JPH01143129A - マッピング装置 - Google Patents
マッピング装置Info
- Publication number
- JPH01143129A JPH01143129A JP62300867A JP30086787A JPH01143129A JP H01143129 A JPH01143129 A JP H01143129A JP 62300867 A JP62300867 A JP 62300867A JP 30086787 A JP30086787 A JP 30086787A JP H01143129 A JPH01143129 A JP H01143129A
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- JP
- Japan
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- mapping
- analysis
- completed
- host computer
- mapping device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000013507 mapping Methods 0.000 title claims abstract description 69
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D1/00—Containers having bodies formed in one piece, e.g. by casting metallic material, by moulding plastics, by blowing vitreous material, by throwing ceramic material, by moulding pulped fibrous material, by deep-drawing operations performed on sheet material
- B65D1/02—Bottles or similar containers with necks or like restricted apertures, designed for pouring contents
- B65D1/0207—Bottles or similar containers with necks or like restricted apertures, designed for pouring contents characterised by material, e.g. composition, physical features
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）等によ
る微小領域の面分析（マツピング）を高速で行う装置に
関する。
る微小領域の面分析（マツピング）を高速で行う装置に
関する。
口、従来の技術
試料面のマツピングは試料面の一定範囲を電子ビームで
２次元的に走査しながら試料面からの二次放射を検出し
、その検出信号の強度データを画像メモリに格納して行
くと云う動作である。以上の動作は自動的に行われるが
従来の高速マツピング装置は上記した動作の制御を行う
制御系の汎用性が低（、予め与えられた分析条件で試料
面の指定された場所のマツピングを行うだけの単能的な
装置であった。
２次元的に走査しながら試料面からの二次放射を検出し
、その検出信号の強度データを画像メモリに格納して行
くと云う動作である。以上の動作は自動的に行われるが
従来の高速マツピング装置は上記した動作の制御を行う
制御系の汎用性が低（、予め与えられた分析条件で試料
面の指定された場所のマツピングを行うだけの単能的な
装置であった。
ハ０発明が解決しようとする問題点
上述したように従来の高速マツピング装置は単能的であ
るため、電子加速電圧、試料面の走査範囲、検出すべき
二次放射のＨＩＭ或は検出すべきＸ線波長等の分析条件
および試料面の分析位置等を予め多種設定しておいて、
自動的に順次マツピングを行って行くと云うようなこと
ができず、多種の分析条件で多数点のマツピングを行う
場合−つのマツピング動４作を終る度にオペレータが次
のマツピングの分析条件１分析位置を設定する必要があ
って、大へん面倒であり、オペレータがマツピング装置
の傍に長時間拘束されると云う問題があった。本発明は
このようなオペレータの負担を軽減し、マツピングの能
率を高めようとするものである。
るため、電子加速電圧、試料面の走査範囲、検出すべき
二次放射のＨＩＭ或は検出すべきＸ線波長等の分析条件
および試料面の分析位置等を予め多種設定しておいて、
自動的に順次マツピングを行って行くと云うようなこと
ができず、多種の分析条件で多数点のマツピングを行う
場合−つのマツピング動４作を終る度にオペレータが次
のマツピングの分析条件１分析位置を設定する必要があ
って、大へん面倒であり、オペレータがマツピング装置
の傍に長時間拘束されると云う問題があった。本発明は
このようなオペレータの負担を軽減し、マツピングの能
率を高めようとするものである。
二０問題点解決のための手段
マツピング装置およびマツピング装置の本体装置即ちＥ
ＰＭＡを外部制御装置（ホストコンピュータ）に接続し
、外部制御装置には予め設定された複数の分析条件およ
び分析位置を指定した分析スケジュールに従って順次マ
ツピング装置の本体装置に分析条件および試料の分析位
置を設定して行く機能と、マツピング装置に分析開始の
指示を送る機能とを与え、マツピング装置には上記分析
開始の指示に従ってマツピング動作を行い、マツピング
動作の終了によって終了信号を上記外部ｉｔｌ制御装置
に送る機能を与えて、外部制御装置が上記した終了信号
を受取ることによってマツピング装置の本体装置に次の
分析条件および分析位置を設定しマツピング装置に分析
開始の指示を送るようにした。
ＰＭＡを外部制御装置（ホストコンピュータ）に接続し
、外部制御装置には予め設定された複数の分析条件およ
び分析位置を指定した分析スケジュールに従って順次マ
ツピング装置の本体装置に分析条件および試料の分析位
置を設定して行く機能と、マツピング装置に分析開始の
指示を送る機能とを与え、マツピング装置には上記分析
開始の指示に従ってマツピング動作を行い、マツピング
動作の終了によって終了信号を上記外部ｉｔｌ制御装置
に送る機能を与えて、外部制御装置が上記した終了信号
を受取ることによってマツピング装置の本体装置に次の
分析条件および分析位置を設定しマツピング装置に分析
開始の指示を送るようにした。
ホ０作用
上述構成によれば、マツピング装置自体は従来と同様別
途設定された分析条件の下で予め設定された分析位置に
対して一回のマツピング動作を行うだけであるから高速
性を失うことなく、他方ホストコンピュータによって予
め与えられた分析スケジュールに従い、順次分析条件２
分析位置が設定されて行くので多種のマツピング動作が
順次自動的に実行される。
途設定された分析条件の下で予め設定された分析位置に
対して一回のマツピング動作を行うだけであるから高速
性を失うことなく、他方ホストコンピュータによって予
め与えられた分析スケジュールに従い、順次分析条件２
分析位置が設定されて行くので多種のマツピング動作が
順次自動的に実行される。
へ、実施例
第１図に本発明の一実施例装置を示し、第２図にその主
要動作のフローヂャートを示す。第１図において、１は
マツピング装置の本体装置であるＥＰＭＡ、２が高速マ
ツピング装置で、３が外部制御装置のホストコンピュー
タである。５は汎用インターフェースでマツピング装置
２に取付けられ、マツピング装置２はこのインターフェ
ースを介してホストコンピュータ３と接続されている。
要動作のフローヂャートを示す。第１図において、１は
マツピング装置の本体装置であるＥＰＭＡ、２が高速マ
ツピング装置で、３が外部制御装置のホストコンピュー
タである。５は汎用インターフェースでマツピング装置
２に取付けられ、マツピング装置２はこのインターフェ
ースを介してホストコンピュータ３と接続されている。
汎用インターフェース５としてこの実施例ではＧＰ−ｉ
Ｂを用いている。ＥＰＭＡＩもホストコンピュータ３と
接続されており、電子ビームの加速電圧の設定、倍率の
設定、試料ステージの駆動。
Ｂを用いている。ＥＰＭＡＩもホストコンピュータ３と
接続されており、電子ビームの加速電圧の設定、倍率の
設定、試料ステージの駆動。
検出器の指定、Ｘ線分光器の波長設定等はホストコンピ
ュータ３によって行われる。６は操・外部でオペレータ
の操作により、複数のマツピングにおける分析条件およ
び試料上の分析位置等を指示する分析スケジュールが入
力される。
ュータ３によって行われる。６は操・外部でオペレータ
の操作により、複数のマツピングにおける分析条件およ
び試料上の分析位置等を指示する分析スケジュールが入
力される。
上述した装置の動作を第２図によって説明する。第２図
のＡはホストコンピュータの動作のフローで、同Ｂはマ
ツピング装置の動作のフローである。マツピング動作を
スタートさせると、ホストコンピュータは設定されてい
る分析スケジュールに従い、ＥＰＭＡにおいて一番目の
分析条件および分析位置を設定（イ）し、次いでマツピ
ング装置２にマツピング開始の指示を送る（口）。その
後マツピング装置から終了の信号が来るのを待つ（ハ）
。他方マツピング装置２はマツピング開始の指示を受け
ると、マツピング動作を開始してデータを収集し、自身
の画像メモリに格納して行く（ニ）。−回のマツピング
動作が完了すると、ホストコンピュータ３に終了の信号
を発信する（ホ）。ホストコンピュータ３は上記終了信
号を受取ると（ト）、分析スケジュール終りか否かチエ
ツク（ヂ）Ｌ、、Ｎｏであれば動作は（イ）のステップ
に戻り、次の分析条件および分析位置をＥＰＭＡＩに設
定し、動作は口、ハ・・・と繰返され、分析スケジュー
ルが全部消化されれば（ヂ）のステップはＹＥＳになっ
て一連のマツピング動作が終了する。
のＡはホストコンピュータの動作のフローで、同Ｂはマ
ツピング装置の動作のフローである。マツピング動作を
スタートさせると、ホストコンピュータは設定されてい
る分析スケジュールに従い、ＥＰＭＡにおいて一番目の
分析条件および分析位置を設定（イ）し、次いでマツピ
ング装置２にマツピング開始の指示を送る（口）。その
後マツピング装置から終了の信号が来るのを待つ（ハ）
。他方マツピング装置２はマツピング開始の指示を受け
ると、マツピング動作を開始してデータを収集し、自身
の画像メモリに格納して行く（ニ）。−回のマツピング
動作が完了すると、ホストコンピュータ３に終了の信号
を発信する（ホ）。ホストコンピュータ３は上記終了信
号を受取ると（ト）、分析スケジュール終りか否かチエ
ツク（ヂ）Ｌ、、Ｎｏであれば動作は（イ）のステップ
に戻り、次の分析条件および分析位置をＥＰＭＡＩに設
定し、動作は口、ハ・・・と繰返され、分析スケジュー
ルが全部消化されれば（ヂ）のステップはＹＥＳになっ
て一連のマツピング動作が終了する。
ト、効果
本発明によればマツピング装置は与えられた条件の下で
マツピン・グ動作だけ行えばよいので、安価な制御装置
を用いていても高速性を失うことがな（、ホストコンピ
ュータによってＥＩ’ＭＡの制御を行っているので多種
のマツピング動作を自動的継続的に消化できてオペレー
タの負担が著しく軽減される。そしてホストコンピュー
タ自身も、マツピング動作の制御は行わないので、小型
コンピュータで充分であり、大型コンピュータを使えば
、収集されたマツピングデータについてより一層高度な
データ処理を迅速に行うことができる。
マツピン・グ動作だけ行えばよいので、安価な制御装置
を用いていても高速性を失うことがな（、ホストコンピ
ュータによってＥＩ’ＭＡの制御を行っているので多種
のマツピング動作を自動的継続的に消化できてオペレー
タの負担が著しく軽減される。そしてホストコンピュー
タ自身も、マツピング動作の制御は行わないので、小型
コンピュータで充分であり、大型コンピュータを使えば
、収集されたマツピングデータについてより一層高度な
データ処理を迅速に行うことができる。
第１図は本発明の一実施例装置のブロック図、第２図は
上記装置の主要動作のフローヂャートである。 １・・・ＩＰＭＡ、２・・・マツピング装置、３・・・
外部制御装置、５・・・汎用インターフェース、６・・
・操作部。 代理人 弁理士 縣 浩 介 ｓ１図
上記装置の主要動作のフローヂャートである。 １・・・ＩＰＭＡ、２・・・マツピング装置、３・・・
外部制御装置、５・・・汎用インターフェース、６・・
・操作部。 代理人 弁理士 縣 浩 介 ｓ１図
Claims (1)
- マツピング装置およびマツピング装置の本体装置を外部
制御回路に接続し、外部制御装置はマツピング装置から
のマツピング動作終了信号によって予め設定されている
分析スケジュールから次回の分析条件および試料面の分
析位置を読取って上記本体装置に設定し、マツピング装
置にマッピング動作開始指示信号を送り、マツピング装
置は上記マツピング動作開始指示信号を受けてマツピン
グ動作を開始し、マツピング動作が終了すると上記外部
制御装置にマツピング動作終了信号を発信するようにし
たマツピング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62300867A JPH01143129A (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | マッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62300867A JPH01143129A (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | マッピング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143129A true JPH01143129A (ja) | 1989-06-05 |
Family
ID=17890063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62300867A Pending JPH01143129A (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | マッピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143129A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2665262A1 (fr) * | 1990-07-26 | 1992-01-31 | Shimadzu Corp | Appareil d'analyse automatique a echantillon mobile. |
| JP2002039976A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザーの測定データ補正方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61157809A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-07-17 | エクシベルコ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフトウング | 結合素子 |
-
1987
- 1987-11-28 JP JP62300867A patent/JPH01143129A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61157809A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-07-17 | エクシベルコ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフトウング | 結合素子 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2665262A1 (fr) * | 1990-07-26 | 1992-01-31 | Shimadzu Corp | Appareil d'analyse automatique a echantillon mobile. |
| US5192866A (en) * | 1990-07-26 | 1993-03-09 | Shimadzu Corporation | Sample-moving automatic analyzing apparatus |
| JP2002039976A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザーの測定データ補正方法 |
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Legal Events
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051014 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060519 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060714 |
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