JPS61162045U - - Google Patents

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JPS61162045U
JPS61162045U JP1985043223U JP4322385U JPS61162045U JP S61162045 U JPS61162045 U JP S61162045U JP 1985043223 U JP1985043223 U JP 1985043223U JP 4322385 U JP4322385 U JP 4322385U JP S61162045 U JPS61162045 U JP S61162045U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案洗浄装置の全体概略構成図、第
２図は同洗浄装置の搬送図、第３図はトレイ斜視
図、第４図〜第８図は装置の各部の説明図である
。 １……洗浄装置、２……ローダ、３……湿式洗
浄装置、４……乾式洗浄装置、５……検査装置、
６……アンローダ、９……被洗浄物、１９……Ｖ
ＴＲ装置。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 被洗浄物に付着した塵埃を液体を介して除去
    する湿式洗浄装置と、被洗浄物に付着した塵埃を
    加熱およびオゾンにて除去する乾式洗浄装置とを
    結合し、前記湿式洗浄装置から前記乾式洗浄装置
    へ被洗浄物を搬送する搬送手段とを組込んでこれ
    らを一つの装置に纏めてなる洗浄装置において、
    検査装置部にＶＴＲ装置を設けたことを特徴とす
    る洗浄装置。 ２ 検査装置部に複写装置を設けたことを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の洗浄装
    置。
JP1985043223U 1985-03-27 1985-03-27 Pending JPS61162045U (ja)

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JPS61162045U true JPS61162045U (ja) 1986-10-07

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05129262A (ja) * 1991-11-07 1993-05-25 Orc Mfg Co Ltd 洗浄度測定装置
JPH0674910A (ja) * 1992-08-28 1994-03-18 Nippon Steel Corp 自動洗浄方法及びその装置
JP2008205048A (ja) * 2007-02-16 2008-09-04 Seiko Epson Corp 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法
JP2020175358A (ja) * 2019-04-16 2020-10-29 株式会社 ボスン エングＢｏｓｕｎｇ Ｅｎｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 自動ノズル洗浄−検査管理システム

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