JP6272664B2 - 荷電粒子ビーム装置内における自動化されたジョブと手動補助ジョブとを組み合わせるシーケンサ - Google Patents
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Description
10 データ入力インタフェース
12 表示画面
14 キーボード
16 媒体挿入ポート
18 操作員準備完了ボタン
20 手順実行ボタン
30 真空室
32 加工物
34 FIB
36 走査電子顕微鏡
Claims (36)
- ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも1つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置であって、
a.加工物を処理する荷電粒子ビーム装置と、
b.スケジュール入力エントリー装置と、第1の状態または第2の状態に置くことができ、前記荷電粒子ビームを使用する動作を操作員が実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースと、
c.全自動手順および手動補助手順を含む手順のスケジュールを前記スケジュール入力エントリー装置から受け取る手順スケジューラと、
d.前記操作員準備完了入力が前記第2の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第1の状態に置かれるまで、前記全自動手順をシーケンス処理し、前記操作員準備完了入力が前記第1の状態に置かれたときに、実行中の前記全自動手順に対する安全な終止点に到達した後、前記手動補助手順のシーケンス処理を開始する手順シーケンサと
を備える装置。 - 前記装置が欠陥分析装置である、請求項1に記載の装置。
- 前記装置が微小寸法測定TEMまたはSTEMである、請求項1に記載の装置。
- 前記装置が、ウェーハから複数の薄片を抜き取り、それらを画像化用に調製するTEM調製装置である、請求項1に記載の装置。
- 1つの手動補助手順が、手順の終点を判定する手順である、請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。
- 1つの全自動手順が自動薄化手順である、請求項1から5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記スケジューラを実現するプログラムを有する、請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記シーケンサを実現するプログラムを有する、請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記シーケンサが、全自動手順の待ち行列および手動補助手順の待ち行列を維持する、請求項1から8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記シーケンサが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順の単一の待ち行列を維持する、請求項1から8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの1つの加工物であり、第1の加工物に対する前記全自動手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が作動状態にない場合に、前記シーケンサが、前記一連の加工物のうちの第2の加工物に対する全自動手順に進む、請求項1から10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第2の加工物に対する全自動手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が押されたときに、前記シーケンサが、前記第1の加工物に対する手動補助手順に戻る、請求項1から11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記スケジュール入力エントリー装置が、前記スケジュールを遠隔装置から受け取るためにネットワークに接続されたポートを含む、請求項1から12のいずれか一項に記載の装置。
- ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも1つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置であって、
a.荷電粒子ビーム装置と、
b.スケジュール入力エントリー装置と、第1の状態または第2の状態に置くことができ、前記荷電粒子ビームを使用する動作を操作員が実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースと、
c.全自動手順および手動補助手順を含む手順のスケジュールを前記スケジュール入力エントリー装置から受け取る手順スケジューラと、
d.前記操作員準備完了入力が前記第1の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第2の状態に置かれるまで、手動補助手順をシーケンス処理し、前記操作員準備完了入力が前記第2の状態に置かれたときに、前記全自動手順のシーケンス処理を開始する手順シーケンサと
を備える装置。 - 前記装置が欠陥分析装置である、請求項14に記載の装置。
- 前記装置が、手動補助手順が手順の終点を決定する手順である、請求項14または15に記載の装置。
- 全自動手順が自動薄化手順である、請求項14から16のいずれか一項に記載の装置。
- 前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記スケジューラを実現するプログラムを有する、請求項14から17のいずれか一項に記載の装置。
- 前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記シーケンサを実現するプログラムを有する、請求項14から17のいずれか一項に記載の装置。
- 前記シーケンサが、全自動手順の待ち行列および手動補助手順の待ち行列を維持する、請求項14から19のいずれか一項に記載の装置。
- 前記シーケンサが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順の単一の待ち行列を維持する、請求項14から20のいずれか一項に記載の装置。
- 前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの1つの加工物であり、第1の加工物に対する前記手動補助手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が依然として前記第1の状態にある場合に、前記シーケンサが、前記一連の加工物のうちの第2の加工物での手動補助手順に進む、請求項14から21のいずれか一項に記載の装置。
- 前記第2の加工物に対する手動補助手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が非作動状態に置かれたときに、前記シーケンサが、前記第1の加工物に対する全自動手順に戻る、請求項22に記載の装置。
- ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも1つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置で使用する方法であって、前記装置が、スケジュール入力エントリー装置と、第1の状態または第2の状態に置くことができ、操作員が動作を実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースを有しており、
a.前記スケジュール入力エントリー装置を介して導入された前記スケジュールを受け取るステップと、
b.前記操作員準備完了入力が前記第1の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第2の状態に置かれるまで、前記手動補助手順をシーケンス処理し、次いで前記全自動手順をシーケンス処理するステップであって、前記全自動手順は、前記加工物を画像化または処理するために、前記少なくとも1つの荷電粒子ビームを前記加工物に導くことを含む、ステップと
を含む方法。 - 前記スケジュールが、全自動手順のリストと、別個の手動補助手順のリストとを含む、請求項24に記載の方法。
- 前記装置が欠陥分析装置である、請求項24または25に記載の方法。
- 前記装置が、微小寸法測定TEMまたはSTEMである、請求項24または25に記載の方法。
- 前記装置が、ウェーハから複数の薄片を抜き取り、それらを画像化用に調製するTEM調製装置である、請求項24または25に記載の方法。
- 前記スケジュールが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順のリストを含む、請求項24から28のいずれか一項に記載の方法。
- 前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの1つの加工物であり、第1の加工物に対する前記手動補助手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が依然として前記第1の状態にある場合に、前記シーケンスが、前記一連の加工物のうちの第2の加工物に対する手動補助手順に進む、請求項24から29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の加工物に対する手動補助手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が前記第2の状態に置かれたときに、前記シーケンスが、前記第1の加工物に対する全自動手順に戻る、請求項30に記載の方法。
- ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも1つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置で使用する方法であって、前記装置が、スケジュール入力エントリー装置と、第1の状態または第2の状態に置くことができ、操作員が動作を実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースを有しており、
a.前記スケジュール入力エントリー装置を介して導入された前記スケジュールを受け取るステップと、
b.前記操作員準備完了入力が前記第2の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第1の状態に置かれるまで、前記全自動手順をシーケンス処理し、次いで、実行中の前記自動手順に対する安全な終止点に到達した後に、前記手動補助手順をシーケンス処理するステップと
を含む方法。 - 前記スケジュールが、全自動手順のリストと、別個の手動補助手順のリストとを含む、請求項32に記載の方法。
- 前記スケジュールが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順のリストを含む、請求項32または33に記載の方法。
- 前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの1つの加工物であり、第1の加工物に対する前記全自動手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が押されていない場合に、前記シーケンスが、前記一連の加工物のうちの第2の加工物に対する全自動手順に進む、請求項32から34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の加工物に対する全自動手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が押されたときに、前記シーケンスが、前記第1の加工物に対する手動補助手順に戻る、請求項35に記載の方法。
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