JP2004070918A

JP2004070918A - 生産管理システム、プログラム、情報記憶媒体および生産管理方法

Info

Publication number: JP2004070918A
Application number: JP2003058921A
Authority: JP
Inventors: Junichi Takeuchi; 竹内　淳一; Tomoaki Tsuchida; 土田　知明; Hideyuki Mitani; 三谷　英之
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-06-10
Filing date: 2003-03-05
Publication date: 2004-03-04
Also published as: US20040019510A1; CN1467589A

Abstract

【課題】生産ラインや工場等の所定の処理単位ごとのコストを、より効率的かつより正確に算出できる生産管理システム、プログラム、情報記憶媒体および生産管理方法を提供すること。
【解決手段】ユーザーからの要求を入力する入力部２０と、稼働時間に応じて変動する１時間ごとのコストを示すアイドルコストと使用装置とが関連づけられた生産装置データベース４４および付帯装置データベース４５と、生産条件と処理量に応じて変動するウエハー１枚当たりのコストを示すレシピコストと使用装置とが関連づけられた生産処理データベース４３と、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベース４２とに基づき、入力部２０によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理部１０と、管理部１０によって演算された総コストを表形式でユーザーに提示する出力部３０を含んで半導体製造管理用ＰＣを構成する。
【選択図】　　　　図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産管理システム、プログラム、情報記憶媒体および生産管理方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来、生産コストや生産エネルギーは、経験的に得られた生産ライン等の算出単位ごとのエネルギーや材料の生産コスト等を参考として、技術者や管理者が経験に基づく方法により導出していた。
【０００３】
しかし、このような方法の場合、算出結果が技術者や管理者によって異なり、かつ、算出のために多くの時間や労力が必要であった。特に、半導体装置の製造のように、多数の工程が必要とされるような場合には、正確な生産コストや生産エネルギーの算出は困難であった。
【０００４】
また、半導体装置の製造を行うような場合、生産条件の変更が行われる場合もあり、生産工程の順序が入れ替わってしまう場合もあった。このような場合、生産コストや生産エネルギーを算出し直すための時間や労力も多大なものであった。
【０００５】
例えば、特許文献１では、生産計画情報や部品情報等を入力してデータベースとアルゴリズムを用いて生産ライン別実装コスト等を出力するコスト検討支援装置が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−７６３４５号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、当該公報に記載されたコスト検討支援装置は、単に人手で行っている演算をコンピュータに置き換えたものに過ぎず、生産条件の変更等の場合にも柔軟にコストを算出できる装置とはなっていない。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、生産ラインや工場等の所定の処理単位ごとのコスト等を、より効率的かつより正確に算出できる生産管理システム、プログラム、情報記憶媒体および生産管理方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係る生産管理システムは、ユーザーからの要求を入力する入力手段と、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、生産条件と処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理手段と、
当該管理手段によって演算された総コストを所定の形式でユーザーに提示する出力手段と、
を含み、
前記要求は、前記生産条件の指定を示す生産条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含み、
前記管理手段は、
前記生産条件指定に応じて少なくとも１台の使用装置を選択し、当該使用装置の想定待機時間と、当該使用装置の単位時間待機時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総待機時コストを演算し、
前記生産条件指定に含まれる処理量の指定と、前記生産条件指定に応じて選択した使用装置の単位処理量処理時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総処理時コストを演算し、
前記総待機時コストと、前記総処理時コストとに基づき、総コストを演算することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るプログラムは、コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
コンピュータを、
ユーザーからの要求を入力する入力手段と、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、生産条件と処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理手段と、
当該管理手段によって演算された総コストを所定の形式でユーザーに提示する出力手段として機能させ、
前記要求は、前記生産条件の指定を示す生産条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含み、
前記管理手段は、
前記生産条件指定に応じて少なくとも１台の使用装置を選択し、当該使用装置の想定待機時間と、当該使用装置の単位時間待機時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総待機時コストを演算し、
前記生産条件指定に含まれる処理量の指定と、前記生産条件指定に応じて選択した使用装置の単位処理量処理時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総処理時コストを演算し、
前記総待機時コストと、前記総処理時コストとに基づき、総コストを演算することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る情報記憶媒体は、コンピュータにより読み取り可能なプログラムを記憶した情報記憶媒体であって、
コンピュータを、
ユーザーからの要求を入力する入力手段と、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、生産条件と処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理手段と、
当該管理手段によって演算された総コストを所定の形式でユーザーに提示する出力手段として機能させるためのプログラムを記憶し、
前記要求は、前記生産条件の指定を示す生産条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含み、
前記管理手段は、
前記生産条件指定に応じて少なくとも１台の使用装置を選択し、当該使用装置の想定待機時間と、当該使用装置の単位時間待機時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総待機時コストを演算し、
前記生産条件指定に含まれる処理量の指定と、前記生産条件指定に応じて選択した使用装置の単位処理量処理時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総処理時コストを演算し、
前記総待機時コストと、前記総処理時コストとに基づき、総コストを演算することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る生産管理方法は、ユーザーからの前記生産条件の指定を示す条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含む要求を入力し、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と生産工程順序と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された前記条件指定と、前記集計単位指定とに応じたコストを演算し、
演算したコストを所定の形式でユーザーに提示することを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、生産管理システム等は、単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と生産工程順序と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとを設けておくことにより、生産条件指定に応じて効率的に使用装置を選択し、総処理時コストを効率的に演算し、集計単位指定に応じて総待機時コストを効率的に演算することができる。
【００１４】
したがって、生産管理システム等は、ユーザーの要求に応じて効率的かつ正確に総コストを演算してユーザーに提示することができる。
【００１５】
また、前記生産管理システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうち少なくとも１つは、バージョンと関連づけられ、
前記生産条件指定は、バージョンの指定を含み、
前記管理手段は、前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうちの少なくとも１つに基づき、前記バージョンの指定に応じた総コストを演算してもよい。
【００１６】
また、前記生産管理方法において、前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうち少なくとも１つは、バージョンと関連づけられ、
前記生産条件指定は、バージョンの指定を含み、
前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうちの少なくとも１つに基づき、前記バージョンの指定に応じた総コストを演算してもよい。
【００１７】
これによれば、生産管理システム等は、ユーザーのバージョンの指定に応じて効率的かつ正確に総コストを演算してユーザーに提示することができる。
【００１８】
また、前記生産管理システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記生産条件指定は、複数のバージョンの指定を含み、
前記管理手段は、バージョンごとに総コストを演算し、
前記出力手段は、バージョンごとの総コストの相違を示す形式で総コストをユーザーに提示してもよい。
【００１９】
また、前記生産管理方法において、前記生産条件指定は、複数のバージョンの指定を含み、
バージョンごとに総コストを演算し、
バージョンごとの総コストの相違を示す形式で総コストをユーザーに提示してもよい。
【００２０】
これによれば、生産管理システム等は、ユーザーのバージョンの指定に応じてバージョンごとの総コストの相違を示す形式で総コストをユーザーに提示することができる。
【００２１】
これにより、ユーザーは、どのバージョンが目的に適しているかシミュレーションを行うことができる。
【００２２】
また、前記生産管理システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記管理手段は、前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとに演算し、
前記出力手段は、前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとにユーザーに提示してもよい。
【００２３】
また、前記生産管理方法において、前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとに演算し、
前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとにユーザーに提示してもよい。
【００２４】
これによれば、生産管理システム等は、生産工程ごとの総コストをユーザーに提示することができる。
【００２５】
これにより、ユーザーが生産工程順序の変更を行った場合であっても、総コストを効率的に再演算することができる。
【００２６】
また、前記生産管理システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記使用装置は、半導体の製造装置を含み、
前記集計単位は、半導体製造工場単位、半導体製造工程単位、半導体製造ライン単位のいずれかであって、
前記管理手段は、前記要求に応じて半導体製造に関するコストを演算し、
前記出力手段は、半導体製造に関するコストをユーザーに提示してもよい。
【００２７】
また、前記生産管理方法において、前記使用装置は、半導体の製造装置を含み、
前記集計単位は、半導体製造工場単位、半導体製造工程単位、半導体製造ライン単位のいずれかであって、
前記要求に応じて半導体製造に関するコストを演算し、
半導体製造に関するコストをユーザーに提示してもよい。
【００２８】
これによれば、生産管理システム等は、半導体製造のように多数の生産工程が存在する場合であっても、総コストをユーザーに提示することができる。
【００２９】
また、前記生産管理システム、前記プログラムおよび前記情報記憶媒体において、前記入力手段は、使用装置の待機時の経過時間に応じて変動するコストおよび使用装置の処理量に応じて変動するコストの少なくとも一方を入力し、
前記管理手段は、前記入力手段によって入力されたコストに関する情報に基づき、
前記時間単位ごとのコストに変換して待機時コストデータベースに入力する処理および前記処理単位ごとのコストに変換して処理時コストデータベースに入力する処理の少なくとも一方の処理を行ってもよい。
【００３０】
また、前記生産管理方法において、使用装置の待機時の経過時間に応じて変動するコストおよび使用装置の処理量に応じて変動するコストの少なくとも一方を入力し、
入力したコストに関する情報に基づき、
前記時間単位ごとのコストに変換して待機時コストデータベースに入力する処理および前記処理単位ごとのコストに変換して処理時コストデータベースに入力する処理の少なくとも一方の処理を行ってもよい。
【００３１】
これによれば、生産管理システム等は、入力されたコストを単位時間または単位処理量ごとのコストに変換してデータベースに記憶することにより、演算を行う際に効率的に演算を行うことができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、半導体の製造装置を管理する生産管理システムに適用した場合を例に採り、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明の内容を何ら限定するものではない。また、以下の実施形態に示す構成の全てが、特許請求の範囲に記載された発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００３３】
（システム全体の説明）
図１は、本実施形態の一例に係るレシピコストとアイドルコストの概念を示す模式図である。
【００３４】
ここで、アイドルコストとは、待機時の経過時間に応じて変動する待機時コストのことである。すなわち、アイドルコストは、処理量によっては変動しないため、付加価値を生まないコストである。また、本実施形態において、所定の時間単位（例えば、１分、１時間等）ごとのアイドルコストを単位時間アイドルコスト（単位時間待機時コスト）と呼ぶ。
【００３５】
また、レシピコストとは、生産条件（例えば、使用薬剤、生産工程順序等）と処理量（例えば、半導体のウエハー１枚等）に応じて変動する処理時コストのことである。すなわち、レシピコストは、処理量によって変動するため、付加価値を生むコストである。また、本実施形態において、所定の処理単位（例えば、ウエハー１枚）ごとのレシピコストを単位処理量レシピコスト（単位処理量処理時コスト）と呼ぶ。
【００３６】
図１に示すように、半導体製造装置が製造処理を行っている場合には、レシピコストが発生し、半導体製造装置が製造処理を行っていない場合には、アイドルコストしか発生しない。
【００３７】
なお、一般に、処理量に応じて変動するコストは、ランニングコストと言われるが、本実施形態におけるレシピコストは、生産条件と処理量に応じて変動する点で、単なるランニングコストとは異なる。
【００３８】
本実施形態における生産管理システムは、ユーザーの要求に応じた集計を行って総コストをユーザーに提示する。なお、この要求には、生産条件（例えば、使用材料名、処理量等）を示す生産条件指定と、集計単位（例えば、工場単位、装置単位等）を示す集計単位指定が含まれる。
【００３９】
まず、生産管理システムは、ユーザーからの生産条件指定に応じて少なくとも１台の使用装置を選択し、当該使用装置の想定待機時間と、当該使用装置の単位時間アイドルコストに基づき、集計単位指定に応じた総アイドルコスト（総待機時コスト）を演算する。
【００４０】
また、生産管理システムは、生産条件指定に含まれる処理量と、生産条件指定に応じて選択した使用装置の単位処理量レシピコストに基づき、ユーザーからの集計単位指定に応じた総レシピコスト（総処理時コスト）を演算する。
【００４１】
そして、生産管理システムは、総アイドルコストに総レシピコストを加えた総コストを演算することにより、ユーザーの指定に応じた総コストをユーザーに提示する。
【００４２】
さらに、本実施の形態では、各種の演算に用いるデータベースとして、単位時間アイドルコスト、単位処理量レシピコストに対応したデータ構造を有するデータベースを採用している。
【００４３】
これにより、生産管理システムは、ユーザーの種々の要求に応じて効率的かつ正確に集計結果をユーザーに提示することができる。
【００４４】
次に、このような機能を実現するための生産管理システムの機能ブロックについて説明する。
【００４５】
図２は、本実施形態の一例に係る生産管理システム１の機能ブロック図である。
【００４６】
生産管理システム１は、ユーザーからの要求を入力する入力部２０と、種々のデータベースを記憶する記憶部４０と、データベースに基づき、入力部２０によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理部１０と、管理部１０によって演算された総コストを所定の形式でユーザーに提示する出力部３０とを含んで構成されている。
【００４７】
また、記憶部４０は、ユーザーによって指定された生産条件を示す生産計画データベース４１と、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベース４２と、単位処理量レシピコストと使用装置とが関連づけられたレシピコストデータベース（処理時コストデータベース）である生産処理データベース４３と、単位時間アイドルコストと使用装置とが関連づけられたアイドルコストデータベース（待機時コストデータベース）である生産装置データベース４４および付帯装置データベース４５と、単位量情報データベース４６等を記憶している。
【００４８】
ここで、生産計画データベース４１には、例えば、製品コード、ウエハーの生産枚数等が記憶されている。また、生産工程情報データベース４２には、例えば、製品コード、工程名、生産条件コード、生産装置コード等が記憶されている。また、生産処理データベース４３には、生産条件コード、生産装置コード、ウエハー１枚当たりの処理時間、使用材料名、使用用力名、使用材料量、使用用力量、処理依存メンテナンスコスト等が記憶されている。
【００４９】
なお、本実施の形態では、生産管理システム１を半導体製造装置の管理に適用しているため、使用装置として、半導体の製造に直接関わる生産装置（例えば、ウエハー洗浄装置等）と、半導体の製造には直接関わらず、生産装置を補助する目的で用いられる付帯装置（例えば、除害装置等）を用いている。このため、生産装置に関する情報を示すデータベースとして生産装置データベース４４が設けられ、付帯装置に関する情報を示すデータベースとして付帯装置データベース４５が設けられている。
【００５０】
より具体的には、生産装置データベース４４には、生産装置コード、１分当たりの使用電力量、１分当たりの償却費、１分当たりのメンテナンスコスト等が記憶されている。また、付帯装置データベース４５には、生産装置コード、１分当たりの使用電力量、１分当たりの償却費、１分当たりのメンテナンスコスト、接続する生産装置台数等が記憶されている。
【００５１】
また、単位量情報データベース４６には、材料単価情報、用力単価情報、エネルギー単価情報、エネルギー係数等が記憶されている。
【００５２】
なお、生産管理システム１は、例えば、１台のＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）に実装してもよいし、生産管理システム１の各部を複数のＰＣ等に分散して実装してもよい。例えば、ＰＣに実装する場合、管理部１０はＣＰＵ等、入力部２０はキーボード、バーコードリーダー、音声入力装置、タッチパネル等、出力部３０はビデオカード、液晶ディスプレイ、プリンター、プロジェクタ等、記憶部４０はＲＡＭ等を用いて実現できる。
【００５３】
さらに、管理部１０等としてコンピュータを機能させるためのプログラムを記憶した情報記憶媒体５０からプログラムを読み取って管理部１０等の機能をコンピュータに実現させてもよい。
【００５４】
このような情報記憶媒体５０としては、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を適用でき、そのプログラムの読み取り方式は接触方式であっても、非接触方式であってもよい。
【００５５】
また、情報記憶媒体５０に代えて、上述した各機能を実現するためのプログラム等を、伝送路を介してホスト装置等からダウンロードすることによって上述した管理部１０等の機能を実現することも可能である。
【００５６】
（処理の流れの説明）
次に、管理部１０等を用いた処理の流れについて説明する。
【００５７】
図３は、本実施形態の一例に係る生産管理処理の流れを示すフローチャートである。ここでは、工場の設計者が、新規に複数の生産装置と複数の付帯装置を用いて工場を設計する場合の生産管理処理の流れについて、データベース構築方法、データベース利用方法の順に説明する。
【００５８】
（データベース構築方法の説明）
工場の設計者は、データベースの利用に先立ってあらかじめ生産処理データベース４３、生産装置データベース４４、付帯装置データベース４５および単位量情報データベース４６を記憶部４０に構築しておく。
【００５９】
このため、工場の設計者は、入力部２０から単位量情報を入力する（ステップＳ１）。ここで、単位量情報としては、例えば、材料の単価、用力の単価、エネルギーの単価等を示す情報が該当する。
【００６０】
管理部１０は、単位量情報に基づいて単位量情報データベース４６を更新する。管理部１０は、単位量情報データベース４６を参照することにより、例えば、使用する材料の総使用量と、単位量情報データベース４６の当該材料の単価とに基づき、使用する材料の総コストを演算することができる。
【００６１】
また、工場の設計者は、入力部２０から生産装置情報を入力する（ステップＳ２）。図４は、本実施形態の一例に係る生産装置に関するデータ入力用画像の模式図である。なお、生産装置とは、生産対象物（本実施例では半導体のウエハー）を直接生産する装置のことである。具体的には、例えば、ウエハー洗浄装置、エッチング装置等が該当する。
【００６２】
生産装置に関するデータ入力用画像には種々の入力項目が設けられている。この項目としては、例えば、装置分類、装置ＩＤ、号機、生産装置のバージョン、装置分類、装置名称、装置メーカー、稼働率、付帯装置名称、付帯装置のバージョン、生産装置本体価格［￥］、付属品価格［￥］、アイドル時使用電力［ｋｗ］、アイドル時使用冷却水量［ｌ／ｍｉｎ］、時間指定メンテナンス項目、メンテナンス総作業時間、メンテナンス頻度、メンテナンス金額、時間指定品質確認レシピ名、品質確認枚数［枚］、品質確認時間［ｈ］、品質確認金額［￥／回］、品質確認エネルギー［ｋｗｈ／回］、時間指定品質管理項目、品質確認頻度［回／日］等が該当する。
【００６３】
管理部１０は、生産装置情報に基づいて生産処理データベース４３および生産装置データベース４４を更新する。
【００６４】
さらに、工場の設計者は、入力部２０から付帯装置情報を入力する（ステップＳ３）。図５は、本実施形態の一例に係る付帯装置に関するデータ入力用画像の模式図である。なお、付帯装置とは、生産対象物を直接生産するものではなく、生産装置を補助する装置のことである。具体的には、例えば、生産装置からの排出物を無害化する除害装置等が該当する。
【００６５】
付帯装置に関するデータ入力用画像には種々の入力項目が設けられている。この項目としては、例えば、付帯装置名称、号機、バージョン、付帯装置分類、上位接続台数、付帯装置価格［￥］、付帯装置アイドル時使用電力［ｋｗ］、付帯装置アイドル時冷却水使用量［ｌ／ｍｉｎ］、時間指定メンテナンス項目、メンテナンス総作業時間、メンテナンス頻度［回／月］、メンテナンス金額、時間指定品質確認レシピ名、品質確認枚数［枚］、品質確認時間［ｈ］、品質確認金額［￥／回］、品質確認エネルギー［ｋｗｈ／回］、時間指定品質管理項目、品質確認頻度［日毎］等が該当する。なお、ここで、「枚」とは、ウエハー１枚のことであり、図面においては「ｗｆ」とも記載している。
【００６６】
また、管理部１０は、付帯装置情報に基づいて付帯装置データベース４５を更新する。
【００６７】
そして、工場の設計者は、入力部２０から生産処理情報を入力する（ステップＳ４）。図６は、本実施形態の一例に係る生産処理に関するデータ入力用画像の模式図である。
【００６８】
また、生産処理に関する項目としては、例えば、棟名、装置ＩＤ、号機、バージョン、レシピ名、ＲＰＴ（Ｒａｗ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　Ｔｉｍｅ）［分］、ＰＩＴ（Ｐａｒｔ　Ｉｎｔｅｒｖａｌ　Ｔｉｍｅ）［分］、ロットサイズ［枚／ロット］、バッチサイズ［ロット／バッチ］、生産装置使用電力量［ｋｗ／分］、生産装置使用冷却水量［ｌ／分］、付帯装置使用電力量［ｋｗ／分］、付帯装置使用冷却水量［ｌ／分］、材料名、材料使用量［ｃｃ／枚］、枚数指定メンテナンス項目、総メンテナンス作業時間［ｈ］、メンテナンス頻度［回／月］、メンテナンス金額［円／回］、枚数指定品質確認レシピ名、品質確認枚数［枚］、品質確認時間［ｈ］、品質確認金額［円／回］、品質確認使用エネルギー［ｋｗｈ／回］、枚数指定品質管理項目、品質管理頻度［回／枚］、使用レシピ名、使用枚数［枚］等が該当する。
【００６９】
ここで、ＲＰＴとＰＩＴについて説明する。
【００７０】
図７は、本実施形態の一例に係るＲＰＴとＰＩＴの概念を示す模式図である。
【００７１】
ＲＰＴとは、ウエハー１枚当たりの処理開始から処理終了までの時間のことである。また、ＰＩＴとは、ウエハーを投入してから次のウエハーを投入するまでの時間間隔のことである。
【００７２】
管理部１０は、ＲＰＴ、ＰＩＴ、１ロット当たりのウエハー枚数を示すロットサイズ、１処理当たりのロット数を示すバッチサイズをレシピ情報として生産処理データベース４３に記憶しておくことにより、複数の処理を直線的に行う場合だけでなく、複数の処理を並列して行う場合にもコストを正確に演算することができる上、ＲＰＴ等の生産条件が変更された場合であっても、容易に再演算を行うことができる。
【００７３】
管理部１０は、ユーザーによって入力された生産処理情報に基づいて生産処理データベース４３を更新する。
【００７４】
そして、工場の設計者は、入力部２０から生産工程情報を入力する（ステップＳ５）。図８は、本実施形態の一例に係る生産工程に関するデータ入力用画像の模式図である。
【００７５】
管理部１０は、生産工程情報に基づいて生産工程データベース４２を更新する。
【００７６】
そして、工場の設計者は、入力部２０から生産計画情報を入力する（ステップＳ６）。
【００７７】
生産計画情報の項目としては、例えば、製品タイプ名１、製品タイプ名１のバージョン、製品タイプ名２、製品タイプ名２のバージョン、工順、工程名１、工程名２、装置ＩＤ、使用レシピ名、使用レシピ名のバージョン等が該当する。
【００７８】
管理部１０は、生産計画情報に基づいて生産計画データベース４１を更新する。
【００７９】
以上の処理により、工場の設計者は、生産処理データベース４３、生産装置データベース４４、付帯装置データベース４５、単位量情報データベース４６等を記憶部４０に構築することができる。
【００８０】
ここで、より具体的にレシピコストデータベースとアイドルコストデータベースの構築方法について説明する。
【００８１】
上述したように、レシピコストデータベース、すなわち、生産処理データベース４３のコストは、単位処理量レシピコストに対応したデータ構造を有している。
【００８２】
具体的には、単位処理量レシピコスト［円／枚］＝１枚当たりの用力コスト＋１枚当たりの材料コスト＋１枚当たりの処理量依存メンテナンスコスト＋１枚当たりの処理量依存品質確認コストである。
【００８３】
ここで、１枚当たりの用力コスト＝用力使用量×用力単価×処理時間である。この用力使用量および処理時間は、図６に示す生産処理情報の入力（ステップＳ４）で入力されている。また、用力単価は、単位量情報の入力（ステップＳ１）で入力されている。したがって、管理部１０は、これらの情報に基づいて１枚当たりの用力コストを演算することができる。
【００８４】
また、１枚当たりの材料コスト＝材料使用量×材料単価である。この材料使用量は、図６に示す生産処理情報の入力（ステップＳ４）で入力されている。また、材料単価は、単位量情報の入力（ステップＳ１）で入力されている。したがって、管理部１０は、これらの情報に基づいて１枚当たりの材料コストを演算することができる。
【００８５】
また、１枚当たりの処理量依存メンテナンスコスト＝処理量依存メンテナンスコスト／メンテナンス頻度［枚］であり、１枚当たりの処理量依存品質確認コスト＝処理量依存品質確認コスト／品質確認頻度［枚］である。処理量依存メンテナンスコスト、メンテナンス頻度、処理量依存品質確認コスト、品質確認頻度についても図６に示す生産処理情報の入力（ステップＳ４）で入力されている。したがって、管理部１０は、これらの情報に基づいて１枚当たりの処理量依存メンテナンスコストと１枚当たりの処理量依存品質確認コストを演算することができる。
【００８６】
以上の手順により、管理部１０は、装置ごとに単位処理量レシピコストを演算し、生産処理データベース４３の一部として記憶しておくことができる。
【００８７】
また、上述したように、アイドルコストデータベース、すなわち、生産装置データベース４４および付帯装置データベース４５のコストは、単位時間アイドルコストに対応したデータ構造を有している。
【００８８】
具体的には、単位時間アイドルコスト［円／分］＝待機時間における１分当たり用力コスト＋待機時間における１分当たり償却費＋待機時間における１分当たりの時間依存メンテナンスコスト＋待機時間における１分当たりの時間依存品質確認コストである。
【００８９】
ここで、待機時間における１分当たり用力コスト＝待機中の用力コスト／待機時間である。この待機中の用力コストは、図６に示す生産装置情報の入力（ステップＳ２）で入力されている。また、待機時間は、生産装置情報の入力の稼働率から求めることができる。したがって、管理部１０は、これらの情報に基づいて待機時間における１分当たり用力コストを演算することができる。
【００９０】
また、待機時間における１分当たり償却費＝償却費／待機時間である。償却費については、生産装置情報の入力（ステップＳ２）で入力された本体装置価格等から求めることができる。また、待機時間は、生産装置情報の入力の稼働率から求めることができる。したがって、管理部１０は、これらの情報に基づいて待機時間における１分当たり償却費を演算することができる。
【００９１】
また、待機時間における１分当たりの時間依存メンテナンスコスト＝時間依存メンテナンスコスト／待機時間であり、待機時間における１分当たりの時間依存品質確認コスト＝時間依存品質確認コスト／待機時間である。この時間依存メンテナンスコストや時間依存品質確認コストは、図４に示す生産装置情報の入力（ステップＳ２）で入力されている。したがって、管理部１０は、これらの情報に基づいて待機時間における１分当たりの時間依存メンテナンスコストと待機時間における１分当たりの時間依存品質確認コストを演算することができる。
【００９２】
また、管理部１０は、付帯装置に関するコストについても同様の手順で単位時間アイドルコストを演算することができる。
【００９３】
以上の手順により、管理部１０は、装置ごとに単位時間アイドルコストを演算し、生産装置データベース４４または付帯装置データベース４５の一部として記憶しておくことができる。
【００９４】
このように、生産管理システム１は、単位処理量レシピコストに対応したデータ構造を有する生産処理データベース４３、単位時間アイドルコストに対応したデータ構造を有する生産装置データベース４４、付帯装置データベース４５を構築しておくことにより、データベースを効率的に利用し、ユーザーの要求に応じて効率的かつ正確にデータを出力することができる。
【００９５】
（データベース利用方法の説明）
次に、データベース利用方法について説明する。まず、工場の設計者は、入力部２０から要求を入力する（ステップＳ７）。
【００９６】
この要求には、生産条件の指定を示す生産条件指定と、生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定が含まれる。
【００９７】
管理部１０は、当該要求に応じて演算を行う（ステップＳ８）。
【００９８】
より具体的には、管理部１０は、生産条件指定に適合した生産装置と付帯装置を選択し、これらの使用装置の想定待機時間と当該想定待機時間に応じたアイドルコストを演算し、当該アイドルコストに基づき、集計単位指定に応じた総アイドルコストを演算する。なお、想定待機時間については、使用装置の稼働率から求めることができる。
【００９９】
また、管理部１０は、生産条件指定に含まれる処理量の指定に基づき、生産条件指定に応じて選択した生産装置のレシピコストを演算し、当該レシピコストに基づき、集計単位指定に応じた総レシピコストを演算する。
【０１００】
さらに、管理部１０は、総アイドルコストに総レシピコストを加算して総コストを演算する。
【０１０１】
また、出力部３０は、設計者の要求に応じて出力を行う（ステップＳ９）。
【０１０２】
本実施形態では、総合コスト集計、装置稼働時間集計、装置コスト集計、装置ごとのコスト集計等を実行可能なように管理部１０を構成している。以下、これらの集計結果を示す画像について説明する。
【０１０３】
ユーザーは、出力部３０によって表示されたメイン画像において、総合コスト集計、装置稼働時間集計、装置コスト集計、装置ごとのコスト集計等を指定して集計結果を確認することができる。
【０１０４】
ユーザーが総合コスト集計を要求した場合、出力部３０は、総合コスト集計結果を示す画像を表示する。
【０１０５】
図９は、本実施形態の一例に係る総合コスト集計結果を示す画像の模式図である。
【０１０６】
総合コスト集計結果を示す画像では、装置が配置される棟名、装置ＩＤ、１枚当たりの平均単価、月当たりのアイドルコスト、ウエハー１枚当たりの装置ごとのレシピコスト、ウエハー１枚当たりの装置ごとのレシピコスト等が提示される。
【０１０７】
また、図９に示すように、総合コスト集計結果を示す画像では、ウエハー１枚当たりの装置ごとのレシピコスト、ウエハー１枚当たりの装置ごとのレシピコストとが、製品タイプごと、バージョンごとに並べて提示される。
【０１０８】
これにより、ユーザーは、製品タイプごとにコストを比較したり、バージョンごとにコストを比較することができる。
【０１０９】
このように、生産工程情報データベース４２、生産処理データベース４３、生産装置データベース４４および付帯装置データベース４５内のデータを製品タイプやバージョンと関連づけて構成することにより、管理部１０は、ユーザーの要求に応じて製品タイプ、バージョンごとの演算を効率的に行うことができる。
【０１１０】
また、ユーザーが装置稼働時間集計を要求した場合、出力部３０は、装置稼働時間集計結果を示す画像を表示する。
【０１１１】
図１０は、本実施形態の一例に係る装置稼働時間集計結果を示す画像の模式図である。
【０１１２】
装置稼働時間集計結果を示す画像では、装置が配置される棟名、装置ＩＤ、装置の稼働率、現在有している装置の台数、負荷台数、過不足、装置１台当たりの生産処理時間、生産処理時間の占有率、装置１台当たりのアイドル時間、アイドル時間の占有率、装置１台当たりの何時間ごとにメンテナンスを行えばよいかを示す時間指定メンテナンス時間、装置１台当たりのウエハー何枚ごとにメンテナンスを行えばよいかを示す枚数指定メンテナンス時間等が提示される。
【０１１３】
これにより、ユーザーは、装置が適切に稼働しているか、装置の過不足はないか確認することができる。
【０１１４】
また、ユーザーが装置コスト集計を要求した場合、出力部３０は、装置コスト集計結果を示す画像を表示する。
【０１１５】
図１１は、本実施形態の一例に係る装置コスト集計結果を示す画像の模式図である。
【０１１６】
装置コスト集計結果を示す画像では、装置が配置される棟名、装置ＩＤ、装置の稼働率、現在有している装置の台数、負荷台数、過不足、装置１台当たりの種々の月当たりのコスト（イニシャルコスト、用力コスト、材料コスト、メンテナンスコスト、品質確認コスト、これらのコストを合計した総処理コスト、アイドルコスト、総処理コストとアイドルコストを合計した総コスト）、これらの種々のコストを全装置集計した集計値等が提示される。
【０１１７】
これにより、ユーザーは、どの装置のどの項目にどれぐらいの費用がかかっているかを確認することができる。
【０１１８】
また、ユーザーが工程ごとのコスト集計を要求した場合、出力部３０は、工程ごとのコスト集計結果を示す画像を表示する。
【０１１９】
図１２は、本実施形態の一例に係る工程ごとのコスト集計結果を示す画像の模式図である。
【０１２０】
装置コスト集計結果を示す画像では、工程順序、大分類での工程名を示す工程名１、工程名１のより詳細な工程名を示す工程名２、レシピ名（生産条件名）、当該レシピのバージョン、レシピまたはバージョンごとの種々のコスト（イニシャルコスト、用力コスト、材料コスト、消耗品保守コスト、品質確認コストおよびこれらのコストの集計値）等が提示される。
【０１２１】
これにより、ユーザーは、レシピごとおよびバージョンごとのコストの比較をすることができる。
【０１２２】
また、生産管理システム１は、工程ごとだけではなく、装置ごとのコストを提示することも可能である。
【０１２３】
図１３は、本実施形態の一例に係る装置ごとのコスト集計結果を示す画像の模式図である。
【０１２４】
図１３に示すように、装置ごとのコスト集計結果を示す画像では、ユーザーが選択した装置に関し、基礎データ、イニシャルデータ、待機時および処理時の用力使用量と金額、レシピコストおよびアイドルコストの項目ごとのコストと総コスト、消耗品等のコストが提示される。
【０１２５】
これにより、ユーザーは、自分が選択した装置において、レシピコストやアイドルコスト等の各項目に関してどれぐらいのコストが発生しているか確認することができる。
【０１２６】
図１４は、本実施形態の一例に係る装置ごとのコスト集計結果の一覧を示す画像の模式図である。
【０１２７】
図１４に示すように、装置ごとのコスト集計結果の一覧を示す画像では、装置ＩＤ、生産条件（レシピ名およびバージョン）、レシピコスト、レシピコストの内訳（イニシャルコスト、用力コスト、材料コスト、消耗品保守コストおよび品質確認コスト）、アイドルコスト、アイドルコストの内訳（イニシャルコスト、用力コスト、材料コスト、消耗品保守コストおよび品質確認コスト）が提示される。
【０１２８】
これにより、ユーザーは、一覧表示された画像を見ることにより、生産条件ごとの各装置のレシピコストおよびアイドルコストを確認することができる。
【０１２９】
以上のように、本実施形態によれば、稼働時間当たりのコストを示すアイドルコストと使用装置とを関連づけて生産装置データベース４４および付帯装置データベース４５を構成し、ウエハー１枚当たりのコストを示すレシピコストと使用装置とを関連づけて生産処理データベース４３を構成し、生産条件と生産工程と使用装置とを関連づけて生産工程情報データベース４２を構成することにより、生産管理システム１は、装置単位、生産ライン単位、工程単位、製品単位、工場単位等の所定の処理単位ごとのコストを、より効率的かつより正確に算出できる。
【０１３０】
また、本実施形態によれば、生産工程情報データベース４２、生産処理データベース４３、生産装置データベース４４および付帯装置データベース４５内のデータを製品タイプやバージョンと関連づけて構成することにより、管理部１０は、ユーザーの要求に応じて製品タイプ、バージョンごとの演算を効率的に行うことができる。
【０１３１】
特に、本実施形態によれば、装置単位だけではなく、工程単位のデータを生産工程情報データベース４２に設けておくことにより、管理部１０は、ユーザーの要求に応じて工程ごとのコスト等の演算を効率的に行うことができる。
【０１３２】
また、これにより、管理部１０は、ユーザーから工程順序の入れ替えの要求があった場合でも、要求に応じて工程順序を入れ替えた場合のコスト等の演算を効率的に行うことができる。
【０１３３】
さらに、本実施形態によれば、生産工程の規模に応じた集計が行えるため、ユーザーは、例えば、工場単位、製品単位、装置単位等の任意の規模でコストのシミュレーションを行うことができる。
【０１３４】
したがって、ユーザーは、新規に工場の設計を行うような場合、生産管理システム１を用いることにより、種々のバージョンや種々の装置を適用する場合であっても、短時間で効率的に工場の設計を行うことができる。
【０１３５】
（変形例）
以上、本発明を適用した好適な実施の形態について説明してきたが、本発明の適用は上述した実施例に限定されない。
【０１３６】
例えば、上述した実施例では、出力部３０は、バージョンごとのコストを表形式で提示したが、例えば、グラフ形式で提示してもよい。
【０１３７】
また、上述した実施例では、処理時のコストをレシピコストとし、待機時のコストをアイドルコストとして説明したが、例えば、処理量に応じて変動する部分のみをレシピコストとし、処理量に応じて変動しない部分（例えば、減価償却費等）をアイドルコストとして上述した演算を行ってもよい。
【０１３８】
また、生産管理システム１は、上述した画像において、種々の項目をキーとして並べ替えたり、データのファイル入出力を行ったりしてもよい。
【０１３９】
さらに、上述した実施例では、生産管理システム１は、コストを演算したが、例えば、生産処理に必要となるエネルギー等を演算してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の一例に係るレシピコストとアイドルコストの概念を示す模式図である。
【図２】本実施形態の一例に係る生産管理システムの機能ブロック図である。
【図３】本実施形態の一例に係る生産管理処理の流れを示すフローチャートである。
【図４】本実施形態の一例に係る生産装置に関するデータ入力用画像の模式図である。
【図５】本実施形態の一例に係る付帯装置に関するデータ入力用画像の模式図である。
【図６】本実施形態の一例に係る生産処理に関するデータ入力用画像の模式図である。
【図７】本実施形態の一例に係るＲＰＴとＰＩＴの概念を示す模式図である。
【図８】本実施形態の一例に係る生産工程に関するデータ入力用画像の模式図である。
【図９】本実施形態の一例に係る総合コスト集計結果を示す画像の模式図である。
【図１０】本実施形態の一例に係る装置稼働時間集計結果を示す画像の模式図である。
【図１１】本実施形態の一例に係る装置コスト集計結果を示す画像の模式図である。
【図１２】本実施形態の一例に係る工程ごとのコスト集計結果を示す画像の模式図である。
【図１３】本実施形態の一例に係る装置ごとのコスト集計結果を示す画像の模式図である。
【図１４】本実施形態の一例に係る装置ごとのコスト集計結果の一覧を示す画像の模式図である。
【符号の説明】
１　生産管理システム、１０　管理部、２０　入力部、３０　出力部、４１　生産計画データベース、４２　生産工程情報データベース、４３　生産処理データベース（処理時コストデータベース）、４４　生産装置データベース（待機時コストデータベース）、４５　付帯装置データベース（待機時コストデータベース）、４６　単位量情報データベース、５０　情報記憶媒体

Claims

ユーザーからの要求を入力する入力手段と、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、生産条件と処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理手段と、
当該管理手段によって演算された総コストを所定の形式でユーザーに提示する出力手段と、
を含み、
前記要求は、前記生産条件の指定を示す生産条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含み、
前記管理手段は、
前記生産条件指定に応じて少なくとも１台の使用装置を選択し、当該使用装置の想定待機時間と、当該使用装置の単位時間待機時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総待機時コストを演算し、
前記生産条件指定に含まれる処理量の指定と、前記生産条件指定に応じて選択した使用装置の単位処理量処理時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総処理時コストを演算し、
前記総待機時コストと、前記総処理時コストとに基づき、総コストを演算することを特徴とする生産管理システム。
請求項１において、
前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうち少なくとも１つは、バージョンと関連づけられ、
前記生産条件指定は、バージョンの指定を含み、
前記管理手段は、前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうちの少なくとも１つに基づき、前記バージョンの指定に応じた総コストを演算することを特徴とする生産管理システム。
請求項２において、
前記生産条件指定は、複数のバージョンの指定を含み、
前記管理手段は、バージョンごとに総コストを演算し、
前記出力手段は、バージョンごとの総コストの相違を示す形式で総コストをユーザーに提示することを特徴とする生産管理システム。
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記管理手段は、前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとに演算し、
前記出力手段は、前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとにユーザーに提示することを特徴とする生産管理システム。
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記使用装置は、半導体の製造装置を含み、
前記集計単位は、半導体製造工場単位、半導体製造工程単位、半導体製造ライン単位のいずれかであって、
前記管理手段は、前記要求に応じて半導体製造に関するコストを演算し、
前記出力手段は、半導体製造に関するコストをユーザーに提示することを特徴とする生産管理システム。
請求項１〜５のいずれかにおいて、
前記入力手段は、使用装置の待機時の経過時間に応じて変動するコストおよび使用装置の処理量に応じて変動するコストの少なくとも一方を入力し、
前記管理手段は、前記入力手段によって入力されたコストに関する情報に基づき、
前記時間単位ごとのコストに変換して待機時コストデータベースに入力する処理および前記処理単位ごとのコストに変換して処理時コストデータベースに入力する処理の少なくとも一方の処理を行うことを特徴とする生産管理システム。
コンピュータにより読み取り可能なプログラムであって、
コンピュータを、
ユーザーからの要求を入力する入力手段と、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、生産条件と処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理手段と、
当該管理手段によって演算された総コストを所定の形式でユーザーに提示する出力手段として機能させ、
前記要求は、前記生産条件の指定を示す生産条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含み、
前記管理手段は、
前記生産条件指定に応じて少なくとも１台の使用装置を選択し、当該使用装置の想定待機時間と、当該使用装置の単位時間待機時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総待機時コストを演算し、
前記生産条件指定に含まれる処理量の指定と、前記生産条件指定に応じて選択した使用装置の単位処理量処理時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総処理時コストを演算し、
前記総待機時コストと、前記総処理時コストとに基づき、総コストを演算することを特徴とするプログラム。
コンピュータにより読み取り可能なプログラムを記憶した情報記憶媒体であって、
コンピュータを、
ユーザーからの要求を入力する入力手段と、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、生産条件と処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された要求に応じた総コストを演算する管理手段と、
当該管理手段によって演算された総コストを所定の形式でユーザーに提示する出力手段として機能させるためのプログラムを記憶し、
前記要求は、前記生産条件の指定を示す生産条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含み、
前記管理手段は、
前記生産条件指定に応じて少なくとも１台の使用装置を選択し、当該使用装置の想定待機時間と、当該使用装置の単位時間待機時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総待機時コストを演算し、
前記生産条件指定に含まれる処理量の指定と、前記生産条件指定に応じて選択した使用装置の単位処理量処理時コストとに基づき、前記集計単位指定に応じた総処理時コストを演算し、
前記総待機時コストと、前記総処理時コストとに基づき、総コストを演算することを特徴とする情報記憶媒体。
ユーザーからの前記生産条件の指定を示す条件指定と、前記生産工程の規模に応じた集計単位の指定を示す集計単位指定とを含む要求を入力し、
経過時間に応じて変動する所定の時間単位ごとの待機時コストを示す単位時間待機時コストと使用装置とが関連づけられた待機時コストデータベースと、処理量に応じて変動する所定の処理単位ごとの処理時コストを示す単位処理量処理時コストと使用装置とが関連づけられた処理時コストデータベースと、生産条件と生産工程と生産工程順序と使用装置とが関連づけられた生産工程情報データベースとに基づき、前記入力手段によって入力された前記条件指定と、前記集計単位指定とに応じたコストを演算し、
演算したコストを所定の形式でユーザーに提示することを特徴とする生産管理方法。
請求項９において、
前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうち少なくとも１つは、バージョンと関連づけられ、
前記生産条件指定は、バージョンの指定を含み、
前記待機時コストデータベース、前記処理時コストデータベースおよび前記生産工程情報データベースのうちの少なくとも１つに基づき、前記バージョンの指定に応じた総コストを演算することを特徴とする生産管理方法。
請求項１０において、
前記生産条件指定は、複数のバージョンの指定を含み、
バージョンごとに総コストを演算し、
バージョンごとの総コストの相違を示す形式で総コストをユーザーに提示することを特徴とする生産管理方法。
請求項９〜１１のいずれかにおいて、
前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとに演算し、前記処理単位当たりのコストまたは総コストを異なる生産工程ごとにユーザーに提示することを特徴とする生産管理方法。
請求項９〜１２のいずれかにおいて、
前記使用装置は、半導体の製造装置を含み、
前記集計単位は、半導体製造工場単位、半導体製造工程単位、半導体製造ライン単位のいずれかであって、
前記要求に応じて半導体製造に関するコストを演算し、
半導体製造に関するコストをユーザーに提示することを特徴とする生産管理方法。
請求項９〜１３のいずれかにおいて、
使用装置の待機時の経過時間に応じて変動するコストおよび使用装置の処理量に応じて変動するコストの少なくとも一方を入力し、
入力したコストに関する情報に基づき、
前記時間単位ごとのコストに変換して待機時コストデータベースに入力する処理および前記処理単位ごとのコストに変換して処理時コストデータベースに入力する処理の少なくとも一方の処理を行うことを特徴とする生産管理方法。