JP4974523B2 - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、ウェハ単位またはカセット単位での半導体基板の処理方法を定義するレシピ情報に基づいて、半導体基板に対する検査を行う基板検査装置および基板検査方法に関する。

半導体ウェハに対する検査を行うウェハ検査装置において、ウェハに対してどのような検査を行うか、すなわち、検査をするかしないか、また、どのような条件で検査するかを定義する「レシピ情報」が用いられる。このレシピ情報は、ウェハに対して処理が行われる前に予め定義され、処理単位であるカセットまたはウェハ自体もしくはその他の単位に対して割り付けられる。カセットとは、ウェハを収納・保持するための容器を意味するが、ここでは、一括処理の単位をも意味するものとする。１カセットは、通常、２５スロットからなり、各スロットにウェハが１枚ずつ収納される。

ウェハ検査装置は、処理開始前にそれぞれのカセットまたはウェハ等に対して割り付けられたレシピ情報によって示される処理の内容に基づいて処理を行う。１つのレシピを、１つの処理単位（１カセット等）に含まれる全てのウェハに割り付ける処理を特に一括処理といい（またはバッチ処理等という。以下、単に一括処理という）、スロットごと（基板ごと）に任意のレシピを割り付ける処理を枚葉処理という。

一括処理においては、１処理単位の全てのウェハが同じ処理内容で処理されるため、抜き取り処理（１カセットのウェハの中から所定枚数ごとに一部のウェハを抜き取り、所定の処理を行うこと）等の設定が難しい。また、多品種少量生産の場合、品種ごとに処理が異なるため、品種ごとにカセットを用意し、各カセットに対して一括処理を行うことになる。この場合には、１カセットに含まれるウェハの枚数が少なくなり、ウェハの処理コストが上昇し、また、多品種用の設備が必要なので設備コストが増大する。この問題点を改善するために枚葉処理が設けられており、この処理方法によれば、例えば１つのカセットの中のいくつかのウェハをあるレシピ内容Ａで処理し、他のウェハを別のレシピ内容Ｂで処理するといった処理が可能となる。

図８（ａ）は、従来の一括処理用のレシピ情報を用いたレシピの割付の例を示している。例えば、図示されるような内容の一括処理用のレシピＡおよびレシピＢが用意されている場合に、１つのレシピＢを全ての処理対象に対して一括で割り付けることにより、レシピＢに基づいた同じ処理が行われる。図８（ｂ）は、従来の枚葉処理用のレシピ情報を用いたレシピの割付の例を示している。図示されているような内容の枚葉処理用のレシピＡおよびレシピＢが用意されている場合に、任意のスロットに対してそれぞれのレシピを割り付けることにより、例えばスロット１のウェハはレシピＢ、スロット３のウェハはレシピＡに従って処理が行われるように処理を切り替えることができる。

なお、特許文献１には、枚葉処理を容易に設定し、実行することができる基板処理装置が記載されている。
特開平１１−１８６３６６号公報

しかし、従来のウェハ検査装置において、多品種少量生産の場合、品種ごとおよびスロットごとに枚葉処理用のレシピを各ウェハに割り付ける必要があり、割付のための手動による操作が面倒であるという問題があった。しかも、ウェハ検査の場合には、一部のウェハのみをカセットから抜き取って検査する抜き取り検査を行う場合があり、１枚１枚のウェハに対して、各ウェハに適したレシピを手動で割り付けるのは大変面倒であった。

本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、検査内容に適したレシピをより簡易に割り付けることができる基板検査装置および基板検査方法を提供することを目的とする。

本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査装置において、品種ごとの前記レシピ情報を記憶する記憶手段と、検査する品種ごとの前記レシピ情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した前記レシピ情報の内容を、前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成する情報生成手段とを具備し、前記情報生成手段は、前記レシピ情報の内容を割り付けたスロット基板が存在しない場合に、該スロットに割り付けた内容を他の同じ品種に対応するスロットに割り付けることを特徴とする基板検査装置である。
また、本発明は、基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査装置において、品種ごとの前記レシピ情報を記憶する記憶手段と、検査する品種ごとの前記レシピ情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した前記レシピ情報の内容を、前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成する情報生成手段とを具備し、前記情報生成手段は、事前に設定された前記レシピ情報の割付モードに従って前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることによって、前記新たなレシピ情報を生成し、生成された前記新たなレシピ情報を、事前に入力された検査時必要条件に適合するように再度編集することを特徴とする基板検査装置である。

また、本発明の基板検査装置において、前記情報生成手段はさらに、前記記憶手段から読み出したレシピ情報に基づいて、処理単位の品種ごとの複数のスロットに対して抜き取り検査を一括で割り付けることを特徴とする。

また、本発明の基板検査装置において、前記情報生成手段は、品種ごとに割り付けられる前記レシピ情報のスロット番号の１番から順に前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることを特徴とする。

また、本発明の基板検査装置において、前記情報生成手段は、検査対象のスロットのスロット番号と、該スロットに割り付けられる前記レシピ情報のスロット番号とが同一となるように前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることを特徴とする。

また、本発明の基板検査装置において、前記検査時必要条件は、検査種類ごとの抜き取り検査比率であることを特徴とする。

また、本発明の基板検査装置において、前記検査時必要条件は、検査種類ごとの最低検査回数であることを特徴とする。

また、本発明は、基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査方法において、前記レシピ情報の割付モードを入力するステップと、検査対象の基板の品種、および該基板が収納されたスロットの位置情報を取得するステップと、前記基板の品種に対応する前記レシピ情報を取得するステップと、入力された前記割付モードに従って、各品種の前記レシピ情報を、該レシピ情報に対応した前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成するステップと、前記レシピ情報の内容を割り付けたスロット基板が存在しない場合に、該スロットに割り付けた内容を他の同じ品種に対応するスロットに割り付けるステップと、を含むことを特徴とする基板検査方法である。
また、本発明は、基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査方法において、前記レシピ情報の割付モードを入力するステップと、検査対象の基板の品種、および該基板が収納されたスロットの位置情報を取得するステップと、前記基板の品種に対応する前記レシピ情報を取得するステップと、入力された前記割付モードに従って、各品種の前記レシピ情報を、該レシピ情報に対応した前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成するステップと、事前に設定された前記レシピ情報の割付モードに従って前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることによって、前記新たなレシピ情報を生成するステップと、生成された前記新たなレシピ情報を、事前に入力された検査時必要条件に適合するように再度編集するステップと、を含むことを特徴とする基板検査方法である。

本発明によれば、予め用意されたレシピ情報の内容を、複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成するので、検査内容に適したレシピをより簡易に割り付けることができるという効果が得られる。

以下、図面を参照し、本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は、本発明の第1の実施形態によるウェハ検査装置（基板検査装置）の構成を示すブロック図である。また、図２は、ウェハ検査装置を上から見た平面図である。本実施形態によるウェハ検査装置は、ウェハのマクロ検査およびミクロ検査を行うように構成されている。マクロ検査においては、ウェハ表面のキズ、汚れ、およびゴミ等の有無の判定が、検査者の目視あるいは自動観察によって行われる。このマクロ検査においては、ウェハの一方の面（表面）を検査するマクロ表検査と、ウェハの他方の面（裏面）を検査するマクロ裏検査が行われるものとする。ミクロ検査においては、顕微鏡を用いた精度の高い局所的なウェハの拡大観察および検査が行われる。また、ウェハのエッジ部分やその周縁部を検査する端面検査機構を備えていてもよい。

以下、図中の各構成について説明する。表示部１は、画像や文字等を表示する表示画面を備えており、制御部４による表示制御に基づいて、レシピ情報の内容等の情報を表示する。操作部２は、検査者が操作するスイッチや、マクロ検査時にウェハを揺動するために検査者が操作するジョイスティック等を備えている。また、操作部２は、マクロ検査やミクロ検査のレシピを設定する操作ボタン等も備えている。通信制御部３は、図示せぬ工場内のホストコンピュータと接続されており、ホストコンピュータとの通信を制御する。制御部４（情報生成手段）は、ウェハ検査装置の各部を制御すると共に、レシピ情報に係る処理を行う。

記憶部５（記憶手段）は、検査内容や検査条件を指定するレシピ情報等の情報を記憶する。ミクロ検査部６は局所観察用の顕微鏡や、ウェハを観察したい位置に移動するステージ機構等を備えており、拡大観察によるミクロ検査が可能なように構成されている。マクロ検査部７は、ウェハを支持および揺動する機構や照明等を備えており、マクロ検査が可能なように構成されている。なお、ミクロ検査部６とマクロ検査部７との間には、これらの間でウェハを搬送する回転３本アーム等の搬送機構１０が設けられている。ウェハ搬送部８は、搬送アームを有し、ウェハの保持部においては、真空吸着等によりウェハを吸着し、カセットローダー部９とマクロ検査部７の検査受入れ位置１１との間でウェハを搬送する搬送機構を備えている。

カセットローダー部９は、ウェハが収納されたカセットをウェハ検査装置に載置する機構や、ウェハの収納ピッチの間隔でカセットを上下動して所定位置に移動させるエレベータ機構等を備えている。ただし、ウェハ搬送部８が上下動可能となっている場合は、エレベータ機構を省略することもできる。本実施形態におけるカセットは１３枚、２５枚、２６枚等の複数枚のウェハを収納可能であり、各ウェハに対応したスロットには、下または上から順にスロット１、スロット２、・・・、スロット２５というようにスロット識別番号が付与されているものとする。

次に、本実施形態によるウェハ検査装置の概略動作を説明する。検査に用いられるレシピ情報は、検査者によって検査前に予め作成されているものとする。レシピ情報の作成時には、検査者によって操作部２が操作され、その操作に基づいた信号が操作部２から制御部４へ出力される。制御部４は、この信号に基づいて、検査者による操作の内容を判断する。操作部２を介してレシピ情報の編集が指示されると、制御部４は記憶部５から編集対象のレシピ情報を読み出して、その内容に基づいた表示情報を生成し、表示部１へ出力する。表示部１は、表示情報に基づいて、文字等によりレシピ情報の内容を表示する。検査者は、表示部１に表示された内容を確認しながら、操作部２を操作し、検査実行用のレシピ情報を作成（編集）する。制御部４は、操作部２から出力された信号に基づいてレシピ情報を作成し、記憶部５にレシピ情報を格納する。このレシピ情報の詳細については後述する。

続いて、検査者によって操作部２が操作され、ウェハ検査の開始指示が入力されると、開始指示を示す信号が操作部２から制御部４へ出力される。制御部４は、この信号に基づいて、記憶部５から検査実行用のレシピ情報を読み出し、そのレシピ情報の内容に基づいてウェハ検査装置の各部を制御する。まず制御部４は、検査対象のウェハを示す信号をカセットローダー部９へ出力する。カセットローダー部９は、エレベータ機構によりカセットを上昇または下降させる。もしくは、ウェハ搬送部８が搬送アームを上昇または下降させる。続いて、ウェハ搬送部８は検査対象のウェハをカセットから検査受入れ位置１１に移動させる。ウェハのマクロ検査を行うことがレシピ情報に記録されている場合には、制御部４は、マクロ検査部７への搬送を搬送機構１０に指示する。指示を受けた搬送機構１０はウェハをカセットローダー部９からマクロ検査部７へ搬送する。

マクロ検査部７においてはマクロ検査が行われる。制御部４は、レシピ情報に基づいて、ウェハをマクロ検査用回転揺動ステージに載置して目視検査するマクロ表検査のみ、あるいはマクロ表検査と、搬送機構１０が備えるＬ字アームにより基板を吸着保持し反転させて目視検査するマクロ裏検査との両方を行うようにマクロ検査部７を制御する。マクロ検査が終了した場合、再びレシピ情報に基づいて次の処理が決定される。制御部４は、レシピ情報を参照して次の処理を決定し、ミクロ検査を行う場合には、搬送機構１０に対してミクロ検査部６へのウェハの搬送を指示する。この指示を受けた搬送機構１０はマクロ検査部７からミクロ検査部６へウェハを搬送する。一方、ミクロ検査を行わない場合には、制御部４は、搬送機構１０およびウェハ搬送部８に対してカセットローダー部９へのウェハの搬送を指示する。この指示を受けた搬送機構１０は、ミクロ検査部６を介してウェハを搬出位置（検査受入れ位置１１）に搬送する。ウェハ搬送部８はウェハを搬出位置（検査受入れ位置１１）からカセットローダー部９へ搬送し、カセットにウェハを収納する。

ミクロ検査部６へウェハが搬送された場合には、ミクロ検査部６においてミクロ検査が行われる。制御部４は、レシピ情報に基づいてミクロ検査部６を制御する。ミクロ検査が終了した場合、全ての検査が終了となる。制御部４は、検査が終了したウェハの搬送を搬送機構１０およびウェハ搬送部８に指示する。この指示を受けた搬送機構１０は、搬出位置（検査受入れ位置１１）にウェハを搬送する。ウェハ搬送部８は、ウェハを搬出位置（検査受入れ位置１１）からカセットローダー部９へ搬送し、カセットにウェハを収納する。続いて、上述した動作と同様にして、次のウェハに対する検査が行われる。

次に、本実施形態におけるレシピ情報について説明する。図３は、１つの品種に対応したレシピ情報の内容を示しており、図３（ａ）は、品種Ａに対応したレシピＡ、図３（ｂ）は、品種Ｂに対応したレシピＢの内容を示している。これらのレシピは記憶部５に予め記録されている。図示されているように、各レシピにおいて、マクロ表検査、マクロ裏検査、およびミクロ検査の３種類の検査の実施の有無がスロットごとに規定されている。

例えば、レシピＡにおいて、スロット１のウェハに対しては、３種類の検査を全て実行することが指定されており、スロット２のウェハに対しては、マクロ表検査のみを実行することが指定されている。このように、品種ごとに処理内容の異なる複数のレシピが予め用意されているが、本説明においては、説明の便宜上、レシピＡとレシピＢの２種類のレシピを用いることにする。なお、レシピ情報には、各検査の実施の有無の他に、各検査における検査条件（例えばマクロ検査においては照明の光量や波長等、ミクロ検査においては顕微鏡の倍率やウェハ上の検査位置等）が含まれていてもよい。

マクロ表検査に関しては、レシピＡとレシピＢの両方において、全スロットのウェハを検査対象とする全数検査となっている。また、マクロ裏検査に関しては、所定スロットごとのウェハを検査対象とする抜き取り検査（レシピＡについては奇数スロットの抜き取り、レシピＢについては３枚ごとに１枚抜き取り）となっている。ミクロ検査に関しても同様に抜き取り検査（レシピＡについては３枚ごとに１枚抜き取り、レシピＢについてはスロット１のみ抜き取り）となっている。レシピ情報には、検査種数ごとの抜き取り検査比率や最低検査回数情報が含まれていてもよい。抜き取り検査比率とは、カセット内の全ウェハの数に対する抜き取り検査対象のウェハの数の比率である。また、最低検査回数情報とは、カセット内の全ウェハにおける検査の合計検査回数（マクロ表検査、マクロ裏検査、ミクロ検査等の全検査の合計検査回数でもよいし、個別の検査ごとの合計検査回数でもよい）の最低実施回数の情報である。

なお、予め用意されているレシピ情報に関しては、検査者が操作部２を介して所定のレシピ内容を入力することによって生成することが可能であるし、通信制御部３を介したホストコンピュータとの通信によりウェハ検査装置の外部から取得することも可能である。いずれにせよ、レシピＡおよびレシピＢは既に用意されているものとし、これらのレシピに基づいて、制御部４のレシピ情報生成機能により、実際の検査時に用いられるレシピ（検査実行レシピ）が新たに作成されるものとする。また、各スロット番号に対する処理が記録されたレシピ情報から新たなレシピ情報を作成するのではなく、前述した抜き取り検査比率や最低検査回数のみの情報から、条件に合うように、制御部４が新たに一括で抜き取り検査を割り付けてレシピ情報を作成するようにしてもよい。

図４は、レシピＡおよびレシピＢに基づいて新たに作成されたレシピの内容を示している。このレシピは、スロット１〜スロット６に品種Ａのウェハが収納され、スロット７〜スロット１３に品種Ｂのウェハが収納されたカセットに対して適用されるものである。このカセットのスロット１４〜スロット２５にはウェハが収納されていないものとする。図示されているように、スロット１〜スロット６にはレシピＡのスロット１〜スロット６の内容が割り付けられており、スロット７〜スロット１３にはレシピＢのスロット１〜スロット７の内容が割り付けられている。スロット１４〜スロット２５の空スロットにはレシピは割り付けられていない。

次に、図４に示される検査実行レシピの作成手順について説明する。検査者によって操作部２が操作され、操作部２からレシピの作成を示す信号が制御部４へ出力される。例えば、ウェハ検査装置の動作モードを切り替えるスイッチが検査者によって操作され、レシピ作成モードが指定されたとする。操作部２は動作モードの切替を示す信号を制御部４へ出力し、制御部４は、その信号に基づいて動作モードを切り替える。続いて、使用するレシピ情報（レシピＡおよびレシピＢ）の指定が検査者によって操作部２から入力されると、制御部４はレシピＡおよびレシピＢを記憶部５から読み出す。

制御部４は、各レシピの内容を表示するための表示情報を生成し、表示部１へ出力する。検査者は、表示部１に表示されたレシピＡおよびレシピＢの内容を確認し、検査実行レシピの内容を入力する。制御部４は、操作部２から出力された信号に基づいて、検査実行レシピを作成する。一例であるが、検査者は、操作部２のスイッチやボタン等を操作することにより、検査実行レシピの割付開始スロット、割付終了スロット、および割付レシピを入力する。検査者が検査実行レシピのスロット１およびスロット６を指定すると共に、レシピＡを指定すると、制御部４は、検査実行レシピのスロット１〜スロット６に対してレシピＡのスロット１〜スロット６の内容を割り付ける。

続けて検査者が検査実行レシピのスロット７およびスロット１３を指定すると共に、レシピＢを指定すると、制御部４は、検査実行レシピのスロット７〜スロット１３に対してレシピＢのスロット１〜スロット７の内容を割り付ける。この操作においては、検査実行レシピのスロット番号に関係なく、割付レシピのスロット１から順に割付が行われる。続けて検査者が検査実行レシピのスロット１４およびスロット２５を指定すると共に、空スロットであることを指定した場合、あるいはスロット１４〜スロット２５に関しては何も指定せずに検査実行レシピの決定を指定すると、検査実行レシピのスロット１４〜スロット２５にはレシピの割付は行われず、図４に示されるような内容の検査実行レシピが作成される。制御部４は、作成した検査実行レシピを記憶部５に格納する。また、カセットローダー部９に搭載されたウェハ有無センサにより、カセット内の各スロットのウェハの有無状況を検出して、空スロットについてはレシピの割付を行わないようにすることも可能である。

図４に示される検査実行レシピを従来の手法により作成する場合には、少なくとも４種類の枚葉処理用レシピを用意し、スロット１〜スロット１３に対して４種類の枚葉処理用レシピの中からいずれかのレシピを１スロットずつ割り付ける作業が必要であり、煩雑であった。しかし、上述した手法によれば、全スロットのうち、指定された複数スロットに対して一括でレシピを割り付けるという、一括処理と枚葉処理のいわば中間的な割付を行うことにより、レシピの割付をより簡易に行うと共に、検査者による操作の煩雑さの軽減を図り、操作性を向上することができる。本実施形態による検査実行レシピの作成手法は、特に多品種少量生産に好適である。また、ウェハのミクロ検査においては検査時間の短縮のため、通常、全数検査ではなく抜き取り検査が行われているが、抜き取り検査の設定も容易に行うことができる。また、図４に示される検査レシピの作成を、通信制御部３を介したホストコンピュータとの通信により、ホストコンピュータの指示に基づいて行うことも可能である。その場合も、上述した手法によれば、ホストコンピュータからウェハ検査装置への指示の煩雑さが軽減できるので、ホストコンピュータの負荷が軽減され、ホストコンピュータの処理能力を向上することができる。

次に、検査実行レシピの他の内容例について説明する。図５は、図４とは異なる検査実行レシピの内容例を示している。図示されているように、この検査実行レシピのスロット１〜スロット６にはレシピＡのスロット１〜スロット６の内容が割り付けられており、スロット７〜スロット１３にはレシピＢのスロット７〜スロット１３の内容が割り付けられている。スロット１４〜スロット２５の空スロットにはレシピは割り付けられていない。このように、検査対象のスロット番号と、そのスロットに割り付けられたレシピ（レシピＡおよびレシピＢ）のスロット番号とが同一となるように割付が行われる。

検査実行レシピの作成手順は、図４に示される検査実行レシピの場合と同様である。ただし、この場合には、割付対象の検査実行レシピのスロット番号と、割り付けられるレシピＡまたはレシピＢのスロット番号とが同一となることが予めウェハ検査装置に設定されている。一例であるが、検査者が検査実行レシピのスロット１およびスロット６を指定すると共に、レシピＡを指定すると、制御部４は、検査実行レシピのスロット１〜スロット６に対してレシピＡのスロット１〜スロット６の内容を割り付ける。

続けて検査者が検査実行レシピのスロット７およびスロット１３を指定すると共に、レシピＢを指定すると、制御部４は、検査実行レシピのスロット７〜スロット１３に対してレシピＢのスロット７〜スロット１３の内容を割り付ける。続けて検査者が検査実行レシピのスロット１４およびスロット２５を指定すると共に、空スロットであることを指定した場合、あるいはスロット１４〜スロット２５に関しては何も指定せずに検査実行レシピの決定を指定すると、検査実行レシピのスロット１４〜スロット２５にはレシピの割付は行われず、図５に示されるような内容の検査実行レシピが作成される。制御部４は、作成した検査実行レシピを記憶部５に格納する。なお、検査実行レシピのスロット番号に関係なく、レシピＡまたはレシピＢのスロット１から順に割付を行うか、それとも検査実行レシピのスロット番号と、そのスロットに割り付けられたレシピＡもしくはレシピＢのスロット番号とが同一となるように割付を行うかを検査者が予め指定できるようにしてもよい。また、ホストコンピュータから指定できるようにしてもよい。

図６は、図４および図５とは異なる検査実行レシピの内容例を示している。ここでは、品種ごとのレシピ情報に、検査種類ごとの抜き取り検査比率や最低検査回数の情報等の検査時必要条件が含まれているものとする。この検査実行レシピは、検査者による操作に基づいて、一旦、制御部４によって検査実行レシピが作成された後、品種ごとのレシピ情報の条件に合わない場合に、自動で変更が施されたものである。ここでは、検査工程の前工程において何らかのトラブルにより、スロット７〜スロット８が空スロットとなったことを想定している。スロット７〜スロット８が空スロットとなった結果、品種ごとのレシピ情報の条件から外れるため、それらのスロットに設定されていた抜き取り検査が他のスロットで代わりに実行されるように、代替処理が他のスロットに設定される。

以下、図６に示される検査実行レシピの作成手順を説明する。まず、前述した手順と同様にして検査実行レシピが作成される。一例であるが、検査者が検査実行レシピのスロット１およびスロット７を指定すると共に、レシピＡを指定すると、制御部４は、検査実行レシピのスロット１〜スロット７に対してレシピＡのスロット１〜スロット７の内容を割り付ける。続けて検査者が検査実行レシピのスロット８およびスロット１４を指定すると共に、レシピＢを指定すると、制御部４は、検査実行レシピのスロット８〜スロット１４に対してレシピＢのスロット１〜スロット７の内容を割り付ける。続けて検査者が検査実行レシピのスロット１５およびスロット２５を指定すると共に、空スロットであることを指定した場合、あるいはスロット１５〜スロット２５に関しては何も指定せずに検査実行レシピの決定を指定すると、検査実行レシピのスロット１５〜スロット２５にはレシピの割付は行われず、図６に示されるような内容の検査実行レシピが作成される。

続いて、制御部４は、カセットローダー部９に対して、レシピが割り付けられたスロット１〜スロット１４にウェハが収納されているかどうかの確認を指示する。指示を受けたカセットローダー部９は、図示せぬ検出器により、各スロットにおけるウェハの有無を判定し、判定結果を制御部４へ出力する。制御部４は、この判定結果に基づいて、スロット７およびスロット８が空スロットであると判断する。なお、通信制御部３を介してホストコンピュータと通信を行い、ホストコンピュータから空スロットの情報を取得し、その情報に基づいて制御部４が空スロットか否かを判断するようにしてもよい。

続いて、制御部４は、品種ごとのレシピ情報にある検査時必要条件を満たしていないとき、空スロットであると判断したスロットに割り付けられているレシピ内容を他のスロットに設定する処理を行う。この場合、代替処理の条件として、空スロットの上または下の（隣の）スロットに代替処理を設定することが予めウェハ検査装置に設定されているものとする。まず、制御部４は、スロット７に割り付けられているレシピ内容を他のスロットに設定する。スロット７の１つ上のスロット８は空スロットであるため、制御部４は、スロット７の１つ下のスロット６に代替処理を設定する。この場合、スロット７に割り付けられていたレシピＡ・スロット７のマクロ裏検査およびミクロ検査の実行がスロット６に割り付けられる。ここでもし、検査時必要条件を満たしていないときは、さらに他のスロットの処理を自動で変更するようにしてもよい。

また、制御部４は、スロット８に割り付けられているレシピ内容を他のスロットに設定する。スロット８の１つ下のスロット７は空スロットであるため、制御部４は、スロット８の１つ上のスロット９に代替処理を設定する。この場合、スロット８に割り付けられていたレシピＢ・スロット８のマクロ裏検査およびミクロ検査の実行がスロット９に割り付けられる。制御部４は、上記のようにして作成した検査実行レシピを記憶部５に格納する。

上記の代替処理の条件は予めウェハ検査装置に設定されているものとする。あるいは、ホストコンピュータとの通信によって条件が設定されたり、レシピ情報として各品種ごとに設定されていてもよい。なお、代替処理の条件の設定は上述した形態に限定されない。例えば、抜き取り検査の代替処理を他のスロットに設定しないようにしてもよい。また、抜き取り検査の代替処理を他のスロットに設定する場合に、代替処理を同一品種の最下端のスロットから詰めて設定したり、最上端のスロットから詰めて設定したりしてもよい。

従来においては、前工程における何らかのトラブルにより発生した空スロットに対して、ホストコンピュータの指示により、例外処理（異常処理）が発生した場合、ホストコンピュータがその場で臨機応変に抜き取り検査の代替処理を指定するような対応はホストコンピュータのソフトウェアの能力上、困難であった。その場合には、検査を取り消し（ウェハキャリアをウェハ検査装置から払い出し、ストッカーに戻して）、再度ホストコンピュータ側で空スロットを外してから抜き取り検査スロットを指定したレシピ設定を行った上でウェハを再投入することになるため、中断ロス時間が長くなり、検査効率を大幅に低下させることになる。

しかし、本実施形態のように、検査者によってレシピ情報が割り付けられたスロットが空スロットであった場合に、他のスロットに代替処理を設定することにより、前工程における何らかのトラブルにより空スロットが発生しても、ホストコンピュータや検査者に対して処理（あるいはレシピ設定）を再度問い合わせることなく、工程の品質保証レベルとして指定された数量または比率の抜き取り検査を実行することができる。また、ホストやオペレータに対する再度の問合せの必要がないので、検査工程が途中で中断することなく継続することができる。したがって、ウェハ製造工程の品質保証レベルを低下させることなく、中断によるロスを防止し、検査効率を向上させることができる。

次に、本発明の第２の実施形態を説明する。第１の実施形態では、一括で割り付けるレシピを操作者が選択し、設定したが、本実施形態ではレシピ作成の作業を、事前に入力されたモードに従って自動で行う。本実施形態によるウェハ検査装置の構成および機能は、図１および図２に記載された第１の実施形態と同じであるので、その説明を省略する。

以下、図７を参照しながら、本実施形態によるウェハ検査装置の動作を説明する。検査に用いられる単一品種用レシピ情報（ウェハの処理内容が定義された品種ごとのレシピ情報）は、カセット内のウェハが単一品種であるときに用いられるものとして、検査者によって検査前に予め品種ごとに作成されている。この単一品種用レシピ情報は、通信制御部３に接続された図示せぬ全体制御部であって、ウェハ検査装置から離れた場所にあるコンピュータ上に記録されているものとする。本実施形態では、ネットワークに接続されたホストコンピュータ（本実施形態では情報を記憶する記憶手段として機能する）上に単一品種用レシピ情報が記録されているものとする。

また、今回検査を行うカセットのＩＤ番号は、ホストコンピュータに登録され、管理されているものとする。さらに、カセットのＩＤ番号と、カセット内のウェハの品種や、そのウェハの搭載されたスロットの位置とが対応付けられてホストコンピュータに記録されているものとする。

まず、検査者によって操作部２が操作され、レシピの割付モード（ウェハ検査装置によるレシピ情報作成時のレシピの割付方法）の選択（入力）が行われる。レシピの割付モードとしては、カセット内にあるウェハの品種ごとに各単一品種用のレシピ情報をそのレシピ情報のスロット１番から順番に割り付けるモード（図４参照）、検査対象のカセットのスロット番号と各単一品種用のレシピ情報のスロット番号とが一致するようにその割付レシピを割り付けるモード（図５参照）等がある。レシピの割付モードの選択時には、ＧＵＩ（Graphical User Interface）によって表示部１に表示されたボタン等の画面上での操作により、上記の選択が行われる。

また、空スロットがあるときに、空スロットに割り付けられるレシピをその前後等の他のスロットに割り付けるモードを設定するかしないかの選択も行われる。また、検査種類ごとの抜き取り検査比率や最低検査回数情報等の検査時必要条件も事前に入力される（以上、ステップＳ１）。上記の選択内容に応じた信号が操作部２から制御部４へ出力され、制御部４は、その信号に基づいて選択内容を識別する。選択されたモードや検査時必要条件は記憶部５に格納されて記憶される。なお、これらの情報はホストコンピュータに記録されてもよく、また、各単一品種用のレシピ情報の中にこれらの情報が含まれるようにしてもよい。また、それぞれの情報は、必要に応じて、制御部４によって適宜読み込まれて使用されるものとする。

続いて、今回検査を行う複数品種（例えば品種ＡとＢの２つ等）のウェハが収められたカセットの検査実行レシピの作成開始が、表示部１の画面に表示されたレシピ作成開始ボタン等を検査者が操作部２の操作によりクリックすること等によって、指示される。このとき、レシピ情報の作成開始の指示を示す信号が操作部２から制御部４に出力され、制御部４は、この信号に基づいて、検査実行レシピの作成に係る次の段階の制御を開始する（ステップＳ２）。制御部４は、今回検査を行うカセットにどのような複数品種がどのようにスロットごとに収められているか、および空スロット位置等に関するカセットの情報を、予めそれらの情報を取得しているホストコンピュータから取得するよう通信制御部３へ指示を出力する（ステップＳ３）。

この指示に基づいて通信制御部３は、カセットのＩＤ番号に基づいて、検査するカセットの情報をホストコンピュータから取得し、制御部４へ出力する。制御部４は、そのカセットの情報から、カセット内にあるウェハの品種や、そのウェハが収納されているスロットの位置の情報を取得する（ステップＳ４）。続いて、制御部４は、各品種に対応する単一品種用レシピ情報を、通信制御部３を介してホストコンピュータから取得する（ステップＳ５）。

必要な情報を取得した後、制御部４は、事前に設定されたモードに従って、各単一品種用のレシピを品種ごとに各スロットに割り付け、検査実行レシピを作成する。このとき、設定されたモードに従って、カセット内にあるウェハの品種ごとに各単一品種用のレシピ情報をそのレシピ情報のスロット１番から順番に割り付ける、あるいは検査対象のカセットのスロット番号と各単一品種用のレシピ情報のスロット番号とが一致するようにそのレシピ情報を割り付ける等によって、レシピの内容が各スロットに一括で割り付けられる。また、設定されたモードによっては、空スロットがあるときに、空スロットに割り付けられるレシピがその前後等の他のスロットに割り付けられる（ステップＳ６）。

続いて、制御部４は、作成したレシピ情報が、設定された検査種類ごとの抜き取り検査比率や最低検査回数等の検査時必要条件に適合しているかどうか判定し、適合していない場合には、検査時必要条件に適合するようにレシピの再割付（再編集）を行い、レシピ情報を更新する（ステップＳ７）。ステップＳ６で作成したレシピ情報が検査時必要条件に適合している場合には、ステップＳ７の処理を飛ばしてそのまま次の処理に進む。

検査実行レシピを作成した後、制御部４は、その内容に基づいて表示情報を生成し、表示部１へ出力する。表示部１は、表示情報に基づいて、表や文字等により新たな検査実行レシピの内容を表示する（ステップＳ８）。検査者は、表示部１によって表示された内容を確認することができ、編集が必要であるかどうかの判断を行う。制御部４は、操作部２から出力される信号を監視することによって、検査者からの指示を監視し、検査実行レシピの編集を行うかどうかを判断する（ステップＳ９）。

例えば、検査実行レシピの編集が必要であると検査者が判断した場合には、操作部２が操作され、編集の指示が入力される。このような場合には、制御部４は、操作部２を介して入力される検査者による手動による編集の内容に基づいて、検査実行用の新たなレシピの編集を行う（ステップＳ１０）。また、一定時間（例えば１分間）内に検査者が操作を行わなかった場合、またはＧＵＩによって表示部１に表示されたレシピ作成完了ボタンを検査者が操作部２の操作によりクリック等した場合等には、制御部４は、検査実行レシピが完成した（レシピの編集が終了した）と判断する。このような場合には、制御部４は記憶部５に新たな検査実行レシピを格納し、レシピの作成作業を終了する（ステップＳ１１）。

続いて、検査者によって操作部２が操作され、ウェハ検査の開始指示が入力されると、開始指示を示す信号が操作部２から制御部４へ出力され、検査が開始される。この後の検査は第１の実施形態と同様なので説明を省略する。

本実施形態では、事前に各種レシピや、レシピ割付のモード、検査時必要条件を登録した後、レシピ作成の指示が入力されてから、作成されたレシピが表示されるまでのレシピ作成作業が、制御部４の自動作成機能によって行われる。これによって、操作者の操作の負担を低減することができ、さらなるレシピ作成の時間短縮を図ることができる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、表裏面のマクロ検査、ミクロ検査に加え、ウェハ周縁部を検査する端面検査を追加しても、同様にレシピの作成が可能である。また、検査装置以外の各種基板処理装置等にも本発明は適用可能である。

本発明の第1の実施形態によるウェハ検査装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第1の実施形態によるウェハ検査装置の平面図である。 本発明の第1の実施形態におけるレシピ情報の内容を示す参考図である。 本発明の第1の実施形態における検査実行レシピの内容を示す参考図である。 本発明の第1の実施形態における他の検査実行レシピの内容を示す参考図である。 本発明の第1の実施形態における他の検査実行レシピの内容を示す参考図である。 本発明の第２の実施形態によるウェハ検査装置のレシピ情報作成時の動作の手順を示すフローチャートである。 従来のレシピ情報の内容を示す参考図である。

符号の説明

１・・・表示部、２・・・操作部、３・・・通信制御部、４・・・制御部、５・・・記憶部、６・・・ミクロ検査部、７・・・マクロ検査部、８・・・ウェハ搬送部、９・・・カセットローダー部、１０・・・搬送機構。

Claims (9)

1. 基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査装置において、
   品種ごとの前記レシピ情報を記憶する記憶手段と、
   検査する品種ごとの前記レシピ情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した前記レシピ情報の内容を、前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成する情報生成手段とを具備し、
   前記情報生成手段は、前記レシピ情報の内容を割り付けたスロットが存在しない場合に、該スロットに割り付けた内容を他の同じ品種に対応するスロットに割り付ける
   ことを特徴とする基板検査装置。
2. 基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査装置において、
   品種ごとの前記レシピ情報を記憶する記憶手段と、
   検査する品種ごとの前記レシピ情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した前記レシピ情報の内容を、前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成する情報生成手段とを具備し、
   前記情報生成手段は、事前に設定された前記レシピ情報の割付モードに従って前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることによって、前記新たなレシピ情報を生成し、生成された前記新たなレシピ情報を、事前に入力された検査時必要条件に適合するように再度編集する
   ことを特徴とする基板検査装置。
3. 前記情報生成手段はさらに、前記記憶手段から読み出したレシピ情報に基づいて、処理単位の品種ごとの複数のスロットに対して抜き取り検査を一括で割り付けることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板検査装置。
4. 前記情報生成手段は、品種ごとに割り付けられる前記レシピ情報のスロット番号の１番から順に前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかの項に記載の基板検査装置。
5. 前記情報生成手段は、検査対象のスロットのスロット番号と、該スロットに割り付けられる前記レシピ情報のスロット番号とが同一となるように前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかの項に記載の基板検査装置。
6. 前記検査時必要条件は、検査種類ごとの抜き取り検査比率であることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。
7. 前記検査時必要条件は、検査種類ごとの最低検査回数であることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。
8. 基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査方法において、
   前記レシピ情報の割付モードを入力するステップと、
   検査対象の基板の品種、および該基板が収納されたスロットの位置情報を取得するステップと、
   前記基板の品種に対応する前記レシピ情報を取得するステップと、
   入力された前記割付モードに従って、各品種の前記レシピ情報を、該レシピ情報に対応した前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成するステップと、
   前記レシピ情報の内容を割り付けたスロットが存在しない場合に、該スロットに割り付けた内容を他の同じ品種に対応するスロットに割り付けるステップと、
   を含むことを特徴とする基板検査方法。
9. 基板の処理内容を定義するレシピ情報に基づいて前記基板の検査を１つのカセット内の複数品種に対して行う基板検査方法において、
   前記レシピ情報の割付モードを入力するステップと、
   検査対象の基板の品種、および該基板が収納されたスロットの位置情報を取得するステップと、
   前記基板の品種に対応する前記レシピ情報を取得するステップと、
   入力された前記割付モードに従って、各品種の前記レシピ情報を、該レシピ情報に対応した前記カセット内の指定された複数のスロットに対して一括で割り付けることにより、新たなレシピ情報を生成するステップと、
   事前に設定された前記レシピ情報の割付モードに従って前記レシピ情報の内容を一括で割り付けることによって、前記新たなレシピ情報を生成するステップと、
   生成された前記新たなレシピ情報を、事前に入力された検査時必要条件に適合するように再度編集するステップと、
   を含むことを特徴とする基板検査方法。

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