JP2009032800A - 観察装置、観察装置のレシピ設定方法および観察システム - Google Patents
観察装置、観察装置のレシピ設定方法および観察システム Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】観察条件を登録したレシピに基づき、登録した観察条件で試料の観察を行う機能を有する観察装置であって、複数のレシピを対象として、複数の設定項目の設定内容を一覧形式で表示し、共通性を解析した結果に基づき、共通性が高い設定内容を初期設定として、新たなレシピを作成することを主要な特徴とする。
【選択図】図6
Description
本発明は、観察装置において、初心者であっても、試行錯誤することなく、既存のレシピ設定内容を解析でき、解析結果に基づき、新規のレシピを短時間で作成できる、レシピ解析方法、レシピ設定方法、および観察装置を提供することを主要な目的とする。
Claims (20)
- 試料の観察画像を取得する観察装置において、
前記観察画像を取得するときの観察条件が登録された複数の既存レシピと、前記既存レシピ毎に設定された前記観察条件を構成する複数の設定項目、および前記設定項目ごとの仕様を規定する設定内容とを保存する記憶装置と、
前記複数の既存レシピから解析対象とするレシピと、該解析対象とするレシピに対応する設定項目および設定内容の選択を行うレシピ解析を実行する処理装置と、
前記レシピ解析の結果を一覧表示する表示装置と、を有し、
前記解析対象とするレシピ毎の設定内容が、互いに共通である頻度を算出する共通性解析を前記処理装置で行い、
前記共通性解析の結果に基づき、共通である頻度が低い設定内容がある場合は、該頻度が低い設定内容を、頻度が高い設定内容に入れ換えて初期設定とし新規レシピを作成する手段を有することを特徴とする観察装置。 - 前記表示装置に表示する設定項目の選択、あるいは表示の順番を設定する手段を有することを特徴とする請求項1記載の観察装置。
- 前記共通性解析の結果が、設定内容の共通性が高いか低いかを識別可能な形式で前記表示装置に表示されることを特徴とする請求項1記載の観察装置。
- 前記表示装置に表示された前記レシピ解析の結果一覧に基づいて、少なくとも1つ以上のレシピ設定の変更を行うことを特徴とする請求項1記載の観察装置。
- 前記レシピ解析から得られたレシピの設定内容に基づいて、前記観察画像の取得を自動で実施する際のスループットを推算し、該推算結果を前記レシピ解析結果の一覧に一要素として表示することを特徴とする請求項1記載の観察装置。
- 前記レシピの設定内容に基づいて、自動で前記観察画像の取得を行った時のスループットを実測し、該実測結果を前記レシピ解析結果の一覧に一要素として表示することを特徴とする請求項1記載の観察装置。
- 前記設定項目として、プロセス名称、光学条件、ADRモード、低倍画像の倍率、低倍画像のオートフォーカス条件、低倍画像のフレーム加算枚数、高倍画像の倍率、高倍画像のオートフォーカス条件、および高倍画像のフレーム加算枚数が少なくとも一つ以上設定されていることを特徴とする請求項1記載の観察装置。
- 前記設定項目に加えて、ユーザーが登録したコメント、ADR機能を有する場合のキャプチャーレート、レシピ作成者、作成日時、レシピ更新者、更新日時、およびレシピバージョンのうち少なくとも一つ以上を、前記レシピ解析結果の一覧に一要素として表示することを特徴とする請求項7記載の観察装置。
- 前記レシピの設定内容に基づいて、自動で観察し取得した取得画像を、前記レシピ解析結果の一覧と対応させて表示することを特徴とする請求項1記載の観察装置。
- 試料の観察画像を取得する観察装置を備え、
前記観察画像を取得するときの観察条件が登録された複数の既存レシピと、前記既存レシピ毎に設定された前記観察条件を構成する複数の設定項目、および前記設定項目ごとの仕様を規定する設定内容とを記憶装置に保存するステップと、
前記複数の既存レシピから解析対象とするレシピと、該解析対象とするレシピに対応する設定項目および設定内容の選択を行うレシピ解析を、処理装置で実行するステップと、
前記レシピ解析の結果を表示装置に一覧表示するステップと、
前記処理装置を用いて、前記解析対象とするレシピ毎の設定内容が、互いに共通である頻度を算出する共通性解析を実行するステップと、
前記共通性解析の結果に基づき、共通である頻度が低い設定内容がある場合は、該頻度が低い設定内容を、頻度が高い設定内容に入れ換えて初期設定とし新規レシピを作成するステップとを有することを特徴とする観察装置のレシピ設定方法。 - 前記表示装置に表示する設定項目の選択、あるいは表示の順番を設定するステップを有することを特徴とする請求項10記載の観察装置のレシピ設定方法。
- 前記共通性解析の結果が、設定内容の共通性が高いか低いかを識別可能な形式で前記表示装置に表示されることを特徴とする請求項10記載の観察装置のレシピ設定方法。
- 前記表示装置に表示された前記レシピ解析の結果一覧に基づいて、少なくとも1つ以上のレシピ設定の変更を行うステップを有することを特徴とする請求項10記載の観察装置のレシピ設定方法。
- 前記レシピ解析から得られたレシピの設定内容に基づいて、前記観察画像の取得を自動で実施する際のスループットを推算するステップを有し、
該推算結果を前記レシピ解析結果の一覧に一要素として表示することを特徴とする請求項10記載の観察装置のレシピ設定方法。 - 前記レシピの設定内容に基づいて、自動で前記観察画像の取得を行った時のスループットを実測するステップを有し、
該実測結果を前記レシピ解析結果の一覧に一要素として表示することを特徴とする請求項10記載の観察装置のレシピ設定方法。 - 前記設定項目として、プロセス名称、光学条件、ADRモード、低倍画像の倍率、低倍画像のオートフォーカス条件、低倍画像のフレーム加算枚数、高倍画像の倍率、高倍画像のオートフォーカス条件、および高倍画像のフレーム加算枚数が少なくとも一つ以上設定されていることを特徴とする請求項10記載の観察装置のレシピ設定方法。
- 前記設定項目に加えて、ユーザーが登録したコメント、ADR機能を有する場合のキャプチャーレート、レシピ作成者、作成日時、レシピ更新者、更新日時、およびレシピバージョンのうち少なくとも一つ以上を、前記レシピ解析結果の一覧に一要素として表示することを特徴とする請求項16記載の観察装置のレシピ設定方法。
- 前記レシピの設定内容に基づいて、自動で観察し取得した取得画像を、前記レシピ解析結果の一覧と対応させて表示することを特徴とする請求項10記載の観察装置のレシピ設定方法。
- 請求項1に記載の観察装置が複数台接続されたネットワークを備え、
前記複数の観察装置の少なくとも一台にレシピ解析手段を有し、
前記レシピ解析手段を用いて、複数台の前記観察装置にそれぞれ保存されたレシピおよびレシピ解析の実行結果を参照して、前記複数台の観察装置の少なくともいずれか一台においてレシピ解析が実行されることを特徴とする観察システム。 - 前記ネットワークに接続されたレシピ解析機能を有する処理装置を少なくとも一台有し、
前記処理装置を用いて、複数台の前記観察装置にそれぞれ保存されたレシピおよびレシピ解析の実行結果を参照して、前記複数台の観察装置の少なくともいずれか一台においてレシピ解析が実行されることを特徴とする請求項19記載の観察システム。
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