JP3862514B2 - ワーク搬送装置及びワーク搬送方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばキャリア上に載っている電子部品などの置きピッチ・置き個数が変化しても装置の改造が必要ない汎用性を持ち、発塵が少なく、かつワーク搬送のタクトが短縮できる搬送装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
キャリア上に載っている電子部品などを搬送する場合に用いられる、キャリア搬送装置の従来例を図１４乃至図２０を用いて説明する。
【０００３】
図１４は、キャリア搬送装置を使用するのに好適な従来の洗浄装置の概略斜視図であり、図１５は図１４で用いられている従来のキャリア搬送装置の一部斜視図であり、図１６は図１５に示したキャリア搬送装置の動作を説明するための第１の状態を示した側面図であり、図１７は図１６に示した状態に続く第２の状態を示した側面図であり、図１８は図１７に示した状態に続く第３の状態を示した側面図であり、図１９は図１８に示した状態に続く第４の状態を示した側面図である。
【０００４】
先ず、図１４を用いて従来の洗浄装置について説明する。
【０００５】
図１４において、符号１Ｘは洗浄装置全体を示す。この洗浄装置１Ｘは、その本体２Ｘのパネル３Ｘ上に、正面から向かって、例えば、左側からキャリアＫＸを搭載するローダ部４Ｘと、その右隣へ、順次設けられた薬液槽５Ｘ、水洗槽６Ｘ、水洗槽７Ｘ、乾燥槽８Ｘと、この洗浄装置１Ｘの右端でキャリアＫＸを下ろすアンローダ部９Ｘと、そしてこれら全体の背後に在って、ローダ部４ＸからキャリアＫＸを順次、薬液槽５Ｘへ、この薬液槽５Ｘから水洗槽６Ｘへ、この水洗槽６Ｘから次の水洗槽７Ｘへ、この水洗槽７Ｘから次の乾燥槽８Ｘへ、そしてアンローダ部９Ｘへと、ガイド１０Ｘに沿って搬送する搬送ロボット１１Ｘとを備えて構成されている。なお、符号１４Ｘはメンテナンス用扉を指す。
【０００６】
ローダ部４Ｘには、表面処理しようとするウエハＳＸが収納されたキャリアＫＸが搭載される。このウエハＳＸの表面処理を行う場合には、搬送ロボット１１Ｘのハンガー１１ａＸでキャリアＫＸを保持、持ち上げ、先ず、そのキャリアＫＸを薬液槽５に浸漬する。ウエハＳＸの表面処理が終了すると、再び搬送ロボット１１Ｘのハンガー１１ａＸでそのキャリアＫＸを持ち上げ、次の水洗槽６Ｘに、そして水洗槽７Ｘにと浸漬し、洗浄する。ウエハＳＸが洗浄され、乾燥されると、また搬送ロボット１１Ｘのハンガー１１ａＸでそのキャリアＫＸを持ち上げて、最終段のアンローダ部９Ｘに載置される。
【０００７】
洗浄装置１Ｘはこのように構成され、ウエハＳＸの表面処理を行うのであるが、ローダ部４Ｘに未処理のウエハＳＸを収納したキャリアＫＸを搭載し、搬送ロボット１１Ｘで搬送するには、先ず、図１５に拡大して図示したように、作業者が洗浄装置１Ｘの前方からローダ部４Ｘの手前のセットステーション１３ａＸにキャリアＫＸを置き、洗浄装置１Ｘの内部に在って、ローダ部４Ｘの開口１２Ｘに臨んで配置したキャリア搬送装置２０Ｘで搬送ロボット１１Ｘに近いローダ部４Ｘの後方のセットステーション１３ｃＸに搬送する。
【０００８】
また、アンローダ部９Ｘでは搬送ロボット１１Ｘに近いアンローダ部９Ｘの後方のセットステーション１３ｃＸに、表面処理されたウエハＳＸが収納されているキャリアＫＸを下ろし、やはり洗浄装置１Ｘの内部に在って、ローダ部４Ｘの開口１２Ｘに臨んで配置したキャリア搬送装置２０Ｘで、そのキャリアＫＸをアンローダ部９Ｘの手前のセットステーション１３ａＸに搬送するようにしている。このようにすることにより、作業者は容易にそのキャリアＫＸを洗浄装置１Ｘから下ろすことができる。
【０００９】
ローダ部４Ｘ及びアンローダ部９Ｘは、パネル３Ｘに開けた長孔の開口１２Ｘと、一対の対向して形成された段部からなるセットステーション１３Ｘとで構成されていて、このセットステーション１３ＸにキャリアＫＸを載置し、その動きを固定するようにしている。図示の例では、図１５に拡大して図示したように、３ヵ所にセットステーション１３ａＸ、１３ｂＸ、１３ｃＸを設けた。
【００１０】
次に、従来のキャリア搬送装置２０Ｘを図１５を用いて説明する。
【００１１】
ローダ部４Ｘまたはアンローダ部９Ｘで使用されるキャリア搬送装置２０Ｘは、その構成においても、動作においても同一であるので、ここでの説明は、ローダ部４Ｘにおけるキャリア搬送装置２０Ｘを取り上げて説明する。
【００１２】
このキャリア搬送装置２０Ｘは、洗浄装置１Ｘのパネル３Ｘに開けられた開口１２Ｘに臨むように配置されている。このキャリア搬送装置２０Ｘは、キャリア載置台２１Ｘと、このキャリア載置台２１Ｘを矢印Ｙ方向の上下に駆動し、キャリア載置台２１Ｘを支持する軸２２ａＸを備えた駆動源である上下駆動アクチュエータ２２Ｘと、このアクチュエータ２２Ｘを支持する水平移動ステージ２３Ｘと、表面にガイドレール２４Ｘが形成され、水平移動ステージ２３Ｘをこのガイドレール２４Ｘに沿って矢印Ｘの水平方向に駆動する駆動源である水平駆動アクチュエータ２５Ｘとを備えて構成されている。
【００１３】
キャリア載置台２１Ｘの幅は開口１２Ｘの幅より十分狭い幅で構成し、このキャリア載置台２１Ｘが上昇して開口１２Ｘから突き出る時に、開口１２Ｘの側縁に当たらないようにされている。
【００１４】
次に、このような構成のキャリア搬送装置２０Ｘの動作を説明する。
【００１５】
作業者がキャリアＫＸの把手ＫａＸを持ってセットステーション１３ａＸにキャリアＫＸを載置したとする。キャリア載置台２１Ｘが上下駆動アクチュエータ２２Ｘにより矢印Ｙの方向に上昇し、キャリアＫＸを持ち上げる。キャリアＫＸの下端部ＫｂＸがセットステーション１３ａＸから完全に抜け出て、パネル３Ｘ表面より上方に位置した時、上下駆動アクチュエータ２２Ｘは停止し、キャリアＫＸをその高さの位置で保持する。
【００１６】
次に、水平移動ステージ２３Ｘが水平駆動アクチュエータ２５Ｘによりガイドレール２４Ｘに沿って矢印Ｘの方向に移動する。そしてキャリアＫＸがセットステーション１３ｂＸの上方位置に達した時に、水平駆動アクチュエータ２５Ｘが停止するようになっている。
【００１７】
そして、キャリア載置台２１Ｘは上下駆動アクチュエータ２２Ｘにより矢印Ｙの方向に下降し、キャリアＫＸの下端部ＫｂＸがセットステーション１３ｂＸで位置決めされる。そして、キャリア載置台２１Ｘが更に降下して、キャリアＫＸの下端部ＫｂＸと完全に離れた時点で、上下駆動アクチュエータ２２Ｘは停止する。そしてキャリア載置台２１Ｘは水平駆動アクチュエータ２５Ｘにより矢印Ｘの方向に移動し、初めの停止位置に戻る。このようにして、キャリアＫＸをセットステーション１３ａＸからセットステーション１３ｂＸへ搬送することができる。
【００１８】
また、キャリア載置台２１Ｘは２個のキャリアＫＸを載せることができ、セットステーション１３ｂＸからセットステーション１３ｃＸへとキャリアＫＸを搬送することができる。更に、２個のキャリアＫＸを同時に搬送することもできる。この２個のキャリアＫＸを同時に搬送する例を図１６乃至図１９を用いて説明する。
【００１９】
図１６に示したように、最初にキャリアＫ１Ｘ及びキャリアＫ２Ｘがそれぞれセットステーション１３ａＸ及びセットステーション１３ｂＸに載置されているとする。上下駆動アクチュエータ２２Ｘを動作させ、図１７に示したように、キャリア載置台２１Ｘが両者のキャリアＫ１Ｘ及びＫ２Ｘを上昇させる。その上昇状態で、次に、水平駆動アクチュエータ２５Ｘを動作させ、図１８に示したように、キャリア載置台２１Ｘを水平方向に移動させ、キャリアＫ１Ｘ及びＫ２Ｘをそれぞれセットステーション１３ｂＸ及び１３ｃＸの上方位置に移動させる。そして、図１９に示したように、その状態でまた上下駆動アクチュエータ２２Ｘを作動、下降させ、各セットステーション１３ｂＸ及び１３ｃＸに各キャリアＫ１Ｘ及びＫ２Ｘを載置し、搬送が完了する。
【００２０】
このようなキャリア搬送装置として、例えば特開平０６−１４０４９３号公報に記載されているような搬送装置が提案されている。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
特開平０６−１４０４９３号公報に記載されている様にして、キャリアが搬送されるが、このような従来の搬送装置では、キャリアに載るワークの数、ピッチが変わると搬送装置の改造が必要となる問題点があった。そのため、従来の搬送装置では、キャリアに載るワークの数、ピッチが変わるとそれに対応するために、多くの労力とコストを要していた。
【００２２】
従って、本発明は上述した課題に鑑みてなれたものであり、その目的は、キャリアに載るワークの数、ピッチが変化しても搬送装置を改造することなく対応することができる搬送装置及び搬送方法を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わるワーク搬送装置は、複数のワークを予め定められたピッチ幅で載せたキャリアを搬送するための搬送装置であって、前記キャリアを、前記ワークに所定の処理を施す処理位置が設けられた処理装置内に搬入する搬入手段と、前記搬入手段により搬入されたキャリアを受け取って、前記複数のワークが１つずつ順次前記処理装置の前記処理位置に位置するように、前記複数のワークのピッチ幅に合わせた間隔で、前記キャリアを間欠搬送する搬送手段と、前記複数のワークの全てが前記処理位置で所定の処理を施された後に、前記搬送手段から前記キャリアを受け取り、前記処理装置外部に搬出する搬出手段とを具備することを特徴としている。
【００２４】
また、この発明に係わるワーク搬送装置において、前記キャリアは、該キャリアの大きさの範囲内で任意の数のワークを載置可能であり、前記キャリアに載置されたワークのピッチ幅に応じて前記間隔を調整していることを特徴としている。
【００３３】
また、本発明に係わるワーク搬送方法は、複数のワークを予め定められたピッチ幅で載せたキャリアを搬送するための搬送方法であって、前記キャリアを、前記ワークに所定の処理を施す処理位置が設けられた処理装置内に搬入する搬入工程と、前記搬入工程において搬入されたキャリアを、前記複数のワークが１つずつ順次前記処理装置の前記処理位置に位置するように、前記複数のワークのピッチ幅に合わせた間隔で、間欠搬送する搬送工程と、前記複数のワークの全てが前記処理位置で所定の処理を施された後に、前記キャリアを前記処理装置外部に搬出する搬出工程とを具備することを特徴としている。
また、この発明に係わるワーク搬送方法において、前記キャリアは、該キャリアの大きさの範囲内で任意の数のワークを載置可能であり、前記キャリアに載置されたワークのピッチ幅に応じて前記間隔を調整する調整工程をさらに具備することを特徴としている。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３５】
図１３は、本発明の搬送装置の一実施形態の全体構成を示す上面図、図１３Ｂは側面図である。
【００３６】
図１乃至図１１は一実施形態の搬送装置の搬送方法を示す上面図である。１００は作業を行うための装置全体を示している。
【００３７】
図１は、前の装置から本実施形態の装置へキャリアが運び込まれる図であり、キャリア１は図の左から右に搬送されている。このときシリンダ２に取り付けられている台８にキャリアは載ってくる。また、キャリア１には本実施形態では４個のワークＷが載っているが、キャリアテープの長さが一定ならばその長さ内では何個でも、またどのようなピッチでも載せることができる。２は前の装置からキャリア１を移載するシリンダである。また、位置決めピン８ａが台８に取り付けられており、キャリア１に開けられている穴に挿入され、キャリア１の位置決めが行われる。
【００３８】
図２は、本実施形態の装置にキャリアが運び込まれた状態を示す図である。この時、台８は台９よりも高さが高い状態で移載されてくるため台８と台９が干渉することはない。台９はロボット４に取り付けられている。
【００３９】
図３では、シリンダ３が下に下がることによって擦ることなく、従って発塵することなくキャリア１が台８から台９へ上から下に受け渡される。上下の動作では、台８はコの字型に形成され、台９は長方形に形成されているので互いに干渉することはない。台９にも位置決めピン９ａが取り付けられており、キャリア１に開けられている穴に挿入され、キャリア１の位置決めを行う。
【００４０】
図４では、キャリアが台８から台９へ受け渡された後、台８が台９より下まで下がり、干渉しない位置まで下がった後、シリンダ２によって前の装置側へ戻り、次のキャリアを移載するための準備を行う。
【００４１】
図５は、キャリア１がロボット４によって搬送される状態を示す図である。キャリア１は台９ごとロボット４により搬送され、キャリア１に載せられたワークのピッチと数によってあらかじめ指定しておいた距離移動し、実際に作業するエリア７まで１つ目のワークＷが搬送される。ここで、作業のために例えば１０秒停止した後、２個目のワークを作業エリア７まで搬送し、１０秒停止する。これが図６の状態である。なお、ロボット４は、キャリア１に載せられたワークのピッチに応じて、任意の距離だけ移動可能である。
【００４２】
図７は３個目のワークが作業エリア７まで搬送された図である。
【００４３】
図８は４個目のワークが作業エリア７まで搬送された図である。
【００４４】
図９は４個目のワークの作業が終了し、キャリア１が後の装置へ搬送するシリンダ６側に移動した図である。このとき、シリンダ６に取り付けられている台１０は台９よりも低い位置で待機している。この高さは、シリンダ２に取り付けられた台８が本装置１００から前の装置へ移動する高さである。すなわち、シリンダ２に取り付けられた台８は図９で示す状態で待機していることになる。
【００４５】
次に図１０では、シリンダ５によって台１０を台９の下から上へ持ち上げることで台９から台１０へキャリア１を受け渡す。台１０にも位置決めピン１０ａが取り付けられており、キャリア１に開けられている穴に挿入され、キャリア１の位置決めを行う。
【００４６】
図１１では、台１０に載せられたキャリア１を本装置から後ろの装置へ搬送する。
【００４７】
また、図４で示したように、キャリア１が一度台９に載ってしまえば、前の装置から次のキャリアが運ばれてきても、台８と台９が高さ方向にずれているので、前後の装置のタイムタクトに関係なく本実施形態の装置１００内で待機させることができる。これを図１２に示す。
【００４８】
以上説明したように、上記の実施形態によれば、キャリアに載るワークの数、ピッチが変化しても搬送装置を改造することなく対応でき、次のキャリアが装置内で待機することで、搬送のタクトタイムを抑え、かつ発塵を抑えることが出来る。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明によれば、キャリアに載るワークの数、ピッチが変化しても搬送装置を改造することなく対応することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第１の上面図である。
【図２】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第２の上面図である。
【図３】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第３の上面図である。
【図４】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第４の上面図である。
【図５】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第５の上面図である。
【図６】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第６の上面図である。
【図７】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第７の上面図である。
【図８】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第８の上面図である。
【図９】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第９の上面図である。
【図１０】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第１０の上面図である。
【図１１】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第１１の上面図である。
【図１２】一実施形態の搬送装置の前後の装置のタクトタイムに関係なく、次のキャリアが一実施形態の搬送装置内で待機できることを示す上面図である。
【図１３Ａ】一実施形態の搬送装置の全体を示す上面図である。
【図１３Ｂ】一実施形態の搬送装置の全体を示す側面図である。
【図１４】従来のキャリア搬送装置を使用した洗浄装置の概略斜視図である。
【図１５】図１４で用いられている従来のキャリア搬送装置の一部斜視図である。
【図１６】図１５に示したキャリア搬送装置の動作を説明するための第１の状態を示した側面図である。
【図１７】図１６に示した状態に続く第２の状態を示した側面図である。
【図１８】図１７に示した状態に続く第３の状態を示した側面図である。
【図１９】図１８に示した状態に続く第４の状態を示した側面図である。
【符号の説明】
１ キャリア
２ 移載シリンダ
３ 上下シリンダ
４ ロボット
５ 上下シリンダ
６ 移載シリンダ
７ 作業エリア
８ 移載部
９ 移載部
１０ 移載部
１１ ガイド
１Ｘ 半導体ウエハ洗浄装置
２Ｘ 本体
３Ｘ パネル
４Ｘ ローダ部
５Ｘ 薬液槽
６Ｘ 水洗槽
７Ｘ 水洗槽
８Ｘ 乾燥槽
９Ｘ アンローダ部
１０Ｘ ガイド
１１Ｘ 搬送ロボット
１１ａＸ ハンガー
１２Ｘ 開口
１３Ｘ セットステーション
１４Ｘ メンテナンス用扉
２０Ｘ キャリア搬送装置
２１Ｘ キャリア載置台
２２Ｘ 上下駆動アクチュエータ
２２ａＸ 軸
２３Ｘ 水平移動ステージ
２４Ｘ ガイドレール
２５Ｘ 水平駆動アクチュエータ
ＫＸ キャリア
ＳＸ ウエハ
１００ 搬送装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばキャリア上に載っている電子部品などの置きピッチ・置き個数が変化しても装置の改造が必要ない汎用性を持ち、発塵が少なく、かつワーク搬送のタクトが短縮できる搬送装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
キャリア上に載っている電子部品などを搬送する場合に用いられる、キャリア搬送装置の従来例を図１４乃至図２０を用いて説明する。
【０００３】
図１４は、キャリア搬送装置を使用するのに好適な従来の洗浄装置の概略斜視図であり、図１５は図１４で用いられている従来のキャリア搬送装置の一部斜視図であり、図１６は図１５に示したキャリア搬送装置の動作を説明するための第１の状態を示した側面図であり、図１７は図１６に示した状態に続く第２の状態を示した側面図であり、図１８は図１７に示した状態に続く第３の状態を示した側面図であり、図１９は図１８に示した状態に続く第４の状態を示した側面図である。
【０００４】
先ず、図１４を用いて従来の洗浄装置について説明する。
【０００５】
図１４において、符号１Ｘは洗浄装置全体を示す。この洗浄装置１Ｘは、その本体２Ｘのパネル３Ｘ上に、正面から向かって、例えば、左側からキャリアＫＸを搭載するローダ部４Ｘと、その右隣へ、順次設けられた薬液槽５Ｘ、水洗槽６Ｘ、水洗槽７Ｘ、乾燥槽８Ｘと、この洗浄装置１Ｘの右端でキャリアＫＸを下ろすアンローダ部９Ｘと、そしてこれら全体の背後に在って、ローダ部４ＸからキャリアＫＸを順次、薬液槽５Ｘへ、この薬液槽５Ｘから水洗槽６Ｘへ、この水洗槽６Ｘから次の水洗槽７Ｘへ、この水洗槽７Ｘから次の乾燥槽８Ｘへ、そしてアンローダ部９Ｘへと、ガイド１０Ｘに沿って搬送する搬送ロボット１１Ｘとを備えて構成されている。なお、符号１４Ｘはメンテナンス用扉を指す。
【０００６】
ローダ部４Ｘには、表面処理しようとするウエハＳＸが収納されたキャリアＫＸが搭載される。このウエハＳＸの表面処理を行う場合には、搬送ロボット１１Ｘのハンガー１１ａＸでキャリアＫＸを保持、持ち上げ、先ず、そのキャリアＫＸを薬液槽５に浸漬する。ウエハＳＸの表面処理が終了すると、再び搬送ロボット１１Ｘのハンガー１１ａＸでそのキャリアＫＸを持ち上げ、次の水洗槽６Ｘに、そして水洗槽７Ｘにと浸漬し、洗浄する。ウエハＳＸが洗浄され、乾燥されると、また搬送ロボット１１Ｘのハンガー１１ａＸでそのキャリアＫＸを持ち上げて、最終段のアンローダ部９Ｘに載置される。
【０００７】
洗浄装置１Ｘはこのように構成され、ウエハＳＸの表面処理を行うのであるが、ローダ部４Ｘに未処理のウエハＳＸを収納したキャリアＫＸを搭載し、搬送ロボット１１Ｘで搬送するには、先ず、図１５に拡大して図示したように、作業者が洗浄装置１Ｘの前方からローダ部４Ｘの手前のセットステーション１３ａＸにキャリアＫＸを置き、洗浄装置１Ｘの内部に在って、ローダ部４Ｘの開口１２Ｘに臨んで配置したキャリア搬送装置２０Ｘで搬送ロボット１１Ｘに近いローダ部４Ｘの後方のセットステーション１３ｃＸに搬送する。
【０００８】
また、アンローダ部９Ｘでは搬送ロボット１１Ｘに近いアンローダ部９Ｘの後方のセットステーション１３ｃＸに、表面処理されたウエハＳＸが収納されているキャリアＫＸを下ろし、やはり洗浄装置１Ｘの内部に在って、ローダ部４Ｘの開口１２Ｘに臨んで配置したキャリア搬送装置２０Ｘで、そのキャリアＫＸをアンローダ部９Ｘの手前のセットステーション１３ａＸに搬送するようにしている。このようにすることにより、作業者は容易にそのキャリアＫＸを洗浄装置１Ｘから下ろすことができる。
【０００９】
ローダ部４Ｘ及びアンローダ部９Ｘは、パネル３Ｘに開けた長孔の開口１２Ｘと、一対の対向して形成された段部からなるセットステーション１３Ｘとで構成されていて、このセットステーション１３ＸにキャリアＫＸを載置し、その動きを固定するようにしている。図示の例では、図１５に拡大して図示したように、３ヵ所にセットステーション１３ａＸ、１３ｂＸ、１３ｃＸを設けた。
【００１０】
次に、従来のキャリア搬送装置２０Ｘを図１５を用いて説明する。
【００１１】
ローダ部４Ｘまたはアンローダ部９Ｘで使用されるキャリア搬送装置２０Ｘは、その構成においても、動作においても同一であるので、ここでの説明は、ローダ部４Ｘにおけるキャリア搬送装置２０Ｘを取り上げて説明する。
【００１２】
このキャリア搬送装置２０Ｘは、洗浄装置１Ｘのパネル３Ｘに開けられた開口１２Ｘに臨むように配置されている。このキャリア搬送装置２０Ｘは、キャリア載置台２１Ｘと、このキャリア載置台２１Ｘを矢印Ｙ方向の上下に駆動し、キャリア載置台２１Ｘを支持する軸２２ａＸを備えた駆動源である上下駆動アクチュエータ２２Ｘと、このアクチュエータ２２Ｘを支持する水平移動ステージ２３Ｘと、表面にガイドレール２４Ｘが形成され、水平移動ステージ２３Ｘをこのガイドレール２４Ｘに沿って矢印Ｘの水平方向に駆動する駆動源である水平駆動アクチュエータ２５Ｘとを備えて構成されている。
【００１３】
キャリア載置台２１Ｘの幅は開口１２Ｘの幅より十分狭い幅で構成し、このキャリア載置台２１Ｘが上昇して開口１２Ｘから突き出る時に、開口１２Ｘの側縁に当たらないようにされている。
【００１４】
次に、このような構成のキャリア搬送装置２０Ｘの動作を説明する。
【００１５】
作業者がキャリアＫＸの把手ＫａＸを持ってセットステーション１３ａＸにキャリアＫＸを載置したとする。キャリア載置台２１Ｘが上下駆動アクチュエータ２２Ｘにより矢印Ｙの方向に上昇し、キャリアＫＸを持ち上げる。キャリアＫＸの下端部ＫｂＸがセットステーション１３ａＸから完全に抜け出て、パネル３Ｘ表面より上方に位置した時、上下駆動アクチュエータ２２Ｘは停止し、キャリアＫＸをその高さの位置で保持する。
【００１６】
次に、水平移動ステージ２３Ｘが水平駆動アクチュエータ２５Ｘによりガイドレール２４Ｘに沿って矢印Ｘの方向に移動する。そしてキャリアＫＸがセットステーション１３ｂＸの上方位置に達した時に、水平駆動アクチュエータ２５Ｘが停止するようになっている。
【００１７】
そして、キャリア載置台２１Ｘは上下駆動アクチュエータ２２Ｘにより矢印Ｙの方向に下降し、キャリアＫＸの下端部ＫｂＸがセットステーション１３ｂＸで位置決めされる。そして、キャリア載置台２１Ｘが更に降下して、キャリアＫＸの下端部ＫｂＸと完全に離れた時点で、上下駆動アクチュエータ２２Ｘは停止する。そしてキャリア載置台２１Ｘは水平駆動アクチュエータ２５Ｘにより矢印Ｘの方向に移動し、初めの停止位置に戻る。このようにして、キャリアＫＸをセットステーション１３ａＸからセットステーション１３ｂＸへ搬送することができる。
【００１８】
また、キャリア載置台２１Ｘは２個のキャリアＫＸを載せることができ、セットステーション１３ｂＸからセットステーション１３ｃＸへとキャリアＫＸを搬送することができる。更に、２個のキャリアＫＸを同時に搬送することもできる。この２個のキャリアＫＸを同時に搬送する例を図１６乃至図１９を用いて説明する。
【００１９】
図１６に示したように、最初にキャリアＫ１Ｘ及びキャリアＫ２Ｘがそれぞれセットステーション１３ａＸ及びセットステーション１３ｂＸに載置されているとする。上下駆動アクチュエータ２２Ｘを動作させ、図１７に示したように、キャリア載置台２１Ｘが両者のキャリアＫ１Ｘ及びＫ２Ｘを上昇させる。その上昇状態で、次に、水平駆動アクチュエータ２５Ｘを動作させ、図１８に示したように、キャリア載置台２１Ｘを水平方向に移動させ、キャリアＫ１Ｘ及びＫ２Ｘをそれぞれセットステーション１３ｂＸ及び１３ｃＸの上方位置に移動させる。そして、図１９に示したように、その状態でまた上下駆動アクチュエータ２２Ｘを作動、下降させ、各セットステーション１３ｂＸ及び１３ｃＸに各キャリアＫ１Ｘ及びＫ２Ｘを載置し、搬送が完了する。
【００２０】
このようなキャリア搬送装置として、例えば特開平０６−１４０４９３号公報に記載されているような搬送装置が提案されている。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
特開平０６−１４０４９３号公報に記載されている様にして、キャリアが搬送されるが、このような従来の搬送装置では、キャリアに載るワークの数、ピッチが変わると搬送装置の改造が必要となる問題点があった。そのため、従来の搬送装置では、キャリアに載るワークの数、ピッチが変わるとそれに対応するために、多くの労力とコストを要していた。
【００２２】
従って、本発明は上述した課題に鑑みてなれたものであり、その目的は、キャリアに載るワークの数、ピッチが変化しても搬送装置を改造することなく対応することができる搬送装置及び搬送方法を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わるワーク搬送装置は、複数のワークを予め定められたピッチ幅で載せたキャリアを搬送するための搬送装置であって、前記キャリアを、前記ワークに所定の処理を施す処理位置が設けられた処理装置内に搬入する搬入手段と、前記搬入手段により搬入されたキャリアを受け取って、前記複数のワークが１つずつ順次前記処理装置の前記処理位置に位置するように、前記複数のワークのピッチ幅に合わせた間隔で、前記キャリアを間欠搬送する搬送手段と、前記複数のワークの全てが前記処理位置で所定の処理を施された後に、前記搬送手段から前記キャリアを受け取り、前記処理装置外部に搬出する搬出手段とを具備することを特徴としている。
【００２４】
また、この発明に係わるワーク搬送装置において、前記キャリアは、該キャリアの大きさの範囲内で任意の数のワークを載置可能であり、前記キャリアに載置されたワークのピッチ幅に応じて前記間隔を調整していることを特徴としている。
【００３３】
また、本発明に係わるワーク搬送方法は、複数のワークを予め定められたピッチ幅で載せたキャリアを搬送するための搬送方法であって、前記キャリアを、前記ワークに所定の処理を施す処理位置が設けられた処理装置内に搬入する搬入工程と、前記搬入工程において搬入されたキャリアを、前記複数のワークが１つずつ順次前記処理装置の前記処理位置に位置するように、前記複数のワークのピッチ幅に合わせた間隔で、間欠搬送する搬送工程と、前記複数のワークの全てが前記処理位置で所定の処理を施された後に、前記キャリアを前記処理装置外部に搬出する搬出工程とを具備することを特徴としている。
また、この発明に係わるワーク搬送方法において、前記キャリアは、該キャリアの大きさの範囲内で任意の数のワークを載置可能であり、前記キャリアに載置されたワークのピッチ幅に応じて前記間隔を調整する調整工程をさらに具備することを特徴としている。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３５】
図１３は、本発明の搬送装置の一実施形態の全体構成を示す上面図、図１３Ｂは側面図である。
【００３６】
図１乃至図１１は一実施形態の搬送装置の搬送方法を示す上面図である。１００は作業を行うための装置全体を示している。
【００３７】
図１は、前の装置から本実施形態の装置へキャリアが運び込まれる図であり、キャリア１は図の左から右に搬送されている。このときシリンダ２に取り付けられている台８にキャリアは載ってくる。また、キャリア１には本実施形態では４個のワークＷが載っているが、キャリアテープの長さが一定ならばその長さ内では何個でも、またどのようなピッチでも載せることができる。２は前の装置からキャリア１を移載するシリンダである。また、位置決めピン８ａが台８に取り付けられており、キャリア１に開けられている穴に挿入され、キャリア１の位置決めが行われる。
【００３８】
図２は、本実施形態の装置にキャリアが運び込まれた状態を示す図である。この時、台８は台９よりも高さが高い状態で移載されてくるため台８と台９が干渉することはない。台９はロボット４に取り付けられている。
【００３９】
図３では、シリンダ３が下に下がることによって擦ることなく、従って発塵することなくキャリア１が台８から台９へ上から下に受け渡される。上下の動作では、台８はコの字型に形成され、台９は長方形に形成されているので互いに干渉することはない。台９にも位置決めピン９ａが取り付けられており、キャリア１に開けられている穴に挿入され、キャリア１の位置決めを行う。
【００４０】
図４では、キャリアが台８から台９へ受け渡された後、台８が台９より下まで下がり、干渉しない位置まで下がった後、シリンダ２によって前の装置側へ戻り、次のキャリアを移載するための準備を行う。
【００４１】
図５は、キャリア１がロボット４によって搬送される状態を示す図である。キャリア１は台９ごとロボット４により搬送され、キャリア１に載せられたワークのピッチと数によってあらかじめ指定しておいた距離移動し、実際に作業するエリア７まで１つ目のワークＷが搬送される。ここで、作業のために例えば１０秒停止した後、２個目のワークを作業エリア７まで搬送し、１０秒停止する。これが図６の状態である。なお、ロボット４は、キャリア１に載せられたワークのピッチに応じて、任意の距離だけ移動可能である。
【００４２】
図７は３個目のワークが作業エリア７まで搬送された図である。
【００４３】
図８は４個目のワークが作業エリア７まで搬送された図である。
【００４４】
図９は４個目のワークの作業が終了し、キャリア１が後の装置へ搬送するシリンダ６側に移動した図である。このとき、シリンダ６に取り付けられている台１０は台９よりも低い位置で待機している。この高さは、シリンダ２に取り付けられた台８が本装置１００から前の装置へ移動する高さである。すなわち、シリンダ２に取り付けられた台８は図９で示す状態で待機していることになる。
【００４５】
次に図１０では、シリンダ５によって台１０を台９の下から上へ持ち上げることで台９から台１０へキャリア１を受け渡す。台１０にも位置決めピン１０ａが取り付けられており、キャリア１に開けられている穴に挿入され、キャリア１の位置決めを行う。
【００４６】
図１１では、台１０に載せられたキャリア１を本装置から後ろの装置へ搬送する。
【００４７】
また、図４で示したように、キャリア１が一度台９に載ってしまえば、前の装置から次のキャリアが運ばれてきても、台８と台９が高さ方向にずれているので、前後の装置のタイムタクトに関係なく本実施形態の装置１００内で待機させることができる。これを図１２に示す。
【００４８】
以上説明したように、上記の実施形態によれば、キャリアに載るワークの数、ピッチが変化しても搬送装置を改造することなく対応でき、次のキャリアが装置内で待機することで、搬送のタクトタイムを抑え、かつ発塵を抑えることが出来る。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明によれば、キャリアに載るワークの数、ピッチが変化しても搬送装置を改造することなく対応することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第１の上面図である。
【図２】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第２の上面図である。
【図３】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第３の上面図である。
【図４】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第４の上面図である。
【図５】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第５の上面図である。
【図６】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第６の上面図である。
【図７】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第７の上面図である。
【図８】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第８の上面図である。
【図９】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第９の上面図である。
【図１０】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第１０の上面図である。
【図１１】一実施形態の搬送装置の一連の動作を示す第１１の上面図である。
【図１２】一実施形態の搬送装置の前後の装置のタクトタイムに関係なく、次のキャリアが一実施形態の搬送装置内で待機できることを示す上面図である。
【図１３Ａ】一実施形態の搬送装置の全体を示す上面図である。
【図１３Ｂ】一実施形態の搬送装置の全体を示す側面図である。
【図１４】従来のキャリア搬送装置を使用した洗浄装置の概略斜視図である。
【図１５】図１４で用いられている従来のキャリア搬送装置の一部斜視図である。
【図１６】図１５に示したキャリア搬送装置の動作を説明するための第１の状態を示した側面図である。
【図１７】図１６に示した状態に続く第２の状態を示した側面図である。
【図１８】図１７に示した状態に続く第３の状態を示した側面図である。
【図１９】図１８に示した状態に続く第４の状態を示した側面図である。
【符号の説明】
１ キャリア
２ 移載シリンダ
３ 上下シリンダ
４ ロボット
５ 上下シリンダ
６ 移載シリンダ
７ 作業エリア
８ 移載部
９ 移載部
１０ 移載部
１１ ガイド
１Ｘ 半導体ウエハ洗浄装置
２Ｘ 本体
３Ｘ パネル
４Ｘ ローダ部
５Ｘ 薬液槽
６Ｘ 水洗槽
７Ｘ 水洗槽
８Ｘ 乾燥槽
９Ｘ アンローダ部
１０Ｘ ガイド
１１Ｘ 搬送ロボット
１１ａＸ ハンガー
１２Ｘ 開口
１３Ｘ セットステーション
１４Ｘ メンテナンス用扉
２０Ｘ キャリア搬送装置
２１Ｘ キャリア載置台
２２Ｘ 上下駆動アクチュエータ
２２ａＸ 軸
２３Ｘ 水平移動ステージ
２４Ｘ ガイドレール
２５Ｘ 水平駆動アクチュエータ
ＫＸ キャリア
ＳＸ ウエハ
１００ 搬送装置
Claims (4)
- 複数のワークを予め定められたピッチ幅で載せたキャリアを搬送するための搬送装置であって、
前記キャリアを、前記ワークに所定の処理を施す処理位置が設けられた処理装置内に搬入する搬入手段と、
前記搬入手段により搬入されたキャリアを受け取って、前記複数のワークが１つずつ順次前記処理装置の前記処理位置に位置するように、前記複数のワークのピッチ幅に合わせた間隔で、前記キャリアを間欠搬送する搬送手段と、
前記複数のワークの全てが前記処理位置で所定の処理を施された後に、前記搬送手段から前記キャリアを受け取り、前記処理装置外部に搬出する搬出手段とを具備することを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記キャリアは、該キャリアの大きさの範囲内で任意の数のワークを載置可能であり、前記キャリアに載置されたワークのピッチ幅に応じて前記間隔を調整していることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
- 複数のワークを予め定められたピッチ幅で載せたキャリアを搬送するための搬送方法であって、
前記キャリアを、前記ワークに所定の処理を施す処理位置が設けられた処理装置内に搬入する搬入工程と、
前記搬入工程において搬入されたキャリアを、前記複数のワークが１つずつ順次前記処理装置の前記処理位置に位置するように、前記複数のワークのピッチ幅に合わせた間隔で、間欠搬送する搬送工程と、
前記複数のワークの全てが前記処理位置で所定の処理を施された後に、前記キャリアを前記処理装置外部に搬出する搬出工程とを具備することを特徴とするワーク搬送方法。 - 前記キャリアは、該キャリアの大きさの範囲内で任意の数のワークを載置可能であり、前記キャリアに載置されたワークのピッチ幅に応じて前記間隔を調整する調整工程をさらに具備することを特徴とする請求項３に記載のワーク搬送方法。
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