JPH06168690A - 試料像表示方法 - Google Patents
試料像表示方法Info
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- JPH06168690A JPH06168690A JP4318085A JP31808592A JPH06168690A JP H06168690 A JPH06168690 A JP H06168690A JP 4318085 A JP4318085 A JP 4318085A JP 31808592 A JP31808592 A JP 31808592A JP H06168690 A JPH06168690 A JP H06168690A
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- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 18
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 オペレータの負荷を軽くし、操作性を向上さ
せた試料像表示方法を得る。 【構成】 試料像をフレームメモリに取り込む際、あら
かじめ設定されたフレーム加算枚数まで加算平均しなが
ら取り込み、その加算結果をリアルタイムで画像表示す
る試料像表示方法に於いて、所定時間の間、試料像の画
像情報の変化が起きる操作が成されなかった時には（ス
テップ２４）、自動的に加算平均枚数を所定の加算枚数
に増加させる（ステップ２５）試料像表示方法である。
せた試料像表示方法を得る。 【構成】 試料像をフレームメモリに取り込む際、あら
かじめ設定されたフレーム加算枚数まで加算平均しなが
ら取り込み、その加算結果をリアルタイムで画像表示す
る試料像表示方法に於いて、所定時間の間、試料像の画
像情報の変化が起きる操作が成されなかった時には（ス
テップ２４）、自動的に加算平均枚数を所定の加算枚数
に増加させる（ステップ２５）試料像表示方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡などのスロ
ースキャン画像情報を扱う装置に用いるに好適な試料像
表示方法に関するものである。
ースキャン画像情報を扱う装置に用いるに好適な試料像
表示方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の試料像表示方法を備えた装置の構
成を図２に示す。電子顕微鏡１の試料室２内には、ステ
ージ３および２次電子検出器４が載置されており、試料
５は、ステージ３の上に装着されている。試料５の電子
顕微鏡画像情報は、試料から発生する２次電子を２次電
子検出器４が収集し、画像信号増幅器６を経由して、画
像処理装置７に供給される。
成を図２に示す。電子顕微鏡１の試料室２内には、ステ
ージ３および２次電子検出器４が載置されており、試料
５は、ステージ３の上に装着されている。試料５の電子
顕微鏡画像情報は、試料から発生する２次電子を２次電
子検出器４が収集し、画像信号増幅器６を経由して、画
像処理装置７に供給される。
【０００３】電子顕微鏡１の電子光学系制御回路８およ
びステージ制御回路９は、ホストＣＰＵ１０の統轄制御
下にあり、オペレータは、ホストＣＰＵ１０から電子顕
微鏡１を操作できる。画像信号処理装置７に送られた画
像情報は、電子光学系制御回路８から画像処理装置７に
同時に送られる画像アドレス情報と同期してデジタル変
換され、フレームメモリ１１に格納される。その際、フ
レームメモリ１１に格納される画像データには、あらか
じめホストＣＰＵ１０から設定された加算枚数値に基づ
いて、リアルタイムで加算平均処理が実行される。フレ
ームメモリ１１内に格納された画像データは、画像デー
タ格納動作とは非同期の充分に早い周期でアナログ変換
され、ＣＲＴ１２に常時出力され試料像が表示される。
びステージ制御回路９は、ホストＣＰＵ１０の統轄制御
下にあり、オペレータは、ホストＣＰＵ１０から電子顕
微鏡１を操作できる。画像信号処理装置７に送られた画
像情報は、電子光学系制御回路８から画像処理装置７に
同時に送られる画像アドレス情報と同期してデジタル変
換され、フレームメモリ１１に格納される。その際、フ
レームメモリ１１に格納される画像データには、あらか
じめホストＣＰＵ１０から設定された加算枚数値に基づ
いて、リアルタイムで加算平均処理が実行される。フレ
ームメモリ１１内に格納された画像データは、画像デー
タ格納動作とは非同期の充分に早い周期でアナログ変換
され、ＣＲＴ１２に常時出力され試料像が表示される。
【０００４】例えば、試料像取込み再開の指令が、加算
枚数Ｎ枚という条件でホストＣＰＵ１０から画像処理装
置７に伝達されると、画像処理装置７は、まず１枚の画
像をそのままフレームメモリ１１に格納し、２枚目の画
像データ格納の際には、１枚目の画像との加算平均値で
書換えていく。３枚目の画像データ格納の際には、３枚
の画像データが各々、１／３の重みを持つように、フレ
ームメモリ１１の画像データを書換えて行く。以後、Ｎ
枚目の画像データを１／Ｎの重みで加算する動作がフレ
ームのエンドまで到達すると、結果としてそこまでのＮ
枚の画像の加算平均画像が表示されることになる。（Ｎ
＋１）枚目以降の画像データは、常に１／Ｎの重み付け
でフレームメモリ１１に格納されていき、試料像表示
は、常に新しい画像情報を、１／Ｎの重み付けで加えて
いくようになる。
枚数Ｎ枚という条件でホストＣＰＵ１０から画像処理装
置７に伝達されると、画像処理装置７は、まず１枚の画
像をそのままフレームメモリ１１に格納し、２枚目の画
像データ格納の際には、１枚目の画像との加算平均値で
書換えていく。３枚目の画像データ格納の際には、３枚
の画像データが各々、１／３の重みを持つように、フレ
ームメモリ１１の画像データを書換えて行く。以後、Ｎ
枚目の画像データを１／Ｎの重みで加算する動作がフレ
ームのエンドまで到達すると、結果としてそこまでのＮ
枚の画像の加算平均画像が表示されることになる。（Ｎ
＋１）枚目以降の画像データは、常に１／Ｎの重み付け
でフレームメモリ１１に格納されていき、試料像表示
は、常に新しい画像情報を、１／Ｎの重み付けで加えて
いくようになる。
【０００５】従来のこの種装置におけるホストＣＰＵ１
０の動作フローチャートの一例を図３に示す。オペレー
タが例えば加算枚数２枚で画像の取込み表示をホストＣ
ＰＵ１０に支持すると（ステップ３０）、ホストＣＰＵ
１０は画像処理装置７にその旨の指示を出す（ステップ
３１）。次にオペレータがホストＣＰＵ１０に画像の移
動を指示すると（ステップ３２）、ホストＣＰＵ１０は
ステージ制御回路９に同様の指示を出す（ステップ３
３）。オペレータがステージ移動が完了した事を確認し
た後、もっとＳ／Ｎの良い画像を得ようとするために
は、例えば加算枚数を３２枚に指示する必要がある。オ
ペレータが加算枚数３２枚をホストＣＰＵ１０に指示す
ると（ステップ３５）、ホストＣＰＵ１０から画像処理
装置７へ加算枚数３２の画像取込みの指示を行なう（ス
テップ３５）。
０の動作フローチャートの一例を図３に示す。オペレー
タが例えば加算枚数２枚で画像の取込み表示をホストＣ
ＰＵ１０に支持すると（ステップ３０）、ホストＣＰＵ
１０は画像処理装置７にその旨の指示を出す（ステップ
３１）。次にオペレータがホストＣＰＵ１０に画像の移
動を指示すると（ステップ３２）、ホストＣＰＵ１０は
ステージ制御回路９に同様の指示を出す（ステップ３
３）。オペレータがステージ移動が完了した事を確認し
た後、もっとＳ／Ｎの良い画像を得ようとするために
は、例えば加算枚数を３２枚に指示する必要がある。オ
ペレータが加算枚数３２枚をホストＣＰＵ１０に指示す
ると（ステップ３５）、ホストＣＰＵ１０から画像処理
装置７へ加算枚数３２の画像取込みの指示を行なう（ス
テップ３５）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き、従来の技
術に於いては、以下に述べるような問題点があった。例
えば、頻繁に画像移動を行なっている時など、画像の変
化を早く知りたい時は、加算枚数を１枚程度の少ない数
にしておく必要があり（例えば、図３のステップ３
０）、画像の状態を固定した後に、よりＳ／Ｎの良い試
料像観察を行ないたい場合には、あらためて加算枚数を
増やして画像の再取込みの指令を出す操作をする必要が
あった（例えば、図３のステップ３４）。
術に於いては、以下に述べるような問題点があった。例
えば、頻繁に画像移動を行なっている時など、画像の変
化を早く知りたい時は、加算枚数を１枚程度の少ない数
にしておく必要があり（例えば、図３のステップ３
０）、画像の状態を固定した後に、よりＳ／Ｎの良い試
料像観察を行ないたい場合には、あらためて加算枚数を
増やして画像の再取込みの指令を出す操作をする必要が
あった（例えば、図３のステップ３４）。
【０００７】本発明はこの様な問題点に鑑みてなされた
もので、上記のような操作において、オペレータの負荷
を軽くし、操作性を向上させる事を目的とする。
もので、上記のような操作において、オペレータの負荷
を軽くし、操作性を向上させる事を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的の為に本発明で
は、一定時間の間、試料像の画像情報の変化が起きる操
作がオペレータより成されなかった時には、自動的に加
算平均枚数を多く設定するようにした。
は、一定時間の間、試料像の画像情報の変化が起きる操
作がオペレータより成されなかった時には、自動的に加
算平均枚数を多く設定するようにした。
【０００９】
【作用】本発明によれば、オペレータが、加算枚数の少
ない状態で試料像の調整を行なった後、しばらくの間何
もしないと、自動的に加算枚数を増やしていくので、オ
ペレータは何も操作しないで良好なＳ／Ｎの試料像を観
察することができる。
ない状態で試料像の調整を行なった後、しばらくの間何
もしないと、自動的に加算枚数を増やしていくので、オ
ペレータは何も操作しないで良好なＳ／Ｎの試料像を観
察することができる。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例が適用される装置の構成は図
２と同等であって、電子顕微鏡１の試料室２内には、ス
テージ３および２次電子検出器４が載置されており、試
料５は、ステージ３の上に装着されている。試料５の電
子顕微鏡画像情報は、試料から発生する２次電子を２次
電子検出器４が収集し、画像信号増幅器６を経由して、
画像処理装置７に供給される。
２と同等であって、電子顕微鏡１の試料室２内には、ス
テージ３および２次電子検出器４が載置されており、試
料５は、ステージ３の上に装着されている。試料５の電
子顕微鏡画像情報は、試料から発生する２次電子を２次
電子検出器４が収集し、画像信号増幅器６を経由して、
画像処理装置７に供給される。
【００１１】電子顕微鏡１の電子光学系制御回路８およ
びステージ制御回路９は、ホストＣＰＵ１０の統轄制御
下にあり、オペレータは、ホストＣＰＵ１０から電子顕
微鏡１を操作できる。画像処理装置７に送られた画像情
報は、電子光学系制御回路８から画像処理装置７に同時
に送られる画像アドレス情報と同期してデジタル変換さ
れ、フレームメモリ１１に格納される。その際、フレー
ムメモリ１１に格納される画像データには、あらかじめ
ホストＣＰＵ１０から設定された加算枚数値に基づい
て、リアルタイムで加算平均処理が実行される。フレー
ムメモリ１１内に格納された画像データは、画像データ
格納動作とは非同期の充分に早い周期でアナログ変換さ
れ、ＣＲＴ１２に常時出力され試料像が表示される。
びステージ制御回路９は、ホストＣＰＵ１０の統轄制御
下にあり、オペレータは、ホストＣＰＵ１０から電子顕
微鏡１を操作できる。画像処理装置７に送られた画像情
報は、電子光学系制御回路８から画像処理装置７に同時
に送られる画像アドレス情報と同期してデジタル変換さ
れ、フレームメモリ１１に格納される。その際、フレー
ムメモリ１１に格納される画像データには、あらかじめ
ホストＣＰＵ１０から設定された加算枚数値に基づい
て、リアルタイムで加算平均処理が実行される。フレー
ムメモリ１１内に格納された画像データは、画像データ
格納動作とは非同期の充分に早い周期でアナログ変換さ
れ、ＣＲＴ１２に常時出力され試料像が表示される。
【００１２】例えば、試料像取込み再開の指令が、加算
枚数Ｎ枚という条件でホストＣＰＵ１０から画像処理装
置７に伝達されると、画像処理装置７は、まず１枚の画
像をそのままフレームメモリ１１に格納し、２枚目の画
像データ格納の際には、１枚目の画像との加算平均値で
書換えていく。３枚目の画像データ格納の際には、３枚
の画像データが各々、１／３の重みを持つように、フレ
ームメモリ１１の画像データを書換えて行く。以後、Ｎ
枚目の画像データを１／Ｎの重みで加算する動作がフレ
ームのエンドまで到達すると、結果としてそこまでのＮ
枚の画像の加算平均画像が表示されることになる。（Ｎ
＋１）枚目以降の画像データは、常に１／Ｎの重み付け
でフレームメモリ１１に格納されていき、試料像表示
は、常に新しい画像情報を、１／Ｎの重み付けで加えて
いくようになる。
枚数Ｎ枚という条件でホストＣＰＵ１０から画像処理装
置７に伝達されると、画像処理装置７は、まず１枚の画
像をそのままフレームメモリ１１に格納し、２枚目の画
像データ格納の際には、１枚目の画像との加算平均値で
書換えていく。３枚目の画像データ格納の際には、３枚
の画像データが各々、１／３の重みを持つように、フレ
ームメモリ１１の画像データを書換えて行く。以後、Ｎ
枚目の画像データを１／Ｎの重みで加算する動作がフレ
ームのエンドまで到達すると、結果としてそこまでのＮ
枚の画像の加算平均画像が表示されることになる。（Ｎ
＋１）枚目以降の画像データは、常に１／Ｎの重み付け
でフレームメモリ１１に格納されていき、試料像表示
は、常に新しい画像情報を、１／Ｎの重み付けで加えて
いくようになる。
【００１３】本実施例では、一定時間の間、試料像の画
像情報の変化が起きる操作、例えば電子顕微鏡１の倍率
変更、角度変更、視野移動などが、オペレータより成さ
れなかったことを、ホストＣＰＵ１０が検知した時に
は、ホストＣＰＵ１０は自動的に画像処理装置７に加算
処理の加算平均枚数を所定の加算枚数に増加する指示を
伝達する。
像情報の変化が起きる操作、例えば電子顕微鏡１の倍率
変更、角度変更、視野移動などが、オペレータより成さ
れなかったことを、ホストＣＰＵ１０が検知した時に
は、ホストＣＰＵ１０は自動的に画像処理装置７に加算
処理の加算平均枚数を所定の加算枚数に増加する指示を
伝達する。
【００１４】次に、具体的にホストＣＰＵ１０で実施さ
れる実施例の動作フローチャートを図１に示して以下説
明する。オペレータが加算枚数２枚で画像取込みを指示
すると（ステップ２０）、ホストＣＰＵ１０は、画像処
理装置７にその旨を伝達する（ステップ２１）。オペレ
ータが画像移動の指示を行なうと（ステップ２２）、ホ
ストＣＰＵ１０は、その旨をステージ制御回路９へ伝達
する（ステップ２３）。
れる実施例の動作フローチャートを図１に示して以下説
明する。オペレータが加算枚数２枚で画像取込みを指示
すると（ステップ２０）、ホストＣＰＵ１０は、画像処
理装置７にその旨を伝達する（ステップ２１）。オペレ
ータが画像移動の指示を行なうと（ステップ２２）、ホ
ストＣＰＵ１０は、その旨をステージ制御回路９へ伝達
する（ステップ２３）。
【００１５】ステージ移動終了後、一定時間の間、オペ
レータから、画像情報の変化が起きる操作がなければ
（ステップ２４）、ホストＣＰＵ１０は、自動的に加算
枚数が３２枚（所定の加算枚数）になるように、画像処
理装置７に指示を与える（ステップ２５）。なお、ステ
ップ２４で使われる一定時間の値及び所定の加算枚数
は、あらかじめ装置固定の定数であってもよいし、オペ
レータがホストＣＰＵ１０に登録するようにしてもよ
い。
レータから、画像情報の変化が起きる操作がなければ
（ステップ２４）、ホストＣＰＵ１０は、自動的に加算
枚数が３２枚（所定の加算枚数）になるように、画像処
理装置７に指示を与える（ステップ２５）。なお、ステ
ップ２４で使われる一定時間の値及び所定の加算枚数
は、あらかじめ装置固定の定数であってもよいし、オペ
レータがホストＣＰＵ１０に登録するようにしてもよ
い。
【００１６】また、加算枚数２枚の状態から、加算枚数
３２枚の状態へ移行する時には、あらためて１枚目から
画像を取り直してもよいし、連続的に３枚目から行なう
ようにしてもよい。
３２枚の状態へ移行する時には、あらためて１枚目から
画像を取り直してもよいし、連続的に３枚目から行なう
ようにしてもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上の様に本発明によれば、オペレータ
が、加算枚数の少ない状態で試料像の調整を行なった
後、しばらくの間なにもしないと、自動的に加算枚数を
増やしていくので、操作性と試料像の観察性が向上す
る。
が、加算枚数の少ない状態で試料像の調整を行なった
後、しばらくの間なにもしないと、自動的に加算枚数を
増やしていくので、操作性と試料像の観察性が向上す
る。
【図１】本発明の一実施例のホストＣＰＵの動作フロー
チャートである。
チャートである。
【図２】従来及び本発明に適用される試料像表示装置の
一例を示すブロック図である。
一例を示すブロック図である。
【図３】従来のホストＣＰＵの動作フローチャートの一
例である。
例である。
１ 電子顕微鏡 ２ 試料室 ３ ステージ ４ ２次電子検出器 ５ 試料 ６ 画像信号増幅器 ７ 画像処理装置 ８ 電子光学系制御回路 ９ ステージ制御回路 １０ ホストＣＰＵ １１ フレームメモリ １２ ＣＲＴ
Claims (1)
- 【請求項１】 試料像をフレームメモリに取り込む際、
あらかじめ設定されたフレーム加算枚数まで加算平均し
ながら取り込み、その加算結果をリアルタイムで画像表
示する試料像表示方法に於いて、所定時間の間、試料像
の画像情報の変化が起きる操作が成されなかった時に
は、 自動的に加算平均枚数を所定の加算枚数に増加させる試
料像表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4318085A JPH06168690A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 試料像表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4318085A JPH06168690A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 試料像表示方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06168690A true JPH06168690A (ja) | 1994-06-14 |
Family
ID=18095318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4318085A Pending JPH06168690A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 試料像表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06168690A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2693457A3 (en) * | 2012-07-31 | 2015-01-28 | Fei Company | Sequencer for combining automated and manual-assistance jobs in a charged particle beam device |
-
1992
- 1992-11-27 JP JP4318085A patent/JPH06168690A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2693457A3 (en) * | 2012-07-31 | 2015-01-28 | Fei Company | Sequencer for combining automated and manual-assistance jobs in a charged particle beam device |
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