CN115841976B - 一种硅片转运设备和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及硅片输送技术领域,公开了一种硅片转运设备和方法，对于本发明的硅片转运设备，通过让一条输送线输送从镀膜设备中出来的装有镀完膜的硅片的石墨舟、让另一条输送线接受舟升降装置上装配好未镀完膜的硅片的石墨舟，并将该石墨舟输送到镀膜设备中，实现镀膜设备的石墨舟输送；而通过在舟升降装置上的每个移动架上设置用于支撑石墨舟的支撑组件，这样搬舟装置能依次将两个移动架上的石墨舟抓到固定装置上进行硅片装卸，从而确保当从镀膜设备中出来的石墨舟在进行观察时依然有石墨舟在固定装置处进行硅片装卸，能在保证给镀完膜的硅片提供足够多的观察时间的同时不会影响镀膜设备的下一次的石墨舟输送，从而不会增加硅片镀膜时间。

Description

一种硅片转运设备和方法

技术领域

本发明涉及硅片输送技术领域，具体涉及一种硅片转运设备和方法。

背景技术

在半导体领域，硅片作为最常用的基材被广泛应用在芯片、集成电路和电子器件的制造上。目前在硅片的整个加工过程中需要使用镀膜设备对硅片的表面进行镀膜。

其中硅片是放置在石墨舟中，由硅片输送线输送而来，这里硅片输送线并不直接将石墨舟输入到镀膜设备中，而是先由转运设备将硅片输送线上的石墨舟中的硅片转运到中转石墨舟中，然后转运设备再将中转石墨舟输送到镀膜设备中；

当镀膜设备对硅片镀完膜后，转运设备再将装有镀膜后的硅片的中转石墨舟中的硅片放到硅片输送线上石墨舟中，并在放置完成后向该中转石墨舟重新转入未镀膜的硅片；另外硅片输送线还将装有镀完膜的硅片的石墨舟输送走；其中转运设备在将中转石墨舟中的镀完膜的硅片转运到硅片输送线上的石墨舟前，还需要通过视觉检测设备或者人工来判断中转石墨舟中镀完膜的硅片是否合格。

镀膜设备在对石墨舟中的硅片进行加工时是将石墨舟中的硅片同批次进行镀膜的，整个加工时间包括转运设备向镀膜设备输入中转石墨舟的时间T1、镀膜设备内的中转石墨舟上下料时间T2以及转运设备将装有镀完膜的硅片的中转石墨舟输送走的时间T3，其中T2的时间大约在三分三十秒，T1和T3的总时间在两份三十秒，整加工时间为六分钟，需要注意的是这个加工时间是由镀膜设备本身的工艺流程决定的，还没有包括镀完膜的硅片合格检测时间，如果为了保证镀膜设备的工作效率最大化，则需要以六分钟为一个间隔周期性的向镀膜设备输送带有硅片的石墨舟。但是对于现有的转运设备，如果先将转运设备上装有镀完膜的硅片的中转石墨舟先进行镀膜合格检测后，再将镀完膜的硅片从中转石墨舟中转到硅片输送线上的石墨舟中，最后再向中转石墨舟中放入未镀膜的硅片，这样的话会导致中转石墨舟从镀膜设备出来后到重新装入未镀膜的硅片的时间增加，从而不能以六分钟为一个间隔向镀膜设备输送硅片。而如果忽略中转石墨舟中的镀完膜的硅片的检测时间，则不能及时检测出镀完膜的硅片是否合格。

发明内容

鉴于背景技术的不足，本发明是提供了一种硅片转运设备和方法，所要解决的技术问题是现有硅片转运设备在为了满足镀膜设备的工作效率最大时，不能提供足够多的镀完膜的硅片检测时间。

为解决以上技术问题，第一方面，本发明提供了一种硅片转运设备，包括

安装板、固定装置、第一驱动装置和硅片取放装置；安装板的顶面对称安装有两个固定装置，固定装置用于固定中转石墨舟；第一驱动装置与安装板连接，被配置于带动安装板旋转180°；硅片取放装置用于向固定装置上的中转石墨舟中放入硅片或者从固定装置上的中转石墨舟中取出硅片；

还包括两条输送线和两个第二驱动装置，两条输送线的输送方向平行设置；一个第二驱动装置与一条输送线连接，被配置于带动输送线沿与输送方向垂直的方向往返运动；

还包括舟升降装置，舟升降装置位于两条输送线之间，包括固定架，固定架的两侧分别安装有伸缩端均朝下的第一伸缩动力装置和第二伸缩动力装置，第一伸缩动力装置的伸缩端和第二伸缩动力装置的伸缩端分别连接有移动架，移动架上沿输送方向设置有两个滑动的支撑组件，每个支撑组件与一个第三伸缩动力装置的伸缩端连接；

还包括搬舟装置，搬舟装置被配置于将移动架上的两个支撑组件上放置的中转石墨舟搬运到固定装置上和将固定装置上的中转石墨舟搬运到移动架上的两个支撑组件上。

在第一方面的某种实施方式中，固定装置包括输送板、定位伸缩动力装置、第一夹紧架、夹紧板、夹紧条、夹紧轴套、夹紧轴、夹紧弹簧、夹紧伸缩动力装置、第二夹紧架和定位条；

输送板滑动的安装在安装板顶面，且与定位伸缩动力装置的伸缩端连接，定位伸缩动力装置的固定端固定在安装板上；第一夹紧架滑动的安装在安装板顶面上且位于输送板左侧，第二夹紧架安装在安装板的顶面上且位于输送板右侧；第二夹紧架的左侧安装有M个定位条，M为大于1的正整数；第一夹紧架的右侧安装有M个夹紧板，M个夹紧板与M个定位条对应设置，夹紧板的上下两端分别安装有夹紧轴套，夹紧轴套上安装有夹紧轴，夹紧轴背离夹紧轴套的一端与夹紧条连接，夹紧弹簧套在夹紧轴上；

输送板的顶面安装有用于支撑中转石墨舟的四个支撑滑轮，四个支撑滑轮呈长方形分布，输送板的顶面上还设有两个分别用于定位中转石墨舟的前侧面和后侧面的定位滑轮组件，其中一个定位滑轮组件与滑轮伸缩动力装置的伸缩端连接，滑轮伸缩动力装置的固定端安装在输送板的顶面上；输送板的顶面上还安装有海绵垫，海绵垫在两个定位滑轮组件之间。

在第一方面的某种实施方式中，第一驱动装置包括第一底座、第一旋转动力装置、第一驱动齿轮、第一转动齿轮和第一轴承，第一轴承安装在第一底座的顶部，第一转动齿轮转动套在第一轴承的外侧面上，第一旋转动力装置固定在第一底座上，第一旋转动力装置的旋转端与第一驱动齿轮连接，被配置于带动第一驱动齿轮转动，第一驱动齿轮的齿与第一转动齿轮的齿啮合。

在第一方面的某种实施方式中，硅片取放装置包括机器人和硅片吸盘，机器人的活动末端与硅片吸盘连接，被配置于带动硅片吸盘在三维空间中运动。

在第一方面的某种实施方式中，输送线包括输送底板，输送底板的顶面沿输送方向依次设有输送伸缩动力装置和和两个皮带输送机构，输送伸缩动力装置的伸缩端朝向皮带输送机构，且与输送推板连接。

在第一方面的某种实施方式中，第二驱动装置包括第二旋转动力装置、第二驱动齿轮、第二驱动齿条、第二驱动滑块和两第二驱动导轨，第二驱动齿条和两第二驱动导轨平行设置，第二驱动齿条在两第二驱动导轨之间，且第二驱动齿条的长度方向与输送方向垂直，第二驱动导轨上设有第二驱动滑块，输送线安装在第二驱动滑块上，第二旋转动力装置安装在输送线上，第二旋转动力装置的旋转端与第二驱动齿轮连接，被配置于带动第二驱动齿轮转动，第二驱动齿轮的齿与第二驱动齿条的齿啮合。

在第一方面的某种实施方式中，移动架上安装有夹爪固定板，夹爪固定板在两个支撑组件之间，夹爪固定板的底面安装有两个滑动的夹爪，夹爪为L状，两个夹爪的水平部相向设置，每个夹爪与一个夹爪伸缩动力装置的伸缩端连接，夹爪伸缩动力装置的固定端安装在夹爪固定板的底部。

在第一方面的某种实施方式中，搬舟装置包括三轴移动平台、搬舟旋转动力装置和夹爪安装板，三轴移动平台的横向移动方向与输送方向相同，三轴移动平台的竖向移动端与搬舟旋转动力装置的固定端连接，搬舟旋转动力装置的旋转端与夹爪安装板连接，被配置于带动夹爪安装板旋转，夹爪安装板的底部安装有两个滑动的搬舟夹爪，一个搬舟夹爪与一个搬舟夹爪伸缩动力装置的伸缩端连接，搬舟夹爪伸缩动力装置的固定端安装在夹爪安装板的底面。

第二方面，本发明还提供了一种硅片转运方法，通过上述的硅片转运设备实现，将两条输送线分别作为第一输送线和第二输送线；将固定架上的两个移动架分别作为第一移动架和第二移动架；两个输送线上和两个移动架上的两个支撑组件上均能放置一个中转组件，一个中站组件包括舟托和位于舟托上的两个中转石墨舟；将第一移动架上的中转组件作为第一中转组件，将第二移动架上的中转组件作为第二中转组件；将安装板上的两个固定装置作为第一固定装置和第二固定装置；具体步骤如下：

通过搬舟装置依次将第一中转组件中的两个中转石墨舟和第二中转组件中的两个中转石墨舟搬运到第一固定装置和第二固定装置上，并通过第一驱动装置和硅片取放装置依次对第一中转组件的两个中转石墨舟和第二中转组件的两个石墨舟进行硅片装卸；当第一中转组件中的一个中转石墨舟或第二中转组件中的中转石墨舟装卸硅片完成后，通过搬舟装置将硅片装卸完成后的中转石墨舟搬运到其原始位置；

在对第一中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上，第三转运组件上设有两个装有镀膜硅片的中转石墨舟；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第一中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置将第二输送线输送到第一移动架下方；然后让第一伸缩动力装置带动第一移动架下放使第一中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第一中转组件放入到镀膜设备中；当第一中转组件放入到镀膜设备中后，第一中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置将第一输送线移动到第一移动架下方，然后通过第一伸缩动力装置带动第一移动架上升，使第三中转组件落到第一移动架的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第一移动架上时，第三中转组件变为第一中转组件；

在对第二中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上，第三转运组件上设有两个装有镀膜硅片的中转石墨舟；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第二中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置将第二输送线输送到第二移动架下方；然后让第二伸缩动力装置带动第二移动架下放使第二中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第二中转组件放入到镀膜设备中；当第二中转组件放入到镀膜设备中后，第二中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置将第一输送线移动到第二移动架下方，然后通过第二伸缩动力装置带动第二移动架上升，使第三中转组件落到第二移动架的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第二移动架上时，第三中转组件变为第二中转组件。

本发明与现有技术相比所具有的有益效果是：

对于本发明的硅片转运设备，通过设置两条输送线，以及让两条输送线可以沿与其输送方向水平垂直的方向移动，这样一条输送线可以输送从镀膜设备中出来的装有镀完膜的硅片的石墨舟，另一条输送线可以接受舟升降装置上装配好未镀完膜的硅片的石墨舟，并将该石墨舟输送到镀膜设备中，从而实现镀膜设备的石墨舟输送；而通过在舟升降装置上的固定架上设置两个移动架，并在每个移动架上设置用于支撑石墨舟的支撑组件，这样搬舟装置可以依次将两个移动架上的石墨舟抓到固定装置上进行硅片装卸，从而确保当从镀膜设备中出来的石墨舟在进行观察时依然有石墨舟在固定装置处进行硅片装卸，这样在保证给镀完膜的硅片提供足够多的观察时间的同时不会影响镀膜设备的下一次的石墨舟输送，从而不会增加硅片镀膜时间。

附图说明

图1为本发明的硅片转运设备的结构示意图；

图2为本发明的安装板、固定装置和第一驱动装置的结构示意图；

图3为本发明的安装板与第一驱动装置的结构示意图；

图4为本发明的固定装置的结构示意图；

图5为本发明的硅片取放装置的结构示意图；

图6为本发明的一条输送线的结构示意图；

图7为本发明的皮带输送机构的结构示意图；

图8为本发明的第二驱动装置的第二驱动齿条、第二驱动滑块和第二驱动导轨的分布结构示意图；

图9为本发明的舟升降装置的结构示意图；

图10为本发明的支撑组件的安装结构示意图；

图11为本发明的夹爪和夹爪固定板的安装结构示意图；

图12为搬舟装置的结构示意图；

图13为搬舟旋转动力装置、夹爪安装板和搬舟夹爪的安装结构示意图。

图中：

10、安装板；

11、固定装置；1100、输送板，1101、第二夹紧架，1102、第一夹紧架，1103、定位条，1104、夹紧板，1105、夹紧轴套，1106、夹紧轴，1107、夹紧条，1108、夹紧弹簧，1109、夹紧伸缩动力装置，1110、支撑滑轮，1111、定位滑轮组件，1112、滑轮伸缩动力装置，1113、海绵垫；

12、硅片取放装置，120、机器人，121、硅片吸盘；

13、第一驱动装置，130、第一底座，131、第一旋转动力装置，132、第一驱动齿轮，133、第一转动齿轮；

20、输送线，200、输送底板，201、输送伸缩动力装置，202、皮带输送机构，203、输送推板

21、第二驱动装置，210、第二旋转动力装置，211、第二驱动齿条，212、第二驱动导轨，213、第二驱动滑块；

30、舟升降装置，300、固定架，301、第一伸缩动力装置，302、移动架，303、支撑组件，304、夹爪固定板，305、夹爪，306第三伸缩动力装置；

40、搬舟装置，400、三轴移动平台，401、搬舟旋转动力装置，402、夹爪安装板，403、搬舟夹爪。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

实施例一

如图1-3所示，一种硅片转运设备，包括安装板10、固定装置11、第一驱动装置13和硅片取放装置12；

如图2所示，安装板10的顶面对称安装有两个固定装置11，固定装置11用于固定中转石墨舟；第一驱动装置13与安装板10连接，被配置于带动安装板10旋转180°；硅片取放装置12用于向固定装置11上的中转石墨舟中放入硅片或者从固定装置11上的中转石墨舟中取出硅片；

在实际使用时，当第一驱动装置13带动安装板10旋转180°时，安装板10顶面的两个固定装置11互换，以图1为例，硅片取放装置12只需对安装板10上靠外的固定装置11进行硅片装卸即可，可以提高硅片装卸效率；另外当固定装置11上的中转石墨舟装有镀完膜的硅片时，硅片取放装置12先将镀完膜的硅片放到硅片输送线上的空余花篮上，然后将硅片输送线上装有硅片的花篮中的硅片放到固定装置11上的中转石墨舟中；

还包括两条输送线20和两个第二驱动装置21，两条输送线20的输送方向平行设置；一个第二驱动装置21与一条输送线20连接，被配置于带动输送线20沿与输送方向垂直的方向往返运动；

在实际使用时，两条输送线20中的一条输送线20用于接收从镀膜设备送出的装有镀膜的硅片的中转石墨舟，另一条输送线20用于接收从舟升降装置30上装有未镀膜的硅片的中转石墨舟，第二驱动装置21用于将输送线20输送到镀膜设备的中转石墨舟接口处；

还包括舟升降装置30，参照图9和图10，舟升降装置位于两条输送线20之间，包括固定架300，固定架300的两侧分别安装有伸缩端均朝下的第一伸缩动力装置301和第二伸缩动力装置，第一伸缩动力装置301的伸缩端和第二伸缩动力装置的伸缩端分别连接有移动架302，移动架302上沿输送方向设置有两个滑动的支撑组件303，每个支撑组件303与一个第三伸缩动力装置306的伸缩端连接；

在实际使用时，移动架302上的两个支撑组件303用于放置两个中转石墨舟，对于固定架300上的两个移动架302，一个移动架302上的两个支撑组件303用于放置两个装有镀膜硅片的中转石墨舟，另一个移动架302上的支撑组件303用于放置装有未镀膜硅片的中转石墨舟；

为了提高中转石墨舟在抬升过程中的稳定性，如图9和图11所示，本实施例中，移动架302上安装有夹爪固定板304，夹爪固定板304在两个支撑组件303之间，夹爪固定板304的底面安装有两个滑动的夹爪305，夹爪305为L状，两个夹爪305的水平部相向设置，每个夹爪305与一个夹爪伸缩动力装置的伸缩端连接，夹爪伸缩动力装置的固定端安装在夹爪固定板304的底部；在实际使用时，两个夹爪伸缩动力装置带动两个夹爪305相互靠近和远离，当需要向移动架302上放置中转石墨舟时，让两个夹爪305远离，从而使夹爪305不会与中转石墨舟相撞，当夹爪305的水平部位于中转石墨舟下方时，使两个夹爪305相互靠近，从而使两个夹爪305能夹住中转石墨舟；

还包括搬舟装置40，搬舟装置40被配置于将移动架302上的两个支撑组件303上放置的中转石墨舟搬运到固定装置11上和将固定装置11上的中转石墨舟搬运到移动架302上的两个支撑组件303上 。

现在对本发明的硅片转运设备的工作流程进行说明：

将两条输送线20分别作为第一输送线和第二输送线；将固定架300上的两个移动架302分别作为第一移动架和第二移动架；两个输送线20上和两个移动架302上的两个支撑组件303上均能放置一个中转组件，一个中转组件包括舟托和位于舟托上的两个中转石墨舟；将第一移动架上的中转组件作为第一中转组件，将第二移动架上的中转组件作为第二中转组件；将安装板10上的两个固定装置11作为第一固定装置和第二固定装置；具体步骤如下：

先分别在第一移动架上和第二移动架上放置一个中转组件，在镀膜设备中设置一个待传送出去的中转组件；

然后通过搬舟装置40依次将第一中转组件中的两个中转石墨舟和第二中转组件中的两个中转石墨舟搬运到第一固定装置和第二固定装置上，并通过第一驱动装置13和硅片取放装置12依次对第一中转组件的两个中转石墨舟和第二中转组件的两个石墨舟进行硅片装卸，当第一中转组件中的一个中转石墨舟或第二中转组件中的中转石墨舟装卸硅片完成后，通过搬舟装置40将硅片装卸完成后的中转石墨舟搬运到其原始位置；此过程具体如下：

将第一中转组件上的两个中转石墨舟作为中转石墨舟A1和中转石墨舟A2，将第二中转组件上的两个中转石墨舟作为中转石墨舟B1和中转石墨舟B2；

搬舟装置40先将中转石墨舟A1搬运到第一固定装置上，然后第一驱动装置13带动安装板10旋转180°，接着硅片取放装置12对中转石墨舟A1进行硅片装卸，此时第二固定装置上没有中转石墨舟，因此搬舟装置40将中转石墨舟A2搬运到第二固定装置上；

当中转石墨舟A1硅片装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板10旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟A2进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟A1搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟A1已从第一固定装置上搬走，此时第一固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟B1搬运到第一固定装置上；

当中转石墨舟A2装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板10旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟B1进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟A2搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟A2已从第二固定装置上搬走，此时第二固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟B2搬运到第二固定装置上；

当中转石墨舟B1装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板10旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟B2进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟B1搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟B1已从第一固定装置上搬走，此时第一固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟A1搬运到第一固定装置上；

当中转石墨舟B2装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板10旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟A1进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟B2搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟B2已从第二固定装置上搬走，此时第二固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟A2搬运到第二固定装置上；

此为两个中转组件上的四个中转石墨舟的搬运流程，后面按照这个搬运流程循环对四个石墨舟进行硅片装卸；

由于除了要对中转石墨舟进行硅片装卸外，还需要将装有未镀膜的硅片的石墨舟送入到镀膜设备中，以及将镀膜设备中装有已镀膜硅片的中转石墨舟放到舟升降装置30的移动架302上，其具体实现如下：

由于开始时镀膜设备中已经有了一组中转组件要输送出去，将该中转组件作为第三中转组件，因此在对第一中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置21带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上，第三转运组件上设有两个装有镀膜硅片的中转石墨舟；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置21带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第一中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置21将第二输送线输送到第一移动架下方；然后让第一伸缩动力装置301带动第一移动架下放使第一中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第一中转组件放入到镀膜设备中；当第一中转组件放入到镀膜设备中后，第一中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置21带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置21将第一输送线移动到第一移动架下方，然后通过第一伸缩动力装置301带动第一移动架上升，使第三中转组件落到第一移动架的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第一移动架上时，第三中转组件变为第一中转组件；

在对第二中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置21带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置21带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第二中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置21将第二输送线输送到第二移动架下方；然后让第二伸缩动力装置带动第二移动架下放使第二中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置21将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第二中转组件放入到镀膜设备中；当第二中转组件放入到镀膜设备中后，第二中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置21带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置21将第一输送线移动到第二移动架下方，然后通过第二伸缩动力装置带动第二移动架上升，使第三中转组件落到第二移动架的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第二移动架上时，第三中转组件变为第二中转组件。

结合上述内容：本发明的硅片转运设备，通过设置两条输送线20，以及让两条输送线20可以沿与其输送方向水平垂直的方向移动，这样一条输送线20可以输送从镀膜设备中出来的装有镀完膜的硅片的中转石墨舟，另一条输送线20可以接受舟升降装置30上装配好未镀完膜的硅片的中转石墨舟，并将该中转石墨舟输送到镀膜设备中，从而实现镀膜设备的中转石墨舟输送；而通过在舟升降装置30上的固定架300上设置两个移动架302，并在每个移动架302上设置用于支撑中转石墨舟的支撑组件303，这样搬舟装置40可以依次将两个移动架302上的中转石墨舟抓到固定装置11上进行硅片装卸，从而确保当从镀膜设备中出来的中转石墨舟在进行观察时依然有中转石墨舟在固定装置11处进行硅片装卸，这样在保证给镀完膜的硅片提供足够多的观察时间的同时不会影响镀膜设备的下一次的中转石墨舟输送，从而不会增加硅片镀膜时间，使镀膜设备的工作效率最大化。

现在对本发明的安装板10和第一驱动装置13的结构进行具体说明：如图3所示，第一驱动装置13包括第一底座130、第一旋转动力装置131、第一驱动齿轮132、第一转动齿轮133和第一轴承，第一轴承（由于安装板10的阻挡，图1中未显示中间轴承）安装在第一底座130的顶部，第一转动齿轮133转动的套在第一轴承的外侧面上，第一旋转动力装置131固定在第一底座130上，第一旋转动力装置131的旋转端与第一驱动齿轮132连接，被配置于带动第一驱动齿轮132转动，第一驱动齿轮132的齿与第一转动齿轮133的齿啮合。

在实际使用时，第一旋转动力装置131可以是伺服电机，安装板10固定在第一转动齿轮133的顶部，当第一旋转动力装置131转动时会带动第一驱动齿轮132转动，从而带动第一转动齿轮133转动，进而带动安装板10转动，实现安装板10顶部的两个固定装置的位置调整。

现在对本发明的固定装置11的结构进行说明：如图4所示，固定装置11包括输送板1100、定位伸缩动力装置、第一夹紧架1102、夹紧板1104、夹紧条1107、夹紧轴套1105、夹紧轴1106、夹紧弹簧1108、夹紧伸缩动力装置1109、第二夹紧架1101和定位条1103；

输送板1100滑动的安装在安装板10顶面，且与定位伸缩动力装置的伸缩端连接，定位伸缩动力装置的固定端固定在安装板上，其中定位伸缩动力装置安装被输送板遮挡未显示，为气缸；其中输送板1100滑动安装在安装板10顶面的方式如下：在安装板10的顶面安装导轨，导轨上设置滑块，将输送板1100安装在滑块上；

第一夹紧架1102滑动的安装在安装板10顶面上且位于输送板1100左侧，夹紧伸缩动力装置1109的伸缩端与第一夹紧架1102连接，用于带动第一夹紧架1102在安装板10上滑动，第二夹紧架1101安装在安装板10的顶面上且位于输送板1100右侧；第二夹紧架1101的左侧安装有M个定位条1103，M为大于1的正整数；第一夹紧架1102的右侧安装有M个夹紧板1104，M个夹紧板1104与M个定位条1103对应设置，夹紧板1104的上下两端分别安装有夹紧轴套1105，夹紧轴套1105上安装有夹紧轴1106，夹紧轴1106背离夹紧轴套1105的一端与夹紧条1107连接，夹紧弹簧1108套在夹紧轴1106上；其中第一夹紧架1102滑动安装在安装板10顶面上的实现方式如下：同样在安装板10上安装导轨，在导轨上安装滑块，将第一夹紧架1102安装在滑块上，另外夹紧伸缩动力装置1109为气缸；

输送板1100的顶面安装有用于支撑中转石墨舟的四个支撑滑轮1110，四个支撑滑轮1110呈长方形分布，输送板1100的顶面上还设有两个分别用于定位中转石墨舟的前侧面和后侧面的定位滑轮组件1111，其中一个定位滑轮组件1111与滑轮伸缩动力装置1112的伸缩端连接，滑轮伸缩动力装置1112的固定端安装在输送板1100的顶面上；输送板1100的顶面上还安装有海绵垫1113，海绵垫1113在两个定位滑轮组件1111之间。

固定装置11对中转石墨舟的固定方式如下：首先通过定位伸缩动力装置动作来带动输送板1100到达预设放舟位置；然后搬舟装置40将中转石墨舟放到四个支撑滑轮1110上；接着滑轮伸缩动力装置1112动作，带动一个定位滑轮组件1111推向中转石墨舟的前侧面，使中转石墨舟的后侧面抵住另一个滑轮组件，从而实现中转石墨舟的前后定位；然后定位伸缩动力装置继续动作带动输送板1100朝小第二夹紧架1101运动，使第二夹紧架1101抵住中转石墨舟的右侧面；最后让夹紧伸缩动力装置1109动作，来带动第一夹紧架1102上的夹紧条1107抵住中转石墨舟的左侧面，从而实现中转石墨舟的左右定位。另外通过设置海绵垫1113可以避免从中转石墨舟中落出的硅片直接撞击输送板1100而破碎。

如图5所示，本实施例中，硅片取放装置12包括机器人120和硅片吸盘121，机器人120的活动末端与硅片吸盘121连接，被配置于带动硅片吸盘121在三维空间中运动。在实际使用时，机器人120可以为四轴机器人，硅片吸盘121可以吸附住硅片输送线上的花篮中的硅片，从而将硅片转移到中转石墨舟中，或者吸附中转石墨舟中已经镀膜的硅片，将镀膜的硅片转移到硅片输送线上的花篮中。

现在对本发明的输送线20和第二驱动装置21的结构进行说明，如图6、图7和图8所示，输送线20包括输送底板200，输送底板200的顶面沿输送方向依次设有输送伸缩动力装置201和两个皮带输送机构202，输送伸缩动力装置201的伸缩端朝向皮带输送机构202，且与输送推板203连接，其中皮带输送机构202的结构示意图如图7所示。在实际使用时，一个中转组件是放在两个皮带输送机构202上；另外通过输送伸缩动力装置201带动输送推板203动作，从而可以将中转组件推到预设位置。

参照图6和图8，第二驱动装置21包括第二旋转动力装置210、第二驱动齿轮、第二驱动齿条211、第二驱动滑块213和两第二驱动导轨212，第二驱动齿条211和两第二驱动导轨212平行设置，第二驱动齿条211在两第二驱动导轨212之间，且第二驱动齿条211的长度方向与输送方向垂直，第二驱动导轨212上设有第二驱动滑块213，输送线20安装在第二驱动滑块213上，第二旋转动力装置210安装在输送线20的输送底板200上，第二旋转动力装置210的旋转端与第二驱动齿轮连接，被配置于带动第二驱动齿轮转动，第二驱动齿轮的齿与第二驱动齿条211的齿啮合。

本实施例中，两个第二驱动装置21共用两个第二驱动导轨212和第二驱动齿条211，其中一条输送线20的输送底板200的两端分别安装在两第二驱动导轨212同一端的两第二驱动滑块213上，另一条输送线20的输送底板200的两端分别安装在两第二驱动导轨212另一端的两第二驱动滑块213上。

在实际使用时，一条输送线20用于接收从镀膜设备中传送出来的第三中转组件，通过第二驱动装置21可以带动该条输送线20移动到观测位进行观测，当第三中转组件观测完成后，可以将第三中转组件移动到一个移动架302上来进行后续的硅片装卸；另一条输送线用于接收移动架302上装有未镀膜硅片的第一中转组件或者第二中转组件，并将转移未镀膜硅片的第一中转组件或者第二中转组件输送到镀膜设备中。

现在对本发明的搬舟装置40的结构进行说明，参照图12和图13，搬舟装置40包括三轴移动平台400、搬舟旋转动力装置401和夹爪安装板402，参照图12，三轴移动平台400的横向移动方向与输送方向相同，三轴移动平台400的竖向移动端与搬舟旋转动力装置401的固定端连接，搬舟旋转动力装置401的旋转端与夹爪安装板402连接，被配置于带动夹爪安装板402旋转，夹爪安装板402的底部安装有两个滑动的搬舟夹爪403，一个搬舟夹爪403与一个搬舟夹爪伸缩动力装置的伸缩端连接，搬舟夹爪伸缩动力装置的固定端安装在夹爪安装板402的底面。

其中搬舟夹爪403的安装方式如下：在夹爪安装板402的底面安装导轨，在导轨上安装滑块，将搬舟夹爪403与滑块连接；两个搬舟夹爪伸缩动力装置用于带动两个搬舟夹爪403相互靠近或者远离，当两个搬舟夹爪403相互靠近时，两个搬舟夹爪403夹住中转石墨舟，即搬舟夹爪403的底部拖住中转石墨舟的底部。

在实际使用时，当两个搬舟夹爪403夹住中转石墨舟后，三轴移动平台400带动中转石墨舟在空间范围内运动，从而将中转石墨舟从移动架302上搬运到固定装置11上，或者从固定装置11搬运到移动架302上。

实施例二

本实施例提供了一种硅片转运方法，通过实施例1中的硅片转运设备实现，将两条输送线20分别作为第一输送线和第二输送线；将固定架300上的两个移动架302分别作为第一移动架和第二移动架；两个输送线20上和两个移动架302上的两个支撑组件303上均能放置一个中转组件，一个中转组件包括舟托和位于舟托上的两个中转石墨舟；将第一移动架上的中转组件作为第一中转组件，将第二移动架上的中转组件作为第二中转组件；将安装板10上的两个固定装置11作为第一固定装置和第二固定装置；具体步骤如下：

先分别在第一移动架上和第二移动架上放置一个中转组件，在镀膜设备中设置一个待传送出去的中转组件；

然后通过搬舟装置40依次将第一中转组件中的两个中转石墨舟和第二中转组件中的两个中转石墨舟搬运到第一固定装置和第二固定装置上，并通过第一驱动装置13和硅片取放装置12依次对第一中转组件的两个中转石墨舟和第二中转组件的两个石墨舟进行硅片装卸，当第一中转组件中的一个中转石墨舟或第二中转组件中的中转石墨舟装卸硅片完成后，通过搬舟装置将硅片装卸完成后的中转石墨舟搬运到其原始位置；此过程具体如下：

将第一中转组件上的两个中转石墨舟作为中转石墨舟A1和中转石墨舟A2，将第二中转组件上的两个中转石墨舟作为中转石墨舟B1和中转石墨舟B2；

搬舟装置40先将中转石墨舟A1搬运到第一固定装置上，然后第一驱动装置13带动安装板10旋转180°，接着硅片取放装置12对中转石墨舟A1进行硅片装卸，此时第二固定装置上没有中转石墨舟，因此搬舟装置40将中转石墨舟A2搬运到第二固定装置上；

当中转石墨舟A1硅片装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟A2进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟A1搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟A1已从第一固定装置上搬走，此次第一固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟B1搬运到第一固定装置上；

当中转石墨舟A2装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟B1进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟A2搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟A2已从第二固定装置上搬走，此时第二固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟B2搬运到第二固定装置上；

当中转石墨舟B1装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟B2进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟B1搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟B1已从第一固定装置上搬走，此时第一固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟A1搬运到第一固定装置上；

当中转石墨舟B2装卸完成后，第一驱动装置13带动安装板旋转180°，此时硅片取放装置12对中转石墨舟A1进行硅片装卸、搬舟装置40将中转石墨舟B2搬运到其原先位置处，由于中转石墨舟B2已从第二固定装置上搬走，此时第二固定装置空着，因此搬舟装置40将中转石墨舟A2搬运到第二固定装置上；

此为两个中转组件上的四个中转石墨舟的搬运流程，后面按照这个搬运流程循环对四个石墨舟进行硅片装卸；

由于除了要对中转石墨舟进行硅片装卸外，还需要将装有未镀膜的硅片的石墨舟送入到镀膜设备中，以及将镀膜设备中装有已镀膜硅片的中转石墨舟放到舟升降装置30的移动架302上，其具体实现如下：

由于开始时镀膜设备中已经有了一组中转组件要输送出去，将该中转组件作为第三中转组件，因此在对第一中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置21带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上，第三转运组件上设有两个装有镀膜硅片的中转石墨舟；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置21带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第一中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置21将第二输送线输送到第一移动架下方；然后让第一伸缩动力装置301带动第一移动架下放使第一中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置21将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第一中转组件放入到镀膜设备中；当第一中转组件放入到镀膜设备中后，第一中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置21带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置21将第一输送线移动到第一移动架下方，然后通过第一伸缩动力装置带动第一移动架上升，使第三中转组件落到第一移动架的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第一移动架上时，第三中转组件变为第一中转组件；

在对第二中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置21带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置21带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第二中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置21将第二输送线输送到第二移动架下方；然后让第二伸缩动力装置带动第二移动架下放使第二中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置21将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第二中转组件放入到镀膜设备中；当第二中转组件放入到镀膜设备中后，第二中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置21带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置21将第一输送线移动到第二移动架下方，然后通过第二伸缩动力装置带动第二移动架上升，使第三中转组件落到第二移动架的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第二移动架上时，第三中转组件变为第二中转组件。

上述依据本发明为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。

Claims (9)

1.一种硅片转运设备，其特征在于，包括

安装板（10）、固定装置（11）、第一驱动装置（13）和硅片取放装置（12）；所述安装板（10）的顶面对称安装有两个所述固定装置（11），所述固定装置（11）用于固定中转石墨舟；所述第一驱动装置（13）与所述安装板（10）连接，被配置于带动所述安装板（10）旋转180°；所述硅片取放装置（12）用于向所述固定装置（11）上的中转石墨舟中放入硅片或者从所述固定装置（11）上的中转石墨舟中取出硅片；

还包括两条输送线（20）和两个第二驱动装置（21），两条输送线（20）的输送方向平行设置；一个第二驱动装置（21）与一条输送线（20）连接，被配置于带动所述输送线（20）沿与所述输送方向垂直的方向往返运动；

还包括舟升降装置（30），所述舟升降装置（30）位于两条输送线（20）之间，包括固定架（300），所述固定架（300）的两侧分别安装有伸缩端均朝下的第一伸缩动力装置（301）和第二伸缩动力装置，所述第一伸缩动力装置（301）的伸缩端和第二伸缩动力装置的伸缩端分别连接有移动架（302），所述移动架（302）上沿所述输送方向设置有两个滑动的支撑组件（303），每个支撑组件（303）与一个第三伸缩动力装置（306）的伸缩端连接；

还包括搬舟装置（40），所述搬舟装置（40）被配置于将所述移动架（302）上的两个支撑组件（303）上放置的中转石墨舟搬运到所述固定装置（11）上和将所述固定装置（11）上的中转石墨舟搬运到所述移动架（302）上的两个支撑组件上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片转运设备，其特征在于，所述固定装置（11）包括输送板（1100）、定位伸缩动力装置、第一夹紧架（1102）、夹紧板（1104）、夹紧条（1107）、夹紧轴套（1105）、夹紧轴（1106）、夹紧弹簧（1108）、夹紧伸缩动力装置（1109）、第二夹紧架（1101）和定位条（1103）；

所述输送板（1100）滑动的安装在所述安装板（10）顶面，且与所述定位伸缩动力装置的伸缩端连接，所述定位伸缩动力装置的固定端固定在所述安装板（10）上；所述第一夹紧架（1102）滑动的安装在所述安装板（10）顶面上且位于所述输送板（1100）左侧，所述夹紧伸缩动力装置（1109）的伸缩端与所述第一夹紧架（1102）连接，用于带动所述第一夹紧架（1102）在安装板（10）上滑动，所述第二夹紧架（1101）安装在所述安装板（10）的顶面上且位于所述输送板（1100）右侧；所述第二夹紧架（1101）的左侧安装有M个定位条（1103），M为大于1的正整数；所述第一夹紧架（1102）的右侧安装有M个夹紧板（1104），M个夹紧板（1104）与M个定位条（1103）对应设置，所述夹紧板（1104）的上下两端分别安装有夹紧轴套（1105），所述夹紧轴套（1105）上安装有所述夹紧轴（1106），所述夹紧轴（1106）背离所述夹紧轴套（1105）的一端与所述夹紧条（1107）连接，所述夹紧弹簧（1108）套在所述夹紧轴（1106）上；

所述输送板（1100）的顶面安装有用于支撑中转石墨舟的四个支撑滑轮（1110），四个支撑滑轮（1110）呈长方形分布，所述输送板（1100）的顶面上还设有两个分别用于定位中转石墨舟的前侧面和后侧面的定位滑轮组件（1111），其中一个定位滑轮组件（1111）与滑轮伸缩动力装置（1112）的伸缩端连接，所述滑轮伸缩动力装置（1112）的固定端安装在所述输送板（1100）的顶面上；所述输送板（1100）的顶面上还安装有海绵垫（1113），所述海绵垫（1113）在两个定位滑轮组件（1111）之间。

3.根据权利要求1所述的一种硅片转运设备，其特征在于，所述第一驱动装置（13）包括第一底座（130）、第一旋转动力装置（131）、第一驱动齿轮（132）、第一转动齿轮（133）和第一轴承，所述第一轴承安装在所述第一底座（130）的顶部，所述第一转动齿轮（133）转动的套在所述第一轴承的外侧面上，所述第一旋转动力装置（131）固定在所述第一底座（130）上，所述第一旋转动力装置（131）的旋转端与所述第一驱动齿轮（132）连接，被配置于带动所述第一驱动齿轮（132）转动，所述第一驱动齿轮（132）的齿与所述第一转动齿轮（133）的齿啮合。

4.据权利要求1所述的一种硅片转运设备，其特征在于，所述硅片取放装置（12）包括机器人（120）和硅片吸盘（121），所述机器人（120）的活动末端与所述硅片吸盘（121）连接，被配置于带动所述硅片吸盘（121）在三维空间中运动。

5.根据权利要求1所述的一种硅片转运设备，其特征在于，所述输送线（20）包括输送底板（200），所述输送底板（200）的顶面沿所述输送方向依次设有输送伸缩动力装置（201）和两个皮带输送机构（202），所述输送伸缩动力装置（201）的伸缩端朝向所述皮带输送机构，且与输送推板（203）连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片转运设备，其特征在于，所述第二驱动装置（21）包括第二旋转动力装置（210）、第二驱动齿轮、第二驱动齿条（211）、第二驱动滑块（213）和两第二驱动导轨（212），所述第二驱动齿条（211）和两第二驱动导轨（212）平行设置，所述第二驱动齿条（211）在两第二驱动导轨（212）之间，且所述第二驱动齿条（211）的长度方向与所述输送方向垂直，所述第二驱动导轨（212）上设有所述第二驱动滑块（213），所述输送线（20）安装在所述第二驱动滑块（213）上，所述第二旋转动力装置（210）安装在所述输送线（20）上，所述第二旋转动力装置（210）的旋转端与所述第二驱动齿轮连接，被配置于带动所述第二驱动齿轮转动，所述第二驱动齿轮的齿与所述第二驱动齿条（211）的齿啮合。

7.根据权利要求1所述的一种硅片转运设备，其特征在于，所述移动架（302）上安装有夹爪固定板（304），所述夹爪固定板（304）在两个支撑组件（303）之间，所述夹爪固定板（304）的底面安装有两个滑动的夹爪（305），所述夹爪（305）为L状，两个夹爪（305）的水平部相向设置，每个夹爪（305）与一个夹爪伸缩动力装置的伸缩端连接，所述夹爪伸缩动力装置的固定端安装在所述夹爪固定板（304）的底部。

8.根据权利要求1所述的一种硅片转运设备，其特征在于，所述搬舟装置（40）包括三轴移动平台（400）、搬舟旋转动力装置（401）和夹爪安装板（402），所述三轴移动平台（400）的横向移动方向与所述输送方向相同，所述三轴移动平台（400）的竖向移动端与所述搬舟旋转动力装置（401）的固定端连接，所述搬舟旋转动力装置（401）的旋转端与所述夹爪安装板（402）连接，被配置于带动所述夹爪安装板（402）旋转，所述夹爪安装板（402）的底部安装有两个滑动的搬舟夹爪（403），一个搬舟夹爪（403）与一个搬舟夹爪伸缩动力装置的伸缩端连接，所述搬舟夹爪伸缩动力装置的固定端安装在所述夹爪安装板（402）的底面。

9.一种硅片转运方法，其特征在于，通过权利要求1-8任一项所述的硅片转运设备实现，将两条输送线（20）分别作为第一输送线和第二输送线；将固定架（300）上的两个移动架（302）分别作为第一移动架和第二移动架；两个输送线（20）上和两个移动架（302）上的两个支撑组件（303）上均能放置一个中转组件，一个中转组件包括舟托和位于舟托上的两个中转石墨舟；将第一移动架上的中转组件作为第一中转组件，将第二移动架上的中转组件作为第二中转组件；将安装板上的两个固定装置作为第一固定装置和第二固定装置；具体步骤如下：

先分别在第一移动架上和第二移动架上放置一个中转组件，在镀膜设备中设置一个待传送出去的中转组件；

通过搬舟装置（40）依次将第一中转组件中的两个中转石墨舟和第二中转组件中的两个中转石墨舟搬运到第一固定装置和第二固定装置上，并通过第一驱动装置（13）和硅片取放装置（12）依次对第一中转组件的两个中转石墨舟和第二中转组件的两个石墨舟进行硅片装卸；当第一中转组件中的一个中转石墨舟或第二中转组件中的中转石墨舟装卸硅片完成后，通过搬舟装置（40）将硅片装卸完成后的中转石墨舟搬运到其原始位置；

在对第一中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置（21）带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上，第三转运组件上设有两个装有镀膜硅片的中转石墨舟；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置（21）带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第一中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置（21）将第二输送线输送到第一移动架下方；然后让第一伸缩动力装置（301）带动第一移动架下放使第一中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置（21）将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第一中转组件放入到镀膜设备中；当第一中转组件放入到镀膜设备中后，第一中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置（21）带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置（21）将第一输送线移动到第一移动架下方，然后通过第一伸缩动力装置（301）带动第一移动架上升，使第三中转组件落到第一移动架上的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第一移动架上时，第三中转组件变为第一中转组件；

在对第二中转组件的两个中转石墨舟进行硅片装卸时，通过第二驱动装置（21）带动第一输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让镀膜设备将第三转运组件放到第一输送线上，第三转运组件上设有两个装有镀膜硅片的中转石墨舟；当第三转运组件放到第一输送线上后，通过第二驱动装置（21）带动第一输送线输送到检测位进行观测；

当第二中转组件上的两个中转石墨舟装卸完硅片后，通过第二驱动装置（21）将第二输送线输送到第二移动架下方；然后让第二伸缩动力装置带动第二移动架下放使第二中转组件落到第二输送线上；接着通过第二驱动装置（21）将第二输送线移动到镀膜设备的接口处，从而让第二输送线上的第二中转组件放入到镀膜设备中；当第二中转组件放入到镀膜设备中后，第二中转组件变为第三中转组件，且第二驱动装置（21）带动第二输送线移动到其原始位置；当第二输送线回到其原始位置后，通过第二驱动装置（21）将第一输送线移动到第二移动架下方，然后通过第二伸缩动力装置带动第二移动架上升，使第三中转组件落到第二移动架上的两个支撑组件上，当第三中转组件落到第二移动架上时，第三中转组件变为第二中转组件。

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