JP2006308360A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ウェハの周縁部を観察する際に、観察している位置の確認を容易に行える外観検査装置を提供する。
【解決手段】 外観検査装置1は、ウェハWを載置してXYZθに移動自在なステージ2と、ウェハWの周縁部を撮像する周縁部撮像部6とを有し、ステージ2及び周縁部撮像部6は制御装置10に接続されている。周縁部撮像部6で撮像した画像は表示部12に出力されるようになっており、表示部12は、実際の観察画像I1を表示する画像表示部20と、ウェハWの全体画像I2を表示する観察位置全体表示部21と、ウェハWの周縁部画像I5を表示する観察位置周縁表示部22と、観察位置を数値で示す座標表示部23とを有し、観察位置全体表示部21及び観察位置周縁表示部22には、観察位置を示す観察位置マークI3,I6が表示される。
【選択図】 図1
【解決手段】 外観検査装置1は、ウェハWを載置してXYZθに移動自在なステージ2と、ウェハWの周縁部を撮像する周縁部撮像部6とを有し、ステージ2及び周縁部撮像部6は制御装置10に接続されている。周縁部撮像部6で撮像した画像は表示部12に出力されるようになっており、表示部12は、実際の観察画像I1を表示する画像表示部20と、ウェハWの全体画像I2を表示する観察位置全体表示部21と、ウェハWの周縁部画像I5を表示する観察位置周縁表示部22と、観察位置を数値で示す座標表示部23とを有し、観察位置全体表示部21及び観察位置周縁表示部22には、観察位置を示す観察位置マークI3,I6が表示される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ウェハなどの欠陥検査に用いられる外観検査装置に関する。
ウェハ上に回路などを製造する際には、熱処理などによってウェハに反りや内部応力が発生することがある。このような場合には、回路の製造途中でウェハに割れが生じることがあるので、ウェハの周縁部を拡大して観察することで、将来的に割れに進行するおそれのあるヒビの有無を検査することが知られている。ここで、ウェハの周縁部を観察するために用いられる外観検査装置としては、ウェハを回転可能に支持する支持部と、ウェハの周縁部を連続的に撮像する周縁部撮像部と、周縁部を照明する周縁部照明部とを備えるものがある(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に開示されている外観検査装置では、周縁部撮像部は、ウェハに対して前後左右及びウェハの厚さ方向に移動可能に3つ設けられており、それぞれの周縁部撮像部で撮像されたウェハ周縁部の画像は、表示部に同時に並んで表示される。さらに、表示部には、この他に欠陥位置の座標や、種類が数値で表示される。
特開2003−243465号公報
しかしながら、ウェハの周縁部の拡大像と座標の数値では、実際に観察している部分がウェハ上のどこにあるのかを確認することが難かった。また、同じウェハの他の場所や、他のウェハで前に観察した場所などを参照したい場合には、そのウェハや場所を探して、再度画像を取得しなければならないが、このような場合には観察したい場所を特定することはさらに困難になる。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェハの周縁部を観察する際に、観察している位置の確認を容易に行えるようにすることである。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェハの周縁部を観察する際に、観察している位置の確認を容易に行えるようにすることである。
上記の課題を解決する本発明は、被検体となるワークを載置するステージを移動させて画像取得部で取得した前記ワークの周縁部の画像を制御装置の制御によって表示手段に表示させる外観検査装置において、前記表示手段は、前記画像取得部で取得した画像を表示する画像表示部と、前記ワークの全体画像を表示する全体表示部とを有し、前記制御装置は、前記画像表示部に表示される画像の位置を示す観察位置マークを前記全体表示部に表示させるように構成したことを特徴とする外観検査装置とした。
この外観検査装置では、観察画像を画像表示部に表示する際に、観察位置を示す観察位置マークをワークの全体画像を表示する全体表示部に表示させる。例えば、観察位置を移動させた場合には、これに伴って観察位置マークの位置が移動するので、観察者は、観察位置マークを確認すれば、現在の観察位置がワークの全体中でどこにあるのかを瞬時に把握できるようになる。
本発明によれば、画像取得部で取得したワーク上の特定の観察位置の画像を表示すると共に、ワークの全体画像に観察位置を示す観察位置マークを表示させるようにしたので、観察位置マークを確認することで、観察位置を目視で容易に確認することができる。したがって、外観検査が容易になり、作業効率を向上させることができる。
本発明の実施の形態について図面を参照して以下に説明する。
図1にこの実施の形態に係る外観検査装置の概略構成を示す。この外観検査装置1は、被検体であるワークとして、半導体ウェハWの周縁部の外観検査を行う装置として説明するが、ワークは半導体ウェハWに限定されない。
図1にこの実施の形態に係る外観検査装置の概略構成を示す。この外観検査装置1は、被検体であるワークとして、半導体ウェハWの周縁部の外観検査を行う装置として説明するが、ワークは半導体ウェハWに限定されない。
外観検査装置1は、半導体ウェハ(以下、ウェハとする)Wを保持するステージ2を有している。ステージ2は、ウェハWを吸着保持する略円板形の保持板3を有している。保持板3の外径は、ウェハWの外径よりも小さくなっている。保持板3の下面部からは、回転軸4が鉛直下向きに延設されている。この回転軸4は、XYZθ駆動機構5に連結されており、ステージ2をXYZ方向に移動可能及び回転可能になっている。なお、X方向及びY方向は、水平方向であり、Z方向は上下方向、θは回転軸4回りの回転角度を示している。
また、ステージ2から所定距離だけ離れた位置には、周縁部観察部6が設けられている。周縁部観察部6は、ウェハWの周縁部に合わせて凹部7aが形成されたベース部7を有し、この凹部7aにウェハWの周縁部の上面、側面、下面を撮像する撮像部8が配設されている。撮像部8は、CCD(Charge Coupled Device)を備える画像取得部であるが、画像取得部の構成はウェハWの画像を取得するできるものであればCCDに限定されない。図1には、撮像部8を3つ備える3視野タイプの周縁部観察部が図示されているが、1つの撮像部8を移動自在に備える1視野タイプや、5つの撮像部8が配設される5視野タイプなど種々のタイプを使用することが可能である。
ステージ2のXYZθ駆動機構5と、周縁部観察部6の各撮像部8とは、制御装置10に接続されている。制御装置10は、CPU(Central Processing Unit)や、メモリを備え、後に説明する処理を実現するように構成されている。さらに、制御装置10には、入力部11と、出力部である表示部12とが接続されている。入力部11としては、マウスなどのポインティングデバイスや、キーボードがあげられる。さらに、制御装置10は、ステージ2の制御を行う位置制御部15と、周縁部観察部6の制御を行う撮像制御部16と、画像処理を行う画像処理部17と、メモリなどの記憶装置18とに機能分割することができる。なお、制御装置10は、入力部11及び表示部12を備えるコンピュータであっても良い。
表示部12は、周縁部観察部6で撮像された観察画像や、その他の情報を表示するものである。図1に例示されるように、表示部12には、周縁部観察部6で撮像した実際の観察画像I1がリアルタイムで表示される画像表示部20と、周縁部観察部6がウェハW全体のどの位置を撮像しているのかを示す表示であって、ウェハWの上方又は下方から観察したときの形状を表現する観察位置全体表示部21と、観察画像I1がウェハWの周縁部のどの位置についての画像であるのかを示す表示であって、ウェハWを側方から観察したときの断面形状を表現する観察位置周縁表示部22と、観察位置の座標を示す座標表示部23とが表示され、その他に操作用のメニューボタン領域24や、ボタン25なども設けられている。
画像表示部20は、他の表示部21,22,23に比べて大きい領域を占めており、観察者が詳細な検査をしやすくなっている。また、観察位置全体表示部21は、制御装置10において作成されたウェハWの全体画像I2と、観察位置マークI3とを有し、観察位置マークI3によって、観察位置つまり観察画像I1の座標に相当する位置が、外周側から示されるようになっている。なお、この観察位置全体表示部21には、ウェハWにオリエンテーションフラットやノッチがある場合に、これらが常に下側になるように表示されることが好ましい。さらに、欠陥位置を示すイメージI4を全体画像I2上に表示しても良い。このイメージI4は、他の検査装置で予め取得された欠陥位置及び欠陥の種類の情報を制御装置10で処理することによって作成される。
観察位置周縁表示部22は、制御装置10において作成されるウェハWの周縁部画像I5と、周縁部画像I5に対して観察画像I1の観察位置と観察方向とを示す観察位置マークI6とからなる。観察位置周縁表示部22における周縁部画像I5の上下方向は、ステージ2上の実際のウェハWの上下方向と一致するように作成される。つまり、撮像部8で上方からウェハを観察しているときには、観察位置マークI6は、周縁部が周縁部像I5の上側で、下向きの矢印として表示される。なお、観察位置マークI3,I6の形状は、図1に示すような矢印形状に限定されない。
座標表示部23は、ステージ2が基準位置から水平移動した量を示すX座標及びY座標と、ステージ2が基準位置から上下方向に移動した量を示すZ座標と、ステージ2が基準位置から回転した角度を示すθとが並んで表示されている。
この実施の形態の作用について、画像表示部20と他の表示部21,22,23とを連動させる処理を中心にして図2のフローチャートを参照して説明する。
制御装置10は、位置制御部15でXYZθ駆動機構5を制御してウェハWの位置合わせを行う。例えば、図示しない搬送アームでステージ2の上方にウェハWを移動させて、ステージ2のウェハWの周縁部に配置された図示しない複数の位置検出センサによってウェハWの中心と、ステージ2の回転中心とのずれを検出し、このずれを補正するようにステージ2を移動させてから、搬送アームを下降させることにより、基準位置に位置合わせする(ステップS101)。基準位置には、この場合、ステージ2の中心が用いられている。次に、ウェハWがステージ2に吸着保持によって搭載されたら(ステップS102)、周縁部を観察できる位置までステージ2を移動させる(ステップS103)。なお、ステージ2の代わりに、周縁部観察部6が移動しても良い。
制御装置10は、位置制御部15でXYZθ駆動機構5を制御してウェハWの位置合わせを行う。例えば、図示しない搬送アームでステージ2の上方にウェハWを移動させて、ステージ2のウェハWの周縁部に配置された図示しない複数の位置検出センサによってウェハWの中心と、ステージ2の回転中心とのずれを検出し、このずれを補正するようにステージ2を移動させてから、搬送アームを下降させることにより、基準位置に位置合わせする(ステップS101)。基準位置には、この場合、ステージ2の中心が用いられている。次に、ウェハWがステージ2に吸着保持によって搭載されたら(ステップS102)、周縁部を観察できる位置までステージ2を移動させる(ステップS103)。なお、ステージ2の代わりに、周縁部観察部6が移動しても良い。
次に、制御装置10は、画像処理部17によってグラフィック表示処理を実行する(ステップS104)。具体的には、観察を開始するにあたり、ウェハWの全体像をイメージした全体画像I2を作成し、表示部12の観察位置全体表示部21に表示させる。また、ウェハWの周縁部をイメージした周縁部画像I5を作成し、観察位置周縁表示部22に表示させる。そして、全体画像I2及び周縁部画像I5のそれぞれに対して、予め定められた位置(デフォルト位置)に観察中の位置を示す観察位置マークI3,I6を作成し、表示させる。また、座標表示部23においては、観察位置マークI3,I6によって示される観察位置のX座標、Y座標、Z座標及び回転角度θの値を表示させる。
ここで、入力部11の操作によって、例えば、座標表示部23のθの値をメニューボタン領域24に配置された角度変更ボタン(不図示)等により操作し、ステージ2を角度θ回転させた場合には(ステップS105でYes)、観察位置全体表示部21における観察位置マークI3を元の位置から角度θだけ全体画像I2の中心を基準にして相対的に回転移動させ(ステップS106)、この位置でグラフィック表示を行う(ステップS104)。これによって、観察位置マークI3は、常に実際の観察位置を示すようになる。また、この際に、座標表示部23の座標も実際の観察位置に合わせて更新する。
また、入力部11の操作によって、撮像部8を変更して視点の切り替えを行ったり、ステージ2をXYZ方向に移動させたりしたときには(ステップS107においてYes)、ステージ2の移動量に応じて観察位置周縁表示部22の観察位置マークI6を周縁部画像I5に対して相対的に移動させて(ステップS108)、この位置でグラフィック表示を行う(ステップS104)。これによって、観察位置マークI6は、常に実際の観察位置を示すようになる。なお、上側の撮像部8から下側の撮像部8に視点が切り替えられた場合には、観察位置周縁表示部22の観察位置マークI6は、下側から上向きに周縁部画像I5を指し示すように表示される。同様に、側方からの視点に切り替えられた場合には、観察位置マークI6は、側方から周縁部画像I5を指し示すように表示される。また、この際に、座標表示部23の座標も実際の観察位置に合わせて更新する。
このようにして、入力部11の操作に応じて画像表示部20、観察位置全体表示部21、観察位置周縁表示部22、座標表示部23を連動して更新させながらウェハWの周縁部の検査を行う。検査を終了する場合には(ステップS110でYes)、ここでの処理を終了する。検査を継続する場合には(ステップS110でNo)、グラフィック表示(ステップS104)に戻る。
この実施の形態によれば、ステージ2を移動させて観察位置を変更した場合に、観察位置全体表示部21と、観察位置周縁表示部22とに実際の観察位置と連動する観察位置マークI3、I6を表示するようにしたので、ウェハWのどの部分を観察中であるかを一目で確認することが可能になる。これによって、検査の作業効率を向上させることができる。
また、観察位置周縁表示部22に表示されるウェハWの周縁部画像I5が、実際のウェハWの上下方向と一致させてあるので、視点モードの確認や、選択が容易になる。
また、観察位置周縁表示部22に表示されるウェハWの周縁部画像I5が、実際のウェハWの上下方向と一致させてあるので、視点モードの確認や、選択が容易になる。
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態は、装置構成は第1の実施の形態と同様であり、制御のみが異なることを特徴とする。したがって、第1の実施の形態と重複する説明は省略する。
本発明の第2の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態は、装置構成は第1の実施の形態と同様であり、制御のみが異なることを特徴とする。したがって、第1の実施の形態と重複する説明は省略する。
図3に示すように、この実施の形態においては、ウェハWの位置合わせを行い(ステップS201)、ウェハWがステージ2に搭載されたら(ステップS202)、周縁部観察位置までステージ2を移動する(ステップS203)。さらに、グラフィック表示(ステップS204)を行う。
ここで、観察位置全体表示部21に表示されているウェハWの全体画像I2の周縁部がマウスでクリックされたら(ステップS205でYes)、画像処理部17がクリックされた場所の座標と全体画像I2の中心とから、現在の観察位置に対する角度θを算出し、位置制御部15が角度θだけステージ2を回転移動させ(ステップS206)、グラフィック表示(ステップS204)を再度実行する。この場合には、ステージ2の回転軸4を回転させたら、観察位置全体表示部21における観察位置マークI3を、全体画像I2に対して現在の観察位置から角度θだけ回転させた位置に表示させ、観察位置マークI3が常に実際の観察位置を指し示すように更新処理を行う。この際に、座標表示部23の座標の更新処理を行う。
また、観察位置周縁表示部22に表示されているウェハWの周縁部画像I5がマウスでクリックされたら(ステップS207でYes)、画像処理部17がクリックされた場所に相当する観察位置を撮像できる撮像部8を選択し、撮像制御部16によって選択された撮像部8による視点モードに切り替えを行う(ステップS208)。具体的には、クリックされた座標と、周縁部画像I5との関係を観察位置周縁表示部22中の上下関係及び左右関係で演算し、クリックされた位置が周縁部画像I5の上側であれば、上方からの視点モードとして、上部の撮像部8が選択される。クリックされた位置が周縁部画像I5の下側であれば、下方からの視点モードとして、下部の撮像部8が選択される。クリックされた位置が周縁部画像I5の側方であれば、側方からの視点モードとして、側部の撮像部8が選択される。そして、クリックされた位置の座標に対応する実際のXYZθ座標を演算し、このXYZθ座標で特定される新しい観察位置が、選択された撮像部8の視野に入るようにステージ3を移動させる(ステップS209)。
そして、この処理に応じてグラフィック表示(ステップS204)を再度実行する。つまり、観察位置周縁表示部22において、観察位置マークI6がXYZ座標の変化に連動して周縁部画像I5に対して相対的に移動し、観察位置マークI6が常に実際の観察位置を指し示すように更新処理を行う。そして、この場合も、座標表示部23の座標の更新処理を行う。
このようにして、画面上でクリックされた位置に合わせて画像表示部20、観察位置全体表示部21、観察位置周縁表示部22、座標表示部23を連動して更新させながらウェハWの周縁部の検査を行う。検査を終了する場合には(ステップS210でYes)、ここでの処理を終了する。検査を継続する場合には(ステップS210でNo)、グラフィック表示(ステップS104)に戻る。
この実施の形態によれば、画面上で新しい観察位置が指定された場合に、その位置に合わせてステージ2を移動させ、撮像部8を選択することが可能になる。また、被検体であるウェハWの全体像や、断面像を見ながら観察したい位置を指定することができるので、検査の作業効率を向上させることができる。その他の効果は第1の実施の形態と同様である。
(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態は、観察画像が保存可能に構成されている他は、第1の実施の形態と同様の装置構成になっている。したがって、第1の実施の形態と重複する説明は省略する。
本発明の第3の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態は、観察画像が保存可能に構成されている他は、第1の実施の形態と同様の装置構成になっている。したがって、第1の実施の形態と重複する説明は省略する。
図4に示すように、外観検査装置30の表示部12には、保存ボタン31が設けられると共に、観察位置全体表示部21及び観察位置周縁表示部22には保存した観察画像I1の位置を示す保存位置マークI7,I8が表示可能になっている。保存位置マークI7,I8は、観察位置マークI3,I6と目視で区別できるように異なる形のマーク(図4においては菱形)が用いられており、複数表示可能であると共に、観察位置マークI3,I6と一緒に表示させることもできる。なお、保存位置マークI7,I8は、観察位置マークI3,I6と異なる色で表示させても良い。
また、制御装置10の記憶装置18には、観察画像I1の画像データが保存される。記憶装置18に保存される画像データは、観察位置を示す座標データと関連付けられて保存されており、この座標データを介して保存位置マークI7,I8と関連付けられている。さらに、保存される画像データは、表示部21,22に表示される画像情報や位置情報に関連付けられて保存されている。つまり、1つの画像データのファイル名に対して、保存を行ったときの画像データと、それがウェハWのどの位置かを表示する観察位置全体表示部21と観察位置周縁表示部22の観察位置マークI3,I6の情報と、保存位置マークI7,I8の情報とが関連付けられて保存される。
また、制御装置10の記憶装置18には、観察画像I1の画像データが保存される。記憶装置18に保存される画像データは、観察位置を示す座標データと関連付けられて保存されており、この座標データを介して保存位置マークI7,I8と関連付けられている。さらに、保存される画像データは、表示部21,22に表示される画像情報や位置情報に関連付けられて保存されている。つまり、1つの画像データのファイル名に対して、保存を行ったときの画像データと、それがウェハWのどの位置かを表示する観察位置全体表示部21と観察位置周縁表示部22の観察位置マークI3,I6の情報と、保存位置マークI7,I8の情報とが関連付けられて保存される。
この実施の形態の作用について説明する。
まず、図2又は図3に示すフローチャートに従って検査を行っているときに、保存したい観察画像I1があった場合には、その観察画像I1が画像表示部20に表示されている状態で保存ボタン31をクリックする。すると、画像処理部17は、その観察画像I1を保存画像SI1とし、保存画像SI1の画像データとその観察位置の座標データとを関連付けて、記憶装置18に保存させる。そして、観察位置全体表示部21と、観察位置周縁表示部22とにおいて、観察位置マークI3,I6を保存位置マークI7,I8に更新する。この後に、観察位置が変更された場合には、観察位置マークI3,I6は、実際の観察位置に合わせて表示位置が変更されるが、保存位置マークI7,I8は、保存画像SI1の座標データに対応した位置に常に表示される。
まず、図2又は図3に示すフローチャートに従って検査を行っているときに、保存したい観察画像I1があった場合には、その観察画像I1が画像表示部20に表示されている状態で保存ボタン31をクリックする。すると、画像処理部17は、その観察画像I1を保存画像SI1とし、保存画像SI1の画像データとその観察位置の座標データとを関連付けて、記憶装置18に保存させる。そして、観察位置全体表示部21と、観察位置周縁表示部22とにおいて、観察位置マークI3,I6を保存位置マークI7,I8に更新する。この後に、観察位置が変更された場合には、観察位置マークI3,I6は、実際の観察位置に合わせて表示位置が変更されるが、保存位置マークI7,I8は、保存画像SI1の座標データに対応した位置に常に表示される。
保存画像SI1を参照する場合の処理について図5に示す。
まず、観察位置全体表示部21に表示されている保存位置マークI71をマウスでクリックする。保存位置マークI71の座標データから観察位置の座標データが換算され、観察位置の座標データで記憶装置18が検索される。その場所に対応する保存画像が、1つの保存画像SI2のみである場合には、観察位置周縁表示部22にその位置を示す保存位置マークI81が表示される。これと共に、画像表示部20には、現在観察中の観察画像I1の代わりに、記憶装置18から抽出された保存画像SI2が表示される。
また、保存位置マークI72をマウスでクリックした場合には、同様にして記憶装置18から対応する保存画像のデータが抽出される。この場合には、ウェハWの上面側と、下面側との2箇所の保存画像SI2,SI3が存在するので、観察位置周縁表示部22にその位置を示す保存位置マークI82と保存位置マークI82が表示される。保存位置マークI82がマウスでクリックされたら、これに対応する座標の保存画像SI3が現在観察中の観察画像I1に代わって画像表示部20に表示される。一方、保存位置マークI83がマウスでクリックされたら、これに対応する座標の保存画像SI4が現在観察中の観察画像I1に代わって画像表示部20に表示される。
なお、先の記載では、画像の保存を行ったときの表示部21,22の情報が関連付けられて保存されるとしたが、同じウェハWに対して新たな画像を保存する場合には、既に保存されている画像データのファイルにも新規に保存された画像の位置情報が関連付けされるようにしても良い。
まず、観察位置全体表示部21に表示されている保存位置マークI71をマウスでクリックする。保存位置マークI71の座標データから観察位置の座標データが換算され、観察位置の座標データで記憶装置18が検索される。その場所に対応する保存画像が、1つの保存画像SI2のみである場合には、観察位置周縁表示部22にその位置を示す保存位置マークI81が表示される。これと共に、画像表示部20には、現在観察中の観察画像I1の代わりに、記憶装置18から抽出された保存画像SI2が表示される。
また、保存位置マークI72をマウスでクリックした場合には、同様にして記憶装置18から対応する保存画像のデータが抽出される。この場合には、ウェハWの上面側と、下面側との2箇所の保存画像SI2,SI3が存在するので、観察位置周縁表示部22にその位置を示す保存位置マークI82と保存位置マークI82が表示される。保存位置マークI82がマウスでクリックされたら、これに対応する座標の保存画像SI3が現在観察中の観察画像I1に代わって画像表示部20に表示される。一方、保存位置マークI83がマウスでクリックされたら、これに対応する座標の保存画像SI4が現在観察中の観察画像I1に代わって画像表示部20に表示される。
なお、先の記載では、画像の保存を行ったときの表示部21,22の情報が関連付けられて保存されるとしたが、同じウェハWに対して新たな画像を保存する場合には、既に保存されている画像データのファイルにも新規に保存された画像の位置情報が関連付けされるようにしても良い。
ここで、観察位置周縁表示部22の保存位置マークI81〜I83に対応して観察位置全体表示部21の表示と、画像表示部20の切り替えとを行っても良い。また、保存画像SI1〜SI4は、別の表示部に表示され、観察中の観察画像I1と並べて表示させても良い。
この実施の形態によれば、観察画像I1を保存することが可能になるので、観察中に他の場所の画像を確認することが可能になる。この場合において、保存位置マークI7,I8を用いて観察画像I1を保存した位置を目視で確認できる。また、保存位置マークI7,I8と保存画像SI1の画像データとを関連付けることで、観察中であっても画像が保存されている位置が表示されるので、保存位置マークI7,I8をクリックするなどの操作をすれば、保存画像SI1を見たいときに読み出して表示させ、確認することが可能になる。また、画像だけでなく、位置情報も関連付けて保存しているので、ウェハWのどの位置の画像かを確認することができ、作業効率が向上する。その他の効果は、第1の実施の形態又は第2の実施の形態と同様である。
なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、第3の実施の形態において、記憶装置18に保存した保存画像SI1のデータを他の基板検査装置の表示部に表示させたり、データ管理用のサーバに保存したりしても良い。この場合には、ウェハWに予め付与されている基板IDなどと保存画像SI1のデータを関連づけることで、ウェハWの特定と場所の特定とが可能になる。保存画像SI1のデータの受け渡しは、ネットワークを介在させても良いし、記録媒体を利用しても良い。この場合に、外観検査装置は、ステージ3及び周縁部観察部6を備えずに、他で取得された観察画像を表示させることで外観検査を行う装置であっても良い。
また、マウスでクリックする代わり、観察位置マークI3,I6をマウスでドラッグしたり、キーボードのテンキーなどのカーソルを用いたりして移動させても良い。
例えば、第3の実施の形態において、記憶装置18に保存した保存画像SI1のデータを他の基板検査装置の表示部に表示させたり、データ管理用のサーバに保存したりしても良い。この場合には、ウェハWに予め付与されている基板IDなどと保存画像SI1のデータを関連づけることで、ウェハWの特定と場所の特定とが可能になる。保存画像SI1のデータの受け渡しは、ネットワークを介在させても良いし、記録媒体を利用しても良い。この場合に、外観検査装置は、ステージ3及び周縁部観察部6を備えずに、他で取得された観察画像を表示させることで外観検査を行う装置であっても良い。
また、マウスでクリックする代わり、観察位置マークI3,I6をマウスでドラッグしたり、キーボードのテンキーなどのカーソルを用いたりして移動させても良い。
ウェハWの全体像を撮像可能な撮像装置を設け、観察位置全体表示部21に表示されるウェハWの全体画像を実際の画像にしても良い。同様に、観察位置周縁表示部22で表示されるウェハWの周縁部の画像を実際の画像としても良い。
そして、外観検査装置は、第1、第2、第3の実施の形態の機能を2つ以上組み合わせて構成されても良い。
そして、外観検査装置は、第1、第2、第3の実施の形態の機能を2つ以上組み合わせて構成されても良い。
1,30 外観検査装置
2 ステージ
8 撮像部(画像取得部)
10 制御装置
12 表示部
18 記憶装置
20 画像表示部
21 観察位置全体表示部(全体表示部)
22 観察位置周縁表示部(周縁表示部)
I1 観察画像(画像)
I2 全体画像
I3,I6 位置マーク
I5 周縁部画像
I7,I8,I72,I72,I81〜I83 保存位置マーク
SI1〜SI4 保存画像(保存した観察画像)
2 ステージ
8 撮像部(画像取得部)
10 制御装置
12 表示部
18 記憶装置
20 画像表示部
21 観察位置全体表示部(全体表示部)
22 観察位置周縁表示部(周縁表示部)
I1 観察画像(画像)
I2 全体画像
I3,I6 位置マーク
I5 周縁部画像
I7,I8,I72,I72,I81〜I83 保存位置マーク
SI1〜SI4 保存画像(保存した観察画像)
Claims (6)
- 被検体であるワークを載置するステージを移動させて画像取得部で取得した前記ワークの周縁部の画像を制御装置の制御によって表示手段に表示させる外観検査装置において、
前記表示手段は、前記画像取得部で取得した画像を表示する画像表示部と、前記ワークの全体画像を表示する全体表示部とを有し、前記制御装置は、前記画像表示部に表示される画像の位置を示す観察位置マークを前記全体表示部に表示させるように構成したことを特徴とする外観検査装置。 - 前記表示手段は、前記ワークの周縁部の画像である周縁部画像を表示する周縁表示部を有し、前記制御装置は、前記周縁表示部に前記ワークの上下方向と、前記周縁部画像の上下方向とを一致させて表示させると共に、前記画像表示部に表示される画像の位置を示す観察位置マークを表示させるように構成したことを特徴とする請求項1に記載の外観検査装置。
- 前記制御装置は、前記全体表示部内で指定された座標を取得し、この座標に対応する観察位置の画像を前記画像取得部で取得可能に前記ステージを移動させるように構成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の外観検査装置。
- 前記制御装置は、前記周縁表示部内で指定された座標を取得し、この座標に対応する観察位置の画像を前記画像取得部で取得可能に前記ステージを移動させるように構成したことを特徴とする請求項2に記載の外観検査装置。
- 前記画像取得部で取得した観察位置の画像を保存可能な記憶装置を有し、前記制御装置は、前記記憶装置に保存した画像の観察位置を示す保存位置マークを前記表示手段に表示させるように構成したことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記記憶装置に保存される観察位置の画像のデータは、前記保存位置マークの選択によって出力されるように、前記保存位置マークと関連付けて前記記憶装置に保存されていることを特徴とする請求項5に記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005129402A JP2006308360A (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005129402A JP2006308360A (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 外観検査装置 |
Publications (1)
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JP2006308360A true JP2006308360A (ja) | 2006-11-09 |
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ID=37475426
Family Applications (1)
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JP2005129402A Withdrawn JP2006308360A (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 外観検査装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2006308360A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007256272A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-10-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置 |
JP2008196975A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Olympus Corp | 欠陥検査装置 |
US8577119B2 (en) | 2006-02-24 | 2013-11-05 | Hitachi High-Technologies Corporation | Wafer surface observing method and apparatus |
-
2005
- 2005-04-27 JP JP2005129402A patent/JP2006308360A/ja not_active Withdrawn
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US8577119B2 (en) | 2006-02-24 | 2013-11-05 | Hitachi High-Technologies Corporation | Wafer surface observing method and apparatus |
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