KR20230175105A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20230175105A
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다다시 마에가와
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 상기 장치는 이하의 요소를 포함한다.
복수 장의 기판을 일괄하여 처리하는 배치식 처리부, 한 장의 기판을 처리하는 매엽식 처리부, 상기 배치식 처리부에서 처리를 마친 복수 장의 기판의 자세를 수평 자세로 변환하는 자세 변환부, 상기 배치식 처리부에서 상기 자세 변환부로 기판을 반송하는 제 1 반송부, 상기 자세 변환부에서 수평 자세가 된 기판을 상기 매엽식 처리부로 반송하는 제 2 반송부, 상기 자세 변환부에서 자세 변환이 실시되기까지의 동안에, 복수 장의 기판을 순수 중에 침지시키는 침지조.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS}
본 발명은, 반도체 기판, 액정 표시용이나 유기 EL (Electroluminescence) 표시 장치 등의 FPD (Flat Panel Display) 용 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광 디스크용 기판 등의 기판에 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
종래, 이러한 종류의 장치로서, 배치식 모듈과, 매엽식 모듈과, 회전 기구를 구비한 것이 있다. 예를 들면, 일본 공표특허공보 2016-502275호를 참조. 배치식 모듈은, 복수 장의 기판에 대해서 일괄하여 처리를 실시한다. 매엽식 모듈은, 기판 한 장씩에 대해서 처리를 실시한다. 일반적으로 매엽식 모듈에 의한 건조 처리는, 배치식 모듈에 의한 건조 처리와 비교하면, 기판이 영향을 받는 처리 분위기의 공간이 작아, 파티클 성능이 높다. 그 때문에, 매엽식 모듈은, 배치식 모듈보다 건조 성능을 높이기 쉽다. 그래서, 예를 들어, 배치식 모듈에서 에칭 처리 및 린스 처리를 실시한 후, 매엽식 모듈에서 건조 처리를 실시하는 것이 행해진다.
배치식 모듈에서는, 복수 장의 기판을 연직 자세로 한 상태에서 처리를 실시한다. 한편, 매엽식 모듈에서는, 기판을 수평 자세로 한 상태에서 처리를 실시한다. 그 때문에, 배치식 모듈에서 처리를 마친 연직 자세의 기판은, 매엽식 모듈로 반송되기 전에 회전 기구에 의해 수평 자세로 변환된다.
그런데 최근, 반도체 분야에서는, 3 차원 구조의 패턴에 있어서의 정세화가 진행되고 있다. 그 때문에, 이러한 기판에서는, 기판이 건조될 때의 기액 계면의 영향에 의해, 패턴이 도괴 (倒壞) 할 우려가 있다. 그 때문에, 배치식 모듈에 의한 처리 후, 매엽식 모듈에 있어서의 처리를 실시할 때까지, 기판이 건조되지 않도록 기판을 젖은 상태로 하는 것이 행해진다.
구체적으로는, 회전 기구의 옆에 복수 개의 분사관을 배치한다. 분사관은, 회전 기구에 유지되어 있는 기판에 순수를 분사한다. 이것에 의해, 회전 기구에 유지되어 있는 기판을 매엽식 모듈에 재치 (載置) 될 때까지 젖은 상태로 한다.
그러나, 이와 같은 구성을 갖는 종래예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.
즉, 종래의 장치는, 회전 기구에 의한 기판의 자세와 분사관의 위치 관계에 의해, 기판의 전체가 충분히 젖지 않는 시간이 발생한다. 또한, 회전 기구의 근처로부터 순수를 분사해도, 회전 기구의 부재가 존재하는 관계상, 충분히 기판의 전체를 적실 수 없다. 그 때문에, 기판이 건조되는 것을 충분히 억제할 수 없으므로, 건조 성능이 우수한 매엽식 모듈로 건조 처리를 실시해도 패턴의 도괴를 충분히 억제할 수 없다는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 자세 변환을 실시할 때에 항상 기판의 전체가 젖은 상태로 함으로써, 기판에 있어서의 패턴의 도괴를 억제할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 상기 장치는 이하의 요소를 포함한다 : 복수 장의 기판을 연직 자세의 상태로 일괄하여 처리하는 배치식 처리부 ; 한 장의 기판을 수평 자세의 상태로 처리하는 매엽식 처리부 ; 상기 배치식 처리부에서 처리를 마친 복수 장의 기판을 유지하여, 연직 자세에서 수평 자세로 변환하는 자세 변환부 ; 상기 배치식 처리부에서 처리를 마친 복수 장의 기판을 상기 자세 변환부로 반송하는 제 1 반송부 ; 상기 자세 변환부에서 수평 자세가 된 기판을 상기 매엽식 처리부로 반송하는 제 2 반송부 ; 상기 자세 변환부에서 자세가 변환되는 복수 장의 기판을 수용하여, 자세 변환이 실시되기까지의 동안에, 복수 장의 기판을 순수 중에 침지시키는 침지조.
본 발명에 의하면, 배치식 처리부에서 처리를 마친 복수 장의 기판은, 제 1 반송부에 의해 자세 변환부로 반송된다. 이 때, 자세 변환이 실시되기까지의 동안에, 복수 장의 기판은 침지조에서 순수 중에 침지되어 있다. 따라서, 연직 자세인 복수 장의 기판에 대하여 수평 자세로 자세 변환이 실시될 때, 항상 기판 전체가 젖은 상태로 할 수 있다. 그 결과, 제 2 반송부로 매엽식 처리부에 기판을 반송하여 처리를 실시해도, 기판에 있어서의 패턴의 도괴를 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 침지조와, 수평 자세가 된 상기 복수 장의 기판을 상대적으로 승강시키는 승강 기구를 추가로 구비하고, 상기 제 2 반송부가 기판을 수취할 때, 상기 복수 장의 기판 중, 반송 대상인 기판만을 상기 침지조의 액면으로부터 상방에 위치하도록 이동시키는 것이 바람직하다.
제 2 반송부에 의해 반송되지 않는 반송 대상 외의 기판은 침지조의 액면하에 위치한다. 따라서, 제 2 반송부에 의한 반송 대상이 될 때까지, 기판이 건조되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 기판 (W) 의 패턴의 도괴를 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 자세 변환부는, 복수 장의 기판의 면을 소정의 정렬 방향과 직교하는 자세로 하여, 복수 장의 기판을 수용하는 조내 캐리어와, 상기 정렬 방향과 직교하는 수평축 둘레로 상기 조내 캐리어를 상기 침지조 내의 액면하에서 회전시키는 회전 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
조내 캐리어를 회전 기구에 의해 회전시키기 때문에, 조내 캐리어에 오손 (汚損) 등이 발생한 경우에는, 조내 캐리어만을 교환함으로써 회복시킬 수 있다. 따라서, 다운 타임을 짧게 할 수 있어, 가동률의 향상을 기대할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 승강 기구는, 상기 침지조의 내측면을 따라 연장된 배판부와, 상기 배판부의 하단부에 형성되고, 수평 방향으로 연장되어, 상기 조내 캐리어를 지지하는 지지부를 구비한 리프터를 구비하고, 상기 조내 캐리어의 전체를 상기 침지조의 액면하에 지지하는 침하 위치와, 상기 침하 위치보다 하방으로서, 상기 조내 캐리어의 하면으로부터 상기 지지부가 이간된 회전 위치와, 상기 제 1 반송부와의 사이에서 기판을 주고 받기 하는 전달 위치와, 상기 반송 대상인 기판만을 상기 침지조의 액면으로부터 상방에 위치시키는 반송 위치로 상기 리프터를 이동시키는 것이 바람직하다.
승강 기구는, 침하 위치와, 회전 위치와, 전달 위치와, 반송 위치에 걸쳐 리프터를 이동시킨다. 이로써, 복수 장의 기판을 모두 순수에 침지시키거나, 액면하에서 수평 자세로 변환시키거나, 제 1 반송부에 기판을 전달시키거나, 제 2 반송부에 기판을 반송시키거나 할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 회전 기구는, 상기 조내 캐리어 중 상기 정렬 방향과 직교하는 측면에 연결되는 연결 위치와, 상기 측면으로부터 이간된 개방 위치에 걸쳐 이동 가능한 한 쌍의 회전축과, 상기 조내 캐리어에 있어서의 복수 장의 기판의 자세를 변환하기 위해, 상기 연결 위치에 있는 상기 한 쌍의 회전축을 회전 구동하는 회전 구동부를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
연결 위치에 있는 한 쌍의 회전축을 회전 구동부에 의해 회전 구동함으로써, 조내 캐리어를 회전시켜 복수 장의 기판의 자세를 수평 자세로 일괄하여 변환할 수 있다. 따라서, 간이한 구조로 복수 장의 기판의 자세를 변환할 수 있으므로, 장치 비용을 억제할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 회전축을 상기 연결 위치와 상기 개방 위치로 이동시키는 진퇴 구동 기구를 구비하고, 상기 진퇴 구동 기구가 상기 연결 위치에 상기 한 쌍의 회전축을 진출시키고, 상기 리프터를 상기 회전 위치로 이동시킨 상태에서, 상기 회전 구동부에 의해 상기 조내 캐리어에 있어서의 복수 장의 기판의 자세를 변환하는 것이 바람직하다.
진퇴 구동 기구가 연결 위치에 한 쌍의 회전축을 진출시키고, 리프터를 회전 위치로 이동시킨 상태에서, 회전 구동부에 의해 조내 캐리어에 있어서의 복수 장의 기판의 자세를 변환한다. 따라서, 리프터와 조내 캐리어가 간섭하는 일 없이, 복수 장의 기판에 대해 자세를 변환할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 조내 캐리어는, 저면에 개구를 구비하고, 상기 리프터는, 상기 지지부가 상기 개구를 폐색하지 않는 위치에 형성되고, 복수 장의 기판의 하측 가장자리를 지지하며, 상기 개구 및 상기 지지부에 간섭하지 않는 형상을 나타내고, 상기 조내 캐리어의 하방이면서, 또한 상기 침지조의 저부에 해당하는 대기 위치와, 상기 제 1 반송부와의 사이에서 복수 장의 기판을 주고 받기하는 위치로서, 상기 침지조에 있어서의 액면의 상방에 해당하는 이재 (移載) 위치로 승강하는 푸셔를 구비하고, 상기 제 1 반송부가 복수 장의 기판을 상기 자세 변환부로 반송하여 왔을 때에는, 상기 푸셔를 상기 이재 위치로 상승시켜 상기 복수 장의 기판을 수취한 후, 상기 푸셔를 상기 대기 위치로 하강시켜 상기 조내 캐리어에 상기 복수 장의 기판을 전달하는 것이 바람직하다.
푸셔를 이재 위치로 상승시킨 상태에서 제 1 반송부로부터 복수 장의 기판을 수취할 수 있다. 푸셔를 대기 위치로 하강시킴으로써, 조내 캐리어에 복수 장의 기판을 전달할 수 있다. 따라서, 푸셔의 승강 동작에 의해 제 1 반송부로부터 조내 캐리어에 복수 장의 기판을 전달할 수 있다.
본 발명을 예시하기 위한 목적으로, 도면들에는 바람직한 몇 가지 형태들이 도시되어 있으나, 본 발명은 도시된 배열 및 수단으로 제한되는 것이 아님은 물론이다.
도 1 은, 실시예에 관련된 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 2 는, 수중 자세 변환부의 평면도이다.
도 3 은, 수중 자세 변환부의 측면도이다.
도 4 는, 수중 자세 변환부의 정면도이다.
도 5 는, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 6 은, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 7 은, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 8 은, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 9 는, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 10 은, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 11 은, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 12 는, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
도 13 은, 수중 자세 변환부의 변형예를 나타내는 측면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해서 설명한다.
도 1 은, 실시예에 관련된 기판 처리 장치의 평면도이다.
<1. 전체 구성>
기판 처리 장치 (1) 는, 반입출 블록 (3) 과, 스토커 블록 (5) 과, 이재 블록 (7) 과, 처리 블록 (9) 을 구비하고 있다.
기판 처리 장치 (1) 는, 기판 (W) 을 처리한다. 기판 처리 장치 (1) 는, 예를 들면, 기판 (W) 에 대해 약액 처리, 세정 처리, 건조 처리 등을 실시한다. 기판 처리 장치 (1) 는, 배치식과 매엽식을 겸비한 처리 방식 (이른바 하이브리드 방식) 을 채용하고 있다. 배치식은, 복수 장의 기판 (W) 을 연직 자세의 상태로 일괄하여 처리한다. 매엽식은, 한 장의 기판 (W) 을 수평 자세의 상태로 처리한다.
본 명세서에서는, 편의상, 반입출 블록 (3) 과, 스토커 블록 (5) 과, 이동 탑재 블록 (7) 과, 처리 블록 (9) 이 정렬하는 방향을, 「전후 방향 (X)」이라고 부른다. 전후 방향 (X) 은 수평이다. 전후 방향 (X) 중, 스토커 블록 (5) 으로부터 반입출 블록 (3) 을 향하는 방향을 「전방」이라고 부른다. 전방과 반대의 방향을 「후방」이라고 부른다. 전후 방향 (X) 과 직교하는 수평 방향을,「폭 방향 (Y)」이라고 부른다. 「폭 방향 (Y)」의 일방향을 적절히 「우방」이라고 부른다. 우방과는 반대의 방향을 「좌방」이라고 부른다. 수평 방향에 대해 수직인 방향을 「연직 방향 (Z)」이라고 부른다. 각 도면에서는, 참고로서 전, 후, 우, 좌, 상, 하를 적절히 나타낸다.
<2. 반입출 블록>
반입출 블록 (3) 은, 투입부 (11) 와 불출부 (13) 를 구비하고 있다. 투입부 (11) 와 불출부 (13) 는, 폭 방향 (Y) 에 배치되어 있다. 기판 (W) 은, 복수 장 (예를 들어, 25 장) 이 하나의 캐리어 (C) 내에 수평 자세로 일정한 간격을 두고 적층 수납되어 있다. 미처리의 기판 (W) 을 수납한 캐리어 (C) 는, 투입부 (11) 에 재치된다. 투입부 (11) 는, 예를 들어, 캐리어 (C) 가 재치되는 재치대 (15) 를 2 개 구비하고 있다. 캐리어 (C) 는, 기판 (W) 의 면끼리를 이간하여, 기판 (W) 을 한 장씩 수용하는 홈 (도시 생략) 이 복수 개 형성되어 있다. 캐리어 (C) 로는, 예를 들어 FOUP (Front Opening Unify Pod) 가 있다. FOUP 는, 밀폐형 용기이다. 캐리어 (C) 는, 개방형 용기여도 되며, 종류를 묻지 않는다.
불출부 (13) 는, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 폭 방향 (Y) 의 중앙부를 사이에 둔 투입부 (11) 의 반대측에 배치되어 있다. 불출부 (13) 는, 투입부 (11) 의 좌방 (Y) 에 배치되어 있다. 불출부 (13) 는, 처리를 마친 기판 (W) 을 캐리어 (C) 에 수납하여 캐리어 (C) 째 내보낸다. 이와 같이 기능하는 불출부 (13) 는, 투입부 (11) 와 마찬가지로, 예를 들어, 캐리어 (C) 를 재치하기 위한 2 개의 재치대 (17) 를 구비하고 있다. 투입부 (11) 와 불출부 (13) 는, 로드 포트라고도 불린다.
<3. 스토커 블록>
스토커 블록 (5) 은, 반입출 블록 (3) 의 후방 (X) 에 인접하여 배치되어 있다. 스토커 블록 (5) 은, 반송 수납부 (ACB) 를 구비하고 있다. 반송 수납부 (ACB) 는, 반송 기구 (19) 와 선반 (21) 을 구비하고 있다.
반송 기구 (19) 는, 캐리어 (C) 를 반송한다. 반송 수납부 (ACB) 는, 복수 개의 선반 (21) 을 구비하고 있다. 선반 (21) 에는, 캐리어 (C) 가 단순히 일시적으로 재치되는 것과, 제 1 반송 기구 (HTR) 와의 사이에 있어서의 전달을 위해 캐리어 (C) 가 재치되는 것이 있다. 반송 수납부 (ACB) 는, 미처리의 기판 (W) 이 수납된 캐리어 (C) 를 투입부 (11) 로부터 도입하여 선반 (21) 에 재치한다. 반송 수납부 (ACB) 는, 처리의 순서를 규정하는 스케줄에 따라, 전달용의 선반 (21) 에 캐리어 (C) 를 반송하여 재치한다. 반송 수납부 (ACB) 는, 전달용의 선반 (21) 에 재치되고 비워진 캐리어 (C) 를 선반 (21) 에 반송하여 재치한다. 반송 수납부 (ACB) 는, 전달용의 선반 (21) 에 재치되고, 처리된 기판 (W) 이 제 1 반송 기구 (HTR) 에 의해 수납된 캐리어 (C) 를 선반 (21) 에 반송하여 재치한다. 반송 수납부 (ACB) 는, 선반 (21) 에 재치되고, 처리된 기판 (W) 이 수납된 캐리어 (C) 를 불출부 (13) 로 반출한다.
<4. 이재 블록>
이재 블록 (7) 은, 스토커 블록 (5) 의 후방 (X) 에 인접하여 배치되어 있다. 이재 블록 (7) 은, 제 1 반송 기구 (HTR) 와, 이재 기구 (CTC) 와, 제 2 반송 기구 (WTR) 를 구비하고 있다.
반송 수납부 (ACB) 의 후방 (X) 중 우방 (Y) 에는, 제 1 반송 기구 (HTR) 가 배치되어 있다. 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 일괄하여 반송한다. 환언하면, 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 복수 개의 핸드 (도시 생략) 를 구비하고 있다. 1 개의 핸드는, 1 장의 기판 (W) 을 지지한다. 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 1 장의 기판 (W) 만을 반송할 수도 있다. 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 반송 수납부 (ACB) 에 있어서의 전달용의 선반 (21) 에 재치된 캐리어 (C) 로부터, 일괄하여 복수 장의 기판 (W) (예를 들면, 25 장) 을 꺼내고, 이재 기구 (CTC) 에 반송한다. 이 때, 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 기판 (W) 의 자세를 수평 자세에서 연직 자세로 변환한다. 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 후술하는 처리 블록 (9) 으로부터 처리를 마친 복수 장의 기판 (W) 을 일괄하여 수취한다. 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 반송 수납부 (ACB) 의 전달용 선반 (21) 에 재치되어 있는 캐리어 (C) 에 대해, 처리를 마친 복수 장의 기판 (W) 을 일괄하여 반송한다.
제 1 반송 기구 (HTR) 의 좌방 (Y) 에는, 이재 기구 (CTC) 가 배치되어 있다. 이재 기구 (CTC) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 제 1 반송 기구 (HTR) 와 제 2 반송 기구 (WTR) 의 사이에서 주고 받는다. 이재 기구 (CTC) 는, 제 1 반송 기구 (HTR) 와 제 2 반송 기구 (WTR) 의 사이에서 복수 장의 기판 (W) 을 폭 방향 (Y) 으로 반송한다. 이재 기구 (CTC) 는, 제 1 반송 기구 (HTR) 로부터 복수 장의 기판 (W) 을 수취한 후, 폭 방향 (Y) 에 있어서 제 2 반송 기구 (WTR) 로 이동한다. 그 때에는, 이재 기구 (CTC) 는, 배치 로트의 조립 또는 배치 로트의 해제를 실시한다. 이재 기구 (CTC) 는, 예를 들면, 어느 하나의 캐리어 (C) 로부터 꺼낸 하나의 로트를 구성하는 복수 장의 기판 (W) 과, 다른 캐리어 (C) 로부터 꺼낸 다른 하나의 로트를 구성하는 복수 장의 기판 (W) 을 하나의 배치 로트로서 조합한다. 이것이 배치 로트의 조립이다. 이 반대의 동작이 배치 로트의 해제가 된다. 요컨대, 하나의 배치 로트의 하나의 로트를 구성하는 복수 장의 기판 (W) 과, 동일한 배치 로트의 다른 로트를 구성하는 복수 장의 기판 (W) 을 각각 분리하여 원래의 로트로 되돌린다. 통상, 캐리어 (C) 로부터 꺼낸 복수 장의 기판 (W) 의 간격은, 캐리어 (C) 와 동일한 간격이다. 이것을 풀 피치라고 부른다. 하나의 배치 로트에서는, 예를 들어 복수 장의 기판 (W) 의 간격이 풀 피치의 절반이 된다. 이것을 하프 피치라고 부른다. 또한, 본 발명은 피치에 대해서 묻지 않으므로, 발명의 이해를 용이하게 하기 위해, 이하의 설명에 있어서는 피치에 대한 상세한 설명을 생략한다.
또한, 이하의 설명에 있어서는, 처리 대상인 로트의 구성에 대해서는 묻지 않는다. 즉, 통상의 로트여도 배치 로트여도 동일하므로, 이하의 설명에 있어서는, 처리 대상을 단순히 로트나 복수 장의 기판 (W) 이라고 부른다.
제 2 반송 기구 (WTR) 는, 이재 기구 (CTC) 의 좌방 (Y) 에 배치되어 있다. 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 이재 블록 (7) 과 처리 블록 (9) 에 걸쳐 이동 가능하게 구성되어 있다. 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 전후 방향 (X) 으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 로트를 반송하는 한 쌍의 핸드 (23) 를 구비하고 있다. 한 쌍의 핸드 (23) 는, 예를 들면, 폭 방향 (Y) 으로 향해진 회전축을 구비하고 있다. 한 쌍의 핸드 (23) 는, 이 회전축 둘레로 요동한다. 한 쌍의 핸드 (23) 는, 로트를 구성하는 복수 장의 기판 (W) 의 양단면을 협지 (挾持) 한다. 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 이재 기구 (CTC) 와의 사이에서 복수 장의 기판 (W) 을 전달한다. 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 처리 블록 (9) 에 대해 미처리의 복수 장의 기판 (W) 을 전달한다.
또한, 상기 서술한 제 2 반송 기구 (WTR) 가 본 발명에 있어서의 「제 1 반송부」에 상당한다.
<5. 처리 블록>
처리 블록 (9) 은, 기판 (W) 에 대해 처리를 실시한다. 처리 블록 (9) 은, 제 2 반송 기구 (WTR) 를 제외하고, 예를 들면, 폭 방향 (Y) 에 있어서 제 1 열 (R1) 과, 제 2 열 (R2) 과, 제 3 열 (R3) 로 나누어져 있다. 상세하게는, 제 1 열 (R1) 은, 좌방 (Y) 에 배치되어 있다. 제 2 열 (R2) 은, 폭 방향 (Y) 의 중앙부에 배치되어 있다. 환언하면, 제 2 열 (R2) 은, 제 1 열 (R1) 의 우방 (Y) 에 배치되어 있다. 제 3 열 (R3) 은, 제 2 열 (R2) 의 우방 (Y) 에 배치되어 있다.
<5-1. 제 1 열>
제 1 열 (R1) 은, 주로 배치식 처리부를 구비하고 있다. 구체적으로, 제 1 열 (R1) 은, 제 1 배치 처리부 (BPU1) 와, 제 2 배치 처리부 (BPU2) 와, 제 3 배치 처리부 (BPU3) 와, 수중 자세 변환부 (25) 를 구비하고 있다. 제 1 배치 처리부 (BPU1) 는, 이재 블록 (7) 의 후방 (X) 에 인접한다. 제 2 배치 처리부 (BPU2) 는, 제 1 배치 처리부 (BPU1) 의 후방 (X) 에 인접한다. 제 3 배치 처리부 (BPU3) 는, 제 2 배치 처리부 (BPU2) 의 후방 (X) 에 인접한다. 수중 자세 변환부 (25) 는, 제 3 배치 처리부 (BPU3) 의 후방 (X) 에 인접한다.
또한, 제 1 배치 처리부 (BPU1) 와, 제 2 배치 처리부 (BPU2) 와, 제 3 배치 처리부 (BPU3) 가 본 발명에 있어서의 「배치식 처리부」에 상당한다.
제 1 배치 처리부 (BPU1) 는, 예를 들어, 약액 처리부 (CHB1) 이다. 약액 처리부 (CHB1) 는, 예를 들어, 인산 처리를 실시한다. 인산 처리는, 처리액으로서 인산을 사용한다. 인산 처리는, 복수 장의 기판 (W) 에 에칭 처리를 실시한다. 에칭 처리는, 예를 들면, 기판 (W) 에 피착된 피막의 막두께를 화학적으로 깎는다. 피막은, 예를 들어 질화막이다.
약액 처리부 (CHB1) 는, 처리조 (27) 와, 리프터 (LF1) 를 구비하고 있다. 처리조 (27) 는, 처리액을 저류한다. 처리조 (27) 는, 예를 들어, 처리액을 하방으로부터 상방을 향해 공급한다. 리프터 (LF1) 는, 연직 방향 (Z) 으로 승강한다. 구체적으로는, 리프터 (LF1) 는, 처리조 (27) 의 내부에 해당하는 처리 위치와, 처리조 (27) 의 상방에 해당하는 전달 위치에 걸쳐 승강한다. 리프터 (LF1) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 연직 자세로 유지한다. 리프터 (LF1) 는, 전달 위치에 있어서, 복수 장의 기판 (W) 을 제 2 반송 기구 (WTR) 와의 사이에서 주고 받는다.
제 2 배치 처리부 (BPU2) 는, 예를 들어, 약액 처리부 (CHB2) 이다. 약액 처리부 (CHB2) 는, 약액 처리부 (CHB1) 와 동일한 구성을 구비하고 있다. 즉, 약액 처리부 (CHB2) 는, 처리조 (27) 와, 리프터 (LF2) 를 구비하고 있다. 약액 처리부 (CHB2) 는, 약액 처리부 (CHB1) 와 동일한 처리를 실시한다. 즉, 동일한 약액 처리를 실시하는 처리부가 복수 존재한다. 이것은, 인산 처리가 다른 약액 처리나 순수 세정 처리 등과 비교하여 장시간을 필요로 하기 때문이다. 인산 처리는, 예를 들면, 60 분 정도를 필요로 한다. 그 때문에, 복수 대의 처리부에서 병행하여 처리를 실시함으로써, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
제 3 배치 처리부 (CHB3) 는, 예를 들면, 순수 처리부 (ONB) 이다. 순수 처리부 (ONB) 는, 약액 처리부 (CHB1, CHB2) 와 유사한 구성을 구비한다. 구체적으로는, 처리조 (27) 와, 리프터 (LF3) 를 구비하고 있다. 단, 처리조 (27) 는, 순수 세정 처리를 위해서 주로 순수가 공급된다. 순수 처리부 (ONB) 의 처리조 (27) 는, 복수 장의 기판 (W) 에 부착되어 있는 약액을 세정한다. 환언하면, 순수 처리부 (ONB) 의 처리조 (27) 는, 복수 장의 기판 (W) 에 부착되어 있는 약액을 세정한다. 순수 처리부 (ONB) 는, 예를 들어, 처리조 (27) 내에 있어서의 순수의 비저항이 소정값으로 상승하면, 세정 처리를 종료한다.
<5-2. 제 2 열>
제 2 열 (R2) 은, 센터 로봇 (CR) 을 구비하고 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 핸드 (29) 를 구비하고 있다. 핸드 (29) 는, 1 장의 기판 (W) 을 유지한다. 센터 로봇 (CR) 은, 예를 들면, 연직 방향 (Z) 으로 또 하나의 핸드 (29) 를 구비하는 구성을 채용해도 된다. 센터 로봇 (CR) 은, 전후 방향 (X) 으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 연직 방향 (Z) 으로 승강 가능하게 구성되어 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 전후 방향 (X) 및 폭 방향 (Y) 을 포함하는 수평면 내에서 선회 가능하게 구성되어 있다. 핸드 (29) 는, 전후 방향 (X) 및 폭 방향 (Y) 을 포함하는 수평면 내에서 진퇴 가능하게 구성되어 있다. 핸드 (29) 는, 수중 자세 변환부 (25) 로부터 기판 (W) 을 1 장씩 수취한다. 센터 로봇 (CR) 은, 제 3 열 (R3) 에 대해 1 장씩 기판 (W) 을 건넨다. 또한, 센터 로봇 (CR) 이 2 개의 핸드 (29) 를 구비하는 경우에는, 수중 자세 변환부 (25) 로부터 2 장의 기판 (W) 을 수취하고, 제 3 열 (R3) 에 대해 1 장씩 2 군데에 기판 (W) 을 건넨다.
상기 서술한 센터 로봇 (CR) 이 본 발명에 있어서의 「제 2 반송부」에 상당한다.
<5-3. 제 3 열>
제 3 열 (R3) 은, 주로 매엽식 처리부를 구비하고 있다. 구체적으로는, 제 3 열 (R3) 은, 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 와, 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 와, 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 와, 버퍼부 (31) 를 구비하고 있다. 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 는, 전후 방향 (X) 의 가장 안쪽에 배치되어 있다. 환언하면, 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 는, 폭 방향 (Y) 에 있어서 제 2 열 (R2) 을 사이에 두고 수중 자세 변환부 (25) 의 반대측에 배치되어 있다. 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 는, 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 의 전방 (X) 에 인접한다. 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 는, 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 의 전방 (X) 에 인접한다. 버퍼부 (31) 는, 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 의 전방 (X) 이면서, 제 1 반송 기구 (HTR) 의 후방 (X) 에 인접한다.
또한, 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 와, 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 와, 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 가 본 발명에 있어서의 「매엽식 처리부」에 상당한다.
제 1 매엽 처리부 (SWP1) 및 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 는, 예를 들어, 회전 처리부 (33) 와, 노즐 (35) 을 구비하고 있다. 회전 처리부 (33) 는, 기판 (W) 을 수평면 내에서 회전 구동한다. 노즐 (35) 은, 처리액을 기판 (W) 에 공급한다. 노즐 (35) 은, 회전 처리부 (33) 로부터 떨어진 대기 위치와, 회전 처리부 (33) 의 상방의 공급 위치에 걸쳐 요동한다. 처리액은, 예를 들어, IPA (이소프로필알코올) 나 순수이다. 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 및 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 는, 예를 들어, 기판 (W) 에 대해 순수로 세정 처리를 실시한 후, IPA 로 예비적인 건조 처리를 실시한다.
제 3 매엽 처리부 (SWP3) 는, 예를 들어, 초임계 유체 챔버 (37) 를 구비하고 있다. 초임계 유체 챔버 (37) 는, 예를 들어, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시한다. 이 때 사용되는 유체는, 예를 들어 이산화탄소이다. 초임계 유체 챔버 (37) 는, 처리액을 초임계 상태로 하여 기판 (W) 에 대해 처리를 실시한다. 초임계 상태는, 유체를 유체에 고유한 임계 온도와 임계 압력으로 함으로써 얻어진다. 구체적으로는, 유체가 이산화탄소인 경우, 임계 온도 = 31 ℃, 임계 압력 7.38 MPa 이다. 초임계 상태에서는, 유체의 표면 장력이 제로가 된다. 그 때문에, 기판 (W) 의 패턴에 기액 계면의 영향이 생기지 않는다. 따라서, 기판 (W) 에 있어서의 패턴 도괴가 발생하기 어렵다.
버퍼부 (31) 는, 예를 들어, 복수 단의 적재 선반 (39) 을 구비하고 있다. 복수의 재치 선반 (39) 은, 연직 방향 (Z) 으로 적층 배치되어 있는 것이 바람직하다. 복수의 재치 선반 (39) 은, 적어도 1 로트분의 기판 (W) 을 재치할 수 있다. 제 1 반송 기구 (HTR) 가 복수 장의 기판 (W) 을 일괄하여 꺼낼 수 있으므로, 한 장씩 기판 (W) 을 꺼내는 경우에 비해 제 1 반송 기구 (HTR) 의 부담을 줄일 수 있다. 버퍼부 (31) 는, 수평 방향의 상이한 복수 방향에서부터 액세스할 수 있다. 센터 로봇 (CR) 은, 제 2 열 (R2) 측에서부터 우측 방향 (Y) 을 향해 기판 (W) 을 재치하기 위해 버퍼부 (39) 에 액세스한다. 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 전방 (X) 으로부터 후방 (X) 을 향해 1 로트분의 기판 (W) 을 수취하기 위해 버퍼부 (39) 에 액세스한다. 제 1 반송 기구 (HTR) 는, 1 로트 미만의 장수의 기판 (W) 을 수취할 수도 있다. 상기 서술한 센터 로봇 (CR) 은, 복수의 재치 선반 (39) 과의 사이에서 기판 (W) 을 주고 받을 수 있도록 연직 방향 (Z) 으로 승강한다.
상기 서술한 제 1 매엽 처리부 (SPW1) 와, 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 와, 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 는, 각각 동일한 처리부가 연직 방향 (Z) 으로 다단으로 적층되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
<6. 수중 자세 변환부>
여기서, 도 2 ∼ 4 를 참조하여, 수중 자세 변환부에 대해 설명한다. 도 2 는, 수중 자세 변환부의 평면도이다. 도 3 은, 수중 자세 변환부의 측면도이다. 도 4 는, 수중 자세 변환부의 정면도이다.
수중 자세 변환부 (25) 는, 자세 변환부 (41) 와, 침지조 (43) 와, 리프터 (LF4) 와, 푸셔 (45) 를 구비하고 있다. 자세 변환부 (41) 는, 조내 캐리어 (47) 와, 회전 기구 (49) 를 구비하고 있다.
조내 캐리어 (47) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 연직 자세로 수납한다. 조내 캐리어 (47) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 소정의 정렬 방향에서 소정 간격으로 이간하여 수납한다. 기판 (W) 의 면은, 정렬 방향과 직교하는 방향이다. 이 예에 있어서의 정렬 방향은, 폭 방향 (Y) 이다. 조내 캐리어 (47) 는, 저부에 개구 (51) 가 형성되어 있다. 조내 캐리어 (47) 는, 상면에 개구 (53) 가 형성되어 있다. 개구 (53) 는, 전후 방향 (X) 의 길이가 기판 (W) 의 직경보다 길다. 개구 (51) 는, 개구 (53) 보다 개구 면적이 좁다. 조내 캐리어 (47) 는, 걸어맞춤부 (55) 를 구비하고 있다. 걸어맞춤부 (55) 는, 조내 캐리어 (47) 의 전후 방향 (X) 에 있어서의 2 개의 외측면에 형성되어 있다. 걸어맞춤부 (55) 는, 복수 장의 기판 (W) 의 정렬 방향과 직교하는 방향의 외측면에 형성되어 있다.
침지조 (43) 는, 조내 캐리어 (47) 를 수용한다. 침지조 (43) 는, 저면에 있어서의 전후 방향 (X) 의 양단에 분출관 (43a) 을 구비하고 있다. 각각의 분출관 (43a) 은, 통 형상을 나타낸다. 각 분출관 (43a) 은, 폭 방향 (Y) 으로 장축을 갖는다. 각 분출관 (43a) 은, 폭 방향 (Y) 으로 길다. 각 분출관 (43a) 은, 침지조 (43) 의 전후 방향 (X) 에 있어서의 중앙부를 향하여 순수를 공급한다. 각 분출관 (43a) 은, 침지조 (43) 의 저부에서부터 상방을 향하는 순수의 상승류를 형성한다. 각 분출관 (43a) 으로부터 침지조 (43) 에 공급된 순수는, 침지조 (43) 의 상부 가장자리를 넘어서 배출된다.
회전 기구 (49) 는, 에어 실린더 (57) 와, 모터 (59) 를 구비하고 있다. 에어 실린더 (57) 는, 작동축 (57a) 과, 걸어맞춤편 (57b) 을 구비하고 있다. 작동축 (57a) 은, 에어 실린더 (57) 의 온오프에 따라서 전후 방향 (X) 으로 진퇴 구동된다. 침지조 (43) 는, 관통 구멍 (44) 이 형성되어 있다. 관통공 (44) 은, 침지조 (43) 의 전후 방향 (X) 의 측벽에 형성되어 있다. 작동축 (57a) 은, 침지조 (43) 의 관통 구멍 (44) 에 액밀 상태로 장착되어 있다. 작동축 (57a) 은, 액밀 상태로 전후 방향 (X) 으로 진퇴 가능하다. 작동축 (57a) 은, 액밀 상태로 전후 방향 (X) 의 축 둘레로 회전 가능하다. 환언하면, 작동축 (57a) 은, 액밀성을 유지한 상태로 침지조 (43) 의 중앙부에 대해 진퇴 및 회전 가능하다.
작동축 (57a) 의 걸어맞춤편 (57b) 이 걸어맞춤부 (55) 에 걸어 맞춰지는 진출 위치는, 연결 위치이다. 작동축 (57a) 의 걸어맞춤편 (57b) 이 걸어맞춤부 (55) 로부터 이간된 퇴출 위치는, 개방 위치이다. 도 2 에 나타내는 작동축 (57a) 은, 걸어맞춤편 (57b) 이 개방 위치에 위치하고 있다.
걸어맞춤편 (57b) 은, 조내 캐리어 (47) 의 걸어맞춤부 (55) 와 걸어 맞춰진다. 걸어맞춤편 (57b) 은, 걸어맞춤부 (55) 와 걸어 맞춰지도록, 외주면의 형상 (윤곽) 이 형성되어 있다. 걸어맞춤부 (55) 와 걸어맞춤편 (57b) 은, 예를 들면, 전후 방향 (X) 에서 본 형상이 다각 형상이다. 걸어맞춤편 (57b) 은, 종단면 형상에 있어서의 치수가 걸어맞춤부 (55) 보다 약간 작다. 걸어맞춤부 (55) 의 내주면의 형상과, 걸어맞춤편 (57b) 의 외주면의 형상은 서로 닮아있다. 걸어맞춤편 (57b) 이 걸어맞춤부 (55) 에 걸어 맞춰진 상태에서는, 조내 캐리어 (47) 와 작동축 (57a) 이 일체화된다. 환언하면, 걸어맞춤편 (57b) 이 걸어맞춤부 (55) 에 걸어 맞춰진 상태에서는, 조내 캐리어 (47) 는, 작동축 (57a) 에 대하여 전후 방향 (X) 의 축 둘레로 회전하지 않는다. 조내 캐리어 (47) 는, 작동축 (57a) 과 함께 전후 방향 (X) 의 축 둘레로 회전 가능하다.
에어 실린더 (57) 는, 예를 들어 온되면 작동축 (57a) 이 진출된다. 에어 실린더 (57) 는, 예를 들어 오프되면 작동축 (57a) 이 퇴출된다. 에어 실린더 (57) 는, 온되면 걸어맞춤편 (57b) 이 걸어맞춤부 (55) 에 걸어 맞춰지는 연결 위치로 이동한다. 에어 실린더 (57) 는, 오프되면 걸어맞춤편 (57b) 이 걸어맞춤부 (55) 로부터 이간된 개방 위치로 이동한다. 연결 위치에서는, 작동축 (57a) 이 조내 캐리어 (47) 와 일체가 된다. 개방 위치에서는, 작동축 (57a) 이 조내 캐리어 (47) 와 별체가 된다.
또한, 상기 서술한 2 개의 작동축 (57a) 이 본 발명에 있어서의 「한 쌍의 회전축」에 상당한다. 상기 서술한 2 개의 에어 실린더 (57) 가 본 발명에 있어서의 「진퇴 구동 기구」에 상당한다.
모터 (59) 는, 전후 방향 (X) 의 축 둘레로 에어 실린더 (57) 를 회전시킨다. 에어 실린더 (57) 가 온되고, 모터 (59) 가 제 1 방향으로 회전 구동하는 경우에는, 모터 (59) 가 조내 캐리어 (47) 를 전후 방향 (X) 의 축 둘레로 회전시킨다. 에어 실린더 (57) 가 온되고, 모터 (59) 가 제 1 방향과는 반대 방향인 제 2 방향으로 회전 구동하는 경우에는, 모터 (59) 가 조내 캐리어 (47) 를 전후 방향 (X) 의 축 둘레로 역방향으로 회전시킨다. 이들 회전 각도는, 각각 약 90°이다. 이 때의 회전 각도는, 조내 캐리어 (47) 에 수납되어 있는 복수 장의 기판 (W) 의 자세가, 수평 자세와 연직 자세로 변환되는 회전 각도이다.
또한, 상기 서술한 모터 (59) 가 본 발명에 있어서의 「회전 구동부」에 상당한다. 상기 서술한 모터 (59) 가 본 발명에 있어서의 「회전 기구」에 상당한다.
리프터 (LF4) 는, 배판부 (63) 와, 지지부 (65) 를 구비하고 있다. 배판부 (63) 는, 침지조 (43) 의 내측면을 따라 연장되어 있다. 배판부 (63) 는, 전후 방향 (X) 을 따른 내측면에 있어서, 연직 방향 (Z) 의 하방으로 연장되어 있다. 배판부 (63) 의 하단부에는, 예를 들면, 2 개의 지지부 (65) 가 장착되어 있다. 2 개의 지지부 (65) 는, 폭 방향 (Y) 으로 연장되어 있다. 2 개의 지지부 (65) 는, 전후 방향 (X) 에 있어서의 간격이 개구 (51) 보다 넓다. 리프터 (LF4) 는, 조내 캐리어 (47) 의 길이 방향이 수평 자세가 되도록 지지한다.
리프터 (LF4) 의 근처에는, 승강 기구 (67) 가 배치되어 있다. 승강 기구 (67) 는, 모터 (69) 와, 나사축 (71) 과, 리니어 가이드 (73) 와, 승강편 (75) 을 구비하고 있다. 모터 (69) 는, 회전축이 세로 방향이 되는 자세로 배치되어 있다. 모터 (69) 의 회전축에는, 나사축 (71) 이 장착되어 있다. 나사축 (71) 은, 연직 방향 (Z) 을 향하고 있다. 리니어 가이드 (73) 는, 나사축 (71) 에 평행하게 형성되어 있다. 리니어 가이드 (73) 는, 연직 방향 (Z) 을 향하고 있다. 승강편 (75) 은, 나사축 (71) 에 나사 결합되어 있다. 승강편 (75) 의 일방은, 리니어 가이드 (73) 에 자유롭게 슬라이딩할 수 있도록 장착되어 있다. 승강편 (75) 의 타방은, 연결 부재 (77) 에 장착되어 있다. 연결 부재 (77) 는, 역 L 자 형상을 나타낸다. 연결 부재 (77) 는, 배판부 (63) 의 상단에 결합되어 있다.
모터 (69) 가 회전되면, 나사축 (71) 이 회전한다. 나사축 (71) 이 회전하면, 모터 (69) 의 회전 방향에 따라서 승강편 (75) 이 리니어 가이드 (73) 를 따라 연직 방향 (Z) 으로 승강한다. 이것에 의해, 예를 들어, 리프터 (LF4) 는, 복수의 높이 위치로 승강 이동된다.
예를 들어, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 리프터 (LF4) 는, 승강 기구 (67) 에 의해, 제 1 높이 위치 (P1) 와, 제 2 높이 위치 (P2) 와, 제 3 높이 위치 (P3) 와, 제 4 높이 위치 (P4) 에 걸쳐 승강 이동된다. 제 1 높이 위치 (P1) 는, 제 2 ∼ 제 4 높이 위치 (P2 ∼ P4) 보다 낮다. 제 2 높이 위치 (P2) 는, 제 1 높이 위치 (P1) 및 제 4 높이 위치 (P4) 보다 높고, 제 3 높이 위치 (P3) 보다 낮다. 제 3 높이 위치 (P3) 는, 제 1 높이 위치 (P1) 및 제 2 높이 위치 (P2) 및 제 4 높이 위치 (P4) 보다 높다. 제 4 높이 위치 (P4) 는, 제 1 높이 위치 (P1) 보다 높고, 제 2 높이 위치 (P2) 및 제 3 높이 위치 (P3) 보다 낮다.
제 1 높이 위치 (P1) 는, 리프터 (LF4) 의 지지부 (65) 가 침지조 (43) 의 저면 부근에 위치한다. 제 1 높이 위치 (P1) 는, 회전 기구 (49) 에 의해 조내 캐리어 (47) 가 협지되고, 조내 캐리어 (47) 의 하면으로부터 지지부 (65) 가 이간된 위치이다. 제 1 높이 위치 (P1) 에서는, 조내 캐리어 (47) 가 회전 기구 (49) 에 의해 침지조 (43) 내에서 길이 방향으로 세로 회전되는 위치이다.
제 2 높이 위치 (P2) 는, 조내 캐리어 (47) 의 전체를 침지조 (43) 의 액면하에 지지하는 위치이다. 제 2 높이 위치 (P2) 에서는, 조내 캐리어 (47) 의 개구 (53) 가 액면하에 위치한다. 제 2 높이 위치 (P2) 는, 회전 기구 (49) 에 의해 조내 캐리어 (47) 에 대한 협지 동작이 실시되는 위치이다. 제 2 높이 위치 (P2) 는, 조내 캐리어 (47) 의 걸어맞춤부 (55) 와 에어 실린더 (57) 의 걸어맞춤편 (57b) 이 수평 방향에서 직선적으로 정렬하는 위치이다. 환언하면, 제 2 높이 위치 (P2) 는, 걸어맞춤부 (55) 와 걸어맞춤편 (57b) 이 수평 방향에서 대향하는 위치이다.
제 3 높이 위치 (P3) 는, 제 2 반송 기구 (WTR) 와 조내 캐리어 (47) 의 사이에서 복수 장의 기판 (W) 을 주고 받는 위치이다. 제 3 높이 위치 (P3) 는, 예를 들어, 리프터 (LF4) 의 지지부 (65) 가 침지조 (43) 의 액면보다 상방에 위치한다. 단, 조내 캐리어 (47) 의 저부가 액면의 상방에 위치하면 되므로, 반드시 지지부 (65) 가 액면의 상방에 위치할 필요는 없다.
제 4 높이 위치 (P4) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 수평 자세로 한 조내 캐리어 (47) 를 침지조 (43) 내의 수면하에 유지한다. 제 4 높이 위치 (P4) 에서부터 제 3 높이 위치 (P3) 까지의 단계적인 위치가, 센터 로봇 (CR) 에 의한 반송 대상인 기판 (W) 만을 침지조 (43) 의 액면으로부터 상방에 위치시키는 높이 위치이다.
또한, 상기 서술한 제 1 높이 위치 (P1) 가 본 발명에 있어서의 「회전 위치」에 상당한다. 상기 서술한 제 2 높이 위치 (P2) 가 본 발명에 있어서의 「침하 위치」에 상당한다. 상기 서술한 제 3 높이 위치가 본 발명에 있어서의 「전달 위치」에 상당한다. 상기 서술한 제 4 높이 위치 (P4) 에서부터 제 3 높이 위치 (P3) 까지가 본 발명에 있어서의 「반송 위치」에 상당한다.
침지조 (43) 는, 저부에 관통 구멍 (79) 이 형성되어 있다. 관통 구멍 (79) 에는, 승강 부재 (81) 가 삽입 통과되고 있다. 관통 구멍 (79) 은, 침지조 (43) 를 액밀 상태로 유지하여 승강 부재 (81) 가 삽입 통과되고 있다. 승강 부재 (81) 는, U 자 형상을 나타낸다. 승강 부재 (81) 의 일방에는, 푸셔 (45) 가 장착되어 있다. 푸셔 (45) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 일괄하여 지지할 수 있다. 푸셔 (45) 는, 기판 (W) 의 하측 가장자리에 맞닿아서 지지한다. 푸셔 (45) 는, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 조내 캐리어 (47) 의 개구 (51) 및 개구 (53) 보다 치수가 작다. 푸셔 (45) 는, 조내 캐리어 (47) 를 연직 방향 (Z) 으로 관통하여 승강할 수 있다. 푸셔 (45) 는, 리프터 (LF4) 의 지지부 (65) 중, 전후 방향 (X) 에 있어서의 간격보다 폭이 작다. 푸셔 (45) 는, 조내 캐리어 (47) 와 리프터 (LF4) 의 지지부 (65) 와 간섭하지 않는다.
푸셔 (45) 는, 인접한 위치에 승강 기구 (83) 를 갖는다. 승강 기구 (83) 는, 모터 (85) 와, 나사축 (87) 과, 리니어 가이드 (89) 와, 승강편 (91) 을 구비하고 있다. 모터 (85) 는, 회전축이 세로로 배치되어 있다. 모터 (85) 의 회전축에는, 나사축 (87) 이 장착되어 있다. 나사축 (87) 은, 연직 방향 (Z) 으로 배치되어 있다. 리니어 가이드 (89) 는, 나사축 (87) 에 대해 평행한 위치 관계로 배치되어 있다. 리니어 가이드 (89) 는, 연직 방향 (Z) 으로 배치되어 있다. 승강편 (91) 은, 나사축 (87) 에 나사 결합되어 있다. 승강편 (87) 의 일방은, 리니어 가이드 (89) 에 자유롭게 슬라이딩할 수 있도록 장착되어 있다. 승강편 (87) 의 타방은, 승강 부재 (81) 에 연결되어 있다.
모터 (85) 가 정전 구동 또는 역전 구동되면, 나사축 (87) 이 정방향 또는 역방향으로 회전한다. 모터 (85) 의 회전 방향을 따라서 승강편 (91) 이 리니어 가이드 (89) 를 따라 연직 방향 (Z) 으로 승강한다. 이것에 의해, 푸셔 (45) 는, 연직 방향 (Z) 으로 승강된다. 푸셔 (45) 는, 대기 위치와 이재 위치에 걸쳐 승강된다. 대기 위치는, 조내 캐리어 (47) 의 하방으로, 침지조 (43) 의 저부 부근이다. 이 대기 위치를 도 3 및 도 4 에 실선으로 나타낸다. 이재 위치는, 침지조 (43) 에 있어서의 액면의 상방이다. 이 이재 위치를 도 3 및 도 4 에 2 점 쇄선으로 나타낸다. 이재 위치는, 제 2 반송 기구 (WTR) 와의 사이에서 복수 장의 기판 (W) 을 전달하는 위치이다.
또한, 조내 캐리어 (47) 를 회전 기구 (49) 에 의해 회전시키므로, 조내 캐리어 (47) 에 오손 등이 발생한 경우에는, 조내 캐리어 (47) 만을 교환함으로써 회복시킬 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 다운 타임을 짧게 할 수 있어, 가동률의 향상을 기대할 수 있다.
상기 서술한 각 구성은, 제어부 (CU) 에 의해 동작이 통괄적으로 제어된다. 제어부 (CU) 는, CPU 나 메모리를 구비하고 있다. 제어부 (CU) 는, 메모리에 미리 기억된 프로그램에 의해 각 부를 조작하여, 기판 (W) 에 대한 처리를 실시한다.
<7. 동작 설명>
도 5 ∼ 도 12 를 참조하여, 상기 서술한 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 수중 자세 변환부 (25) 의 동작에 대해 설명한다. 도 5 ∼ 도 12 는, 수중 자세 변환부의 동작 설명도이다.
<7-1. 배치 처리>
복수 장의 기판 (W) 은, 약액 처리부 (CHB1) 에서 인산에 의한 에칭 처리가 실시되고, 다음으로, 순수 세정 처리부 (ONB) 에서 순수 세정 처리가 실시된 것으로 한다. 순수 세정 처리가 실시된 복수 장의 기판 (W) 은, 제 2 반송 기구 (WTR) 에 의해 수중 자세 변환부 (25) 로 반송된다.
<7-2. 자세 변환>
도 5 를 참조한다. 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 순수 처리부 (ONB) 에서 처리를 마친 복수 장의 기판 (W) 을 핸드 (23) 에 의해 협지하여 수중 자세 변환부 (25) 의 상방까지 반송한다. 이 때, 수중 자세 변환부 (25) 는, 제 2 높이 위치 (P2) 에 리프터 (LF4) 의 지지부 (65) 가 위치되어 있다. 조내 캐리어 (47) 는, 지지부 (65) 에 유지되어 있다. 침지조 (43) 는, 분출관 (43a) 으로부터 순수를 업 플로우로 공급하고 있다. 침지조 (43) 는, 상부 가장자리로부터 순수가 주위로 흘러넘치고 있다. 이로써, 침지조 (43) 는, 항상 청정한 순수로 채워진다. 회전 기구 (49) 는, 작동축 (57a) 의 걸어맞춤편 (57b) 이 개방 위치로 되어 있다. 즉, 회전 기구 (49) 는, 조내 캐리어 (47) 와 이간되어 있다. 푸셔 (45) 는, 침지조 (43) 의 대기 위치에서 이송 위치로 상승된다. 이것에 의해, 제 2 반송 기구 (WTR) 에 유지되어 있는 복수 장의 기판 (W) 의 하부 가장자리가 푸셔 (45) 에 의해 맞닿아 지지된다.
도 6 을 참조한다. 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 핸드 (23) 의 협지를 해제하여, 복수 장의 기판 (W) 을 개방한다. 이것에 의해, 복수 장의 기판 (W) 이 제 2 반송 기구 (WTR) 로부터 푸셔 (45) 로 전달된다. 다음으로, 제 2 반송 기구 (WTR) 는, 수중 자세 변환부 (25) 의 상방으로부터 대피한다. 구체적으로는, 제 1 배치 처리부 (BPU1) 의 방향으로 이동한다.
승강 기구 (67) 는, 모터 (69) 를 구동하여, 리프터 (LF4) 를 전달 위치로 상승시킨다. 구체적으로는, 리프터 (LF4) 를 제 3 높이 위치 (P3) 로 상승시킨다. 이것에 의해, 푸셔 (45) 로 하측 가장자리가 지지되어 있는 복수 장의 기판 (W) 이 조내 캐리어 (47) 에 수납된다.
도 7 을 참조한다. 승강 기구 (83) 는, 모터 (85) 를 회전 구동하여, 푸셔 (45) 를 대기 위치로 하강시킨다. 이로써, 복수 장의 기판 (W) 은, 조내 캐리어 (47) 에 완전히 수납된다.
도 8 을 참조한다. 승강 기구 (67) 는, 모터 (69) 를 회전 구동하여, 리프터 (LF4) 를 제 2 높이 위치 (P2) 로 하강시킨다.
도 9 를 참조한다. 회전 기구 (49) 는, 에어 실린더 (57) 를 작동시켜, 작동축 (57a) 을 조내 캐리어 (47) 에 진출시킨다. 회전 기구 (49) 는, 작동축 (57a) 을 연결 위치로 진출시킨다. 이로써, 조내 캐리어 (47) 의 걸어맞춤부 (55) 에, 에어 실린더 (57) 의 걸어맞춤편 (57b) 이 걸어 맞춰진다. 조내 캐리어 (47) 는, 리프터 (LF4) 로 하부가 지지된 상태에서, 한 쌍의 작동축 (57a) 에 의해 협지된다. 다음으로, 승강 기구 (67) 의 모터 (69) 를 회전 구동하여, 리프터 (LF4) 를 제 1 높이 위치 (P1) 로 하강시킨다. 이로써, 조내 캐리어 (47) 는, 한 쌍의 작동축 (57a) 만으로 협지된 상태가 된다.
도 10 을 참조한다. 자세 변환부 (41) 의 회전 기구 (49) 를 작동시킨다. 구체적으로는, 회전 기구 (49) 의 모터 (59) 를 회전 구동하여, 에어 실린더 (57) 째로 조내 캐리어 (47) 를 전후 방향 (X) 의 축 둘레로 회전시킨다. 환언하면, 모터 (59) 를 회전 구동하여, 순수 처리부 (ONB) 측에서 보아, 조내 캐리어 (47) 를 반시계 방향으로 회전시킨다. 회전 각도는, 90°이다. 이로써, 조내 캐리어 (47) 가 가로 자세 (가로로 긴 상태) 에서 세로 자세 (세로로 긴 상태) 가 된다. 따라서, 복수 장의 기판 (W) 의 자세가 연직 자세에서 수평 자세로 변환된다. 이 때, 복수 장의 기판 (W) 은, 침지조 (43) 의 순수에 침지된 채 그대로이다. 복수의 기판 (W) 은, 자세 변환이 실시될 때에, 일부라도 순수로부터 노출되는 일은 없다.
이와 같이, 연결 위치에 있는 한 쌍의 작동축 (57a) 을 회전 기구 (49) 에 의해 회전 구동함으로써, 조내 캐리어 (47) 를 회전시켜 복수 장의 기판 (W) 의 자세를 수평 자세로 일괄하여 변환할 수 있다. 따라서, 간이한 구조로 복수 장의 기판 (W) 의 자세를 변환할 수 있으므로, 장치 비용을 억제할 수 있다.
도 11 을 참조한다. 승강 기구 (67) 에 의해, 리프터 (LF4) 를 제 4 위치 (P4) 로 상승시킨다. 이로써, 리프터 (LF4) 의 유지부 (65) 가, 세로 자세가 된 조내 캐리어 (47) 를 액 중에서 유지한다. 또한, 에어 실린더 (57) 를 수축 동작시켜, 작동축 (57a) 을 개방 위치로 이동시킨다. 이로써, 조내 캐리어 (47) 는, 리프터 (LF4) 만으로 유지된다.
도 12 를 참조한다. 승강 기구 (67) 에 의해, 리프터 (LF4) 를 제 4 위치 (P4) 로부터 상승시켜, 조내 캐리어 (47) 의 가장 위에 있는 기판 (W) 만이 액면으로부터 노출되는 위치까지 상승시킨다. 이 기판 (W) 은, 센터 로봇 (CR) 에 의해 반송되는 반송 대상이다. 이로써, 최상 위치의 기판 (W) 은, 침지조 (43) 에 저류되어 있는 순수를 상면에 담은 상태로 침지조 (43) 의 액면으로부터 상방으로 노출된다. 이 상태로 센터 로봇 (CR) 은 핸드 (29) 를 조내 캐리어 (47) 에 진출시키고, 최상 위치의 기판 (W) 을 반출한다.
센터 로봇 (CR) 이 다음 기판 (W) 을 반송하기 위해서 수중 자세 변환부 (25) 로 이동한 경우에는, 승강 기구 (67) 에 의해, 리프터 (LF4) 를 더욱 상승시킨다. 구체적으로는, 조내 캐리어 (47) 가 갖는 홈의 간격분만큼 상승시킨다. 이로써, 다음 1 장의 기판 (W) 만이 침지조 (43) 의 액면으로부터 상방으로 노출된다. 이 상태에서, 센터 로봇 (CR) 이 기판 (W) 을 반출한다. 이와 같이, 센터 로봇 (CR) 이 이동해 올 때마다, 승강 기구 (67) 에 의해 리프터 (LF4) 를 서서히 상승시킨다. 이로써, 모든 기판 (W) 이 순수에 의해 젖은 상태인 채로 센터 로봇 (CR) 에 의해 반송되어 간다.
이와 같이, 센터 로봇 (CR) 에 의해 반송되지 않는 반송 대상 외인 기판 (W) 은 침지조 (43) 의 액면하에 위치한다. 따라서, 센터 로봇 (CR) 에 의한 반송 대상이 될 때까지, 기판 (W) 이 건조되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 기판 (W) 의 패턴의 도괴를 억제할 수 있다.
<7-3. 매엽 처리>
상기 서술한 바와 같이 하여 센터 로봇 (CR) 에 의해 반송된 기판 (W) 은, 예를 들면, 다음과 같이 처리된다.
센터 로봇 (CR) 은, 기판 (W) 을 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 에 반송한다. 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 는, 예를 들어, 회전 처리부 (33) 에서 기판 (W) 을 회전시키면서, 노즐 (35) 로부터 순수를 공급한다. 그 후, 기판 (W) 에 대해 노즐 (35) 로부터 IPA 를 공급하여, 기판 (W) 의 순수를 IPA 로 치환한다. 그 후, 기판 (W) 이 센터 로봇 (CR) 에 의해 반출되어, 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 로 반송된다. 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 에서는, 초임계 유체 챔버 (37) 에 기판 (W) 이 반입된다. 기판 (W) 은, 초임계 유체 챔버 (37) 내에 있어서 이산화탄소에 의해 건조 처리가 실시된다. 초임계 유체 챔버 (37) 에 있어서의 건조 처리에 의해, 기판 (W) 에 마무리 건조 처리가 실시된다. 이로써 기판 (W) 이 완전히 건조되지만, 기판 (W) 에 형성되어 있는 패턴의 도괴는 억제된다.
초임계 유체 챔버 (37) 에서 처리를 마친 기판 (W) 은, 센터 로봇 (CR) 에 의해 버퍼부 (31) 에 반송된다. 센터 로봇 (CR) 은, 버퍼부 (31) 의 재치 선반 (39) 에 기판 (W) 을 재치한다. 버퍼부 (31) 에 1 로트분의 기판 (W) 이 재치되면, 제 1 반송 기구 (HTR) 가 복수 장의 기판 (W) 을 한번에 반송 수납부 (ACB) 로 반송한다. 반송 수납부 (ACB) 는, 캐리어 (C) 째로 불출부 (13) 로 반송한다. 상기 서술한 바와 같은 매엽 처리와 그 후의 반송을 조내 캐리어 (47) 의 모든 기판 (W) 에 대해 실시한다. 이로써, 복수 장의 모든 기판 (W) 에 대해 배치 처리 및 매엽 처리를 실시할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 배치식 처리부에서 처리를 마친 복수 장의 기판 (W) 은, 제 2 반송 기구 (WTR) 에 의해 자세 변환부 (41) 로 반송된다. 이 때, 자세 변환이 실시되기까지의 동안에, 복수 장의 기판 (W) 은 침지조 (43) 에서 순수 중에 침지되어 있다. 따라서, 연직 자세인 복수 장의 기판 (W) 에 대하여 수평 자세로 자세 변환이 실시될 때, 항상 기판 (W) 전체가 젖은 상태로 할 수 있다. 그 결과, 센터 로봇 (CR) 으로 매엽 처리를 위해서 기판 (W) 을 반송해도, 기판 (W) 에 있어서의 패턴의 도괴를 억제할 수 있다.
또한, 패턴의 도괴를 억제할 수 있으므로, 패턴이 도괴된 기판 (W) 에 대한 패턴 제거 등의 재처리를 실시하는 것이 불필요해진다. 그 결과, 약액이나 순수의 사용량을 억제할 수 있다. 또, 동일한 장수의 기판 (W) 에 대한 처리를 완료시킬 때까지 필요로 하는 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 소비 전력을 억제할 수 있다.
<변형예>
상기 서술한 수중 자세 변환부 (25) 는, 자세 변환부 (41) 에 의해, 조내 캐리어 (47) 를 가로 자세로부터 세로 자세로 변환하여, 복수 장의 기판 (W) 을 연직 자세에서 수평 자세로 변환하였다. 그러나, 다음과 같이 수중 자세 변환부 (25A) 를 구성해도 된다. 여기서, 도 13 을 참조한다. 도 13 은, 수중 자세 변환부의 변형예를 나타내는 측면도이다.
수중 자세 변환부 (25A) 는, 자세 변환부 (41A) 를 구비한다. 리프터 (LF4) 는, 배판부 (63A) 와, 지지부 (65A) 와, 단변 지지부 (93) 와, 지지부 구동부 (95) 를 구비하고 있다. 자세 변환부 (41A) 는, 지지부 구동부 (95) 를 구비한다.
단변 지지부 (93) 는, 지지부 (65A) 중, 배판부 (63A) 와는 반대측에 장착되어 있다. 단변 지지부 (93) 는, 조내 캐리어 (37) 의 단변측을 지지한다. 지지부 구동부 (95) 는, 배판부 (63A) 의 하단부에 형성되어 있다. 지지부 구동부 (95) 는, 모터를 포함한다. 이 모터는, 회전축을 가로 방향으로 하고 있다. 이 회전축은, 전후 방향 (X) 을 향하고 있다.
지지부 구동부 (95) 는, 지지부 (65A) 를 단변 지지부 (93) 와 함께 구동한다. 구체적으로는, 지지부 구동부 (95) 는, 지지부 (65A) 가 폭 방향 (Y) 을 향하고 있는 수평 자세의 상태 (도 13 중에 있어서 2 점 쇄선으로 나타낸다) 와, 지지부 (65A) 가 연직 방향 (Z) 을 향하고 있는 연직 자세의 상태 (도 13 중에 있어서 실선으로 나타낸다) 가 되도록 구동한다. 이들 수평 자세의 상태와 연직 자세의 상태로 자세가 변환될 때의 도중의 상태를 도 13 에 있어서 점선으로 나타낸다.
이와 같은 자세 변환부 (41A) 에서는, 먼저, 지지부 (65A) 를 수평 자세의 상태 (도 13 중의 2 점 쇄선) 로 한 후, 제 2 반송 기구 (WTR) 로부터 복수 장의 기판 (W) 을 조내 캐리어 (47) 에 수취한다. 다음으로, 지지부 구동부 (95) 를 구동하여, 지지부 (65A) 를 연직 자세의 상태 (도 13 중의 실선) 로 한다. 이것에 의해, 지지부 (65A) 를 액 중에 있어서 연직 자세의 상태로 한다. 센터 로봇 (CR) 에 기판 (W) 을 전달할 때에는, 승강 기구 (67) 에 의해 리프터 (LF4) 를 연직 방향 (Z) 으로 서서히 상승시키면 된다.
이러한 자세 변환부 (41A) 에 의하면, 조내 캐리어 (47) 를 하강시키면서 자세 변환을 실시할 수 있다. 따라서, 복수 장의 기판 (W) 의 자세 변환을 신속하게 실시할 수 있다. 그 결과, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
본 발명은, 상기 실시형태에 한정되지는 않으며, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상기 서술한 실시예에서는, 기판 (W) 을 센터 로봇 (CR) 에 건넬 때에, 침지조 (43) 에 대해 조내 캐리어 (47) 를 상승시키고 있다. 그러나, 본 발명은 이러한 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 조내 캐리어 (47) 에 대해 침지조 (43) 를 하강시키는 구성으로 해도 된다.
(2) 상기 서술한 실시예에서는, 자세 변환부 (41) 가 조내 캐리어 (47) 를 구비하고 있다. 그러나 본 발명은, 조내 캐리어 (47) 를 필수로 하는 것은 아니다. 예를 들어, 리프터 (LF4) 의 지지부 (65) 에 복수 개의 홈을 형성하고, 복수 장의 기판 (W) 을 지지부 (65) 로 지지하는 구성으로 해도 된다. 이 경우에는, 도 13 에 나타낸 바와 같은 지지부 구동부 (95) 에 의해, 기판 (W) 의 자세를 변환하면 된다.
(3) 상기 서술한 실시예에서는, 기판 처리 장치 (1) 가 배치식 처리부로서 약액 처리부 (CHB2) 와 순수 처리부 (ONB) 를 구비하고 있다. 그러나, 본 발명은 이러한 배치식 처리부에 한정되지 않는다.
(4) 상기 서술한 실시예에서는, 기판 처리 장치 (1) 가 제 1 매엽 처리부 (SWP1) 및 제 2 매엽 처리부 (SWP2) 로서, 순수나 IPA 에 의한 처리를 실시하고, 제 3 매엽 처리부 (SWP3) 로서, 초임계 챔버 (37) 를 구비한 구성으로 하였다. 그러나, 본 발명은 이러한 매엽식 처리부에 한정되지 않는다.
(5) 상기 서술한 실시예에서는, 자세 변환부 (41) 가 침지조 (43) 의 외부에 배치되어 있다. 그러나, 본 발명은, 이러한 형태에 한정되지 않는다. 즉, 자세 변환부 (41) 에 방수성을 구비시키고, 자세 변환부 (41) 를 침지조 (43) 의 내부에 배치해도 된다.
(6) 상기 서술한 실시예에서는, 수중 자세 변환부 (25) 가 기판 (W) 을 1 장씩 액면으로부터 상승시켰다. 그러나, 본 발명은 이러한 형태에 한정되지 않는다. 요컨대, 센터 로봇 (CR) 이 2 개의 핸드 (29) 를 구비하고 있는 경우에는, 수중 자세 변환부 (25) 에 있어서 2 장씩 기판 (W) 을 액면으로부터 상승시키도록 해도 된다. 환언하면, 센터 로봇 (CR) 의 핸드 (29) 의 수에 따라 기판 (W) 을 액면으로부터 상승시켜도 된다.
(7) 상기 서술한 실시예에서는, 기판 처리 장치 (1) 가 도 1 에 나타내는 바와 같은 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 본 발명은, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 요컨대, 스토커 블록 (5), 제 1 반송 기구 (HTR), 이재 기구 (CTC) 를 필수로 하는 것은 아니다.
본 발명은 그 정신 또는 본질적인 속성에서 벗어나지 않고 다른 구체적인 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 전술한 명세서가 아닌 다음의 특허 청구 범위가 본 발명의 범위를 표시하는 것으로 참조되어야 한다.

Claims (15)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치로서, 상기 장치는 이하의 요소 :
    복수 장의 기판을 연직 자세의 상태로 일괄하여 처리하는 배치식 처리부 ;
    한 장의 기판을 수평 자세의 상태로 처리하는 매엽식 처리부 ;
    상기 배치식 처리부에서 처리를 마친 복수 장의 기판을 유지하여, 연직 자세에서 수평 자세로 변환하는 자세 변환부 ;
    상기 배치식 처리부에서 처리를 마친 복수 장의 기판을 상기 자세 변환부로 반송하는 제 1 반송부 ;
    상기 자세 변환부에서 수평 자세가 된 기판을 상기 매엽식 처리부로 반송하는 제 2 반송부 ;
    상기 자세 변환부에서 자세가 변환되는 복수 장의 기판을 수용하여, 자세 변환이 실시되기까지의 동안에, 복수 장의 기판을 순수 중에 침지시키는 침지조를 포함하는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 침지조와, 수평 자세가 된 상기 복수 장의 기판을 상대적으로 승강시키는 승강 기구를 추가로 구비하고,
    상기 제 2 반송부가 기판을 수취할 때에, 상기 복수 장의 기판 중, 반송 대상인 기판만을 상기 침지조의 액면으로부터 상방에 위치하도록 이동시키는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 자세 변환부는,
    복수 장의 기판의 면을 소정의 정렬 방향과 직교하는 자세로 하여, 복수 장의 기판을 수용하는 조내 캐리어와,
    상기 정렬 방향과 직교하는 수평축 둘레로 상기 조내 캐리어를 상기 침지조 내의 액면하에서 회전시키는 회전 기구를 구비하고 있는, 기판 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 승강 기구는,
    상기 침지조의 내측면을 따라 연장된 배판부와, 상기 배판부의 하단부에 형성되고, 수평 방향으로 연장되어, 상기 조내 캐리어를 지지하는 지지부를 구비한 리프터를 구비하고,
    상기 조내 캐리어의 전체를 상기 침지조의 액면하에 지지하는 침하 위치와, 상기 침하 위치보다 하방으로서, 상기 조내 캐리어의 하면으로부터 상기 지지부가 이간된 회전 위치와, 상기 제 1 반송부와의 사이에서 기판을 주고 받기하는 전달 위치와, 상기 반송 대상인 기판만을 상기 침지조의 액면으로부터 상방에 위치시키는 반송 위치로 상기 리프터를 이동시키는, 기판 처리 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 회전 기구는,
    상기 조내 캐리어 중, 상기 정렬 방향과 직교하는 측면에 연결되는 연결 위치와, 상기 측면으로부터 이간된 개방 위치에 걸쳐 이동 가능한 한 쌍의 회전축과,
    상기 조내 캐리어에 있어서의 복수 장의 기판의 자세를 변환하기 위해, 상기 연결 위치에 있는 상기 한 쌍의 회전축을 회전 구동하는 회전 구동부를 구비하고 있는, 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 회전축을 상기 연결 위치와 상기 개방 위치로 이동시키는 진퇴 구동 기구를 구비하고,
    상기 진퇴 구동 기구가 상기 연결 위치에 상기 한 쌍의 회전축을 진출시키고, 상기 리프터를 상기 회전 위치로 이동시킨 상태에서, 상기 회전 구동부에 의해 상기 조내 캐리어에 있어서의 복수 장의 기판의 자세를 변환하는, 기판 처리 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 조내 캐리어는, 저면에 개구를 구비하고,
    상기 리프터는, 상기 지지부가 상기 개구를 폐색하지 않는 위치에 형성되고,
    복수 장의 기판의 하측 가장자리를 지지하며, 상기 개구 및 상기 지지부에 간섭하지 않는 형상을 나타내고, 상기 조내 캐리어의 하방이면서, 또한 상기 침지조의 저부에 해당하는 대기 위치와, 상기 제 1 반송부와의 사이에서 복수 장의 기판을 주고 받기하는 위치로서, 상기 침지조에 있어서의 액면의 상방에 해당하는 이재 위치로 승강하는 푸셔를 구비하고,
    상기 제 1 반송부가 복수 장의 기판을 상기 자세 변환부로 반송하여 왔을 때에는, 상기 푸셔를 상기 이재 위치로 상승시켜 상기 복수 장의 기판을 수취한 후, 상기 푸셔를 상기 대기 위치로 하강시켜 상기 조내 캐리어에 상기 복수 장의 기판을 전달하는, 기판 처리 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 조내 캐리어는, 저면에 개구를 구비하고,
    상기 리프터는, 상기 지지부가 상기 개구를 폐색하지 않는 위치에 형성되고,
    복수 장의 기판의 하측 가장자리를 지지하며, 상기 개구 및 상기 지지부에 간섭하지 않는 형상을 나타내고, 상기 조내 캐리어의 하방이면서, 또한 상기 침지조의 저부에 해당하는 대기 위치와, 상기 제 1 반송부와의 사이에서 복수 장의 기판을 주고 받기하는 위치로서, 상기 침지조에 있어서의 액면의 상방에 해당하는 이재 위치로 승강하는 푸셔를 구비하고,
    상기 제 1 반송부가 복수 장의 기판을 상기 자세 변환부로 반송하여 왔을 때에는, 상기 푸셔를 상기 이재 위치로 상승시켜 상기 복수 장의 기판을 수취한 후, 상기 푸셔를 상기 대기 위치로 하강시켜 상기 조내 캐리어에 상기 복수 장의 기판을 전달하는, 기판 처리 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 조내 캐리어는, 저면에 개구를 구비하고,
    상기 리프터는, 상기 지지부가 상기 개구를 폐색하지 않는 위치에 형성되고,
    복수 장의 기판의 하측 가장자리를 지지하며, 상기 개구 및 상기 지지부에 간섭하지 않는 형상을 나타내고, 상기 조내 캐리어의 하방이면서, 또한 상기 침지조의 저부에 해당하는 대기 위치와, 상기 제 1 반송부와의 사이에서 복수 장의 기판을 주고 받기하는 위치로서, 상기 침지조에 있어서의 액면의 상방에 해당하는 이재 위치로 승강하는 푸셔를 구비하고,
    상기 제 1 반송부가 복수 장의 기판을 상기 자세 변환부로 반송하여 왔을 때에는, 상기 푸셔를 상기 이재 위치로 상승시켜 상기 복수 장의 기판을 수취한 후, 상기 푸셔를 상기 대기 위치로 하강시켜 상기 조내 캐리어에 상기 복수 장의 기판을 전달하는, 기판 처리 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 매엽식 처리부는, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시하기 위한 초임계 유체 챔버인, 기판 처리 장치.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 매엽식 처리부는, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시하기 위한 초임계 유체 챔버인, 기판 처리 장치.
  12. 제 3 항에 있어서,
    상기 매엽식 처리부는, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시하기 위한 초임계 유체 챔버인, 기판 처리 장치.
  13. 제 4 항에 있어서,
    상기 매엽식 처리부는, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시하기 위한 초임계 유체 챔버인, 기판 처리 장치.
  14. 제 5 항에 있어서,
    상기 매엽식 처리부는, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시하기 위한 초임계 유체 챔버인, 기판 처리 장치.
  15. 제 6 항에 있어서,
    상기 매엽식 처리부는, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시하기 위한 초임계 유체 챔버인, 기판 처리 장치.
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