JPH06140493A - 半導体ウエハキャリア用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】任意のセットステーションにウエハキャリヤが
存在していても、それが搬送作業の妨げになることな
く、順次、次のウエハキャリヤを先へ搬送できるように
することにある。 【構成】高さが異なる（セットステーション数−１）個
のキャリア載置面を有するキャリア持ち上げ部２１ａ
（２１ｂ）が一体に形成されたキャリア載置台２１Ａを
用い、このキャリア載置台２１Ａで、一つのセットステ
ーション１３ａに在るキャリアＫ１を上方向に持ち上
げ、他のセットステーション１３ｂの位置へ水平方向に
移動させ、その位置で降下させて搬送できるように構成
している。 【効果】任意のセットステーションにキャリアが在って
も、次のキャリアを何時でも前方に搬送でき、作業効率
が上がり、簡単な機構で製造コストの削減もできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、半導体ウエ
ハ洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」」と記す）におい
て、その洗浄装置に半導体ウエハキャリア（以下、単に
「キャリア」と記す）を搭載するローダーや、或いはそ
の洗浄装置から下ろすアンローダに使用して好適な半導
体ウエハキャリア用搬送装置（以下、単に「キャリア搬
送装置」と記す）に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来技術のこの種のキャリア搬送装置を
図１４乃至図２０を用いて説明する。図１４はこの発明
のキャリア搬送装置を使用するのに好適な従来技術の洗
浄装置の概略斜視図であり、図１５は図１４で用いられ
ている従来技術のキャリア搬送装置の一部斜視図であ
り、図１６は図１５に示したキャリア搬送装置の動作を
説明するための第１の状態を示した側面図であり、図１
７は図１６に示した状態に続く第２の状態を示した側面
図であり、図１８は図１７に示した状態に続く第３の状
態を示した側面図であり、図１９は図１８に示した状態
に続く第４の状態を示した側面図である。そして図２０
は従来技術のキャリア搬送装置の問題点を説明するため
のキャリア搬送装置の側面図である。

【０００３】先ず、図１４を用いて、従来技術の洗浄装
置を説明する。図１４において、符号１は全体として洗
浄装置を示す。この洗浄装置１は、その本体２のパネル
３上に、正面から向かって、例えば、左側からキャリア
Ｋを搭載するローダ部４と、その右隣へ、順次設けられ
た薬液槽５、水洗槽６、水洗槽７、乾燥槽８と、この洗
浄装置１の右端でキャリアＫを下ろすアンローダ部９
と、そしてこれら全体の背後に在って、前記ローダ部４
からキャリアＫを順次、前記薬液槽５へ、この薬液槽５
から水洗槽６へ、この水洗槽６から次の水洗槽７へ、こ
の水洗槽７から次の乾燥槽８へ、そしてアンローダ部９
へとガイド１０に沿って搬送する搬送ロボット１１とか
ら構成されている。なお、符号１４はメンテナンス用扉
を指す。

【０００４】前記ローダ部４には、表面処理しようとす
るウエハＳが収納されたキャリアＫが搭載される。この
ウエハＳの表面処理を行う場合には、搬送ロボット１１
のハンガー１１ａでキャリアＫを保持、持ち上げ、先
ず、そのキャリアＫを薬液槽５に浸漬する。ウエハＳの
表面処理が終了すると、再び搬送ロボット１１のハンガ
ー１１ａでそのキャリアＫを持ち上げ、次の水洗槽６
に、そして水洗槽７にと浸漬し、洗浄する。ウエハＳが
洗浄され、乾燥されると、また搬送ロボット１１のハン
ガー１１ａでそのキャリアＫを持ち上げて、最終段のア
ンローダ部９に載置される。

【０００５】洗浄装置１はこのように構成され、ウエハ
Ｓの表面処理を行うのであるが、前記ローダ部４に未処
理のウエハＳを収納したキャリアＫを搭載し、搬送ロボ
ット１１に搬送させるには、先ず、図１５に拡大して図
示したように、作業者が洗浄装置１の前方からローダ部
４の手前のセットステーション１３ａにキャリアＫを置
き、洗浄装置１の内部に在って、ローダ部４の開口１２
に臨んで配置したキャリア搬送装置２０で搬送ロボット
１１に近いローダ部４の後方のセットステーション１３
ｃに搬送させている。

【０００６】また、アンローダ部９では搬送ロボット１
１に近いアンローダ部９の後方のセットステーション１
３ｃに、表面処理されたウエハＳが収納されているキャ
リアＫを下ろし、やはり洗浄装置１の内部に在って、ロ
ーダ部４の開口１２に臨んで配置したキャリア搬送装置
２０で、そのキャリアＫをアンローダ部９の手前のセッ
トステーション１３ａに搬送するようにしている。この
ようにすることにより、作業者は容易にそのキャリアＫ
を洗浄装置１から下ろすことができる。

【０００７】前記ローダ部４及びアンローダ部９はパネ
ル３に開けた長孔の開口１２と、一対の対向して形成さ
れた段部からなるセットステーション１３とで構成され
ていて、このセットステーション１３にキャリアＫを載
置し、その動きを固定するようにしている。図示の例で
は、図１５に拡大して図示したように、３ヵ所にセット
ステーション１３ａ、１３ｂ １３ｃを設けた。

【０００８】次に、従来技術の前記キャリア搬送装置２
０を図１５を用いて説明する。前記ローダ部４またはア
ンローダ部９で使用されるキャリア搬送装置２０は、そ
の構成においても、動作においても同一であるので、こ
こでの説明は、ローダ部４におけるキャリア搬送装置２
０を採り上げて説明する。

【０００９】このキャリア搬送装置２０は、洗浄装置１
のパネル３に開けられた前記開口１２に臨むように配置
されている。このキャリア搬送装置２０は、キャリア載
置台２１と、このキャリア載置台２１を矢印Ｙ方向の上
下に駆動し、前記キャリア載置台２１を支持する軸２２
ａを備えた駆動源である上下駆動アクチュエータ２２
と、このアクチュエータ２２を支持する水平移動ステー
ジ２３と、表面にガイドレール２４が形成され、前記水
平移動ステージ２３をこのガイドレール２４に沿って矢
印Ｘの水平方向に駆動する駆動源である水平駆動アクチ
ュエータ２５とから構成されている。

【００１０】前記キャリア載置台２１の幅は開口１２の
幅より十分狭い幅で構成し、このキャリア載置台２１が
上昇して開口１２から突き出る時に、開口１２の側縁に
当たらないようにされている。

【００１１】次に、このような構成のキャリア搬送装置
２０の動作を説明する。作業者がキャリアＫの把手Ｋａ
を持ってセットステーション１３ａにキャリアＫを載置
したとする。キャリア載置台２１が上下駆動アクチュエ
ータ２２により矢印Ｙの方向に上昇し、前記キャリアＫ
を持ち上げる。キャリアＫの下端部Ｋｂがセットステー
ション１３ａから完全に抜け出て、パネル３表面より上
方に位置した時、上下駆動アクチュエータ２２は停止
し、キャリアＫをその高さの位置で保持する。

【００１２】次に、水平移動ステージ２３が水平駆動ア
クチュエータ２５によりガイドレール２４に沿って矢印
Ｘの方向に移動する。そしてキャリアＫがセットステー
ション１３ｂの上方位置に達した時に、前記水平駆動ア
クチュエータ２５が停止するようになっている。

【００１３】そして、キャリア載置台２１は上下駆動ア
クチュエータ２２により矢印Ｙの方向に下降し、キャリ
アＫの下端部Ｋｂがセットステーション１３ｂで位置決
めされる。そして、キャリア載置台２１が更に降下し
て、キャリアＫの下端部Ｋｂと完全に離れた時点で、前
記上下駆動アクチュエータ２２は停止する。そしてキャ
リア載置台２１は水平駆動アクチュエータ２５により矢
印Ｘの方向に移動し、初めの停止位置に戻る。このよう
にして、キャリアＫをセットステーション１３ａからセ
ットステーション１３ｂへ搬送することができる。

【００１４】また、キャリア載置台２１は２個のキャリ
アＫを載せることができ、セットステーション１３ｂか
らセットステーション１３ｃへとキャリアＫを搬送する
ことができる。更に、２個のキャリアＫを同時に搬送す
ることもできる。この２個のキャリアＫを同時に搬送す
る例を図１６乃至図１９を用いて説明する。

【００１５】図１６に示したように、最初にキャリアＫ
１及びキャリアＫ２がそれぞれセットステーション１３
ａ及びセットステーション１３ｂに載置されているとす
る。上下駆動アクチュエータ２２を動作させ、図１７に
示したように、キャリア載置台２１が両者のキャリアＫ
１及びＫ２を上昇させる。その上昇状態で、次に、水平
駆動アクチュエータ２５を動作させ、図１８に示したよ
うに、キャリア載置台２１を水平方向に移動させ、キャ
リアＫ１及びＫ２をそれぞれセットステーション１３ｂ
及び１３ｃの上方位置に移動させる。そして、その状態
でまた上下駆動アクチュエータ２２を作動、下降させ、
前記各セットステーション１３ｂ及び１３ｃに各キャリ
アＫ１及びＫ２を載置し、搬送が完了する。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来技術のキ
ャリア搬送装置２０はこのような構成を採っているため
に、図２０に示したように、キャリアＫ２が初めからセ
ットステーション１３ｃに載置されている場合、セット
ステーション１３ａに在るキャリアＫ１をセットステー
ション１３ｂに搬送することができない。即ち、セット
ステーション１３ａに載置したキャリアＫ１をセットス
テーション１３ｂへ搬送しようとすると、キャリア載置
台２１の先端部がキャリアＫ２に衝突し、それ以上キャ
リア載置台２１を左方に移動させることができない。従
って、セットステーション１３ｃにキャリアが在る限
り、このキャリア搬送装置２０を動作させることができ
ない。

【００１７】この問題点を解決する一つの方策は、キャ
リアを一個だけ載せることのできる大きさのキャリア載
置台を有するキャリア搬送装置を２台用いることであ
る。即ち、セットステーション１３ａからセットステー
ション１３ｂへの搬送を１台のキャリア搬送装置で、ま
たセットステーション１３ｂからセットステーション１
３ｃへの搬送をもう１台のキャリア搬送装置で行う方法
である。

【００１８】こうすることにより、キャリアを順に次の
セットステーションに搬送することができるが、キャリ
ア搬送装置が２台必要になり、洗浄装置１における機械
系が大きくなり、またコストが上昇するという問題点が
ある。この発明は前記諸問題を解決することを課題とす
るものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】そのため、この発明のキ
ャリア搬送装置は、高さが異なる（セットステーション
数−１）個のキャリア載置面を有するキャリア持ち上げ
部が一体に形成されたキャリア載置台を用い、このキャ
リア載置台で、一つのセットステーションに存在するウ
エハキャリヤを上方に持ち上げ、次のセットステーショ
ンの上方位置へ水平方向に移動させ、その後降下させ
て、任意のセットステーションにウエハキャリヤが存在
していても、それが搬送作業の妨げになることなく、順
次、各ウエハキャリヤを先に搬送できるように構成し
た。

【００２０】

【作用】従って、この発明によれば、ローダ部の搬送ロ
ボットに近い側のセットステーションや中間のセットス
テーションに、たとえキャリアが存在していても、また
アンローダ部の搬送ロボットから遠い側、即ち、洗浄装
置１の前面側や、中間のセットステーションに、たとえ
キャリアが存在していても、それらのキャリアも含めて
順次キャリアを先へ搬送することができる。

【００２１】

【実施例】この発明のキャリア搬送装置の実施例を図１
乃至図１７を用いて説明する。なお、従来技術のキャリ
ア搬送装置と同一部分には同一の符号を付し、それらの
説明を省略する。先ず、第１の実施例を図１乃至図９を
用いて説明する。図１はこの発明のキャリア搬送装置の
第１の実施例概略斜視図であり、図２は図１に示したキ
ャリア搬送装置の動作を説明するための第１の状態を示
した側面図であり、図３は図２に示した状態に続く第２
の状態を示した側面図であり、図４は図３に示した状態
に続く第３の状態を示した側面図であり、図５は図４に
示した状態に続く第４の状態を示した側面図である。ま
た、図６は２個のキャリアを同時に搬送する時の第１の
状態を示した側面図であり、図７は図６に示した状態に
続く第２の状態を示した側面図であり、図８は図７に示
した状態に続く第３の状態を示した側面図であり、図９
は図８に示した状態に続く第４の状態を示した側面図で
ある。

【００２２】図１において、符号２０Ａは全体としてキ
ャリア搬送装置を指す。このキャリア搬送装置２０Ａの
構成は、キャリア載置台２１Ａが異なる以外、従来技術
のキャリア搬送装置２０の構成と同一である。

【００２３】このキャリア載置台２１Ａが従来技術のキ
ャリア搬送装置２０のキャリア載置台２１と異なる点
は、キャリアを載せる２ヵ所の載置面の内、開口１２の
セットステーション１３ａに対応するステージ上に、キ
ャリア載置台２１Ａと同等の幅で、キャリアの奥行きと
ほぼ同等の奥行きがある載置面を有するキャリア持ち上
げ部（以下、単に「持ち上げ部」と記す）２１ａを一体
的に設けた点である。

【００２４】次に、図２乃至図９を用いてこの発明のキ
ャリア載置台２１Ａの動作を説明する。図２は、ローダ
部４のセットステーション１３ａにキャリアＫ１が、そ
してセットステーション１３ｃにキャリアＫ２が存在し
ていて、キャリア搬送装置２０Ａの前記持ち上げ部２１
ａが前記セットステーション１３ａの下方に位置してい
る最初の状態を示している。持ち上げ部２１ａはまだキ
ャリアＫ１の下端部Ｋｂには接していない。

【００２５】次に、図３に示したように、上下駆動アク
チュエータ２２を作動させ、軸２２ａと一体になったキ
ャリア載置台２１Ａを上昇させる。キャリアＫ１はキャ
リア載置台２１Ａ上の持ち上げ部２１ａで持ち上げられ
た状態でその下端部Ｋｂがセットステーション１３ａか
ら抜け、矢印Ｘの左方に移動可能な状態の高さ位置まで
持ち上げられる。一方、キャリア載置台２１Ａは、まだ
開口１２の下方（即ち、パネル３の下方）で、キャリア
Ｋ２の下端部Ｋｂより下方の高さ位置に在る。

【００２６】この状態で、次に、水平駆動アクチュエー
タ２５を作動させ、キャリアＫ１を載置したまま、キャ
リア載置台２１Ａを矢印Ｘの左方終端に搬送する。この
状態を図４に示した。キャリア載置台２１Ａの先端部は
セットステーション１３ｃに在るキャリアＫ２の下端部
Ｋｂよりも下方の位置に在るので、そのキャリアＫ２に
衝突することがない。

【００２７】そして、この状態で、上下駆動アクチュエ
ータ２２を作動させ、矢印Ｙの下方向にキャリア載置台
２１Ａを下げると、図５に示したように、キャリアＫ１
はセットステーション１３ｂに載置することができる。
更に、キャリア載置台２１Ａを下降させて、図５に示し
たように、持ち上げ部２１ａが開口１２の下方の高さ位
置に下がった状態で、水平駆動アクチュエータ２５を作
動させ、矢印Ｘの右方向に移動させて、最初の位置、即
ち、セットステーション１３ａの下方の位置に戻す。

【００２８】以上、説明したように、この発明のキャリ
ア搬送装置２０Ａによれば、ローダ部４のセットステー
ション１３ｃにキャリアＫ２が存在する場合でも、キャ
リアＫ１をセットステーション１３ａからセットステー
ション１３ｂに搬送することが可能になる。

【００２９】次に、ローダ部４のセットステーション１
３ａ及び１３ｂのそれぞれにキャリアＫ１及びＫ２が存
在し、これらのキャリアＫ１及びＫ２を同時に搬送する
場合を、図６乃至図９を用いて説明する。

【００３０】図６は最初の状態を示したもので、セット
ステーション１３ａ及び１３ｂにキャリアＫ１及びＫ２
が載置されている。この状態で上下駆動アクチュエータ
２２を作動させ、矢印Ｙの方向にキャリア載置台２１Ａ
を上昇させる。

【００３１】このキャリア載置台２１Ａの上昇過程で、
図７に示したように、先ず、キャリアＫ１はキャリア載
置台２１Ａの持ち上げ部２１ａで持ち上げられ、続いて
キャリア載置台２１Ａの残るステージでキャリアＫ２が
持ち上げられる。キャリア載置台２１Ａが開口１２の上
方に十分に持ち上げられると、水平駆動アクチュエータ
２５を作動させる。

【００３２】そうすると、キャリア載置台２１Ａは矢印
Ｘの左方向に移動し、図８に示したように、各キャリア
Ｋ１及びＫ２はそれぞれセットステーション１３ｂ及び
１３ｃの上方に移動する。

【００３３】次に、この状態で上下駆動アクチュエータ
２２を作動させ、キャリア載置台２１Ａを降下させる
と、図９に示したように、各キャリアＫ１及びＫ２はそ
れぞれセットステーション１３ｂ及び１３ｃに載置する
ことができる。そして前記持ち上げ部２１ａが開口１２
から十分に下降した状態で、水平駆動アクチュエータ２
５を作動させ、矢印Ｘの右方向に移動させて、最初の位
置で停止させる。図９はこの状態を示したものである。

【００３４】次に、第２の実施例を図１０乃至図１３を
用いて説明する。図１０はこの発明のキャリア搬送装置
の第２の実施例の動作を説明するための第１の状態を示
した側面図であり、図１１は図１０に示した状態に続く
第２の状態を示した側面図であり、図１２は図１１に示
した状態に続く第３の状態を示した側面図であり、図１
３は図１２に示した状態に続く第４の状態を示した側面
図である。

【００３５】この第２の実施例は、前記洗浄装置１のロ
ーダ部４に４箇所のセットステーション１３ａ、１３
ｂ、１３ｃ及び１３ｄが設けられた場合を示したもの
で、そして予めセットステーション１３ｄ及び１３ｂに
それぞれキャリアＫ３及びキャリアＫ２が載置されてい
る状態の所へ、セットステーション１３ａにキャリアＫ
１を載置し、このキャリアＫ１と共に前記キャリアＫ２
を同時に搬送させようとする場合の状態を説明しようと
するものである。

【００３６】この実施例のキャリア搬送装置２０Ｂのキ
ャリア載置台２１Ｂが第１の実施例キャリア搬送装置２
０Ａのキャリア載置台２１Ａと異なる点は、キャリア載
置台２１Ｂに持ち上げ部が３箇所設けられていることで
ある。即ち、図１０の状態で、開口１２のセットステー
ション１３ｃに対応する載置台（キャリア載置台２１Ｂ
そのもの）とセットステーション１３ｂに対応するキャ
リア載置台２１Ｂ上に設けられた持ち上げ部２１ｂと、
そしてセットステーション１３ａに対応するキャリア載
置台２１Ｂ上に設けられた持ち上げ部２１ａである。

【００３７】前記持ち上げ部２１ｂは、キャリア載置台
２１Ｂと同等の幅で、キャリアの奥行きとほぼ同等の奥
行きがあり、そしてその高さは、キャリア載置台２１Ｂ
がパネル３の下方に在る状態において（図１１の状態）
キャリアＫ２をセットステーション１３ｂから十分に持
ち上げられる高さに構成されている。また、持ち上げ部
２１ａも同様の幅と奥行きがあるが、その高さは持ち上
げ部２１ｂの高さと異ならせ、持ち上げ部２１ｂのの高
さの約２倍の高さに構成されている。これらの持ち上げ
部２１ａ、２１ｂはキャリア載置台２１Ｂと一体的に形
成されている。

【００３８】次に、図１０乃至図１３を用いてこの実施
例のキャリア載置台２１Ｂの動作を説明する。図１０
は、ローダ部４のセットステーション１３ｄにキャリア
Ｋ３が、セットステーション１３ｂにキャリアＫ２が存
在していて、そしてセットステーション１３ａにキャリ
アＫ１をセットして、キャリア載置台２１Ｂの前記持ち
上げ部２１ｂ及び２１ａがそれぞれ前記セットステーシ
ョン１３ｂ及び１３ａの下方に位置して、前記２個のキ
ャリアＫ２及びＫ１を同時に持ち上げ、搬送しようとし
ている最初の状態を示している。持ち上げ部２１ａはま
だキャリアＫ１の下端部Ｋｂには接していない。

【００３９】次に、図１１に示したように、上下駆動ア
クチュエータ２２を作動させ、軸２２ａと一体になった
キャリア載置台２１Ｂを矢印Ｙの方向に上昇させる。キ
ャリアＫ１はキャリア載置台２１Ｂ上の持ち上げ部２１
ａで持ち上げられた状態で、その下端部Ｋｂがセットス
テーション１３ａから抜け、高く持ち上げられた状態に
あり、またキャリアＫ２もキャリア載置台２１Ｂ上の持
ち上げ部２１ｂで持ち上げられた状態で、その下端部Ｋ
ｂもセットステーション１３ｂから抜け、少し持ち上げ
られた状態の、矢印Ｘの左方に移動可能な状態の高さ位
置まで持ち上げられる。一方、キャリア載置台２１Ｂ
は、まだ開口１２の下方（即ち、パネル３の下方）で、
キャリアの下端部Ｋｂより下方の高さ位置に在る。

【００４０】この状態で、次に、水平駆動アクチュエー
タ２５を作動させ、キャリアＫ１及びＫ２を載置したま
ま、キャリア載置台２１Ｂを矢印Ｘの左方に１セットス
テーションだけ搬送する。この状態を図１２に示した。
キャリア載置台２１Ｂの先端部はセットステーション１
３ｄに在るキャリアＫ３の下端部Ｋｂよりも下方の位置
に在るので、キャリア載置台２１Ｂの先端部はそのキャ
リアＫ３に衝突することがない。

【００４１】そして、この状態で、上下駆動アクチュエ
ータ２２を作動させ、矢印Ｙの下方向にキャリア載置台
２１Ｂを下げると、図１３に示したように、キャリアＫ
２はセットステーション１３ｃに、そしてキャリアＫ１
はセットステーション１３ｂに載置することができる。
更に、キャリア載置台２１Ｂを下降させて、図１３に示
したように、持ち上げ部２１ａが開口１２の下方の高さ
位置に下がった状態で、水平駆動アクチュエータ２５を
作動させ、矢印Ｘの右方向に移動させて、最初の位置、
即ち、セットステーション１３ａの下方の位置に戻す。

【００４２】以上、説明したように、この発明のキャリ
ア搬送装置２０Ｂによれば、ローダ部４のセットステー
ション１３ｄやセットステーション１３ｂにキャリアが
存在する場合でも、セットステーション１３ｂからセッ
トステーション１３ｃに、そしてセットステーション１
３ａからセットステーション１３ｂにキャリアを搬送す
ることができる。

【００４３】ローダ部４やアンローダ部９のセットステ
ーション数は前記のように３箇所とか４箇所に限定され
るものではなく、一般に、セットステーションの数は任
意の整数Ｎ（Ｎは３以上の数）個あってもよく、キャリ
ア載置台にはその上に（Ｎ−１）個の順次高さの異なる
持ち上げ部を設けるとよい。そして、前記上下駆動アク
チュエータ２２にキャリア載置台を少なくともセットス
テーション数と同数の停止位置に停止させる機能を付与
し、また水平駆動アクチュエータ２５に前記各停止位置
でキャリア載置台を水平方向に少なくとも１セットステ
ーション分移動させる機能を付与するとよい。

【００４４】前記の各実施例では、図１４に示した洗浄
装置１のローダ部４におけるキャリア搬送装置に適用し
て説明したが、アンローダ部９におけるキャリア搬送装
置に適用することもできる。この場合は、搬送ロボット
１１が走行する側のセットステーションから洗浄装置１
の前面側のセットステーションに、順次、洗浄されたウ
エハＳが収納されたキャリアを搬送することにより、作
業者が奥の方に手を伸ばさなくても、手前のパネル３上
でキャリアを積み下ろすことができる。

【００４５】また、この発明のキャリア搬送装置は、洗
浄装置にのみ用いられるものではなく、ウエハＳの他の
処理工程における諸装置においても適用できることは容
易に理解されよう。

【００４６】

【発明の効果】以上、説明したように、この発明のキャ
リア搬送装置は、任意のセットステーションにキャリア
が在っても、そのキャリアが搬送の妨げになることはな
く、順次、キャリアを前方へ搬送することができ、しか
も何時でも搬送作業行うことができるので、作業能率が
上がる。また、その機構が極めて簡単であるので、殆ど
経費が掛けずに実現することができ、両々相俟って、製
造コストも削減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のキャリア搬送装置の第１の実施例概
略斜視図である。

【図２】図１に示したキャリア搬送装置の動作を説明す
るための第１の状態を示した側面図である。

【図３】図２に示した状態に続く第２の状態を示した側
面図である。

【図４】図３に示した状態に続く第３の状態を示した側
面図である。

【図５】図４に示した状態に続く第４の状態を示した側
面図である。

【図６】２個のキャリアを同時に搬送する時の第１の状
態を示した側面図である。

【図７】図６に示した状態に続く第２の状態を示した側
面図である。

【図８】図７に示した状態に続く第３の状態を示した側
面図である。

【図９】図８に示した状態に続く第４の状態を示した側
面図である。

【図１０】この発明のキャリア搬送装置の第２の実施例
の動作を説明するための第１の状態を示した側面図であ
る。

【図１１】図１０に示した状態に続く第２の状態を示し
た側面図である。

【図１２】図１１に示した状態に続く第３の状態を示し
た側面図である。

【図１３】図１２に示した状態に続く第４の状態を示し
た側面図である。

【図１４】この発明のキャリア搬送装置を使用するのに
好適な従来技術の洗浄装置の概略斜視図である。

【図１５】図１４で用いられている従来技術のキャリア
搬送装置の一部斜視図である。

【図１６】図１５に示したキャリア搬送装置の動作を説
明するための第１の状態を示した側面図である。

【図１７】図１６に示した状態に続く第２の状態を示し
た側面図である。

【図１８】図１７に示した状態に続く第３の状態を示し
た側面図である。

【図１９】図１８に示した状態に続く第４の状態を示し
た側面図である。

【図２０】従来技術のキャリア搬送装置の問題点を説明
するためのキャリア搬送装置の側面図である。

【符号の説明】

１ 半導体ウエハ洗浄装置（洗浄装置） ２ 本体 ３ パネル ４ ローダ部 ５ 薬液槽 ９ アンローダ部 １０ ガイド １１ 搬送ロボット １１ａ ハンガー １２ 開口 １３ セットステーション １３ａ セットステーション １３ｂ セットステーション １３ｃ セットステーション １３ｄ セットステーション ２０Ａ この発明の第１実施例の半導体ウエハキャリ
ア用搬送装置（キャリア搬送装置） ２０Ｂ この発明の第２実施例の半導体ウエハキャリ
ア用搬送装置（キャリア搬送装置） ２１Ａ キャリア載置台 ２１ａ キャリア持ち上げ部 ２１Ｂ キャリア載置台 ２１ｂ キャリア持ち上げ部 ２２ 上下駆動アクチュエータ ２２ａ 軸 ２３ 水平移動ステージ２３ ２４ ガイドレール ２５ 水平駆動アクチュエータ Ｋ 半導体ウエハキャリア（キャリア） Ｋ１ 半導体ウエハキャリア（キャリア） Ｋ２ 半導体ウエハキャリア（キャリア） Ｋ３ 半導体ウエハキャリア（キャリア） Ｋｂ キャリアの下端部 Ｓ 半導体ウエハ（ウエハ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数個のセットステーションを有する半導
   体ウエハキャリア用搬送装置において、順次高さが異な
   る（セットステーション数−１）個の半導体ウエハキャ
   リア載置面を有するキャリア載置台と、このキャリア載
   置台を、一つのセットステーションから他のセットステ
   ーションに上下方向に、そして一つのセットステーショ
   ンから他のセットステーションに水平方向に移動させる
   駆動装置とからなる半導体ウエハキャリア用搬送装置。
2. 【請求項２】前記高さが異なる複数の半導体ウエハキャ
   リア載置面のいずれかで半導体ウエハキャリアを搬送し
   ている場合であっても、前記キャリア載置台の先端部
   は、常時、セットステーションの下方に位置するとを特
   徴とする請求項１に記載の半導体ウエハキャリア用搬送
   装置。