JP2003098121A - スイッチ機能の変更方法 - Google Patents

スイッチ機能の変更方法

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JP2003098121A
JP2003098121A JP2001289437A JP2001289437A JP2003098121A JP 2003098121 A JP2003098121 A JP 2003098121A JP 2001289437 A JP2001289437 A JP 2001289437A JP 2001289437 A JP2001289437 A JP 2001289437A JP 2003098121 A JP2003098121 A JP 2003098121A
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Akihiro Shimodaira
章浩 下平
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Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】スイッチに付けられた機能を他の機能に変更す
ることによって、直ちに機能が充分に果たされなくなっ
たスイッチの復旧を図る。 【解決手段】それぞれ機能が付けられた複数のスイッチ
のうち機能変更したい所望のスイッチに付けられた前記
機能を他の機能に変更する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイや半導体ウエハの外観検査装置などの各種機器の
コントローラに設けられた複数のスイッチに付けられた
各機能を他の機能に変更するためのスイッチ機能の変更
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば液晶ディスプレイの製造工程に
は、液晶ディスプレイの検査ラインが設けられており、
この検査ラインで液晶ディスプレイのガラス基板の外観
検査、例えばガラス基板上の汚れ、傷、ダスト、粒子、
泡などの検査が行なわれている。このガラス基板の欠陥
検査では、マクロ観察と称する検査とミクロ観察と称す
る検査とが行われている。マクロ観察は、ガラス基板の
表面に照明光を照射し、その反射光の光学的変化をオペ
レータの目視により観察してガラス基板の表面上のの汚
れ、傷、ダスト、粒子、泡などの欠陥を検出するもので
ある。ミクロ観察は、マクロ観察で検出された欠陥部分
を顕微鏡を用いて拡大して観察するものである。
【０００３】このような外観検査装置のコントローラに
は、ガラス基板の検査を進めるにあたっての各種検査ス
イッチが設けられている。これら検査スイッチは、機械
的なスイッチで構成され、例えば次のガラス基板（ワー
ク）の検査を指示するための次ワークスイッチと、ミク
ロ観察又はマクロ観察を選択するためのミクロ／マクロ
スイッチと、ガラス基板を検査するときの座標を設定す
るための前座標スイッチと次座標スイッチの各種機能を
操作する多数のスイッチが設けられている。
【０００４】従って、これら検査スイッチを作業員が押
し操作してガラス基板に対するミクロ観察やマクロ観察
を進めている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、検査ス
イッチを作業員が押し操作してガラス基板に対するミク
ロ観察やマクロ観察を進めるあたっては、例えば次ワー
クスイッチは、１枚のガラス基板に対する検査を行なう
毎に押し操作されるものであり、その押し操作の頻度が
高くなる。
【０００６】このため、例えば次ワークスイッチの機械
的な接触などが不十分となって、スイッチとしての機能
が充分に果たされなくなることがある。そうすると、外
観検査装置自体が使用不可能となってしまい、検査ライ
ンを停止しなければならず、かつその復旧にも時間がか
かる。
【０００７】そこで本発明は、スイッチに付けられた機
能を他の機能に変更することによって、直ちに機能が充
分に果たされなくなったスイッチの復旧を図ることがで
きるスイッチ機能の変更方法を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、それぞれ機能
が付けられた複数のスイッチのうち機能変更したい所望
のスイッチに付けられた前記機能を他の機能に変更する
スイッチ機能の変更方法である。
【０００９】本発明は、それぞれ機能が付けられた複数
のスイッチと少なくとも１つの予備スイッチとを備え、
この予備スイッチに前記スイッチに付けられた前記機能
を割り付けるスイッチ機能の変更方法である。
【００１０】
【発明の実施の形態】（１）以下、本発明の第１の実施
の形態について図面を参照して説明する。
【００１１】図１は本発明のスイッチ機能の変更方法を
適用した液晶ディスプレイのガラス基板の外観検査装置
の構成図である。カセット１には、複数のガラス基板２
が収納されている。
【００１２】搬送装置３は、カセット１に収納されてい
る未検査のガラス基板２を取り出し、このガラス基板２
をミクロ／マクロ検査装置４に搬送して受け渡し、かつ
ミクロ／マクロ検査装置４で検査の終了したガラス基板
２を受け取り、カセット１に搬送して受け渡す機能を有
している。
【００１３】ミクロ／マクロ検査装置４は、ガラス基板
２に対するマクロ観察とミクロ観察とを行なうための機
能を備えている。このうちマクロ観察は、ガラス基板２
の表面に照明光を照射し、その反射光の光学的変化をオ
ペレータの目視により観察してガラス基板１の表面上の
汚れ、傷、ダスト、粒子、泡などの欠陥を検出するため
のマニュアルマクロ観察、又はガラス基板２の表面に照
明光を照射し、その反射光の光学的変化をカメラにより
撮像してガラス基板２の全体の画像からガラス基板１の
表面上の汚れ、傷、ダスト、粒子、泡などの欠陥を検出
するためのオートマクロ観察を行なうものとなってい
る。ミクロ観察は、マクロ観察で検出された欠陥部分を
顕微鏡を用いて拡大して観察するものとなっている。
【００１４】コントローラ５は、搬送装置３及びミクロ
／マクロ検査装置４に対して各動作指令を発してガラス
基板２の外観検査全体の動作を制御する機能を有するも
ので、例えばＣＰＵを有するワンチップマイクロコンピ
ュータ、パーソナルコンピュータからなっている。この
コントローラ５には、入力設定手段６としてのキーボー
ド７、マウス８及び各種検査スイッチ（ＳＷ）９が接続
されると共に、液晶やＣＲＴディスプレイ等の表示装置
１０及びハードディスク又は光磁気ディスクからなる記
憶装置１１が接続されている。
【００１５】検査スイッチ９は、機械的なスイッチで、
図２に示すように、次のガラス基板２の検査を指示する
ための次ワークスイッチ１２と、ミクロ観察又はマクロ
観察を選択するためのミクロ／マクロスイッチ１３と、
ガラス基板２を検査するときの座標を設定するための前
座標スイッチ１４と次座標スイッチ１５と、第１及び第
２の予備スイッチ１６、１７と、これら予備スイッチ１
６又は１７に対して次ワークスイッチ１２、ミクロ／マ
クロスイッチ１３、前座標スイッチ１４又は次座標スイ
ッチ１５に付けられている機能を割り付けるための設定
スイッチ１８とが設けられている。又、これら検査スイ
ッチ９には、それぞれＬＥＤ（発光ダイオード）が設け
られている。
【００１６】上記コントローラ５は、記憶装置１１に予
め記憶されている図３及び図４に示すスイッチ機能の変
更フローチャートのプログラムを実行することにより、
先ず第１及び第２の予備スイッチ１６、１７のＬＥＤを
点滅させ、これら第１又は第２の予備スイッチ１６、１
７に割り付けたい機能が付けられた次ワークスイッチ１
２、ミクロ／マクロスイッチ１３、前座標スイッチ１４
又は次座標スイッチ１５のＬＥＤを点滅させ、これら点
滅している検査スイッチ９を認識し、当該検査スイッチ
９に付けられている機能を第１又は第２の予備スイッチ
１６、１７に割り付ける機能を有している。
【００１７】この場合、コントローラ５は、第１又は第
２の予備スイッチ１６、１７に割り付けたい機能を選択
するとき、設定スイッチ１８により複数の次ワークスイ
ッチ１２→ミクロ／マクロスイッチ１３→前座標スイッ
チ１４→次座標スイッチ１５→次ワークスイッチ１２の
順番に切り替える機能を有している。
【００１８】次に、上記の如く構成された装置における
スイッチ機能の変更の作用について図３及び図４に示す
スイッチ機能の変更フローチャートを参照して説明す
る。
【００１９】第１又は第２の予備スイッチ１６、１７に
対して機能を割り付けるとき、作業員によってキーボー
ド７又はマウス８が操作されてスイッチ機能変更の設定
モードの指示が入力されると、コントローラ５は、ステ
ップ＃１において、第１と第２の予備スイッチ１６又は
１７が作業員によって押し操作されたか否かを判断す
る。
【００２０】これら予備スイッチ１６又は１７が押し操
作されると、コントローラ５は、ステップ＃２におい
て、その押し操作が一定時間（例えば５秒）行なわれた
か否かを判断し、一定時間押されたと判断したときステ
ップ＃３に移って予備スイッチ１６又は１７の設定を初
期化し、続くステップ＃４において予備スイッチ１６又
は１７の各ＬＥＤを点滅させる。
【００２１】なお、次ワークスイッチ１２と、ミクロ／
マクロスイッチ１３と、前座標スイッチ１４と、次座標
スイッチ１５と、設定スイッチ１８とに対して割り付け
られる機能のデータが予め記憶装置１１に記憶されてい
る。
【００２２】次に、コントローラ５は、ステップ＃５に
おいて、第１又は第２の予備スイッチ１６、１７が作業
員によって押し操作されたか否かを判断し、押し操作さ
れると、ステップ＃６に移って第１又は第２の予備スイ
ッチ１６、１７の各ＬＥＤを消灯し、スイッチ機能の変
更の動作を終了する。
【００２３】このとき、コントローラ５は、第１又は第
２の予備スイッチ１６、１７が押し操作されなければ、
ステップ＃７において設定スイッチ１８が作業員によっ
て押し操作されたか否かを判断し、これら判断の結果か
ら設定スイッチ１８が押し操作されると、ステップ＃８
に移って次ワークスイッチ１２のＬＥＤを点滅させる。
【００２４】次に、コントローラ５は、ステップ＃９に
おいて、設定スイッチ１８が作業員によって押し操作さ
れたか否かを判断し、この設定スイッチ１８が押し操作
されずに点滅している第１又は第２の予備スイッチ１
６、１７の一方が作業員によって押し操作されたか否か
をステップ＃１０において判断する。
【００２５】ここで、作業員が次ワークスイッチ１２に
付けられている機能、すなわち次のガラス基板２の検査
を指示する機能を例えば第１の予備スイッチ１６に割り
付ける場合には、作業員は、上記の如く次ワークスイッ
チ１２のＬＥＤが点滅している状態で例えば第１の予備
スイッチ１６を押し操作する。
【００２６】このように第１の予備スイッチ１６が押し
操作されると、コントローラ５は、ステップ＃１０から
ステップ＃１１に移り、ＬＥＤが点滅している次ワーク
スイッチ１２と押し操作された第１の予備スイッチ１６
とを認識し、次ワークスイッチ１２に付けられている機
能を第１の予備スイッチ１６に割り付ける。
【００２７】次に、コントローラ５は、ステップ＃１２
において、次ワークスイッチ１２のＬＥＤを消灯し、続
くステップ＃１３において、第１及び第２の予備スイッ
チ１６、１７のＬＥＤを消灯し、スイッチ機能の変更の
動作を終了する。
【００２８】一方、ステップ＃９において、第１又は第
２の予備スイッチ１６、１７に対して次ワークスイッチ
１２に付けられている機能を割り付けしないときには、
作業員は再び設定スイッチ１８を押し操作する。
【００２９】この再度の設定スイッチ１８の押し操作を
受けてコントローラ５は、ステップ＃９からステップ＃
１４に移り、次ワークスイッチ１２のＬＥＤを消灯する
と共に、ミクロ／マクロスイッチ１３のＬＥＤを点滅さ
せる。
【００３０】次に、コントローラ５は、ステップ＃１５
において、設定スイッチ１８が作業員によって押し操作
されたか否かを判断し、この設定スイッチ１８が押し操
作されずに点滅している第１又は第２の予備スイッチ１
６、１７の一方が作業員によって押し操作されたか否か
をステップ＃１６において判断する。
【００３１】ここで、作業員がミクロ／マクロスイッチ
１３に付けられている機能、すなわちミクロ観察又はマ
クロ観察を選択するための機能を例えば第１の予備スイ
ッチ１６に割り付ける場合には、作業員は、上記の如く
ミクロ／マクロスイッチ１３のＬＥＤが点滅している状
態で例えば第１の予備スイッチ１６を押し操作する。
【００３２】このように第１の予備スイッチ１６が押し
操作されると、コントローラ５は、ステップ＃１６から
ステップ＃１７に移り、ＬＥＤが点滅しているミクロ／
マクロスイッチ１３と押し操作された第１の予備スイッ
チ１６とを認識し、ミクロ／マクロスイッチ１３に付け
られている機能を第１の予備スイッチ１６に割り付け
る。
【００３３】次に、コントローラ５は、ステップ＃１８
において、ミクロ／マクロスイッチ１３のＬＥＤを消灯
し、上記ステップ＃１３に移って第１及び第２の予備ス
イッチ１６、１７のＬＥＤを消灯し、スイッチ機能の変
更の動作を終了する。
【００３４】一方、ステップ＃１５において、第１又は
第２の予備スイッチ１６、１７に対してミクロ／マクロ
スイッチ１３に付けられている機能を割り付けしないと
きには、作業員は再び設定スイッチ１８を押し操作す
る。
【００３５】この再度の設定スイッチ１８の押し操作を
受けてコントローラ５は、ステップ＃１５からステップ
＃１９に移り、ミクロ／マクロスイッチ１３のＬＥＤを
消灯すると共に、前座標スイッチ１４のＬＥＤを点滅さ
せる。
【００３６】次に、コントローラ５は、ステップ＃２０
において、設定スイッチ１８が作業員によって押し操作
されたか否かを判断し、この設定スイッチ１８が押し操
作されずに点滅している。第１又は第２の予備スイッチ
１６、１７の一方が作業員によって押し操作されたか否
かをステップ＃２１において判断する。
【００３７】ここで、作業員が前座標スイッチ１４に付
けられている機能を例えば第１の予備スイッチ１６に割
り付ける場合には、作業員は、上記の如く前座標スイッ
チ１４のＬＥＤが点滅している状態で例えば第１の予備
スイッチ１６を押し操作する。
【００３８】このように第１の予備スイッチ１６が押し
操作されると、コントローラ５は、ステップ＃２１から
ステップ＃２２に移り、ＬＥＤが点滅している前座標ス
イッチ１４と押し操作された第１の予備スイッチ１６と
を認識し、前座標スイッチ１４に付けられている機能を
第１の予備スイッチ１６に割り付ける。
【００３９】次に、コントローラ５は、ステップ＃２３
において、前座標スイッチ１４のＬＥＤを消灯し、上記
ステップ＃１３に移って第１及び第２の予備スイッチ１
６、１７のＬＥＤを消灯し、スイッチ機能の変更の動作
を終了する。
【００４０】一方、ステップ＃２０において、第１又は
第２の予備スイッチ１６、１７に対して前座標スイッチ
１４に付けられている機能を割り付けしないときには、
作業員は再び設定スイッチ１８を押し操作する。
【００４１】この再度の設定スイッチ１８の押し操作を
受けてコントローラ５は、ステップ＃２０からステップ
＃２４に移り、前座標スイッチ１４のＬＥＤを消灯する
と共に、次座標スイッチ１５のＬＥＤを点滅させる。
【００４２】次に、コントローラ５は、ステップ＃２５
において、設定スイッチ１８が作業員によって押し操作
されたか否かを判断し、この設定スイッチ１８が押し操
作されずに点滅している第１又は第２の予備スイッチ１
６、１７の一方が作業員によって押し操作されたか否か
をステップ＃２６において判断する。
【００４３】ここで、作業員が次座標スイッチ１５に付
けられている機能を例えば第１の予備スイッチ１６に割
り付ける場合には、作業員は、上記の如く次座標スイッ
チ１５のＬＥＤが点滅している状態で例えば第１の予備
スイッチ１６を押し操作する。
【００４４】このように第１の予備スイッチ１６が押し
操作されると、コントローラ５は、ステップ＃２６から
ステップ＃２７に移り、ＬＥＤが点滅している次座標ス
イッチ１５と押し操作された第１の予備スイッチ１６と
を認識し、次座標スイッチ１５に付けられている機能を
第１の予備スイッチ１６に割り付ける。
【００４５】次に、コントローラ５は、ステップ＃２８
において、次座標スイッチ１５のＬＥＤを消灯し、上記
ステップ＃１３に移って第１及び第２の予備スイッチ１
６、１７のＬＥＤを消灯し、スイッチ機能の変更の動作
を終了する。
【００４６】以上のような動作により次ワークスイッチ
１２、ミクロ／マクロスイッチ１３、前座標スイッチ１
４又は次座標スイッチ１５に付けられている機能が例え
ば第１の予備スイッチ１６に割り付けられる。例えば、
検査スイッチ９を作業員が押し操作してガラス基板２に
対するミクロ観察やマクロ観察を進めるあたって、例え
ば次ワークスイッチ１２に対する押し操作の頻度が高く
なり、この次ワークスイッチ１２が機械的な接触などが
不十分となって故障することがある。このような場合、
次ワークスイッチ１２に付けられている機能を例えば第
１の予備スイッチ１６に割り付けることができる。
【００４７】そして、第１の予備スイッチ１６に次ワー
クスイッチ１２の機能を割り付けただけでは、第１の予
備スイッチ１６に割り付けられた機能が作業員によって
一目で認識出来ないので、例えば図５に示すように第１
の予備スイッチ１６に対して「次ワークスイッチ」が印
刷されているシール状の銘板１９が貼り付ける。故障し
た次ワークスイッチ１２に対して「故障」が印刷されて
いるシール状の銘板１９ａを貼り付ける。
【００４８】なお、検査スイッチ９の銘板は、図６に示
すように第１の予備スイッチ１６の銘板２０や次ワーク
スイッチ１２の銘板２１を別途作成し、かつ第１の予備
スイッチ１６にこれら銘板２０、２１を挿脱可能なスペ
ース２２を作成し、第１の予備スイッチ１６に次ワーク
スイッチ１２の機能を割り付けたときに、第１の予備ス
イッチ１６の銘板２０を次ワークスイッチ１２の銘板２
１に交換するようにしてもよい。
【００４９】又、図７に示すように第１の予備スイッチ
１６のシール状の銘板２３や次ワークスイッチ１２のシ
ール状の銘板２４を別途作成し、かつ第１の予備スイッ
チ１６に隣接するところにこれら銘板２３、２４を取り
付けるスペースを作成し、第１の予備スイッチ１６に次
ワークスイッチ１２の機能を割り付けたときに、第１の
予備スイッチ１６の銘板２３を取り外し、次ワークスイ
ッチ１２の銘板２４と浩瀚するようにしてもよい。
【００５０】この後、外観検査装置のメンテナンス時
に、故障した次ワークスイッチ１２が良品の次ワークス
イッチ１２に交換されると、上記ステップ＃１からステ
ップ＃３の動作に示すように、作業員によって第１の予
備スイッチ１６が押し操作され、その押し操作が一定時
間行なうことによって第１の予備スイッチ１６の設定を
初期化する。
【００５１】このように上記第１の実施の形態において
は、第１又は第２の予備スイッチ１６、１７を点滅さ
せ、次にこれら第１又は第２の予備スイッチ１６、１７
に割り付けたい機能が付けられた検査スイッチ（次ワー
クスイッチ１２、ミクロ／マクロスイッチ１３、前座標
スイッチ１４又は次座標スイッチ１５）９を点滅させ、
次にこれら点滅している検査スイッチ９を認識し、当該
検査スイッチ９に付けられている機能を第１又は第２の
予備スイッチ１６、１７に割り付けるので、例えば、検
査スイッチ９を作業員が押し操作してガラス基板２に対
するミクロ観察やマクロ観察を進めるあたって、例えば
次ワークスイッチ１２に対する押し操作の頻度が高くな
り、この次ワークスイッチ１２が機械的な接触などが不
十分となって故障したとしても、故障した次ワークスイ
ッチ１２に付けられている機能を例えば第１の予備スイ
ッチ１６に割り付けることができる。
【００５２】このように故障した次ワークスイッチ１２
の機能を第１の予備スイッチ１６に割り付ければ、外観
検査装置の復旧も直ぐにでき、液晶ディスプレイのガラ
ス基板２の外観検査を進めることができる。
【００５３】なお、上記第１の実施の形態は、次の通り
に変形してもよい。
【００５４】例えば、第１又は第２の予備スイッチ１
６、１７のいずれか一方の予備スイッチ１６又は１７と
設定スイッチ１８とを同時に押し操作することで設定モ
ードに入るようにしてもよい。
【００５５】（２）次に、本発明の第２の実施の形態に
ついて説明する。なお、外観検査装置の全体構成は図１
に示す装置とほぼ同一であるので、図１を援用し、その
異なる部分について説明する。
【００５６】本発明の第２の実施の形態は、図８に示す
ように検査スイッチ９に設定スイッチ１８を無くした場
合のスイッチ機能の変更方法である。コントローラ５
は、先ず第１又は第２の予備スイッチ１６、１７のＬＥ
Ｄを点滅させ、次ワークスイッチ１２、ミクロ／マクロ
スイッチ１３、前座標スイッチ１４、次座標スイッチ１
５のうち故障している一つのスイッチ機能、例えば次ワ
ークスイッチ１２に付けられている機能を第１又は第２
の予備スイッチ１６、１７に割り付ける機能を有してい
る。
【００５７】このような構成であれば、第１又は第２の
予備スイッチ１６、１７に対して機能を割り付けると
き、作業員によってキーボード７又はマウス８が操作さ
れてスイッチ機能変更の設定モードの指示が入力される
と、コントローラ５は、図８に示す第１又は第２の予備
スイッチ１６、１７が作業員によって押し操作されたか
否かを判断する。
【００５８】これら第１又は第２の予備スイッチ１６、
１７の一方が押し操作されると、コントローラ５は、そ
の押し操作が一定時間行なわれたか否かを判断し、押さ
れたと第１又は第２の予備スイッチ１６、１７の設定を
初期化し、ＬＥＤを点滅させる。
【００５９】次に、作業員が故障している次ワークスイ
ッチ１２以外の他の検査スイッチすなわちミクロ／マク
ロスイッチ１３、前座標スイッチ１４、次座標スイッチ
１５を押し操作すると、コントローラ５は、故障してい
る次ワークスイッチ１２を認識する。
【００６０】続いて、作業員が次ワークスイッチ１２の
機能を割当てようとする例えば第１の予備スイッチ１６
を押し操作すると、コントローラ５は、押し操作されな
かった次ワークスイッチ１２と押し操作された第１の予
備スイッチ１６とを認識し、次ワークスイッチ１２に付
けられている機能を第１の予備スイッチ１６に割り付け
る。
【００６１】次に、コントローラ５は、第１の予備スイ
ッチ１６のＬＥＤを消灯し、スイッチ機能の変更の動作
を終了する。
【００６２】このように上記第２の実施の形態において
は、先ず第１又は第２の予備スイッチ１６、１７の一方
を一定時間押し操作してスイッチ機能変更の設定モード
にした後、検査スイッチ９を順に押し操作して操作され
ない（故障している）検査スイッチを認識し、この操作
されない例えば次ワークスイッチ１２に付けられている
機能を第１又は第２の予備スイッチ１６、１７に割り付
けるようにしたので、設定スイッチ１８が無い場合で
も、上記第１の実施の形態と同様に予備スイッチに故障
している検査スイッチの機能を割り付けることができ
る。
【００６３】（３）次に、本発明の第３の実施の形態に
ついて図面を参照して説明する。なお、外観検査装置の
構成は図１に示す装置とほぼ同一であるので、図１を援
用し、その異なる部分について説明する。
【００６４】本発明の第３の実施の形態は、コントロー
ラ５としてパーソナルコンピュータを用い、このパーソ
ナルコンピュータのモニタ画面上でスイッチ機能の変更
を行なうようにしたものである。
【００６５】コントローラ５は、記憶装置１１に予め記
憶されている図９及び図１０に示すスイッチ機能の変更
フローチャートのプログラムを実行することにより、先
ず、例えば表示装置１０のモニタ画面上に図１１に示す
ような機能を割り付けようとする第１及び第２の予備ス
イッチ１６、１７に対応する表示スイッチ用の選択項目
すなわち第１及び第２の予備表示スイッチ３０、３１と
終了表示スイッチ３２を持つ第１のメンテナンス画面Ｈ
１を表示し、同モニタ画面上に図１２に示すような第１
及び第２の予備スイッチ１６、１７に対して割り付けよ
うとする各検査スイッチ（次ワークスイッチ１２、ミク
ロ／マクロスイッチ１３、前座標スイッチ１４又は次座
標スイッチ１５）９の各機能から所望する機能を選択す
るための表示スイッチ用の選択項目すなわち次ワーク表
示スイッチ３３、ミクロ／マクロ表示スイッチ３４、前
座標表示スイッチ３５、次座標表示スイッチ３６及びク
リア表示スイッチ３７を持つ第２のメンテナンス画面Ｈ
２を表示し、第２のメンテナンス画面Ｈ２で選択された
機能を第１のメンテナンス画面Ｈ１で選択された第１又
は第２の予備スイッチ１６、１７に割り付ける機能を有
している。
【００６６】なお、第１のメンテナンス画面Ｈ１に表示
される第１又は第２の予備表示スイッチ３０、３１、終
了表示スイッチ３２や、第２のメンテナンス画面Ｈ２に
表示される次ワーク表示スイッチ３３、ミクロ／マクロ
表示スイッチ３４、前座標表示スイッチ３５、次座標表
示スイッチ３６及びクリア表示スイッチ３７は、それぞ
れタッチスイッチにしてもよい。
【００６７】次に、上記の如く構成された装置における
スイッチ機能の変更の作用について図９及び図１０に示
すスイッチ機能の変更フローチャートを参照して説明す
る。
【００６８】第１又は第２の予備スイッチ１６、１７に
対して機能を割り付けるとき、作業員によってキーボー
ド７又はマウス８が操作されてスイッチ機能変更の設定
モードの指示が入力されると、コントローラ５は、図１
１に示す第１のメンテナンス画面Ｈ１を表示装置１０の
モニタ画面上に表示する。
【００６９】次に、コントローラ５は、ステップ＃３０
において、第１の予備表示スイッチ３０が作業員による
マウス８等の操作によりクリックれたか否かを判断し、
クリックされるとステップ＃３１に移って図１２に示す
第２のメンテナンス画面Ｈ２を表示する。
【００７０】この第２のメンテナンス画面Ｈ２を表示し
ている状態で、コントローラ５は、ステップ＃３２から
ステップ＃３６を実行し、次ワーク表示スイッチ３３、
ミクロ／マクロ表示スイッチ３４、前座標表示スイッチ
３５、次座標表示スイッチ３６又はクリア表示スイッチ
３７の一つがマウス８等の操作によりクリックれたか否
かを判断する。
【００７１】この判断の結果、次ワーク表示スイッチ３
３がクリックされると、コントローラ５は、ステップ＃
３２からステップ＃３７に移り、第１の予備スイッチ１
６に対して次ワークスイッチ１２に付けられている機能
を割り付ける。次に、コントローラ５は、ステップ＃３
８において、表示装置１０のモニタ画面上に第１のメン
テナンス画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３０、＃４７、
＃６０において、終了表示スイッチ３２がクリックされ
ると、スイッチ機能の変更動作を終了する。
【００７２】又、コントローラ５は、ステップ＃３２か
らステップ＃３６において、ミクロ／マクロ表示スイッ
チ３４がクリックされると、ステップ＃３３からステッ
プ＃３９に移り、第１の予備スイッチ１６に対してミク
ロ／マクロスイッチ１３に付けられている機能を割り付
け、ステップ＃４０において、表示装置１０のモニタ画
面上に第１のメンテナンス画面Ｈ１を表示し、ステップ
＃３０、＃４７、＃６０において、終了表示スイッチ３
２がクリックされると、スイッチ機能の変更動作を終了
する。
【００７３】又、同様にしてステップ＃３２からステッ
プ＃３６で、前座標表示スイッチ３５がクリックされる
と、コントローラ５は、ステップ＃３４からステップ＃
４１に移り、第１の予備スイッチ１６に対して前座標ス
イッチ１４に付けられている機能を割り付け、ステップ
＃４２において、表示装置１０のモニタ画面上に第１の
メンテナンス画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３０、＃４
７、＃６０において、終了表示スイッチ３２がクリック
されると、スイッチ機能の変更動作を終了する。
【００７４】又、同様にしてステップ＃３２からステッ
プ＃３６において、次座標表示スイッチ３６がクリック
されると、コントローラ５は、ステップ＃３５からステ
ップ＃４３に移り、第１の予備スイッチ１６に対して次
座標スイッチ１５に付けられている機能を割り付け、ス
テップ＃４４において、表示装置１０のモニタ画面上に
第１のメンテナンス画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３
０、＃４７、＃６０において、終了表示スイッチ３２が
クリックされると、スイッチ機能の変更動作を終了す
る。
【００７５】又、ステップ＃３２からステップ＃３６に
おいて、クリア表示スイッチ３７がクリックされると、
コントローラ５は、ステップ＃３６からステップ＃４５
に移り、第１の予備スイッチ１６に対する割り当てを解
除し、ステップ＃４６において、再び第１のメンテナン
ス画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３０に戻る。
【００７６】一方、ステップ＃３０で、上記第１の予備
表示スイッチ３０がクリックされずに、第２の予備表示
スイッチ３１がクリックされると、コントローラ５は、
上記ステップ＃３０からステップ＃４７に移って第２の
予備表示スイッチ３１がクリックされたことを判断し、
ステップ＃４８において図１２に示す第２のメンテナン
ス画面Ｈ２を表示する。
【００７７】この第２のメンテナンス画面Ｈ２を表示し
ている状態で、コントローラ５は、ステップ＃４９から
ステップ＃５３を実行し、次ワーク表示スイッチ３３、
ミクロ／マクロ表示スイッチ３４、前座標表示スイッチ
３５、次座標表示スイッチ３６又はクリア表示スイッチ
３７の一つがマウス８等の操作によりクリックれたか否
かを判断する。
【００７８】この判断の結果、次ワーク表示スイッチ３
３がクリックされると、コントローラ５は、ステップ＃
４９からステップ＃５４に移り、第２の予備スイッチ１
７に対して次ワークスイッチ１２に付けられている機能
を割り付ける。次に、コントローラ５は、ステップ＃５
５において、表示装置１０のモニタ画面上に第１のメン
テナンス画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３０、＃４７、
＃６０において、終了表示スイッチ３２がクリックされ
ると、スイッチ機能の変更動作を終了する。
【００７９】又、コントローラ５は、同様にしてステッ
プ＃４９から＃５３でミクロ／マクロ表示スイッチ３４
がクリックされると、ステップ＃５０からステップ＃５
６に移り、第２の予備スイッチ１７に対してミクロ／マ
クロスイッチ１３に付けられている機能を割り付け、ス
テップ＃５５において、表示装置１０のモニタ画面上に
第１のメンテナンス画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３
０、＃４７、＃４６において、終了表示スイッチ３２が
クリックされると、スイッチ機能の変更動作を終了す
る。
【００８０】又、同様にステップ＃４９から＃５３で前
座標表示スイッチ３５がクリックされると、コントロー
ラ５は、ステップ＃５１からステップ＃５７に移り、第
２の予備スイッチ１７に対して前座標スイッチ１４に付
けられている機能を割り付け、ステップ＃５５におい
て、表示装置１０のモニタ画面上に第１のメンテナンス
画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３０、＃４７、＃４６に
おいて、終了表示スイッチ３２がクリックされると、ス
イッチ機能の変更動作を終了する。
【００８１】又、同様にステップ＃４９から＃５３で次
座標表示スイッチ３６がクリックされると、コントロー
ラ５は、ステップ＃５２からステップ＃５８に移り、第
２の予備スイッチ１７に対して次座標スイッチ１５に付
けられている機能を割り付け、ステップ＃５５におい
て、表示装置１０のモニタ画面上に第１のメンテナンス
画面Ｈ１を表示し、ステップ＃３０、＃４７、＃４６に
おいて、終了表示スイッチ３２がクリックされると、ス
イッチ機能の変更動作を終了する。
【００８２】又、ステップ＃４９から＃５３でクリア表
示スイッチ３７がクリックされると、コントローラ５
は、ステップ＃５３からステップ＃５９に移り、第２の
予備スイッチ１６に対する割り当てを解除し、ステップ
＃５５において、再び第１のメンテナンス画面Ｈ１を表
示し、ステップ＃３０に戻る。
【００８３】このように上記第３の実施の形態において
は、第１及び第２の予備表示スイッチ３０、３１と終了
表示スイッチ３２を持つ第１のメンテナンス画面Ｈ１を
表示し、次に、同モニタ画面上に第１及び第２の予備ス
イッチ１６、１７に対して割り付けようとするための次
ワーク表示スイッチ３３、ミクロ／マクロ表示スイッチ
３４、前座標表示スイッチ３５、次座標表示スイッチ３
６及びクリア表示スイッチ３７を持つ第２のメンテナン
ス画面Ｈ２を表示し、次に、第２のメンテナンス画面Ｈ
２で選択された機能を第１のメンテナンス画面Ｈ１で選
択された第１又は第２の予備スイッチ１６、１７に割り
付けるので、パーソナルコンピュータのモニタ画面上に
おいて、第１又は第２の予備スイッチ１６、１７に対し
て検査スイッチ９に付けられた機能を割り付けることが
できる。これにより、上記第１の実施の形態と同様に、
例えば、検査スイッチ９を作業員が押し操作してガラス
基板２に対するミクロ観察やマクロ観察を進めるあたっ
て、例えば次ワークスイッチ１２に対する押し操作の頻
度が高くなり、この次ワークスイッチ１２が機械的な接
触などが不十分となって故障したとしても、パーソナル
コンピュータのモニタ画面上で故障した次ワークスイッ
チ１２に付けられている機能を例えば第１の予備スイッ
チ１６に割り付けることができる。このように故障した
次ワークスイッチ１２の機能を第１の予備スイッチ１６
に割り付ければ、外観検査装置の復旧も直ぐにでき、液
晶ディスプレイのガラス基板２の外観検査を進めること
ができる。
【００８４】なお、本発明は、上記第１及び第２の実施
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００８５】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。
【００８６】上記第１及び第２の実施の形態は、次の通
り変形してもよい。
【００８７】例えば、上記第１及び第２の実施の形態で
は、故障した検査スイッチ（次ワークスイッチ１２、ミ
クロ／マクロスイッチ１３、前座標スイッチ１４又は次
座標スイッチ１５）９の機能を第１又は第２の予備スイ
ッチ１６、１７に割り当てる場合について説明したが、
これに限らず、予備スイッチを省略し検査スイッチ９の
スイッチのうち例えば次ワークスイッチ１２の機能を使
用頻度の少ない前座標スイッチ１４又は次座標スイッチ
１５に変更するようにしてもよい。
【００８８】又、次ワークスイッチ１２の機能と前座標
スイッチ１４の機能とを互いに交換して、各検査スイッ
チ９の場所を変更するようにしてもよい。このように検
査スイッチ９の場所を変更すれば、作業者が操作し易い
場所に各検査スイッチ９を配置できる。
【００８９】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、ス
イッチに付けられた機能を他の機能に変更することによ
って、直ちに機能が充分に果たされなくなったスイッチ
の復旧を図ることができるスイッチ機能の変更方法を提
供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第１
の実施の形態を適用した半導体ウエハ基板の外観検査装
置の構成図。
【図２】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第１
の実施の形態における検査スイッチを示す図。
【図３】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第１
の実施の形態におけるスイッチ機能の変更フローチャー
ト。
【図４】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第１
の実施の形態におけるスイッチ機能の変更フローチャー
ト。
【図５】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第１
の実施の形態における銘板の貼り付けを示す図。
【図６】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第１
の実施の形態における銘板の交換を示す図。
【図７】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第１
の実施の形態における銘板の交換を示す図。
【図８】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第２
の実施の形態における検査スイッチを示す図。
【図９】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第３
の実施の形態におけるスイッチ機能の変更フローチャー
ト。
【図１０】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第
３の実施の形態におけるスイッチ機能の変更フローチャ
ート。
【図１１】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第
３の実施の形態における第１のメンテナンス画面を示す
図。
【図１２】本発明に係わるスイッチ機能の変更方法の第
３の実施の形態における第２のメンテナンス画面を示す
図。
【符号の説明】
１：カセット ２：ガラス基板 ３：搬送装置 ４：ミクロ／マクロ検査装置 ５：コントローラ ６：入力設定手段 ７：キーボード ８：マウス ９：検査スイッチ １０：表示装置 １１：記憶装置 １２：次ワークスイッチ １３：ミクロ／マクロスイッチ １４：前座標スイッチ １５：次座標スイッチ １６：第１の予備スイッチ １７：第２の予備スイッチ １８：設定スイッチ １９，２０，２１，２３，２４：銘板 ２２：スペース ３０，３１：第１及び第２の予備タッチスイッチ ３２：終了表示スイッチ ３３：次ワーク表示スイッチ ３４：ミクロ／マクロ表示スイッチ ３５：前座標表示スイッチ ３６：次座標表示スイッチ ３７：クリア表示スイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０３Ｍ 11/04 11/22

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 それぞれ機能が付けられた複数のスイッ
    チのうち機能変更したい所望のスイッチに付けられた前
    記機能を他の機能に変更するスイッチ機能の変更方法。
  2. 【請求項２】 モニタ画面上に、前記機能変更したい所
    望のスイッチを選択するための第１の画面を表示するス
    テップと、 前記モニタ画面上に、前記所望のスイッチに対して割り
    付けたい機能を選択するための第２の画面を表示するス
    テップと、 前記第２の画面で選択された前記機能を前記第１の画面
    で選択された前記所望のスイッチに割り付けるステップ
    と、を有することを特徴とする請求項１記載のスイッチ
    機能の変更方法。
  3. 【請求項３】 それぞれ機能が付けられた複数のスイッ
    チと少なくとも１つの予備スイッチとを備え、この予備
    スイッチに前記スイッチに付けられた前記機能を割り付
    けるスイッチ機能の変更方法。
  4. 【請求項４】 モニタ画面上に、前記機能を割り付けよ
    うとする前記予備スイッチに対応する表示スイッチ用の
    選択項目を持つ第１の画面を表示するステップと、 前記モニタ画面上に、前記予備スイッチに対して割り付
    けようとする前記各スイッチの前記各機能から所望する
    前記機能を選択するための表示スイッチ用の選択項目を
    持つ第２の画面を表示するステップと、 前記第２の画面で選択された前記機能を前記第１の画面
    で選択された前記予備スイッチに割り付けるステップ
    と、を有することを特徴とする請求項３記載のスイッチ
    機能の変更方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2013125561A1 (ja) * 2012-02-20 2013-08-29 日立建機株式会社 建設機械の表示制御装置

Cited By (3)

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