WO2015162699A1

WO2015162699A1 - ノズル洗浄装置および、ノズル乾燥方法

Info

Publication number: WO2015162699A1
Application number: PCT/JP2014/061314
Authority: WO
Inventors: 和美星川; 賢司下坂
Original assignee: 富士機械製造株式会社
Priority date: 2014-04-22
Filing date: 2014-04-22
Publication date: 2015-10-29
Also published as: US20190374980A1; CN106232247A; EP3135390A1; EP3135390A4; EP3135390B1; US20170036247A1; CN106232247B; CN111921944B; JPWO2015162699A1; US11065650B2; US10441980B2; JP6302051B2; CN111921944A

Abstract

　吸着ノズル６２を洗浄するためのノズル洗浄装置では、吸着ノズルの先端部に向かって噴出される水の噴出方向が、ソケット３７０のテーパ状の第２内周面３７４によって変更される。これにより、例えば、吸着ノズルの先端部の下端面に付着している付着物だけでなく、吸着ノズルの先端部の側面に付着している付着物に、水を当てることが可能となり、吸着ノズルから付着物を適切に除去することが可能となる。また、ノズル洗浄装置では、吸着ノズルがノズルパレット１５２によって支持された状態で洗浄されるが、吸着ノズル洗浄後に、吸着ノズルは、保持具によって保持され、ノズルパレットから取り出される。そして、ノズルパレットから取り出された吸着ノズルが、単品で、ノズル乾燥装置によって乾燥される。これにより、洗浄後の吸着ノズルを適切に乾燥させることが可能となる。

Description

ノズル洗浄装置および、ノズル乾燥方法

　本発明は、水噴出器から噴出された水により吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄装置および、そのノズル洗浄装置によって洗浄された吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法に関する。

　電子部品の回路基板への装着作業を行うための吸着ノズルには、装着作業時において、はんだ等の粘性流体が付着する場合があるため、定期的に洗浄する必要がある。ただし、吸着ノズルに付着した粘性流体は、除去しがたいため、下記特許文献１～４に記載されているように、吸着ノズルを洗浄するためのノズル洗浄装置の開発が進められている。また、洗浄された吸着ノズルを再度、装着作業に使用する前には、洗浄により残存している水分を除去する必要がある。このため、下記特許文献３，４に記載されているように、ノズルを乾燥させるための技術が開発されている。

特開２００７－１２３５５９号公報特開２００６－０２６６０９号公報特開２０００－０１２６６７号公報特開２００５－１０１５２４号公報

　上記特許文献に記載の技術によれば、ある程度、吸着ノズルに付着した粘性流体等の付着物を除去するとともに、洗浄後の吸着ノズルを乾燥させることは可能である。ただし、単に、吸着ノズルに水等を噴出するだけでは、吸着ノズルから付着物を適切に除去することができない虞がある。また、吸着ノズル洗浄時には、吸着ノズルをノズル支持具等に載置した状態で、吸着ノズルが、ノズル支持具とともに洗浄される場合があり、このような場合には、ノズル支持具と吸着ノズルとの間に水分が侵入し、吸着ノズルを適切に乾燥できない虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、吸着ノズルから付着物を適切に除去することであり、洗浄後の吸着ノズルを適切に乾燥させることである。

　上記課題を解決するために、本願に記載のノズル洗浄装置は、洗浄ボックス内において、吸着ノズルの先端部を露出させた状態で前記吸着ノズルを固定的に支持するノズル支持具と、前記ノズル支持具によって支持された前記吸着ノズルの先端部に向かって水を噴出する水噴出器とを備え、前記水噴出器から噴出された水により前記吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄装置であって、前記ノズル洗浄装置が、前記水噴出器から噴出される水の噴出方向を変更する噴出方向変更機構を備えることを特徴とする。

　また、上記課題を解決するために、本願に記載の乾燥方法は、前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルが、ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法であって、前記ノズル乾燥方法が、前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルを、保持具によって保持する保持工程と、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、移動装置によってノズル乾燥装置まで移動させる移動工程と、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記ノズル乾燥装置によって乾燥させる第１乾燥工程とを含むことを特徴とする。

　本願に記載のノズル洗浄装置では、吸着ノズルの先端部に向かって噴出される水の噴出方向を変更することが可能となっている。これにより、例えば、吸着ノズルの先端部の下端面に付着している付着物だけでなく、吸着ノズルの先端部の側面に付着している付着物に、水を当てることが可能となり、吸着ノズルから付着物を適切に除去することが可能となる。また、本願に記載の乾燥方法では、ノズル支持具によって支持された状態の吸着ノズルが、保持具によって保持され、ノズル支持具から取り出される。そして、ノズル支持具から取り出された吸着ノズルが、単品で、ノズル乾燥装置によって乾燥される。これにより、洗浄後の吸着ノズルを適切に乾燥させることが可能となる。

電子部品装着装置を示す斜視図である。電子部品装着装置が備える装着ヘッドを示す斜視図である。吸着ノズルを示す斜視図である。一部露出状態のノズルトレイを示す平面図である。全露出状態のノズルトレイを示す平面図である。図４に示すノズルトレイの断面図である。吸着ノズルが収納された状態のノズルトレイの断面図である。ノズル管理装置を示す斜視図である。ノズル管理装置の内部構造を右前方からの視点で示す斜視図である。ノズル管理装置の内部構造を左前方からの視点で示す斜視図である。一部露出状態のノズルパレットを示す平面図である。全露出状態のノズルパレットを示す平面図である。大きな吸着ノズルが収納されたノズルパレットの断面図である。小さな吸着ノズルが収納されたノズルパレットの断面図である。ノズル管理装置の備えるノズル移載装置を示す斜視図である。廃棄ボックスを示す断面図である。ブロー装置を示す断面図である。ノズル管理装置の備える第１ノズル検査装置を示す斜視図である。ノズル管理装置の備える第２ノズル検査装置を示す斜視図である。ノズル管理装置の備えるノズル洗浄装置を示す斜視図である。ハウジングを取り除いた状態のノズル洗浄装置を示す斜視図である。ノズル洗浄装置を概略的に示す図である。バネ内蔵ノズルの吸着管を胴体筒内に後退させる際の荷重の時間的変化を示す図である。バネ無しノズルの吸着管を胴体筒内に後退させる際の荷重の時間的変化を示す図である。従来のノズル洗浄装置による吸着ノズルの洗浄時の吸着管の先端部を示す拡大図である。ソケットが取り付けられた状態のノズルパレットを示す断面図である。本発明のノズル洗浄装置による吸着ノズルの洗浄時の吸着管の先端部を示す拡大図である。ソケットを利用して吸着ノズルを洗浄する際の高圧水の当たる箇所をソケットの下方からの視点において示す図である。ソケットを利用して吸着ノズルを洗浄する際の高圧水の当たる箇所をソケットの下方からの視点において示す図である。ソケットを利用して吸着ノズルを洗浄する際の高圧水の当たる箇所をソケットの下方からの視点において示す図である。ソケットを利用して吸着ノズルを洗浄する際の高圧水の当たる箇所をソケットの下方からの視点において示す図である。

　以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

　＜電子部品装着装置の構成＞
　図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

　各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、「移動装置」と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。

　搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって固定的に保持される。

　移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータ５２，５４の作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。

　装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６は、図２に示すように、棒状の装着ユニット６０を複数有しており、それら複数の装着ユニット６０の各々の下端部には、吸着ノズル６２が装着されている。吸着ノズル６２は、図３に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。なお、吸着ノズル６２には、吸着管６８に弾性力が付与されているものと、付与されていないものがある。

　詳しくは、吸着管６８に弾性力が付与されている吸着ノズル６２には、吸着管６８と胴体筒６４との間に、バネ（図示省略）が圧縮された状態で配設されており、吸着管６８は、バネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。つまり、吸着管６８の先端に、バネの弾性力に抗した力が加えられることで、吸着管６８は、胴体筒６４の内部に向かって後退する。一方、吸着管６８に弾性力が付与されない吸着ノズル６２には、吸着管６８と胴体筒６４との間に、バネが配設されていない。ただし、吸着管６８と胴体筒６４との間にバネが配設されていない吸着ノズル６２は、バネ（図示省略）が内蔵されている装着ユニット６０の先端部に装着される。装着ユニット６０に内蔵されているバネは、装着ユニット６０に装着される吸着ノズル６２の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ユニット６０のバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。つまり、吸着管６８と胴体筒６４との間にバネが配設されていない吸着ノズル６２においても、バネが内蔵された装着ユニット６０に装着されることで、吸着管６８の先端に、バネの弾性力に抗した力が加えられることで、吸着管６８は、胴体筒６４の内部に向かって後退する。

　また、吸着ノズル６２の掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６２は、掛止ピン７０を利用して、装着ユニット６０の下端部にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。掛止ピン７０を利用した吸着ノズル６２の装着ユニット６０への取り付けは、公知の手法であることから、説明は省略する。また、フランジ部６６の外縁には、切欠部７２が形成されており、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が記されている。

　吸着ノズル６２の吸着管６８は、負圧エア，正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。このため、吸着ノズル６２の吸着管６８は、先端部において、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。棒状の装着ユニット６０は、図２に示すように、ユニット保持体７６の外周部に、等角度ピッチで、軸方向が垂直となる状態に保持されている。そして、各吸着ノズル６２が、ユニット保持体７６の下面から下方に向かって延び出している。

　また、ユニット保持体７６は、保持体回転装置７８によって、装着ユニット６０の配設角度ピッチに等しい角度ずつ間欠回転させられる。これにより、装着ユニット６０の１つの停止位置である昇降ステーションに、複数の装着ユニット６０が、順次停止する。昇降ステーションに停止した装着ユニット６０は、ユニット昇降装置８０によって昇降する。また、昇降ステーションに停止した装着ユニット６０は、ユニット自転装置８２によって自転する。

　供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、フレーム部３２の前方側の端部に配設されている。供給装置２８は、テープフィーダ８６を有している。テープフィーダ８６は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ８６は、送出装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。

　ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６２を収容するものであり、ノズルトレイ８８を有している。ノズルトレイ８８は、図４に示すように、ベースプレート９０とカバープレート９２とを有しており、カバープレート９２は、ベースプレート９０の上にスライド可能に配設されている。なお、ベースプレート９０とカバープレート９２とは、略同じ寸法とされており、カバープレート９２がベースプレート９０に対してスライドした状態において、ベースプレート９０の端部に記された２Ｄコード９４は露出する。一方、図５に示すように、ベースプレート９０とカバープレート９２とが全体的に重なっている状態では、２Ｄコード９４は、カバープレート９２によって覆われる。

　ベースプレート９０には、図４および、ノズルトレイ８８の断面図である図６に示すように、複数の載置穴９６が形成されている。載置穴９６は、段付形状の貫通穴であり、吸着ノズル６２を載置することが可能である。詳しくは、段付形状の載置穴９６の段差面９８の内径は、吸着ノズル６２のフランジ部６６の外径より僅かに大きく、その段差面９８に、図７に示すように、吸着ノズル６２のフランジ部６６が載置される。また、段差面９８には、ピン（図５参照）１００が立設されており、そのピン１００に、フランジ部６６の切欠部７２が係合する。これにより、載置穴９６に載置された吸着ノズル６２の軸回りの回転が禁止される。なお、載置穴９６には、小さな径の載置穴９６ａと大きな径の載置穴９６ｂとがあり、小さな径の載置穴９６ａには、小さなサイズの吸着ノズル６２が載置され、大きな径の載置穴９６ｂには、大きなサイズの吸着ノズル６２が載置される。

　また、カバープレート９２にも、ベースプレート９０の複数の載置穴９６に対応して、抜穴１０２が形成されている。抜穴１０２は、円穴部１０４とスロット部１０６とによって構成されている。円穴部１０４は、円形をなし、対応する載置穴９６の段差面９８より僅かに大きな内径である。また、スロット部１０６は、円穴部１０４の縁に切り欠かれた部分であり、吸着ノズル６２の胴体筒６４の外径より僅かに大きな切欠部である。

　上記構造のノズルトレイ８８では、カバープレート９２をベースプレート９０に対してスライドさせることで、図４に示すように、抜穴１０２を介して載置穴９６の一部が露出する状態（以下、「一部露出状態」という場合がある）と、図５に示すように、抜穴１０２を介して載置穴９６の全体が露出する状態（以下、「全露出状態」という場合がある）とで切換可能である。

　詳しくは、全露出状態では、図５に示すように、載置穴９６の中心と抜穴１０２の円穴部１０４の中心とが一致しており、載置穴９６の段差面９８が完全に露出する。このため、全露出状態において、載置穴９６に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴９６から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。つまり、全露出状態において、ノズルトレイ８８に吸着ノズル６２を収容すること、若しくは、ノズルトレイ８８から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。

　一方、一部露出状態では、図４に示すように、載置穴９６の中心と抜穴１０２の円穴部１０４の中心とは一致しておらず、載置穴９６の段差面９８の一部は、カバープレート９２によって覆われている。このため、一部露出状態では、載置穴９６に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴９６から吸着ノズル６２を取り出すことができない。つまり、一部露出状態では、ノズルトレイ８８に吸着ノズル６２を収容すること、若しくは、ノズルトレイ８８から吸着ノズル６２を取り出すことができない。ただし、一部露出状態では、載置穴９６の中心と抜穴１０２のスロット部１０６の中心とは一致しており、図７に示すように、載置穴９６に載置された吸着ノズル６２の胴体筒６４は、スロット部１０６からカバープレート９２の上方に延び出している。

　また、カバープレート９２は、ベースプレート９０に対して、全露出状態と一部露出状態との間でスライド可能であり、スプリング（図示省略）によって、一部露出状態となる方向に付勢されている。つまり、通常は、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルトレイ８８からの吸着ノズル６２の取出しが禁止されている。ただし、ノズルステーション３０は、カバープレート９２を、スプリングの弾性力に抗して、全露出状態となる方向にスライドさせるプレート移動機構（図示省略）を有しており、そのプレート移動機構の作動によりカバープレート９２がスライドすることで、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルトレイ８８からの吸着ノズル６２の取出しが可能となる。なお、ノズルトレイ８８は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルステーション３０に収容された吸着ノズル６２の回収，ノズルステーション３０への吸着ノズル６２の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。

　＜装着機による装着作業＞
　装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ８６は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６２によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。

　＜ノズルステーションでの吸着ノズルの交換＞
　装着機１４では、上述したように、テープフィーダ８６によって供給された電子部品を、吸着ノズル６２によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このように構成された装着機１４では、電子部品の大きさ，種類等に応じて、吸着ノズル６２が変更される。つまり、例えば、大きな電子部品を吸着保持する際には、径の大きな吸着ノズル６２が用いられ、小さな電子部品を吸着保持する際には、径の小さな吸着ノズル６２が用いられる。このため、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２を用いる必要が有り、ノズルステーション３０には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２が収容されている。そして、装着ヘッド２６の装着ユニット６０に取り付けられている吸着ノズル６２と、ノズルステーション３０の収容されている吸着ノズル６２との交換等が、必要に応じて行われる。なお、装着ユニット６０に取り付けられている吸着ノズル６２と、ノズルステーション３０の収容されている吸着ノズル６２との交換等は、公知の手法であることから、説明は省略する。

　上述したように、ノズルステーション３０には、製造される回路基板の種類に応じて、種々の吸着ノズル６２が収容されている。このため、例えば、製造対象の回路基板の種類が変更される場合には、ノズルステーション３０からノズルトレイ８８が取り外され、ノズル管理装置を用いて、ノズルトレイ８８に収容されている吸着ノズル６２が交換される。以下に、ノズル管理装置について、詳しく説明する。

　＜ノズル管理装置の構成＞
　ノズル管理装置１１０は、図８に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ８８をノズル管理装置１１０内に収納、若しくは、ノズル管理装置１１０からノズルトレイ８８を取り出すための引出１１８が設けられている。その引出１１８の上方には、各種情報を表示するパネル１２０、情報等の入力を行うための操作スイッチ１２２等が配設されている。

　各ノズル管理装置１１０は、図９および図１０に示すように、パレット収容装置１３０、トレイ収容装置１３２、ノズル移載装置１３４、第１ノズル検査装置１３６、第２ノズル検査装置１３８、ノズル洗浄装置１４０を有している。なお、図９は、ノズル管理装置１１０の右前方からの視点におけるノズル管理装置１１０の内部構造を示す斜視図であり、図１０は、ノズル管理装置１１０の左前方からの視点におけるノズル管理装置１１０の内部構造を示す斜視図である。

　（ａ）パレット収容装置
　パレット収容装置１３０は、図１１に示すノズルパレット１５２を収容するものである。ノズルパレット１５２は、ノズルトレイ８８と同様に、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とを有しており、カバープレート１５６は、ベースプレート１５４の上にスライド可能に配設されている。ベースプレート１５４とカバープレート１５６とは、略同じ寸法とされており、カバープレート１５６がベースプレート１５４に対してスライドした状態において、ベースプレート１５４の端部に記された２Ｄコード１５７は露出する。一方、図１２に示すように、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とが全体的に重なっている状態では、２Ｄコード１５７は、カバープレート１５６によって覆われる。

　また、ベースプレート１５４の角部には、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とが配置されている。基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とは、ベースプレート１５４を貫通しており、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４との下端部は、ベースプレート１５４の下方に延び出している。なお、カバープレート１５６の角部には、切欠部１７６が形成されており、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とが全体的に重なっている状態であっても、基準ノズル１７２と基準パイプ１７４とは、露出する。

　ベースプレート１５４には、複数の載置穴１５８が形成されており、それら複数の載置穴１５８には、小さな径の載置穴１５８ａと大きな径の載置穴１５８ｂとがある。小さな径の載置穴１５８ａは、ノズルトレイ８８の小さな径の載置穴９６ａと同じ形状であり、載置穴９６ａに載置可能な吸着ノズル６２が載置される。一方、大きな径の載置穴１５８ｂは、ノズルトレイ８８の大きな径の載置穴９６ｂと略同じ形状であるが、図１１および、ノズルパレット１５２の断面図である図１３に示すように、２つの段差面１６０，１６２を有する段付形状の穴である。第１の段差面１６０の内径は、ノズルトレイ８８の大きな径の載置穴９６ｂの内径と同じであり、図１３に示すように、載置穴９６ｂに載置可能な吸着ノズル６２が載置される。第２の段差面１６２の内径は、第１の段差面１６０の内径より小さくなっており、図１４に示すように、第１の段差面１６０に載置可能な吸着ノズル６２より小さなサイズの吸着ノズル６２が載置される。なお、各段差面１６０，１６２にも、ピン（図１２参照）１６４が立設されており、吸着ノズル６２のフランジ部６６の切欠部７２と係合する。

　また、カバープレート１５６にも、ベースプレート１５４の複数の載置穴１５８に対応して、抜穴１６６が形成されている。抜穴１６６は、ノズルトレイ８８の抜穴１０２と同形状であり、円穴部１６８とスロット部１７０とによって構成されている。このため、ノズルパレット１５２でも、ノズルトレイ８８と同様に、一部露出状態と、全露出状態とで切換可能である。

　詳しくは、全露出状態では、図１２に示すように、載置穴１５８の段差面１６０等が完全に露出し、載置穴１５８に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴１５８から吸着ノズル６２を取り出すことが可能である。一方、一部露出状態では、図１１に示すように、載置穴１５８の段差面１６０等の一部は、カバープレート１５６によって覆われており、載置穴１５８に吸着ノズル６２を載置すること、若しくは、載置穴１５８から吸着ノズル６２を取り出すことができない。ただし、一部露出状態では、図１３および、図１４に示すように、載置穴１５８に載置された吸着ノズル６２の胴体筒６４は、スロット部１７０からカバープレート１５６の上方に延び出している。

　また、カバープレート１５６は、ベースプレート１５４に対して、全露出状態と一部露出状態との間でスライド可能であり、スプリング（図示省略）によって、一部露出状態となる方向に付勢されている。このため、通常は、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルパレット１５２からの吸着ノズル６２の取出しが禁止されている。ただし、ノズルトレイ８８と同様に、カバープレート１５６を、スプリングの弾性力に抗して、全露出状態となる方向にスライドさせることで、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の収容、若しくは、ノズルパレット１５２からの吸着ノズル６２の取出しが可能となる。

　パレット収容装置１３０は、上記構造のノズルパレット１５２を収容する装置である。パレット収容装置１３０は、図９および図１０に示すように、複数のパレットキャリア１８０とキャリア循環機構１８２とを有している。パレットキャリア１８０は、チャンネル形状、つまり、断面がコの字型をなす形状であり、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態で配設されている。パレットキャリア１８０の内側の側面には、レール１８３が形成されており、そのレール１８３によって、ノズルパレット１５２が保持される。なお、ノズルパレット１５２は、パレットキャリア１８０の前方から挿入されることで、パレットキャリア１８０に保持され、ノズルパレット１５２を前方に引き出すことで、パレットキャリア１８０から取り出される。

　キャリア循環機構１８２は、１対のスプロケット軸１８４を有しており、１対のスプロケット軸１８４は、前後方向に延びた状態で上下に配設されている。各スプロケット軸１８４の両端には、スプロケット１８６が取り付けられている。１対のスプロケット軸１８４の前端のスプロケット１８６同士が、チェーン１８８によって連結され、１対のスプロケット軸１８４の後端のスプロケット１８６同士が、チェーン１９０によって連結されている。

　チェーン１８８，１９０には、複数のブラケット１９２が取り付けられており、各ブラケット１９２は、チェーン１８８，１９０と直角な状態で外側に向かって延び出している。チェーン１８８に取り付けられたブラケット１９２と、チェーン１９０に取り付けられたブラケット１９２とは、それぞれの先端部において、パレットキャリア１８０を揺動可能に支持している。そして、電磁モータ（図示省略）の駆動により、スプロケット軸１８４が制御可能に回転する。このような構造により、複数のパレットキャリア１８０、つまり、パレットキャリア１８０に保持されたノズルパレット１５２は、キャリア循環機構１８２によって、ノズル管理装置１１０の内部において上下方向に循環する。なお、パレットキャリア１８０は、循環時において、常に、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態が維持されることから、パレットキャリア１８０に保持されたノズルパレット１５２は、常に、水平な状態で循環する。

　（ｂ）トレイ収容装置
　トレイ収容装置１３２は、ノズルトレイ８８を収容する装置であり、パレット収容装置１３０の前方に配設されている。トレイ収容装置１３２は、複数のトレイキャリア２００とキャリア循環機構２０２とを有している。トレイキャリア２００は、パレットキャリア１８０と同様に、チャンネル形状をなし、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態で配設されている。また、トレイキャリア２００は、内側の側面に形成されたレール２０４によって、ノズルトレイ８８を保持する。なお、ノズルトレイ８８は、トレイキャリア２００の前方から挿入されることで、トレイキャリア２００に保持され、ノズルトレイ８８を前方に引き出すことで、トレイキャリア２００から取り出される。

　キャリア循環機構２０２は、キャリア循環機構１８２と同様にスプロケット軸，スプロケット，チェーン，ブラケット（符号省略）等を有しており、キャリア循環機構１８２と同様に作動する。このため、複数のトレイキャリア２００、つまり、トレイキャリア２００に保持されたノズルトレイ８８は、キャリア循環機構２０２によって、ノズル管理装置１１０の内部において上下方向に循環する。なお、トレイキャリア２００は、循環時において、常に、チャンネル形状の開口が下方を向いた状態が維持されることから、トレイキャリア２００に保持されたノズルトレイ８８は、常に、水平な状態で循環する。

　（ｃ）ノズル移載装置
　ノズル移載装置１３４は、ノズルトレイ８８とノズルパレット１５２との間で吸着ノズル６２を移載するための装置であり、図１５に示すように、引出１１８内のテーブル２０５上に配設されている。ノズル移載装置１３４は、移載ヘッド２０６とヘッド移動装置２０７とを有している。移載ヘッド２０６の下端面には、下方を向いた状態のカメラ２０８と、吸着ノズル６２を保持するための保持チャック（図９、図１０参照）２０９とが取り付けられている。また、ヘッド移動装置２０７は、移載ヘッド２０６をテーブル２０５の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。さらに、ヘッド移動装置２０７は、保持チャック２０９をそれの軸線周りに自転させるための自転機構（図示省略）を備えており、保持チャック２０９によって保持された吸着ノズル６２を自転させることが可能である。

　また、引出１１８内のテーブル２０５には、ノズルトレイ８８をセットするための固定ステージ２１０および、可動ステージ２１２が設けられている。固定ステージ２１０は、テーブル２０５に固定されている。一方、可動ステージ２１２は、ステージ移動機構２１４によって前後方向にスライドする。ステージ移動機構２１４は、前後方向に延びるようにテーブル２０５に配設されたレール２１６を有しており、可動ステージ２１２を、レール２１６に沿って制御可能にスライドさせる。レール２１６の後端部は、キャリア循環機構２０２によって所定の位置に循環したトレイキャリア２００のレール２０４と連結する。このため、可動ステージ２１２のスライドにより、可動ステージ２１２にセットされたノズルトレイ８８をトレイキャリア２００に収納すること、および、トレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８を可動ステージ２１２上にセットすることが可能である。

　また、固定ステージ２１０および、可動ステージ２１２には、セットされたノズルトレイ８８に対して、カバープレート９２を全露出状態となる方向に移動させるためのプレート移動機構（図示省略）が設けられている。なお、図には、固定ステージ２１０にセットされたノズルトレイ８８が図示されている。

　また、引出１１８内のテーブル２０５には、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル移載装置１３４による吸着ノズル６２の移載が可能な位置（以下、「ノズル移載位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる第１パレット移動機構２１８が配設されている。第１パレット移動機構２１８は、前後方向に延びるようにテーブル２０５に配設されたレール２１９を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２１９に沿って制御可能にスライドさせる。レール２１９の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル移載位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。

　ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２の前方側には、載置プレート２２０が配設されている。載置プレート２２０には、ノズルパレット１５２のベースプレート１５４に形成された載置穴１５８と同形状の載置穴２２１が複数形成されている。複数の載置穴２２１には、載置穴１５８と同様に、大きな径の載置穴２２１と小さな径の載置穴２２１とが有り、種々のサイズの吸着ノズル６２を載置することが可能である。

　また、引出１１８内のテーブル２０５の前端部には、廃棄ボックス２２２が配設されている。廃棄ボックス２２２は、４つの空間に仕切られており、正常でないと判断された吸着ノズル６２、つまり、不良ノズルが、それら４つの空間に区別して廃棄される。なお、各廃棄ボックス２２２の底面には、図１６に示すように、緩衝シート２２３が配設されている。緩衝シート２２３は、クッション材により成形されており、廃棄ボックス２２２の底面全体を覆っている。緩衝シート２２３は、第１傾斜部２２４と平面部２２５と第２傾斜部２２６とによって構成されている。第１傾斜部２２４は、図１５に示すように、廃棄ボックス２２２内の引出１１８の内側の端部に位置しており、引出１１８の外側に向かって下降する斜面である。また、第２傾斜部２２６は、図１６に示すように、第１傾斜部２２４の反対側の端部に位置しており、第１傾斜部２２４に向かって下降する斜面である。そして、平面部２２５は、第１傾斜部２２４の下降側の端部と第２傾斜部２２６の下降側の端部とに連続する平面である。

　また、図１５に示すように、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２の隣には、ブロー装置２２７が配設されている。ブロー装置２２７は、吸着ノズル６２の乾燥を行うものであり、図１７に示すように、筒状の本体部２２８と、本体部２２８の側面に形成されたエア噴出孔２２９と、エア噴出孔２２９に接続されるエア噴出装置（図示省略）とによって構成されている。

　（ｄ）第１ノズル検査装置
　第１ノズル検査装置１３６は、吸着ノズル６２の先端部、つまり、吸着管６８の状態の検査（以下、「先端部検査」と略す場合がある）と、吸着ノズル６２の先端部を後退させるために必要な力、つまり、吸着管６８を胴体筒６４の内部に向かって後退させるために必要な力の検査（以下、「後退力検査」と略す場合がある）とを実行する装置であり、ノズル移載装置１３４の下方に配設されている。

　第１ノズル検査装置１３６は、図１８に示すように、検査ユニット２３０とユニット移動装置２３２とを有している。検査ユニット２３０は、基台２３４とカメラ装置２３６と荷重測定装置２３８とを有している。カメラ装置２３６は、上方を向いた状態で基台２３４の上に配設されている。荷重測定装置２３８は、ロードセル２４０および押当金具２４２を有しており、ロードセル２４０および押当金具２４２は、基台２３４の上に露出した状態で配設されている。

　ユニット移動装置２３２は、固定ビーム２５０と可動ビーム２５２と第１スライダ２５４と第２スライダ２５６を有している。固定ビーム２５０は、ノズル管理装置１１０の躯体に、前後方向に延びるように配設されている。可動ビーム２５２は、左右方向に延びるように固定ビーム２５０に支持されており、前後方向にスライド可能である。その可動ビーム２５２は、第１移動機構２５８の作動により、前後方向の任意の位置に移動する。第１スライダ２５４は、可動ビーム２５２に左右方向にスライド可能に支持されており、第２移動機構２６０の作動により、左右方向の任意の位置に移動する。第２スライダ２５６は、第１スライダ２５４に上下方向にスライド可能に支持されており、第３移動機構２６２の作動により、上下方向の任意の位置に移動する。その第２スライダ２５６の上端に、検査ユニット２３０の基台２３４が固定されている。これにより、ユニット移動装置２３２は、検査ユニット２３０を、上下、左右、前後方向の任意の位置に移動させるＸＹＺ型移動装置として機能する。

　また、第１ノズル検査装置１３６の上方には、第２パレット移動機構２６６が配設されている。第２パレット移動機構２６６は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第１ノズル検査装置１３６による先端部検査および後退力検査を行うことが可能な位置（以下、「第１検査位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第２パレット移動機構２６６は、前後方向に延びるように配設されたレール２６８を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２６８に沿って制御可能にスライドさせる。レール２６８の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第１検査位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、第１検査位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。

　（ｅ）第２ノズル検査装置
　第２ノズル検査装置１３８は、吸着ノズル６２内を流れるエアの流量の検査（以下、「エア流量検査」と略す場合がある）と、吸着ノズル６２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４の読み取り検査（以下、「コード読取検査」と略す場合がある）とを実行する装置であり、第１ノズル検査装置１３６の下方に配設されている。

　第２ノズル検査装置１３８は、図１９に示すように、検査ヘッド２７０とヘッド移動装置２７２とを有している。検査ヘッド２７０は、カメラ２７４とエア供給装置２７６とを有している。カメラ２７４は、下方を向いた状態で検査ヘッド２７０の下端部に取り付けられている。エア供給装置２７６は、エアジョイント２７８と空気圧センサ２８０とジョイント昇降機構２８２とを有している。エアジョイント２７８は、エア流量検査実行時に吸着ノズル６２の胴体筒６４に接続されるものであり、エアジョイント２７８を介して、エア流量検査実行時に吸着ノズル６２にエアが供給される。空気圧センサ２８０は、エアジョイント２７８の上端部に設けられており、吸着ノズル６２に供給されるエア圧を測定する。ジョイント昇降機構２８２は、エアジョイント２７８を、空気圧センサ２８０とともに昇降させる。

　ヘッド移動装置２７２は、可動ビーム２８４とスライダ２８６とを有している。可動ビーム２８４は、上述した第１ノズル検査装置１３６の固定ビーム２５０によって、左右方向に延びるように支持されており、前後方向にスライド可能である。その可動ビーム２８４は、第１移動機構２８８の作動により、前後方向の任意の位置に移動する。スライダ２８６は、可動ビーム２８４に左右方向にスライド可能に支持されており、第２移動機構２９０の作動により、左右方向の任意の位置に移動する。そのスライダ２８６の側面に、検査ヘッド２７０が固定されている。これにより、ヘッド移動装置２７２は、検査ヘッド２７０を、上下、左右方向の任意の位置に移動させるＸＹ型移動装置として機能する。

　また、第２ノズル検査装置１３８の下方には、第３パレット移動機構２９６が配設されている。第３パレット移動機構２９６は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第２ノズル検査装置１３８によるエア流量検査およびコード読取検査を行うことが可能な位置（以下、「第２検査位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第３パレット移動機構２９６は、前後方向に延びるように配設されたレール２９８を有しており、ノズルパレット１５２を、レール２９８に沿って制御可能にスライドさせる。レール２９８の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、第２検査位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、第２検査位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。

　（ｆ）ノズル洗浄装置
　ノズル洗浄装置１４０は、吸着ノズル６２の洗浄および乾燥を行う装置であり、第２ノズル検査装置１３８の下方に配設されている。ノズル洗浄装置１４０は、図２０に示すように、ハウジング３００を有しており、ハウジング３００内で、吸着ノズル６２の洗浄および乾燥が行われる。ノズル洗浄装置１４０の構造を説明するべく、ハウジング３００を除いたノズル洗浄装置１４０を、図２１に示す。

　ノズル洗浄装置１４０は、図２１に示すように、ノズル洗浄機構３０２とノズル乾燥機構３０４とを有している。ノズル洗浄機構３０２は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８とによって構成されている。上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８とは、略同じ構造であり、上下方向において、互いに向かい合うように配置されている。各ユニット３０６，３０８は、支持フレーム３１０と噴射ノズル３１２と噴射ノズル移動機構３１４とを有している。

　上部洗浄ユニット３０６の支持フレーム３１０ａは、ハウジング３００の上面に固定されており、下部洗浄ユニット３０８の支持フレーム３１０ｂは、ハウジング３００内の下面に固定されている。上部洗浄ユニット３０６の噴射ノズル３１２ａは、左右方向に延びるようにハウジング３００内の上端部に配設されており、支持フレーム３１０ａによって、ハウジング３００の上面を介して、前後方向にスライド可能に支持されている。その噴射ノズル３１２ａは、上部洗浄ユニット３０６の噴射ノズル移動機構３１４ａにより、前後方向に制御可能にスライドする。下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２ｂは、左右方向に延びるようにハウジング３００内の下端部に配設されており、支持フレーム３１０ｂによって、ハウジング３００の下面を介して、前後方向にスライド可能に支持されている。その噴射ノズル３１２ｂは、下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル移動機構３１４ｂにより、前後方向に制御可能にスライドする。なお、噴射ノズル３１２ａの下面には、複数の噴射穴（図示省略）が形成されており、噴射ノズル３１２ｂの上面には、複数の噴射穴３１６が形成されている。

　ノズル乾燥機構３０４は、ノズル洗浄機構３０２の後方に配設されており、複数の送風管３２０を有している。複数の送風管３２０は、ハウジング３００の上面および下面に、左右方向に延びるように配設されている。送風管３２０は、送風装置（図示省略）に加温器（図示省略）を介して接続されており、送風管３２０には、温風が吹き込まれる。また、送風管３２０には、ハウジング３００への取付部に複数の送風穴（図示省略）が形成されており、送風穴に対応して、ハウジング３００の上面および下面には、貫通穴が形成されている。これにより、ハウジング３００には、ノズル乾燥機構３０４によって、温風が吹き込まれる。

　また、ハウジング３００内には、第４パレット移動機構３３０が配設されている。第４パレット移動機構３３０は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、ノズル洗浄機構３０２による吸着ノズル６２の洗浄を行うことが可能な位置（以下、「洗浄位置」と略す場合がある）との間で、ノズルパレット１５２を移動させる機構である。詳しくは、第４パレット移動機構３３０は、前後方向に延びるようにハウジング３００の内壁面に配設されたレール３３２を有しており、ノズルパレット１５２を、レール３３２に沿って制御可能にスライドさせる。レール３３２の前端部は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８との間に位置している。一方、レール３３２の後端部は、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環したパレットキャリア１８０のレール１８３と連結する。このため、キャリア循環機構１８２によって所定の位置に循環されたパレットキャリア１８０と、洗浄位置との間で、ノズルパレット１５２を移動させることが可能である。なお、図には、洗浄位置に移動したノズルパレット１５２が図示されている。

　さらに、ハウジング３００の底面は、貯水タンクとして機能しており、ハウジング３００の底面に貯留された洗浄水が、循環され、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２に供給される。詳しくは、図２２に示すように、ハウジング３００の底面には、洗浄水３３８が貯留されており、その底面には、排水路３４０の一端が開口している。排水路３４０は、下方に向かって延設されており、排水路３４０には、不純物を取り除くためのフィルタ３４２が配設されている。これにより、ハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水３３８が、排水路３４０に流れ込み、フィルタ３４２によって、不純物が取り除かれる。この際、洗浄水３３８は、重力によって、流れることから、ハウジング３００の底面から洗浄水を流すためのポンプ等を設ける必要がない。

　不純物の取り除かれた洗浄水３３８は、加圧ポンプ３４４に送り込まれ、加圧ポンプ３４４によって、給水路３４６に送り出される。その給水路３４６は、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２に接続されており、噴射ノズル３１２から洗浄水３３８が噴出される。また、下部洗浄ユニット３０８とハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水３３８との間には、仕切板３４８が配設されている。仕切板３４８は、傾斜した状態で配設されており、その仕切板３４８の上面には、シート状のスポンジ３５０が固着されている。このため、噴射ノズル３１２から噴出された洗浄水３３８は、仕切板３４８上に落ちる。この際、仕切板３４８上面に配設されたスポンジ３５０によって、洗浄水３３８の跳ね返りが防止される。そして、洗浄水３３８は、傾斜した状態で配設された仕切板３４８上を流れ、ハウジング３００の底面に再貯留される。このように、ノズル洗浄装置１４０では、洗浄水３３８の循環が行われている。なお、下部洗浄ユニット３０８の下方に配設されている仕切板３４８は、ノズル乾燥機構３０４の下方にまで延び出している。

　＜ノズル管理装置による吸着ノズルの管理＞
　上記構成のノズル管理装置１１０では、ノズルトレイ８８に搭載された吸着ノズル６２のノズル管理装置１１０への収納作業、第１ノズル検査装置１３６による吸着ノズル６２の検査作業、第２ノズル検査装置１３８による吸着ノズル６２の検査作業、吸着ノズル６２の洗浄・乾燥作業、検査作業および洗浄・乾燥作業の完了した吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への搭載作業、不良ノズルの廃棄作業が行われる。以下に、各作業実行時におけるノズル管理装置１１０の作動態様について説明する。

　（ａ）吸着ノズルのノズル管理装置への収納作業
　吸着ノズル６２のノズル管理装置１１０への収納作業時において、図１５に示すように、作業者は、吸着ノズル６２が搭載されたノズルトレイ８８を、ノズル管理装置１１０の引出１１８内の固定ステージ２１０、若しくは、可動ステージ２１２にセットする。なお、可動ステージ２１２にノズルトレイ８８がセットされる際には、作業者が、ノズルトレイ８８を可動ステージ２１２にセットしてもよく、トレイキャリア２００に収容されているノズルトレイ８８を、ステージ移動機構２１４によって、可動ステージ２１２にセットしてもよい。また、ノズル管理装置１１０では、キャリア循環機構１８２の作動により、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２１８に対応する位置に移動する。

　続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２１８の作動により、ノズル移載位置に移動する。次に、ノズル移載位置に移動したノズルパレット１５２および、固定ステージ２１０若しくは、可動ステージ２１２にセットされたノズルトレイ８８が、プレート移動機構により、全露出状態とされる。続いて、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ノズルトレイ８８および、ノズルパレット１５２の上方に移動し、ノズルトレイ８８，ノズルパレット１５２の各々の２Ｄコード９４，１５７が、カメラ２０８によって撮像される。これにより、ノズルトレイ８８および、ノズルパレット１５２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。

　続いて、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ノズルトレイ８８の上方に移動し、移載対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４が、カメラ２０８によって撮像される。これにより、移載対象の吸着ノズル６２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。そして、移載対象の吸着ノズル６２が、保持チャック２０９によって保持される。

　移載対象の吸着ノズル６２が保持チャック２０９に保持されると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、吸着ノズル６２の移載先となるノズルパレット１５２の上方に移動し、保持された吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２の載置穴１５８に載置される。これにより、吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８からノズルパレット１５２に移載される。なお、吸着ノズル６２移載時には、移載先のノズルパレット１５２のＩＤナンバーと、移載された吸着ノズル６２のＩＤナンバーと、移載先のノズルパレット１５２の移載位置とが関連付けて記憶される。

　また、吸着ノズル６２が移載される際に、移載先のノズルパレット１５２の載置穴１５８に空きが無い場合、つまり、全ての載置穴１５８に吸着ノズル６２が載置されている場合には、吸着ノズル６２を保持した保持チャック２０９が、ヘッド移動装置２０７の作動により、載置プレート２２０の上方に移動し、吸着ノズル６２は、載置プレート２２０の載置穴２２１に仮載置される。

　そして、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載が完了すると、そのノズルパレット１５２は、第１パレット移動機構２１８の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。これにより、吸着ノズル６２のノズル管理装置１１０への収納作業が終了する。

　なお、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載により、空となったノズルトレイ８８は、固定ステージ２１０または可動ステージ２１２から、作業者により回収される。若しくは、ノズルトレイ８８が可動ステージ２１２にセットされている場合には、ノズルパレット１５２への吸着ノズル６２の移載により、空となったノズルトレイ８８を、ステージ移動機構２１４の作動により、トレイキャリア２００に収容することも可能である。

　（ｂ）第１ノズル検査装置による吸着ノズルの検査作業
　吸着ノズル６２の検査作業において、第１ノズル検査装置１３６によって、先端部検査が行われる際には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、図１８に示すように、第２パレット移動機構２６６に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、検査対象の吸着ノズル６２が収容されている。

　続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第２パレット移動機構２６６の作動により、第１検査位置に移動する。そして、検査ユニット２３０のカメラ装置２３６が、ユニット移動装置２３２によって、検査対象の吸着ノズル６２の下方に移動し、検査対象の吸着ノズル６２の吸着管６８が、カメラ装置２３６によって撮像される。これにより、吸着ノズル６２の吸着管６８の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着管６８の状態が検査される。撮像データに基づく検査により、吸着管６８の曲がり，先端欠け，先端潰れ等の異常が発見された場合には、第１ノズル検査装置１３６の検定が行われる。

　詳しくは、撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見された場合には、カメラ装置２３６が、ユニット移動装置２３２によって、ノズルパレット１５２の基準パイプ１７４の下方に移動し、基準パイプ１７４が、カメラ装置２３６によって撮像される。そして、その撮像データに基づいて、基準パイプ１７４の状態が検査される。基準パイプ１７４の下端部には、正常な吸着管６８が取り付けられており、第１ノズル検査装置１３６が正常であれば、当然、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査において、基準パイプ１７４の吸着管６８は、正常であると判断される。このため、検査対象の吸着ノズル６２の撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見され、さらに、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査により吸着管６８が正常であると判断された場合に、検査対象の吸着ノズル６２の吸着管６８の異常発生が確定し、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定される。一方、検査対象の吸着ノズル６２の撮像データに基づく検査により吸着管６８の異常が発見され、さらに、基準パイプ１７４の撮像データに基づく検査により吸着管６８が異常であると判断された場合には、第１ノズル検査装置１３６が正常な検査を行うことができないとみなされ、検査対象の吸着ノズル６２は不良ノズルと認定されない。

　また、第１ノズル検査装置１３６によって、後退力検査が行われる際には、吸着ノズル６２の吸着管６８の先端部をロードセル２４０に接触させ、吸着ノズル６２の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって後退するように、ロードセル２４０が移動させられる。この際、ロードセル２４０によって検出される荷重は、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動時に生じる荷重であり、吸着管６８の胴体筒６４内への後退力である。この荷重は、比較的小さいため、ロードセル２４０は高感度のものが採用されているが、胴体筒６４と吸着管６８とが相対移動しない場合には、ロードセル２４０が破損する虞がある。

　詳しくは、例えば、吸着ノズル６２内に不純物等が侵入し、胴体筒６４と吸着管６８との固着により、胴体筒６４と吸着管６８とが殆ど相対移動しない場合がある。このような吸着ノズル６２が、例えば、測定範囲が０～１００ｇｆのロードセル２４０に押し当てられると、胴体筒６４と吸着管６８とが殆ど相対移動しないため、ロードセル２４０を移動させる荷重が１００ｇｆ以上である場合には、１００ｇｆ以上の荷重が、ロードセル２４０にかかり、ロードセル２４０が破損する虞がある。このため、ロードセル２４０を１００ｇｆより小さな荷重で移動させる必要がある。しかしながら、ロードセル２４０が配設されている検査ユニット２３０は、比較的大きく、高重量であるため、検査ユニット２３０を移動させる際の慣性力が大きく、検査ユニット２３０を１００ｇｆより小さな荷重で移動させることが困難である。

　このようなことに鑑みて、第１ノズル検査装置１３６では、押当金具２４２を用いて、吸着ノズル６２の胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態が確認され、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態が良好な吸着ノズル６２に対して、ロードセル２４０を用いた後退力検査が行われる。具体的には、検査ユニット２３０上に配設された押当金具２４２が、ユニット移動装置２３２によって、検査対象の吸着ノズル６２の下方に移動し、吸着ノズル６２の吸着管６８の下端部に当接するように、検査ユニット２３０が上方に移動する。この際、吸着ノズル６２の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって後退するように、検査ユニット２３０は上方に移動する。

　検査ユニット２３０の上方への移動により、吸着管６８が押当金具２４２によって上方に押され、吸着管６８が、胴体筒６４の内部に第１設定量、後退した場合には、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好であると判断される。一方、吸着管６８が押当金具２４２によって上方に押されても、吸着管６８が、胴体筒６４の内部に第１設定量、後退しない場合には、胴体筒６４と吸着管６８とが固着しており、それらの相対移動の状態は良好でないと判断される。

　なお、吸着ノズル６２の吸着管６８に押し付けられる押当金具２４２は剛体であり、破損し難いため、ある程度大きな荷重で、検査ユニット２３０を上方に移動させることが可能である。ただし、胴体筒６４と吸着管６８とが固着しており、それらが相対移動しない場合の吸着ノズル６２の破損を防止するべく、検査ユニット２３０を上方に移動させる際の荷重は、吸着ノズル６２を軸線方向に押しつけた際に吸着ノズル６２が破損する荷重より小さな値に設定されている。

　押当金具２４２を用いて、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好であると判断された吸着ノズル６２は、ロードセル２４０を用いて後退力が測定される。一方、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好でないと判断された吸着ノズル６２は、ロードセル２４０を用いた後退力の測定が実行されない。これにより、ロードセル２４０に測定範囲を超える荷重がかかる虞のある吸着ノズル６２の測定を回避することが可能となり、ロードセル２４０の破損を防止することが可能となる。また、胴体筒６４と吸着管６８とを相対移動させる方向に、吸着ノズル６２に比較的大きな荷重がかけられることから、不純物等により胴体筒６４と吸着管６８とが固着していても、荷重の負荷により不純物が取り除かれる場合がある。つまり、胴体筒６４と吸着管６８とが殆ど相対移動しない吸着ノズル６２が、荷重の負荷により、相対移動可能となり、修復される場合がある。

　次に、胴体筒６４と吸着管６８との相対移動の状態は良好であると判断された場合には、その吸着ノズル６２の下方に、検査ユニット２３０上に配設されたロードセル２４０が、ユニット移動装置２３２によって移動し、吸着ノズル６２の吸着管６８の下端部に当接するように、検査ユニット２３０が上方に移動する。この際、吸着ノズル６２の吸着管６８が、胴体筒６４の内部に向かって後退する際に、吸着管６８の後退力がロードセル２４０によって測定される。ただし、吸着ノズル６２には、上述したように、バネが内蔵された吸着ノズル（以下、「バネ内蔵ノズル」と記載する場合がある）と、バネが内蔵されていない吸着ノズル（以下、「バネ無しノズル」と記載する場合がある）とがあり、バネ内蔵ノズルとバネ無しノズルとは、異なる手法により後退力が測定される。

　具体的には、例えば、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の下端部にロードセル２４０を当接させて、検査ユニット２３０を上方に移動させることで、吸着管６８が胴体筒６４の内部に第１設定量、後退する際のロードセル２４０の測定値、つまり、荷重の変化を図２３に示す。図中の実線で示されるグラフは、異物の混入、破損等により、吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって後退し難くなっている吸着ノズル（以下、「不良ノズル」と記載する場合がある）に対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示している。一方、点線で示されるグラフは、吸着管６８が胴体筒６４の内部に向かって正常に後退する吸着ノズル（以下、「正常ノズル」と記載する場合がある）に対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示している。

　図から解るように、検査ユニット２３０の上方への移動により、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の先端に、ロードセル２４０が接触した際に、ロードセル２４０の測定値は急激に大きくなる。この際のロードセル２４０の測定値は、大幅に上昇した後に減少し、概ね一定の値に収束する。これは、バネ内蔵ノズルの吸着管６８には、弾性力が付与されているため、ロードセル２４０が、吸着管６８に衝突した際に、ロードセル２４０に大きな荷重がかかるためである。このような衝突時の荷重は、吸着管６８が実際に後退する際に生じる荷重より大幅に大きくなるため、判定対象の測定値に含めることは好ましくない。このようなことに鑑みて、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の後退力を検査する際には、ロードセル２４０の測定値から吸着管６８のロードセル２４０への衝突時の測定値を除いた値が抽出される。

　詳しくは、ロードセル２４０の測定値が、予め設定された設定値を超えるタイミングがモニタリングされる。この設定値は、正常ノズルの吸着管６８を胴体筒６４内に後退させるために必要な荷重より小さな値に設定されている。そして、ロードセル２４０の測定値が設定値を超えたタイミング（ｔ_１）から所定時間Ｔ経過したタイミング（ｔ_２＝ｔ_１＋Ｔ）において、測定値の抽出を開始する。具体的には、所定時間継続して測定値の抽出を行う。そして、抽出された荷重から最大荷重と最小荷重とを除いて、平均値を演算する。なお、所定時間継続した測定値の抽出は、吸着管６８が胴体筒６４の内部に第１設定量、後退する迄に、Ｎ回実行される。つまり、抽出された荷重の平均値がＮ個、演算される。そして、Ｎ個の演算値のうちの最大の演算値が、許容値を超えているか否かが判定される。判定の結果、最大の演算値が許容値を超えている場合には、検査対象のバネ内蔵ノズルが不良ノズルであると判定され、最大の演算値が許容値以下である場合には、検査対象のバネ内蔵ノズルが正常ノズルであると判定される。このように、ロードセル２４０の測定値から吸着管６８のロードセル２４０への衝突時の測定値を除いた値を用いることで、バネ内蔵ノズルの吸着管６８の後退力の検査を適切に行うことが可能となる。

　一方、バネ無しノズルの吸着管６８の下端部にロードセル２４０を当接させて、検査ユニット２３０を上方に移動させることで、吸着管６８が胴体筒６４の内部に第１設定量、後退する際のロードセル２４０の測定値、つまり、荷重の変化を図２４に示す。図中の実線で示されるグラフは、不良ノズルに対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示しており、点線で示されるグラフは、正常ノズルに対するロードセル２４０の測定値の時間的変化を示している。

　図から解るように、検査ユニット２３０の上方への移動により、バネ無しノズルの吸着管６８の先端に、ロードセル２４０が接触した際に、ロードセル２４０の測定値は急激に大きくなる。ただし、バネ無しノズルの吸着管６８には、弾性力が付与されていないため、ロードセル２４０が吸着管６８に衝突した際の荷重と、吸着管６８が後退する際の荷重とは、殆ど同じである。このため、バネ無しノズルの吸着管６８の後退力を検査する際には、ロードセル２４０の測定値が設定値を超えたタイミングにおいて、測定値の抽出を開始する。なお、バネ無しノズルにおける測定値の抽出手法は、バネ内蔵ノズルにおける測定値の抽出手法と同じである。そして、抽出された測定値に基づいて、バネ内蔵ノズルと同様に、Ｎ個の荷重の平均値が演算され、Ｎ個の演算値のうちの最大の演算値が、許容値を超えているか否かが判定される。これにより、バネ無しノズルにおいても、適切に吸着管６８の後退力の検査を適切に行うことが可能となる。

　上述した吸着管６８の先端部検査と後退力検査の作業が完了すると、ノズルパレット１５２は、第２パレット移動機構２６６の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。なお、検査作業の結果は、検査対象の吸着ノズル６２のＩＤナンバーと関連付けて記憶される。

　（ｃ）第２ノズル検査装置による吸着ノズルの検査作業
　吸着ノズル６２の検査作業において、第２ノズル検査装置１３８によって、エア流量検査が行われる際には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、図１９に示すように、第３パレット移動機構２９６に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、検査対象の吸着ノズル６２が収容されている。

　続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第３パレット移動機構２９６の作動により、第２検査位置に移動する。そして、検査ヘッド２７０のエア供給装置２７６が、ヘッド移動装置２７２によって、検査対象の吸着ノズル６２の上方に移動する。エア供給装置２７６は、ジョイント昇降機構２８２によって、エアジョイント２７８を下降させ、検査対象の吸着ノズル６２の胴体筒６４と接続させる。エアジョイント２７８が胴体筒６４と接続すると、エア供給装置２７６は、接続された胴体筒６４にエアを供給する。そして、エア供給時のエア圧が、空気圧センサ２８０によって測定され、そのエア圧が、第１閾圧より大きいか否かが判断される。正常な吸着ノズル６２にエアが供給される際には、吸着ノズル６２内をエアが通り抜けていくため、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は、比較的低い。一方、詰まり等の生じた吸着ノズル６２にエアが供給される際には、吸着ノズル６２内をエアが通り抜け難いため、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は、比較的高くなる。このため、空気圧センサ２８０によって測定されたエア圧が第１閾圧より大きい吸着ノズル６２は、不良ノズルと認定される。

　なお、エア流量検査では、不良ノズルの認定だけでなく、不良ノズルとなる可能性の高い吸着ノズル６２、つまり、劣化の進んだ吸着ノズル（以下、「劣化ノズル」と略す場合がある）の認定も行われる。詳しくは、第１閾圧より低い圧力の第２閾圧が設定されている。そして、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧が、第２閾圧より大きいか否かが判断され、そのエア圧が第２閾圧より大きい吸着ノズル６２が、劣化ノズルと認定される。つまり、不良ノズルほどではないが、ある程度、吸着ノズル６２内をエアが通り抜け難い吸着ノズル６２が、劣化ノズルと認定される。

　ちなみに、エア流量検査時には、コンプレッサ（図示省略）からエア供給装置２７６に送り出されたエアが吸着ノズル６２に供給されるが、コンプレッサの作動状況に応じて、空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧は変化する。このため、エア流量検査が行われる前には、基準パイプ１７４にエアを供給し、その際に空気圧センサ２８０によって測定されるエア圧に基づいて、第１閾圧および第２閾圧の設定が行われる。

　また、コード読取検査が行われる際には、検査ヘッド２７０のカメラ２７４が、ヘッド移動装置２７２によって、検査対象の吸着ノズル６２の上方に移動し、検査対象の吸着ノズル６２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４が、カメラ２７４によって撮像される。これにより、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データが得られ、通常は、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６２のＩＤナンバー等の固有情報が得られる。しかし、２Ｄコード７４に汚れ等が付着していると、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報が得られない場合がある。このため、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない吸着ノズル６２は、不良ノズルと認定されることが好ましい。

　ただし、２Ｄコード７４に汚れ等が付着していなくても、カメラ２７４等に異常が発生している場合にも、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない虞がある。このため、撮像データに基づいて、吸着ノズル６２の固有情報を取得できない場合には、カメラ２７４等の検定が行われる。

　詳しくは、カメラ２７４により基準ノズル１７２のフランジ部６６に記された２Ｄコード７４を撮像し、その撮像データに基づいて、基準ノズル１７２の固有情報が取得されるか否かを判定する。基準ノズル１７２の２Ｄコード７４には、汚れ等は付着しておらず、カメラ２７４等に異常が発生していない限り、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、基準ノズル１７２の固有情報は取得される。このため、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報を取得できず、さらに、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報が取得された場合に、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定される。一方、検査対象の吸着ノズル６２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報を取得できず、さらに、基準ノズル１７２の２Ｄコード７４の撮像データに基づいて、固有情報が取得されない場合には、カメラ２７４等に異常が発生しているとみなされ、検査対象の吸着ノズル６２が不良ノズルと認定されない。

　（ｄ）吸着ノズルの洗浄・乾燥作業
　吸着ノズル６２の洗浄・乾燥作業時には、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、図２０及び図２１に示すように、第４パレット移動機構３３０に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、洗浄対象の吸着ノズル６２が収容されている。

　続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第４パレット移動機構３３０の作動により、洗浄位置に移動する。そして、上部洗浄ユニット３０６と下部洗浄ユニット３０８との各々の噴射ノズル３１２に高圧水が供給され、その高圧水が、噴射ノズル３１２の噴射穴３１６から、ノズルパレット１５２に向かって、吹きつけられる。この際、噴射ノズル３１２は、噴射ノズル移動機構３１４によって前後方向、つまり、ノズルパレット１５２に収納されている吸着ノズル６２の軸線に交わる方向に移動する。これにより、ノズルパレット１５２に収容されている全ての吸着ノズル６２に、高圧水が吹きつけられ、吸着ノズル６２の洗浄が行われる。

　ただし、吸着ノズル６２の吸着管６８の先端部にはんだ等の粘性流体が付着している場合には、単に高圧水を吸着管６８に向かって噴出するだけでは、粘性流体等の付着物を吸着管６８から除去できない虞がある。特に、吸着管６８の径が先端部に向かうほど大きくなる吸着ノズル６２では、粘性流体等の付着物を吸着管６８から除去し難い。詳しくは、吸着管６８の径が先端部に向かうほど大きくなる吸着ノズル６２では、図２５に示すように、高圧水が、下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２から、ノズルパレット１５２に収納されている吸着ノズル６２の吸着管６８に向かって吹きつけられると、高圧水は、吸着管６８の下端面に直接、当たる。このため、吸着管６８の下端面に付着している付着物３６０は、高圧水により、除去され易い。しかしながら、吸着管６８の先端部の外側の側面の付着物３６０には、高圧水は、直接、当たらない。これは、吸着管６８の径が先端部に向かうほど大きいため、吸着管６８の下端面と外側の側面とのなす角度が鋭角となり、下方から噴射される高圧水が、吸着管６８の先端部の外側の側面に届かないためである。このため、単に高圧水を吸着管６８に向かって噴出するだけでは、吸着管６８の外側の側面の付着物３６０を適切に除去できない虞がある。

　このようなことに鑑みて、ノズルパレット１５２の下面には、図２６に示すように、吸着ノズル６２の吸着管洗浄用のソケット３７０が固定されている。詳しくは、ソケット３７０は、概して直方体形状とされており、ソケット３７０には、上下方向に貫通する貫通穴３７１が形成されている。貫通穴３７１の内径は、吸着ノズル６２の吸着管６８の外径より大きくされており、貫通穴３７１内に吸着管６８の先端部が挿入されるように、ソケット３７０がノズルパレット１５２の下面に固定されている。貫通穴３７１の内周面は、第１内周面３７２と第２内周面３７４とによって構成されている。第１内周面３７２は、上下方向において内径の変化しない内周面であり、貫通穴３７１の内周面の下方側に位置している。一方、第２内周面３７４は、上方に向かうほど内径の小さくなるテーパ状の内周面であり、第１内周面３７２の上端から連続している。なお、貫通穴３７１内に挿入されている吸着管６８の先端の側方には、第２内周面３７４が位置している。また、第２内周面３７４の上方には、ソケット３７０の外壁面に延び出す排水路３７６が形成されている。

　このような構造のソケット３７０の貫通穴３７１内に挿入された吸着管６８に向かって、下部洗浄ユニット３０８の噴射ノズル３１２から高圧水が噴射されると、図２７に示すように、噴射ノズル３１２から噴出された高圧水は、当然、吸着管６８の下端面に、直接当たる。また、噴射ノズル３１２から噴出された高圧水は、第２内周面３７４に衝突し、吸着ノズル６２の外側の側面に当たる。つまり、噴射ノズル３１２から噴出される高圧水の噴出方向が、第２内周面３７４によって変更され、高圧水が、吸着ノズル６２の外側の側面に当たる。これにより、吸着管６８の下端面だけでなく、外側の側面に付着した付着物３６０を適切に除去することが可能となる。なお、ソケット３７０の貫通穴３７１内に向かって噴射された高圧水は、吸着管６８を洗浄した後に、排水路３７６を経由して、ソケット３７０の外壁面から排出される。

　また、吸着ノズル６２の洗浄時には、上述したように、噴射ノズル３１２は、噴射ノズル移動機構３１４によって前後方向に移動する。これにより、吸着管６８の先端部の全域に高圧水を当てることが可能となり、吸着管６８の先端部から付着物３６０を確実に除去することが可能となる。詳しくは、噴射ノズル３１２の複数の噴射穴３１６は、直線状に配設されており、それら複数の噴射穴３１６から高圧水が、面状に噴射される。そして、面状に噴射される高圧水が、ソケット３７０の貫通穴３７１を径方向に向かって縦断するように、噴射ノズル３１２が噴射ノズル移動機構３１４によって移動する。面状に噴射される高圧水が、ソケット３７０の貫通穴３７１を径方向に向かって縦断する際に、高圧水が、ソケット３７０若しくは吸着ノズル６２の吸着管６８に当たる箇所が変化する様子を、図２８～図３１に示す。なお、図２８～図３１は、貫通穴３７１内に吸着管６８を挿入させた状態のソケット３７０を下方からの視点において示す図である。また、図中の実線で示された記号３７７は、噴射ノズル３１２から噴出された高圧水が直接、ソケット３７０、若しくは、吸着管６８に当たる箇所を示す記号であり、点線で示された記号３７８は、第２内周面３７４によって噴出方向が変更した高圧水、つまり、第２内周面３７４によって反射した高圧水が、吸着管６８に当たる箇所を示す記号である。

　まず、高圧水が貫通穴３７１の径方向における一端部に向かって噴射されている際には、図２８に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の径方向における一端部側の外側の側面に当たる。そして、噴射ノズル３１２が、貫通穴３７１の径方向における他端部に向かって移動すると、図２９に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の図２８とは異なる箇所の外側の側面に当たる。さらに、噴射ノズル３１２が、貫通穴３７１の径方向における他端部に向かって移動すると、図３０に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の図２９とは異なる箇所の外側の側面に当たる。また、噴射ノズル３１２から噴射された高圧水は、吸着管６８の下端面に当たる。さらに、噴射ノズル３１２が、貫通穴３７１の径方向における他端部に向かって移動すると、図３１に示すように、第２内周面３７４によって反射した高圧水は、吸着管６８の図３０とは異なる箇所の外側の側面に当たる。また、噴射ノズル３１２から噴射された高圧水は、吸着管６８の図３０とは異なる箇所の下端面に当たる。このように、面状に噴射される高圧水が、ソケット３７０の貫通穴３７１を径方向に向かって縦断するように、噴射ノズル３１２を移動させることで、吸着管６８の下端面の全域および、外側の側面の全域に高圧水を当てることが可能となり、吸着管６８の先端部から付着物３６０を確実に除去することが可能となる。

　次に、吸着ノズル６２の洗浄が終了すると、ノズルパレット１５２は、第４パレット移動機構３３０によって、ノズル乾燥機構３０４の配設位置（以下、「乾燥位置」と略す場合がある）に移動する。そして、送風管３２０に温風が供給され、ノズルパレット１５２に収容されている吸着ノズル６２に温風が吹きつけられる。これにより、高圧水により洗浄された吸着ノズル６２の乾燥が行われる。なお、温風の吹き付けによる吸着ノズル６２の乾燥は、ハウジング３００内で行われるが、ハウジング３００の底面は、上述したように、貯留タンクとして機能しており、ノズル洗浄機構３０２で用いられる洗浄水が貯留されている。このため、温風の吹き付けにより、ハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水が巻き上がり、吸着ノズル６２に洗浄水が、再付着する虞がある。しかしながら、乾燥位置に位置しているノズルパレット１５２と、ハウジング３００の底面に貯留されている洗浄水との間には、上述したように、仕切板３４８が配設されており、洗浄水の巻き上げが防止されている。これにより、吸着ノズル６２乾燥時における洗浄水の吸着ノズル６２への再付着を防止することが可能となる。

　そして、吸着ノズル６２の乾燥作業が完了すると、ノズルパレット１５２は、第４パレット移動機構３３０の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。なお、洗浄・乾燥作業の終了した吸着ノズル６２に関しては、その吸着ノズル６２のＩＤナンバーと、洗浄・乾燥作業が完了している旨の情報とが関連付けて記憶される。

　（ｅ）ノズル管理装置によるノズルトレイへの搭載作業
　ノズル管理装置１１０に収納されている吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への搭載作業時には、図１５に示すように、作業者が、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルトレイ８８を、固定ステージ２１０または可動ステージ２１２にセットする。若しくは、吸着ノズル６２を搭載可能なノズルトレイ８８が、ステージ移動機構２１４の作動により、可動ステージ２１２にセットされる。また、ノズル管理装置１１０では、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２１８に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、ノズルトレイ８８への搭載予定の吸着ノズル６２が収容されている。

　続いて、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２１８の作動により、ノズル移載位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２が、ノズル移載装置１３４によって、ノズルトレイ８８に移載される。なお、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２のノズルトレイ８８への移載作業は、ノズルトレイ８８に搭載されている吸着ノズル６２のノズルパレット１５２への移載作業と同じである。ただし、ノズルパレット１５２に搭載されている吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８に移載される前に、吸着ノズル６２はブロー装置２２７によって、乾燥される。

　詳しくは、吸着ノズル６２は、上述したように、ノズル洗浄装置１４０によって、ノズルパレット１５２に収納された状態で洗浄され、洗浄後に乾燥されるが、ノズルパレット１５２の構造により、ノズル洗浄装置１４０では、吸着ノズル６２を確実に乾燥させることができない虞がある。具体的には、ノズルパレット１５２に収納された吸着ノズル６２では、図１３および、図１４に示すように、フランジ部６６が、ベースプレート１５４とカバープレート１５６とによって挟まれている。一方、胴体筒６４や吸着管６８は、ノズルパレット１５２から突出している。このため、吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２に収納された状態で洗浄されると、ベースプレート１５４とカバープレート１５６との間に洗浄水が浸入し、フランジ部６６に洗浄水が付着する。そして、ノズル洗浄装置１４０では、吸着ノズル６２の洗浄後に、吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２に収納された状態で温風の吹き付けにより乾燥されるが、ベースプレート１５４とカバープレート１５６との間に入り込んだ洗浄水は、吹き飛ばされない。このため、吸着ノズル６２のフランジ部６６に洗浄水が付着している虞がある。一方、胴体筒６４と吸着管６８に付着した洗浄水は、温風の吹き付けにより吹き飛ばされ、胴体筒６４と吸着管６８とは乾燥する。

　このようなことに鑑みて、吸着ノズル６２が、ノズルパレット１５２からノズルトレイ８８に移載される場合には、移載対象の吸着ノズル６２が保持チャック２０９に保持されると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ブロー装置２２７の上方に移動する。なお、保持チャック２０９は、吸着ノズル６２の胴体筒６４の上部を保持するが、胴体筒６４の上部は、上述したように乾燥しているため、保持チャック２０９は、吸着ノズル６２の乾燥した箇所を保持することが可能となり、吸着ノズル６２の適切な保持を担保することが可能となる。

　移載ヘッド２０６がブロー装置２２７の上方に移動すると、ヘッド移動装置２０７は、移載ヘッド２０６を下降させ、図１７に示すように、保持チャック２０９によって保持された吸着ノズル６２をブロー装置２２７の本体部２２８内部に挿入する。この際、吸着ノズル６２のフランジ部６６の側方に、エア噴出孔２２９が位置するように、移載ヘッド２０６が下降する。そして、ブロー装置２２７は、エア噴出装置の作動により、エア噴出孔２２９からエアを噴出する。エア噴出孔２２９からエアが噴出されると、保持チャック２０９は、自転機構の作動により、吸着ノズル６２を保持した状態で自転し、吸着ノズル６２のフランジ部６６の全周に、エアが噴出される。これにより、フランジ部６６に付着している洗浄水が吹き飛ばされ、フランジ部６６が適切に乾燥される。そして、フランジ部６６の乾燥が完了すると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、ノズルトレイ８８の上方に移動し、保持された吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８の載置穴９６に収納される。このように、ノズル管理装置１１０では、確実に乾燥させた吸着ノズル６２が、ノズルトレイ８８に収納される。なお、ノズルトレイ８８への吸着ノズル６２の移載が完了したノズルパレット１５２は、第１パレット移動機構２１８の作動により、パレットキャリア１８０に収容される。

　（ｆ）不良ノズルの廃棄作業
　不良ノズルの廃棄作業時には、図１５に示すように、キャリア循環機構１８２の作動により、所定のノズルパレット１５２を収容するパレットキャリア１８０が、第１パレット移動機構２１８に対応する位置に移動する。その所定のノズルパレット１５２には、不良ノズルが収容されている。次に、そのパレットキャリア１８０に収容されているノズルパレット１５２が、第１パレット移動機構２１８の作動により、ノズル移載位置に移動する。そして、ノズルパレット１５２に搭載されている不良ノズルが、ノズル移載装置１３４によって、廃棄ボックス２２２内に投入される。なお、ノズルパレット１５２に搭載されている不良ノズルの廃棄ボックス２２２への廃棄作業は、ノズルトレイ８８に搭載されている吸着ノズル６２のノズルパレット１５２への移載作業と略同じである。ただし、不良ノズルは、できる限り破損しないように、廃棄ボックス２２２内に投入される。

　詳しくは、不良ノズルの中には、補修等により、正常ノズルに復元することが可能なものがある。このため、不良ノズルが廃棄ボックス２２２内に投入される際に、乱雑に投入されると、ノズル同士の衝突，ノズルの廃棄ボックス２２２内への投入時の衝撃等により、不良ノズルが補修不可能な状態になる虞がある。このようなことに鑑みて、不良ノズルが廃棄ボックス２２２内に投入される際には、保持チャック２０９によって把持された不良ノズルが、廃棄ボックス２２２の第１傾斜部２２４の上方で離脱される。

　具体的には、廃棄対象の不良ノズルが保持チャック２０９に保持されると、移載ヘッド２０６が、ヘッド移動装置２０７の作動により、図１６に示すように、廃棄ボックス２２２の第１傾斜部２２４の上方に移動する。そして、その位置において、保持チャック２０９による不良ノズルの把持が解除される。つまり、不良ノズルが、第１傾斜部２２４の上方において、離脱される。これにより、不良ノズルは、第１傾斜部２２４に落下する。第１傾斜部２２４は、上述したように、傾斜面であるため、第１傾斜部２２４に落下した不良ノズルは、平面部２２５に転がり落ちる。そして、不良ノズルは、平面部２２５に留まる。また、不良ノズルが第１傾斜部２２４を勢いよく転がり落ちて、平面部２２５を縦断した場合であっても、不良ノズルは、第２傾斜部２２６まで転がり、再度、平面部２２５に戻される。このように、廃棄ボックス２２２内に投入された不良ノズルは、平面部２２５に留まる。

　このため、不良ノズルが、順次、廃棄ボックス２２２内に投入された場合であっても、不良ノズルは、第１傾斜部２２４の上方で離脱されるため、落下した不良ノズルが、廃棄ボックス２２２内の不良ノズルに勢いよく衝突することを防止できる。これにより、ノズル同士の衝突によるノズルの破損を好適に防止することが可能となる。また、第１傾斜部２２４と平面部２２５と第２傾斜部２２６とは、クッション材により成形されているため、不良ノズルが落下した際、不良ノズルが第１傾斜部２２４を転がり落ちた際等の衝撃は、比較的小さいため、不良ノズルの破損を好適に防止することが可能となる。

　ちなみに、上記実施例において、吸着ノズル６２は、吸着ノズルの一例である。胴体筒６４は、ノズル本体部の一例である。フランジ部６６は、フランジ部の一例である。ノズルトレイ８８は、載置台の一例である。ノズル洗浄装置１４０は、ノズル洗浄装置の一例である。ノズルパレット１５２は、ノズル支持具の一例である。ベースプレート１５４は、支持プレートの一例である。カバープレート１５６は、カバープレートの一例である。ヘッド移動装置２０７は、移動装置の一例である。保持チャック２０９は、保持具の一例である。ブロー装置２２７は、ノズル乾燥装置の一例である。本体部２２８は、本体部の一例である。エア噴出孔２２９は、エア噴出孔の一例である。ハウジング３００は、洗浄ボックスの一例である。噴射ノズル３１２は、水噴出器の一例である。噴射ノズル移動機構３１４は、水噴出器移動装置の一例である。送風管３２０は、エア噴出器の一例である。排水路３４０は、排水路の一例である。フィルタ３４２は、濾過装置の一例である。加圧ポンプ３４４は、ポンプの一例である。仕切板３４８は、仕切板の一例である。ソケット３７０は、噴出方向変更機構および、突出部の一例である。第２内周面３７４は、テーパ面の一例である。排水路３７６は、排水路の一例である。

　なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、噴射ノズル３１２から噴射された高圧水の噴射方向が、ソケット３７０の第２内周面３７４によって変更されているが、噴射ノズル３１２自体の配設角度を変更することで、高圧水の噴射方向を変更することが可能である。また、吸着ノズル６２の洗浄に用いる水として、ミスト等の水と圧縮空気とを混合してなる二流体を採用することが可能である。

　また、上記実施例では、高圧水の噴射方向を変更するためのテーパ面、つまり、第２内周面３７４が、吸着管６８を囲む筒状の本体部２２８に形成されているが、テーパ面を、吸着管６８の側方に延び出す壁面等に形成することも可能である。

　また、上記実施例では、フランジ部６６がベースプレート１５４とカバープレート１５６とによって挟まれた状態で、吸着ノズル６２が洗浄されているが、フランジ部６６を挟むことなく、載置プレート等に載置された吸着ノズル６２を洗浄することが可能である。

　また、上記実施例では、吸着ノズル６２の検査後に、吸着ノズル６２の洗浄が行われているが、吸着ノズル６２の洗浄後に吸着ノズル６２の検査を行うことが可能である。これにより、洗浄後の吸着ノズルを検査することが可能となり、適切な状態の吸着ノズル６２を検査することが可能となる。

　以下、本発明の諸態様について列記する。

　（０）洗浄ボックス内において、吸着ノズルの先端部を露出させた状態で前記吸着ノズルを固定的に支持するノズル支持具と、
　前記ノズル支持具によって支持された前記吸着ノズルに向かって水を噴出する水噴出器と
　を備え、前記水噴出器から噴出された水により前記吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様は、本発明の基本的な構成を列挙した態様である。

　（１）前記水噴出器が、前記吸着ノズルの先端部に向かって水を噴出し、
　前記ノズル洗浄装置が、
　前記水噴出器から噴出される水の噴出方向を変更する噴出方向変更機構を備えることを特徴とする(0)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、様々な角度で洗浄水を吸着ノズルの先端部に向かって噴出することが可能となり、吸着ノズルの先端部を適切に洗浄することが可能となる。

　（２）前記噴出方向変更機構が、
　前記ノズル支持具に支持された前記吸着ノズルの先端部の側方に向かって突出する突出部を有し、
　前記突出部が、
　前記吸着ノズルの先端部の側方に位置する箇所に形成されたテーパ面を有し、前記水噴出器から噴出された水が前記テーパ面に当たることで、前記水噴出器から噴出される水の噴出方向を変更することを特徴とする(1)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、簡素な構造の機構により、洗浄水の噴出方向を変更することが可能となる。

　（３）前記突出部が、
　筒状をなし、前記吸着ノズルの先端部を囲むようにして配設されることを特徴とする(2)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、吸着ノズルの全周に渡って洗浄水を噴出することが可能となる。

　（４）前記突出部が、
　前記吸着ノズルの先端より基端側の部分の側方に位置する箇所に形成された排水路を有することを特徴とする(2)項または(3)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、突出部内に噴出された洗浄水を突出部の外に排出することが可能となる。

　（５）前記水噴出器が、面状に水を噴出し、
　前記ノズル洗浄装置が、
　前記ノズル支持具に支持された前記吸着ノズルの軸線に交わる方向に、前記水噴出器を移動させる水噴出器移動装置を備えることを特徴とする(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、吸着ノズルの先端部の全域に高圧水を噴出することが可能となる。

　（６）前記洗浄ボックスの底部が、
　前記水噴出器から噴出された水を貯水するための貯水タンクとして機能することを特徴とする(0)項ないし(5)項のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、洗浄ボックス外に貯水タンクを設ける必要がないため、構造を簡素にするとともに、コストダウンを図ることが可能となる。

　（７）前記ノズル洗浄装置が、
　前記貯水タンクの下端部に開口するとともに、下方に向かって延び出す排水路と、
　前記排水路に設けられ、前記排水路を流れる水から不純物を取り除くための濾過装置と
　を備えることを特徴とする(6)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、貯水タンクに貯留された洗浄水を濾過する際に、洗浄水を、重力によって、濾過することが可能となり、洗浄水を濾過装置に送水するポンプ等を採用する必要がなくなる。

　（８）前記ノズル洗浄装置が、
　前記濾過装置によって不純物が取り除かれた水を前記水噴出器に向かって送り出すポンプを備えることを特徴とする(7)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、洗浄後の洗浄水を再利用することが可能となり、経済的である。

　（９）前記ノズル洗浄装置が、
　前記ノズル洗浄装置による洗浄が終了した前記吸着ノズルにエアを噴出するエア噴出器と、
　貯水タンクとして機能する前記洗浄ボックスの底部と前記ノズル支持具との間に配設された仕切り板と
　を備えることを特徴とする(6)項ないし(8)項のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、吸着ノズルをエアの噴出により乾燥する際に、洗浄ボックスの底部に貯留されている洗浄水の巻き上げを防止することが可能となる。

　（１０）前記仕切り板が、傾斜した状態で配設されることを特徴とする(9)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、仕切板上に落下した洗浄水を効果的に、洗浄ボックスに流すことが可能となる。

　（１１）前記仕切り板の上面が、クッション材により成形されていることを特徴とする(9)項または(10)項に記載のノズル洗浄装置。

　本項に記載の態様によれば、仕切板上に落下した洗浄水の吸着ノズルへの跳ね返りを防止することが可能となる。

　（１２）前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルが、(0)項ないし(11)項のいずれか１つに記載の前記ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法において、
　前記ノズル乾燥方法が、
　前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルを、保持具によって保持する保持工程と、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、移動装置によってノズル乾燥装置まで移動させる移動工程と、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記ノズル乾燥装置によって乾燥させる第１乾燥工程と
　を含むことを特徴とするノズル乾燥方法。

　本項に記載の態様によれば、吸着ノズルに付着している水分を確実に除去することが可能となる。

　（１３）前記ノズル支持具が、
　筒状のノズル本体部と、前記ノズル本体部の外周部から延び出すフランジ部とによって構成される前記吸着ノズルの前記フランジ部を下方から支持する支持プレートと、
　前記支持プレートによって支持された前記吸着ノズルの前記フランジ部を、前記支持プレートと挟み込むカバープレートと、
　前記支持プレートと前記カバープレートとを相対移動させる相対移動機構と
　を有し、前記支持プレートと前記カバープレートとの相対移動により、前記支持プレートによって支持された前記吸着ノズルの前記フランジ部が、前記支持プレートと前記カバープレートとによって挟み込まれた状態と、前記支持プレートと前記カバープレートとによる挟み込みが解除された状態とで切り替え可能であり、
　前記ノズル乾燥方法が、
　前記フランジ部が前記支持プレートと前記カバープレートとによって挟み込まれた状態の前記吸着ノズルが、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させる方法であり、
　前記保持工程が、
　前記フランジ部の前記支持プレートと前記カバープレートとによる挟み込みが解除された状態の前記吸着ノズルを、保持具によって保持する工程であることを特徴とする(12)項に記載のノズル乾燥方法。

　本項に記載の態様によれば、支持プレートとカバープレートとの間に入り込んだ水分が、吸着ノズルのフランジ部に付着している際に、フランジ部の水分を適切に除去することが可能となる。

　（１４）前記ノズル乾燥方法が、
　前記保持工程において前記吸着ノズルが前記保持具によって保持される前に、前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルを、前記ノズル支持具とともに乾燥させる第２乾燥工程を含むことを特徴とする(12)項または(13)項に記載のノズル乾燥方法。

　本項に記載の態様によれば、吸着ノズルとともに、ノズル支持具を乾燥させることが可能となり、吸着ノズルを支持するノズル支持具を、乾燥させた状態で移動させることが可能となる。

　（１５）前記ノズル乾燥方法が、
　前記第１乾燥工程において乾燥の終了した前記吸着ノズルを保持する前記保持具を、前記移動装置によって、前記吸着ノズルを載置するための載置台に移載する移載工程を含むことを特徴とする(12)項ないし(14)項のいずれか１つに記載のノズル乾燥方法。

　本項に記載の態様によれば、確実に乾燥させた吸着ノズルを載置台に収納することが可能となる。

　（１６）前記ノズル乾燥装置が、
　前記吸着ノズルを囲う本体部と、
　本体部の内部に向かって開口し、エアを噴出するためのエア噴出孔と
　を有し、
　前記移動工程が、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記移動装置によって前記本体部の内部まで移動させ、
　前記第１乾燥工程が、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記エア噴出孔から噴出するエアにより乾燥させることを特徴とする(12)項ないし(15)項のいずれか１つに記載のノズル乾燥方法。

　本項に記載の態様によれば、簡便な構造のノズル乾燥装置によって、吸着ノズルを乾燥することが可能となる。

　（１７）前記保持具が、
　保持する前記吸着ノズルをそれの軸線周りに自転させる自転機構を有し、
　前記ノズル乾燥装置が、
　所定の間隔をおいて配設された１以上の前記エア噴出孔を有し、
　前記第１乾燥工程が、
　前記保持具が保持した前記吸着ノズルを、前記自転機構によって自転させた状態で、前記１以上のエア噴出孔から噴出するエアにより乾燥させることを特徴とする(16)項に記載のノズル乾燥方法。

　本項に記載の態様によれば、少ない数のエア噴出孔が形成されたノズル乾燥装置によって、吸着ノズルを全周に渡って乾燥させることが可能となり、ノズル洗浄装置の構造を簡便にすることが可能となる。

　（１８）前記移動工程が、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、その吸着ノズルの前記フランジ部が前記エア噴出孔の側方に位置するように、前記移動装置によって前記本体部の内部まで移動させることを特徴とする(16)項または(17)項に記載のノズル乾燥方法。

　本項に記載の態様によれば、フランジ部の水分を確実に除去することが可能となる。

　６２：吸着ノズル　　６４：胴体筒（ノズル本体部）　　６６：フランジ部　　８８：ノズルトレイ（載置台）　　１４０：ノズル洗浄装置　　１５２：ノズルパレット（ノズル支持具）　　１５４：ベースプレート（支持プレート）　　１５６：カバープレート　　２０７：ヘッド移動装置（移動装置）　　２０９：保持チャック（保持具）　　２２７：ブロー装置（ノズル乾燥装置）　　２２８：本体部　　２２９：エア噴出孔　　３００：ハウジング（洗浄ボックス）　　３１２：噴射ノズル（水噴出器）　　３１４：噴射ノズル移動機構（水噴出器移動装置）　　３２０：送風管（エア噴出器）　　３４０：排水路　　３４２：フィルタ（濾過装置）　　３４４：加圧ポンプ（ポンプ）　３４８：仕切板　　３７０：ソケット（噴出方向変更機構）（突出部）　　３７４：第２内周面（テーパ面）　　３７６：排水路

Claims

　洗浄ボックス内において、吸着ノズルの先端部を露出させた状態で前記吸着ノズルを固定的に支持するノズル支持具と、
　前記ノズル支持具によって支持された前記吸着ノズルの先端部に向かって水を噴出する水噴出器と
　を備え、前記水噴出器から噴出された水により前記吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄装置において、
　前記ノズル洗浄装置が、
　前記水噴出器から噴出される水の噴出方向を変更する噴出方向変更機構を備えることを特徴とするノズル洗浄装置。
　前記噴出方向変更機構が、
　前記ノズル支持具に支持された前記吸着ノズルの先端部の側方に向かって突出する突出部を有し、
　前記突出部が、
　前記吸着ノズルの先端部の側方に位置する箇所に形成されたテーパ面を有し、前記水噴出器から噴出された水が前記テーパ面に当たることで、前記水噴出器から噴出される水の噴出方向を変更することを特徴とする請求項１に記載のノズル洗浄装置。
　前記突出部が、
　筒状をなし、前記吸着ノズルの先端部を囲むようにして配設されることを特徴とする請求項２に記載のノズル洗浄装置。
　前記突出部が、
　前記吸着ノズルの先端より基端側の部分の側方に位置する箇所に形成された排水路を有することを特徴とする請求項２または請求項３に記載のノズル洗浄装置。
　前記水噴出器が、面状に水を噴出し、
　前記ノズル洗浄装置が、
　前記ノズル支持具に支持された前記吸着ノズルの軸線に交わる方向に、前記水噴出器を移動させる水噴出器移動装置を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。
　前記洗浄ボックスの底部が、
　前記水噴出器から噴出された水を貯水するための貯水タンクとして機能することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のノズル洗浄装置。
　前記ノズル洗浄装置が、
　前記貯水タンクの下端部に開口するとともに、下方に向かって延び出す排水路と、
　前記排水路に設けられ、前記排水路を流れる水から不純物を取り除くための濾過装置と、
　前記濾過装置によって不純物が取り除かれた水を前記水噴出器に向かって送り出すポンプと
　を備えることを特徴とする請求項６に記載のノズル洗浄装置。
　前記ノズル洗浄装置が、
　前記ノズル洗浄装置による洗浄が終了した前記吸着ノズルにエアを噴出するエア噴出器と、
　貯水タンクとして機能する前記洗浄ボックスの底部と前記ノズル支持具との間に配設された仕切り板と
　を備えることを特徴とする請求項６または請求項７に記載のノズル洗浄装置。
　前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルが、請求項１ないし請求項８のいずれか１つに記載の前記ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法において、
　前記ノズル乾燥方法が、
　前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルを、保持具によって保持する保持工程と、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、移動装置によってノズル乾燥装置まで移動させる移動工程と、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記ノズル乾燥装置によって乾燥させる第１乾燥工程と
　を含むことを特徴とするノズル乾燥方法。
　前記ノズル支持具が、
　前記吸着ノズルを囲うノズル本体部と、前記ノズル本体部の外周部から延び出すフランジ部とによって構成される前記吸着ノズルの前記フランジ部を下方から支持する支持プレートと、
　前記支持プレートによって支持された前記吸着ノズルの前記フランジ部を、前記支持プレートと挟み込むカバープレートと、
　前記支持プレートと前記カバープレートとを相対移動させる相対移動機構と
　を有し、前記支持プレートと前記カバープレートとの相対移動により、前記支持プレートによって支持された前記吸着ノズルの前記フランジ部が、前記支持プレートと前記カバープレートとによって挟み込まれた状態と、前記支持プレートと前記カバープレートとによる挟み込みが解除された状態とで切り替え可能であり、
　前記ノズル乾燥方法が、
　前記フランジ部が前記支持プレートと前記カバープレートとによって挟み込まれた状態の前記吸着ノズルが、前記ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させる方法であり、
　前記保持工程が、
　前記フランジ部の前記支持プレートと前記カバープレートとによる挟み込みが解除された状態の前記吸着ノズルを、保持具によって保持する工程であることを特徴とする請求項９に記載のノズル乾燥方法。
　前記ノズル乾燥方法が、
　前記保持工程において前記吸着ノズルが前記保持具によって保持される前に、前記ノズル支持具によって支持された状態の前記吸着ノズルを、前記ノズル支持具とともに乾燥させる第２乾燥工程を含むことを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のノズル乾燥方法。
　前記ノズル乾燥方法が、
　前記第１乾燥工程において乾燥の終了した前記吸着ノズルを保持する前記保持具を、前記移動装置によって、前記吸着ノズルを載置するための載置台に移載する移載工程を含むことを特徴とする請求項９ないし請求項１１のいずれか１つに記載のノズル乾燥方法。
　前記ノズル乾燥装置が、
　前記吸着ノズルを囲う本体部と、
　本体部の内部に向かって開口し、エアを噴出するためのエア噴出孔と
　を有し、
　前記移動工程が、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記移動装置によって前記本体部の内部まで移動させ、
　前記第１乾燥工程が、
　前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを、前記エア噴出孔から噴出するエアにより乾燥させることを特徴とする請求項９ないし請求項１２のいずれか１つに記載のノズル乾燥方法。
　前記保持具が、
　保持する前記吸着ノズルをそれの軸線周りに自転させる自転機構を有し、
　前記ノズル乾燥装置が、
　所定の間隔をおいて配設された１以上の前記エア噴出孔を有し、
　前記第１乾燥工程が、
　前記保持具が保持した前記吸着ノズルを、前記自転機構によって自転させた状態で、前記１以上のエア噴出孔から噴出するエアにより乾燥させることを特徴とする請求項１３に記載のノズル乾燥方法。