JP3887493B2 - 基板処理方法及び同装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、プリント基板、半導体ウエハ等の基板処理方法及び同装置において、特に、複数の基板を収納したカセットから基板を一枚ずつ取出して処理する基板処理方法及び同装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、液晶表示装置用ガラス基板等の処理装置においては、複数の処理部を直列に配設して処理ラインを構成し、このラインの端部に設けられたインデクサーから順次基板を供給しながら各処理部で順次処理を施すようにした基板処理装置は一般に知られている。
【０００３】
この装置において、基板は、箱型のカセットに多段に収納されて上記インデクサーに搬入され、該カセットから一枚ずつ取り出されて処理ラインに供給される。そして、各処理部での処理が終了すると再びカセットに収納され、別の基板処理装置等へと運ばれるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この種の基板処理装置では、処理部での処理時間等の具体的な処理内容（レシピ）とこれに対応する処理内容情報（レシピ番号）とが予め定められており、例えば、上記インデクサーにカセットがセットされた後にオペレータがレシピ番号を入力してレシピを設定するようになっている。この際、レシピの設定は、カセット単位で行ういわゆるシングル処理であって、カセット内に収納された基板毎にレシピを設定するいわゆるマルチ処理を行うことはできなかった。
【０００５】
そのため、レシピの異なる複数の基板を同一のカセットに収納して処理に供すことはできなかった。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、マルチ処理を可能として合理的な基板の処理を達成することができる基板処理方法及び装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、入力画面に従いオペレータが行う入力操作により、予め定めた複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列をレシピデータとして入力すると、複数の基板を収納したカセットから基板を取出し、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施すシングル処理を実行する基板処理方法において、レシピデータとして、処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列の代わりに、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と、当該カセットに収納された基板に施される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力すると、前記シングル処理の代わりに、当該文字列から基板特定情報と処理内容情報とを調べ、これらの情報に基づいてカセット内の各基板に対応する処理内容情報を割り当てるとともに、割り当てられた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すマルチ処理を実行するようにしたものである（請求項１）。
【０００８】
この方法によれば、シングル処理およびマルチ処理のいずれの処理をも行うことができる。
【０００９】
この方法においては、同一カセット内に収納された基板に対する処理内容情報の割り当て順序を予め設定しておき、マルチ処理を実行する際のレシピデータとして、同一処理を施す基板の枚数を前記割り当て順序に従って特定するように定めた前記基板特定情報と、この情報により特定される枚数毎の処理内容情報を前記割り当て順序に従って羅列した前記羅列情報とを並べた前記文字列を入力すると、前記基板特定情報に基づき特定される枚数毎に、前記羅列情報に羅列した順序に従って処理内容情報を各基板に割り当てるようにしてもよい（請求項２）。
【００１０】
上記の方法において、特に、前記レシピデータ中に、処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するようにすれば（請求項３）、シングル処理かマルチ処理かの判断を容易に行うことが可能となる。
【００１１】
また、請求項１又は２記載の方法において、レシピデータの入力画面においてシングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とを同一とし、当該位置に入力された文字列に処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時にマルチ処理を実行するようにすれば（請求項４）、シングル処理およびマルチ処理の入力位置の共通化により、入力スペースを有効に活用でき、また、入力画面の構成もシンプルとなる。
【００１２】
なお、請求項１又は２記載の方法においては、レシピデータの入力画面においてシングル処理用のレシピデータを入力する第１入力位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する第２入力位置とを個別に設け、当該第２入力位置に文字列が入力されると前記マルチ処理を実行するようにしてもよい（請求項５）。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明、予め定めた複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列がレシピデータとして入力されると、複数の基板を収納したカセットから基板を取出し、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施すシングル処理を実行する基板処理装置において、上記レシピデータとして処理内容情報のみからなる文字列の他に、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と当該カセットに収納された基板に施 される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力可能な入力手段と、前記処理内容情報と基板特定情報とを並べた文字列が上記入力手段を介して入力されると、前記シングル処理の代わりに、当該文字列から基板特定情報と処理内容情報とを調べ、これらの情報に基づいてカセット内の基板に対応する処理内容情報を割り当てるとともに、割り当てられた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すマルチ処理を実行する制御手段とを備えているものである（請求項６）。
【００１４】
この装置によれば、レシピデータとして処理内容情報のみからなる文字列を入力すればシングル処理が自動的に行われ、レシピデータとして処理内容情報と処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力すればマルチ処理が自動的に行われる。そのため、請求項１記載の方法を自動的に実施することが可能となる。
【００１５】
この装置は、同一カセット内に収納された基板に対する処理内容情報の割り当て順序が予め設定されるものであって、前記制御手段は、マルチ処理を実行する際のレシピデータとして、同一処理を施す基板の枚数を前記割り当て順序に従って特定するように定めた前記基板特定情報と、この情報により特定される枚数毎の処理内容情報を前記割り当て順序に従って羅列した前記羅列情報とを並べた前記文字列が前記入力手段により入力されると、前記基板特定情報に基づき特定される枚数毎に、前記羅列情報に羅列した順序に従って処理内容情報を各基板に割り当てるものであってもよい（請求項７）。
【００１６】
上記の装置において、特に、前記レシピデータ中に、処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するように前記制御手段を構成すれば（請求項８）、シングル処理かマルチ処理かの選択及び判断が容易になる。
【００１７】
また、請求項６又は７に記載の装置において、前記レシピデータの入力画面を表示する表示手段を備えるものでは、シングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とが同一である入力画面を表示するように上記表示手段を構成し、当該位置に入力された文字列に処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するように前記制御手段を構成するようにすれば（請求項９）、レシピデータの入力スペースを有効に活用でき、また、入力画面の構成もシンプルとなる。
【００１８】
また、請求項６又は７記載の装置において、前記レシピデータの入力画面を表示する表示手段を備えるものでは、シングル処理用のレシピデータを入力する第１入力位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する第２入力位置とが相互に異なる入力画面を表示するように前記表示手段を構成し、前記第２入力位置に文字列が入力されると前記マルチ処理を実行するように前記制御手段を構成するようにしてもよい（請求項１０）。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２０】
図１は、本発明に係る基板処理装置を概略的に示している。この図に示す基板処理装置は、例えば、液晶表示器用のガラス基板の処理において、基板表面に所定パターンのレジスト膜を形成した基板に対してエッチング処理及び剥離処理を施す装置である。
【００２１】
この装置は、同図に示すように、インデクサーユニット１０、エッチングユニット１２、方向転換ユニット１４および剥離ユニット１６によって構成されており、インデクサーユニット１０から供給される基板を順次搬送しながら各ユニット１２，１４，１６で処理を施した後、再度、インデクサーユニット１０に基板を戻すように、他のユニット１２，１４，１６がインデクサーユニット１０に対してＵ字型に接続されたレイアウト構成となっている。
【００２２】
上記インデクサーユニット１０には、複数の基板を収納したカセット２（図３参照；同図中符号Ｗは基板を示す）を載置する複数のカセット載置部４ａ〜４ｄと、基板搬送用のロボット５が設けられ、上記各カセット載置部４ａ〜４ｂにセットされたカセット２からロボット５により基板を取り出し、この基板を受渡し部１１にセットするとともに、処理済みの基板を受入れ部１７から受け取ってもとのカセット２に収納するように構成されている。なお、上記受渡し部１１および受入れ部１７は後述のローラコンベア１８ａ，１８ｂにより構成されている。
【００２３】
上記エッチングユニット１２は、ウエットエッチング処理部２０（以下、単にエッチング処理部２０という）、水洗処理部２２および乾燥処理部２４を有するとともに、基板搬送のめのローラコンベア１８ａを備えており、インデクサーユニット１０から供給される基板を例えば水平姿勢で搬送しながらエッチング処理、水洗処理および乾燥処理を順次施すように構成されている。
【００２４】
各エッチング処理部２０および水洗処理部２２は、それぞれ処理槽を有しているとともにその内部にエッチング液や純水を供給するための多数のノズルを備えており、稼働中は、各ノズルから基板に向けてエッチング液や純水を吹き付けることにより基板にエッチング処理や水洗処理を施すように構成されている。また、乾燥処理部２４も同様に処理槽を有しており、例えば、その内部に備えられたスリット状のノズルから基板に向けて気体を吹き付けることにより基板に付着した液体を除去して乾燥させるように構成されている。
【００２５】
上記剥離ユニット１６は、剥離処理部３０、水洗処理部３２および乾燥処理部３４を有しているとともに、ローラコンベア１８ｂを備えており、エッチングユニット１２での処理を終えた基板を搬送しながら剥離処理、水洗処理および乾燥処理を順次施すように構成されている。なお、ローラコンベア１８ｂは、エッチングユニット１２同様に基板を水平姿勢で搬送するように構成されている。
【００２６】
剥離ユニット１６の各処理部も基本的にはエッチングユニット１２の各処理部同様に処理槽を有しており、剥離処理部３０および水洗処理部３２においては各処理槽内で基板に向けて剥離液や純水を吹き付けることにより剥離処理や水洗処理を施し、また、乾燥処理部３４では、スリット状のノズルから基板に向けて気体を吹き付けることにより基板に付着した液体を除去して乾燥させるように各処理部が構成されている。
【００２７】
上記方向転換ユニット１４は、詳しく図示していないが、エッチングユニット１２での処理を終えた基板を水平姿勢に保持したまま、ローラコンベア１８ａによる搬送方向と水平面上で直交する方向（図示の例では上方向）に移動させて剥離ユニット１６に基板を搬入するように構成されている。
【００２８】
図２は、上記基板処理装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【００２９】
この図に示すように、基板処理装置は、上記インデクサーユニット１０を制御するインデクサーユニット制御部４２と、エッチングユニット１２を制御するエッチングユニット制御部４４と、剥離ユニット１６を制御する剥離ユニット制御部４６と、方向転換ユニット１４を制御する方向転換ユニット制御部４８と、基板処理装置を統括的に制御する主制御部４０（制御手段）とを備えており、上記各ユニット制御部４２〜４８がそれぞれ主制御部４０に接続されている。
【００３０】
また、キーボード等の入力部５０（入力手段）が設けられ、これが主制御部４０に接続されるとともに、ディスプレイからなる表示部５２が設けられ、この表示部５２が表示画面制御部５４を介して主制御部４０に接続されている。さらに、基板の処理内容（以下、レシピという）に関するデータを記憶するレシピ情報記憶部５６が設けられ、これが主制御部４０に接続されている。
【００３１】
上記主制御部４０は、上述のように基板処理装置を統括制御するもので、稼動中は、上記レシピデータの入力画面等の各種画面を表示させるべく表示画面制御部５４を介して表示部５２を制御するとともに、オペレータによるレシピ番号（処理内容情報）の入力に基づき、入力されたレシピ番号に対応するレシピで基板を処理すべく上記各ユニット制御手段４２〜４８を介して各ユニット１０〜１６を制御するように構成されている。
【００３２】
すなわち、この装置では、上記レシピ情報記憶部５６に、複数種類のレシピと、これを特定するレシピ番号とが対応付けられて記憶されており、後述するように、このレシピ番号を含むレシピデータが上記入力部５０を介して入力されると、上記主制御部４０において入力されたレシピデータを解析して、特定されるレシピで基板を処理すべく各ユニット１２〜１６を制御するようになっている。
【００３３】
ここで、入力部５０を介して入力されるレシピ番号およびレシピデータについて説明する。
【００３４】
当実施形態では、レシピとして９種類のレシピが設定され、これらレシピの識別番号としてレシピ番号「１」〜「９」が各レシピに割り付けられている。従って、オペレータはこのレシピ番号によってレシピを特定する。
【００３５】
レシピの設定は、レシピ番号を含んだレシピデータを、上記入力部５０を介して入力することにより行う。当実施形態では、カセット２に収納された全ての基板を同一レシピで処理するシングル処理と、カセット２に収納された基板毎にレシピを設定して処理するマルチ処理とが可能であり、いずれの処理を行うかにより以下のような異なるレシピデータを入力する。
【００３６】
すなわち、シングル処理を行う場合には、一のレシピを選択し、レシピデータとして該レシピに対応するレシピ番号のみを入力する。
【００３７】
一方、マルチ処理を行う場合には、レシピ番号と、カセット内の基板を特定する基板特定情報と、マルチ処理を実行するための判別情報とを以下のように規則的に組み合わせた文字列をレシピーコードとして入力する。具体的には、以下のようなレシピデータを入力する。
【００３８】
【数１】
「ＸＸ３９１６７８９３」
このレシピデータにおいて、一桁目の「Ｘ」はマルチ処理を指定するための判別情報を示している。一桁目及び二桁目の「Ｘ」は基板特定情報、すなわち同一レシピの処理を何枚毎に施すかを特定する情報であって、「Ｘ」の数によりその基板枚数を特定する。なお、この例では、判別情報及び基板特定情報として「Ｘ」を共用しており、「Ｘ」の数によりその基板枚数を特定している。上記の例では「Ｘ」は２つであり、２枚ずつ同一の処理を施すことを示している。三桁目以降の各数字はそれぞれレシピ番号であって、この例では、特定される基板に対して順次レシピ番号「３」，「９」，「１」…に対応するレシピで処理を施すことを示している。
【００３９】
つまり、上記数１のレシピデータは、マルチ処理を行うものであって、その内容は、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１，２番目の基板をレシピ番号「３」のレシピに従って、
第３，４番目の基板をレシピ番号「９」のレシピに従って、
第５，６番目の基板をレシピ番号「１」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。なお、基板番号は、カセット２に形成されるスロット２ａの識別番号、すなわち基板の収納部の識別番号を基板番号とみなしており、当実施形態では、図３に示すように、カセット２の下段から順に連続した番号とされている。
【００４０】
次に、基板の処理動作制御について図３のフローチャートに基づいて図４及び図５を用いつつ説明する。
【００４１】
前提として、基板の処理は、上記カセット載置部４ａ〜４ｄのいずれかに、処理対象となる基板を収納したカセット２がセットされた後、オペレータが上記表示部５２に表示された画面に従い入力部５０を介してレシピデータ等の必要な情報を入力することにより開始される。
【００４２】
すなわち、上記表示部５２には、例えば図４に示すように、各カセット載置部４ａ〜４ｄ毎に「状態」，「カセットＮｏ．」，「ロットＮｏ．」及び「レシピ」を表示するための表示欄６４〜７０が設けられており、これら表示欄６４〜７０のうち「カセットＮｏ．」、「ロットＮｏ．」及び「レシピ」の各表示欄７０にそれぞれ任意のカセットＮｏ．，ロットＮｏ．と上記レシピデータとを入力する。なお、「レシピ」の表示欄７０は１つであり、シングル処理およびマルチ処理のいずれを行う場合も、レシピデータはこの表示欄７０に入力する。そして、ロットＮｏ．およびレシピデータの入力後、実行キーを操作することにより、該カセットに収納された基板の処理が開始される。なお、「状態」欄は自動的に表示される。
【００４３】
基板の処理動作制御においては、まず、図５のステップＳ１において、上記ロットＮｏ．及びレシピデータの入力待機状態とされ、これらのデータが入力されると、次いで入力されたレシピデータの一桁目が「Ｘ」か否かを判断する（ステップＳ２）。つまり、シングル処理かマルチ処理かを判断する。
【００４４】
ここで、ＮＯと判断した場合（すなわち、シングル処理と判断した場合）には、入力されたレシピデータに基づき各基板に対して同一のレシピ番号を割り当てる（ステップＳ３）。この場合（すなわちシングル処理を行う場合）には、通常、一のレシピに対応する一のレシピ番号のみがレシピデータとして入力されているので、カセット２内の全基板に対してこのレシピ番号を割り当てる。なお、複数のレシピ番号が羅列されている場合には、入力ミスが考えられるため、このような場合には画面上に入力ミスが発生した旨を表示するようにしてもよい。
【００４５】
次いで、カウンタｎに初期値「１」をセットし、その後、カセット２の最下段に収納された第１番目の基板を取り出して上記受渡し部１１に供給する（ステップＳ４，Ｓ５）。これにより割り当てられたレシピ番号に対応するレシピで基板を処理する。
【００４６】
次いで、ステップＳ６において、カセット２内の全ての基板を取り出したか否かを判断し、ＮＯと判断した場合には、カウンタｎをインクリメントしてステップＳ５に移行し（ステップＳ７）、第２番目の基板を取り出して上記受渡し部１１に供給する。そして、全ての基板をカセット２から取り出したら（ステップＳ６でＹＥＳ）、本フローチャートを終了する。
【００４７】
一方、ステップＳ２においてＹＥＳと判断した場合には（すなわち、マルチル処理と判断した場合）には、カウンタｍに初期値「０」をセットした後、連続して入力されている「Ｘ」の数Ｓを調べ、さらに「Ｘ」に続いて入力されている第ａ（＝ｍ＋１）番目のレシピ番号を調べる（ステップＳ８〜Ｓ１０）。そして、カウンタ値（ｍ＝０）及び文字「Ｘ」の数Ｓに基づき以下の式により求められる範囲の基板にａ番目のレシピ番号を割り当てる（ステップＳ１１）。
【００４８】
【数２】
ｍ・Ｓ＋１〜（ｍ＋１）・Ｓ
例えば、数１に示すレシピデータであれば、Ｓ＝２であるから、カウンタ値ｍ＝０のとき、基板番号の範囲は「１〜２」となる。また、ａ＝１であるから、レシピ番号は「３」となる。すなわち、カセット２内の第１〜２番目の基板に対してレシピ番号「３」を割り当てる。
【００４９】
次いで、ステップＳ１２において、カセット２内の全ての基板についてレシピ番号を割り当てた否かを判断し、ＮＯと判断した場合には、カウンタｍをインクリメントしてステップＳ１０に移行し、上記同様にステップＳ１０，Ｓ１１の処理に基づきレシピ番号を基板に割り当てる。この場合、数１に示すレシピデータであれば、カウンタ値ｍ＝１のときの基板番号の範囲は上記数２（Ｓ＝２）より「３〜４」となる。また、ａ＝２であるから、レシピ番号は「９」となる。すなわち、カセット２内の第３〜４番目の基板に対してレシピ番号「９」を割り当てる。
【００５０】
こうして最終的にカセット２内の全ての基板に対してレシピ番号を割り当てたら（ステップＳ１２でＹＥＳ）、ステップＳ４に移行し、以後、カセット２の最下段に収納された第１番目の基板から順次取り出して上記受渡し部１１に供給し、割り当てたレシピ番号に対応するレシピで基板を処理する。
【００５１】
このように上記の基板処理装置によると、従来のシングル処理の他にマルチ処理をも行うことができるようにしているので、従来のこの種の装置と比較すると、より合理的な基板処理を達成することができるという特徴がある。すなわち、マルチ処理が不可能であった従来の装置では、レシピの異なる基板は、たとえ一枚でも必ず別カセットに収納する必要があり、多品種少量生産が要求される近年では、基板を満載しない状態のカセット２をインデクサーユニット１０に搬入するケースが増えており無駄が多かった。しかし、上記のようにマルチ処理を行えるようにしたことで、常にカセット２に対して基板を満載することが可能となり、その分インデクサーユニット１０に対するカセット２の出し入れ回数を減らした合理的な基板処理が達成される。
【００５２】
しかも、マルチ処理を可能としながらも、その指定は、図４に示す入力画面に設けられた共通の「レシピ」表示欄７０にレシピデータを入力することにより行う、つまりシングル処理とマルチ処理の各レシピデータの入力部分が共通化されているので、入力操作が煩雑になることがないという特徴がある。これは、マルチ処理における基板毎のレシピの特定を、上記のようなレシピ番号と基板特定情報と判別情報とを規則的に組み合わせた文字列（上記数１）を入力して、これを図５に示すようなフローに従って解析して行うようにしたことにより達成されるものである。すなわち、例えば、マルチ処理に際し、基板番号とレシピ番号の入力欄とを対応させたテーブル的な入力画面を設け、これにより基板毎にレシピを特定することも考えられるが、このようなテーブルを図４に示す一の画面内に表示することは到底無理であり、この場合には、専用の入力画面を別に設ける必要がある。そのため、マルチ処理の度に、オペレータは専用の入力画面を呼び出す必要があり入力操作が煩雑になる。これに対し、上記実施形態の装置によると、シングル処理およびマルチ処理のいずれの処理の設定についても一の入力画面の共通の表示欄７０で行うことができるため入力操作が簡単かつ容易である。
【００５３】
ところで、上記の基板処理装置は本発明に係る基板処理装置の一の実施の形態であり、具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００５４】
例えば、マルチ処理を行う場合に、上記実施形態では、判別情報等である文字「Ｘ」とレシピ番号とを連続的に並べたレシピデータを入力するようにしているが、以下の数３に示すように、文字「Ｘ」とレシピ番号の間および各レシピ番号の間に「，」を付したレシピデータを入力できるようにしてもよい。
【００５５】
【数３】
「Ｘ，４，３，１６，７８，９３，」
つまり、このレシピデータは、マルチ処理を行うものであって、その内容は、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１番目の基板をレシピ番号「４」のレシピに従って、
第２番目の基板をレシピ番号「３」のレシピに従って、
第３番目の基板をレシピ番号「１６」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。このようにすれば基本的には図５に示した処理フローのままで、レシピ番号として二桁以上の桁数のレシピ番号を基板に割り当てることが可能となる。
【００５６】
また、上記実施形態では、マルチ処理を行う場合に、判別情報と基板特定情報とを兼ねる文字「Ｘ」の後にレシピ番号を並べたレシピデータを入力するようにしているが、例えば、一桁目を判別情報である文字「Ｘ」、二桁目を同一レシピの処理を施す基板数（基板特定情報）、三桁目をレシピ番号の構成桁数、四桁目以降をレシピ番号の構成数字としたレシピデータを入力し、これを主制御部４０において解析して各基板にレシピ番号を割り当てるようにしてもよい。なお、このレシピデータでは、四桁目以降の数字のうち、桁の小さい数字を用いてレシピ番号を構成するものとし、レシピ番号の構成桁数とは、レシピ番号を構成する際に用いる四桁目以降の数字の桁数を意味する。
【００５７】
具体的には、以下の数４に示すようなレシピデータを入力できるようにしてもよい。
【００５８】
【数４】
「Ｘ４２３９１６７８９３」
このレシピデータは、マルチ処理を行うものであって、その内容は、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１〜４番目の基板をレシピ番号「３９」のレシピに従って、
第５〜８番目の基板をレシピ番号「１６」のレシピに従って、
第９〜１２番目の基板をレシピ番号「７８」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。
【００５９】
なお、マルチ処理に際して入力するレシピデータとしては上記数１，数３，数４に示したようなレシピデータ以外にも種々考えられる。従って、レシピデータの構成は、カセット２内の基板の数やレシピの種類等に応じて適宜定めるようにし、そのように定められたレシピデータを解析して各基板にレシピ番号を割り当てるように主制御部４０を構成するようにすればよい。
【００６０】
さらに、上記実施形態においては、マルチ処理に際して入力するレシピデータとして、一桁目にマルチ処理の判別情報である文字「Ｘ」を入力するようにしているが、例えば、マルチ処理かシングル処理かを選択する専用のキーを設けておくようにしてもよい。また、上記実施形態では、シング処理およびマルチ処理のいずれの場合も入力画面の「レシピ」表示欄７０にレシピデータを入力するようにしているが、例えば、シングル処理専用の「レシピ」表示欄（第１入力位置）と、マルチ処理専用の「レシピ」表示欄（第２入力位置）を上下二段に設け、各「レシピ」表示欄にそれぞれレシピデータを入力するようにしてもよい。このように専用キーを設けたり、別々の「レシピ」表示欄を設けてレシピデータを入力するようにすれば、レシピデータの構成において、上記のようなマルチ処理の判別情報（文字「Ｘ」）の入力が不要となる。
【００６１】
なお、上記のように選択キーや、マルチ処理専用の「レシピ」表示欄を設ける場合には、マルチ処理に際して入力するレシピデータとして、単に、カセット２内に収納される基板の処理順序に従ってレシピ番号を並べた文字列かなるレシピデータを入力し、これを主制御部４０において解析して各基板にレシピ番号を割り当てるようにしてもよい。例えば、第１番目の基板から順次基板を処理する場合には、以下のようなレシピデータを入力できるようにしてもよい。
【００６２】
【数５】
「４２３９１６７８９３」
つまり、このレシピデータは、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１番目の基板をレシピ番号「４」のレシピに従って、
第２番目の基板をレシピ番号「２」のレシピに従って、
第３番目の基板をレシピ番号「３」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。
【００６３】
なお、この場合、上記数３のレシピデータのようにレシピ番号間に「，」を付し、レシピ番号として二桁以上の桁数のレシピ番号を基板に割り当てることができるようにしてもよい。
【００６４】
なお、上記の実施形態では、図３に示したようにカセット２のスロット番号を基板番号とみなして基板番号毎にレシピ番号を割り当てるようにしているが、基板そのものに基板番号を与えるようにしてもよい。例えば、図６に示すようにカセット２内に収納された基板Ｗに対して下段から順次連続した番号を与えたり、あるいは上段の基板Ｗから順次連続した番号を与えるようにしてもよい。この場合には、例えば、カセット載置部４ａ〜４ｄに、上下方向に光学式センサを移動させながらカセット２内に収納された基板Ｗを検知する周知の基板検知センサを設け、カセット載置部４ａ〜４ｄに搬入されたカセット２のどのスロット２ａに基板Ｗが収納されているかを予め調べるようにすればよい。すなわち、基板Ｗそのものに基板番号を与える場合、実際は、第５番目のスロット２ａに収納されている基板の基板番号を「１」と定めるというように、スロット番号に基板番号を対応付ける。そのため、カセット２に基板Ｗが満載されていれば連続した基板番号を基板Ｗに与えることができるが、カセット２に基板Ｗが満載されていなければ、基板番号に抜けが生じ連続した基板番号を基板Ｗに与えることができないことになる。従って、カセット２のどのスロット２ａに基板Ｗが収納されているかを予め調べることにより、図６に示すようにカセット２に基板Ｗが満載されていない場合でも、カセット２に収納された基板Ｗに対して連続した基板番号を与えることが可能となる。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列をレシピデータとして入力すると、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施し、レシピデータとして、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と、当該カセットに収納された基板に施される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を与えると、これらの情報に基づいてカセット内の基板に対応する処理内容情報を割り当て、割り当てた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すようにしたので、いわゆるシングル処理およびマルチ処理を選択的に行うことができる。従って、シングル処理とマルチ処理を必要に応じて使い分けることにより合理的に基板を処理することができる。
【００６６】
特に、レシピデータ中に判別情報が含まれている場合にマルチ処理を実行するようにしておけば、シングル処理かマルチ処理かの選択及び判断が容易になる。
【００６７】
さらに、入力画面におけるシングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とを同一とし、当該位置に入力された文字列に判別情報が含まれている場合にマルチ処理を実行するようにすれば、レシピデータの入力位置の共通化により、入力スペースを有効に活用でき、また入力画面の構成もシンプルとなる。
【００６８】
なお、シングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とを個別に設け、当該第２入力位置に文字列が入力されることによりマルチ処理を実行するようにしてもよく、このようにすれば上記のような判別情報の入力を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る基板処理装置を示す平面略図である。
【図２】 基板処理装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【図３】 基板番号を説明するためのカセットおよび基板を示す模式図である。
【図４】 画面表示（入力画面）の一例を示す図である。
【図５】 レシピデータに基づく基板へのレシピ番号の割り当てを説明するフローチャートである。
【図６】 他の基板番号の設定例を説明する図３に対応する図である。
【符号の説明】
２ カセット
４ａ〜４ｄ カセット載置部
１０ インデクサーユニット
１２ エッチングユニット
１４ 方向転換ユニット
１６ 剥離ユニット
４０ 主制御部
４２ インデクサーユニット制御部
４４ エッチングユニット制御部
４６ 剥離ユニット制御部
４８ 方向転換ユニット制御部
５０ 入力部
５２ 表示部
５４ 表示画面制御部
５６ レシピ情報記憶部
【産業上の利用分野】
本発明は、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、プリント基板、半導体ウエハ等の基板処理方法及び同装置において、特に、複数の基板を収納したカセットから基板を一枚ずつ取出して処理する基板処理方法及び同装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、液晶表示装置用ガラス基板等の処理装置においては、複数の処理部を直列に配設して処理ラインを構成し、このラインの端部に設けられたインデクサーから順次基板を供給しながら各処理部で順次処理を施すようにした基板処理装置は一般に知られている。
【０００３】
この装置において、基板は、箱型のカセットに多段に収納されて上記インデクサーに搬入され、該カセットから一枚ずつ取り出されて処理ラインに供給される。そして、各処理部での処理が終了すると再びカセットに収納され、別の基板処理装置等へと運ばれるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この種の基板処理装置では、処理部での処理時間等の具体的な処理内容（レシピ）とこれに対応する処理内容情報（レシピ番号）とが予め定められており、例えば、上記インデクサーにカセットがセットされた後にオペレータがレシピ番号を入力してレシピを設定するようになっている。この際、レシピの設定は、カセット単位で行ういわゆるシングル処理であって、カセット内に収納された基板毎にレシピを設定するいわゆるマルチ処理を行うことはできなかった。
【０００５】
そのため、レシピの異なる複数の基板を同一のカセットに収納して処理に供すことはできなかった。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、マルチ処理を可能として合理的な基板の処理を達成することができる基板処理方法及び装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、入力画面に従いオペレータが行う入力操作により、予め定めた複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列をレシピデータとして入力すると、複数の基板を収納したカセットから基板を取出し、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施すシングル処理を実行する基板処理方法において、レシピデータとして、処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列の代わりに、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と、当該カセットに収納された基板に施される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力すると、前記シングル処理の代わりに、当該文字列から基板特定情報と処理内容情報とを調べ、これらの情報に基づいてカセット内の各基板に対応する処理内容情報を割り当てるとともに、割り当てられた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すマルチ処理を実行するようにしたものである（請求項１）。
【０００８】
この方法によれば、シングル処理およびマルチ処理のいずれの処理をも行うことができる。
【０００９】
この方法においては、同一カセット内に収納された基板に対する処理内容情報の割り当て順序を予め設定しておき、マルチ処理を実行する際のレシピデータとして、同一処理を施す基板の枚数を前記割り当て順序に従って特定するように定めた前記基板特定情報と、この情報により特定される枚数毎の処理内容情報を前記割り当て順序に従って羅列した前記羅列情報とを並べた前記文字列を入力すると、前記基板特定情報に基づき特定される枚数毎に、前記羅列情報に羅列した順序に従って処理内容情報を各基板に割り当てるようにしてもよい（請求項２）。
【００１０】
上記の方法において、特に、前記レシピデータ中に、処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するようにすれば（請求項３）、シングル処理かマルチ処理かの判断を容易に行うことが可能となる。
【００１１】
また、請求項１又は２記載の方法において、レシピデータの入力画面においてシングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とを同一とし、当該位置に入力された文字列に処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時にマルチ処理を実行するようにすれば（請求項４）、シングル処理およびマルチ処理の入力位置の共通化により、入力スペースを有効に活用でき、また、入力画面の構成もシンプルとなる。
【００１２】
なお、請求項１又は２記載の方法においては、レシピデータの入力画面においてシングル処理用のレシピデータを入力する第１入力位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する第２入力位置とを個別に設け、当該第２入力位置に文字列が入力されると前記マルチ処理を実行するようにしてもよい（請求項５）。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明、予め定めた複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列がレシピデータとして入力されると、複数の基板を収納したカセットから基板を取出し、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施すシングル処理を実行する基板処理装置において、上記レシピデータとして処理内容情報のみからなる文字列の他に、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と当該カセットに収納された基板に施 される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力可能な入力手段と、前記処理内容情報と基板特定情報とを並べた文字列が上記入力手段を介して入力されると、前記シングル処理の代わりに、当該文字列から基板特定情報と処理内容情報とを調べ、これらの情報に基づいてカセット内の基板に対応する処理内容情報を割り当てるとともに、割り当てられた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すマルチ処理を実行する制御手段とを備えているものである（請求項６）。
【００１４】
この装置によれば、レシピデータとして処理内容情報のみからなる文字列を入力すればシングル処理が自動的に行われ、レシピデータとして処理内容情報と処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力すればマルチ処理が自動的に行われる。そのため、請求項１記載の方法を自動的に実施することが可能となる。
【００１５】
この装置は、同一カセット内に収納された基板に対する処理内容情報の割り当て順序が予め設定されるものであって、前記制御手段は、マルチ処理を実行する際のレシピデータとして、同一処理を施す基板の枚数を前記割り当て順序に従って特定するように定めた前記基板特定情報と、この情報により特定される枚数毎の処理内容情報を前記割り当て順序に従って羅列した前記羅列情報とを並べた前記文字列が前記入力手段により入力されると、前記基板特定情報に基づき特定される枚数毎に、前記羅列情報に羅列した順序に従って処理内容情報を各基板に割り当てるものであってもよい（請求項７）。
【００１６】
上記の装置において、特に、前記レシピデータ中に、処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するように前記制御手段を構成すれば（請求項８）、シングル処理かマルチ処理かの選択及び判断が容易になる。
【００１７】
また、請求項６又は７に記載の装置において、前記レシピデータの入力画面を表示する表示手段を備えるものでは、シングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とが同一である入力画面を表示するように上記表示手段を構成し、当該位置に入力された文字列に処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するように前記制御手段を構成するようにすれば（請求項９）、レシピデータの入力スペースを有効に活用でき、また、入力画面の構成もシンプルとなる。
【００１８】
また、請求項６又は７記載の装置において、前記レシピデータの入力画面を表示する表示手段を備えるものでは、シングル処理用のレシピデータを入力する第１入力位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する第２入力位置とが相互に異なる入力画面を表示するように前記表示手段を構成し、前記第２入力位置に文字列が入力されると前記マルチ処理を実行するように前記制御手段を構成するようにしてもよい（請求項１０）。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２０】
図１は、本発明に係る基板処理装置を概略的に示している。この図に示す基板処理装置は、例えば、液晶表示器用のガラス基板の処理において、基板表面に所定パターンのレジスト膜を形成した基板に対してエッチング処理及び剥離処理を施す装置である。
【００２１】
この装置は、同図に示すように、インデクサーユニット１０、エッチングユニット１２、方向転換ユニット１４および剥離ユニット１６によって構成されており、インデクサーユニット１０から供給される基板を順次搬送しながら各ユニット１２，１４，１６で処理を施した後、再度、インデクサーユニット１０に基板を戻すように、他のユニット１２，１４，１６がインデクサーユニット１０に対してＵ字型に接続されたレイアウト構成となっている。
【００２２】
上記インデクサーユニット１０には、複数の基板を収納したカセット２（図３参照；同図中符号Ｗは基板を示す）を載置する複数のカセット載置部４ａ〜４ｄと、基板搬送用のロボット５が設けられ、上記各カセット載置部４ａ〜４ｂにセットされたカセット２からロボット５により基板を取り出し、この基板を受渡し部１１にセットするとともに、処理済みの基板を受入れ部１７から受け取ってもとのカセット２に収納するように構成されている。なお、上記受渡し部１１および受入れ部１７は後述のローラコンベア１８ａ，１８ｂにより構成されている。
【００２３】
上記エッチングユニット１２は、ウエットエッチング処理部２０（以下、単にエッチング処理部２０という）、水洗処理部２２および乾燥処理部２４を有するとともに、基板搬送のめのローラコンベア１８ａを備えており、インデクサーユニット１０から供給される基板を例えば水平姿勢で搬送しながらエッチング処理、水洗処理および乾燥処理を順次施すように構成されている。
【００２４】
各エッチング処理部２０および水洗処理部２２は、それぞれ処理槽を有しているとともにその内部にエッチング液や純水を供給するための多数のノズルを備えており、稼働中は、各ノズルから基板に向けてエッチング液や純水を吹き付けることにより基板にエッチング処理や水洗処理を施すように構成されている。また、乾燥処理部２４も同様に処理槽を有しており、例えば、その内部に備えられたスリット状のノズルから基板に向けて気体を吹き付けることにより基板に付着した液体を除去して乾燥させるように構成されている。
【００２５】
上記剥離ユニット１６は、剥離処理部３０、水洗処理部３２および乾燥処理部３４を有しているとともに、ローラコンベア１８ｂを備えており、エッチングユニット１２での処理を終えた基板を搬送しながら剥離処理、水洗処理および乾燥処理を順次施すように構成されている。なお、ローラコンベア１８ｂは、エッチングユニット１２同様に基板を水平姿勢で搬送するように構成されている。
【００２６】
剥離ユニット１６の各処理部も基本的にはエッチングユニット１２の各処理部同様に処理槽を有しており、剥離処理部３０および水洗処理部３２においては各処理槽内で基板に向けて剥離液や純水を吹き付けることにより剥離処理や水洗処理を施し、また、乾燥処理部３４では、スリット状のノズルから基板に向けて気体を吹き付けることにより基板に付着した液体を除去して乾燥させるように各処理部が構成されている。
【００２７】
上記方向転換ユニット１４は、詳しく図示していないが、エッチングユニット１２での処理を終えた基板を水平姿勢に保持したまま、ローラコンベア１８ａによる搬送方向と水平面上で直交する方向（図示の例では上方向）に移動させて剥離ユニット１６に基板を搬入するように構成されている。
【００２８】
図２は、上記基板処理装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【００２９】
この図に示すように、基板処理装置は、上記インデクサーユニット１０を制御するインデクサーユニット制御部４２と、エッチングユニット１２を制御するエッチングユニット制御部４４と、剥離ユニット１６を制御する剥離ユニット制御部４６と、方向転換ユニット１４を制御する方向転換ユニット制御部４８と、基板処理装置を統括的に制御する主制御部４０（制御手段）とを備えており、上記各ユニット制御部４２〜４８がそれぞれ主制御部４０に接続されている。
【００３０】
また、キーボード等の入力部５０（入力手段）が設けられ、これが主制御部４０に接続されるとともに、ディスプレイからなる表示部５２が設けられ、この表示部５２が表示画面制御部５４を介して主制御部４０に接続されている。さらに、基板の処理内容（以下、レシピという）に関するデータを記憶するレシピ情報記憶部５６が設けられ、これが主制御部４０に接続されている。
【００３１】
上記主制御部４０は、上述のように基板処理装置を統括制御するもので、稼動中は、上記レシピデータの入力画面等の各種画面を表示させるべく表示画面制御部５４を介して表示部５２を制御するとともに、オペレータによるレシピ番号（処理内容情報）の入力に基づき、入力されたレシピ番号に対応するレシピで基板を処理すべく上記各ユニット制御手段４２〜４８を介して各ユニット１０〜１６を制御するように構成されている。
【００３２】
すなわち、この装置では、上記レシピ情報記憶部５６に、複数種類のレシピと、これを特定するレシピ番号とが対応付けられて記憶されており、後述するように、このレシピ番号を含むレシピデータが上記入力部５０を介して入力されると、上記主制御部４０において入力されたレシピデータを解析して、特定されるレシピで基板を処理すべく各ユニット１２〜１６を制御するようになっている。
【００３３】
ここで、入力部５０を介して入力されるレシピ番号およびレシピデータについて説明する。
【００３４】
当実施形態では、レシピとして９種類のレシピが設定され、これらレシピの識別番号としてレシピ番号「１」〜「９」が各レシピに割り付けられている。従って、オペレータはこのレシピ番号によってレシピを特定する。
【００３５】
レシピの設定は、レシピ番号を含んだレシピデータを、上記入力部５０を介して入力することにより行う。当実施形態では、カセット２に収納された全ての基板を同一レシピで処理するシングル処理と、カセット２に収納された基板毎にレシピを設定して処理するマルチ処理とが可能であり、いずれの処理を行うかにより以下のような異なるレシピデータを入力する。
【００３６】
すなわち、シングル処理を行う場合には、一のレシピを選択し、レシピデータとして該レシピに対応するレシピ番号のみを入力する。
【００３７】
一方、マルチ処理を行う場合には、レシピ番号と、カセット内の基板を特定する基板特定情報と、マルチ処理を実行するための判別情報とを以下のように規則的に組み合わせた文字列をレシピーコードとして入力する。具体的には、以下のようなレシピデータを入力する。
【００３８】
【数１】
「ＸＸ３９１６７８９３」
このレシピデータにおいて、一桁目の「Ｘ」はマルチ処理を指定するための判別情報を示している。一桁目及び二桁目の「Ｘ」は基板特定情報、すなわち同一レシピの処理を何枚毎に施すかを特定する情報であって、「Ｘ」の数によりその基板枚数を特定する。なお、この例では、判別情報及び基板特定情報として「Ｘ」を共用しており、「Ｘ」の数によりその基板枚数を特定している。上記の例では「Ｘ」は２つであり、２枚ずつ同一の処理を施すことを示している。三桁目以降の各数字はそれぞれレシピ番号であって、この例では、特定される基板に対して順次レシピ番号「３」，「９」，「１」…に対応するレシピで処理を施すことを示している。
【００３９】
つまり、上記数１のレシピデータは、マルチ処理を行うものであって、その内容は、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１，２番目の基板をレシピ番号「３」のレシピに従って、
第３，４番目の基板をレシピ番号「９」のレシピに従って、
第５，６番目の基板をレシピ番号「１」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。なお、基板番号は、カセット２に形成されるスロット２ａの識別番号、すなわち基板の収納部の識別番号を基板番号とみなしており、当実施形態では、図３に示すように、カセット２の下段から順に連続した番号とされている。
【００４０】
次に、基板の処理動作制御について図３のフローチャートに基づいて図４及び図５を用いつつ説明する。
【００４１】
前提として、基板の処理は、上記カセット載置部４ａ〜４ｄのいずれかに、処理対象となる基板を収納したカセット２がセットされた後、オペレータが上記表示部５２に表示された画面に従い入力部５０を介してレシピデータ等の必要な情報を入力することにより開始される。
【００４２】
すなわち、上記表示部５２には、例えば図４に示すように、各カセット載置部４ａ〜４ｄ毎に「状態」，「カセットＮｏ．」，「ロットＮｏ．」及び「レシピ」を表示するための表示欄６４〜７０が設けられており、これら表示欄６４〜７０のうち「カセットＮｏ．」、「ロットＮｏ．」及び「レシピ」の各表示欄７０にそれぞれ任意のカセットＮｏ．，ロットＮｏ．と上記レシピデータとを入力する。なお、「レシピ」の表示欄７０は１つであり、シングル処理およびマルチ処理のいずれを行う場合も、レシピデータはこの表示欄７０に入力する。そして、ロットＮｏ．およびレシピデータの入力後、実行キーを操作することにより、該カセットに収納された基板の処理が開始される。なお、「状態」欄は自動的に表示される。
【００４３】
基板の処理動作制御においては、まず、図５のステップＳ１において、上記ロットＮｏ．及びレシピデータの入力待機状態とされ、これらのデータが入力されると、次いで入力されたレシピデータの一桁目が「Ｘ」か否かを判断する（ステップＳ２）。つまり、シングル処理かマルチ処理かを判断する。
【００４４】
ここで、ＮＯと判断した場合（すなわち、シングル処理と判断した場合）には、入力されたレシピデータに基づき各基板に対して同一のレシピ番号を割り当てる（ステップＳ３）。この場合（すなわちシングル処理を行う場合）には、通常、一のレシピに対応する一のレシピ番号のみがレシピデータとして入力されているので、カセット２内の全基板に対してこのレシピ番号を割り当てる。なお、複数のレシピ番号が羅列されている場合には、入力ミスが考えられるため、このような場合には画面上に入力ミスが発生した旨を表示するようにしてもよい。
【００４５】
次いで、カウンタｎに初期値「１」をセットし、その後、カセット２の最下段に収納された第１番目の基板を取り出して上記受渡し部１１に供給する（ステップＳ４，Ｓ５）。これにより割り当てられたレシピ番号に対応するレシピで基板を処理する。
【００４６】
次いで、ステップＳ６において、カセット２内の全ての基板を取り出したか否かを判断し、ＮＯと判断した場合には、カウンタｎをインクリメントしてステップＳ５に移行し（ステップＳ７）、第２番目の基板を取り出して上記受渡し部１１に供給する。そして、全ての基板をカセット２から取り出したら（ステップＳ６でＹＥＳ）、本フローチャートを終了する。
【００４７】
一方、ステップＳ２においてＹＥＳと判断した場合には（すなわち、マルチル処理と判断した場合）には、カウンタｍに初期値「０」をセットした後、連続して入力されている「Ｘ」の数Ｓを調べ、さらに「Ｘ」に続いて入力されている第ａ（＝ｍ＋１）番目のレシピ番号を調べる（ステップＳ８〜Ｓ１０）。そして、カウンタ値（ｍ＝０）及び文字「Ｘ」の数Ｓに基づき以下の式により求められる範囲の基板にａ番目のレシピ番号を割り当てる（ステップＳ１１）。
【００４８】
【数２】
ｍ・Ｓ＋１〜（ｍ＋１）・Ｓ
例えば、数１に示すレシピデータであれば、Ｓ＝２であるから、カウンタ値ｍ＝０のとき、基板番号の範囲は「１〜２」となる。また、ａ＝１であるから、レシピ番号は「３」となる。すなわち、カセット２内の第１〜２番目の基板に対してレシピ番号「３」を割り当てる。
【００４９】
次いで、ステップＳ１２において、カセット２内の全ての基板についてレシピ番号を割り当てた否かを判断し、ＮＯと判断した場合には、カウンタｍをインクリメントしてステップＳ１０に移行し、上記同様にステップＳ１０，Ｓ１１の処理に基づきレシピ番号を基板に割り当てる。この場合、数１に示すレシピデータであれば、カウンタ値ｍ＝１のときの基板番号の範囲は上記数２（Ｓ＝２）より「３〜４」となる。また、ａ＝２であるから、レシピ番号は「９」となる。すなわち、カセット２内の第３〜４番目の基板に対してレシピ番号「９」を割り当てる。
【００５０】
こうして最終的にカセット２内の全ての基板に対してレシピ番号を割り当てたら（ステップＳ１２でＹＥＳ）、ステップＳ４に移行し、以後、カセット２の最下段に収納された第１番目の基板から順次取り出して上記受渡し部１１に供給し、割り当てたレシピ番号に対応するレシピで基板を処理する。
【００５１】
このように上記の基板処理装置によると、従来のシングル処理の他にマルチ処理をも行うことができるようにしているので、従来のこの種の装置と比較すると、より合理的な基板処理を達成することができるという特徴がある。すなわち、マルチ処理が不可能であった従来の装置では、レシピの異なる基板は、たとえ一枚でも必ず別カセットに収納する必要があり、多品種少量生産が要求される近年では、基板を満載しない状態のカセット２をインデクサーユニット１０に搬入するケースが増えており無駄が多かった。しかし、上記のようにマルチ処理を行えるようにしたことで、常にカセット２に対して基板を満載することが可能となり、その分インデクサーユニット１０に対するカセット２の出し入れ回数を減らした合理的な基板処理が達成される。
【００５２】
しかも、マルチ処理を可能としながらも、その指定は、図４に示す入力画面に設けられた共通の「レシピ」表示欄７０にレシピデータを入力することにより行う、つまりシングル処理とマルチ処理の各レシピデータの入力部分が共通化されているので、入力操作が煩雑になることがないという特徴がある。これは、マルチ処理における基板毎のレシピの特定を、上記のようなレシピ番号と基板特定情報と判別情報とを規則的に組み合わせた文字列（上記数１）を入力して、これを図５に示すようなフローに従って解析して行うようにしたことにより達成されるものである。すなわち、例えば、マルチ処理に際し、基板番号とレシピ番号の入力欄とを対応させたテーブル的な入力画面を設け、これにより基板毎にレシピを特定することも考えられるが、このようなテーブルを図４に示す一の画面内に表示することは到底無理であり、この場合には、専用の入力画面を別に設ける必要がある。そのため、マルチ処理の度に、オペレータは専用の入力画面を呼び出す必要があり入力操作が煩雑になる。これに対し、上記実施形態の装置によると、シングル処理およびマルチ処理のいずれの処理の設定についても一の入力画面の共通の表示欄７０で行うことができるため入力操作が簡単かつ容易である。
【００５３】
ところで、上記の基板処理装置は本発明に係る基板処理装置の一の実施の形態であり、具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００５４】
例えば、マルチ処理を行う場合に、上記実施形態では、判別情報等である文字「Ｘ」とレシピ番号とを連続的に並べたレシピデータを入力するようにしているが、以下の数３に示すように、文字「Ｘ」とレシピ番号の間および各レシピ番号の間に「，」を付したレシピデータを入力できるようにしてもよい。
【００５５】
【数３】
「Ｘ，４，３，１６，７８，９３，」
つまり、このレシピデータは、マルチ処理を行うものであって、その内容は、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１番目の基板をレシピ番号「４」のレシピに従って、
第２番目の基板をレシピ番号「３」のレシピに従って、
第３番目の基板をレシピ番号「１６」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。このようにすれば基本的には図５に示した処理フローのままで、レシピ番号として二桁以上の桁数のレシピ番号を基板に割り当てることが可能となる。
【００５６】
また、上記実施形態では、マルチ処理を行う場合に、判別情報と基板特定情報とを兼ねる文字「Ｘ」の後にレシピ番号を並べたレシピデータを入力するようにしているが、例えば、一桁目を判別情報である文字「Ｘ」、二桁目を同一レシピの処理を施す基板数（基板特定情報）、三桁目をレシピ番号の構成桁数、四桁目以降をレシピ番号の構成数字としたレシピデータを入力し、これを主制御部４０において解析して各基板にレシピ番号を割り当てるようにしてもよい。なお、このレシピデータでは、四桁目以降の数字のうち、桁の小さい数字を用いてレシピ番号を構成するものとし、レシピ番号の構成桁数とは、レシピ番号を構成する際に用いる四桁目以降の数字の桁数を意味する。
【００５７】
具体的には、以下の数４に示すようなレシピデータを入力できるようにしてもよい。
【００５８】
【数４】
「Ｘ４２３９１６７８９３」
このレシピデータは、マルチ処理を行うものであって、その内容は、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１〜４番目の基板をレシピ番号「３９」のレシピに従って、
第５〜８番目の基板をレシピ番号「１６」のレシピに従って、
第９〜１２番目の基板をレシピ番号「７８」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。
【００５９】
なお、マルチ処理に際して入力するレシピデータとしては上記数１，数３，数４に示したようなレシピデータ以外にも種々考えられる。従って、レシピデータの構成は、カセット２内の基板の数やレシピの種類等に応じて適宜定めるようにし、そのように定められたレシピデータを解析して各基板にレシピ番号を割り当てるように主制御部４０を構成するようにすればよい。
【００６０】
さらに、上記実施形態においては、マルチ処理に際して入力するレシピデータとして、一桁目にマルチ処理の判別情報である文字「Ｘ」を入力するようにしているが、例えば、マルチ処理かシングル処理かを選択する専用のキーを設けておくようにしてもよい。また、上記実施形態では、シング処理およびマルチ処理のいずれの場合も入力画面の「レシピ」表示欄７０にレシピデータを入力するようにしているが、例えば、シングル処理専用の「レシピ」表示欄（第１入力位置）と、マルチ処理専用の「レシピ」表示欄（第２入力位置）を上下二段に設け、各「レシピ」表示欄にそれぞれレシピデータを入力するようにしてもよい。このように専用キーを設けたり、別々の「レシピ」表示欄を設けてレシピデータを入力するようにすれば、レシピデータの構成において、上記のようなマルチ処理の判別情報（文字「Ｘ」）の入力が不要となる。
【００６１】
なお、上記のように選択キーや、マルチ処理専用の「レシピ」表示欄を設ける場合には、マルチ処理に際して入力するレシピデータとして、単に、カセット２内に収納される基板の処理順序に従ってレシピ番号を並べた文字列かなるレシピデータを入力し、これを主制御部４０において解析して各基板にレシピ番号を割り当てるようにしてもよい。例えば、第１番目の基板から順次基板を処理する場合には、以下のようなレシピデータを入力できるようにしてもよい。
【００６２】
【数５】
「４２３９１６７８９３」
つまり、このレシピデータは、カセット２に収納されている基板のうち、基板番号が
第１番目の基板をレシピ番号「４」のレシピに従って、
第２番目の基板をレシピ番号「２」のレシピに従って、
第３番目の基板をレシピ番号「３」のレシピに従って、……
それぞれ処理することを意味する。
【００６３】
なお、この場合、上記数３のレシピデータのようにレシピ番号間に「，」を付し、レシピ番号として二桁以上の桁数のレシピ番号を基板に割り当てることができるようにしてもよい。
【００６４】
なお、上記の実施形態では、図３に示したようにカセット２のスロット番号を基板番号とみなして基板番号毎にレシピ番号を割り当てるようにしているが、基板そのものに基板番号を与えるようにしてもよい。例えば、図６に示すようにカセット２内に収納された基板Ｗに対して下段から順次連続した番号を与えたり、あるいは上段の基板Ｗから順次連続した番号を与えるようにしてもよい。この場合には、例えば、カセット載置部４ａ〜４ｄに、上下方向に光学式センサを移動させながらカセット２内に収納された基板Ｗを検知する周知の基板検知センサを設け、カセット載置部４ａ〜４ｄに搬入されたカセット２のどのスロット２ａに基板Ｗが収納されているかを予め調べるようにすればよい。すなわち、基板Ｗそのものに基板番号を与える場合、実際は、第５番目のスロット２ａに収納されている基板の基板番号を「１」と定めるというように、スロット番号に基板番号を対応付ける。そのため、カセット２に基板Ｗが満載されていれば連続した基板番号を基板Ｗに与えることができるが、カセット２に基板Ｗが満載されていなければ、基板番号に抜けが生じ連続した基板番号を基板Ｗに与えることができないことになる。従って、カセット２のどのスロット２ａに基板Ｗが収納されているかを予め調べることにより、図６に示すようにカセット２に基板Ｗが満載されていない場合でも、カセット２に収納された基板Ｗに対して連続した基板番号を与えることが可能となる。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列をレシピデータとして入力すると、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施し、レシピデータとして、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と、当該カセットに収納された基板に施される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を与えると、これらの情報に基づいてカセット内の基板に対応する処理内容情報を割り当て、割り当てた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すようにしたので、いわゆるシングル処理およびマルチ処理を選択的に行うことができる。従って、シングル処理とマルチ処理を必要に応じて使い分けることにより合理的に基板を処理することができる。
【００６６】
特に、レシピデータ中に判別情報が含まれている場合にマルチ処理を実行するようにしておけば、シングル処理かマルチ処理かの選択及び判断が容易になる。
【００６７】
さらに、入力画面におけるシングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とを同一とし、当該位置に入力された文字列に判別情報が含まれている場合にマルチ処理を実行するようにすれば、レシピデータの入力位置の共通化により、入力スペースを有効に活用でき、また入力画面の構成もシンプルとなる。
【００６８】
なお、シングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とを個別に設け、当該第２入力位置に文字列が入力されることによりマルチ処理を実行するようにしてもよく、このようにすれば上記のような判別情報の入力を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る基板処理装置を示す平面略図である。
【図２】 基板処理装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【図３】 基板番号を説明するためのカセットおよび基板を示す模式図である。
【図４】 画面表示（入力画面）の一例を示す図である。
【図５】 レシピデータに基づく基板へのレシピ番号の割り当てを説明するフローチャートである。
【図６】 他の基板番号の設定例を説明する図３に対応する図である。
【符号の説明】
２ カセット
４ａ〜４ｄ カセット載置部
１０ インデクサーユニット
１２ エッチングユニット
１４ 方向転換ユニット
１６ 剥離ユニット
４０ 主制御部
４２ インデクサーユニット制御部
４４ エッチングユニット制御部
４６ 剥離ユニット制御部
４８ 方向転換ユニット制御部
５０ 入力部
５２ 表示部
５４ 表示画面制御部
５６ レシピ情報記憶部
Claims (10)
- 入力画面に従いオペレータが行う入力操作により、予め定めた複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列をレシピデータとして入力すると、複数の基板を収納したカセットから基板を取出し、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施すシングル処理を実行する基板処理方法において、
前記レシピデータとして、処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列の代わりに、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と、当該カセットに収納された基板に施される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力すると、前記シングル処理の代わりに、当該文字列から基板特定情報と処理内容情報とを調べ、これらの情報に基づいてカセット内の各基板に対応する処理内容情報を割り当てるとともに、割り当てられた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すマルチ処理を実行することを特徴とする基板処理方法。 - 同一カセット内に収納された基板に対する処理内容情報の割り当て順序を予め設定しておき、マルチ処理を実行する際のレシピデータとして、同一処理を施す基板の枚数を前記割り当て順序に従って特定するように定めた前記基板特定情報と、この情報により特定される枚数毎の処理内容情報を前記割り当て順序に従って羅列した前記羅列情報とを並べた前記文字列を入力すると、前記基板特定情報に基づき特定される枚数毎に、前記羅列情報に羅列される順序に従って処理内容情報を各基板に割り当てることを特徴とする請求項１に記載の基板処理方法。
- 前記レシピデータ中に、処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行することを特徴とする請求項１又は２記載の基板処理方法。
- レシピデータの入力画面においてシングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とが同一であり、当該位置に入力された文字列に処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行する請求項１又は２記載の基板処理方法。
- レシピデータの入力画面においてシングル処理用のレシピデータを入力する第１入力位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する第２入力位置とが相互に異なっており、当該第２入力位置に文字列が入力されると、前記マルチ処理を実行する請求項１又は２記載の基板処理方法。
- 予め定めた複数の処理内容のうちの一の処理内容に対応する処理内容情報のみからなる文字列がレシピデータとして入力されると、複数の基板を収納したカセットから基板を取出し、当該処理内容情報に対応する処理内容でカセット中のすべての基板に対して同一処理を施すシングル処理を実行する基板処理装置において、
上記レシピデータとして処理内容情報のみからなる文字列の他に、同一カセット内に収納された各基板を特定する基板特定情報と当該カセットに収納された基板に施される全種類の処理内容情報を羅列した羅列情報とを規則的に並べた文字列を入力可能な入力手段と、前記処理内容情報と基板特定情報とを並べた文字列が上記入力手段を介して入力されると、前記シングル処理の代わりに、当該文字列から基板特定情報と処理内容情報とを調べ、これらの情報に基づいてカセット内の各基板に対応する処理内容情報を割り当てるとともに、割り当てられた処理内容情報に対応する処理内容に従って各基板に処理を施すマルチ処理を実行する制御手段と、を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 同一カセット内に収納された基板に対する処理内容情報の割り当て順序が予め設定されるものであって、前記制御手段は、マルチ処理を実行する際のレシピデータとして、同一 処理を施す基板の枚数を前記割り当て順序に従って特定するように定めた前記基板特定情報と、この情報により特定される枚数毎の処理内容情報を前記割り当て順序に従って羅列した前記羅列情報とを並べた前記文字列が前記入力手段により入力されると、前記基板特定情報に基づき特定される枚数毎に、前記羅列情報に羅列される順序に従って処理内容情報を各基板に割り当てることを特徴とする請求項６に記載の基板処理装置。
- 前記レシピデータ中に、処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するように前記制御手段が構成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の基板処理装置。
- 前記レシピデータの入力画面を表示する表示手段を備え、この表示手段は、シングル処理用のレシピデータを入力する位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する位置とが同一である入力画面を表示するように構成され、前記制御手段は、当該位置に入力された文字列に処理内容情報を構成する文字以外の文字からなる判別情報が含まれている時には、マルチ処理を実行するように構成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の基板処理装置。
- 前記レシピデータの入力画面を表示する表示手段を備え、この表示手段は、シングル処理用のレシピデータを入力する第１入力位置と、マルチ処理用のレシピデータを入力する第２入力位置とが相互に異なる入力画面を表示するように構成され、前記制御手段は、前記第２入力位置に文字列が入力されると前記マルチ処理を実行するように構成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の基板処理装置。
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