複数のノズルプレート１０の下側に位置し、最下側のノズルプレート１０を支持し、昇降または下降させることができる昇降支持部８２０をさらに含み得る。

一方、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０の相互間を収容するハウジング部２０を含み得る。一方、排出部９０は、ハウジング部２０の外側に形成され得、作業者は、洗浄、乾燥および検査を完了したノズルプレート１０を容易に収去できる。

このとき、ハウジング部２０は、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０の相互間を区画する複数の隔壁部２００をさらに含み得る。また、複数の隔壁部２００は、洗浄室３０と乾燥室４０との間、乾燥室４０と検査室５０との間および検査室５０と排出部９０との間にそれぞれ形成されて相互隣接する空間を区画し得る。

一方、前述した複数の隔壁部２００は、プレート（Ｐｌａｔｅ）形状の隔壁プレート２１０、ノズルプレート１０が通過できるように隔壁プレート２１０上に貫通形成された移送口２２０および移送口２２０を開放または閉鎖できる開閉部２３０を含み得る。

このとき、移送口２２０は、ノズルプレート１０が通過できるほどの大きさに形成され得、好ましくは、長方形の形状に形成され得る。また、前述した開閉部２３０は、移送口２２０の側部から垂直方向に配置された一対のスライディングガイド２３１およびスライディングガイド２３１に沿って上下に移動可能なスライドパネル２３２を含み得る。

さらに、前述した開閉部２３０は、洗浄室３０と乾燥室４０との間および乾燥室４０と検査室５０との間にそれぞれ配置され、洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０でのノズル洗浄、ノズル乾燥および洗浄状態検査の進行の間に移送口２２０を閉鎖でき、ノズル洗浄、ノズル乾燥および洗浄状態検査を完了した場合、移送口２２０を開放してノズルプレート１０が通過するようにできる。

例えば、洗浄室３０と乾燥室４０との間に配置された開閉部２３０は、洗浄室３０にノズルプレート１０が投入される場合、スライドパネル２３２が下降するに応じて移送口２２０を閉鎖でき、洗浄部３００の駆動を完了した場合、スライドパネル２３２が昇降するに応じて移送口２２０を開放させることができる。同時に、乾燥室４０と検査室５０との間に配置された開閉部２３０は、洗浄を完了したノズルプレート１０が乾燥室４０に投入される場合、スライドパネル２３２が下降するに応じて移送口２２０を閉鎖でき、乾燥部４００の駆動を完了した場合、スライドパネル２３２が昇降するに応じて移送口２２０を開放させることができる。

一方、複数のスライドパネル２３２は、モーター（図示せず）とラック（図示せず）およびピニオンギア（図示せず）の連結などによって自動に昇下降することができ、好ましくは、複数のスライドパネル２３２は、ノズルプレート１０が移送口２２０を通過した場合、同時に下降して洗浄部３００、乾燥部４００および検査部５００の作動間の移送口２２０を閉鎖でき、洗浄部３００、乾燥部４００および検査部５００の作動を完了した場合、同時に昇降駆動されて移送口２２０を開放できる。

前記のように、ノズル洗浄、ノズル乾燥および洗浄状態検査の進行の間に複数の移送口２２０は、すべて閉鎖されることにより、洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０のそれぞれの工程を独立して区分された環境で行えるようにし、後述する洗浄部３００の洗浄流体または乾燥部４００のドライング（Ｄｒｙｉｎｇ）温風などが隣接する他の空間（洗浄室３０、乾燥室４０または検査室５０）に浸透してそれぞれの工程効率が低下することを防止できる。

また、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０のそれぞれには、ノズルプレート１０の移送方向（第２方向ｄ２）に沿って所定の長さに形成され、ノズルプレート１０を支持および案内するガイドフレーム７０が形成され得る。このとき、ガイドフレーム７０は、ノズルプレート１０を挟んで相互対面する一対のガイドフレーム部材７１０を含み得、一対のガイドフレーム部材７１０のそれぞれには、ノズルプレート１０を側面から接触支持する複数のローラー部７２０が形成され得る。

具体的に、前述の一対のガイドフレーム部材７１０は、Ｌ字型断面のバー（Ｂａｒ）形状の所定の長さに形成され得、複数のローラー部７２０は、一対のガイドフレーム部材７１０のそれぞれで第２方向ｄ２に沿って一列に位置できる。また、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０のそれぞれに位置する一対のガイドフレーム部材７１０のうち、少なくとも一側には、ノズルプレート１０の位置を固定するジグ部７３０が形成され得る。

一方、ローラー部７２０の具体的な形状、ノズルプレート１０についての接触支持構造およびジグ部７３０の作動構造は、図４の説明で後述することにする。

図４は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１の側面を示した図面である。

図４を参照すると、前述の移送部６０は、ノズルプレート１０の移送方向（第２方向ｄ２）に沿って水平移動が可能な移送バー６２０（Ｂａｒ）および移送バー６２０に結合されて第２方向ｄ２に水平移動が可能であり、ノズルプレート１０を把持できる少なくとも１つの把持部６３０を含み得る。

また、移送部６０は、前述した複数の隔壁部２００のうち、隣接する２つの隔壁部２００との間に配置され、隣接する２つの隔壁部２００のそれぞれに固定された複数の移送シャフト６１０および複数の移送シャフト６１０のうち、いずれか１つのシャフトを回転させることができる移送モーター６１３を含み得る。さらに、移送バー６２０は、前述した複数の移送シャフト６１０上に配置されて複数の移送シャフト６１０の長さの方向に沿って移動可能な延長部６２１を含み得る。

具体的に、移送モーター６１３は、隣接する２つの隔壁部２００のうち、一側に固定されて配置でき、複数の移送シャフト６１０は、隣接する２つの隔壁部２００との間で地面に垂直な方向（第１方向ｄ１）に一列に配置できる。このとき、複数の移送シャフト６１０のうち、いずれか１つ（第１移送シャフト６１１）は、外面に螺線（図示せず）が形成され得る。一方、移送バー６２０の延長部６２１は、複数の移送シャフト６１０に結束されることができる。

このとき、延長部６２１のうち、第１移送シャフト６１１に結束される部分は、ねじ溝（図示せず）が形成され得、延長部６２１は、第１移送シャフト６１１にねじ結合され得る。また、移送部６０は、複数の移送シャフト６１０のうち、第１移送シャフト６１１を除いた残りの第２移送シャフト６１２に水平移動が可能に支持されることができる。

したがって、延長部６２１は、移送モーター６１３が駆動されて第１移送シャフト６１１が回転するに応じて第２移送シャフト６１２に支持された状態で第２方向ｄ２に沿って水平に移動できる。一方、移送部６０は、ガイドフレーム７０の幅方向（第１方向ｄ１および第２方向ｄ２に垂直な方向：第３方向ｄ３）の一側の外部に位置できる。すなわち、移送部６０は、ノズルプレート１０の移送経路の外側側部に位置できる。

一方、少なくとも１つの把持部６３０は、前述した移送バー６２０の水平移動によって第２方向ｄ２に沿って水平に移動できる。好ましくは、把持部６３０は、４つに形成され得、４つの把持部６３０のそれぞれは、洗浄室３０投入側のリフト部８０、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０のそれぞれに位置したノズルプレート１０間の配置間隔と同じ間隔で一列配置できる。

具体的に、複数のノズルプレート１０は、洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０のそれぞれに配置され、それぞれの工程を完了した場合、４つの把持部６３０は、洗浄室３０投入側のリフト部８０、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０のそれぞれに位置した４つのノズルプレート１０のそれぞれを把持することができる。以後、移送モーター６１３の駆動で移送部６０が水平移動するに応じて４つの把持部６３０に把持された４つのノズルプレート１０は、ローラー部７２０に支持された状態でガイドフレーム７０に沿って第２方向ｄ２に移送されることができる。

一方、前述した４つの把持部６３０の構成は、例示的であるもので、把持部６３０は、１つだけ形成されて単一のノズルプレート１０を洗浄室３０、乾燥室４０および検査室５０の順に移送させることができる。

図５は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１をノズルプレート１０が移送される方向（第２方向ｄ２）の一側で示した図面である。

図５を参照すると、ノズルプレート１０は、一対のガイドフレーム部材７１０上に形成されたローラー部７２０に接触支持された状態に位置できる。具体的に、ローラー部７２０は、一対のガイドフレーム部材７１０上に、中心軸を基準に回転可能に結合され得る。また、複数のローラー部７２０のそれぞれは、ノズルプレート１０の側面に接触してノズルプレート１０が移送されるに応じて回転するベアリング部７２１およびベアリング部７２１の下側でベアリング部７２１の直径よりも大きい直径で形成され、ノズルプレート１０が安着支持される安着部７２２を含み得る。

すなわち、ノズルプレート１０は、複数の安着部７２２に安着した状態で把持部６３０によって把持されることができ、移送部６０が第２方向ｄ２に水平移動する場合、ベアリング部７２１に接触支持された状態にガイドフレーム７０に沿って移送されることができる。

一方、前述のジグ部７３０は、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０のそれぞれに位置する一対のガイドフレーム部材７１０のうち、把持部６３０の反対側のガイドフレーム部材７１０には、ノズルプレート１０の位置を固定するジグ部７３０が形成され得る。

具体的に、複数のジグ部７３０は、内部のジグピン（図示せず）を往復直線運動させる油圧シリンダー（Ｈｙｄｒａｕｌｉｃ Ｃｙｌｉｎｄｅｒ）方式で形成され得、ジグピンは、ジグ部７３０の作動でノズルプレート１０側に引き出しされることができる。このとき、引き出しされたジグピンは、ノズルプレート１０の被固定部材１１上に形成されたジグ溝１３（図７に図示）に挿入されることができる。

したがって、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０のそれぞれから、ノズルプレート１０が既決定された位置に移送される場合、ジグピンが引き出しされてノズルプレート１０上のジグ溝１３に挿入されることができる。すなわち、ノズルプレート１０は、第３方向ｄ３の一側で把持部６３０によって把持され、他側でジグ部７３０によって移動が制限されるため、既決定された位置に固定できる。

前記のように、ノズルプレート１０は、洗浄室３０、乾燥室４０、検査室５０および排出部９０のそれぞれで、前述のジグ部７３０および把持部６３０を通じて既決定された位置に堅く固定されるため、洗浄部３００、乾燥部４００および検査部５００のそれぞれの作動間の各工程の正確性および迅速性を向上させることができる。

一方、前述の把持部６３０のそれぞれは、ガイドフレーム７０の外側に位置する把持シリンダー６３１と、把持シリンダー６３１に結合され、把持シリンダー６３１の駆動によってノズルプレート１０側に進退する結束部材６３２を含み得る。また、ノズルプレート１０の第３方向ｄ３の両側に位置した被固定部材１１のうち、把持部６３０側の被固定部材１１には、複数の把持溝１４が形成され得、結束部材６３２は、把持シリンダー６３１の作動によって複数の把持溝１４と相互に結束支持されることができる。

このとき、結束部材６３２は、水平移動時、ローラー部７２０およびガイドフレーム７０との干渉で移動が制限されないように、ローラー部７２０およびガイドフレーム７０の上端よりも上側に位置できる。

図６は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１の把持部６３０の部分を拡大して示した図面である。

図６を参照すると、前述した複数の把持溝１４は、被固定部材１１上で第２方向ｄ２に沿って一列に形成され得、結束部材６３２には、被固定部材１１側に突出した複数の結束ピン６３２１が形成され得る。このとき、複数の結束ピン６３２１は、複数の把持溝１４の間隔に対応する間隔に形成され得る。

すなわち、複数の結束ピン６３２１は、結束部材６３２が移動することによって複数の把持溝１４内に挿入されることができ、ノズルプレート１０は、把持部６３０（より具体的に、結束部材６３２）によって把持されて第２方向ｄ２の移動が拘束されることができる。

図７は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１のノズルプレート１０を示した図面である。

図７を参照すると、ノズルプレート１０は、前述した洗浄対象ノズルのそれぞれを収容する複数の挿入溝１２を含み得る。このとき、複数の挿入溝１２は、ノズルプレート１０を貫通して形成され得る。すなわち、挿入溝１２は、貫通形成されるため、ノズルプレート１０の一側には、洗浄対象ノズルの一端が露出され、他側には、洗浄対象ノズルの他端が露出されることができる。

また、前述の複数の挿入溝１２は、複数個ずつ複数の列として形成され得る。例えば、複数の挿入溝１２は、第３方向ｄ３に沿って１２個ずつ、第２方向ｄ２に沿って６つの列として総７２個（１２×６）が形成され得る。

したがって、単一のノズルプレート１０でも、多量の洗浄対象ノズルを収容して洗浄できる。また、複数の挿入溝１２は、相互均一な間隔で形成されるため、洗浄対象ノズルの洗浄、乾燥および検査の工程についての各工程の品質が一定に維持されることができる。

図８は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１の洗浄室３０を拡大して示した図面である。

図８を参照すると、前述の洗浄室３０に配置された洗浄部３００は、ノズルプレート１０の上側および下側のうち、少なくとも一側に位置でき、洗浄対象ノズルを洗浄する洗浄ノズルブロック３１０を含み得る。このとき、好ましくは、ノズルプレート１０の上側および下側の両方に洗浄部３００が位置できる。

具体的に、洗浄ノズルブロック３１０は、複数の洗浄ノズル３１１を含み得、複数の洗浄ノズル３１１は、少なくとも１つの列として複数個ずつ整列配置できる。このとき、複数の洗浄ノズル３１１は、ノズルプレート１０に形成された第３方向ｄ３の挿入溝の配列数と同じ数ずつ挿入溝の複数の列よりも少ない数の列として整列配置できる。例えば、第３方向ｄ３に沿って１２個ずつ、第２方向ｄ２に沿って２つ列として、総２４個（１２×２）が整列に形成され得る。

一方、上側に位置する洗浄部３００の洗浄ノズルブロック３１０は、ノズルプレート１０に整列配置された複数の洗浄対象ノズルのそれぞれに向かって上側から洗浄流体を噴射でき、洗浄対象ノズルの内径ホールを洗浄できる。同時に、下側に位置する洗浄部３００の洗浄ノズルブロック３１０は、ノズルプレート１０に整列配置された複数の洗浄対象ノズルのそれぞれに向かって下側から洗浄流体を噴射でき、洗浄対象ノズルの内径ホールを洗浄できる。

すなわち、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、洗浄部３００をノズルプレート１０の上側および下側の両側に備えて下方または上方に洗浄流体を噴射するため、洗浄対象ノズルの内径に位置する異物などが容易に除去されることができる。

また、前述の複数の洗浄ノズル３１１は、洗浄流体または圧縮エア（Ａｉｒ）を選択的に噴射できる。

具体的に、洗浄部３００は、洗浄ノズルブロック３１０の側部に位置して洗浄液流管３２１を介して複数の洗浄ノズル３１１に洗浄流体を供給する洗浄液タンク３２０をさらに含み得る。また、洗浄部３００は、洗浄ノズル３１１に圧縮エアを供給するコンプレッサー（図示せず）をさらに含み得、コンプレッサーは、洗浄液流管３２１に連結され得る。このとき、洗浄液流管３２１には、バルブ（図示せず）が形成され、洗浄流体または圧縮エアを選択的に流動させることができる。

一方、好ましくは、洗浄流体の噴射で洗浄対象ノズルが洗浄された場合、順次に圧縮エアが噴射されることができる。このとき、圧縮エアは、洗浄対象ノズルの内周面に残っている洗浄流体を簡単に除去でき、後続の乾燥部４００による洗浄対象ノズルの乾燥速度を向上させることができる。

一方、洗浄ノズルブロック３１０は、地面に垂直な第１方向ｄ１およびノズルプレート１０が移送される第２方向ｄ２に沿って移動することができる。具体的に、前述の洗浄部３００は、第２方向ｄ２に沿って所定の長さに配置された少なくとも１つの第１洗浄シャフト３３２と、第１洗浄シャフト３３２上に配置され、第１洗浄シャフト３３２に沿って移動できる一対の洗浄ガイド３３３と、一対の洗浄ガイド３３３に固定され、第３方向ｄ３に沿って所定の長さに配置された少なくとも１つの第２洗浄シャフト３４０と、少なくとも１つの第２洗浄シャフト３４０上に配置された洗浄昇下降部３５０と、を含み得る。

このとき、洗浄部３００は、第１洗浄シャフト３３２を回転させることができる第１洗浄モーター３３１をさらに含み得る。また、第１洗浄シャフト３３２および一対の洗浄ガイド３３３は、相互にねじ結合されているため、第１洗浄シャフト３３２の回転に応じて一対の洗浄ガイド３３３は、第２方向ｄ２に水平移動できる。

さらに、洗浄昇下降部３５０は、洗浄ノズルブロック３１０の一側に結合されて駆動されるに応じて洗浄ノズルブロック３１０を昇降または下降させる第２洗浄モーター３５１を含み得る。すなわち、第２洗浄モーター３５１の駆動で洗浄ノズルブロック３１０は、ノズルプレート１０側に移動できる。

例えば、洗浄対象ノズルの内径を洗浄する場合、洗浄ノズルブロック３１０は、ノズルプレート１０側に移動して密着することができ、洗浄を完了した場合、洗浄ノズルブロック３１０は、再びノズルプレート１０の反対側に移動できる。

また、洗浄ガイド３３３が第２方向ｄ２に移動されるに応じて洗浄昇下降部３５０に結合された洗浄ノズルブロック３１０も第２方向ｄ２に水平移動できる。これにより、洗浄ノズルブロック３１０によってノズルプレート１０上に配置された２４個の洗浄対象ノズルの洗浄を完了した場合、洗浄ノズルブロック３１０は、第２方向ｄ２に移動して隣接する２４個の洗浄対象ノズルを洗浄できる。

図９は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１の乾燥室４０を拡大して示した図面である。

図９を参照すると、乾燥室４０に配置された乾燥部４００は、洗浄対象ノズルを乾燥させる乾燥ノズルブロック４１０を含み得、ノズルプレート１０の上側および下側のうち、少なくとも一側に位置できる。好ましくは、ノズルプレート１０の上側および下側の両方に乾燥部４００が位置できる。

具体的に、乾燥ノズルブロック４１０は、複数の乾燥ノズル４１１を含み得、複数の乾燥ノズル４１１は、少なくとも１つの列として複数個ずつ整列配置できる。例えば、第３方向ｄ３に沿って１２個ずつ、第２方向ｄ２に沿って２つ列として、総２４個（１２×２）が整列に形成されて複数の洗浄ノズル３１１と同一に配置できる。

一方、ノズルプレート１０の上側および下側に配置された乾燥ノズルブロック４１０の乾燥ノズル４１１は、洗浄対象ノズルに温風を噴射できる。これにより、洗浄室３０での圧縮エアにもかかわらず、洗浄対象ノズルの内周面に残存する洗浄流体を完全に乾燥させることができる。

また、乾燥ノズルブロック４１０は、地面に垂直な第１方向ｄ１およびノズルプレート１０が移送される第２方向ｄ２に沿って移動することができる。このとき、乾燥ノズルブロック４１０の第１方向ｄ１および第２方向ｄ２の移動についての具体的な駆動方式は、前述した洗浄ノズルブロック３１０の第１方向ｄ１および第２方向ｄ２の移動構造と同じであるため、具体的な説明は略することにする。

図１０は、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１の検査室５０を拡大して示した図面である。

図１０を参照すると、検査室５０に配置された検査部５００は、洗浄対象ノズルのそれぞれの洗浄状態を確認する検査モジュール５１０を含み得、検査モジュール５１０は、ノズルプレート１０の上側または下側に配置できる。このとき、検査モジュール５１０は、単一の洗浄対象ノズルの内側に光を照射することができ、光の照射を通じて単一の洗浄対象ノズルの内周面の洗浄流体の残存有無を確認できる。

また、検査モジュール５１０は、地面に垂直な第１方向ｄ１、ノズルプレート１０が移送される第２方向ｄ２および第１方向ｄ１と前記第２方向ｄ２に直交する第３方向ｄ３に沿って３軸移動可能に形成され得る。

具体的に、検査部５００は、第２方向ｄ２に沿って所定の長さに配置された少なくとも１つの第１検査シャフト５２２と、第１検査シャフト５２２上に配置され、第１検査シャフト５２２に沿って移動できる一対の検査ガイド５２３と、一対の検査ガイド５２３に固定され、第３方向ｄ３に沿って所定の長さに配置された少なくとも１つの第２検査シャフト５４１と、少なくとも１つの第２検査シャフト５４１上に配置された検査昇下降部５３０と、を含み得る。

このとき、検査部５００は、第１検査シャフト５２２を回転させることができる第１検査モーター５２１をさらに含み得る。また、第１検査シャフト５２２および一対の検査ガイド５２３は、相互にねじ結合されているため、第１検査シャフト５２２の回転に応じて一対の検査ガイド５２３は、第２方向ｄ２に水平移動できる。さらに、検査昇下降部５３０は、検査モジュール５１０の一側に結合されて駆動されるに応じて検査モジュール５１０を昇降または下降させる第２検査モーター５３１を含み得る。すなわち、第２検査モーター５３１の駆動で検査モジュール５１０は、ノズルプレート１０側に移動できる。

これだけでなく、検査部５００は、第２検査シャフト５４１を回転移動させることができる第３検査モーター５４２をさらに含み得る。このとき、検査昇下降部５３０および第２検査シャフト５４１は、相互にねじ結合されることができ、第３検査モーター５４２の駆動によって検査昇下降部５３０は、第３方向ｄ３に移動できる。

前記検査部５００は、ノズルプレート１０に配置された洗浄対象ノズルのそれぞれのバーコードを認識する認識部５５０をさらに含み得、認識部５５０は、ノズルプレート１０の下側または上側（すなわち、検査モジュール５１０の反対側）に配置できる。通常的に、洗浄対象ノズルの一側の外面には固有のバーコードが表示され、認識部５５０は、洗浄対象ノズルのそれぞれに表示されたバーコードを認識できる。

また、認識部５５０も、第１方向ｄ１、第２方向ｄ２および第３方向に沿って３軸移動することができる。一方、好ましくは、検査モジュール５１０および認識部５５０は、同一の洗浄対象ノズルについて同時に洗浄状態を確認し、バーコードを認識できる。すなわち、洗浄対象ノズルのそれぞれの洗浄状態を確認し、それぞれの洗浄状態に対応する洗浄対象ノズルのそれぞれのバーコードを認識できる。また、検査室５０は、洗浄対象ノズルのそれぞれのバーコードおよび洗浄状態の結果を対応保存するデータ保存部（図示せず）をさらに含み得る。使用者は、データ保存部に保存された情報（洗浄状態およびバーコード）を通じて洗浄対象ノズルの洗浄状態を簡単に把握し、管理できる。

一方、認識部５５０の具体的な移動方式は、前述の検査モジュール５１０の移動方式と同じであるため、具体的な説明は省略する。さらに、本発明の一実施例による自動ノズル洗浄−検査管理システム１は、ＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ）と連動することができ、これにより、各工程のリアルタイムモニタリング、作業内容の確認および状態把握が容易になる可能性がある。

以上で、代表的な実施例を通じて本発明について詳細に説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、前述した実施例について本発明の範囲から逸脱しない限度内で様々な変形が可能であることを理解するであろう。したがって、本発明の権利の範囲は、説明された実施例に限定されて定められてはならず、後述する特許請求の範囲だけでなく、この特許請求の範囲と均等なものによって定められるべきである。

１：自動ノズル洗浄−検査管理システム
１０：ノズルプレート
１１：被固定部材
１２：挿入溝
１３：ジグ溝
１４：把持溝
２０：ハウジング部
２００：隔壁部
２１０：隔壁プレート
２２０：移送口
２３０：開閉部
２３１：スライディングガイド
２３２：スライドパネル
３０：洗浄室
３００：洗浄部
３１０：洗浄ノズルブロック
３１１：洗浄ノズル
３２０：洗浄液タンク
３２１：洗浄液流管
３３１：第１洗浄モーター
３３２：第１洗浄シャフト
３３３：洗浄ガイド
３４０：第２洗浄シャフト
３５０：洗浄昇下降部
３５１：第２洗浄モーター
４０：乾燥室
４００：乾燥部
４１０：乾燥ノズルブロック
４１１：乾燥ノズル
５０：検査室
５００：検査部
５１０：検査モジュール
５２１：第１検査モーター
５２２：第１検査シャフト
５２３：検査ガイド
５３０：検査昇下降部
５３１：第２検査モーター
５４１：第２検査シャフト
５４２：第３検査モーター
５５０：認識部
６０：移送部
６１０：移送シャフト
６１１：第１移送シャフト
６１２：第２移送シャフト
６１３：移送モーター
６２０：移送バー
６２１：延長部
６３０：把持部
６３１：把持シリンダー
６３２：結束部材
６３２１：結束ピン
７０：ガイドフレーム
７１０：ガイドフレーム部材
７２０：ローラー部
７２１：ベアリング部
７２２：安着部
７３０：ジグ部
８０：リフト部
９０：排出部
８１０：高さ固定部
８２０：昇降支持部
ｄ１：第１方向
ｄ２：第２方向
ｄ３：第３方向

Claims (18)

1. 洗浄対象ノズル（Ｎｏｚｚｌｅ）が配置されるノズルプレートと、
   前記洗浄対象ノズルを洗浄する洗浄部を含む洗浄室と、
   前記洗浄対象ノズルを乾燥させる乾燥部を含む乾燥室と、
   前記洗浄対象ノズルの洗浄状態を確認する検査部を含む検査室と、
   前記ノズルプレートを移送する移送部と、を含み、
   前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室は、順次に一列に配置される自動ノズル洗浄−検査管理システム。
2. 前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室の相互間を区画する複数の隔壁部をさらに含む請求項１に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
3. 前記複数の隔壁部のそれぞれは、
   隔壁プレートと、
   前記ノズルプレートが通過できるように前記隔壁プレート上に貫通形成された移送口と、
   前記移送口を開放または閉鎖できる開閉部と、を含む請求項２に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
4. 前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室のそれぞれには、
   前記ノズルプレートの移送方向に沿って所定の長さに形成され、前記ノズルプレートを支持および案内するガイドフレームが形成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
5. 前記ガイドフレームは、前記ノズルプレートを挟んで相互対面する一対のガイドフレーム部材を含み、
   前記一対のガイドフレーム部材のそれぞれには、前記ノズルプレートを側面から接触支持する複数のローラー部が形成されている請求項４に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
6. 前記一対のガイドフレーム部材のうち、少なくとも一側には、
   前記洗浄室、前記乾燥室および前記検査室のそれぞれで前記ノズルプレートの位置を固定するジグ部が形成されている請求項５に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
7. 前記移送部は、
   前記ノズルプレートの移送方向に沿って水平移動が可能であり、前記ノズルプレートを把持できる少なくとも１つの把持部を含む請求項１ないし６のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
8. 前記移送部は、
   前記ノズルプレートの移送方向に沿って水平移動が可能な移送バー（Ｂａｒ）をさらに含み、
   前記少なくとも１つの把持部は、前記移送バーに結合された請求項７に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
9. 前記ノズルプレートには、被固定部材が形成され、
   前記少なくとも１つの把持部には、前記ノズルプレート側に進退が可能であり、前記被固定部材と相互結束できる結束部材が形成された請求項７または８に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
10. 前記ノズルプレートのそれぞれは、前記洗浄対象ノズルのそれぞれを収容する複数の挿入溝を含み、
    前記複数の挿入溝は、複数個ずつ複数の列として形成された請求項１ないし９のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
11. 前記洗浄部は、
    前記ノズルプレートの上側および下側のうち、少なくとも一側に位置し、前記洗浄対象ノズルを洗浄する洗浄ノズルブロックを含む請求項１ないし１０のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
12. 前記洗浄ノズルブロックは、複数の洗浄ノズルを含み、
    前記複数の洗浄ノズルは、少なくとも１つの列として複数個ずつ整列配置された請求項１１に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
13. 前記複数の洗浄ノズルは、洗浄流体または圧縮エア（Ａｉｒ）を選択的に噴射できる請求項１２に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
14. 前記洗浄ノズルブロックは、
    地面に垂直な第１方向および前記ノズルプレートが移送される第２方向に沿って移動することができる請求項１１ないし１３のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
15. 前記乾燥部は、
    前記ノズルプレートの上側および下側のうち、少なくとも一側に位置し、前記洗浄対象ノズルを乾燥させる乾燥ノズルブロックを含む請求項１ないし１４のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
16. 前記検査部は、前記洗浄対象ノズルのそれぞれの洗浄状態を確認する検査モジュールを含み、
    前記検査モジュールは、地面に垂直な第１方向、前記ノズルプレートが移送される第２方向および前記第１方向と前記第２方向に直交する第３方向に沿って３軸移動することができる請求項１ないし１５のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
17. 前記検査部は、前記ノズルプレートに配置された前記洗浄対象ノズルのそれぞれのバーコードを認識する認識部をさらに含み、
    前記検査室は、前記洗浄対象ノズルのそれぞれのバーコードおよび前記洗浄状態の結果を対応保存するデータ保存部をさらに含む請求項１６に記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。
18. 前記ノズルプレートを複数収容でき、前記複数のノズルプレートを順次に前記洗浄室に投入するリフト部をさらに含む請求項１ないし１７のいずれかに記載の自動ノズル洗浄−検査管理システム。

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