JP3516352B2 - 多段処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は多段処理装置に関する。
具体的にいうと、少なくとも上下方向に配列された複数
段の処理室を有し、被処理物を任意の処理室に収納した
り取り出したりするための機能を備えた多段処理装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置や液晶表示パネル等の製造工
程においては、一般にインライン製造設備が用いられて
いる。例えば、半導体ウエハやガラス基板等の被処理物
の表面にレジスト膜を形成する場合には、(1)被処理物
を取り出して洗浄し、(2)洗浄した被処理物を加熱乾燥
し、(3)冷却し、(4)レジスト液の密着性を高めるための
密着増強剤を被処理物の表面に噴霧し、(5)恒温槽に入
れて一定温度に保ち、(6)レジスト液を被処理物に塗布
し、(7)塗布されたレジスト液を乾燥させて溶剤を飛ば
し、(8)冷却し、(9)露光を行い、ついで(10)現像すると
いった工程が必要となる。従来にあっては、これら一連
の処理を行なうための各装置は、クリーンルーム内にラ
イン状に、かつ平面的に設置されており、コンベアによ
って被処理物を搬送しながら順次処理を施すようになっ
ていた。

【０００３】しかしながら、クリーンルーム内は各種環
境条件が厳しく管理されているため、単位面積当たりの
コストが非常にに高くつき、製造ラインないし処理ライ
ンが長くなると、クリーンルームの設備コストや維持コ
ストが非常に高価につくという問題があった。特に、タ
クトタイムの長い処理工程、例えば被処理物の乾燥工程
では、他の工程でのタクトタイムとのバランスをとり、
被処理物をスムーズに流せるようにするためには、例え
ば乾燥装置などのラインを長くしなければならず、クリ
ーンルームのコストが高くついていた。

【０００４】このため、クリーンルーム内の高さ方向の
空間を利用することが考えられている。図１０に示すも
のは、複数の乾燥室１０２を有する乾燥処理装置１０１
であって、縦２段に乾燥室１０２を有している。１０３
は作業用ロボットであって、水平面内で動くアーム１０
４の先端に支持プレート１０５を有し、アーム１０４の
基端は伸縮可能な支柱部１０６によって昇降自在に支持
されている。また、作業用ロボット１０３はレール１０
７に沿って移動可能となっている。しかして、作業用ロ
ボット１０３は、前段の洗浄装置での洗浄処理終了の信
号を受信すると、洗浄装置へ被処理物を受け取りに行
き、洗浄された被処理物を支持プレート１０５に載せて
乾燥処理装置１０１へ運び、空の乾燥室１０２内へ被処
理物を納入してセットする。その一方、乾燥処理の終了
した被処理物を支持プレート１０５上に載せて乾燥室１
０２から取り出し、次段の冷却装置へ運ぶという動作を
繰り返す。

【０００５】このような乾燥処理装置を用いれば、乾燥
室が２段に設けられているので、乾燥処理装置の長さを
１／２にすることができ、クリーンルーム内に占める占
有面積を小さくすることができる。しかしながら、乾燥
室をさらに多段にしようとすると、それに対応して作業
ロボットが最下段の乾燥室から最上段の乾燥室まで移動
しなければならないので、作業用ロボットが縦に長大な
長身形態のロボットとなり、乾燥室の多段化に対応させ
ることができなかった。このため従来にあっては、乾燥
室は縦２段が限度であって、それ以上に増やすことがで
きなかった。

【０００６】また、作業用ロボットによって被処理物を
乾燥室内に出し入れさせているので、作業用ロボットの
アームにレールと直角な方向へ大きなストロークを要求
されるが、このストローク不足を解決することが困難で
あった。

【０００７】また、作業用ロボットは、もともと洗浄装
置から乾燥処理装置へ被処理物を運び、乾燥処理装置か
ら冷却装置へ被処理物を運ぶためのものであったが、そ
の作業用ロボットに乾燥室への被処理物の納入、取り出
しを始め、処理中や処理済みの処理室の登録管理なども
行なわせることになり、作業用ロボットの制御が非常に
複雑となっていた。

【０００８】また、従来のインライン設備では、各処理
工程間での処理順序の変更や入れ替えが行なえず、フレ
キシビリティに欠けていた。そのため、例えば乾燥処理
工程を省略するなど、処理順序等の変更が必要となった
場合には、設備そのものを設置し直す必要があった。同
様に、従来の乾燥処理装置でも、乾燥室しか備えていな
いので、処理順序の変更等に対応することができなかっ
た。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は叙上の従来例
の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とする
ところは、処理室の多段構成を実現し、処理ラインの完
全分散処理化を可能にし、処理手順等のフレキシビリテ
ィを向上させることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の多段処理装置
は、処理装置本体に、少なくとも上下方向に配列された
複数の処理室と、その前面の一側部に上下移動可能な昇
降移動体とを設け、前記昇降移動体に、被処理物をほぼ
水平に運んで処理室内に納入し、あるいは処理後の被処
理物を処理室からほぼ水平に取り出すための複数の水平
移動体を上下に一体に連結して設け、前記水平移動体の
動作や前記処理室における処理時間等の当該処理装置に
おける処理プロセスをプログラミング制御可能にし、前
記水平移動体と装置外搬送手段との間での被処理物の受
け渡しを一定位置で行なわせるようにしたことを特徴と
している。

【００１１】削除

【００１２】また、前記複数の水平移動体のうちの隣接
する水平移動体間の中心間距離は、隣接する処理室間の
中心間距離とほぼ等しくなるようにされてもよい。

【００１３】また、前記処理室には、異なる処理を行な
うための処理室や同一の処理を行なうための処理室が含
まれていてもよい。

【００１４】さらに、処理工程間で被処理物を移動させ
る装置外搬送手段と、多段処理装置内部で被処理物を移
動させる前記水平移動体とを、別々に制御可能にするこ
ともできる。

【００１５】削除

【００１６】

【作用】本発明の多段処理装置にあっては、装置外搬送
手段、例えば、作業用ロボットによって前段の処理工程
から運ばれてきた被処理物を水平移動体がその受け渡し
位置で受け取り、昇降移動体によって水平移動体を昇降
させることによって目的の処理室へ被処理物を運び、さ
らに、ほぼ水平に水平移動体が移動することによって被
処理物を処理室へ納入する。一方、水平移動体がほぼ水
平に移動して処理の終了した被処理物を処理室から取り
出し、昇降移動体によって作業用ロボットとの被処理物
の受け渡し位置まで上下に移動させられる。ここで水平
移動体から作業用ロボットへ受け渡された被処理物は作
業用ロボットによって次段の処理工程へ運ばれる。従っ
て、水平移動体の制御と作業用ロボットの制御とを完全
分散制御することができる。

【００１７】また、水平移動体によって処理済みの被処
理物を処理室から取り出し、別な処理室へ運んでその処
理室へ入れ、別な処理を行なわせることもできる。すな
わち、多段処理装置内に設けられている異なる種類の処
理室で順次処理を行なわせることもできる。特に、処理
手順の変更や間引き処理等も水平移動体の制御プログラ
ムを変更するだけで容易に行なえる。

【００１８】さらに、複数の水平移動体を備えているの
で、異なる処理室での被処理物の出し入れを同時に行な
え、水平移動体の移動回数を低減でき、タクトタイムを
短くできる。

【００１９】

【実施例】図１は本発明の一実施例による多段処理装置
Ａと作業用ロボットＢを示す斜視図、図２は多段処理装
置Ａの概略水平断面図である。処理装置本体１には複数
段、特に３段以上の処理室２が縦に積み重ねるように設
けられており、各処理室２は前面で開口されていて前面
から被処理物３を出し入れすることができるようになっ
ている。また、処理室２内には、小さな接触面積で被処
理物３を支持するための支持ピン４が複数本立設されて
いる。処理装置本体１に設けられている複数の処理室２
はすべて同じ処理を行なうものであってもよいが、例え
ば乾燥処理、冷却及び密着増強剤噴霧というように異な
る処理を行なう処理室２が設けられていてもよい。さら
には、同種と異種の処理室２とが混在していてもよい。
図１では、各処理室２は処理装置本体１に一体に組み込
まれているが、組み替え自在なコンポーネント型の処理
室２を積み重ねて固定するようにしてもよい。

【００２０】また、処理装置本体１内の処理室２の左右
両側の空間には、それぞれリフター（昇降移動体）５の
後半部が納められており、リフター５の後半部はガイド
レール部６によって昇降自在に保持されている。リフタ
ー５は処理装置本体１内に設けられたリフター駆動機
構、例えばスプロケット７間に掛け回されたチェーン８
とモータ９とからなるリフター駆動機構により左右一緒
に昇降させられるようになっている。リフター５の前半
部は、処理装置本体１に開口された上下に長い開口部１
０から処理装置本体１の前面に張り出している。各リフ
ター５の対向内側面には、スペーサ１１を介してスライ
ダー駆動機構１２が設けられており、スライダー駆動機
構１２によってスライダー（水平移動体）７１が支持さ
れている。また、スライダー７１の内側面には、被処理
物３を保持するための溝部１３が設けられている。しか
して、リフター５を昇降させることによって、スライダ
ー７１が少なくとも最上段の処理室２の高さから最下段
の処理室２の高さ及び被処理物３の受け渡し位置ｐの高
さに昇降できるようになっている。また、スライダー７
１を任意の処理室２の高さに移動させた状態では、スラ
イダー７１は処理室２の前方に位置しており、スライダ
ー駆動機構１２を駆動してスライダー７１を水平に移動
させると、スライダー７１は前面から処理室２内に入り
込む。

【００２１】図３及び図４は同上のスライダー駆動機構
１２を詳細に示す一部破断した斜視図及び断面図であ
る。スライダー駆動機構１２は、固定フレーム５１、中
間フレーム６１及びスライダー７１からなり、前後両方
向へ中間フレーム６１及びスライダー７１が伸びるよう
に構成されている。

【００２２】固定フレーム５１は、断面略Ｅ形をしたア
ルミニウム押出し成形品のＥ形フレーム材５２を主体と
して構成されており、Ｅ形フレーム材５２の内側側面に
全長にわたって突出している上フランジ部５３の下面、
中間フランジ部５４の側面および下フランジ部５５の上
面にはそれぞれ複数個のカムフォロア（ローラ）５６，
５７，５８が回転自在に枢支されている。

【００２３】中間フレーム６１は異形引抜成形品の異形
フレーム材６２を主体として構成されており、左右両側
面の中央部に全長にわたって水平突出部６４が突出し、
その上下にＬ形をした溝形突出部６３，６５が突出して
いる。この中間フレーム６１の一方側面に突出している
溝形突出部６３の上面の溝部６３ａ及び溝形突出部６５
の下面の溝部６５ａ内には、固定フレーム５１のカムフ
ォロア５６，５８を嵌め込まれており、これによって中
間フレーム６１と固定フレーム５１とが分離しないよう
に一体に結合されている。また、水平突出部６４が固定
フレーム５１のカムフォロア５７の上に載置されてお
り、中間フレーム６１の重量はカムフォロア５７によっ
て支持されている。従って、カムフォロア５６，５７，
５８が転動することによって中間フレーム６１がスムー
ズにスライドできる。

【００２４】スライダー７１は固定フレーム５１とほぼ
面対称な構造を有しており、断面略Ｅ形をしたアルミニ
ウム押出し成形品のＥ形フレーム材７２を主体として構
成されている。Ｅ形フレーム材７２の内側側面に突出し
ている上フランジ部７３の下面、中間フランジ部７４の
側面および下フランジ部７５の上面にはそれぞれカムフ
ォロア（ローラ）７６，７７，７８が回転自在に枢支さ
れている。しかして、カムフォロア７６，７８は中間フ
レーム６１の他方側面に突出している溝形突出部６３の
上面の溝部６３ａ及び溝形突出部６５の下面の溝部６５
ａ内に嵌め込まれており、これによって中間フレーム６
１とスライダー７１とが分離しないように一体に結合さ
れている。また、カムフォロア７７が溝形突出部６５の
上面に載置されており、スライダー７１の重量は溝形突
出部６５によって支持されている。したがって、カムフ
ォロア７６，７７，７８が転動することによってスライ
ダー７１がスムーズにスライドできる。

【００２５】こうして、スライダー駆動機構１２におい
ては、中間フレーム６１が固定フレーム５１にスライド
自在に支持され、スライダー７１が中間フレーム６１に
スライド自在に支持されており、スライダー７１が固定
フレーム５１を中心として両方向へ伸びるようになって
いる。しかも、固定フレーム５１のカムフォロア５６，
５８及びスライダー７１のカムフォロア７６，７８の直
径は中間フレーム６１の溝形突出部６３及び溝形突出部
６５の内寸とほぼ等しくなっている（つまり、カムフォ
ロア５６，５８，７６，７８が溝形突出部６３，６５内
でがたつかず、しかも、溝形突出部６３，６５内で硬嵌
め状態とならないようにしている）ので、中間フレーム
６１及びスライダー７１が横方向に振れるのを防止でき
る。また、固定フレーム５１のカムフォロア５７及びス
ライダー７１のカムフォロア７７の直径も中間フレーム
６１の水平突出部６４と溝形突出部６５の間の高さにほ
ぼ等しくなっている（つまり、カムフォロア５７，７７
が水平突出部６４内でがたつかず、しかも、水平突出部
６４内で硬嵌め状態とならないようにしている）ので、
中間フレーム６１及びスライダー７１が縦方向に振れる
のを防止できる。

【００２６】つぎに、スライダー駆動機構１２の動きに
ついて説明する。固定フレーム５１はモータブロック９
１に固定されている。モータブロック９１は駆動モータ
９２、減速機９３、前面板９４及び駆動ピニオン機構９
５からなり、固定フレーム５１の中央部は前面板９４に
固定されている。駆動ピニオン機構９５は３枚のピニオ
ン９５ａ，９５ｂ，９５ｃからなり、中央の原動ピニオ
ン９５ａは減速機９３の出力軸９３ａに直結されてお
り、２枚の従動ピニオン９５ｂ，９５ｃは前面板９４に
回転自在に枢支され、原動ピニオン９５ａの両側で原動
ピニオン９５ａと噛み合っている。また、中間フレーム
６１の下面には、全長にわたってラック９６が設けられ
ており、両側の従動ピニオン９５ｂ，９５ｃが当該ラッ
ク９６と噛み合っている。従って、駆動モータ９２によ
って原動ピニオン９５ａが駆動されると、従動ピニオン
９５ｂ，９５ｃと中間フレーム６１のラック９６との噛
み合いによって中間フレーム６１が駆動され、中間フレ
ーム６１が突出させられる。このとき、図５に示すよう
に、ラック９６が駆動ピニオン９５ｃ（あるいは、９５
ｂ）との噛み合いが外れる直前まで中間フレーム６１を
突出させることができるので、３枚のピニオン９５ａ，
９５ｂ，９５ｃからなる駆動ピニオン機構９５によれ
ば、１枚のピニオン（例えば、原動ピニオン９５ａ）の
みで構成している場合に比べ、中間フレーム６１の突出
距離を原動及び従動ピニオン９５ａ，９５ｂ間の水平距
離分Ｌ１だけ延長させることができる。また、駆動ピニ
オン９５ａの回転方向によって中間フレーム６１の突出
方向を変えることができる。

【００２７】また、固定フレーム５１及びスライダー７
１の内側側面には、各中間フランジ部５４，７４の上方
に全長にわたってそれぞれラック５９，７９が設けられ
ている。一方、中間フレーム６１の中央部において水平
突出部６４上面と上側の溝形突出部６３下面との間には
開口９７が設けられており、この開口９７内において水
平突出部６４の上面には倍ストローク伝達ピニオン機構
９８が配設されている。この倍ストローク伝達ピニオン
機構９８は、両端の噛合ピニオン９９ａ，９９ｂと一列
に配列された複数枚の伝達ピニオン８０ａ，８０ｂ，８
０ｃとから構成されており、１方の噛合ピニオン９９ａ
の回転が伝達ピニオン８０ａ，８０ｂ，８０ｃを介して
他方の噛合ピニオン９９ｂに伝達される。また、一方の
噛合ピニオン９９ａは固定フレーム５１のラック５９と
噛み合っており（収縮時には、スライダー７１のラック
７９とも噛み合っている。）、他方の噛合ピニオン９９
ｂはスライダー７１のラック７９と噛み合っている（収
縮時には、固定フレーム５１のラック５９とも噛み合っ
ている。）。従って、駆動ピニオン機構９５によって中
間フレーム６１がスライドさせられると、ラック５９と
噛合ピニオン９９ａとの噛み合いによって噛合ピニオン
９９ａが回転し、この回転が伝達ピニオン８０ａ，８０
ｂ，８０ｃを通して他方の噛合ピニオン９９ｂに伝わ
り、噛合ピニオン９９ｂが回転する。この結果、噛合ピ
ニオン９９ｂの回転によってラック７９が送られるの
で、スライダー７１が駆動され、スライダー７１が突出
させられる。よって、駆動ピニオン機構９５によって中
間フレーム６１が突出させられると、倍ストローク伝達
ピニオン機構９８によってスライダー７１がさらに中間
フレーム６１から突出させられ、中間フレーム６１が引
っ込むとスライダー７１も同時に引っ込む。しかも、ス
ライダー７１の突出時には、図６に示すように、スライ
ダー７１のラック７９が噛合ピニオン９９ｂ（又は、９
９ａ）との噛み合いが外れる直前までスライダー７１を
突出させることができるので、倍ストローク伝達ピニオ
ン機構９８を用いることにより、１枚のピニオン（例え
ば、噛合ピニオン９９ａ）でスライダー７１に動力を伝
達させる場合に比べ、スライダー７１の突出距離を噛合
ピニオン９９ａ，９９ｂ間の距離分Ｌ２だけ延長させる
ことができる。また、中間フレーム６１の突出方向に応
じてスライダー７１も両方向にスライドするようになっ
ている。

【００２８】なお、駆動ピニオン機構９５の従動ピニオ
ン９５ｃ（９５ｂ）の中心から固定フレーム５１のラッ
ク５９の端までの水平距離と、中間フレーム６１のラッ
ク９６の端から倍ストローク伝達機構９８の噛合ピニオ
ン９９ａ（９９ｂ）の中心までの水平距離とは、ほぼ等
しくなっている。また、固定フレーム５１、中間フレー
ム６１及びスライダー７１の長さは互いに等しくなって
いる。

【００２９】また、図１に示す作業用ロボットＢは、前
段の処理装置（図示せず）で受け取った被処理物３を多
段処理装置Ａの受け渡し位置ｐへ運び、また多段処理装
置Ａの受け渡し位置ｐで受け取った被処理物３を次段の
処理装置（図示せず）へ運ぶものであって、水平面内で
動くアーム１４の先端部に被処理物３を載せるための支
持プレート１５が設けられている。また、作業用ロボッ
トＢはレール１６に沿って移動できるようになってい
る。

【００３０】つぎに、上記多段処理装置Ａの動作を図７
（ａ）〜（ｅ）に従って説明する。スライダー７１は被
処理物３の受け渡し位置ｐに待機しており、図７（ａ）
（ｂ）に示すように作業用ロボットＢによって前段の処
理装置から搬送されてきた被処理物３はスライダー７１
の溝部１３内に挿入され、スライダー７１へ移載され
る。あるいは、スライダー７１は前方へも移動できるの
で、スライダー７１によって被処理物３を迎えに行くよ
うにしてもよい。こうしてスライダー７１に被処理物３
が載置されると、図７（ｃ）に示すようにリフター５に
よってスライダー７１が目的とする処理室２の高さまで
上昇させられ、その高さでスライダー駆動機構１２によ
ってスライダー７１が処理室２内に挿入され、図７
（ｄ）のように被処理物３は支持ピン４の上に運び込ま
れる。ついで、リフター５が少し降下することによって
被処理物３がスライダー７１から支持ピン４の上に載置
される。被処理物３が支持ピン４の上に載ると、スライ
ダー７１は処理室２から元の位置に戻り、リフター５は
再び元の受け渡し位置ｐに戻って待機する。

【００３１】被処理物３の処理が終了すると、上記の順
序と逆の順序に従って処理室２内の被処理物３がスライ
ダー７１によって取り出され、受け渡し位置ｐへ運ばれ
る。受け渡し位置ｐでは、スライダー７１から作業用ロ
ボットＢへ被処理物３が移載され、作業用ロボットＢに
よって次段の処理装置へ搬送される。

【００３２】あるいは、多段処理装置Ａに異なる種類の
処理室２が設けられている場合には、処理の終了した被
処理物３はスライダー７１によって当該処理室２から取
り出され、次の処理を行なう処理室２へ運ばれ、その処
理室２内に納入されて処理を施される。これにより、被
処理物３は多段処理装置Ａ内で順次複数の処理を施され
ることになる。

【００３３】多段処理装置Ａはプログラム制御可能とな
っており、これらリフター５及びスライダー７１によっ
て被処理物３を処理する順序や処理時間等は、予め多段
処理装置Ａにプログラムされている。従って、多段処理
装置Ａ内における処理順序の変更や処理の間引き（例え
ば、冷却処理を省略する場合など）をする場合などに
は、多段処理装置Ａのプログラムを変更するだけで対応
することができる。また、多段処理装置Ａにおける処理
順序等の制御は、作業用ロボットＢとは独立しているの
で、多段処理装置Ａと作業用ロボットＢを完全分散制御
化することができ、作業用ロボットＢの制御を簡単にす
ることができる。

【００３４】また、多段処理装置Ａ内での被処理物３の
操作はリフター５及びスライダー７１によって行なわれ
るので、処理室２の段数が作業用ロボットＢの制約によ
って制限されることがなく、処理室２を多段化すること
ができる。従って、クリーンルームの高さ方向の空間の
利用効率を高めることができ、クリーンルームにおける
占有面積を小さくすることができる。

【００３５】図８は本発明の別な実施例における多段処
理装置Ｃを示す一部破断した概略平面図である。この多
段処理装置Ｃにおいては、複数段の処理室２を有する処
理装置本体１の前面両側部に昇降ユニット１７を設けて
いる。昇降ユニット１７内には、リフター５及びリフタ
ー駆動機構が納められており、スライダー駆動機構１２
及びスライダー７１はリフター５から処理室２の前面側
へ張り出すように設けられている。この実施例では、リ
フター５及びリフター駆動機構を処理装置本体１内に設
けず、別体としているので、リフター駆動機構等の点検
修理等が容易に行なえる。また、多段処理装置に後付け
とすることもできる。さらには、処理室２を横方向にも
複数列に設け、昇降ユニット１７を横方向にも移動可能
にするといったことも考えられる。

【００３６】なお、図８の実施例では、処理装置本体の
前面に昇降ユニットを設けたが、スライダーが処理室の
前方に位置するようにしてあれば、処理装置本体の側面
に昇降ユニットを取り付けてあっても差し支えない。

【００３７】図９は本発明のさらに別な実施例の一部を
示す正面図である。図９では一方のリフター５及びスラ
イダー７１だけを示しているが、他方のスライダー７１
も対称な形態を有している。この実施例では、リフター
５の側面に上下２段にスライダー駆動機構１２及びスラ
イダー７１を設けてあり、しかも上下のスライダー７１
の中心間距離は処理室２の中心間距離とほぼ等しくなっ
ている。しかして、この実施例では、上下のスライダー
７１にそれぞれ被処理物３を載せて運ぶことができ、同
時に２枚の被処理物３を処理室に出し入れすることがで
きる。あるいは、一方のスライダー７１の上の被処理物
３を処理室２に納入しながら、同時に他方のスライダー
７１によって処理済みの被処理物３を処理室２から取り
出すことができる。従って、この実施例では、スライダ
ー７１の移動回数を減らすことができ、タクトタイムを
短くすることができる。

【００３８】なお、上記各実施例では、左右一対のスラ
イダーを有しており、左右から被処理物を保持するよう
にしていたが、スライダーは１本だけであっても差し支
えない。例えば、作業ロボットの支持プレートと同様な
形状の支持部を有するスライダーで被処理物の中央部下
面を支持するようにしてもよい。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、処理装置本体に設けら
れた昇降移動可能な水平移動体によって被処理物を所定
の処理室へ運ぶことができるので、従来のように処理室
を多段に構成しても作業用ロボット（装置外搬送手段）
が長大化したり、負担が大きくなったりすることがなく
なる。従って、処理室を多段に構成することが可能とな
り、クリーンルーム等の高さ方向の空間を活用し、処理
ラインを短くすることができる。この結果、クリーンル
ーム等のコストを大幅に低減することができる。

【００４０】また、従来例のように作業用ロボットのス
トローク不足の問題も無くなる。さらに処理工程間で被
処理物を移動させる作業用ロボットと多段処理装置内部
で被処理物を移動させる水平移動体とを別々に制御する
ことが可能となり、完全分散処理制御を実現することが
でき、特に作業用ロボットの制御を簡単にすることがで
きる。

【００４１】さらに、作業用ロボットと水平移動体との
間での被処理物の受け渡しを一定位置で行なわせるよう
にしているので、作業用ロボットの制御をより簡単にす
ることができる。

【００４２】また、異なる処理を行なうための処理室が
多段に設けられている場合には、水平移動体の制御手順
のプログラムを変更するだけで処理手順の変更や間引き
処理も容易に行なえる。

【００４３】さらに、複数の水平移動体を上下に一体に
連結して備えているので、異なる処理室での被処理物の
出し入れを略同時に行なえ、水平移動体の移動回数を低
減でき、タクトタイムを短くできる。殊に、複数の水平
移動体を、隣接する水平移動体間の中心間距離が隣接す
る処理室間の中心間距離とほぼ等しくなるようにして上
下に備えているので、隣接する異なる処理室での被処理
物の出し入れを昇降調節なしに同時に行なえ、水平移動
体の移動回数をさらに低減でき、タクトタイムをさらに
短くできる。加えて、処理装置本体の前面の一側部に昇
降移動体が設けられ、該昇降移動体に複数の水平移動体
が上下に一体に連結して設けられているので、処理装置
本体の前面の両側部に昇降移動体が設けられる場合に比
較して、昇降・水平移動体構造がきわめて簡単化される
とともに、省スペースとなり、昇降移動体が設けられな
い他側部側に開放される空間をメンテナンス用等に使用
して、空間使用効率をさらに向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による多段処理装置を示す斜
視図である。

【図２】同上の概略平断面図である。

【図３】同上のスライダー駆動機構の構造を示す斜視図
である。

【図４】同上のスライダー駆動機構の横断面図である。

【図５】同上のスライダー駆動機構の駆動ピニオン機構
の動作を説明する図である。

【図６】同上のスライダー駆動機構の倍ストローク伝達
ピニオン機構の動作を説明する図である。

【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）は同上の多段
処理装置の動作説明図である。

【図８】本発明の別な実施例による多段処理装置を示す
一部破断した概略平面図である。

【図９】本発明のさらに別な実施例の一部を示す概略正
面図である。

【図１０】従来例による多段処理装置を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

Ａ 多段処理装置 Ｂ 作業用ロボット １ 処理装置本体 ２ 処理室 ３ 被処理物 ５ リフター １２ スライダー駆動機構 ７１ スライダー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−241840（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−48802（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−309423（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−72404（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68,21/027 B65G 1/00,1/04

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理装置本体に、少なくとも上下方向に
   配列された複数の処理室と、その前面の一側部に上下移
   動可能な昇降移動体とを設け、 前記昇降移動体に、被処理物をほぼ水平に運んで処理室
   内に納入し、あるいは処理後の被処理物を処理室からほ
   ぼ水平に取り出すための複数の水平移動体を上下に一体
   に連結して設け、 前記水平移動体の動作や前記処理室における処理時間等
   の当該処理装置における処理プロセスをプログラミング
   制御可能にし、 前記水平移動体と装置外搬送手段との間での被処理物の
   受け渡しを一定位置で行なわせるようにしたことを特徴
   とする多段処理装置。
2. 【請求項２】 前記複数の水平移動体のうちの隣接する
   水平移動体間の中心間距離は、隣接する処理室間の中心
   間距離とほぼ等しくなるようにされたことを特徴とする
   請求項１に記載の多段処理装置。
3. 【請求項３】 前記複数の処理室は、異なる処理を行な
   うための処理室を含むことを特徴とする請求項１または
   ２に記載の多段処理装置。
4. 【請求項４】 前記複数の処理室は、同一の処理を行な
   うための処理室を含むことを特徴とする請求項１または
   ２に記載の多段処理装置。
5. 【請求項５】 処理工程間で被処理物を移動させる前記
   装置外搬送手段と、前記多段処理装置内部で被処理物を
   移動させる前記水平移動体とを、別々に制御可能にした
   ことを特徴とする請求項１に記載の多段処理装置。