KR20240041246A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20240041246A
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KR1020230122910A
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Inventor
이치로 미츠요시
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 장치에 있어서, 푸셔는, 제 1 반송 기구가 액세스 가능한 위치에 형성되고, 자세 변환부는, 센터 로봇이 액세스 가능한 위치에 형성된다. 제 2 반송 기구는, 푸셔가 유지하는 수직 자세의 기판을 수취하여 자세 변환부에 건네준다. 제 2 반송 기구는, 연직 자세의 기판의 2 개의 측부를 직경 방향으로 끼워 넣으면서, 기판을 유지하는 2 개의 수평 척을 구비한다. 자세 변환부는, 2 개의 수평 척으로 유지된 연직 자세의 기판의 상하부를 직경 방향으로 끼워 넣음으로써, 2 개의 수평 척으로부터 기판을 수취하는 상하의 척과, 수평축 둘레로 상하의 척을 회전시키는 상하 척 회전부를 구비한다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS}
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 기판은, 예를 들어, 반도체 기판, FPD (Flat Panel Display) 용의 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판 등을 들 수 있다. FPD 는, 예를 들어, 액정 표시 장치, 유기 EL (electroluminescence) 표시 장치 등을 들 수 있다.
종래의 기판 처리 장치로서, 복수장의 기판을 일괄하여 처리하는 배치식 처리 모듈 (배치 처리부) 과, 배치식 처리 모듈로 처리된 기판을 1 장씩 처리하는 매엽식 처리 모듈 (매엽 처리부) 을 구비한 하이브리드식의 기판 처리 장치가 있다 (예를 들어 일본 : 공표특허공보 2016-502275호, 및 일본 : 공개특허공보 2021-064652호 참조).
배치식 처리 모듈은 연직 자세의 복수의 기판을 일괄하여 처리하고, 매엽식 처리 모듈은 수평 자세의 기판을 1 장씩 처리한다. 그 때문에, 배치식 처리 모듈로 처리된 기판을 매엽식 처리 모듈이 처리하기 위해, 기판 처리 장치는, 연직 자세의 기판을 수평 자세로 변환하는 회전 기구를 추가로 구비한다.
일본 : 공표특허공보 2016-502275호의 회전 기구 (자세 변환 기구) 는, 기판의 외연을 둘러싸기 위해, 대좌 (pedestal) 와, 2 개의 측벽을 구비한다. 대좌는, 기판을 수직으로 재치하는 복수의 홈을 갖는다. 2 개의 측벽은 각각, 내측으로 돌출되는 1 군의 지지부를 갖는다.
연직 기판 반송 로봇 (배치 기판 반송 기구) 으로부터 회전 기구가 수직 자세의 복수의 기판을 수취할 때에, 2 개의 측벽은 열린다. 그 후, 연직 기판 반송 로봇은 기판을 대좌의 홈에 수직으로 재치한다. 그 후, 2 개의 측벽은 절첩되고, 기판을 협지한다. 그 후, 수직 자세의 기판이 나열되는 방향과 직교하는 수평축 둘레로 대좌를 90 도 회전시킨다. 이로써, 기판은, 회전 기구 내에서 수평하게 배치되고, 2 개의 측벽의 지지부에 의해 지지된다.
또, 일본 : 공개특허공보 2021-064652호의 기판 처리 장치는, 주반송 기구 (배치 기판 반송 기구) 와, 푸셔와, 자세 변환 기구 (자세 변환부) 를 구비한다. 일본 : 공개특허공보 2018-056341호의 기판 처리 장치는, 자세 변환 기구를 구비한다.
일본 : 공표특허공보 2016-502275호의 회전 기구는, 수직 자세의 기판이 나열되는 방향과 직교하는 수평 회전축 둘레로 대좌를 90 도 회전시킴으로써, 기판을 수평 자세로 한다. 그리고, 매엽식 모듈에 기판을 반송하기 위해, 수평 기판 반송 로봇 (매엽 기판 반송 기구) 은, 2 개의 측벽 사이로부터 기판을 취출한다. 이 때, 연직 기판 반송 로봇 (배치 기판 반송 기구) 으로부터 회전 기구가 수직 자세의 복수장의 기판을 수취하는 위치가, 수평 기판 반송 로봇으로부터 멀리 떨어져 있는 경우에, 수평 기판 반송 로봇이 수평 자세의 기판을 수취하기 어려운 경우가 있다.
또, 일본 : 공개특허공보 2018-056341호의 자세 변환 기구 (자세 변환부) 는, 푸셔를 통하여 주반송 기구 (배치 기판 반송 기구) 로부터 기판을 수취하고 있다. 이 점에서, 자세 변환 기구가 주반송 기구로부터 기판을 직접 수취하고자 하는 경우가 있다.
본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 자세 변환부가 배치 기판 반송 기구로부터 기판을 수취하여 수평 자세로 변환한 복수장의 기판에 대해, 매엽 기판 반송 기구가 용이하게 액세스할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취한다. 즉, 복수장의 기판을 일괄하여 처리하는 배치 처리와, 기판을 1 장씩 처리하는 매엽 처리를 연속해서 실시하는 기판 처리 장치로서, 복수장의 기판을 일괄하여 처리하는 배치 처리조와, 상기 배치 처리조에 대해 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 일괄하여 반송하는 제 1 배치 기판 반송 기구와, 기판을 1 장씩 처리하는 매엽 처리 챔버와, 상기 매엽 처리 챔버에 대해 수평 자세의 기판을 1 장씩 반송하는 매엽 기판 반송 기구와, 배치 처리된 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 일괄하여 수평 자세로 변환하는 자세 변환 기구를 구비하고, 상기 자세 변환 기구는, 상기 제 1 배치 기판 반송 기구가 액세스 가능한 위치에 형성되고, 배치 처리된 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 상기 제 1 배치 기판 반송 기구로부터 일괄하여 수취하여 유지하는 기판 유지부와, 상기 매엽 기판 반송 기구가 액세스 가능한 위치에 형성되고, 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 일괄하여 수평 자세로 변환하는 자세 변환부와, 상기 기판 유지부와 상기 자세 변환부 사이를 이동 가능하고, 상기 기판 유지부가 유지하는 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 수취하여 상기 자세 변환부에 건네주는 제 2 배치 기판 반송 기구를 구비하고, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 기판 유지부가 유지하는 수직 자세의 상기 복수장의 기판의 각각의 외연의 2 개의 측부를 직경 방향으로부터 끼워 넣으면서 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 유지하는 2 개의 수평 척을 구비하고, 상기 자세 변환부는, 상기 2 개의 수평 척으로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판의 각각의 외연의 상부 및 하부를 직경 방향으로부터 끼워 넣음으로써, 상기 2 개의 수평 척으로부터 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 수취하는 것이 가능한 상부 척 및 하부 척과, 상기 2 개의 수평 척으로부터 수취한 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 수평 자세로 변환하기 위해, 상기 상부 척 및 상기 하부 척이 유지하고 있는 연직 자세의 상기 복수장의 기판의 정렬 방향과 직교하는 수평축 둘레로 상기 상부 척 및 상기 하부 척을 회전시키는 상하 척 회전부를 구비하고, 상기 매엽 기판 반송 기구는, 상기 상부 척 및 상기 하부 척이 유지하는 수평 자세의 상기 복수장의 기판 중에서 1 장씩 기판을 취출하여 상기 매엽 처리 챔버에 반송하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 자세 변환부의 상부 척 및 하부 척은, 제 2 배치 기판 반송 기구의 2 개의 수평 척으로 유지된 연직 자세의 기판의 각각의 외연의 상부 및 하부를 끼워 넣는다. 이로써, 자세 변환부는, 제 2 배치 기판 반송 기구의 2 개의 수평 척으로부터 기판을 직접 수취할 수 있다. 또, 기판 유지부는, 제 1 배치 기판 반송 기구가 액세스 가능한 위치에 형성되고, 자세 변환부는, 매엽 기판 반송 기구가 액세스 가능한 위치에 형성된다. 그 때문에, 기판 유지부에 의해 제 1 배치 기판 반송 기구로부터 기판을 수취하는 위치가 매엽 기판 반송 기구로부터 멀리 떨어져 있어도, 제 2 배치 기판 반송 기구는, 기판 유지부로부터 자세 변환부에 기판을 반송할 수 있다. 그 때문에, 매엽 기판 반송 기구가 용이하게 액세스할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 2 개의 수평 척은 각각, 상기 복수장의 기판을 각각 연직 자세로 유지하기 위한 복수개의 V 상 유지홈을 구비하고, 상기 상부 척은, 상기 복수장의 기판의 외연을 각각 수용하기 위해, 각 기판의 두께보다 넓은 폭을 각각 갖는 복수개의 제 1 수평 거치 가이드 홈을 구비하고, 상기 하부 척은, 상기 복수장의 기판의 외연을 각각 수용하기 위해, 각 기판의 두께보다 넓은 폭을 각각 갖는 복수개의 제 2 수평 거치 가이드 홈을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
2 개의 수평 척은, V 상 유지홈에 의해 기판을 연직 자세로 유지할 수 있으므로, 인접하는 2 장의 기판이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 이로써, 예를 들어, 기판에 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또, 제 1 수평 거치 가이드 홈 및 제 2 수평 거치 가이드 홈은 각각, 기판의 두께보다 넓은 폭을 갖는다. 그 때문에, 기판의 자세를 수평으로 변환한 후에, 매엽 기판 반송 기구가 상부 척 및 하부 척으로부터 기판을 취출할 때에, 기판을 들어올리는 공간이 있으므로, 기판에 부하를 주지 않고, 기판을 취출할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 자세 변환부는, 각 기판의 둘레 방향을 따라 상기 하부 척의 양측에 형성된 2 개의 보조 척을 추가로 구비하고, 상기 2 개의 보조 척은 각각, 상기 복수장의 기판을 연직 자세로 유지하기 위한 복수개의 제 2 V 상 유지홈을 구비하고, 상기 상부 척 및 상기 하부 척이 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 유지할 때, 상기 2 개의 보조 척은 각각, 상기 복수장의 기판의 외연을 상기 복수개의 제 2 V 상 유지홈에 각각 수용함으로써, 상기 복수장의 기판을 연직 자세로 유지하고, 상기 상부 척 및 상기 하부 척이 수평 자세의 상기 복수장의 기판을 유지할 때, 상기 2 개의 보조 척은 각각, 상기 복수개의 제 2 V 상 유지홈으로부터 상기 복수장의 기판을 취출하고, 상기 매엽 기판 반송 기구에 의한 상기 복수장의 기판의 취출을 방해하지 않는 위치까지 상기 복수장의 기판으로부터 떨어지는 것이 바람직하다.
상부 척 및 하부 척이 연직 자세의 기판을 유지했을 때에, 닫힌 상태의 2 개의 보조 척이 기판을 연직 자세로 유지하므로, 인접하는 2 장의 기판이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또, 상부 척 및 하부 척으로부터 수평 자세의 기판을 취출할 때에, 2 개의 보조 척은, 열린 상태가 되므로, 매엽 기판 반송 기구에 의한 기판의 취출을 방해하지 않는다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 자세 변환부는, 상기 복수장의 기판이 정렬되는 방향으로 상기 상부 척 및 상기 하부 척에 대해 상기 2 개의 보조 척을 상대적으로 이동시키는 상대 이동부를 추가로 구비하고, 상기 복수개의 제 1 수평 거치 가이드 홈은, 수평 자세의 1 장의 기판을 각각 재치하는 복수의 재치면을 구비하고, 상기 자세 변환부가 상기 복수장의 기판의 자세를 수평으로 변환할 때, 상기 상대 이동부는, 상기 복수개의 제 2 V 상 유지홈에 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 상기 복수개의 재치면에 각각 접촉시키도록, 상기 2 개의 보조 척을 상대적으로 이동시키는 것이 바람직하다. 자세 변환시에, 기판이 이동하여 충돌함으로써 파티클이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 자세 변환 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 상기 복수장의 기판을 액체에 침지시키기 위해, 상기 액체를 저류하는 대기조를 추가로 구비하는 것이 바람직하다. 매엽 처리 챔버에 의한 건조 처리 전에, 기판이 건조하면, 기판의 패턴 도괴가 발생한다. 그러나, 본 발명에 의해, 기판 유지부로 유지된 기판의 건조를 방지할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 자세 변환 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 상기 복수장의 기판에 대해 샤워상 또는 미스트상으로 액체를 공급하는 유지부용 노즐을 추가로 구비하고 있는 것이 바람직하다. 매엽 처리 챔버에 의한 건조 처리 전에, 기판이 건조하면, 기판의 패턴 도괴가 발생한다. 그러나, 본 발명에 의해, 기판 유지부로 유지된 기판의 건조를 방지할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 자세 변환 기구는, 상기 자세 변환부의 상기 상부 척 및 상기 하부 척으로 유지된 상기 복수장의 기판에 대해 샤워상 또는 미스트상으로 액체를 공급하는 자세 변환부용 노즐을 추가로 구비하고 있는 것이 바람직하다. 매엽 처리 챔버에 의한 건조 처리 전에, 기판이 건조하면, 기판의 패턴 도괴가 발생한다. 그러나, 본 발명에 의해, 자세 변환부의 상부 척 및 하부 척으로 유지된 기판의 건조를 방지할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 자세 변환 기구는, 상기 기판 유지부를 연직축 둘레로 회전시키는 회전부를 추가로 구비하고 있는 것이 바람직하다. 제 2 배치 기판 반송 기구에 대해 임의의 방향의 기판을 인도할 수 있다. 또, 자세 변환 후의 수평 자세의 기판을 임의의 방향으로 할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 배치 처리조와 상기 자세 변환 기구는, 수평한 제 1 방향으로 배치되어 있고, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 제 1 방향과 직교하는 수평한 제 2 방향을 따라, 상기 기판 유지부로부터 상기 복수장의 기판을 반송하는 것이 바람직하다. 배치 처리조와 그 주변의 구성이 제 2 방향으로 긴 경우, 매엽 기판 반송 기구가 액세스하기 어려운 경우가 있다. 제 2 배치 기판 반송 기구가 제 2 방향으로 이동할 수 있으므로, 자세 변환부를 매엽 기판 반송 기구에 가깝게 할 수 있다. 그 때문에, 매엽 기판 반송 기구는, 기판을 용이하게 반송할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 2 개의 수평 척은 각각, 상기 복수장의 기판 중 미리 설정된 2 장 이상의 기판을 유지하기 위한 2 개 이상의 V 상 유지홈을 구비하고, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 2 개의 수평 척을 사용하여, 상기 기판 유지부로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판으로부터 상기 2 장 이상의 기판을 발출하는 것이 바람직하다. 제 2 배치 기판 반송 기구는, 기판 유지부로 유지된 기판으로부터 2 장 이상의 기판을 발출하여 반송할 수 있다.
또, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 제 1 패턴과 제 2 패턴 사이에서 상기 2 개의 수평 척을 전환할 수 있고, 상기 2 개의 수평 척이 상기 제 1 패턴인 경우, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판으로부터, 미리 설정된 1 장 이상의 기판을 발출하고, 상기 2 개의 수평 척이 상기 제 2 패턴인 경우, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판으로부터, 상기 제 1 패턴과 상이한 미리 설정된 1 장 이상의 기판을 발출하는 것이 바람직하다. 제 2 배치 기판 반송 기구는, 기판 유지부로 유지된 기판으로부터, 서로 상이한 기판을 발출하여 반송할 수 있다.
본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 자세 변환부가 배치 기판 반송 기구로부터 기판을 수취하여 수평 자세로 변환한 복수장의 기판에 대해, 매엽 기판 반송 기구가 용이하게 액세스할 수 있다.
발명을 설명하기 위해 현재의 적합하다고 생각되는 몇 가지 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것은 아닌 것이 이해되었으면 한다.
도 1 은, 실시예 1 에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 일괄 반송 기구를 나타내는 측면도이다.
도 3A ∼ 도 3F 는, 이재 (移載) 블록에 있어서의 자세 변환부와 푸셔 기구를 설명하기 위한 측면도이다.
도 4A 는, 제 2 자세 변환 기구를 나타내는 평면도이고, 도 4B 는, 제 2 자세 변환 기구를 나타내는 정면도이다.
도 5 는, 제 2 반송 기구와 자세 변환부를 설명하기 위한 측면도이다.
도 6A 는, 자세 변환부의 보조 척 개폐부를 나타내는 평면도이고, 도 6B 는, 자세 변환부의 진퇴부를 나타내는 측면도이다.
도 7A, 도 7B 는, 자세 변환부의 진퇴부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 은, 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 9 는, 제 2 자세 변환 기구의 전반의 동작을 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 10 은, 제 2 자세 변환 기구의 후반의 동작을 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 11A ∼ 도 11D 는, 제 2 자세 변환 기구의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 12A ∼ 도 12D 는, 제 2 자세 변환 기구의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
도 13A, 도 13B 는, 제 2 자세 변환 기구의 동작을 설명하기 위한 평면도이고, 도 13C, 도 13D 는, 제 2 자세 변환 기구의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
도 14A 는, 실시예 2 에 관련된 제 2 자세 변환 기구의 푸셔 기구를 나타내는 종단면도이고, 도 14B 는, 실시예 2 에 관련된 제 2 자세 변환 기구를 나타내는 평면도이다.
도 15A 는, 소정의 패턴의 2 개의 통과홈에 의해 기판을 통과시키는 모습을 나타내는 실시예 3 에 관련된 측면도이고, 도 15B 는, 다른 패턴의 2 개의 유지홈에 의해 기판을 유지하는 모습을 나타내는 실시예 3 에 관련된 측면도이다.
도 16A 는, 6 개의 패턴의 할당을 설명하기 위한 도면이고, 도 16B 는, 2 개의 소정의 패턴을 대향시킨 경우의 제 2 반송 기구의 동작을 설명하기 위한 도면이고, 도 16C 는, 2 개의 다른 패턴을 대향시킨 경우의 제 2 반송 기구의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 17 은, 변형예에 관련된 천정 매달기식의 센터 로봇을 나타내는 측면도이다.
도 18 은, 변형예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
[실시예 1]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 1 을 설명한다. 도 1 은, 실시예 1 에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 도 2 는, 일괄 반송 기구 (HTR) 를 나타내는 측면도이다. 도 3A ∼ 도 3F 는, 이재 블록에 있어서의 자세 변환부와 푸셔 기구를 설명하기 위한 측면도이다.
＜1. 전체 구성＞
도 1 을 참조한다. 기판 처리 장치 (1) 는, 스토커 블록 (3), 이재 블록 (5) 및 처리 블록 (7) 을 구비한다. 스토커 블록 (3), 이재 블록 (5) 및 처리 블록 (7) 은, 이 순서로 수평 방향으로 1 열로 배치된다.
기판 처리 장치 (1) 는, 기판 (W) 에 대해, 예를 들어, 약액 처리, 세정 처리, 건조 처리 등을 실시한다. 기판 처리 장치 (1) 는, 기판 (W) 에 대해, 배치 처리와 매엽 처리를 연속해서 실시한다. 즉, 기판 처리 장치 (1) 는, 배치 처리를 실시한 후에, 기판 (W) 에 대해 매엽 처리를 실시한다. 배치 처리는, 복수장의 기판 (W) 을 일괄하여 처리하는 처리 방식이다. 매엽 처리는, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 처리 방식이다.
본 명세서에서는, 편의상, 스토커 블록 (3), 이재 블록 (5) 및 처리 블록 (7) 이 나열되는 방향을,「전후 방향 (X)」이라고 부른다. 전후 방향 (X) 은 수평이다. 전후 방향 (X) 중, 이재 블록 (5) 으로부터 스토커 블록 (3) 을 향하는 방향을「전방」이라고 부른다. 전방과 반대의 방향을「후방」이라고 부른다. 전후 방향 (X) 과 직교하는 수평 방향을「폭 방향 (Y)」이라고 부른다. 폭 방향 (Y) 의 일방향을 적절히「우방」이라고 부른다. 우방과 반대의 방향을「좌방」이라고 부른다. 수평 방향에 대해 수직인 방향을「연직 방향 (Z)」이라고 부른다. 예를 들어 도 1 에서는, 참고로서, 전, 후, 우, 좌, 상, 하를 적절히 나타낸다.
＜2. 스토커 블록＞
스토커 블록 (3) 은, 적어도 1 개의 캐리어 (C) 를 수용하는 것이다. 스토커 블록 (3) 에는, 1 또는 2 이상 (예를 들어 2 개) 의 로드 포트 (9) 가 형성된다. 스토커 블록 (3) 은, 캐리어 반송 기구 (로봇) (11) 와 선반 (13) 을 구비한다.
캐리어 반송 기구 (11) 는, 로드 포트 (9) 와 선반 (13) 사이에서 캐리어 (C) 를 반송한다. 캐리어 반송 기구 (11) 는, 캐리어 (C) 의 상면의 돌기부를 파지하는 파지부, 혹은, 캐리어 (C) 의 바닥면에 접촉하면서 캐리어 (C) 를 지지하는 핸드를 구비한다. 선반 (13) 은, 기판 (W) 을 취출·수납하기 위한 선반 (13A) 과, 보관용의 선반 (13B) 으로 분류된다.
선반 (13A) 은, 이재 블록 (5) 에 인접하여 배치된다. 선반 (13A) 은, 캐리어 (C) 의 덮개부를 착탈하는 기구가 형성되어 있어도 된다. 선반 (13A) 은, 적어도 1 개 형성된다. 선반 (13A) 은, 캐리어 (C) 가 재치된다. 캐리어 (C) 는, 복수장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 수평 자세로 소정 간격 (예를 들어 10 ㎜ 간격) 을 두고 연직 방향 (Z) 으로 수납한다. 또한, 기판 (W) 은, 기판 (W) 의 두께 방향으로 정렬된다. 캐리어 (C) 로서, 예를 들어, FOUP (Front Opening Unify Pod) 가 사용된다. FOUP 는, 밀폐형 용기이다. 캐리어 (C) 는, 개방형 용기여도 되고, 종류를 불문한다.
＜3. 이재 블록＞
이재 블록 (5) 은, 스토커 블록 (3) 의 후방 (X) 에 인접하여 배치된다. 이재 블록 (5) 은, 일괄 반송 기구 (기판 핸들링 기구) (HTR) 와 제 1 자세 변환 기구 (15) 를 구비한다.
일괄 반송 기구 (로봇) (HTR) 는, 이재 블록 (5) 내의 우방 (Y) 측에 형성된다. 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 수평 자세의 복수장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 일괄하여 반송한다. 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C) 에 대해 복수장의 기판 (W) 을 일괄하여 취출·수납한다. 또, 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 제 1 자세 변환 기구 (15) 와의 사이, 및 후술하는 버퍼부 (33) 와의 사이에서 복수장의 기판 (W) 을 일괄하여 수수 가능하게 구성된다. 즉, 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C), 제 1 자세 변환 기구 (15) 및 버퍼부 (33) 사이에서 복수장의 기판 (W) 을 반송할 수 있다.
도 2 를 참조한다. 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 복수개 (예를 들어 25 개) 의 핸드 (17) 를 구비한다. 도 2 에 있어서, 도시의 편의상, 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 3 개의 핸드 (17) 를 구비하는 것으로 한다. 각 핸드 (17) 는, 1 장의 기판 (W) 을 유지한다.
또, 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 핸드 지지부 (19), 진퇴부 (20) 및 승강 회전부 (21) 를 구비한다. 핸드 지지부 (19) 는, 복수개의 핸드 (17) 를 지지한다. 이로써, 복수개의 핸드 (17) 는, 일체적으로 이동한다. 진퇴부 (20) 는, 핸드 지지부 (19) 를 통하여, 복수개의 핸드 (17) 를 전진 및 후퇴시킨다. 승강 회전부 (21) 는, 연직축 (AX1) 둘레로 진퇴부 (20) 를 회전시킴으로써, 연직축 (AX1) 둘레로 복수개의 핸드 (17) 등을 회전시킨다. 또, 승강 회전부 (21) 는, 진퇴부 (20) 를 승강시킴으로써, 복수개의 핸드 (17) 등을 승강시킨다. 승강 회전부 (21) 는, 바닥면에 고정되어 있다. 즉, 승강 회전부 (21) 는, 수평 방향으로 이동하지 않는다. 또한, 진퇴부 (20) 및 승강 회전부 (21) 는 각각, 전동 모터를 구비한다. 또한, 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 핸드 (17) 및 핸드 지지부 (19) 와는 별도로, 1 장의 기판 (W) 을 반송하기 위한 핸드 (도시하지 않는다) 를 구비해도 된다.
도 1 을 참조한다. 제 1 자세 변환 기구 (15) 는, 복수장의 기판 (W) 을 일괄하여 수평 자세로부터 연직 자세로 자세 변환한다. 제 1 자세 변환 기구 (15) 는, 자세 변환부 (23) 와 푸셔 기구 (25) 를 구비한다. 도 1 에 있어서, 일괄 반송 기구 (HTR), 자세 변환부 (23) 및 푸셔 기구 (25) 는, 이 순서로 좌방 (Y) 에 배치된다. 도 3A ∼ 도 3F 는, 제 1 자세 변환 기구 (15) 를 설명하기 위한 도면이다.
도 1, 도 3A 에 나타내는 바와 같이, 자세 변환부 (23) 는, 지지대 (23A), 1 쌍의 수평 유지부 (23B), 1 쌍의 수직 유지부 (23C), 및 회전 구동부 (23D) 를 구비한다. 1 쌍의 수평 유지부 (23B) 및 1 쌍의 수직 유지부 (23C) 는, 지지대 (23A) 에 형성된다. 수평 유지부 (23B) 및 수직 유지부 (23C) 는, 일괄 반송 기구 (HTR) 에 의해 반송된 복수장의 기판 (W) 을 수취한다. 기판 (W) 이 수평 자세일 때, 1 쌍의 수평 유지부 (23B) 는, 각 기판 (W) 의 하면에 접촉하면서, 기판 (W) 을 하방으로부터 지지한다. 또, 기판 (W) 이 연직 자세일 때, 1 쌍의 수직 유지부 (23C) 는, 기판 (W) 을 유지한다.
회전 구동부 (23D) 는, 수평축 (AX2) 둘레로 지지대 (23A) 를 회전 가능하게 지지한다. 또, 회전 구동부 (23D) 는, 수평축 (AX2) 둘레로 지지대 (23A) 를 회전시킴으로써, 유지부 (23B, 23C) 에 유지된 복수장의 기판 (W) 의 자세를 수평으로부터 연직으로 변환한다.
도 1, 도 3F 에 나타내는 바와 같이, 푸셔 기구 (25) 는, 푸셔 (25A), 승강 회전부 (25B), 수평 이동부 (25C) 및 레일 (25D) 을 구비한다. 푸셔 (25A) 는, 연직 자세의 복수 (예를 들어 50 장) 의 기판 (W) 의 각각의 하부를 지지한다. 또한, 도 3A ∼ 도 3F 에 있어서, 도시의 편의상, 푸셔 (25A) 는, 6 장의 기판 (W) 을 지지할 수 있도록 구성된다.
승강 회전부 (25B) 는, 푸셔 (25A) 의 하면에 연결된다. 승강 회전부 (25B) 는, 신축됨으로써 푸셔 (25A) 를 상하 방향으로 승강시킨다. 또, 승강 회전부 (25B) 는, 연직축 (AX3) 둘레로 푸셔 (25A) 를 회전시킨다. 수평 이동부 (25C) 는, 승강 회전부 (25B) 를 지지한다. 수평 이동부 (25C) 는, 푸셔 (25A) 및 승강 회전부 (25B) 를 레일 (25D) 을 따라 수평 이동시킨다. 레일 (25D) 은, 폭 방향 (Y) 으로 연장되도록 형성된다. 또한, 회전 구동부 (23D), 승강 회전부 (25B) 및 수평 이동부 (25C) 는 각각, 전동 모터를 구비한다.
여기서, 제 1 자세 변환 기구 (15) 의 동작을 설명한다. 처리 블록 (7) 의 후술하는 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 2 개분의 캐리어 (C) 의 예를 들어 50 장의 기판 (W) 을 일괄하여 처리한다. 제 1 자세 변환 기구 (15) 는, 50 장의 기판 (W) 을 25 장씩 자세 변환한다. 또, 제 1 자세 변환 기구 (15) 는, 복수장의 기판 (W) 을 페이스·투·페이스 (Face to Face) 방식으로 소정의 간격 (하프 피치) 으로 나열한다. 하프 피치는, 예를 들어 5 ㎜ 간격이다. 푸셔 기구 (25) 는, 이 50 장의 기판 (W) 을 제 1 반송 기구 (WTR1) 에 반송한다.
또한, 제 1 캐리어 (C) 내의 25 장의 기판 (W) 은, 제 1 기판군의 기판 (W1) 으로 하여 설명된다. 제 2 캐리어 (C) 의 25 장의 기판 (W) 은, 제 2 기판군의 기판 (W2) 으로 하여 설명된다. 또, 도 3A ∼ 도 3F 에 있어서, 도시의 형편상, 제 1 기판군의 기판 (W1) 의 장수가 3 장이고, 또한 제 2 기판군의 기판 (W2) 이 3 장인 것으로 하여 설명한다. 또, 기판 (W1) 과 기판 (W2) 을 특별히 구별하지 않는 경우, 기판 (W1 및 W2) 은「기판 (W)」으로 기재된다.
도 3A 를 참조한다. 자세 변환부 (23) 는, 일괄 반송 기구 (HTR) 에 의해 반송된 제 1 기판군의 25 장의 기판 (W1) 을 유지부 (23B, 23C) 로 수취한다. 이 때, 25 장의 기판 (W1) 은, 수평 자세이고, 디바이스면은 상향이다. 25 장의 기판 (W1) 은, 소정의 간격 (풀 피치) 으로 배치된다. 풀 피치는, 예를 들어 10 ㎜ 간격이다. 풀 피치는, 노멀 피치라고도 불린다.
또한, 하프 피치는, 풀 피치의 절반의 간격이다. 또, 기판 (W (W1, W2)) 의 디바이스면이란, 전자 회로가 형성되는 면이며,「표면」이라고 불린다. 또, 기판 (W) 의 이면이란, 전자 회로가 형성되지 않는 면을 말한다. 디바이스면의 반대측의 면이 이면이다.
도 3B 를 참조한다. 자세 변환부 (23) 는, 유지부 (23B, 23C) 를 수평축 (AX2) 둘레로 90 도 (degree) 회전시켜, 25 장의 기판 (W1) 의 자세를 수평으로부터 연직으로 변환한다. 도 3C 를 참조한다. 푸셔 기구 (25) 는, 자세 변환부 (23) 의 유지부 (23B, 23C) 보다 높은 위치로 푸셔 (25A) 를 상승시킨다. 이로써, 푸셔 (25A) 는, 유지부 (23B, 23C) 로부터 25 장의 기판 (W) 을 수취한다. 푸셔 (25A) 에 유지된 25 장의 기판 (W1) 은, 좌방 (Y) 을 향한다. 또한, 도 3A ∼ 도 3F 중, 기판 (W) 에 부여된 화살표 (AR) 는, 기판 (W) 의 디바이스면의 방향을 나타낸다.
도 3D 를 참조한다. 푸셔 기구 (25) 는, 연직축 (AX3) 둘레로 연직 자세의 25 장의 기판 (W) 을 180 도 회전시킨다. 이로써, 25 장의 기판 (W1) 은, 반전되어 우방 (Y) 을 향한다. 또한, 반전된 25 장의 기판 (W1) 은, 회전 전의 위치로부터 좌방 (Y) 으로 하프 피치분 (예를 들어 5 ㎜) 이동한다. 또, 자세 변환부 (23) 의 유지부 (23B, 23C) 를 수평축 (AX2) 둘레로 －90 도 회전시켜, 다음 기판 (W2) 을 수취할 수 있는 상태로 한다. 그 후, 자세 변환부 (23) 는, 일괄 반송 기구 (HTR) 에 의해 반송된 제 2 기판군의 25 장의 기판 (W2) 을 유지부 (23B, 23C) 로 수취한다. 이 때, 25 장의 기판 (W2) 은, 수평 자세이고, 디바이스면은 상향이다. 또한, 자세 변환부 (23) 와 푸셔 기구 (25) 는 서로 간섭하지 않도록 동작된다.
도 3E 를 참조한다. 푸셔 기구 (25) 는, 제 1 기판군의 25 장의 기판 (W1) 을 유지하는 푸셔 (25A) 를 퇴피 위치로 하강시킨다. 그 후, 자세 변환부 (23) 는, 25 장의 기판 (W2) 의 자세를 수평으로부터 연직으로 변환한다. 자세 변환 후의 25 장의 기판 (W2) 은, 좌방 (Y) 을 향한다. 도 3F 를 참조한다. 그 후, 푸셔 기구 (25) 는, 제 2 기판군의 25 장의 기판 (W2) 을 유지하는 푸셔 (25A) 를 상승시킨다. 이로써, 푸셔 기구 (25) 는, 자세 변환부 (23) 로부터 25 장의 기판 (W2) 을 추가로 수취한다.
이로써, 푸셔 (25A) 는, 제 1 기판군 및 제 2 기판군의 50 장의 기판 (W (W1, W2)) 을 유지한다. 50 장의 기판 (W) 은, 25 장의 기판 (W1) 과 25 장의 기판 (W2) 이 1 장씩 교대로 배치된다. 50 장의 기판 (W) 은, 하프 피치 (예를 들어 5 ㎜ 간격) 로 배치된다. 또한, 25 장의 기판 (W1) 은, 25 장의 기판 (W2) 과 역방향을 향하고 있다. 그 때문에, 50 장의 기판 (W) 은, 페이스·투·페이스 방식으로 배치된다. 즉, 인접하는 2 장의 기판 (W1, W2) 은, 2 개의 디바이스면 (또는 2 개의 이면) 이 마주보고 있다.
그 후, 푸셔 기구 (25) 는, 50 장의 기판 (W) 을 유지하는 푸셔 (25A) 를 제 1 반송 기구 (WTR1) 의 1 쌍의 척 (49, 50) 의 하방의 기판 수수 위치 (PP) 로 레일 (25D) 을 따라 이동시킨다.
＜4. 처리 블록 (7)＞
처리 블록 (7) 은, 이재 블록 (5) 에 인접한다. 처리 블록 (7) 은, 이재 블록 (5) 의 후방 (X) 에 배치된다. 처리 블록 (7) 은, 배치 처리 영역 (R1), 매엽 기판 반송 영역 (R2), 매엽 처리 영역 (R3), 및 배치 기판 반송 영역 (R4) 을 구비한다. 기판 처리 장치 (1) 는, 전장 영역 (R5) 을 구비한다.
＜4-1. 배치 처리 영역 (R1)＞
배치 처리 영역 (R1) 은, 이재 블록 (5), 매엽 기판 반송 영역 (R2) 및 배치 기판 반송 영역 (R4) 에 인접한다. 또, 배치 처리 영역 (R1) 은, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 과 배치 기판 반송 영역 (R4) 사이에 배치된다. 배치 처리 영역 (R1) 의 일단측은, 이재 블록 (5) 에 인접하고, 배치 처리 영역 (R1) 의 타단측은, 이재 블록 (5) 으로부터 떨어지는 방향, 즉 후방 (X) 으로 연장된다.
배치 처리 영역 (R1) 에는, 예를 들어 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6), 및 제 2 자세 변환 기구 (31) 가 형성된다. 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 배치 처리 영역 (R1) 이 연장되는 전후 방향 (X) 으로 일렬로 나열된다. 또, 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 를 개재하여, 이재 블록 (5) 의 반대측에 배치된다. 즉, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 이재 블록 (5) 과 제 2 자세 변환 기구 (31) 사이에 배치된다. 또, 제 2 자세 변환 기구 (31) (푸셔 기구 (61)) 는, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 의 열의 연장선 상에 배치된다. 또한, 배치 처리조의 개수는, 6 개에 한정되지 않고, 복수개이면 된다.
6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는 각각, 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 을 일괄하여 침지 처리한다. 예를 들어, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 4 개의 약액 처리조 (BT1 ∼ BT4) 와, 2 개의 수세 처리조 (BT5, BT6) 로 구성된다. 구체적으로는, 2 개의 약액 처리조 (BT1, BT2) 와 수세 처리조 (BT5) 를 1 세트로 한다. 그리고, 2 개의 약액 처리조 (BT3, BT4) 와 수세 처리조 (BT6) 를 다른 1 세트로 한다.
4 개의 약액 처리조 (BT1 ∼ BT4) 는 각각, 약액에 의한 에칭 처리를 실시한다. 약액으로서, 예를 들어 인산이 사용된다. 약액 처리조 (BT1) 는, 도시하지 않는 약액 분출관으로부터 공급된 약액을 저류한다. 약액 분출관은, 약액 처리조 (BT1) 의 내벽에 형성된다. 3 개의 약액 처리조 (BT2 ∼ BT4) 는 각각, 약액 처리조 (BT1) 와 동일하게 구성된다.
2 개의 수세 처리조 (BT5, BT6) 는 각각, 복수장의 기판 (W) 에 부착되어 있는 약액을 순수로 씻어내는 순수 세정 처리를 실시한다. 순수로서, 예를 들어 탈이온수 (DIW : Deionized Water) 가 사용된다. 2 개의 수세 처리조 (BT5, BT6) 는 각각, 도시하지 않는 세정액 분출관으로부터 공급된 순수를 저류한다. 세정액 분출관은, 각 수세 처리조 (BT5, BT6) 의 내벽에 형성된다.
6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 에는, 6 개의 리프터 (LF1 ∼ LF6) 가 각각 형성된다. 예를 들어, 리프터 (LF1) 는, 소정 간격 (하프 피치) 으로 배치된 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 을 유지한다. 또, 리프터 (LF1) 는, 배치 처리조 (약액 처리조) (BT1) 의 내부의 처리 위치와, 배치 처리조 (BT1) 의 상방의 수수 위치 사이에서, 복수장의 기판 (W) 을 승강시킨다. 다른 5 개의 리프터 (LF2 ∼ LF6) 는, 리프터 (LF1) 와 동일하게 구성된다.
제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 배치 처리된 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 의 전부 또는 일부를 일괄하여 수평 자세로 변환한다. 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 상세는 후술한다.
＜4-2. 매엽 기판 반송 영역 (R2)＞
매엽 기판 반송 영역 (R2) 은, 이재 블록 (5), 배치 처리 영역 (R1), 매엽 처리 영역 (R3), 및 전장 영역 (R5) 에 인접한다. 또, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 은, 배치 처리 영역 (R1) 과 매엽 처리 영역 (R3) 사이에 개재된다. 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 일단측은, 이재 블록 (5) 에 인접한다. 또, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 타단측은, 이재 블록 (5) 으로부터 떨어지는 방향, 즉 후방 (X) 으로 연장된다.
매엽 기판 반송 영역 (R2) 에는, 센터 로봇 (CR) 및 버퍼부 (33) 가 형성된다. 센터 로봇 (CR) 은, 제 2 자세 변환 기구 (31) 와, 후술하는 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 와, 버퍼부 (33) 사이에서 기판을 반송한다. 예를 들어, 센터 로봇 (CR) 은, 각 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 에 대해 수평 자세의 기판 (W) 을 1 장씩 반송한다. 센터 로봇 (CR) 은, 본 발명의 매엽 기판 반송 기구에 상당한다.
센터 로봇 (CR) 은, 2 개의 핸드 (35), 진퇴부 (37), 승강 회전부 (39), 및 수평 이동부 (41) (가이드 레일을 포함한다) 를 구비한다. 2 개의 핸드 (35) 는 각각, 수평 자세의 1 장의 기판 (W) 을 유지한다.
진퇴부 (37) 는, 핸드 (35) 를 이동 가능하게 지지함과 함께, 핸드 (35) 를 개개로 진퇴시킨다. 승강 회전부 (39) 는, 핸드 (35) 및 진퇴부 (37) 를 연직축 (AX13) 둘레로 회전시킨다. 또, 승강 회전부 (39) 는, 핸드 (35) 및 진퇴부 (37) 를 승강시킨다. 가이드 레일은, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 이 연장되는 방향을 따라 형성됨과 함께, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 바닥면에 형성된다. 수평 이동부 (41) 는, 가이드 레일을 따라 전후 방향 (X) 으로 핸드 (35) 및 진퇴부 (37) 등을 이동시킨다. 또한, 진퇴부 (37), 승강 회전부 (39) 및 수평 이동부 (41) 는 각각, 전동 모터를 구비한다.
예를 들어, 진퇴부 (37) 는, 2 개의 핸드 (35) 를 전진시켜 제 2 자세 변환 기구 (31) 로부터 기판 (W) 을 취출한다. 그 후, 진퇴부 (37) 는, 1 장의 기판 (W) 을 유지하는 1 개의 핸드 (35) 를 전진시켜 1 개의 매엽 처리 챔버에 1 장의 기판 (W) 을 반송해도 된다. 또한, 센터 로봇 (CR) 은, 1 개 또는 3 개 이상의 핸드 (35) 를 구비해도 된다. 3 개 이상의 핸드 (35) 를 구비하는 경우, 센터 로봇 (CR) 은, 3 개 이상의 핸드 (35) 를 개개로 진퇴시킨다.
버퍼부 (33) 는, 복수개의 재치 선반을 구비하고 있다. 복수개의 재치 선반은 각각, 수평 자세이다. 복수개의 재치 선반은 각각, 1 장의 기판 (W) 을 재치할 수 있다. 버퍼부 (33) 는, 복수장의 기판 (W) 을 수평 자세로 소정 간격 (풀 피치) 을 두고 연직 방향 (Z) 으로 재치한다. 즉, 복수개의 재치 선반은, 소정 간격 (풀 피치) 으로 또한 연직 방향 (Z) 으로 배치된다. 버퍼부 (33) 는, 일괄 반송 기구 (HTR) 가 반송 가능한 25 장의 기판 (W) 을 적어도 재치할 수 있도록 구성된다. 버퍼부 (33) 는, 예를 들어 50 장의 기판 (W) 을 재치할 수 있도록 구성된다.
또한, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 버퍼부 (33) 는, 상세하게는, 이재 블록 (5) 과 매엽 기판 반송 영역 (R2) 에 걸쳐 배치되어 있다. 즉, 버퍼부 (33) 는, 이재 블록 (5) 과 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 경계에 형성되어 있다. 또, 버퍼부 (33) 는, 이재 블록 (5) 또는 매엽 기판 반송 영역 (R2) 에만 형성되어도 된다. 그 때문에, 버퍼부 (33) 는, 이재 블록 (5) 과 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 경계, 이재 블록 (5), 및 매엽 기판 반송 영역 (R2) 중 어느 것에 고정되어 형성되어 있으면 된다. 버퍼부 (33) 가 이동하지 않고 고정되어 형성되므로, 버퍼부 (33) 와 그 주변의 구성을 심플하게 할 수 있다.
＜4-3. 매엽 처리 영역 (R3)＞
매엽 처리 영역 (R3) 은, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 및 전장 영역 (R5) 에 인접한다. 매엽 처리 영역 (R3) 의 일단측은, 전장 영역 (R5) 을 개재하여, 이재 블록 (5) 에 가까운 위치에 있다. 전장 영역 (R5) 에는, 기판 처리 장치 (1) 에 필요한 전기 회로 및 후술하는 제어부 (59) 가 형성된다. 또, 매엽 처리 영역 (R3) 의 타단측은, 이재 블록 (5) 으로부터 떨어지는 방향, 즉 후방 (X) 으로 연장된다. 또, 매엽 처리 영역 (R3) 은, 배치 처리 영역 (R1) 및 매엽 기판 반송 영역 (R2) 을 따라 형성된다.
매엽 처리 영역 (R3) 에는, 복수 (예를 들어 4 개) 의 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 가 형성된다. 4 개의 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 는, 매엽 처리 영역 (R3) 이 연장되는 전후 방향 (X) 으로 나열된다. 각 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 는, 기판 (W) 을 1 장씩 처리한다. 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 이재 블록 (5) 으로부터 가장 먼 위치에 배치된다. 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 의 전방 (X) 에 배치된다. 제 3 매엽 처리 챔버 (SW3) 는, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 의 전방 (X) 에 배치된다. 제 4 매엽 처리 챔버 (SW4) 는, 제 3 매엽 처리 챔버 (SW3) 의 전방 (X) 에 배치된다. 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 는, 복수단으로 구성되어 있어도 된다. 예를 들어, 12 개의 매엽 처리 챔버가 전후 방향 (X) (수평 방향) 으로 4 개로 또한 연직 방향 (Z) 으로 3 개로 배치되어 있어도 된다.
예를 들어, 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 는 각각, 회전 처리부 (45) 와 노즐 (47) 을 구비한다. 회전 처리부 (45) 는, 1 장의 기판 (W) 을 수평 자세로 유지하는 스핀 척과, 그 기판 (W) 의 중심을 통과하는 연직축 둘레로 스핀 척을 회전시키는 전동 모터를 구비한다. 스핀 척은, 진공 흡착에 의해 기판 (W) 의 하면을 유지하는 것이어도 된다. 또, 스핀 척은, 기판 (W) 의 외연을 잡는 3 개 이상의 척 핀을 구비해도 된다.
노즐 (47) 은, 회전 처리부 (45) 로 유지된 기판 (W) 에 처리액을 공급한다. 노즐 (47) 은, 회전 처리부 (45) 로부터 떨어진 대기 위치와, 회전 처리부 (45) 의 상방의 공급 위치에 걸쳐 이동된다. 처리액으로서, 예를 들어, 순수 (DIW) 및 IPA (이소프로필알코올) 가 사용된다. 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 는 각각, 예를 들어, 기판 (W) 에 대해 순수로 세정 처리를 실시한 후, IPA 로 예비적인 건조 처리를 실시해도 되고, 기판 (W) 의 상면에 IPA 의 액막을 형성해도 된다.
매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 는 각각, 예를 들어, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시한다. 유체로서, 예를 들어 이산화탄소가 사용된다. 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 는 각각, 챔버 본체 (용기) (48), 지지 트레이, 및 덮개부를 구비한다. 챔버 본체 (48) 는, 내부에 형성된 처리 공간과, 이 처리 공간에 기판 (W) 을 넣기 위한 개구와, 공급구와, 배기구를 구비한다. 기판 (W) 은, 지지 트레이에 지지되면서 처리 공간에 수용된다. 덮개부는 챔버 본체 (48) 의 개구를 막는다. 예를 들어, 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 는 각각, 유체를 초임계 상태로 하여, 공급구로부터 챔버 본체 (48) 내의 처리 공간에 초임계 유체를 공급한다. 이 때, 챔버 본체 (48) 내의 처리 공간은, 배기구로부터 배기된다. 처리 공간에 공급된 초임계 유체에 의해, 기판 (W) 에 대한 건조 처리가 실시된다.
초임계 상태는, 유체 고유의 임계 온도와 임계 압력으로 함으로써 얻어진다. 구체적으로는, 유체가 이산화탄소인 경우, 임계 온도가 31 ℃ 이고, 임계 압력이 7.38 ㎫ 이다. 초임계 상태에서는, 유체의 표면 장력이 거의 제로가 된다. 그 때문에, 기판 (W) 의 패턴에 기액 계면의 영향이 발생하지 않는다. 따라서, 기판 (W) 에 있어서의 패턴 도괴가 발생하기 어렵다.
＜4-4. 배치 기판 반송 영역 (R4)＞
배치 기판 반송 영역 (R4) 은, 이재 블록 (5) 및 배치 처리 영역 (R1) 에 인접한다. 배치 기판 반송 영역 (R4) 은, 배치 처리 영역 (R1) 을 따라 형성된다. 배치 기판 반송 영역 (R4) 은, 전후 방향 (X) 으로 연장된다. 4 개의 영역 (R1, R2, R3, R4) 은, 서로 평행하게 연장되도록 형성된다.
배치 기판 반송 영역 (R4) 은, 제 1 반송 기구 (로봇) (WTR1) 를 갖는다. 즉, 배치 기판 반송 영역 (R4) 에는, 제 1 반송 기구 (WTR1) 가 형성된다. 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 이재 블록 (5) 내에 정해진 기판 수수 위치 (PP) 와, 예를 들어 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 의 각각과, 제 2 자세 변환 기구 (31) 사이에서 복수 (예를 들어 50 장) 의 기판 (W) 을 일괄하여 반송한다.
제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 1 쌍의 척 (49, 50), 및 가이드 레일 (53) 을 구비한다. 척 (49, 50) 은 각각, 예를 들어, 50 장의 기판 (W) 을 유지하기 위해 50 개의 유지홈을 구비한다. 2 개의 척 (49, 50) 은 각각, 평면에서 보았을 때에, Y 방향 (도 1) 으로 평행하게 연장된다. 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 2 개의 척 (49, 50) 을 열거나 닫거나 한다. 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 1 쌍의 척 (49, 50) 을 가이드 레일 (53) 을 따라 이동시킨다. 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 전동 모터로 구동된다. 또한, 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 본 발명의 제 1 배치 기판 반송 기구에 상당한다.
＜5. 제어부＞
기판 처리 장치 (1) 는, 제어부 (59) 와 기억부 (도시하지 않는다) 를 구비하고 있다. 제어부 (59) 는, 기판 처리 장치 (1) 의 각 구성을 제어한다. 제어부 (59) 는, 예를 들어 중앙 연산 처리 장치 (CPU) 등의 1 개 이상의 프로세서를 구비한다. 기억부는, 예를 들어, ROM (Read-Only Memory), RAM (Random-Access Memory), 및 하드 디스크의 적어도 1 개를 구비하고 있다. 기억부는, 기판 처리 장치 (1) 의 각 구성을 제어하기 위해 필요한 컴퓨터 프로그램을 기억한다.
＜6. 제 2 자세 변환 기구＞
도 4A 는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 를 나타내는 평면도이다. 도 4B 는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 를 나타내는 정면도이다. 도 5 는, 제 2 반송 기구 (WTR2) 와 자세 변환부 (63) 를 설명하기 위한 측면도이다. 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 푸셔 기구 (61), 제 2 반송 기구 (WTR2), 및 자세 변환부 (63) 를 구비한다. 또한, 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 본 발명의 자세 변환 기구에 상당한다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 본 발명의 제 2 배치 기판 반송 기구에 상당한다.
＜6-1. 푸셔 기구＞
푸셔 기구 (61) 는, 제 1 반송 기구 (WTR1) 로부터, 배치 처리된 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 을 수취하는 것이다. 푸셔 기구 (61) 는, 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 을 유지함과 함께, 그 복수장의 기판 (W) 을 연직축 (AX4) 둘레로 회전시킬 수 있다. 푸셔 기구 (61) 는, 푸셔 (65) 와 승강 회전부 (67) 를 구비한다.
푸셔 (65) 는, 제 1 반송 기구 (WTR1) 로 반송되고, 또한 소정 간격 (예를 들어 하프 피치) 으로 배치된 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 을 유지한다. 푸셔 (65) 는, 제 1 반송 기구 (WTR1) 가 액세스 가능한 위치에 형성된다. 즉, 푸셔 (65) 와 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 평면에서 보았을 때에 직선상으로 배치된다 (도 1 참조). 승강 회전부 (67) 는, 푸셔 (65) 를 승강시킴과 함께, 푸셔 (65) 를 연직축 (AX4) 둘레로 회전시킨다. 승강 회전부 (67) 는, 예를 들어, 1 또는 2 이상의 전동 모터를 구비한다. 또한, 푸셔 (65) 는, 본 발명의 기판 유지부에 상당한다. 승강 회전부 (67) 는, 본 발명의 회전부에 상당한다.
＜6-2. 제 2 배치 기판 반송 기구 (제 2 반송 기구)＞
제 2 반송 기구 (로봇) (WTR2) 는, 푸셔 (65) 로부터 복수장의 기판 (W) 을 반송한다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 2 개의 척 (수평 척) (69, 70) 과, 개폐부 (71) 와, 승강부 (73) 와, 수평 이동부 (75) 를 구비한다. 척 (69, 70) 은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 의 각각의 외연의 2 개의 측부를 직경 방향으로 끼워 넣으면서 복수장의 기판 (W) 을 유지한다. 척 (69, 70) 은 각각, 본 발명의 수평 척에 상당한다.
2 개의 척 (69, 70) 은 각각, 복수 (예를 들어 25 개) 의 V 상 유지홈 (78) 과, 복수 (예를 들어 25 개) 의 통과홈 (80) 을 구비한다. V 상 유지홈 (78) 과 통과홈 (80) 은, 1 개씩 교대로 배치된다. 각 V 상 유지홈 (78) 의 안쪽은, 단면 V 상으로 형성된다. 또, 척 (69) 의 V 상 유지홈 (78A) 은, 척 (70) 의 V 상 유지홈 (78B) 과 대향한다. 이로써, 1 쌍의 V 상 유지홈 (78A, 78B) 은, 1 장의 기판 (W) 을 유지한다. 2 개의 척 (69, 70) 의 25 쌍의 V 상 유지홈 (78) 은, 25 장의 기판 (W) 을 각각 연직 자세로 유지한다. 그 때문에, 인접하는 2 장의 기판 (W) 이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 이로써, 예를 들어, 기판 (W) 에 흠집이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
통과홈 (80) 은, 기판 (W) 을 유지하지 않는다. V 상 유지홈 (78) 은, 소정 간격 (예를 들어 풀 피치) 으로 배치된다. 또, 통과홈 (80) 도 소정 간격 (예를 들어 풀 피치) 으로 배치된다. 이로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 하프 피치로 배치된 복수장의 기판 (W) 으로부터 1 장 간격으로 기판 (W) 을 발취할 수 있다.
도 4A 에 나타내는 개폐부 (71) 는, 수평축 (AX5) 둘레로 척 (69) 을 요동 (회전) 시키고, 또, 수평축 (AX6) 둘레로 척 (70) 을 요동시킨다. 이로써, 개폐부 (71) 는, 기판 (W) 을 끼워 유지하거나, 기판 (W) 을 끼운 상태를 해제하거나 할 수 있다. 척 (69, 70) 으로 기판 (W) 을 끼우면, V 상 유지홈 (78A, 78B) 의 2 개의 안쪽 부분의 폭이 각 기판 (W) 의 직경보다 작아진다. 그 때문에, 기판 (W) 은 유지된다. 또한, 2 개의 수평축 (AX5, AX6) 은 각각, 기판 (W) 이 정렬되는 전후 방향 (X) 으로 연장된다. 또, 수평축 (AX5) 은, 수평축 (AX6) 에 대해 평행하게 연장된다.
승강부 (73) 는, 척 (69, 70) 및 개폐부 (71) 를 승강시킨다. 수평 이동부 (75) 는, 척 (69, 70) 및 승강부 (73) 를 폭 방향 (Y) 으로 이동시킨다 (도 4A 참조). 수평 이동부 (75) 는, 푸셔 (65) 의 상방의 위치와 자세 변환부 (63) 에 대한 수수 위치 사이에서, 척 (69, 70) 을 이동시킨다. 개폐부 (71), 승강부 (73) 및 수평 이동부 (75) 는 각각, 예를 들어 전동 모터를 구비한다.
또한, 척 (69, 70) 의 각각의 상단은, 유지하고 있는 각 기판 (W) 의 상단보다 낮은 것이 바람직하다. 또, 척 (69, 70) 의 각각의 하단은, 유지하고 있는 각 기판 (W) 의 하단보다 높은 것이 바람직하다. 이들에 의해, 후술하는 상부 척 (81) 및 하부 척 (83) 사이에, 기판 (W) 을 유지하는 척 (69, 70) 을 용이하게 통과시킬 수 있다. 그 때문에, 척 (69, 70) 은, 상하의 척 (81, 83) 에 기판 (W) 을 원활하게 인도할 수 있다.
＜6-3. 자세 변환부＞
도 6A 는, 자세 변환부 (63) 의 보조 척 개폐부 (87) 를 나타내는 평면도이다. 도 6B 는, 자세 변환부 (63) 의 진퇴부 (88) 를 나타내는 측면도이다. 도 7A, 도 7B 는, 자세 변환부 (63) 의 진퇴부 (88) 의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4A, 도 4B, 도 6A 등을 참조한다. 자세 변환부 (63) 는, 제 2 반송 기구 (WTR2) 에 의해 반송된 기판 (W) 의 자세를 연직으로부터 수평으로 변환한다. 자세 변환부 (63) 는, 센터 로봇 (CR) 이 액세스 가능한 위치에 형성된다. 자세 변환부 (63) 는, 상부 척 (81), 하부 척 (83), 상부 척 이동부 (84), 2 개의 보조 척 (85, 86), 보조 척 개폐부 (87), 진퇴부 (88), 상하 척 회전부 (89), 지지 아암 (90) 및 기초 프레임 (91) 을 구비한다. 진퇴부 (88) 는, 본 발명의 상대 이동부에 상당한다.
상부 척 (81) 과 하부 척 (83) (이하 적절히「상하의 척 (81, 83)」이라고 부른다) 은, 2 개의 척 (69, 70) 으로 유지된 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 의 각각의 외연의 상부 및 하부를 직경 방향으로 끼워 넣는다. 이로써, 상부 척 (81) 과 하부 척 (83) 은, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 2 개의 척 (69, 70) 으로부터 기판 (W) 을 직접 수취할 수 있다.
상부 척 (81) 은, 이동 가능하게 지지 아암 (90) 에 형성된다. 상부 척 이동부 (84) 는, 상부 척 (81) 을 하부 척 (83) 에 가깝게 하거나, 상부 척 (81) 을 하부 척 (83) 으로부터 멀리하거나 할 수 있다. 상부 척 이동부 (84) 는, 지지 아암 (90) 에 형성된다. 상부 척 이동부 (84) 는, 예를 들어, 전동 모터를 갖는 리니어 액추에이터를 구비한다. 하부 척 (83) 은, 이동 가능하지 않고 지지 아암 (90) 에 고정된다.
상부 척 (81) 은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 복수개 (예를 들어 25 개) 의 제 1 수평 거치 가이드 홈 (93) 을 구비한다. 마찬가지로, 하부 척 (83) 은, 복수개 (예를 들어 25 개) 의 제 2 수평 거치 가이드 홈 (94) 을 구비한다. 예를 들어, 25 개의 제 1 수평 거치 가이드 홈 (93) 은, 25 장의 기판 (W) 의 외연을 각각 수용하도록 구성된다. 또, 25 개의 제 2 수평 거치 가이드 홈 (94) 은, 25 장의 기판 (W) 의 외연을 각각 수용하도록 구성된다. 또한, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 은 각각, 1 장의 기판 (W) 을 재치하기 위한 재치면 (95) 을 갖는다 (도 7A 참조).
또, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 은 각각, 각 기판 (W) 의 두께 (TC) 보다 넓은 폭 (WD) 을 갖고 있다. 즉, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 의 각각의 입구에서 안쪽까지, 각 홈 (93, 94) 의 폭 (WD) 이 각 기판 (W) 의 두께 (TC) 보다 넓게 되어 있다. 이로써, 기판 (W) 의 자세를 수평으로 변환한 후에, 센터 로봇 (CR) 이 상하의 척 (81, 83) 으로부터 기판 (W) 을 취출할 때에, 기판 (W) 을 들어올리는 공간이 있으므로, 기판 (W) 에 부하를 주지 않고, 기판 (W) 을 취출할 수 있다.
즉, 센터 로봇 (CR) 의 핸드 (35) 가 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 으로부터 수평 자세의 1 장의 기판 (W) 을 취출할 때에, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 내에서 수평 자세의 1 장의 기판 (W) 을 들어올릴 수 있다. 이것은, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 은, 기판 (W) 이 자유롭게 이동할 수 있는 공간을 갖고 있기 때문이다.
또, 상부 척 (81) 과 하부 척 (83) 이 기판 (W) 을 끼워 넣었을 때에, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 내에서 기판 (W) 의 반경 방향으로 기판 (W) 을 이동시키기 위한 간극 (GP) (공간) 이 형성된다.
보조 척 (85, 86) 은, 각 기판 (W) 의 하측을 유지한다. 2 개의 보조 척 (85, 86) 은, 각 기판 (W) 의 둘레 방향을 따라 하부 척 (83) 의 양측에 형성된다. 도 5 를 참조하면서 구체적으로 설명하면, 2 개의 척 (69, 70), 상부 척 (81) 및 하부 척 (83) 이 각 기판 (W) 을 끼워 넣었을 때에, 척 (69) 과 하부 척 (83) 사이에, 제 1 보조 척 (85) 이 배치된다. 또, 척 (70) 과 하부 척 (83) 사이에, 제 2 보조 척 (86) 이 배치된다.
척 (69, 70) 과 마찬가지로, 2 개의 보조 척 (85, 86) 은 각각, 복수 (예를 들어 25 개) 의 V 상 유지홈 (97) 을 구비한다. 각 유지홈 (97) 의 안쪽은, 단면 V 상으로 형성된다.
상부 척 (81) 및 하부 척 (83) 이「연직 자세」의 기판 (W) 을 유지할 때, 보조 척 (85, 86) 은 각각, 기판 (W) 의 외연을 V 상 유지홈 (97) 에 각각 수용함으로써, 기판 (W) 을 연직 자세로 유지한다. 또, 상부 척 (81) 및 하부 척 (83) 이「수평 자세」의 기판 (W) 을 유지할 때, 2 개의 보조 척 (85, 86) 은 각각, V 상 유지홈 (97) 으로부터 기판 (W) 을 이탈시켜, 센터 로봇 (CR) 에 의한 기판 (W) 의 취출을 방해하지 않는 위치까지 기판 (W) 으로부터 떨어진다.
상부 척 (81) 및 하부 척 (83) 이 연직 자세의 기판 (W) 을 유지했을 때에, 닫힌 상태의 2 개의 보조 척 (85, 86) 이 기판 (W) 을 연직 자세로 유지하므로, 인접하는 2 장의 기판 (W) 이 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또, 상부 척 (81) 및 하부 척 (83) 으로부터 수평 자세의 기판 (W) 을 취출할 때에, 2 개의 보조 척 (85, 86) 은, 열린 상태가 되므로, 센터 로봇 (CR) 에 의한 기판 (W) 의 취출을 방해하지 않는다.
보조 척 개폐부 (87) 는, 진퇴부 (88) 를 개재하여, 지지 아암 (90) 에 형성된다. 보조 척 개폐부 (87) 는, 수평축 (AX7) 둘레로 제 1 보조 척 (85) 을 요동 (회전) 시키고, 또, 수평축 (AX8) 둘레로 제 2 보조 척 (86) 을 요동시킨다. 도 6A 를 참조하면서 설명한다. 보조 척 개폐부 (87) 는, 예를 들어, 전동 모터 (87A), 제 1 기어 (87B), 제 2 기어 (87C), 제 3 기어 (87D), 제 4 기어 (87E), 제 1 샤프트 (87F) 및 제 2 샤프트 (87G) 를 구비한다.
제 1 기어 (87B) 는, 전동 모터 (87A) 의 출력축 (87H) 에 고정된다. 제 2 기어 (87C) 는, 제 1 샤프트 (87F) 에 고정된다. 제 1 샤프트 (87F) 는, 수평축 (AX7) 둘레로 회전 가능하게 지지된다. 또, 제 1 샤프트 (87F) 의 선단에는, 제 1 보조 척 (85) 이 연결된다. 제 3 기어 (87D) 는, 수평축 둘레로 회전 가능하게 지지된다. 제 4 기어 (87E) 는, 제 2 샤프트 (87G) 에 고정된다. 제 2 샤프트 (87G) 는, 수평축 (AX8) 둘레로 회전 가능하게 지지된다. 또, 제 2 샤프트 (87G) 의 선단에는, 제 2 보조 척 (86) 이 연결된다.
2 개의 기어 (87B, 87C) 는 맞물린다. 2 개의 기어 (87B, 87D) 는 맞물린다. 또, 2 개의 기어 (87D, 87E) 는 맞물린다. 전동 모터 (87A) 가 출력축 (87H) 을 정회전시키면, 보조 척 (85, 86) 에 기판 (W) 을 유지시킨다. 이에 반해, 전동 모터 (87A) 가 출력축 (87H) 을 역회전시키면, 기판 (W) 으로부터 보조 척 (85, 86) 이 떨어지고, 기판 (W) 을 유지한 상태가 해제된다.
또한, 2 개의 수평축 (AX7, AX8) 은 각각, 기판 (W) 이 정렬되는 전후 방향 (X) 으로 연장된다. 또, 수평축 (AX7) 은, 수평축 (AX8) 에 대해 평행하게 연장된다. 보조 척 (85, 86) 이 기판 (W) 을 유지하지 않을 때에는, 보조 척 개폐부 (87) 는, 도 5 의 파선으로 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 보조 척 (85, 86) 을, 일점 쇄선 (101) 보다 외측으로 이동시킨다.
진퇴부 (88) 는, 도 6B 에 나타내는 바와 같이, 지지 아암 (90) 에 형성된다. 진퇴부 (88) 는, 기판 (W) 이 정렬되는 전후 방향 (X) 으로 상하의 척 (81, 83) 에 대해 보조 척 (85, 86) 을 이동 (전진 및 후퇴) 시킨다. 진퇴부 (88) 는, 예를 들어, 전동 모터 (88A), 나사축 (88B), 슬라이더 (88C) 및 가이드 레일 (88D) 을 구비한다.
전동 모터 (88A) 의 출력축 (88E) 은, 나사축 (88B) 의 일단에 연결된다. 나사축 (88B) 은, 슬라이더 (88C) 의 너트부 (88F) 와 맞물리면서, 슬라이더 (88C) 를 관통한다. 가이드 레일 (88D) 은, 슬라이더 (88C) 를 관통한다. 슬라이더 (88C) 는, 가이드 레일 (88D) 에 대해 자유롭게 이동할 수 있다. 슬라이더 (88C) 는, 보조 척 개폐부 (87) 에 연결된다. 나사축 (88B) 과 가이드 레일 (88D) 은, 기판 (W) 이 정렬되는 전후 방향 (X) 으로 연장된다. 전동 모터 (88A) 가 출력축 (88E) 을 정회전시키면, 보조 척 (85, 86) 은 상하의 척 (81, 83) 에 대해 전진한다. 이에 반해, 전동 모터 (88A) 가 출력축 (88E) 을 역회전시키면, 보조 척 (85, 86) 은 상하의 척 (81, 83) 에 대해 후퇴한다.
자세 변환부 (63) 가 기판 (W) 의 자세를 연직으로부터 수평으로 변환할 때, 진퇴부 (88) 는, V 상 유지홈 (97) 에 수용된 연직 자세의 기판 (W) 을 재치면 (95) 에 각각 접촉시키도록, 2 개의 보조 척 (85, 86) 을 이동시킨다. 도 7A, 도 7B 를 참조하면서, 구체적으로 설명한다. 도 7A, 도 7B 에 있어서, 도시의 편의상, 기판 (W) 의 좌단에 상하의 척 (81, 83) 이 배치되고, 또, 기판 (W) 의 우단에 보조 척 (85, 86) 이 배치되어 있는 것으로 한다.
도 7A 는, 자세 변환부 (63) 가, 상하의 척 (81, 83) 및 보조 척 (85, 86) 을 사용하여, 제 2 반송 기구 (WTR2) 로부터 기판 (W) 을 수취한 직후의 상태를 나타내고 있다. 즉, 기판 (W) 의 외연은, V 상 유지홈 (97) 의 안쪽에 위치함과 함께, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 의 폭 (WD) 의 중앙에 위치하고 있다.
진퇴부 (88) 는, 접촉 위치와 대기 위치 사이에서 보조 척 (85, 86) 을 이동시키는 것이 가능하다. 기판 (W) 을 자세 변환할 때, 진퇴부 (88) 는, 대기 위치로부터 접촉 위치로 보조 척 (85, 86) 을 후퇴시킨다 (후방 (X) 으로 이동). 이로써, 도 7B 에 나타내는 바와 같이, V 상 유지홈 (97) 으로 유지된 연직 자세의 기판 (W) 의 이면을 상하의 척 (81, 83) 의 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 의 재치면 (95) 에 각각 접촉 또는 근접시킨다.
보조 척 (85, 86) 이 기판 (W) 을 유지하고 있지 않은 상태에 있어서, 기판 (W) 은, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 내를 자유롭게 이동할 수 있다. 그러나, 자세 변환했을 때에, 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 내에서 기판 (W) 이 이동하여 충돌한다. 이로써, 파티클이 발생할 가능성이 있다. 그래서, 진퇴부 (88) 에 의해, 기판 (W) 을 재치면 (95) 에 접촉시키거나 함으로써, 기판 (W) 의 충돌에 의한 충격을 경감시킬 수 있다. 그 때문에, 파티클의 발생을 억제할 수 있다.
도 4B 에 나타내는 상하 척 회전부 (89) 는, 상하의 척 (81, 83) 이 유지하고 있는 연직 자세의 25 장의 기판 (W) 의 정렬 방향 (전후 방향 (X)) 과 직교하는 수평축 (AX9) 둘레로 상하의 척 (81, 83) 을 회전시킨다. 이로써, 2 개의 척 (69, 70) 으로부터 수취한 25 장의 기판 (W) 의 자세를 연직으로부터 수평으로 변환한다. 또한, 수평축 (AX9) 은, 폭 방향 (Y) 으로 연장된다.
상하 척 회전부 (89) 는, 기초 프레임 (91) 에 형성된다. 기초 프레임 (91) 은, 예를 들어, 전후 방향 (X) 으로 수평하게 연장되는 들보 부재 (91A) 와, 이 들보 부재의 양단을 지지하는 2 개의 기둥 부재 (91B) 를 구비한다. 상하 척 회전부 (89) 는, L 자상의 지지 아암 (90) 을 통하여, 상하의 척 (81, 83) 을 수평축 (AX9) 둘레로 회전 가능하게 지지한다. 상하 척 회전부 (89) 는, 예를 들어 전동 모터를 구비한다.
＜6. 동작 설명＞
다음으로, 도 8 ∼ 도 10 의 플로 차트를 참조하면서, 기판 처리 장치 (1) 의 동작에 대해 설명한다. 도 1 을 참조한다. 도시하지 않는 외부 반송 로봇은, 2 개의 캐리어 (C) 를 로드 포트 (9) 에 순서대로 반송한다.
〔스텝 S01〕캐리어로부터의 기판 반송
스토커 블록 (3) 의 캐리어 반송 기구 (11) 는, 로드 포트 (9) 로부터 선반 (13A) 에 제 1 캐리어 (C) 를 반송한다. 이재 블록 (5) 의 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 선반 (13A) 에 재치된 제 1 캐리어 (C) 로부터 수평 자세의 25 장의 기판 (W1) 을 취출하여, 자세 변환부 (23) 에 반송한다. 그 후, 캐리어 반송 기구 (11) 는, 빈 제 1 캐리어 (C) 를 선반 (13B) 에 반송한다. 그 후, 캐리어 반송 기구 (11) 는, 로드 포트 (9) 로부터 선반 (13A) 에 제 2 캐리어 (C) 를 반송한다. 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 선반 (13A) 에 재치된 제 2 캐리어 (C) 로부터 수평 자세의 25 장의 기판 (W2) 을 취출하여, 자세 변환부 (23) 에 반송한다.
〔스텝 S02〕연직 자세로의 자세 변환
자세 변환부 (23) 에는, 2 개의 캐리어 (C) 의 50 장의 기판 (W (W1, W2)) 이 반송된다. 자세 변환부 (23) 와 푸셔 기구 (25) 는, 도 3A ∼ 도 3F 에 나타내는 바와 같이, 50 장의 기판 (W) 을 페이스·투·페이스 방식으로 또한 하프 피치 (5 ㎜) 로 정렬시킴과 함께, 50 장의 기판 (W) 의 자세를 25 장씩 수평 자세로부터 연직 자세로 변환한다. 푸셔 기구 (25) 는, 이재 블록 (5) 내에 정해진 기판 수수 위치 (PP) 에 연직 자세의 50 장의 기판 (W) 을 반송한다.
〔스텝 S03〕약액 처리 (배치 처리)
제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 기판 수수 위치 (PP) 에서 푸셔 기구 (25) 로부터 연직 자세의 50 장의 기판 (W) 을 수취하고, 4 개의 약액 처리조 (BT1 ∼ BT4) 의 4 개의 리프터 (LF1 ∼ LF4) 중 어느 것에 50 장의 기판 (W) 을 반송한다.
예를 들어, 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 약액 처리조 (BT1) 의 리프터 (LF1) 에 50 장의 기판 (W) 을 반송한다. 리프터 (LF1) 는, 약액 처리조 (BT1) 의 상방의 위치에서 50 장의 기판 (W) 을 수취한다. 리프터 (LF1) 는, 약액 처리조 (BT1) 내의 처리액으로서의 인산에 50 장의 기판 (W) 을 침지시킨다. 이로써, 에칭 처리가 50 장의 기판 (W) 에 대해 실시된다. 에칭 처리 후, 리프터 (LF1) 는, 50 장의 기판 (W) 을 약액 처리조 (BT1) 의 인산으로부터 끌어올린다. 또한, 50 장의 기판 (W) 이 다른 약액 처리조 (BT2 ∼ BT4) 의 리프터 (LF2 ∼ LF4) 의 각각에 반송된 경우에도 약액 처리조 (BT1) 와 동일한 처리가 실시된다.
〔스텝 S04〕순수 세정 처리 (배치 처리)
제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 예를 들어 리프터 (LF1) (또는 리프터 (LF2)) 로부터 연직 자세의 50 장의 기판 (W) 을 수취하고, 수세 처리조 (BT5) 의 리프터 (LF5) 에 50 장의 기판 (W) 을 반송한다. 리프터 (LF5) 는, 수세 처리조 (BT5) 의 상방의 위치에서 50 장의 기판 (W) 을 수취한다. 리프터 (LF5) 는, 수세 처리조 (BT5) 내의 순수에 50 장의 기판 (W) 을 침지시킨다. 이로써, 50 장의 기판 (W) 은 세정 처리가 실시된다.
또한, 제 1 반송 기구 (WTR1) 가 리프터 (LF3, LF4) 의 일방으로부터 연직 자세의 50 장의 기판 (W) 을 수취하는 경우, 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 수세 처리조 (BT6) 의 리프터 (LF6) 에 50 장의 기판 (W) 을 반송한다. 리프터 (LF6) 는, 수세 처리조 (BT6) 의 상방의 위치에서 50 장의 기판 (W) 을 수취한다. 리프터 (LF6) 는, 수세 처리조 (BT6) 내의 순수에 50 장의 기판 (W) 을 침지시킨다.
본 실시예에서는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 를 개재하여 이재 블록 (5) 의 반대측에 형성되어 있다. 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 이재 블록 (5) 에 가까운 측의 예를 들어 배치 처리조 (BT1 (BT3)) 로부터 이재 블록 (5) 으로부터 먼 측의 배치 처리조 (BT5 (BT6)) 를 거쳐 제 2 자세 변환 기구 (31) 에 50 장의 기판 (W) 을 일괄하여 반송한다.
〔스텝 S05〕수평 자세로의 자세 변환
제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 세정 처리가 실시된 기판 (W) 의 자세를 연직으로부터 수평으로 일괄하여 변환한다. 여기서, 다음과 같은 문제가 있다. 즉, 하프 피치 (5 ㎜ 간격) 로 배치된 50 장의 기판 (W) 의 자세를 일괄하여 변환하면, 센터 로봇 (CR) 의 1 개의 핸드 (35) 가 50 장의 기판 (W) 중 인접하는 2 장의 기판 (W) 의 간극에 양호하게 침입할 수 없는 경우가 있다.
또, 페이스·투·페이스 방식으로 기판 (W) 이 정렬되는 경우, 수평 자세로 변환된 기판 (W) 은, 디바이스면이 상향인 기판 (W) 도 있고, 디바이스면이 하향인 기판 (W) 도 있다. 예를 들어, 센터 로봇 (CR) 의 핸드 (35) 가 기판 (W) 의 디바이스면과 접촉하는 것은 바람직하지 않다. 또, 디바이스면의 방향이 상이한 기판 (W) 이 각 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 에 반송되는 것은 바람직하지 않다.
그래서, 본 실시예에서는, 인접하는 2 장의 기판 (W) 의 간격을 넓힘과 함께, 50 장의 기판 (W) 의 디바이스면의 방향을 서로 일치시키고 있다. 도 9, 도 10 의 플로 차트, 도 11A ∼ 도 11D, 도 12A ∼ 도 12D, 및 도 13A ∼ 도 13D 를 참조하면서, 구체적으로 설명한다.
〔스텝 S11〕푸셔 기구로의 기판의 반송
도 11A 를 참조한다. 또한, 도 11A ∼ 도 11D 는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 리프터 (LF5, LF6) 의 일방으로부터 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 푸셔 기구 (61) 에 50 장의 기판 (W) 을 반송한다 (도 1 참조). 푸셔 기구 (61) 의 푸셔 (65) 는, 하프 피치로, 또한 페이스·투·페이스 방식으로 배치된 연직 자세의 50 장의 기판 (W) 을 유지한다. 또, 50 장의 기판 (W) 은, 폭 방향 (Y) 을 따라 정렬된다.
또한, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 제 1 반송 기구 (WTR1) 와 간섭하지 않도록, 자세 변환부 (63) 측에서 대기한다. 또, 푸셔 기구 (61) 에 기판 (W) 을 반송한 후, 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 푸셔 기구 (61) 의 상방으로부터 이동한다.
〔스텝 S12〕푸셔 기구에 의한 연직축 둘레의 기판의 회전
도 11B 를 참조한다. 푸셔 기구 (61) 의 승강 회전부 (67) 는, 평면에서 보았을 때에 있어서, 연직축 (AX4) 을 중심으로 하여 좌회전으로 50 장의 기판 (W) 을 90 도 (degree) 회전시킨다. 이로써, 푸셔 기구 (61) 는, 제 2 반송 기구 (WTR2) 에 기판 (W) 을 건네줄 수 있음과 함께, 자세 변환했을 때에 제 1 기판군의 25 장의 기판 (W1) 의 각각의 디바이스면을 상향으로 할 수 있다.
〔스텝 S13〕제 2 반송 기구에 의한 기판 (W1) 의 반송
제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 기판 대기측으로 이동한다. 즉, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 에 유지된 50 장의 기판 (W) 의 상방에 척 (69, 70) 이 위치하도록 이동한다. 개폐부 (71) 는, 척 (69, 70) 사이를 50 장의 기판 (W) 이 통과할 수 있도록, 척 (69, 70) 을 열린 상태로 한다.
도 11C 를 참조한다. 척 (69, 70) 이 기판 (W) 의 상방에 도착한 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 승강부 (73) 는, 기판 (W) 의 중심보다 아래로 척 (69, 70) 을 하강시킨다. 그 후, 개폐부 (71) 는, 척 (69, 70) 을 닫음으로써 50 장의 기판 (W) 을 끼워 넣는다. 이 때, 25 장의 기판 (W1) 은 25 개의 V 상 유지홈 (78) 에 각각 위치하고, 또, 25 장의 기판 (W2) 은 25 개의 통과홈 (80) 에 각각 위치한다.
50 장의 기판 (W) 을 척 (69, 70) 으로 끼운 후, 승강부 (73) 는, 척 (69, 70) 을 상승시킨다. 이로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 로 유지된 50 장의 기판 (W (W1, W2)) 으로부터 풀 피치 (예를 들어 10 ㎜ 간격) 로 배치된 25 장의 기판 (W1) 을 발취할 수 있다. 즉, 제 2 기판군의 25 장의 기판 (W2) 은, 푸셔 (65) 에 남겨진다.
도 11D 를 참조한다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 자세 변환부 (63) 의 상하의 척 (81, 83) 사이에 25 장의 기판 (W1) 을 일괄하여 반송한다. 이 때, 상부 척 (81) 은, 상부 척 이동부 (84) 에 의해 하부 척 (83) 으로부터 먼 열림 위치로 이동되어 있다. 또, 보조 척 (85, 86) 은, 연직 자세의 기판 (W) 을 유지할 수 있도록 닫힌 상태이다. 또한, 보조 척 (85, 86) 은, 열린 상태여도 된다.
또, 푸셔 기구 (61) 의 승강 회전부 (67) 는, 푸셔 (65) 로 유지된 25 장의 기판 (W2) 을 연직축 (AX4) 둘레로 180 도 회전시킨다. 이로써, 자세 변환했을 때에 제 2 기판군의 25 장의 기판 (W2) 의 각각의 디바이스면을 상향으로 할 수 있다. 또, 180 도의 회전에 의해, 회전 전에 비해 각 기판 (W2) 의 위치가 하프 피치로 후방 (X) 으로 이동한다. 그 때문에, 25 장의 기판 (W2) 을 반송할 때에, 척 (69, 70) 의 V 상 유지홈 (78) 에 넣을 수 있다. 또한, 이 기판 (W2) 의 180 도의 회전은, 스텝 S13 ∼ S17 에서 실시하는 것이 바람직하다.
〔스텝 S14〕자세 변환부로의 기판 (W1) 의 인도
도 12A 를 참조한다. 도 12A ∼ 도 12D 는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 동작을 설명하기 위한 정면도, 즉, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 에서 본 도면이다. 또한, 도 12A 는, 도 11D 에 나타내는, 제 2 반송 기구 (WTR2) 가 상하의 척 (81, 83) 사이에 25 장의 기판 (W1) 을 이동시킨 상태를 정면에서 본 도면이다.
도 12B 를 참조한다. 보조 척 (85, 86) 은, 연직 자세의 기판 (W) 을 유지할 수 있도록 닫힌 상태이다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 승강부 (73) 는, 보조 척 (85, 86) 의 V 상 유지홈 (97) 에 기판 (W1) 이 접촉할 때까지, 척 (69, 70) 으로 유지된 25 장의 기판 (W1) 을 하강시킨다. 즉, 승강부 (73) 는, 25 개의 V 상 유지홈 (97) 으로 25 장의 기판 (W1) 이 유지될 때가지 25 장의 기판 (W1) 을 하강시킨다. 25 장의 기판 (W1) 이 보조 척 (85, 86) 의 각각의 25 개의 V 상 유지홈 (97) 으로 유지되면, 25 장의 기판 (W1) 의 외연이 하부 척 (83) 의 제 2 수평 거치 가이드 홈 (94) 에 수용된다.
그 후, 상부 척 이동부 (84) 는, 하부 척 (83) 에 상부 척 (81) 을 가깝게 하기 위해, 상부 척 (81) 을 하강시킨다. 이로써, 25 장의 기판 (W1) 의 외연이 상부 척 (81) 의 제 1 수평 거치 가이드 홈 (93) 에 수용된다. 또, 상하의 척 (81, 83) 및 보조 척 (85, 86) 에 의해, 25 장의 기판 (W1) 이 유지 (파지) 된다.
도 12C 를 참조한다. 그 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 개폐부 (71) 는, 척 (69, 70) 을 연다. 이로써, 25 장의 기판 (W1) 의 유지를 해제한다. 또, 25 장의 기판 (W1) 이 자세 변환부 (63) 에 인도된다. 그 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 승강부 (73) 는, 척 (69, 70) 을 기판 (W) 보다 상방으로 상승시킨다. 이로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 자세 변환부 (63) 와 간섭하지 않는 위치로 이동된다.
〔스텝 S15〕재치면의 기판 (W1) 에 대한 접촉
도 6B 에 나타내는 바와 같이, 진퇴부 (88) 는, 보조 척 (85, 86) 을 후퇴시킨다 (후방 (X) 으로 이동). 즉, 진퇴부 (88) 는, 25 개의 V 상 유지홈 (97) 에 각각 유지된 25 장의 기판 (W1) 을 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 의 재치면 (95) 에 접촉시킨다 (도 7A, 도 7B 참조). 이로써, 자세 변환, 및 보조 척 (85, 86) 의 열림 동작시에, 각 기판 (W1) 의 이동에 의한 충돌을 억제시킬 수 있다.
〔스텝 S16〕자세 변환부에 의한 자세 변환
도 12D 를 참조한다. 그 후, 자세 변환부 (63) 의 상하 척 회전부 (89) 는, 25 장의 기판 (W1) 을 유지하는 상하의 척 (81, 83) 등을, 수평축 (AX9) 을 중심으로 하여 좌회전으로 90 도 회전시킨다. 이로써, 제 1 기판군의 25 장의 기판 (W1) 의 자세를 연직으로부터 수평으로 변환할 수 있다. 90 도 회전 후, 보조 척 개폐부 (87) 는, 센터 로봇 (CR) 에 의한 기판 (W1) 의 반송을 방해하지 않는 위치까지 보조 척 (85, 86) 을 연다. 즉, 도 5 의 파선으로 나타낸 위치까지 보조 척 (85, 86) 은 이동된다.
〔스텝 S17〕센터 로봇에 의한 기판 (W1) 의 반송
보조 척 (85, 86) 을 연 후, 센터 로봇 (CR) 은, 2 개의 핸드 (35) 를 사용하여, 상하의 척 (81, 83) 이 유지하고 있는 수평 자세의 25 장의 기판 (W1) 을 순서대로 취출하고, 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 의 일방에 그 기판 (W1) 을 각각 반송한다. 기판 (W) 의 간격은, 하프 피치로부터 풀 피치로 넓혀져 있다. 그 때문에, 센터 로봇 (CR) 의 핸드 (35) 는, 인접하는 2 장의 기판 (W) 의 간극에 양호하게 진입할 수 있다. 그 때문에, 양호하게 기판 (W) 을 취출할 수 있다.
센터 로봇 (CR) 이 자세 변환부 (63) 로부터 제 1 기판군의 25 장의 기판 (W1) 을 반송한 후, 제 2 기판군의 25 장의 기판 (W2) 을 자세 변환한다. 스텝 S18 ∼ S22 는, 스텝 S13 ∼ S17 과 유사하므로, 중복 부분은 간단하게 설명한다.
〔스텝 S18〕제 2 반송 기구에 의한 기판 (W2) 의 반송
도 13A 를 참조한다. 또한, 도 13A, 도 13B 는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 에 유지된 25 장의 기판 (W2) 의 상방에 척 (69, 70) 이 위치하도록 이동한다. 척 (69, 70) 은 열린 상태이다.
그 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 승강부 (73) 는, 기판 (W2) 의 중심보다 아래로 척 (69, 70) 을 하강시킨다. 그 후, 개폐부 (71) 는, 척 (69, 70) 을 닫음으로써 25 장의 기판 (W2) 을 끼워 넣는다. 스텝 S13 에 있어서, 기판 (W2) 은 180 도 회전됨으로써, 각 기판 (W2) 의 위치가 하프 피치로 이동한다. 그 때문에, 척 (69, 70) 을 닫았을 때에, 25 장의 기판 (W2) 은 25 개의 V 상 유지홈 (78) 에 각각 위치한다.
그 후, 승강부 (73) 는, 척 (69, 70) 을 상승시킨다. 이로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 로 유지된 25 장의 기판 (W2) 을 들어올린다.
도 13B 를 참조한다. 그 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 자세 변환부 (63) 의 상하의 척 (81, 83) 사이에 25 장의 기판 (W2) 을 일괄하여 반송한다. 또한, 제 2 반송 기구 (WTR2) 가 25 장의 기판 (W2) 을 반송한 후, 푸셔 (65) 는, 기판 (W) 을 유지하지 않는 상태가 된다. 그 때문에, 제 1 반송 기구 (WTR1) 는, 리프터 (LF3, LF6) 의 일방으로부터 푸셔 (65) 에, 다음 50 장의 기판 (W) 을 반송할 수 있다.
〔스텝 S19〕자세 변환부로의 기판 (W2) 의 인도
도 13C 를 참조한다. 또한, 도 13C, 도 13D 는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 정면도이다. 척 (69, 70) 으로 유지된 25 장의 기판 (W2) 은, 상하의 척 (81, 83) 사이에 위치한다. 또, 보조 척 (85, 86) 은, 연직 자세의 기판 (W2) 을 유지할 수 있도록 닫힌 상태이다. 또, 보조 척 (85, 86) 은, 진퇴부 (88) 에 의해, 접촉 위치 (도 7B 의 상태) 로부터 대기 위치 (도 7A 의 상태) 로 이동되어 있다.
그 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 승강부 (73) 는, 보조 척 (85, 86) 의 각각의 25 개의 V 상 유지홈 (97) 이 25 장의 기판 (W2) 을 유지할 때까지, 척 (69, 70) 으로 유지된 25 장의 기판 (W2) 을 하강시킨다. 그 후, 상부 척 이동부 (84) 는, 상부 척 (81) 을 하강시킨다. 이로써, 상하의 척 (81, 83) 및 보조 척 (85, 86) 에 의해, 25 장의 기판 (W2) 이 유지 (파지) 된다.
그 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 개폐부 (71) 는, 척 (69, 70) 을 연다. 이로써, 25 장의 기판 (W2) 의 유지가 해제되고, 25 장의 기판 (W2) 이 자세 변환부 (63) 에 인도된다. 그 후, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 승강부 (73) 는, 척 (69, 70) 을 기판 (W) 보다 상방의 자세 변환부 (63) 와 간섭하지 않는 위치로 상승시킨다.
〔스텝 S20〕재치면의 기판 (W2) 에 대한 접촉
그 후, 진퇴부 (88) 는, 25 개의 V 상 유지홈 (97) 에 각각 유지된 25 장의 기판 (W2) 을 수평 거치 가이드 홈 (93, 94) 의 재치면 (95) 에 접촉시킨다 (도 7A, 도 7B 참조).
〔스텝 S21〕자세 변환부에 의한 자세 변환
도 13D 를 참조한다. 그 후, 자세 변환부 (63) 의 상하 척 회전부 (89) 는, 25 장의 기판 (W2) 을 유지하는 상하의 척 (81, 83) 등을, 수평축 (AX9) 을 중심으로 하여 좌회전으로 90 도 회전시킨다. 이로써, 25 장의 기판 (W2) 의 자세를 연직 자세로부터 수평 자세로 변환한다. 90 도 회전 후, 보조 척 개폐부 (87) 는, 도 5 의 파선으로 나타낸 위치까지 보조 척 (85, 86) 을 연다.
〔스텝 S22〕센터 로봇에 의한 기판 (W2) 의 반송
보조 척 (85, 86) 을 연 후, 센터 로봇 (CR) 은, 수평 자세의 25 장의 기판 (W2) 을 순서대로 취출하고, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 및 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 의 일방에 그 기판 (W2) 을 각각 반송한다.
〔스텝 S06〕제 1 매엽식 처리
도 8 의 플로 차트의 설명으로 돌아온다. 예를 들어, 센터 로봇 (CR) 은, 자세 변환부 (63) 로부터 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 기판 (W (W1, W2)) 을 반송한다. 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 예를 들어, 회전 처리부 (45) 에 의해 디바이스면이 상향인 기판 (W) 을 회전시키면서, 노즐 (47) 로부터 디바이스면에 순수를 공급한다. 그 후, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 기판 (W) 의 디바이스면 (상면) 에 대해 노즐 (47) 로부터 IPA 를 공급하여, 기판 (W) 의 순수를 IPA 로 치환한다.
〔스텝 S07〕제 2 매엽식 처리 (건조 처리)
그 후, 센터 로봇 (CR) 은, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1 (SW2)) 로부터 IPA 로 젖어 있는 기판 (W) 을 취출하고, 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 중 어느 1 개에 그 기판 (W) 을 반송한다. 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 는 각각, 초임계 상태의 이산화탄소 (초임계 유체) 에 의해, 기판 (W) 에 대해 건조 처리를 실시한다. 초임계 유체를 사용한 건조 처리에 의해, 기판 (W) 의 디바이스면의 패턴 도괴가 억제된다.
〔스텝 S08〕버퍼부로부터 캐리어로의 기판 반송
센터 로봇 (CR) 은, 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 중 어느 1 개로부터 버퍼부 (33) 의 재치 선반 중 어느 1 개에 건조 처리 후의 기판 (W) 을 반송한다. 버퍼부 (33) 에 1 로트분 (25 장) 의 기판 (W1) 이 반송되면, 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 버퍼부 (33) 로부터 선반 (13A) 에 재치된 빈 제 1 캐리어 (C) 내에, 25 장의 기판 (W1) 을 일괄 반송한다. 그 후, 스토커 블록 (3) 내의 캐리어 반송 기구 (11) 는, 제 1 캐리어 (C) 를 로드 포트 (9) 에 반송한다.
또, 버퍼부 (33) 에 1 로트분의 기판 (W2) 이 재치되면, 일괄 반송 기구 (HTR) 는, 버퍼부 (33) 로부터 선반 (13A) 에 재치된 빈 제 2 캐리어 (C) 내에, 25 장의 기판 (W2) 을 일괄 반송한다. 그 후, 스토커 블록 (3) 내의 캐리어 반송 기구 (11) 는, 제 2 캐리어 (C) 를 로드 포트 (9) 에 반송한다. 도시하지 않는 외부 반송 기구는, 2 개의 캐리어 (C) 를 순서대로 다음 목적지에 반송한다.
본 실시예에 의하면, 자세 변환부 (63) 의 상하의 척 (81, 83) 은, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 2 개의 수평 척 (69, 70) 으로 유지된 연직 자세의 기판 (W1 (W2)) 의 각각의 외연의 상부 및 하부를 끼워 넣는다. 이로써, 자세 변환부 (63) 는, 제 2 반송 기구 (WTR2) 의 2 개의 수평 척 (69, 70) 으로부터 기판 (W1 (W2)) 을 직접 수취할 수 있다. 또, 푸셔 (65) 는, 제 1 반송 기구 (WTR1) 가 액세스 가능한 위치에 형성되고, 자세 변환부 (63) 는, 센터 로봇 (CR) 이 액세스 가능한 위치에 형성된다. 그 때문에, 푸셔 (65) 에 의해 제 1 반송 기구 (WTR1) 로부터 기판 (W) 을 수취하는 위치가 센터 로봇 (CR) 으로부터 멀리 떨어져 있어도, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 로부터 자세 변환부 (63) 에 기판 (W) 을 반송할 수 있다. 그 때문에, 센터 로봇 (CR) 이 용이하게 액세스할 수 있다.
또, 상하 척 회전부 (89) 는, 상하의 척 (81, 83) 이 유지하고 있는 연직 자세의 복수의 기판 (W1 (W2)) 의 정렬 방향과 직교하는 수평축 (AX9) 둘레로 상하의 척 (81, 83) 을 회전시킨다. 이로써, 상하의 척 (81, 83) 사이로부터 기판 (W1 (W2)) 을 취출할 수 있음과 함께, 기판 (W1 (W2)) 의 정렬 방향과 직교하는 수평축 (AX9) 을 따라 자세 변환부 (63) 에 액세스할 수 있다.
또, 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 푸셔 (65) 를 연직축 (AX4) 둘레로 회전시키는 승강 회전부 (67) 를 추가로 구비하고 있다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 에 대해 임의의 방향의 기판 (W) 을 인도할 수 있다. 또, 자세 변환 후의 수평 자세의 기판 (W) 을 임의의 방향으로 할 수 있다.
또, 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 와 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 수평한 전후 방향 (X) (제 1 방향) 으로 배치되어 있고, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 전후 방향 (X) 과 직교하는 수평한 폭 방향 (Y) (제 2 방향) 을 따라, 푸셔 (65) 로부터 복수장의 기판 (W) 을 반송한다. 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 와 그 주변의 구성이 폭 방향 (Y) 으로 긴 경우, 센터 로봇 (CR) 의 핸드 (35) 가 액세스하기 어려운 경우가 있다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 가 폭 방향 (Y) 으로 이동할 수 있으므로, 자세 변환부 (63) 를 센터 로봇 (CR) 에 가깝게 할 수 있다. 그 때문에, 센터 로봇 (CR) 은, 기판 (W) 을 용이하게 반송할 수 있다.
또, 2 개의 수평 척 (69, 70) 은 각각, 복수장의 기판 (W) 중 미리 설정된 2 장 이상의 기판 (W1 (W2)) 을 유지하기 위한 2 개 이상의 V 상 유지홈 (78) 을 구비한다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 2 개의 수평 척 (69, 70) 을 사용하여, 푸셔 (65) 로 유지된 연직 자세의 복수장의 기판 (W) 으로부터 2 장 이상의 기판 (W1 (W2)) 을 발출한다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 로 유지된 기판 (W) 으로부터 2 장 이상의 기판 (W1 (W2)) 을 발출하여 반송할 수 있다.
[실시예 2]
다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 2 를 설명한다. 또한, 실시예 1 과 중복되는 설명은 생략한다. 도 14A 는, 실시예 2 에 관련된 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 푸셔 기구 (61) 를 나타내는 종단면도이다. 도 14B 는, 실시예 2 에 관련된 제 2 자세 변환 기구 (31) 를 나타내는 평면도이다.
도 14A 를 참조한다. 실시예 2 의 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 푸셔 기구 (61) 는, 푸셔 (65) 를 하강시켰을 때에, 푸셔 (65) 로 유지된 기판 (W) 을 액체에 침지시키기 위해, 액체를 저류하는 대기조 (107) 와, 액체로서 예를 들어 순수 (DIW) 를 대기조 (107) 에 공급하는 2 개의 분출관 (109) 을 구비하고 있다. 분출관 (109) 은, 전후 방향 (X) 또는 폭 방향 (Y) 으로 직선상으로 연장되도록 형성된다. 분출관 (109) 은, 분출관 (109) 이 연장되는 방향으로 복수개의 분출구 (109A) (유지부용 노즐) 를 구비한다. 복수개의 분출구 (109A) 는 각각, 순수를 분출한다. 대기조 (107) 는, 분출관 (109) 에 의해 분출된 순수를 저류한다.
예를 들어, 도 11D 에 나타내는 바와 같이, 자세 변환부 (63) 가 기판 (W1) 에 대해 자세 변환 등을 실시하고 있을 때에, 대기 중인 기판 (W2) 을 대기조 (107) 내의 순수에 침지시킴으로써, 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다.
또한, 대기조 (107) 는, 순수를 저류시키지 않아도 된다. 이 경우, 분출관 (109) 의 분출구 (109A) 는, 푸셔 (65) 로 유지된 기판 (W) 에 대해 샤워상 또는 미스트상으로 순수를 공급해도 된다. 또, 분출구 (109A) 는, 도 14A 의 파선의 분출관 (109) 으로 나타내는 바와 같이, 기판 (W) 보다 높은 위치에 배치되어도 된다. 기판 (W) 에 대해 샤워상 또는 미스트상으로 순수를 공급하는 경우, 대기조 (107) 는, 형성되어도 되고, 형성되어 있지 않아도 된다.
다음으로, 도 14B 를 참조한다. 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 제 1 군의 노즐 (111) 과 제 2 군의 노즐 (112) 을 구비한다. 노즐 (111, 112) 은 자세 변환부 (63) 용의 노즐이다. 노즐 (111, 112) 은 각각, 자세 변환부 (63) 의 상하의 척 (81, 83) 으로 유지된 기판 (W) 에 액체로서 예를 들어 순수 (DIW) 를 샤워상 또는 미스트상으로 공급한다. 제 1 군의 노즐 (111) 과 제 2 군의 노즐 (112) 은, 평면에서 보았을 때에, 기판 (W) 을 끼워 넣도록 배치된다. 노즐 (111, 112) 은, 기판 (W) 보다 높은 위치에 형성된다. 또, 노즐 (111, 112) 은, 제 2 반송 기구 (WTR2) 와 간섭하지 않도록, 이동할 수 있도록 구성되어 있어도 된다.
상하 척 회전부 (89) 는, 상하의 척 (81, 83) 으로 유지된 기판 (W) 의 자세를 연직 자세 및 비스듬한 자세의 일방으로 한다. 이 상태에 있어서, 노즐 (111, 112) 은, 상하의 척 (81, 83) 으로 유지된 기판 (W) 에 대해, 샤워상 또는 미스트상의 순수를 공급한다. 또한, 비스듬한 자세는, 기판의 디바이스면이 상향이 되는 자세이다.
예를 들어, 센터 로봇 (CR) 이 기판 (W) 의 반송을 중단했을 때에, 상하의 척 (81, 83) 으로 유지된 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다. 또, 공급시에, 기판 (W) 의 자세가 수평 자세이면, 샤워상 또는 미스트상의 순수가 디바이스면의 전체면에 닿기 어렵다. 그러나, 기판 (W) 의 자세가 연직 자세, 및 디바이스면이 상향인 비스듬한 자세의 일방으로 됨으로써, 샤워상 또는 미스트상의 순수가 디바이스면의 전체면에 닿기 쉬워진다.
또한, 기판 처리 장치 (1) 는, 도 14A 에 나타내는 구성과, 도 14B 에 나타내는 구성을 양방 채용해도 된다. 또, 기판 처리 장치 (1) 는, 도 14A 에 나타내는 구성과, 도 14B 에 나타내는 구성의 일방만을 채용해도 된다.
매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 에 의한 건조 처리 전에, 기판 (W) 이 건조하면, 기판 (W) 의 패턴 도괴가 발생한다. 그러나, 본 실시예에 의하면, 푸셔 (65) 로 유지된 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다. 또, 자세 변환부 (63) 의 상하의 척 (81, 83) 으로 유지된 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다.
[실시예 3]
다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 3 을 설명한다. 또한, 실시예 1, 2 와 중복되는 설명은 생략한다.
도 4A 에 나타내는 실시예 1 의 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 에 유지된 연직 자세의 50 장의 기판 (W) 으로부터 25 장의 기판 (W1 (W2)) 을 발출하는 것이 가능하였다. 즉, 실시예 1 의 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 단일의 패턴으로 기판 (W) 을 발출하고 있었다. 이 점에서, 실시예 3 의 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 장수 및 위치의 적어도 일방을 변경할 수 있는 복수개 (예를 들어 6 개) 의 패턴으로 기판 (W) 을 발출한다.
도 15A, 도 15B 를 참조한다. 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 2 개의 수평 척 (115, 117) 을 구비한다. 제 1 수평 척 (115) 은, 수평축 (AX11) 을 따라 연장되도록 기둥상으로 형성됨과 함께, 수평축 (AX11) 둘레로 회전 가능하다. 또, 제 2 수평 척 (117) 은, 수평축 (AX12) 을 따라 연장되도록 기둥상으로 형성됨과 함께, 수평축 (AX12) 둘레로 회전 가능하다. 2 개의 수평 척 (115, 117) 은 각각, 도 4A 에 나타내는 개폐부 (71) 의 전동 모터로 회전된다.
본 실시예의 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 에 유지된 연직 자세의 50 장의 기판 (W) 중 제 1 기판군의 25 장의 기판 (W1) (또는 제 2 기판군의 25 장의 기판 (W2)) 으로부터 미리 설정된 1 장 이상의 기판 (W1 (W2)) 을 발출한다. 그 때문에, 제 1 수평 척 (115) 의 수평축 (AX11) 둘레의 둘레면에는, 6 개의 패턴 (PT1 ∼ PT6) 이 형성된다. 마찬가지로, 제 2 수평 척 (117) 의 수평축 (AX12) 둘레의 둘레면에는, 6 개의 패턴 (PT1 ∼ PT6) 이 형성된다. 도 15A 에 있어서, 2 개의 수평 척 (115, 117) 은, 좌우 대칭으로 형성된다. 또, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 6 개의 패턴 (PT1 ∼ PT6) 사이에서 2 개의 수평 척 (115, 117) 을 전환할 수 있다.
6 개의 패턴 (PT1 ∼ PT6) 은 각각, 유지홈 (119) 및 통과홈 (121) 의 적어도 일방을 구비한다. 도 15A 에서는, 1 장의 기판 (W) 에 대응하는 각 패턴 (PT1 ∼ PT6) 의 유지홈 (119) 및 통과홈 (121) 이 나타내어진다. 5 개의 패턴 (PT1, PT3 ∼ PT6) 은 각각, 통과홈 (121) 을 구비한다. 이에 반해, 패턴 (PT2) 은, 유지홈 (119) 을 구비한다.
도 15A 에 나타내는 바와 같이, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 예를 들어 2 개의 패턴 (PT1) 이 대향하도록, 각 수평 척 (115, 117) 을 회전시킨다. 이로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 2 개의 수평 척 (115, 117) 사이에서 기판 (W) 을 통과시킬 수 있다. 또, 도 15B 에 나타내는 바와 같이, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 예를 들어 2 개의 패턴 (PT2) 이 대향하도록, 각 수평 척 (115, 117) 을 회전시킨다. 이로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 2 개의 수평 척 (115, 117) 으로 기판 (W) 을 유지할 수 있다.
2 개의 수평 척 (115, 117) 을 더욱 구체적으로 설명한다. 도 16A 는, 6 개의 패턴 (PT1 ∼ PT6) 의 할당을 설명하기 위한 도면이다. 50 장의 기판 (W) 은, 하프 피치로, 또한 페이스·투·페이스 방식으로 배치되어 있는 것으로 한다. 25 장의 기판 (W1) 은, 수평 척 (115, 117) 의 기단측으로부터 1 번째 (No.1), 2 번째, 3 번째, …25 번째로 번호가 부여되어 있다.
패턴 (PT1) 은, 50 장의 기판 (W) 을 전부 스루시킨다. 패턴 (PT1) 은, 50 장의 기판 (W) 에 대응하는 위치에 형성된 통과홈 (통과 부분) (121) 을 갖는다. 여기서, 도 11C 에 나타내는 상황인 것으로 한다. 2 개의 수평 척 (115, 117) 의 2 개의 패턴 (PT1) 을 대향시킨 경우, 즉, 2 개의 수평 척 (115, 117) 이 패턴 (PT1) 인 경우, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 모든 기판 (W) 을 유지하지 않는다.
패턴 (PT2) 은, 1 번째 ∼ 5 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출한다. 패턴 (PT2) 은, 도 16B 에 나타내는 바와 같이, 1 번째 ∼ 5 번째의 5 장의 기판 (W1) 에 대응하는 위치에 5 개의 유지홈 (119) 을 갖는다. 또, 패턴 (PT2) 은, 그 밖의 기판 (W1, W2) 에 대응하는 위치에 통과홈 (121) 을 갖는다. 즉, 그 밖의 위치에는, 유지홈 (119) 이 형성되지 않는다. 여기서, 도 11C 에 나타내는 상황인 것으로 한다. 2 개의 수평 척 (115, 117) 이 패턴 (PT2) 인 경우, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 50 장의 기판 (W) 으로부터, 미리 설정된 5 장의 기판 (W1) (1 번째 ∼ 5 번째) 을 발출한다.
패턴 (PT3) 은, 6 번째 ∼ 10 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출한다. 패턴 (PT3) 은, 6 번째 ∼ 10 번째의 5 장의 기판 (W1) 에 대응하는 위치에 5 개의 유지홈 (119) 을 갖는다. 또, 패턴 (PT3) 은, 그 밖의 기판 (W1, W2) 에 대응하는 위치에 통과홈 (121) 을 갖는다. 즉, 그 밖의 위치에는, 유지홈 (119) 이 형성되지 않는다. 여기서, 도 11C 에 나타내는 상황인 것으로 한다. 2 개의 수평 척 (115, 117) 이 패턴 (PT3) 인 경우, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 50 장의 기판 (W) 으로부터 6 번째 ∼ 10 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출한다.
패턴 (PT4) 은, 11 번째 ∼ 15 번째의 5 장의 기판 (W1) 에 대응하는 위치에 5 개의 유지홈 (119) 을 갖고, 그 밖에는 유지홈 (119) 을 갖지 않는다. 도 11C 에 나타내는 상황에 있어서, 2 개의 수평 척 (115, 117) 이 패턴 (PT4) 인 경우, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 50 장의 기판 (W) 으로부터 11 번째 ∼ 15 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출한다.
패턴 (PT5) 은, 도 16C 에 나타내는 바와 같이, 16 번째 ∼ 20 번째의 5 장의 기판 (W1) 에 대응하는 위치에 5 개의 유지홈 (119) 을 갖고, 그 밖에는 유지홈 (119) 을 갖지 않는다. 도 11C 에 나타내는 상황에 있어서, 2 개의 수평 척 (115, 117) 이 패턴 (PT5) 인 경우, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 50 장의 기판 (W) 으로부터 16 번째 ∼ 20 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출한다. 16 번째 ∼ 20 번째의 5 장의 기판 (W1) 은, 다른 5 개의 패턴 (PT1 ∼ PT4, PT6) 으로 발출되는 기판 (W1) 이 상이하다.
패턴 (PT6) 은, 21 번째 ∼ 25 번째의 5 장의 기판 (W1) 에 대응하는 위치에 5 개의 유지홈 (119) 을 갖고, 그 밖에는 유지홈 (119) 을 갖지 않는다. 도 11C 에 나타내는 상황에 있어서, 2 개의 수평 척 (115, 117) 이 패턴 (PT6) 인 경우, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 50 장의 기판 (W) 으로부터 21 번째 ∼ 25 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출한다.
또한, 제 2 기판군의 기판 (W2) 을 발출하는 경우, 푸셔 기구 (61) 의 승강 회전부 (67) 는, 푸셔 (65) 로 유지된 25 장의 기판 (W2) 을 연직축 (AX4) 둘레로 180 도 회전시킨다. 180 도의 회전에 의해, 회전 전에 비해 각 기판 (W2) 의 위치를 하프 피치로 후방 (X) 으로 이동시킬 수 있다.
또한, 6 개의 패턴 (PT1 ∼ PT6) 은, 상기 서술한 예에 한정되지 않는다. 예를 들어, 다음과 같이 설정되어 있어도 된다. 패턴 (PT2) 은, 1 번째 ∼ 10 번째의 10 장의 기판 (W1 (W2)) 을 발출하도록 설정된다. 패턴 (PT3) 은, 11 번째 ∼ 20 번째의 10 장의 기판 (W1 (W2)) 을 발출하도록 설정된다. 패턴 (PT4) 는, 21 번째 ∼ 25 번째의 5 장의 기판 (W1 (W2)) 을 발출하도록 설정된다. 다른 3 개의 패턴 (PT1, PT5, PT6) 은, 모든 기판 (W (W1, W2)) 을 발출하지 않도록 설정된다.
본 실시예에 의하면, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 (65) 로 유지된 기판 (W) 으로부터, 서로 상이한 기판 (W1 (W2)) 을 발출하여 반송할 수 있다. 예를 들어, 패턴 (PT2) 에서는, 1 번째 ∼ 5 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출할 수 있다. 또, 패턴 (PT5) 에서는, 16 번째 ∼ 20 번째의 5 장의 기판 (W1) 을 발출할 수 있다.
본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상기 서술한 각 실시예에서는, 센터 로봇 (CR) 의 수평 이동부 (41) 의 가이드 레일은, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 바닥면에 형성되었다. 이것을 대신하여, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 센터 로봇 (CR) 의 수평 이동부 (41) 의 가이드 레일 (41A) 은, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 상방에 형성되어, 센터 로봇 (CR) 의 승강 회전부 (39) 등이 그 가이드 레일 (41A) 에 거꾸로 매달려도 된다.
센터 로봇 (CR) 은, 기구 본체 (123) (2 개의 핸드 (35A, 35B), 진퇴부 (37), 승강 회전부 (39)) 와, 수평 이동부 (41) 를 구비한다. 수평 이동부 (41) 는, 예를 들어 가이드 레일 (41A), 슬라이더 (41B), 나사축 및 전동 모터를 구비한다. 가이드 레일 (41A) 은, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 의 상방에서 또한 매엽 기판 반송 영역 (R2) 을 따르도록 전후 방향 (X) 으로 형성된다. 구체적으로는, 가이드 레일 (41A) 은, 매엽 기판 반송 영역 (R2) (또는 처리 블록 (7)) 의 천정면 (125) 또는 그 부근에 형성된다. 또한, 가이드 레일 (41A) 은, 본 발명의 상부 레일에 상당한다.
기구 본체 (123) 는, 가이드 레일 (41A) 에 매달림과 함께, 가이드 레일 (41A) 을 따라 전후 방향 (X) 으로 이동한다. 이로써, 젖은 기판 (W) 으로부터 낙하하는 액적이 예를 들어 진퇴부 (37) 및 승강 회전부 (39) 를 오염시키는 것을 방지한다. 예를 들어, 진퇴부 (37) 등이 액적으로 오염됨으로써, 센터 로봇 (CR) 이 고장날 우려가 있는데, 이것을 방지할 수 있다.
또한, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 제 1 핸드 (35A) 가 제 2 핸드 (35B) 보다 상방에 형성되는 경우, 제 1 핸드 (35A) 는, 건조 처리 후의 기판 (W) 을 반송하기 위해 사용되고, 제 2 핸드 (35B) 는, 제 2 자세 변환 기구 (31) 로부터 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 의 일방까지의 젖은 기판 (W) 을 반송하기 위해 사용된다.
(2) 상기 서술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 는, 초임계 유체를 사용하여 기판 (W) 의 건조 처리를 실시하였다. 이 점에서, 매엽 처리 챔버 (SW3, SW4) 는 각각, 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 의 각각과 마찬가지로, 회전 처리부 (45) 와 노즐 (47) 을 구비해도 된다. 이 경우, 매엽 처리 챔버 (SW1 ∼ SW4) 는 각각, 예를 들어, 순수 및 IPA 를 이 순서로 기판 (W) 에 공급한 후, 기판 (W) 의 건조 처리 (스핀 건조) 를 실시한다.
(3) 상기 서술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 각 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 하프 피치로 또한 페이스·투·페이스 방식으로 배치된 50 장의 기판 (W) 을 처리하였다. 그러나, 각 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 모든 기판 (W) 의 디바이스면이 동일한 방향을 향하는 페이스·투·백 방식으로 배치된 기판 (W) 을 처리해도 된다. 각 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 풀 피치로 배치된 1 개의 캐리어 (C) 분의 25 장의 기판 (W) 을 처리해도 된다. 또한, 도 11B 에 있어서 50 장의 기판 (W) 이 페이스·투·백 방식으로 배치되는 경우, 개폐부 (71) 는, 2 개의 척 (69, 70) 을 기판 (W) 이 정렬되는 전후 방향 (X) 으로 이동시킴으로써, 25 장의 기판 (W1) 또는 25 장의 기판 (W2) 을 발출한다.
(4) 상기 서술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 배치 처리 영역 (R1) 의 폭 방향 (Y) 이 길어지는 경우가 있다. 예를 들어, 도 18 의 이점 쇄선으로 나타내는 배치 처리조 (BT6) 의 우방 (Y) 의 영역 (R11) 에는, 배치 처리조 (BT6) 에 순수 등을 공급하기 위한 배관, 및 배치 처리조 (BT6) 로부터 배액하기 위한 배관이 형성되어 있다. 그 때문에, 영역 (R11) 의 배관 등의 구조가 복잡해진 경우, 배치 처리 영역 (R1) 의 폭 방향 (Y) 이 길어진다. 제 2 자세 변환 기구 (31) 의 자세 변환부 (63) 는, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 측에 형성되므로, 센터 로봇 (CR) 에 의한 액세스가 용이하다.
또, 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 배치 처리 영역 (R1) 으로부터 돌출되어 형성되어도 된다. 예를 들어, 제 2 자세 변환 기구 (31) 는, 매엽 기판 반송 영역 (R2) 에 진출하도록 형성되어도 된다. 또한, 도 18 에 있어서, 버퍼부 (33) 는, 이재 블록 (5) 에 형성된다.
(5) 상기 서술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 제 2 반송 기구 (WTR2) 가 푸셔 기구 (61) 로부터 기판 (W) 을 반송하는 경우, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 승강부 (73) 에 의해 척 (69, 70) 을 승강시킴으로써, 기판 (W) 을 수취하고 있었다. 이 점에서, 푸셔 기구 (61) 의 승강 회전부 (67) 가 연직 자세의 기판 (W) 을 유지하는 푸셔 (65) 를 승강시킴으로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 기구 (61) 로부터 기판 (W) 을 수취해도 된다. 또, 승강부 (73) 가 척 (69, 70) 을 상승시킴과 함께, 승강 회전부 (67) 가 푸셔 (65) 를 하강시킴으로써, 제 2 반송 기구 (WTR2) 는, 푸셔 기구 (61) 로부터 기판 (W) 을 수취해도 된다.
본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.
1 : 기판 처리 장치
31 : 제 2 자세 변환 기구
BT1 ∼ BT6 : 배치 처리조
CR : 센터 로봇
35 : 핸드
WTR1 : 제 1 반송 기구
59 : 제어부
61 : 푸셔 기구
WTR2 : 제 2 반송 기구
63 : 자세 변환부
65 : 푸셔
67 : 승강 회전부
69, 70 : 척
78 (78A, 78B) : V 상 유지홈
81 : 상부 척
83 : 하부 척
85, 86 : 보조 척
88 : 진퇴부
89 : 상하 척 회전부
95 : 재치면
97 : V 상 유지홈
AX4 : 연직축
AX9, AX11, AX12 : 수평축
107 : 대기조
109A : 분출구
111, 112 : 노즐
115, 117 : 수평 척

Claims (11)

  1. 복수장의 기판을 일괄하여 처리하는 배치 처리와, 기판을 1 장씩 처리하는 매엽 처리를 연속해서 실시하는 기판 처리 장치로서,
    복수장의 기판을 일괄하여 처리하는 배치 처리조와,
    상기 배치 처리조에 대해 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 일괄하여 반송하는 제 1 배치 기판 반송 기구와,
    기판을 1 장씩 처리하는 매엽 처리 챔버와,
    상기 매엽 처리 챔버에 대해 수평 자세의 기판을 1 장씩 반송하는 매엽 기판 반송 기구와,
    배치 처리된 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 일괄하여 수평 자세로 변환하는 자세 변환 기구를 구비하고,
    상기 자세 변환 기구는,
    상기 제 1 배치 기판 반송 기구가 액세스 가능한 위치에 형성되고, 배치 처리된 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 상기 제 1 배치 기판 반송 기구로부터 일괄하여 수취하여 유지하는 기판 유지부와,
    상기 매엽 기판 반송 기구가 액세스 가능한 위치에 형성되고, 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 일괄하여 수평 자세로 변환하는 자세 변환부와,
    상기 기판 유지부와 상기 자세 변환부 사이를 이동 가능하고, 상기 기판 유지부가 유지하는 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 수취하여 상기 자세 변환부에 건네주는 제 2 배치 기판 반송 기구를 구비하고,
    상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 기판 유지부가 유지하는 수직 자세의 상기 복수장의 기판의 각각의 외연의 2 개의 측부를 직경 방향으로부터 끼워 넣으면서 수직 자세의 상기 복수장의 기판을 유지하는 2 개의 수평 척을 구비하고,
    상기 자세 변환부는,
    상기 2 개의 수평 척으로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판의 각각의 외연의 상부 및 하부를 직경 방향으로부터 끼워 넣음으로써, 상기 2 개의 수평 척으로부터 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 수취하는 것이 가능한 상부 척 및 하부 척과,
    상기 2 개의 수평 척으로부터 수취한 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 수평 자세로 변환하기 위해, 상기 상부 척 및 상기 하부 척이 유지하고 있는 연직 자세의 상기 복수장의 기판의 정렬 방향과 직교하는 수평축 둘레로 상기 상부 척 및 상기 하부 척을 회전시키는 상하 척 회전부를 구비하고,
    상기 매엽 기판 반송 기구는, 상기 상부 척 및 상기 하부 척이 유지하는 수평 자세의 상기 복수장의 기판 중에서 1 장씩 기판을 취출하여 상기 매엽 처리 챔버에 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 2 개의 수평 척은 각각, 상기 복수장의 기판을 각각 연직 자세로 유지하기 위한 복수개의 V 상 유지홈을 구비하고,
    상기 상부 척은, 상기 복수장의 기판의 외연을 각각 수용하기 위해, 각 기판의 두께보다 넓은 폭을 각각 갖는 복수개의 제 1 수평 거치 가이드 홈을 구비하고,
    상기 하부 척은, 상기 복수장의 기판의 외연을 각각 수용하기 위해, 각 기판의 두께보다 넓은 폭을 각각 갖는 복수개의 제 2 수평 거치 가이드 홈을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 자세 변환부는, 각 기판의 둘레 방향을 따라 상기 하부 척의 양측에 형성된 2 개의 보조 척을 추가로 구비하고,
    상기 2 개의 보조 척은 각각, 상기 복수장의 기판을 연직 자세로 유지하기 위한 복수개의 제 2 V 상 유지홈을 구비하고,
    상기 상부 척 및 상기 하부 척이 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 유지할 때, 상기 2 개의 보조 척은 각각, 상기 복수장의 기판의 외연을 상기 복수개의 제 2 V 상 유지홈에 각각 수용함으로써, 상기 복수장의 기판을 연직 자세로 유지하고,
    상기 상부 척 및 상기 하부 척이 수평 자세의 상기 복수장의 기판을 유지할 때, 상기 2 개의 보조 척은 각각, 상기 복수개의 제 2 V 상 유지홈으로부터 상기 복수장의 기판을 취출하고, 상기 매엽 기판 반송 기구에 의한 상기 복수장의 기판의 취출을 방해하지 않는 위치까지 상기 복수장의 기판으로부터 떨어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 자세 변환부는, 상기 복수장의 기판이 정렬되는 방향으로 상기 상부 척 및 상기 하부 척에 대해 상기 2 개의 보조 척을 상대적으로 이동시키는 상대 이동부를 추가로 구비하고,
    상기 복수개의 제 1 수평 거치 가이드 홈은, 수평 자세의 1 장의 기판을 각각 재치하는 복수의 재치면을 구비하고,
    상기 자세 변환부가 상기 복수장의 기판의 자세를 수평으로 변환할 때, 상기 상대 이동부는, 상기 복수개의 제 2 V 상 유지홈에 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판을 상기 복수개의 재치면에 각각 접촉시키도록, 상기 2 개의 보조 척을 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자세 변환 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 상기 복수장의 기판을 액체에 침지시키기 위해, 상기 액체를 저류하는 대기조를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자세 변환 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 상기 복수장의 기판에 대해 샤워상 또는 미스트상으로 액체를 공급하는 유지부용 노즐을 추가로 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자세 변환 기구는, 상기 자세 변환부의 상기 상부 척 및 상기 하부 척으로 유지된 상기 복수장의 기판에 대해 샤워상 또는 미스트상으로 액체를 공급하는 자세 변환부용 노즐을 추가로 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자세 변환 기구는, 상기 기판 유지부를 연직축 둘레로 회전시키는 회전부를 추가로 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 배치 처리조와 상기 자세 변환 기구는, 수평한 제 1 방향으로 배치되어 있고,
    상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 제 1 방향과 직교하는 수평한 제 2 방향을 따라, 상기 기판 유지부로부터 상기 복수장의 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 2 개의 수평 척은 각각, 상기 복수장의 기판 중 미리 설정된 2 장 이상의 기판을 유지하기 위한 2 개 이상의 V 상 유지홈을 구비하고,
    상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 2 개의 수평 척을 사용하여, 상기 기판 유지부로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판으로부터 상기 2 장 이상의 기판을 발출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 제 1 패턴과 제 2 패턴 사이에서 상기 2 개의 수평 척을 전환할 수 있고,
    상기 2 개의 수평 척이 상기 제 1 패턴인 경우, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판으로부터, 미리 설정된 1 장 이상의 기판을 발출하고,
    상기 2 개의 수평 척이 상기 제 2 패턴인 경우, 상기 제 2 배치 기판 반송 기구는, 상기 기판 유지부로 유지된 연직 자세의 상기 복수장의 기판으로부터, 상기 제 1 패턴과 상이한 미리 설정된 1 장 이상의 기판을 발출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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