JP6771495B2 - 設計を利用する先行層欠陥箇所の点検 - Google Patents
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Description
本出願は、2015年6月19日出願のインド特許出願第3079/CHE/2015号、および2015年8月12日出願の米国仮特許出願第62/204,328号を優先権主張するものであり、両者の開示内容を本明細書で引用している。
Claims (18)
- 欠陥点検ツールと、前記欠陥点検ツールと通信すべく構成されたコントローラとを含むシステムであって、
前記欠陥点検ツールが
ウェーハを固定すべく構成された載置台と、
前記ウェーハの表面の層の画像を生成すべく構成された画像生成システムとを含み、
前記コントローラが、
前記ウェーハの現在層の設計ファイルを現在層の画像に整列させ、
前記ウェーハの先行層の設計ファイルを前記現在層の設計ファイルに整列させ、
前記先行層内の欠陥の座標に基づいて現在層の画像の領域を識別すべく構成されていて、
前記先行層が前記現在層よりも以前に形成されていて、
前記領域が前記先行層内の前記欠陥の座標に対応しているシステム。 - 前記コントローラが、プロセッサ、前記プロセッサと電子通信状態にある記憶素子、および前記プロセッサと電子通信状態にある通信ポートを含んでいる、請求項1に記載のシステム。
- 前記ウェーハの少なくとも1個の金型角部がマーキングされている、請求項1に記載のシステム。
- 前記コントローラが更に、前記先行層の設計ファイルを整列させた後で、前記金型角部を前記先行層の金型座標系に合わせるべく構成されている、請求項3に記載のシステム。
- 前記コントローラが更に、前記現在層の画像の傾き補正を行うべく構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記現在層の画像が走査電子顕微鏡画像である、請求項1に記載のシステム。
- 前記コントローラが更に、前記現在層の座標系を生成し、且つ前記先行層の対応する座標系を生成すべく構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記コントローラが更に、前記先行層の画像を、前記先行層の設計ファイルまたは前記現在層の設計ファイルの少なくとも一方に整列させるべく構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記画像生成システムが、電子ビーム、広帯域プラズマ、またはレーザーの少なくとも一つを使用すべく構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 載置台を用いて欠陥点検ツールのウェーハを整列させるステップと、
前記ウェーハの少なくとも1個の金型角部をマーキングするステップと、
コントローラを用いて前記ウェーハの現在層の設計ファイルを前記現在層の画像に整列させるステップと、
先行層が前記現在層よりも以前に形成されている状態で、前記コントローラを用いて、前記ウェーハの先行層の設計ファイルを前記現在層の設計ファイルに整列させるステップと、
前記コントローラを用いて、前記現在層の画像の領域を、前記領域が前記先行層内の欠陥の座標に対応している状態で、前記先行層内の欠陥の座標に基づいて識別するステップとを含む方法。 - 前記先行層の設計ファイルを整列させた後で、前記金型角部を前記先行層の金型座標系に合わせるステップを更に含んでいる、請求項10に記載の方法。
- 前記コントローラを用いて前記現在層および前記先行層の欠陥箇所画像を有するロットを生成するステップを更に含んでいる、請求項10に記載の方法。
- 前記コントローラを用いて前記現在層の画像の傾き補正を行うステップを更に含んでいる、請求項10に記載の方法。
- 前記現在層の画像が走査電子顕微鏡画像である、請求項10に記載の方法。
- 前記コントローラを用いて前記現在層の座標系を生成し、且つ前記先行層の対応する座標系を生成するステップを更に含んでいる、請求項10に記載の方法。
- 前記先行層の画像を、前記先行層の設計ファイルまたは前記現在層の設計ファイルの少なくとも一方に整列させるステップを更に含んでいる、請求項10に記載の方法。
- 前記コントローラを用いて、前記現在層の画像の領域を識別する前に、前記先行層の画像の欠陥の位置を識別するステップを更に含んでいる、請求項10に記載の方法。
- 前記先行層の画像を前記先行層の設計ファイルに整列させるステップを更に含んでいる、請求項17に記載の方法。
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