KR20200083233A

KR20200083233A - 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법

Info

Publication number: KR20200083233A
Application number: KR1020190166698A
Authority: KR
Inventors: 조지 구와하라; 고지 가네야마
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2018-12-28
Filing date: 2019-12-13
Publication date: 2020-07-08
Also published as: TWI729653B; KR102238879B1; US11260429B2; CN111383952A; JP2020109786A; US11590540B2; US20200206788A1; US20230166301A1; TW202032703A; US20220134389A1; JP7114456B2

Abstract

본 발명은, 기판 처리 장치 및 이 기판 반송 방법에 관한 것이다. 제1 ID 블록(2)에는 재치대(13)가 설치되고, 제2 ID 블록(4)에는 재치대(74)가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 ID 블록(2)에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 제2 처리 블록(5)의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 귀로에 있어서, 제1 ID 블록(2)으로 기판을 되돌리지 않고, 2개의 처리 블록(3, 5)의 사이에 배치된 제2 ID 블록(4)으로 기판을 되돌리고 있다. 그 때문에, 귀로에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 제2 ID 블록(4) 사이의 제1 처리 블록(3)에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 반송 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSPORTING METHOD}

본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치 및 이 기판 반송 방법에 관한 것이다. 기판은, 예를 들면, 반도체 기판, FPD(Flat Panel Display)용 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판 등을 들 수 있다. FPD는, 예를 들면, 액정 표시 장치, 유기 EL(electroluminescence) 표시 장치 등을 들 수 있다.

종래의 기판 처리 장치는, 인덱서 블록(이하 적절히 「ID 블록」이라고 부른다), 제1 처리 블록, 및 제2 처리 블록을 구비하고 있다. ID 블록, 제1 처리 블록, 제2 처리 블록은, 이 순서로 일렬로 배치되어 있다(예를 들면, 일본국: 특허공개 2012-069992호 공보 참조).

ID 블록은, 복수의 기판이 수납 가능한 캐리어를 재치(載置)하는 캐리어 재치대를 구비하고 있다. 제1 처리 블록은, 이면 세정 유닛(SSR)을 구비하고 있다. 제2 처리 블록은, 단면(端面) 세정 유닛(SSB) 및 표면 세정 유닛(SS)을 구비하고 있다. ID 블록과 2개의 처리 블록은 각각, 기판 반송 기구(로봇)를 구비하고 있다.

또한, 기판 처리 장치는, 스토커 장치(캐리어 버퍼 장치)를 구비하고 있다(예를 들면, 일본국: 특허공개 2011-187796호 공보 참조). 스토커 장치는, 캐리어를 보관하기 위한 보관 선반과, 캐리어 반송 기구를 구비하고 있다.

그러나, 상술한 기판 처리 장치는 다음과 같은 문제가 있다. 기판 처리 장치는, ID 블록, 제1 처리 블록, 제2 처리 블록의 순서(왕로)로 기판을 반송한다. 왕로 반송 시에, 2개의 처리 블록은, 기판에 대하여 표면 세정 및 이면 세정을 행하지 않는다. 그 후, 기판 처리 장치는, 제2 처리 블록, 제1 처리 블록, ID 블록의 순서(귀로)로 기판을 반송한다. 귀로 반송 시, 제2 처리 블록은, 기판에 대하여 표면 세정을 행하고, 제1 처리 블록은, 기판에 대하여 이면 세정을 행한다. ID 블록과 제2 처리 블록의 사이를 왕복시키는 기판 반송은, 세정 처리를 행하지 않고 블록을 단순히 통과시키는 과정을 수반한다. 그 때문에, 왕로와 귀로 중 어느 한쪽에서 스루풋을 저하시키고 있을 우려가 있다.

본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 스루풋을 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 다음과 동일한 구성을 취한다. 즉, 본 발명에 따른, 기판을 처리하는 기판 처리 장치는, 이하의 요소를 포함한다: 일렬로 배치된 복수의 처리 블록; 상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록; 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치되며, 상기 캐리어를 재치하기 위한 제2 캐리어 재치대가 설치된 제2 인덱서 블록; 상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출(取出)하고, 취출한 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하며, 상기 일단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하고, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하며, 상기 타단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하고, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌린다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 제1 인덱서 블록에는 제1 캐리어 재치대가 설치되고, 제2 인덱서 블록에는 제2 캐리어 재치대가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 인덱서 블록에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 인덱서 블록과 타단의 처리 블록의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 귀로에 있어서, 제1 인덱서 블록으로 기판을 되돌리지 않고, 일단측의 처리 블록과 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록으로 기판을 되돌리고 있다. 그 때문에, 귀로에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 인덱서 블록 사이의 일단측의 처리 블록에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 상술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 복수의 처리 블록은, 제1 처리를 행하는 제1 처리 블록과, 제2 처리를 행하는 제2 처리 블록을 갖고, 상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 처리 블록에 연결되며, 상기 제1 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록에 연결되고, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리 블록에 연결되며, 상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 제1 처리 블록으로 이송하며, 상기 제1 처리 블록은, 상기 제1 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제1 처리를 행하고, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제2 인덱서 블록으로 이송하며, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제2 처리 블록으로 이송하고, 상기 제2 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제2 처리를 행하며, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제2 인덱서 블록으로 되돌리고, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 것이 바람직하다.

제1 인덱서 블록에는 제1 캐리어 재치대가 설치되고, 제2 인덱서 블록에는 제2 캐리어 재치대가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 인덱서 블록에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 처리 블록의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 귀로에 있어서, 제1 인덱서 블록으로 기판을 되돌리지 않고, 2개의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록으로 기판을 되돌리고 있다. 그 때문에, 귀로에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 인덱서 블록 사이의 제1 처리 블록에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른, 기판을 처리하는 기판 처리 장치는, 이하의 요소를 포함한다: 일렬로 배치된 복수의 처리 블록; 상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록; 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치되며, 상기 캐리어를 재치하기 위한 제2 캐리어 재치대가 설치된 제2 인덱서 블록; 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하며, 상기 타단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하고, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하며, 상기 일단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하고, 상기 제1 인덱서 블록은, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌린다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 제1 인덱서 블록에는 제1 캐리어 재치대가 설치되고, 제2 인덱서 블록에는 제2 캐리어 재치대가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 인덱서 블록에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 인덱서 블록과 타단의 처리 블록의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 왕로에 있어서, 제1 인덱서 블록으로부터 기판의 반송을 개시하지 않고, 일단측의 처리 블록과 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록으로부터 기판의 반송을 개시하고 있다. 그 때문에, 왕로에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 인덱서 블록 사이의 일단측의 처리 블록에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 상술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 복수의 처리 블록은, 제1 처리를 행하는 제1 처리 블록과, 제2 처리를 행하는 제2 처리 블록을 갖고, 상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 처리 블록에 연결되며, 상기 제1 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록에 연결되고, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리 블록에 연결되며, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 제2 처리 블록으로 이송하며, 상기 제2 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제2 처리를 행하고, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제2 인덱서 블록으로 되돌리며, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제1 처리 블록으로 이송하고, 상기 제1 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제1 처리를 행하며, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제1 인덱서 블록으로 이송하고, 상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 것이 바람직하다.

제1 인덱서 블록에는 제1 캐리어 재치대가 설치되고, 제2 인덱서 블록에는 제2 캐리어 재치대가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 인덱서 블록에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 처리 블록의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 왕로에 있어서, 제1 인덱서 블록으로부터 기판의 반송을 개시하지 않고, 2개의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록으로부터 기판의 반송을 개시하고 있다. 그 때문에, 왕로에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 인덱서 블록 사이의 제1 처리 블록에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 상술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제1 처리 블록 및 상기 제2 처리 블록 중 적어도 한쪽은, 상하 방향으로 배치된 복수의 처리층을 구비하고 있는 것이 바람직하다. 이것에 의하여, 병행 처리 수를 늘릴 수 있다. 또한, 제1 처리 블록과 제2 처리 블록의 사이에 제2 인덱서 블록이 배치되어 있다. 그 때문에, 제1 처리 블록은, 제2 처리 블록의 처리층의 개수와 상이한 개수의 처리층을 선택할 수 있다. 또한, 예를 들면, 제1 처리 블록의 소정의 처리층으로부터 기판이 이송된 경우, 제2 인덱서 블록은, 제2 처리 블록의 복수의 처리층 중 어느 하나를 선택하면서 기판을 반송할 수 있다.

또한, 상술한 기판 처리 장치는, 상기 제1 캐리어 재치대와 상기 제2 캐리어 재치대의 사이에서 상기 캐리어를 반송하는 캐리어 반송 기구를 더 구비하고 있는 것이 바람직하다. 예를 들면, 제1 캐리어 재치대에 재치된 캐리어로부터 모든 기판이 취출된 경우, 캐리어 반송 기구는, 그 캐리어로 기판을 되돌리기 위하여, 제1 캐리어 재치대에 재치된 캐리어를 제2 캐리어 재치대에 반송할 수 있다.

또한, 상술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1 처리 블록 위에 탑재되어 있는 것이 바람직하다. 종래, 캐리어 반송 기구는, 인덱서 블록에 대하여 수평 방향으로 배치되어 있었다. 본 발명에 의하면, 캐리어 반송 기구는, 제1 처리 블록 위에 설치되어 있다. 그 때문에, 인덱서 블록에 대하여 수평 방향으로 배치되어 있었던 종래의 캐리어 반송 기구의 설치 면적을 삭감할 수 있다. 즉, 기판 처리 장치의 풋프린트를 삭감할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른, 기판 처리 장치의 기판 반송 방법은, 이하의 공정을 포함한다: 기판 처리 장치는, 일렬로 배치된 복수의 처리 블록과, 상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록을 구비하고 있다. 상기 제1 인덱서 블록에 의하여, 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을, 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록으로 이송하는 공정; 이송된 기판에 대하여, 상기 일단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 상기 일단측의 처리 블록과, 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하는 공정; 이송된 기판에 대하여, 상기 타단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을, 상기 제2 인덱서 블록에 설치된 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정.

본 발명에 따른 기판 반송 방법에 의하면, 제1 인덱서 블록에는 제1 캐리어 재치대가 설치되고, 제2 인덱서 블록에는 제2 캐리어 재치대가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 인덱서 블록에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 인덱서 블록과 타단의 처리 블록의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 귀로에 있어서, 제1 인덱서 블록으로 기판을 되돌리지 않고, 일단측의 처리 블록과 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록으로 기판을 되돌리고 있다. 그 때문에, 귀로에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 인덱서 블록 사이의 일단측의 처리 블록에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른, 기판 처리 장치의 기판 반송 방법은, 이하의 공정을 포함한다. 기판 처리 장치는, 일렬로 배치된 복수의 처리 블록과, 상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록을 구비하고 있다. 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 제2 인덱서 블록에 설치된 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하는 공정; 이송된 기판에 대하여, 상기 타단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하는 공정; 이송된 기판에 대하여, 상기 일단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 상기 제1 인덱서 블록에 의하여, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정.

본 발명에 따른 기판 반송 방법에 의하면, 제1 인덱서 블록에는 제1 캐리어 재치대가 설치되고, 제2 인덱서 블록에는 제2 캐리어 재치대가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 인덱서 블록에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 인덱서 블록과 타단의 처리 블록의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 왕로에 있어서, 제1 인덱서 블록으로부터 기판의 반송을 개시하지 않고, 일단측의 처리 블록과 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록으로부터 기판의 반송을 개시하고 있다. 그 때문에, 왕로에 있어서, 제1 인덱서 블록과 제2 인덱서 블록 사이의 일단측의 처리 블록에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른, 기판을 처리하는 기판 반송 장치는, 이하의 요소를 포함한다: 일렬로 배치된 복수의 처리 블록; 상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록; 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치되며, 상기 캐리어를 재치하기 위한 복수의 제2 캐리어 재치대가 설치된 제2 인덱서 블록; 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하며, 상기 타단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하고, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리며, 상기 제2 인덱서 블록은, 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제2 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하며, 상기 일단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하고, 상기 제1 인덱서 블록은, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌린다.

본 발명에 따른 기판 반송 장치에 의하면, 제1 인덱서 블록에는 제1 캐리어 재치대가 설치되고, 제2 인덱서 블록에는 복수의 제2 캐리어 재치대가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 인덱서 블록에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 인덱서 블록과 타단의 처리 블록의 사이에서 기판을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 일단측의 처리 블록으로 기판을 이송하지 않고 타단측의 처리 블록으로 기판을 이송할 수 있다. 그 때문에, 일단측의 처리 블록에 의한 기판 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 종래에는, 1개의 인덱서 블록만으로 캐리어로부터의 기판의 취출과, 캐리어에 대한 기판의 수납을 행하고 있었다. 본 발명에 의하면, 제2 인덱서 블록은, 기판을 취출하고, 취출한 기판을 일단측의 처리 블록으로 이송한다. 또한, 제1 인덱서 블록은, 일단측의 처리 블록으로부터 이송된 기판을 제1 캐리어 재치대의 캐리어에 수납한다. 즉, 기판의 취출과 기판의 수납을 분담하여 행하고 있다. 그 때문에, 제2 인덱서 블록은 기판의 취출만 행할 수 있고, 제1 인덱서 블록은 기판의 수납만을 행할 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따른, 기판 처리 장치의 기판 반송 방법은, 이하의 공정을 포함한다: 기판 처리 장치는, 일렬로 배치된 복수의 처리 블록과, 상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록을 구비하고 있다. 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 제2 인덱서 블록에 설치된 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하는 공정; 상기 타단측의 처리 블록에 의하여, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정; 상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제2 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하는 공정; 상기 일단측의 처리 블록에 의하여, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 상기 제1 인덱서 블록에 의하여, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정.

본 발명에 따른 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법에 의하면, 스루풋을 향상시킬 수 있다.

발명을 설명하기 위하여 현재의 적합하다고 생각되는 몇 가지의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것은 아닌 것을 이해하기 바란다.
도 1은, 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 종단면도이다.
도 2는, 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 횡단면도이다.
도 3은, 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 우측면도이다.
도 4a~도 4c는, 반전 유닛을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는, 이면 세정 유닛을 나타내는 도면이다.
도 6은, 표면 세정 유닛을 나타내는 도면이다.
도 7은, 단면 세정 유닛을 나타내는 도면이다.
도 8은, 캐리어 반송 기구를 나타내는 도면이다.
도 9는, 캐리어 버퍼 장치를 나타내는 평면도이다.
도 10은, 종래의 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은, 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는, 실시예 2에 따른 기판 처리 장치의 횡단면도이다.
도 13은, 실시예 2에 따른 기판 처리 장치의 우측면도이다.
도 14는, 실시예 2에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 15는, 실시예 3에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은, 변형예에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 17은, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 횡단면도이다.
도 18은, 다른 변형예에 따른 처리 유닛을 나타내는 도면이다.
도 19는, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 기판 반송 기구 및 재치대를 나타내는 도면이다.
도 20은, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 21은, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 22는, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 23은, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 24는, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 25는, 다른 변형예에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면이다.

[실시예 1]

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 1을 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 회로 패턴 등의 각종 패턴이 형성되는 기판의 면을 표면이라고 부르고, 그 반대측의 면을 이면이라고 부른다. 또한, 하방을 향하게 한 기판의 면을 하면이라고 부르고, 상방을 향하게 한 기판의 면을 상면이라고 부른다. 도 1은, 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)의 종단면도이다. 도 2는, 기판 처리 장치(1)의 횡단면도이다. 도 3은, 기판 처리 장치(1)의 우측면도이다.

<기판 처리 장치(1)의 구성>

도 1, 도 2를 참조한다. 기판 처리 장치(1)는, 제1 인덱서 블록(제1 ID 블록)(2), 제1 처리 블록(3), 제2 인덱서 블록(제2 ID 블록)(4), 제2 처리 블록(5) 및 캐리어 버퍼 장치(8)를 구비하고 있다. 제1 ID 블록(2), 제1 처리 블록(3), 제2 ID 블록(4), 제2 처리 블록(5)은, 직선형으로 일렬로 배치되어 있다.

〔제1 인덱서 블록(2)의 구성〕

제1 ID 블록(2)은, 2개의 오프너(9, 10)(도 2, 도 9 참조)와, 2개의 반전 유닛(R1, R2)과, 2개의 기판 반송 기구(로봇)(TM1, TM2)를 구비하고 있다. 제1 ID 블록(2)에 설치된 2개의 오프너(캐리어 재치부)(9, 10)는 각각, 캐리어(C)를 재치한다.

캐리어(C)는, 수평 자세의 복수(예를 들면 25장)의 기판(W)을 수납하는 것이 가능하다. 캐리어(C)는, 예를 들면 풉(FOUP: Front Open Unified Pod)이 이용되지만, 풉 이외의 용기(예를 들면 SMIF(Standard Mechanical Inter Face) 포드)여도 된다. 캐리어(C)는, 예를 들면, 기판(W)을 출납하기 위한 개구부가 형성되고, 기판(W)을 수납하기 위한 캐리어 본체와, 캐리어 본체의 개구부를 막기 위한 덮개부를 구비하고 있다.

각 오프너(9, 10)는, 캐리어(C)가 재치되는 재치대(13)와, 기판(W)을 통과시키기 위한 개구부(14)와, 개구부(14)의 개폐를 행함과 더불어 캐리어 본체에 대하여 덮개부의 착탈을 행하는 셔터 부재(도시 생략)와, 셔터 부재를 구동시키는 셔터 부재 구동 기구(도시 생략)를 구비하고 있다. 셔터 부재 구동 기구는, 전동 모터를 구비하고 있다. 또한, 셔터 부재는, 캐리어 본체로부터 덮개부를 벗겨낸 후, 예를 들면 아래 방향 혹은, 개구부(14)를 따라 수평 방향(Y방향)으로 이동된다.

재치대(13)는, 제1 처리 블록(3)의 옥상에 설치되어 있다. 도 1에 있어서, 재치대(13)는, 제1 처리 블록(3)보다 높은 위치에, 즉 제1 처리 블록(3)의 상방에 설치되어 있다. 재치대(13)는, 제1 처리 블록(3) 위, 즉, 제1 처리 블록(3)의 상면에 접하여 설치되어 있어도 된다. 또한, 재치대(13)는, 본 발명의 제1 캐리어 재치대에 상당한다.

도 4a~도 4c는, 반전 유닛(R1, R2)의 구성 및 동작을 설명하기 위한 도면이다. 반전 유닛(R1, R2)은 서로 동일한 구성을 갖고 있다.

도 4a에 나타내는 바와 같이, 각 반전 유닛(R1, R2)은, 지지 부재(16A, 16B), 경사축부(18), 협지 부재(20A, 20B) 및 슬라이드축부(22)를 구비하고 있다. 지지 부재(16A, 16B)의 각각에는, 경사축부(18)가 고정되어 있다. 각 지지 부재(16A, 16B)는, 전동 모터의 구동에 의하여, 경사축부(18)를 따라 이동된다. 협지 부재(20A, 20B)의 각각에는, 슬라이드축부(22)가 고정되어 있다. 각 지지 부재(16A, 16B)는, 전동 모터의 구동에 의하여, 슬라이드축부(22)(수평축(AX1))를 따라 이동된다. 또한, 협지 부재(20A, 20B)는, 전동 모터의 구동에 의하여, 수평축(AX1) 둘레로 회전된다.

예를 들면, 제1 기판 반송 기구(TM1)는, 반전 유닛(R1)의 2개의 지지 부재(16A, 16B) 상에 기판(W)을 반송한다. 도 4a에 있어서, 지지 부재(16A, 16B)는, 2장의 기판(W)을 지지하고 있다. 그 후, 도 4b에 나타내는 바와 같이, 협지 부재(20A, 20B)는, 수평 방향으로 기판(W)을 끼워 넣는다. 이것에 의하여, 협지 부재(20A, 20B)는 2장의 기판(W)을 유지한다. 그 후, 각 지지 부재(16A, 16B)는, 경사축부(18)를 따라 대기 위치로 이동된다(도 4b의 파선(破線)의 화살표 참조). 협지 부재(20A, 20B)에 의하여 유지된 기판(W)은, 수평축(AX1) 둘레로 반전된다. 이것에 의하여, 기판(W)의 표면이 상향으로부터 하향이 되고, 또한, 기판(W)의 표면이 하향인 경우는, 기판(W)의 표면이 하향으로부터 상향이 된다.

반전 후, 각 지지 부재(16A, 16B)는, 경사축부(18)를 따라 기판 재치 위치로 이동된다. 그 후, 도 4c에 나타내는 바와 같이, 협지 부재(20A, 20B)가 기판(W)으로부터 떨어지는 방향으로 이동된다. 이것에 의하여, 협지 부재(20A, 20B)에 의한 유지가 해제되고, 기판(W)은, 지지 부재(16A, 16B)에 재치된다. 기판 반송 기구(TM1)는, 반전 유닛(R1)으로부터 기판(W)을 반송하는 것이 가능하다.

도 1을 참조한다. 2개의 기판 반송 기구(TM1, TM2)는 각각, 2개의 핸드(41, 42), 2개의 다관절 아암(43, 44) 및 승강 회전 구동부(45)를 구비하고 있다. 승강 회전 구동부(45)에는, 제1 다관절 아암(43)을 개재하여 제1 핸드(41)가 접속되고, 제2 다관절 아암(44)을 개재하여 제2 핸드(42)가 접속되어 있다. 승강 회전 구동부(45)는, 2개의 핸드(41, 42) 및 2개의 다관절 아암(43, 44)을 상하 방향(Z방향)으로 승강시킴과 더불어, 그것들을 수직축(AX3) 둘레로 회전시킨다. 또한, 승강 회전 구동부(45)는, 수평 방향(특히 Y방향)으로 이동할 수 없도록, 각 처리층(3A, 3B, 5A, 5B)의 바닥부에 고정되어 있다. 다관절 아암(43, 44) 및 승강 회전 구동부(45)는 각각, 전동 모터를 구비하고 있다.

각 기판 반송 기구(TM1, TM2)는, 2개의 핸드(41)의 양쪽 모두를 동시에 캐리어(C) 내로 진입시킬 수 있다. 또한, 각 기판 반송 기구(TM1, TM2)는, 2개의 핸드(41)를 각기 따로 진퇴시킬 수 있다. 그 때문에, 각 기판 반송 기구(TM1, TM2)는, 2개의 핸드(41) 중 한쪽을 캐리어(C) 내로 진입시킬 수 있다.

제1 ID 블록(2)과, 제1 처리 블록(3)의 후술하는 상측의 처리층(3A)의 사이에는, 기판 재치부(PS1)가 설치되어 있다. 또한, 제1 ID 블록(2)과, 제1 처리 블록(3)의 후술하는 하측의 처리층(3B)의 사이에는, 기판 재치부(PS2)가 설치되어 있다. 2개의 기판 재치부(PS1, PS2) 및 후술하는 기판 재치부(PS3~PS8)는 각각, 1장 또는 복수의 기판(W)을 재치할 수 있도록 구성되어 있다.

제1 기판 반송 기구(TM1)는, 오프너(9)의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을, 반전 유닛(R1)을 경유하여, 2개의 기판 재치부(PS1, PS2) 중 어느 하나에 반송한다. 또한, 제2 기판 반송 기구(TM2)는, 오프너(10)의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을, 반전 유닛(R2)을 경유하여, 2개의 기판 재치부(PS1, PS2) 중 어느 하나에 반송한다. 또한, 제1 기판 반송 기구(TM1)는, 오프너(9)의 캐리어(C), 및 반전 유닛(R1)으로부터 기판(W)을 취출할 수 있지만, 오프너(10)의 캐리어(C), 및 반전 유닛(R2)으로부터 기판(W)을 취출할 수 없다. 또한, 제2 기판 반송 기구(TM2)는, 오프너(10)의 캐리어(C), 및 반전 유닛(R2)으로부터 기판(W)을 취출할 수 있지만, 오프너(9)의 캐리어(C), 및 반전 유닛(R1)으로부터 기판(W)을 취출할 수 없다.

〔제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5)의 구성〕

제1 처리 블록(3)은, 제1 ID 블록(2)에 연결된다. 제1 처리 블록(3)은 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행한다. 또한, 제2 처리 블록(5)은, 제2 ID 블록(4)에 연결된다. 제2 처리 블록(5)은, 기판(W)에 대하여 단면 및 표면의 세정 처리를 행한다.

제1 처리 블록(3)은, 상하 방향(Z방향)으로 배치된 2개의 처리층(3A, 3B)을 구비하고 있다. 또한, 제2 처리 블록(5)은, 상하 방향으로 배치된 2개의 처리층(5A, 5B)을 구비하고 있다. 4개의 처리층(3A, 3B, 5A, 5B)은 각각, 제3 기판 반송 기구(TM3)와, 반송 스페이스(39)와, 복수의 처리 유닛(U)을 구비하고 있다. 도 2에 있어서, 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 반송 스페이스(39)에 설치되어 있다. 복수의 처리 유닛(U)은, 제3 기판 반송 기구(TM3)를 둘러싸도록 설치되어 있다.

제3 기판 반송 기구(TM3)는, 2개의 핸드(41, 42), 2개의 다관절 아암(43, 44) 및 승강 회전 구동부(45)를 구비하고 있다. 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 제1 기판 반송 기구(TM1)와 동일하게 구성되어 있으므로, 그 설명을 생략한다.

또한, 2개의 다관절 아암(43, 44)에 의하여, 2개의 핸드(41, 42)는, 예를 들면, 기판 재치부(PS1)로부터 2장의 기판(W)을 동시에 취출할 수 있고, 또한, 기판 재치부(PS1)로부터 1장의 기판(W)을 취출할 수 있다.

도 2에 있어서, 제2 기판 반송 기구(TM2)측의 처리 유닛(U) 및, 제1 기판 반송 기구(TM1)측의 처리 유닛(U)은, 반송 스페이스(39)를 사이에 두고 배치되어 있다. 또한, 제1 기판 반송 기구(TM1)측의 처리 유닛(U)은, 도 3에 나타내는 기판 처리 장치(1)의 우측면의 유닛이다. 우측면의 처리 유닛(U)은, 도 3에 있어서, 예를 들면 「SSR」이라고 괄호 쓰기로 나타내어져 있지 않은 유닛이다. 또한, 제2 기판 반송 기구(TM2)측의 처리 유닛(U)은, 기판 처리 장치(1)의 좌측면의 유닛이다. 좌측면의 처리 유닛(U)은, 도 3에 있어서, 예를 들면 「(SSR)」, 「(SSB)」라고 괄호 쓰기로 나타내어지는 유닛이다.

각 처리층(3A, 3B, 5A, 5B)은, 좌측면 및 우측면에 있어서, 수평 방향으로 2열이고 또한 상하 방향으로 2단인 2열×2단으로 처리 유닛(U)을 배치할 수 있도록 구성되어 있다(도 3 참조). 제1 처리 블록의 2개의 처리층(3A, 3B)은 각각, 4개의 이면 세정 유닛(SSR)을 구비하고 있다. 제2 처리 블록(5)의 2개의 처리층(5A, 5B)은 각각, 4개의 표면 세정 유닛(SS)과, 4개의 단면 세정 유닛(SSB)을 구비하고 있다.

도 5는, 이면 세정 유닛(SSR)을 나타내는 도면이다. 이면 세정 유닛(SSR)은, 브러시를 이용한 세정 처리(이하, 스크럽 세정 처리라고 부른다)를 행함으로써, 기판(W)의 이면을 세정한다. 이면 세정 유닛(SSR)은, 유지 회전부(47), 액 공급부(49) 및 브러시 세정 기구(51)를 구비하고 있다.

유지 회전부(47)는, 수평 자세의 기판(W)을 유지하고, 유지한 기판(W)을 회전시키는 것이다. 유지 회전부(47)는, 복수의 유지 핀(53)으로 기판(W)의 단부를 유지하는 스핀 척(54A)과, 상하 방향의 회전축(AX4) 둘레로 스핀 척(54A)을 회전시키는 회전 구동부(55)를 구비하고 있다. 또한, 스핀 척(54A)은, 복수의 유지 핀(53)을 갖는다. 회전 구동부(55)는, 전동 모터를 구비하고 있다.

액 공급부(49)는, 기판(W)에 처리액을 공급한다. 액 공급부(49)는, 노즐(56)과, 노즐(56)과 연통 접속하는 액 공급관(57)을 구비하고 있다. 처리액은, 예를 들면, 세정액 또는 린스액(순수)이다. 액 공급관(57)은, 복수 종류의 처리액을 선택적으로 노즐(56)에 공급해도 된다. 노즐(56)은, 액 공급관(57)으로부터 공급된 처리액을 기판(W)에 토출한다.

브러시 세정 기구(51)는, 브러시 세정 도구(60)와 아암(61)과 구동부(62)를 구비하고 있다. 브러시 세정 도구(60)는, 기판(W)과 직접적으로 접촉함으로써 기판(W)을 세정한다. 브러시 세정 도구(60)는, 예를 들면 대략 원통 형상을 갖는다. 아암(61)의 일단은, 브러시 세정 도구(60)를 회전 가능하게 지지한다. 구동부(62)는, 전동 모터를 구비한다. 구동부(62)는, 아암(61)의 타단과 연결되어 있고, 아암(61)을 수직축(AX5) 둘레로 회전하며, 또한, 아암(61)을 상하 방향으로 이동시킨다.

이면 세정 유닛(SSR)은, 다음과 같이 동작한다. 유지 회전부(47) 상에, 각 반전 유닛(R1, R2)으로 반전된 기판(W)이 재치되면, 유지 회전부(47)는, 기판(W)을 유지한다. 그 후, 유지 회전부(47)는, 유지된 기판(W)을 수평 자세로 회전시킨다. 액 공급부(49)는, 기판(W)의 상면에 처리액을 공급하고, 브러시 세정 기구(51)는 기판(W)의 상면에 브러시 세정 도구(60)를 직접적으로 접촉시킨다. 처리액과 브러시 세정 도구(60)에 의하여, 기판(W)을 세정한다. 이때, 브러시 세정 도구(60)를 기판(W)에 직접적으로 접촉시킨 상태로, 브러시 세정 도구(60)를 요동시켜도 된다. 혹은, 이면 세정 유닛(SSR)은, 브러시 세정 도구(60)를 이용하지 않고, 처리액만을 이용한 단순한 세정 처리를 행하는 것도 가능하다.

도 6은, 표면 세정 유닛(SS)을 나타내는 도면이다. 표면 세정 유닛(SS)은, 기판(W)의 표면을 세정한다. 표면 세정 유닛(SS)은, 유지 회전부(47), 액 공급부(49) 및 스프레이 세정 기구(52)를 구비하고 있다. 유지 회전부(47)는, 예를 들면 진공 흡착에 의하여 기판(W)의 이면을 유지하는 스핀 척(54B)을 구비하고 있다. 액 공급부(49)의 구성은, 도 5에 나타내는 이면 세정 유닛(SSR)과 기본적으로 동일하다. 스프레이 세정 기구(52)는, 스프레이 노즐(이류체 노즐)(58)과, 스프레이 노즐(58)과 연통 접속하는 액 공급관(59)을 구비하고 있다. 스프레이 노즐(58)에는, 액 공급관(59)을 통하여 처리액이 공급됨과 더불어, 질소 가스(불활성 가스)가 공급된다. 유지 회전부(47)는, 유지한 기판(W)을 회전시킨다. 회전하는 기판(W)의 상면에 노즐(56)로부터 처리액이 토출된다. 회전하는 기판(W)의 상면에 스프레이 노즐(58)로부터 처리액의 액적이 분사된다. 또한, 표면 세정 유닛(SS)은, 스핀 척(54B) 대신에, 도 5에 나타내는 스핀 척(54A)을 구비하고 있어도 된다.

도 7은, 단면 세정 유닛(SSB)을 나타내는 도면이다. 단면 세정 유닛(SSB)은, 기판(W)을 유지하고, 유지한 기판(W)을 회전시키는 유지 회전부(47)와, 기판(W)의 단면을 세정하는 단면 세정 기구(64)를 구비하고 있다. 유지 회전부(47)는, 도 5, 도 6에 나타내는 유지 회전부(47)와 거의 동일하다. 단면 세정 기구(64)는, 세정 위치와 대피 위치의 사이에서 수평 이동되도록 구성되어 있다. 단면 세정 기구(64)는, 거의 원통 형상을 갖는 브러시(66)와, 2개의 노즐(67, 68)을 구비하고 있다. 브러시(66)는, 수직축(AX6) 둘레로 회전 가능하게 지지되어 있다. 노즐(67)은, 기판(W)의 상면측으로부터 세정액을 공급하고, 노즐(68)은, 기판(W)의 하면측으로부터 세정액을 공급한다.

기판(W)이 유지 회전부(47) 상에 재치되면, 유지 회전부(47)는 기판(W)을 유지한다. 그 후, 단부 세정부(64)는, 대피 위치로부터 세정 위치로 이동된다. 단부 세정부(64)의 브러시(66)가 회전하는 기판(W)의 단부에 접촉하면, 브러시(66)에 의하여 기판(W)의 단부가 세정된다. 이 세정 시에, 2개의 노즐(67, 68)로부터 처리액이 공급된다.

〔제2 인덱서 블록(4)의 구성〕

도 1을 참조한다. 제2 ID 블록(4)은, 제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5)에 연결된다. 즉, 제2 ID 블록(4)은, 제1 처리 블록(3)과 제2 처리 블록(5)의 사이에 배치되어 있다.

제2 ID 블록(4)은, 2개의 오프너(71, 72)(도 2, 도 9 참조), 2개의 반전 유닛(R3, R4) 및 2개의 기판 반송 기구(TM4, TM5)를 구비하고 있다. 제2 ID 블록(4)에 설치된 2개의 오프너(71, 72)는 각각, 복수의 기판(W)을 수납하는 것이 가능한 캐리어(C)가 재치된다.

각 오프너(71, 72)는, 오프너(9)와 동일하게, 캐리어(C)가 재치되는 재치대(74)와, 기판(W)을 통과시키기 위한 개구부(76)와, 개구부(76)를 개폐함과 더불어 캐리어 본체에 대하여 덮개부의 착탈을 행하는 셔터 부재(도시 생략)와, 셔터 부재를 구동시키는 셔터 부재 구동 기구를 구비하고 있다. 셔터 부재 구동 기구는 전동 모터를 구비하고 있다. 또한, 셔터 부재는, 캐리어 본체로부터 덮개부를 벗겨낸 후, 예를 들면 아래 방향 혹은, 개구부(76)를 따라 수평 방향(Y방향)으로 이동된다.

재치대(74)는, 제1 처리 블록(3)의 옥상에 설치되어 있다. 도 1에 있어서, 재치대(74)는, 제1 처리 블록(3)보다 높은 위치에, 즉 제1 처리 블록(3)의 상방에 설치되어 있다. 재치대(74)는, 제1 처리 블록(3) 위, 즉, 제1 처리 블록(3)에 접하여 설치되어 있어도 된다. 또한, 재치대(74)는, 본 발명의 제2 캐리어 재치대에 상당한다.

각 반전 유닛(R3, R4)은, 도 4a에 나타내는 반전 유닛(R1)과 거의 동일한 구성을 구비하고 있다. 각 기판 반송 기구(TM4, TM5)는, 2개의 핸드(41, 42), 2개의 다관절 아암(43, 44) 및 승강 회전 구동부(45)를 구비하고 있다. 각 기판 반송 기구(TM4, TM5)는, 기판 반송 기구(TM1(TM2))와 동일하게 구성되어 있다.

상측의 처리층(3A)과 제2 ID 블록(4)의 사이에는, 기판 재치부(PS3)가 설치되어 있다. 하측의 처리층(3B)과 제2 ID 블록(4)의 사이에는, 기판 재치부(PS4)가 설치되어 있다. 제2 ID 블록(4)과 상측의 처리층(5A)의 사이에는, 2개의 기판 재치부(PS5, PS7)가 설치되어 있다. 또한, 제2 ID 블록(4)과 하측의 처리층(5B)의 사이에는, 2개의 기판 재치부(PS6, PS8)가 설치되어 있다.

제4 기판 반송 기구(TM4)는, 6개의 기판 재치부(PS3~PS8)의 사이에서, 기판(W)을 반송한다. 또한, 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 오프너(71)(도 9 참조)에 재치된 캐리어(C), 및 반전 유닛(R3)에 대하여 기판(W)의 수취 및 인도를 행할 수 있다. 그러나, 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 오프너(72)에 재치된 캐리어(C), 및 반전 유닛(R4)에 대하여 기판(W)의 수취 및 인도를 행할 수 없다.

제5 기판 반송 기구(TM5)는, 6개의 기판 재치부(PS3~PS8)의 사이에서, 기판(W)을 반송한다. 또한, 제5 기판 반송 기구(TM5)는, 오프너(72)(도 9 참조)에 재치된 캐리어(C), 및 반전 유닛(R4)에 대하여 기판(W)의 수취 및 인도를 행할 수 있다. 그러나, 제5 기판 반송 기구(TM5)는, 오프너(71)에 재치된 캐리어(C), 및 반전 유닛(R3)에 대하여 기판(W)의 수취 및 인도를 행할 수 없다.

〔캐리어 버퍼 장치(8)〕

기판 처리 장치(1)는, 예를 들면 제1 ID 블록(2), 제1 처리 블록(3) 및 제2 ID 블록(4) 위, 또는 그들의 상방에 캐리어 버퍼 장치(8)를 구비하고 있다. 캐리어 버퍼 장치(8)는, 캐리어 반송 기구(78)와 캐리어 보관 선반(79)(도 9 참조)을 구비하고 있다.

도 8을 참조한다. 도 8은, 캐리어 반송 기구(78)를 나타내는 도면이다. 캐리어 반송 기구(78)는, 2개의 다관절 아암(81, 82)을 구비하고 있다. 제1 다관절 아암(81)의 일단에는 파지부(83)가 설치되고, 제2 다관절 아암(82)의 일단에는 파지부(84)가 설치되어 있다. 또한, 제1 다관절 아암(81)의 타단은, 지주형의 승강 구동부(85)에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 제2 다관절 아암(82)의 타단은, 승강 구동부(85)에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.

2개의 파지부(83, 84)는 각각, 예를 들면, 캐리어(C)의 상면에 설치된 돌기부를 파지하도록 구성되어 있다. 2개의 파지부(83, 84)는 각각, 전동 모터를 구비하고 있다.

2개의 다관절 아암(81, 82)은 각각, 1개 또는 2 이상의 전동 모터를 구비하고 있다. 제1 다관절 아암(81)은, 제1 파지부(83)를 수직축(AX7) 둘레로 360도 회전 구동을 할 수 있도록 구성되어 있다. 제2 다관절 아암(81)은, 제1 다관절 아암(81)과 동일하게 구성되어 있다. 예를 들면, 제1 다관절 아암(81)은, 도 9의 오프너(10, 72)측의 캐리어(C)의 반송을 담당하고, 제2 다관절 아암(82)은, 도 9의 오프너(9, 71)측의 캐리어(C)의 반송을 담당해도 된다.

승강 구동부(85)는, 2개의 다관절 아암(81, 82)을 개별적으로 승강할 수 있도록 구성되어 있다. 승강 구동부(85)는, 전동 모터를 구비하고 있다. 승강 구동부(85)는, 1개의 다관절 아암에 대하여, 예를 들면 벨트와 복수의 풀리를 구비하고 있어도 된다.

전후 구동부(87)는, 승강 구동부(85)를 지지하는 지지부(87A)와, 전후 방향(X방향)으로 긴 쪽으로 연장되는 길이부(87B)와, 전동 모터(도시 생략)를 구비하고 있다. 예를 들면, 길이부(87B)가 레일(가이드 레일)이고, 지지부(87A)가 대차여도 된다. 이 경우, 전동 모터에 의하여 대차(지지부(87A))가 레일(길이부(87B))을 따라 이동하도록 구성되어 있어도 된다.

또한, 예를 들면 전동 모터와 복수의 풀리와 벨트가 길이부(87B)에 내장되고, 지지부(87A)가 벨트에 고정되어 있어도 된다. 이 경우, 전동 모터에 의하여 풀리가 회전하여, 복수의 풀리에 걸린 벨트가 이동함으로써, 지지부(87A)를 이동시키도록 해도 된다.

도 9를 참조한다. 캐리어 보관 선반(79)은, 입력 포트(91), 출력 포트(92), 미처리 기판 캐리어 선반(93), 빈 캐리어 선반(94) 및 처리 완료 기판 캐리어 선반(95)을 구비하고 있다. 입력 포트(91)는, 미처리의 기판(W)이 수납된 캐리어(C)를 외부 반송 기구(OHT)(Overhead Hoist Transport)로부터 수취하기 위한 선반이다. 외부 반송 기구(OHT)는, 공장 내에서 캐리어(C)를 반송하는 것이다. 미처리란, 제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5) 중 적어도 한쪽에 의한 처리가 행해지고 있지 않는 것을 말한다. 입력 포트(91)는, 도 1, 도 9에 나타내는 바와 같이, ID 블록(2) 위, 즉 ID 블록(2)의 옥상에 설치되어 있다. ID 블록(2)의 상방에는, 외부 반송 기구(OHT)의 레일(97)이 설치되어 있다. 외부 반송 기구(OHT)는, 2개의 입력 포트(91) 중 어느 하나에 캐리어(C)를 반송한다.

또한, 도 9에 있어서, 미처리 기판 캐리어 선반(93), 빈 캐리어 선반(94) 및 처리 완료 기판 캐리어 선반(95)은, 길이부(87B)를 따르도록, 기판 처리 장치(1)의 길이 방향으로 설치되어 있다. 미처리 기판 캐리어 선반(93)은, 입력 포트(91)에 재치된 캐리어(C)이며, 2개의 재치대(13)에 어느 것에도 반송할 수 없었던 미처리의 기판(W)이 수납된 캐리어(C)를 재치한다. 빈 캐리어 선반(94)은, 재치대(13)에서 기판(W)이 모두 취출된 캐리어(C)이며, 2개의 재치대(74) 중 어느 것에도 반송할 수 없었던 캐리어(C)를 재치한다. 처리 완료 기판 캐리어 선반(95)은, 처리 완료된 기판(W)이 수납된 캐리어(C)이며, 2개의 출력 포트(92) 중 어느 것에도 반송할 수 없었던 캐리어(C)를 재치한다. 처리 완료란, 제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5) 중 적어도 한쪽에 의한 처리가 행해지고 있는 것을 말한다.

출력 포트(92)는, 처리 완료된 기판(W)이 수납된 캐리어(C)를 외부 반송 기구(OHT)에 인도하기 위한 선반이다. 출력 포트(92)는, 도 1, 도 9에 나타내는 바와 같이, ID 블록(2) 위, 즉 ID 블록(2)의 옥상에 설치되어 있다. 캐리어 반송 기구(78)는, 각 재치대(13, 74) 및 각 선반(91~95)의 사이에서 캐리어(C)를 자유자재로 이동할 수 있다.

또한, 도 1, 도 9에 나타내는 바와 같이, 재치대(13) 및 개구부(14)(오프너(9, 10))는, 제1 처리 블록(3)측에 설치되고, 재치대(74) 및 개구부(76)(오프너(71, 72))는, 제1 처리 블록(3)측에 설치되어 있다. 즉, 재치대(13) 및 재치대(74)가 마주보도록 설치되어 있다. 이것에 의하여, 재치대(13) 및 재치대(74)는, 캐리어 반송 기구(78)를 향하여 설치되므로, 캐리어 반송 기구(78)는 캐리어(C)를 반송하기 쉬워진다. 또한, 예를 들면, 종래와 같이, ID 블록(2)을 사이에 두고 제1 처리 블록(3)의 반대측(도 9의 화살표 AR1 참조)에 재치대가 설치되는 경우는, 재치대(13)가 돌출된다. 그러나, 재치대(13) 및 재치대(74)가 마주보도록 설치되어 있으므로, 재치대(13)가 돌출되는 것을 억제할 수 있다. 그 때문에, 기판 처리 장치(1)의 풋프린트를 작게 할 수 있다.

또한, 캐리어 반송 기구(78)는, 2세트의 다관절 아암 및 파지부를 구비하고 있지만, 1세트 또는 3세트 이상의 다관절 아암 및 파지부를 구비하고 있어도 된다. 또한, 승강 구동부(85)는, 지지부(87A)에 대하여 수직축 둘레로 회전 구동되도록 구성되어 있어도 된다. 또한, 레일(97)은, 제1 ID 블록(2)의 상방 이외를 통과해도 된다. 이 경우, 장치(1)의 상방을 외부 반송 기구(OHT)가 통과하는 위치에 입력 포트(91) 및 출력 포트(92)가 설치된다. 캐리어 보관 선반(79)의 개수 및 종류는 적절히 변경된다.

또한, 기판 처리 장치(1)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 1개 또는 복수의 제어부(200)와, 조작부(201)를 구비하고 있다. 제어부(200)는, 예를 들면 중앙 연산 처리 장치(CPU)를 구비하고 있다. 제어부(200)는, 기판 처리 장치(1)의 각 구성을 제어한다. 조작부(201)는, 표시부(예를 들면 액정 모니터), 기억부 및 입력부를 구비하고 있다. 기억부는, 예를 들면, ROM(Read-Only Memory), RAM(Random-Access Memory), 및 하드디스크 중 적어도 1개를 구비하고 있다. 입력부는, 키보드, 마우스, 터치 패널 및 각종 버튼 중 적어도 하나를 구비하고 있다. 기억부에는, 기판 처리의 각종 조건 및 기판 처리 장치(1)의 제어에 필요한 동작 프로그램 등이 기억되어 있다.

<기판 처리 장치(1)의 동작>

다음으로, 기판 처리 장치(1)의 동작을 설명한다. 도 1을 참조한다. 외부 반송 기구(OHT)는, 제1 ID 블록(2) 위에 설치된 입력 포트(91)에 캐리어(C)를 반송한다. 캐리어 반송 기구(78)는, 입력 포트(91)로부터 예를 들면 오프너(9)의 재치대(13)에 캐리어(C)를 반송한다. 오프너(9)의 셔터부는, 캐리어(C)의 덮개부를 벗겨내고 덮개부를 유지하면서, 개구부(14)를 개방한다.

〔단계 S01〕제1 ID 블록(2)

제1 ID 블록(2)은, 2개의 오프너(9, 10) 중 어느 하나의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 제1 처리 블록(3)의 2개의 처리층(3A, 3B) 중 어느 하나로 이송한다. 구체적으로 설명한다.

예를 들면 제1 기판 반송 기구(TM1)는, 오프너(9)의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 반전 유닛(R1)에 반송한다. 기판(W)은, 그 표면이 상향이 되어 있는 상태로 캐리어(C)에 수납되어 있다. 그 때문에, 반전 유닛(R1)은, 기판(W)의 표면을 상향으로부터 하향으로 한다. 즉, 기판(W)의 이면이 상향인 상태가 된다.

제1 기판 반송 기구(TM1)는, 반전된 기판(W)을, 2개의 기판 재치부(PS1, PS2) 중 어느 하나에 반송한다. 예를 들면, 제1 기판 반송 기구(TM1)는, 반전된 기판(W)을, 2개의 기판 재치부(PS1, PS2)에 교대로 반송한다. 또한, 제2 기판 반송 기구(TM2)에 의하여 기판(W)을 반송하는 경우, 기판(W)은, 반전 유닛(R2)에 반송된다.

또한, 캐리어(C)로부터 모든 기판(W)이 취출되었을 때에는, 오프너(9)는, 그 캐리어(C)에 덮개를 장착하면서, 셔터부로 개구부(14)를 닫는다. 그 후, 캐리어 반송 기구(78)는, 기판(W)이 취출되어 비게 된 캐리어(C)를, 미처리의 기판(W)이 수납된 다른 캐리어(C)로 치환한다. 그리고, 비게 된 캐리어(C)를 예를 들면 오프너(71)의 재치대(74)에 반송한다. 비게 된 캐리어(C)를 오프너(71, 72) 중 어느 것에도 반송할 수 없을 때에는, 캐리어 반송 기구(78)는, 비게 된 캐리어(C)를 빈 캐리어 선반(94)에 반송한다.

〔단계 S02〕제1 처리 블록(3)

제1 처리 블록(3)은, 제1 ID 블록(2)으로부터 이송된 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행하고, 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제2 ID 블록(4)으로 이송한다.

제1 처리 블록(3)의 예를 들면 처리층(3A)에 있어서, 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 기판 재치부(PS1)로부터 기판(W)을 수취한다. 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 수취한 기판(W)을, 4개의 이면 세정 유닛(SSR) 중 어느 하나에 반송한다. 이면 세정 유닛(SSR)은, 이면이 상향인 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행한다. 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 기판 재치부(PS3)에 반송한다. 또한, 처리층(3B)은, 처리층(3A)과 동일한 처리가 행해진다.

〔단계 S03〕제2 ID 블록(4)

제2 ID 블록(4)은, 이면 세정 처리가 행해지고, 또한 제1 처리 블록(3)으로부터 이송된 기판(W)을 제2 처리 블록(5)의 2개의 처리층(5A, 5B) 중 어느 하나로 이송한다.

예를 들면 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 기판 재치부(PS3)로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을 반전 유닛(R3)으로 이송한다. 반전 유닛(R3)은, 기판(W)의 표면을 하향으로부터 상향으로 한다. 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 반전된 기판(W)을 기판 재치부(PS5)에 반송한다. 또한, 제5 기판 반송 기구(TM5)에 의하여 기판(W)을 반송하는 경우, 기판(W)은, 반전 유닛(R4)에 반송된다.

또한, 일반적으로, 제2 ID 블록(4)은, 기판 재치부(PS3)로부터 기판(W)을 수취했을 때에는, 수취한 기판(W)을 기판 재치부(PS5)에 반송한다. 또한, 제2 ID 블록(4)은, 기판 재치부(PS4)로부터 기판(W)을 수취했을 때에는, 수취한 기판(W)을 기판 재치부(PS6)에 반송한다. 이와 같은 반송 방법에 대하여, 제2 ID 블록(4)은, 기판 재치부(PS3)로부터 기판(W)을 수취했을 때에는, 수취한 기판(W)을 기판 재치부(PS6)에 반송해도 된다. 또한, 제2 ID 블록(4)은, 기판 재치부(PS4)로부터 기판(W)을 수취했을 때에는, 수취한 기판(W)을 기판 재치부(PS5)에 반송해도 된다.

〔단계 S04〕제2 처리 블록(5)

제2 처리 블록(5)은, 제2 ID 블록(4)으로부터 이송된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행하고, 이들 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제2 ID 블록(4)으로 되돌린다.

제2 처리 블록(5)의 예를 들면 처리층(5A)에 있어서, 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 기판 재치부(PS5)로부터 기판(W)을 수취한다. 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 수취한 기판(W)을, 4개의 단면 세정 유닛(SSB) 중 어느 하나에 반송한다. 단면 세정 유닛(SSB)은, 표면이 상향인 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리를 행한다. 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 단면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 4개의 표면 세정 유닛(SS) 중 어느 하나에 반송한다. 표면 세정 유닛(SS)은, 기판에 대하여 표면 세정 처리를 행한다. 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 기판 재치부(PS7)에 반송한다. 또한, 처리층(5B)은, 처리층(5A)과 동일한 처리가 행해진다.

〔단계 S05〕제2 ID 블록(4)

제2 ID 블록(4)은, 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리가 행해지고, 또한 제2 처리 블록(5)으로부터 이송된 기판(W)을 오프너(71)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다.

재치대(74)의 캐리어(C)는, 오프너(71)에 의하여, 개구부(76)가 개방된 상태가 되어 있다. 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 되돌림용 기판 재치부(PS7(PS8))로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을 오프너(71)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다. 또한, 기판(W)은, 이면, 단면 및 표면의 세정 처리가 행해지기 전에 수납되어 있었던 캐리어(C)로 되돌려진다. 즉, 기판(W)은 원래의 캐리어(C)로 되돌려진다. 또한, 오프너(72)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)에 기판(W)을 되돌리는 경우에는, 제5 기판 반송 기구(TM5)가 이용된다.

캐리어(C)에 처리 완료된 기판(W)이 모두 수납된 후, 오프너(71)는, 캐리어(C)에 덮개부를 장착하면서, 개구부(76)를 닫는다. 캐리어 반송 기구(78)는, 처리 완료된 기판(W)이 수납된 캐리어(C)를 오프너(71)의 재치대(74)로부터 출력 포트(92)에 반송한다. 그 후, 외부 반송 기구(OHT)는, 출력 포트(92)로부터 다음의 목적지로 캐리어(C)를 반송한다.

도 10은, 종래의 기판 처리 장치(101)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 종래의 기판 처리 장치(101)는, ID 블록(102), 제1 처리 블록(103), 제2 처리 블록(105)의 순서(왕로(FW))로 기판(W)을 반송한다. 또한, 기판 처리 장치(101)는, 제2 처리 블록(105), 제1 처리 블록(103), ID 블록(102)의 순서(귀로(RT))로 기판(W)을 반송한다. 이 반송 시에, 제2 처리 블록(105)은 제2 세정 처리를 행하고, 제1 처리 블록(103)은 제1 세정 처리를 행한다.

본 실시예에 의하면, 도 11에 나타내는 바와 같이, 제1 ID 블록(2), 제1 처리 블록(3), 제2 ID 블록(4) 및 제2 처리 블록(5)이 이 순서로 배치되어 있다. 제1 ID 블록(2)에는 재치대(13)가 설치되고, 제2 ID 블록(4)에는 재치대(74)가 설치되어 있다. 종래에는, 도 10에 나타내는 바와 같이, ID 블록(102)에만 캐리어 재치대(113)가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, ID 블록(102)과 제2 처리 블록(105)의 사이에서 기판(W)을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 귀로에 있어서, 제1 ID 블록(2)으로 기판(W)을 되돌리지 않고, 2개의 처리 블록(3, 5)의 사이에 배치된 제2 ID 블록(4)으로 기판(W)을 되돌리고 있다. 그 때문에, 귀로에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 제2 ID 블록(4) 사이의 제1 처리 블록(3)에 의한 반송 공정이 삭감된다(도 11의 부호 AR2 참조). 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 기판 처리 장치(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 재치대(13)와 재치대(74)의 사이에서 캐리어(C)를 반송하는 캐리어 반송 기구(8)를 구비하고 있다. 예를 들면, 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 모든 기판(W)이 취출된 경우, 캐리어 반송 기구(8)는, 그 캐리어(C)로 기판(W)을 되돌리기 위하여, 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)를 재치대(74)에 반송할 수 있다.

또한, 캐리어 반송 기구(8)는, 제1 처리 블록(3) 위에 탑재되어 있다. 종래, 캐리어 반송 기구는, 제1 ID 블록(2)에 대하여 수평 방향으로 배치되어 있었다. 본 발명에 의하면, 캐리어 반송 기구(8)는, 제1 처리 블록(3) 위에 탑재되어 있다. 그 때문에, 제1 ID 블록(2)에 대하여 수평 방향으로 배치되어 있었던 종래의 캐리어 반송 기구의 설치 면적을 삭감할 수 있다. 즉, 기판 처리 장치(1)의 풋프린트를 삭감할 수 있다.

또한, 기판 처리 장치(1)는, 제1 ID 블록(2), 제1 처리 블록(3) 및 제2 ID 블록(4) 위에 탑재된 캐리어 보관 선반(79)을 구비하고 있다. 캐리어 반송 기구(78)는, 재치대(13), 재치대(74) 및 캐리어 보관 선반(79)의 사이에서 캐리어(C)를 반송한다. 종래, 캐리어 보관 선반(79)은, ID 블록(2)에 대하여 수평 방향으로 설치되어 있었다. 본 발명에 의하면, 캐리어 보관 선반(79)은, 예를 들면, 제1 처리 블록(3) 위에 탑재되어 있다. 그 때문에, ID 블록(2)에 대하여 수평 방향으로 설치되어 있었던 종래의 캐리어 보관 선반의 설치 면적을 삭감할 수 있다. 즉, 기판 처리 장치(1)의 풋프린트를 삭감할 수 있다.

[실시예 2]

다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 2를 설명한다. 또한, 실시예 1과 중복되는 설명은 생략한다.

실시예 1에서는, 기판 처리 장치(1)는, 도 1의 좌측에 나타내는 제1 ID 블록(2)의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 도 1의 우측에 나타내는 제2 ID 블록(4)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)에 기판(W)을 수납하고 있었다. 이러한 점은, 반대여도 된다. 즉, 기판 처리 장치(1)는, 도 1의 우측에 나타내는 제2 ID 블록(4)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 도 1의 좌측에 나타내는 제1 ID 블록(2)의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)에 기판(W)을 수납해도 된다.

도 12는, 실시예 2에 따른 기판 처리 장치(1)의 횡단면도이다. 도 13은, 실시예 2에 따른 기판 처리 장치(1)의 우측면도이다. 본 실시예의 기판 처리 장치(1)는, 도 2, 도 3에 나타내는 실시예 1의 기판 처리 장치(1)과 비교하여, 제1 처리 블록(3)과 제2 처리 블록(5)이 갖는 처리 유닛(U)의 내용이 반대로 되어 있다.

제1 처리 블록(3)의 2개의 처리층(3A, 3B)은 각각, 4개의 표면 세정 유닛(SS) 및 4개의 단면 세정 유닛(SSB)을 구비하고 있다. 또한, 제2 처리 블록(5)의 2개의 처리층(5A, 5B)은 각각, 4개의 이면 세정 유닛(SSR)을 구비하고 있다. 또한, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제1 ID 블록(2)에는, 2개의 반전 유닛(R1, R2)이 설치되어 있지 않다.

<기판 처리 장치(1)의 동작>

다음으로, 본 실시예의 기판 처리 장치(1)의 동작을 설명한다. 도 14는, 기판 처리 장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도 14에 나타내는 바와 같이, 2개의 처리 블록(3, 5)은, 동작의 설명을 용이하게 하기 위하여, 단일의 처리층으로 구성되어 있는 것으로 한다.

도 14를 참조한다. 제2 ID 블록(4)은, 2개의 오프너(71, 72)(도 12 참조) 중 어느 하나의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 제2 처리 블록(5)으로 이송한다. 제2 처리 블록(5)으로 기판(W)을 이송할 때에, 2개의 반전 유닛(R3, R4) 중 어느 하나는, 기판(W)의 표면의 방향을 상향으로부터 하향으로 변경하도록, 기판(W)을 반전시킨다. 즉, 반전된 기판(W)의 이면이 상향인 상태가 되어 있다. 제2 ID 블록(4)은, 반전된 기판(W)을 제2 처리 블록(5)으로 이송한다.

제2 처리 블록(5)은, 제2 ID 블록(4)으로부터 이송된 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행하고, 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제2 ID 블록(4)으로 되돌린다.

제2 ID 블록(4)은, 제2 처리 블록(5)으로부터 이송된 기판(W)을 제1 처리 블록(3)으로 이송한다. 제1 처리 블록(3)으로 기판(W)을 이송할 때에, 2개의 반전 유닛(R3, R4) 중 어느 하나는, 기판의 표면의 방향을 하향으로부터 상향으로 변경하도록, 기판(W)을 반전시킨다. 제2 ID 블록(4)은, 반전된 기판(W)을 제1 처리 블록(3)으로 이송한다.

제1 처리 블록(3)은, 제2 ID 블록(4)으로부터 이송된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행하고, 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제1 ID 블록(2)으로 이송한다.

제1 ID 블록(2)은, 제1 처리 블록(3)으로부터 이송된 기판(W)을 2개의 오프너(9, 10)(도 12 참조) 중 어느 하나의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다.

본 실시예에 의하면, 제1 ID 블록(2)에는 재치대(13)가 설치되고, 제2 ID 블록(4)에는 재치대(74)가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 ID 블록(2)에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 제2 처리 블록(5)의 사이에서 기판(W)을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 왕로에 있어서, 제1 ID 블록(2)으로부터 기판(W)의 반송을 개시하지 않고, 2개의 처리 블록(3, 5)의 사이에 배치된 제2 ID 블록(4)으로부터 기판(W)의 반송을 개시하고 있다. 그 때문에, 왕로에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 제2 ID 블록(4) 사이의 제1 처리 블록(3)에 의한 반송 공정이 삭감된다(도 14의 부호 AR2 참조). 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

[실시예 3]

다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 3을 설명한다. 또한, 실시예 1, 2와 중복되는 설명은 생략한다.

실시예 1에서는, 기판 처리 장치(1)는, 도 1의 좌측에 나타내는 제1 ID 블록(2)의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 도 1의 우측에 나타내는 제2 ID 블록(4)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)에 기판(W)을 수납하고 있었다. 이때, 제1 처리 블록(3)은 이면 세정 처리를 행하고, 제2 처리 블록(5)은 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행하고 있었다. 이러한 점은, 제1 처리 블록(3)은 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행하고, 제2 처리 블록(5)은 이면 세정 처리를 행해도 된다.

본 실시예의 기판 처리 장치(1)의 구성은, 도 12, 도 13의 실시예 2의 기판 처리 장치(1)의 구성과 동일한 구성을 갖고 있다.

<기판 처리 장치(1)의 동작>

도 15는, 기판 처리 장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도 15에 나타내는 바와 같이, 2개의 처리 블록(3, 5)은, 동작의 설명을 용이하게 하기 위하여, 단일의 처리층으로 구성되어 있는 것으로 한다.

도 15를 참조한다. 제1 ID 블록(2)은, 2개의 오프너(9, 10) 중 어느 하나의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 제1 처리 블록(3)으로 이송한다. 이때, 제1 ID 블록(2)은, 표면이 상향인 기판(W)을 제1 처리 블록(3)으로 이송한다.

제1 처리 블록(3)은, 제1 ID 블록(2)으로부터 이송된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행하고, 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제2 ID 블록(4)으로 이송한다.

제2 ID 블록(4)은, 제1 처리 블록(3)으로부터 이송된 기판(W)을 제2 처리 블록(5)으로 이송한다. 제2 처리 블록(5)으로 기판(W)을 이송할 때에, 2개의 반전 유닛(R3, R4) 중 어느 하나는, 기판(W)의 표면의 방향을 상향으로부터 하향으로 변경하도록, 기판(W)을 반전시킨다. 즉, 반전된 기판(W)은, 이면이 상향인 상태가 되어 있다. 제2 ID 블록(4)은, 반전된 기판(W)을 제2 처리 블록(5)으로 이송한다.

제2 처리 블록(5)은, 제2 ID 블록(4)으로부터 이송되고, 이면이 상향인 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행하며, 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제2 ID 블록(4)으로 되돌린다.

제2 ID 블록(4)은, 제2 처리 블록(5)으로부터 이송된 기판(W)을 2개의 오프너(71, 72)(도 12 참조) 중 어느 하나의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다. 캐리어(C)로 기판(W)을 되돌릴 때에, 2개의 반전 유닛(R3, R4) 중 어느 하나는, 기판(W)의 표면의 방향을 하향으로부터 상향으로 변경하도록, 기판(W)을 반전시킨다. 제2 ID 블록(4)은, 반전되어 표면이 상향인 기판(W)을 캐리어(C)로 되돌린다.

본 실시예의 기판 처리 장치(1)는, 실시예 1과 동일한 효과를 갖는다. 귀로에 있어서, 제1 ID 블록(3)과 제2 ID 블록(5) 사이의 제1 처리 블록(3)에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.

(1) 상술한 실시예 2에서는, 기판 처리 장치(1)는, 도 14의 우측에 나타내는 제2 ID 블록(4)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 도 14의 좌측에 나타내는 제1 ID 블록(2)의 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)에 기판(W)을 수납하고 있었다. 이때, 제1 처리 블록(3)은 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행하고, 제2 처리 블록(5)은 이면 세정 처리를 행하고 있었다. 이러한 점은, 제1 처리 블록(3)은 이면 세정 처리를 행하고, 제2 처리 블록(5)은 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행해도 된다.

본 변형예의 기판 처리 장치(1)의 구성은, 도 1~도 3의 실시예 1의 기판 처리 장치(1)의 구성과 동일한 구성을 갖고 있다. 본 변형예의 기판 처리 장치(1)는, 도 16의 제2 ID 블록(4)은, 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출한다. 취출된 기판(W)은, 제2 처리 블록(5)에서 표면 세정 처리가 행해지고, 제1 처리 블록(3)에서 단면 세정 처리 및 이면 세정 처리가 행해지며, 그 후, 제1 ID 블록(2)에 반송된다. 제1 ID 블록(2)은, 제1 처리 블록(3)으로부터 반송된 기판(W)을 재치대(74)의 캐리어(C)로 되돌린다.

(2) 상술한 각 실시예 및 변형예(1)에서는, 예를 들면 제1 처리 블록(3)의 2개의 처리층(3A, 3B)은 각각, 도 3에 나타내는 바와 같이, X방향으로 2열의 처리 유닛(U)을 갖고 있었다. 이러한 점은, 도 17에 나타내는 바와 같이 1열이어도 되고, 3열 이상이어도 된다. 또한, 2개의 처리층(3A, 3B)은 각각, 도 3에 나타내는 바와 같이, Z방향으로 2단의 처리 유닛(U)을 갖고 있었다. 이러한 점은, 1단이어도 되고, 3단 이상이어도 된다. 또한, 제3 기판 반송 기구(TM3)의 승강 회전 구동부(45)는, 각 처리층(3A, 3B, 5A, 5B)의 바닥부에 고정되어 있었다. 이러한 점은, 제3 기판 반송 기구(TM3)의 승강 회전 구동부(45)는, 전동 모터에 의한 구동으로 X방향으로 이동되도록 구성되어 있어도 된다.

(3) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5) 중 한쪽에는, 단면 세정 유닛(SSB)이 설치되어 있었다. 이러한 점은, 필요에 따라, 단면 세정 유닛(SSB)이 설치되어 있지 않아도 된다. 또한, 필요에 따라, 제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5) 중 한쪽은, 표면 세정 유닛(SS)을 구비하고, 다른 쪽이 단면 세정 유닛(SSB)을 구비하고 있어도 된다. 또한, 제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5) 중 한쪽은, 이면 세정 유닛(SSR)을 구비하고, 다른 쪽이 단면 세정 유닛(SSB)을 구비하고 있어도 된다.

(4) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 제1 처리 블록(3) 및 제2 처리 블록(5)은, 이면 세정 유닛(SSR), 표면 세정 유닛(SS) 및 단면 세정 유닛(SSB)을 구비하고 있었지만, 처리 유닛(U)은 이들에 한정되지 않는다. 예를 들면, 한쪽의 처리 블록이 베벨 세정(에칭) 처리를 행하는 처리 유닛(U)을 구비하고, 다른 쪽의 처리 블록이 이면 세정(에칭) 처리를 행하는 처리 유닛(U)을 구비하고 있어도 된다. 베벨 세정을 행하는 처리 유닛(U)은, 도 18과 같이, 예를 들면, 도 6, 도 7에 나타내는 기판(W)의 이면을 예를 들면 진공 흡착하여 유지하는 유지 회전부(47)와, 기판(W)의 주연부에 처리액(예를 들면 인산 가수 H₃PO₄+H₂O₂)을 토출하는 노즐(203)을 구비하고 있어도 된다.

또한, 처리 유닛(U)은, 필요한 처리에 따라, 예를 들면 도 5~도 7, 도 18의 장치의 구성이나, 이미 알고 있는 구성을 조합한 것이어도 된다. 또한, 처리액은, 예를 들면, APM(암모니아 과산화 수소수 혼합 용액), 순수(DIW), 탄산수, 수소수, 암모니아수(NH4OH), SC1, SC2, 구연산 수용액, FOM(불화 수소산/오존의 혼합 약액), FPM(불화 수소산/과산화 수소수/순수의 혼합 약액), 불화 수소산(HF), HCl, IPA(이소프로필알코올), TMAH(수산화 테트라메틸암모늄), 트리메틸-2-히드록시에틸암모늄하이드로옥사이드 수용액(CHOLINE)이 이용되어도 된다.

(5) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 도 2에 있어서는, 2개의 ID 블록(2, 4)은, 합계로 4개의 반전 유닛(R1~R4)을 구비하고 있었다. 또한, 도 12에 있어서는, 제2 ID 블록(4)은, 2개의 반전 유닛(R3, R4)을 구비하고 있었다. 이들 반전 유닛(R3, R4)은, 제2 ID 블록(4)과 제2 처리 블록(5)의 사이에 설치되는 반전 패스(기판 재치부에 상당하는 구성)여도 된다. 예를 들면, 도 12에 있어서, 제4 기판 반송 기구(TM4)가 이면 세정 처리를 행하는 제2 처리 블록(5)에 기판(W)을 반송하는 경우, 제4 기판 반송 기구(TM4)에 의하여 반전 패스에 반송된 기판은, 반전 패스에 의하여 반전되고, 제2 처리 블록(5)의 제3 기판 반송 기구(TM3)는, 반전된 기판을 반전 패스로부터 수취하게 된다. 또한, 8개의 기판 재치부(PS1~PS8) 중 적어도 1개가 반전 패스여도 된다.

(6) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 예를 들면 도 1, 도 15에 나타내는 바와 같이, 2개의 처리 블록(3, 5)은 각각, 단일의 처리층 또는 2개의 처리층을 구비하고 있었다. 이러한 점은, 2개의 처리 블록(3, 5)은 각각, 상하 방향으로 배치된 3 이상의 처리층을 구비하고 있어도 된다. 또한, 제1 처리 블록(3)의 처리층의 개수는, 제2 처리 블록(5)의 처리층의 개수와 상이해도 된다. 예를 들면, 도 3에 있어서, 제1 처리 블록(3)은, 단일의 처리층을 구비하고, 제2 처리 블록(5)은, 2개의 처리층을 구비하고 있어도 된다.

(7) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 제1 ID 블록(2)은, 2개의 기판 반송 기구(TM1, TM2)를 구비하고 있었다. 도 19에 나타내는 바와 같이, 제1 ID 블록(2)은, 단일의 기판 반송 기구(TM1)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 복수(예를 들면 4개)의 재치대(13)가 Y방향으로 늘어서 제1 ID 블록(2)의 벽부(206)에 설치되어도 된다. 이들 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)에 대하여 기판(W)의 취출 및 수납을 행하기 위하여, 기판 반송 기구(TM1)는, 전동 모터의 구동에 의하여 Y방향으로 이동되도록 구성되어 있어도 된다.

또한, 제1 ID 블록(2)의 단일의 기판 반송 기구(TM1)는, 실시예 1과 같이, 수평 방향(특히 Y방향)으로 이동하지 않도록 제1 ID 블록(2)의 바닥부에 고정되어 있어도 된다. 또한, 제1 ID 블록(2)은, 3개 이상의 기판 반송 기구를 구비하고 있어도 된다.

(8) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 제2 ID 블록(4)은, 2개의 기판 반송 기구(TM4, TM5)를 구비하고 있었다. 도 19에 나타내는 바와 같이, 제2 ID 블록(4)은, 단일의 기판 반송 기구(TM4)를 구비하고 있어도 된다. 이 경우도, 복수(예를 들면 4개)의 재치대(74)가 Y방향으로 늘어서 제2 ID 블록(4)의 벽부(208)에 설치되어도 된다. 이들 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)에 대하여 기판(W)의 취출 및 수납을 행하기 위하여, 기판 반송 기구(TM4)는, 전동 모터의 구동에 의하여 Y방향으로 이동되도록 구성되어 있어도 된다.

또한, 제2 ID 블록(4)의 단일의 기판 반송 기구(TM4)는, 실시예 1과 같이, 수평 방향(특히 Y방향)으로 이동하지 않도록 제2 ID 블록(4)의 바닥부에 고정되어 있어도 된다. 또한, 제2 ID 블록(4)은, 3개 이상의 기판 반송 기구를 구비하고 있어도 된다.

(9) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 제2 ID 블록(4)의 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 6개의 기판 재치부(PS3~PS8), 반전 유닛(R3) 및, 오프너(71)에 재치된 캐리어(C)의 사이에서 기판(W)을 반송하고 있었다. 또한, 제5 기판 반송 기구(TM5)는, 6개의 기판 재치부(PS3~PS8), 반전 유닛(R4) 및, 오프너(72)에 재치된 캐리어(C)의 사이에서 기판(W)을 반송하고 있었다.

예를 들면, 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 4개의 기판 재치부(PS3~PS6)의 사이(즉 제1 처리 블록(3)과 제2 처리 블록(5)의 사이)에서 기판(W)을 반송해도 된다. 또한, 제5 기판 반송 기구(TM5)는, 2개의 기판 재치부(PS7, PS8) 및, 오프너(72)의 캐리어(C)의 사이에서 기판(W)을 반송해도 된다. 이 역할은, 제4 기판 반송 기구(TM4)와 제5 기판 반송 기구(TM5)의 사이에서 반대로 해도 된다. 즉, 제4 기판 반송 기구(TM4)는, 2개의 기판 재치부(PS7, PS8) 및, 오프너(71)의 캐리어(C)의 사이에서 기판(W)을 반송해도 된다. 또한, 제5 기판 반송 기구(TM5)는, 4개의 기판 재치부(PS3~PS6)의 사이에서 기판(W)을 반송해도 된다. 또한, 추가로, 제4 기판 반송 기구(TM4)는 반전 유닛(R3)에 기판(W)을 반송하고, 제5 기판 반송 기구(TM5)는 반전 유닛(R4)에 기판(W)을 반송해도 된다.

(10) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 기판 처리 장치(1)는, 2개의 처리 블록(3, 5)을 구비하고 있었다. 이러한 점은, 기판 처리 장치(1)는, 3개 이상의 처리 블록을 구비하고 있어도 된다.

먼저, 도 20에 나타내는 기판 처리 장치(1)를 설명한다. 도 20에 나타내는 바와 같이, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)는, 미리 설정된 처리를 각각 행하는 3개(복수)의 처리 블록(213~215)을 구비하고 있는 것으로 한다. 3개의 처리 블록(213~215)은, 일렬로 배치되어 있다. 또한, 3개의 처리 블록(213~215)은, 제1 처리 블록(213), 제2 처리 블록(214), 및 제3 처리 블록(215)이다. 또한, 3개의 처리 블록(213~215)은 각각, 단일의 처리층을 구비하고 있는 것으로 한다.

제1 처리 블록(213)은, 이면 세정 처리를 행하기 위하여, 이면 세정 유닛(SSR)을 구비하고 있다. 제2 처리 블록(214)은, 단면 세정 처리를 행하기 위하여, 단면 세정 유닛(SSB)을 구비하고 있다. 제3 처리 블록(215)은, 표면 세정 처리를 행하기 위하여, 표면 세정 유닛(SS)을 구비하고 있다. 또한, 3개의 처리 블록(213~215)은 각각, 제3 기판 반송 기구(TM3)를 구비하고 있다.

제1 ID 블록(2)은, 3개의 처리 블록(213~215) 중 일단의 제1 처리 블록(213)에 연결되어 있다. 또한, 제2 ID 블록(4)은, 3개의 처리 블록(213~215) 중 제1 처리 블록(213)과 제2 처리 블록(214)의 사이에 배치되어 있다. 즉, 제2 ID 블록(4)은, 1개의 일단측의 제1 처리 블록(213)과, 2개의 타단측의 처리 블록(214, 215)의 사이에 배치되어 있다.

다음으로, 본 변형예에 따른 기판 처리 장치(1)의 동작을 설명한다.

도 20을 참조한다. 제1 ID 블록(2)은, 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 일단측의 처리 블록(213)으로 이송한다. 이때, 2개의 반전 유닛(R1, R2) 중 한쪽은, 이면이 상향이 되도록 기판(W)을 반전시킨다. 일단측의 처리 블록(213)은, 이면이 상향이고 또한, 이송된 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행한다. 일단측의 처리 블록(213)은, 기판(W)을 제2 ID 블록(4)에 반송한다.

제2 ID 블록(4)은, 일단측의 처리 블록(213)에서 이면 세정 처리된 기판(W)을 타단측의 처리 블록(214, 215)으로 이송한다. 이때, 2개의 반전 유닛(R3, R4) 중 한쪽은, 표면이 상향이 되도록 기판(W)을 반전시킨다. 타단측의 제2 처리 블록(214)은, 표면이 상향이고 또한, 이송된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리를 행한다. 또한, 타단측의 제3 처리 블록(215)은, 표면이 상향이고 또한, 이송된 기판(W)에 대하여 표면 세정 처리를 행한다.

또한, 제2 처리 블록(214)은, 기판(W)을 제3 처리 블록(215)으로 이송하고, 제3 처리 블록(215)은, 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제2 처리 블록(214)으로 되돌린다. 그 후, 제2 처리 블록(214)은, 기판(W)을 제2 ID 블록(4)으로 이송한다. 도 20에서는, 제2 처리 블록(214)은, 제3 처리 블록(215)으로 기판(W)을 이송하기 전에 단면 세정 처리를 행하고 있지만, 제2 ID 블록(4)으로 기판(W)을 이송하기 전에 단면 세정 처리를 행해도 된다.

제2 ID 블록(4)은, 타단측의 처리 블록(214, 215)에서 처리된 기판(W)을 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다.

본 변형예에 의하면, 제1 ID 블록(2)에는 재치대(13)가 설치되고, 제2 ID 블록(4)에는 재치대(74)가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 ID 블록(2)에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 타단의 제3 처리 블록(215)의 사이에서 기판(W)을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 귀로에 있어서, 제1 ID 블록(2)으로 기판(W)을 되돌리지 않고, 일단측의 처리 블록(213)과 타단측의 처리 블록(214, 215)의 사이에 배치된 제2 ID 블록(4)으로 기판(W)을 되돌리고 있다. 그 때문에, 귀로에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 제2 ID 블록(4) 사이의 일단측의 처리 블록(213)에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

(11) 다음으로, 도 21에 나타내는 기판 처리 장치(1)를 설명한다. 도 21에 나타내는 기판 처리 장치(1)에 있어서, 제2 ID 블록(4)은, 2개의 일단측의 처리 블록(213, 214)과, 1개의 타단측의 처리 블록(215)의 사이에 배치되어 있다.

제1 처리 블록(213)은, 표면 세정 처리를 행하기 위하여, 표면 세정 유닛(SS)을 구비하고 있다. 제2 처리 블록(214)은, 단면 세정 처리를 행하기 위하여, 단면 세정 유닛(SSB)을 구비하고 있다. 제3 처리 블록(215)은, 이면 세정 처리를 행하기 위하여, 이면 세정 유닛(SSR)을 구비하고 있다. 또한, 3개의 처리 블록(213~215)은 각각, 제3 기판 반송 기구(TM3)를 구비하고 있다. 또한, 3개의 처리 블록(213~215)은 각각, 단일의 처리층을 구비하고 있는 것으로 한다.

본 변형예에 따른 기판 처리 장치(1)의 동작을 설명한다. 도 21을 참조한다. 제2 ID 블록(4)은, 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 타단측의 제3 처리 블록(215)으로 이송한다. 이때, 2개의 반전 유닛(R3, R4) 중 한쪽은, 이면이 상향이 되도록 기판(W)을 반전시킨다.

타단측의 처리 블록(215)은, 이면이 상향이고 또한, 이송된 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행한다. 처리 블록(215)은, 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제2 ID 블록(4)으로 되돌린다.

제2 ID 블록(4)은, 타단측의 처리 블록(215)에서 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 일단측의 처리 블록(213, 214)으로 이송한다. 이때, 2개의 반전 유닛(R3, R4) 중 한쪽은, 표면이 상향이 되도록 기판(W)을 반전시킨다. 일단측의 제2 처리 블록(214)은, 표면이 상향이고 또한, 이송된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리를 행한다. 일단측의 제1 처리 블록(213)은, 이송된 기판(W)에 대하여 표면 세정 처리를 행한다. 제2 처리 블록(214)은, 단면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제1 처리 블록(213)으로 이송하고, 제1 처리 블록(213)은, 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 제1 ID 블록(2)으로 이송한다.

제1 ID 블록(2)은, 일단측의 처리 블록(213, 214)에서 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다.

본 변형예에 의하면, 제1 ID 블록(2)에는 재치대(13)가 설치되고, 제2 ID 블록(4)에는 재치대(74)가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 ID 블록(2)에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 타단의 제3 처리 블록(215)의 사이에서 기판(W)을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 왕로에 있어서, 제1 ID 블록(2)으로부터 기판(W)의 반송을 개시하지 않고, 일단측의 처리 블록(213, 214)과 타단측의 처리 블록(215)의 사이에 배치된 제2 ID 블록(4)으로부터 기판(W)의 반송을 개시하고 있다. 그 때문에, 왕로에 있어서, 제1 ID 블록(2)과 제2 ID 블록(4) 사이의 일단측의 처리 블록(213, 214)에 의한 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

(12) 또한, 기판 처리 장치(1)는, 다음과 같이 구성 및 동작되어도 된다. 제2 ID 블록(4)에는, 2개의 오프너(71, 72)가 설치되어 있고, 2개의 오프너(71, 72)는 각각, 재치대(74)를 구비하고 있다. 도 22에 있어서, 2개의 재치대(74)는, 상하로 배치되어 있어도 되지만, 도 9와 같이, 수평 방향으로 배치되어 있다.

도 22를 참조한다. 제2 ID 블록(4)(도 2에 나타내는 제4 기판 반송 기구(TM4))은, 오프너(71)의 재치대(74)(제1 재치대)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판을 제2 처리 블록(5)으로 이송한다. 제2 처리 블록(5)은, 제2 ID 블록(4)으로부터 이송된 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행하고, 제2 ID 블록(4)에 반송한다. 제2 ID 블록(4)은, 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 오프너(71)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다.

또한, 오프너(71)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)는, 그 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고 나서 처리 완료된 기판(W)을 되돌릴 때까지, 오프너(71)의 재치대(74)에 재치된 채이다. 또한, 이면 세정 처리를 행하는 경우, 임의의 타이밍에 기판(W)의 반전 동작이 행해진다.

또한, 제2 ID 블록(4)(도 2에 나타내는 제5 기판 반송 기구(TM5))는, 오프너(72)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 제1 처리 블록(3)으로 이송한다. 제1 처리 블록(3)은, 제2 ID 블록(4)으로부터 이송된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행하고, 그들 처리가 행해진 기판(W)을 제1 ID 블록(2)으로 이송한다. 제1 ID 블록(2)은, 제1 처리 블록(3)에서 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 재치대(13)에 재치된 캐리어(C)로 되돌린다.

또한, 오프너(72)의 재치대(74)에 재치된 캐리어(C)로부터 모든 기판(W)을 취출한 후, 비게 된 캐리어(C)는, 캐리어 반송 기구(78)에 의하여, 오프너(72)의 재치대(74)로부터 재치대(13)에 반송된다.

도 23을 참조한다. 제1 처리 블록(3)은 이면 세정 처리를 행하고, 제2 처리 블록(5)은 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행한다. 도 23에 나타내는 기판 처리 장치(1)는, 도 22에 나타내는 기판 처리 장치(1)의 기판 반송 동작과 거의 동일하다.

본 변형예에 의하면, 제1 ID 블록(2)에는 재치대(13)가 설치되고, 제2 ID 블록(4)에는 2개의 재치대(74)가 설치되어 있다. 종래에는, 제1 ID 블록(2)에만 캐리어 재치대가 설치되어 있었다. 그 때문에, 왕로 및 귀로의 양쪽 모두에 있어서, 제1 ID 블록과 제2 처리 블록(5)의 사이에서 기판(W)을 반송시키고 있었다. 본 발명에 의하면, 제1 처리 블록(3)으로 기판(W)을 이송하지 않고 제2 처리 블록(5)으로 기판(W)을 이송할 수 있다. 그 때문에, 제1 처리 블록(3)에 의한 기판 반송 공정이 삭감된다. 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

또한, 종래에는, 1개의 ID 블록만으로 캐리어(C)로부터의 기판(W)의 취출과, 캐리어(C)에 대한 기판의 수납을 행하고 있었다. 본 발명에 의하면, 제2 ID 블록(4)은, 기판(W)을 취출하고, 취출한 기판(W)을 제1 처리 블록(3)으로 이송한다. 또한, 제1 ID 블록(2)은, 제1 처리 블록(3)으로부터 이송된 기판(W)을 재치대(13)의 캐리어(C)에 수납한다. 즉, 기판(W)의 취출과 기판(W)의 수납을 분담하여 행하고 있다. 그 때문에, 제2 ID 블록(4)은 기판(W)의 취출만 행할 수 있고, 제1 ID 블록(2)은 기판(W)의 수납만을 행할 수 있다. 그 결과, 기판 처리 장치(1) 전체의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

이 변형예에서는, 기판 처리 장치(1)는, 1개의 캐리어(C)에 수납된 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행하고, 또 하나의 캐리어(C)에 수납된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행했다. 이러한 점은, 기판 처리 장치(1)는, 1개의 캐리어(C)에 수납된 기판(W)을 2세트로 나누고, 한쪽 세트의 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행하고, 다른 쪽 세트의 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행해도 된다.

구체적으로 설명한다. 도 22에 나타내는 기판 처리 장치(1)의 제2 ID 블록(4)은, 오프너(72)의 캐리어(C)로부터 기판(W)을 취출한다. 또한, 오프너(72)의 캐리어(C)로부터 기판(W)을 모두 취출해도 된다. 제2 ID 블록(4)은, 취출된 기판(W) 중 한쪽 세트의 기판(W)을 제2 처리 블록(5)으로 이송한다. 제2 처리 블록(5)은, 이송된 기판(W)에 대하여 이면 세정 처리를 행하고, 제2 ID 블록(4)으로 이송한다. 또한, 제2 ID 블록(4)은, 오프너(72)의 캐리어로부터 취출한 기판(W) 중 다른 쪽 세트의 기판(W)을 제1 처리 블록(3)으로 이송한다. 제1 처리 블록(3)은, 이송된 기판(W)에 대하여 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리를 행한다.

단면 세정 처리 및 표면 세정 처리의 2개의 세정 처리를 행하고 있는 동안에, 제2 처리 블록(5)에서 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)은 차례로 제2 ID 블록(4)으로 이송된다. 제2 ID 블록(4)은, 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 오프너(72)의 캐리어(C)로 되돌린다. 이면 세정 처리를 행하는 한쪽 세트의 모든 기판(W)이 캐리어(C)로 되돌려지면, 캐리어 반송 기구(78)는, 오프너(72)의 재치대(74)로부터 재치대(13)에 캐리어(C)를 반송한다. 그리고, 제1 ID 블록(2)은, 제1 처리 블록(3)에서 단면 세정 처리 및 표면 세정 처리가 행해진 기판(W)을, 한쪽 세트의 기판(W)이 수납된 캐리어(C)로 되돌린다.

제1 처리 블록(3)은 1개의 세정 처리(이면 세정 처리)를 행하는 데에 대하여, 제2 처리 블록(5)은, 2개의 세정 처리(단면 세정 처리 및 표면 세정 처리)를 행한다. 그 때문에, 제2 처리 블록(5)에 의한 처리를 행하고 있는 동안에, 캐리어(C)에 이면 세정 처리가 행해진 기판(W)을 회수할 수 있다. 그 때문에, 효과적으로 세정 처리를 행할 수 있다. 도 22, 도 23에 있어서, 오프너(71)의 재치대(74)는, 본 발명의 제1 재치대에 상당하고, 오프너(72)의 재치대(74)는, 본 발명의 제2 재치대에 상당한다.

(13) 상술한 (12)에 기재된 기판 처리 장치(1)는, 3개 이상의 처리 블록을 구비하고 있어도 된다. 도 24는, 2개의 처리 블록(213, 214)의 사이에 제2 ID 블록(4)이 배치된 것이다. 도 25는, 2개의 처리 블록(214, 215)의 사이에 제2 ID 블록(4)이 배치된 것이다. 도 24, 도 25에 나타내는 기판 처리 장치(1)의 기판 반송 동작은, 도 22에 나타내는 기판 처리 장치(1)의 기판 반송 동작과 거의 동일하게 행해진다.

본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 벗어나지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 청구범위를 참조해야 한다.

Claims

기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 이하의 요소:
일렬로 배치된 복수의 처리 블록;
상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치(載置)하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록; 및
상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치되며, 상기 캐리어를 재치하기 위한 제2 캐리어 재치대가 설치된 제2 인덱서 블록;
을 포함하고,
상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출(取出)하며, 취출한 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하고,
상기 일단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하며,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하고,
상기 타단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하며,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는, 기판 처리 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 복수의 처리 블록은, 제1 처리를 행하는 제1 처리 블록과, 제2 처리를 행하는 제2 처리 블록을 갖고,
상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 처리 블록에 연결되며,
상기 제1 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록에 연결되고,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리 블록에 연결되며,
상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 제1 처리 블록으로 이송하며,
상기 제1 처리 블록은, 상기 제1 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제1 처리를 행하고, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제2 인덱서 블록으로 이송하며,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제2 처리 블록으로 이송하고,
상기 제2 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제2 처리를 행하며, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제2 인덱서 블록으로 되돌리고,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는, 기판 처리 장치.
기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 이하의 요소:
일렬로 배치된 복수의 처리 블록;
상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록; 및
상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치되며, 상기 캐리어를 재치하기 위한 제2 캐리어 재치대가 설치된 제2 인덱서 블록;
을 포함하고,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하며, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하고,
상기 타단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하며,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하고,
상기 일단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하며,
상기 제1 인덱서 블록은, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는, 기판 처리 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 복수의 처리 블록은, 제1 처리를 행하는 제1 처리 블록과, 제2 처리를 행하는 제2 처리 블록을 갖고,
상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 처리 블록에 연결되며,
상기 제1 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록에 연결되고,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리 블록에 연결되며,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 제2 처리 블록으로 이송하며,
상기 제2 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제2 처리를 행하고, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제2 인덱서 블록으로 되돌리며,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 제2 처리가 행해진 기판을 상기 제1 처리 블록으로 이송하고,
상기 제1 처리 블록은, 상기 제2 인덱서 블록으로부터 이송된 기판에 대하여 상기 제1 처리를 행하며, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제1 인덱서 블록으로 이송하고,
상기 제1 인덱서 블록은, 상기 제1 처리가 행해진 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는, 기판 처리 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 처리 블록 및 상기 제2 처리 블록 중 적어도 한쪽은, 상하 방향으로 배치된 복수의 처리층을 구비하고 있는, 기판 처리 장치.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 캐리어 재치대와 상기 제2 캐리어 재치대의 사이에서 상기 캐리어를 반송하는 캐리어 반송 기구를 더 구비하고 있는, 기판 처리 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1 처리 블록 위에 탑재되어 있는, 기판 처리 장치.
일렬로 배치된 복수의 처리 블록과,
상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록을 구비한 기판 처리 장치의 기판 반송 방법으로서, 이하의 공정:
상기 제1 인덱서 블록에 의하여, 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을, 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록으로 이송하는 공정;
이송된 기판에 대하여, 상기 일단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정;
상기 일단측의 처리 블록과, 상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하는 공정;
이송된 기판에 대하여, 상기 타단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 및
상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을, 상기 제2 인덱서 블록에 설치된 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정
을 포함하는, 기판 처리 장치의 기판 반송 방법.
일렬로 배치된 복수의 처리 블록과,
상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록을 구비한 기판 처리 장치의 기판 반송 방법으로서, 이하의 공정:
상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 제2 인덱서 블록에 설치된 제2 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하는 공정;
이송된 기판에 대하여, 상기 타단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정;
상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하는 공정;
이송된 기판에 대하여, 상기 일단측의 처리 블록에 의하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 및
상기 제1 인덱서 블록에 의하여, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정
을 포함하는, 기판 처리 장치의 기판 반송 방법.
기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 이하의 요소:
일렬로 배치된 복수의 처리 블록;
상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록; 및
상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치되며, 상기 캐리어를 재치하기 위한 복수의 제2 캐리어 재치대가 설치된 제2 인덱서 블록;
을 포함하고,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하며, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하고,
상기 타단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하며,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리고,
상기 제2 인덱서 블록은, 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제2 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하며, 취출한 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하고,
상기 일단측의 처리 블록은, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하며,
상기 제1 인덱서 블록은, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는, 기판 처리 장치.
일렬로 배치된 복수의 처리 블록과,
상기 복수의 처리 블록 중 일단의 처리 블록에 연결되고, 복수의 기판을 수납하는 것이 가능한 캐리어를 재치하기 위한 제1 캐리어 재치대가 설치된 제1 인덱서 블록을 구비한 기판 처리 장치의 기판 반송 방법으로서, 이하의 공정:
상기 복수의 처리 블록 중 적어도 하나의 일단측의 처리 블록과 적어도 하나의 타단측의 처리 블록의 사이에 배치된 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 제2 인덱서 블록에 설치된 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 타단측의 처리 블록으로 이송하는 공정;
상기 타단측의 처리 블록에 의하여, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정;
상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 타단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정;
상기 제2 인덱서 블록에 의하여, 상기 복수의 제2 캐리어 재치대 중 제2 재치대에 재치된 상기 캐리어로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 상기 일단측의 처리 블록으로 이송하는 공정;
상기 일단측의 처리 블록에 의하여, 이송된 기판에 대하여 미리 설정된 처리를 행하는 공정; 및
상기 제1 인덱서 블록에 의하여, 상기 일단측의 처리 블록에서 처리된 기판을 상기 제1 캐리어 재치대에 재치된 상기 캐리어로 되돌리는 공정
을 포함하는, 기판 처리 장치의 기판 반송 방법.