FR2665262A1 - Appareil d'analyse automatique a echantillon mobile. - Google Patents

Abstract

Dans la présente invention, on analyse un échantillon en l'irradiant avec un faisceau de particules chargées et en détectant des rayons X caractéristiques. La surface de l'échantillon est agrandie et est affichée sur un tube à rayons cathodiques et les zones d'analyse, les positions d'analyse et un trajet de déplacement pour le faisceau d'électrons sont désignés sur l'image affichée par le tube à rayons cathodiques. Le trajet du faisceau est désigné par un opérateur à l'aide d'un dispositif d'entrée (7) tandis que l'opérateur observe l'image sur le tube à rayons cathodiques (3). Il est également possible de calculer et de désigner le trajet à l'aide d'une unité arithmétique sur la base de données de coordonnées de positions indicatives des zones d'analyses, des positions d'analyse et des zones ne devant pas être analysées, cette opération étant effectuée sans nécessiter d'action de la part de l'opérateur.

Description

Appareil d'analyse automatique à échantillon mobile La présente invention

concerne un appareil pour analyser un échantillon par irradiation de cet échantillon avec le faisceau d'électrons d'un micro- analyseur à sonde électronique (EPMA), etc, et par détection des rayons X caractéristiques, ou autres radiations analogues, émis par l'échantillon Plus particulièrement l'invention concerne un appareil d'analyse automatique à échantillon mobile du type précité dans lequel l'échantillon est entraîné en déplacement pour déplacer la position irradiée.10 Dans le cas o il existe une pluralité de zones o un échantillon doit être analysé par irradiation avec un faisceau électrons, la pratique classique consiste à déterminer préalablement les positions des zones à analyser et à irradier l'échantillon avec le faisceau d'électrons en se basant sur cette détermination Au cours de l'opération mettant fin à15 l'analyse d'une certaine zone d'analyse puis déplaçant le faisecau d'électrons jusqu'à la zone d'analyse suivante, le faisceau d'électrons est déplacé sur la distance la plus courte, c'est-à-dire le long d'un trajet linéaire, du point de fin d'une zone analysée jusqu'au point de début de la zone suivante à analyser.20 Bien que la surface d'un échantillon comporte des endroits qui ne conviennent pas pour une irradiation parce qu'ils sont facilement endommagés par l'effet de l'irradiation du faisceau d'électrons, les agencements de la technique antérieure ne prennent pas en compte la protection de ces endroits Il en résulte qu'un problème est posé par l'endommagement de l'échantillon ou par un mauvais fonctionnement de l'appareil par suite de l'irradiation du faisceau d'électrons au cours de l'opération de déplacement de ce faisceau Une mesure qui permettrait de résoudre ce problème consisterait à protéger l'échantillon contre le faisceau pendant son déplacement Toutefois, si on prévoit une protection contre le faisceau d'électrons, il faut un certain temps pour que le faisceau d'électrons se stabilise de nouveau à la tension d'accélération et à l'état de convergence désignés, et un autre problème est posé par l'abaissement de la reproductibilité Un autre problème encore réside

dans l'erreur importante qui a lieu lorsque l'on tente une analyse extrê-

mement précise.

Dans la demande de brevet japonais n O 1-143129 ouverte i l'inspection publique, on décrit un appareil dans lequel, quand il existe une pluralité de zones dans lesquelles un échantillon doit être analysé par irradiation avec un faisceau d'électrons, les conditions d'analyse et

les positions d'analyse sur l'échantillon dans une pluralité de confi-

gurations topographiques ou mappages sont établies par un opérateur et un programme d'analyse est pris en compte A chacun des points de fin de

configuration topographique, un signal de fin de configuration topogra-

phique est émis, la condition d'analyse et la position d'analyse suivan-

tes sont établies et un signal de début de configuration topographique est émis Toutefois, dans l'appareil décrit, on ne tient pas compte du déplacement du faisceau d'électrons entre les positions d'analyse et il existe le risque que l'échantillon soit endommagé par suite de son irradiation par le faisceau d'électrons pendant ce déplacement En outre, dans la demande de brevet japonais N 068-318054 ouverte à l'inspection publique, on décrit une technique dans laquelle un trajet le long duquel

le faisceau d'électrn est déplacé est désigné par un dispositif d'en-

trée, telle qu'une souris ou un boule roulante Toutefois, les problèmes mentionnés ci-dessus se posent encore étant donné que l'on ne tient pas compte d'un déplacement du faisceau d'électrons autre que le déplacement

le long du trajet de balayage.

La présente invention a pour objet d'éliminer les problèmes men-

tionnés ci-dessus et de fournir un appareil d'analyse automatique à

échantillon mobile dans lequel on peut éviter l'endommagement de l'échan-

tillon et un mauvais fonctionnement de l'appareil pendant l'irradiation avec un faisceau d'électrons en déplaçant le faisceau d'électrons entre les zones d'analyse tout en évitant une irradiation des emplacement ne devant pas être irradiés par le faisceau d'électrons. Dans l'appareil de la présente invention, l'échantillon est observé à l'aide d'un microscope optique, l'image du microscope est captée par une caméra de télévision et le signal vidéo résultant est affiché sur un tube à rayons cathodiques Pendant qu'il regarde l'image affichée sur le tube à rayons cathodiques, l'opérateur sélectionne les zones à analyser, les positions auxquelles l'analyse doit être effectuée et les zones o l'irradiation ne doit pas être effectuée et l'opérateur établit alors un trajet de déplacement du faisceau d'électrons entre les zones d'analyse et les positions d'analyse de manière que le faisceau d'électrons ne traverse pas les zones ne devant pas être irradiées L'établissement du trajet est effectué par désignation de ce trajet sur l'image du tube à rayons cathodiques ou au moyen d'une souris ou d'un curseur et en faisant en sorte ensuite qu'un ordinateur lise le trajet désigné En outre, on peut effecturer l'établissement du trajet en faisant calculer par une unité de calcul le trajet, les données de coordonnées indicatives des zones d'analyse et des positions d'analyse ainsi que des zones à ne pas

irradier affichées sur le tube à rayons cathodiques.

L'appareil de la présente invention est conçu de manière qu'un dis-

positif d'entraînement de platine de support d'échantillon soit dirigé et commandé par les données de trajet stockées dans l'ordinateur, grâce à quoi l'axe optique du faisceau d'électrons est déplacé le long de ce trajet Après que ce faisceau d'électrons a été déplacé le long du trajet

jusqu'à la zone suivante à analyser, cette zone est balayée par le fais-

ceau d'électrons et est analysée Le balayage est effectué par le dispo-

sitif d'entra Inement de platine de support d'échantillon ou par une

bobine de balayage.

Comme on l'a décrit ci-dessus, il est possible d'empêcher l'endoni-

magement de l'échantillon occasionné par l'irradiation du faisceau d'électrons en faisant déplacer le faisceau d'électrons par un ordinateur le long du trajet calculé pour que ce faisceau soit déplacé entre les

zones devant être analysées.

D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention

apparaîtront dans la description donnée ci-après en référence aux dessins

annexés, sur lesquels: la figure L est un schéma synoptique montrant un appareil d'analyse automatique i échantillon mobile selon la présente invention;

la figure 2 est un schéma montrant l'image d'une surface d'échan-

tillon affichée sur le tube à rayons cathodiques de l'appareil d'analyse automatique a échantillon mobile selon la présente invention; la figure 3 est une vue explicative d'un trajet illustrant un premier mode de réalisation de la présente invention; la figure 4 est un schéma synoptique d'un agencement pour établir un trajet illustrant un premier mode de réalisation de la présente invention; la figure 5 est un schéma synoptique d'un agencement pour établir un trajet selon les deuxième, troisième, quatrième, cinquième et sixième modes de réalisation de la présente invention;

la figure 6 est une vue explicative d'un trajet illustrant le deu-

xième mode de réalisation;

la figure 7 est une vue explicative d'un trajet illustrant le troi-

sième mode de réalisation;

la figure 8 est une vue explicative d'un trajet illustrant le qua-

trième mode de réalisation;

la figure 9 est une vue explicative d'un trajet illustrant le cin-

quième mode de réalisation; et

la figure 10 est une vue explicative d'un trajet illustrant le si-

xième mode de réalisation.

Comme on peut le voir sur la figure 1, un micro-analyseur 1 à sonde électronique comporte un microscope optique 17 L'image de la surface de l'échantillon agrandie par le microscope optique 17 est captée par une caméra 2 de télévision et est affichée sur un tube à rayons cathodiques (TRC) 3 Le signal d'image de la surface de l'échantillon visualisée sur le tube à rayons cathodiques 3 est introduit dans un ordinateur 6 Le micro-analyseur 1 à sonde électronique est adapté de manière qu'un faisceau d'électrons engendré par un canon électronique Il soit irradié sur un échantillon S qui émet des rayons X caractéristiques que détecte un détecteur 16 de rayons X Le signal de détection du détecteur 16 de rayons X est introduit dans l'ordinateur 6 qui soumet le signal à un traitement de signal et qui affiche ensuite le résultat sur un dispositif de sortie 9 L'échantillon S est placé sur une platine 4 de support d'échantillon par l'intermédiaire d'un porte-échantillon ou analogue La platine 4 est entraînée dans les directions X, Y et Z par un dispositif 5 d'entratnement de platine de support d'échantillon qui est commandé par un signal de commande de l'ordinateur 6 La position de la platine 4 de support d'échantillon est détectée par un dispositif 8 de détection de position de platine qui engendre un signal de position et qui introduit ce signal dans l'ordinateur 6 A l'odinateur 6 est également relié un dispositif d'entrée 7, comme par exemple une souris, une manette, un crayon optique ou photostyle ou bien encore un curseur Le dispositif d'entrée 7 est destiné e désigner les zones à analyser par le faisceau d'électrons sur l'échantillon S, les zones de l'échantillon qu'il faut éviter d'irradier avec le faisceau d'électrons, et le trajet parcouru par le faisceau d'électrons sur l'échantillon S. On va décrire maintenant en se référant aux figures 1, 2, 3 et 4, un premier mode de réalisation de la présente invention La figure 2 est une image agrandie de la surface de l'échantillon affichée sur le tube i

rayons cathodiques TRC 3 Les parties SI, 52, 53 à analyser sont détermi-

nées Pour que l'image agrandie soit obtenue sur le tube à rayons catho-

diques 3, la surface de l'échantillon est agrandie par le microscope optique 17 et l'image est captée par la caméra 2 de télévision et est affichée L'opérateur observe l'image et choisit les parties à analyser, à savoir les parties SI, 52 (indiquées par des hachures inclinées de la droite vers la gauche) et les parties 53 (un point) Pour irradier les parties SI et 52 avec le faisceau d'électrons, on effectue un balayage en déviant le faisceau d'électrons alternativement à l'aide d'un bobine de balayage 13 ou en déplaçant la platine 4 de support d'échantillon, de manière à effectuer ainsi une mesure de configuration topographique ou mappage L'irradiation de la partie 53 à l'aide du faisceau d'électrons

implique une irradiation ponctuelle et, par conséquent, une mesure ponc-

tuelle est effectuée On effectue le balayage des parties SI, 52 avec le faisceau d'électrons en déterminant les zones d'analyse SU, 522 qui entourent les parties Si, 52, respectivement Pour déterminer les zones d'analyse SUL, 522, on met en fonction le dispositif d'entrée 7 pour introduire des données indicatives des coordonnées de position, par exemple celles des points de début de balayage sl, S 2 et des points de fin de balayage el, e 2 Ces éléments de données sont introduits dans une mémoire 62 de coordonnées de zones d'analyse par l'intermédiaire d'un circuit de commande 60 et sont stockés dans cette mémoire Du fait que la partie 53 est un point, celui-ci est identique à une zone d'analyse 533, et le point de début 53 et le point de fin e 3 de cette zone ont les mêmes

coordonnées Ces éléments de données de coordonnées sont également intro-

duits dans la mémoire 62 de coordonnées de zones d'analyse de la même

manière que les zones d'analyse S Ul, 512.

Les zones NI, N 2 (indiquées par des hachures inclinées de la gauche vers la droite) de la surface de l'échantillon qui ne doivent pas être irradiées par le faisceau d'électrons sont introduites d'une manière que

va maintenant décrire.

L'opérateur observe l'image agrandie sur le tube à rayons cathodi-

ques, sélectionne les zones ne devant pas être irradiées NI, N 2 et les détermine en utilisant le dispositif d'entrée 7 La détermination des zones ne devant pas être irradiées peut être effectuée à l'aide de courbes ou de droites Plus spécifiquement, la zone NI ne devant pas être irradiée est établie A l'aide de courbes et la zone N 2 ne devant pas être

irradiée est déterminée à l'aide de droites On peut effectuer la déter-

mination basée sur des droites en établissant les sommets des zones Les données de coordonnées des zones N ne devant pas être irradiées sont introduites par le dispositif d'entrée 7 et sont stockées dans une mémoire 63 de coordonnées de zones non irradiées par l'intermédiaire du circuit de commande 60 La mémoire de coordonnées pour les zones non

irradiées N 2 stocke les données de coordonnées n I, N 2, N 3 et N 4.

On obtient la position initiale du faisceau d'électrons en se basant sur les informations de position obtenues à partir du tube, à rayons cathodiques 3 ou en la déterminant à l'aide du dispositif d'entrée 7, et cette position initiale est stockée dans une mémoire 61 de position initiale Les coordonnées de position obtenues à partir d'un point de référence de la platine de support d'échantillon sont données par un signal fourni par le dispositif 8 de détection de position de platine et

ces coordonnées de position sont stockées dans une mémoire 65 de coor-

données de platine de support d'échantillon Par conséquent, l'opérateur commande au dispositif 5 d'entraînement de platine de déplacer cette

platine dans les directions X, Y et de sélectionner une zone à analyser.

Quand cette opération est terminée, on obtient les coordonnées de posi-

tion de cette zone en se basant sur des valeurs se trouvant dans la mémoire 65 de position de platine de support d'échantillon et sur les

coordonnées de position de l'image agrandie.

En utilisant les données de coordonnées stockées dans la mémoire 61 de coordonnées de position initiale et dans la mémoire 62 de zones non irradiées, on superpose la position initiale P, les zones d'analyse Sll, 522, 533 et les zones non irradiées Nl, N 2 sur l'image de la surface de l'échantillon que l'on obtient, par l'intermédiaire du microscope optique 17, sur le tube à rayons cathodiques 3, grâce à quoi on obtient l'image

représentée sur la figure 2.

On va maintenant décrire en se référant A la figure 3, un procédé de détermination d'un trajet I du faisceau d'électrons sur l'image agrandie de l'échantillon représenté sur le tube à rayons cathodiques 3 de la figure 2 Dans le premier mode de réalisation, l'opérateur établit le trajet X par l'intermédiaire du dispositif d'entrée 7 tout en observant l'image agrandie de l'échantillon sur le tube A rayons cathodiques 3 Le trajet j comprend un segment l de trajet s'étendant depuis le point initial P jusqu'au point de début S 1 de la zone d'analyse Sll, un segment j 12 de trajet s'étendant depuis le point e 1 de fin de la zone d'analyse Sll jusqu'au point S 2 de début de la zone d'analyse 522, un segment i 13 de trajet s'étendant depuis le point e 2 de fin de la zone d'analyse 522 jusqu'au point S 3 de début de la zone d'analyse 533 et un segment de trajet 14 s'étendant depuis le point e 3 (le même que 53 dans ce mode de réalisation) de la zone d'analyse 533 jusqu'au point initial P Le trajet X est sélectionné de manière à être le trajet qui ne traverse pas les zones non-irradiées Nl, N 2 Les informations indicatives du trajet

sont introduites par le dispositif d'entrée 7 et stockées dans une mémoi-

re 64 de trajets par l'intermédiaire du circuit de commande 60 On peut G<i 4 obtenir l'image de la figure 3 en superposant le trajet k à la figure 2 On peut afficher chaque zone et le trajet dans des couleurs différentes.

Quand la détermination est terminée, on effectue alors l'analyse.

En réponse A un signal en provenance du dispositif d'entrée 7 ou à un

signal de fin de détermination quand est détecté l'achèvement de l'éta-

blissement du trajet X, le circuit de commande 60 passe du mode réglage au mode analyse Le circuit de commande 60 extrait les informations de la mémoire 64 de trajets et commande au dispositif d'entraînement de platine

de support d'échantillon de déplacer la platine 4.

La quantité de déplacement commandée par le dispositif 5 d'entrai-

nement de platine est calculé par le circuit de commande 60 de manière

telle que le trajet soit amené sur l'axe optique du faisceau d'électrons.

Ce calcul a recours à des informations concernant le trajet stocké dans la mémoire 64 de trajets, des informations de position indicatives de la position de la platine 4 et des informations de position initiale Du fait du déplacement de la platine 4, le faisceau d'électrons est déplacé le long du trajet t depuis la position initiale P jusqu'au point S 1 de début de la zone d'analyse Sll Quand le faisceau d'électrons arrive au point de début s,, le circuit de commande 60 envoie un signal de balayage à la bobine de balayage 13 ou au dispositif 5 d'entraînement de platine de support d'échantillon de manière à balayer la zone d'analyse Sll Quand le faisceau d'électrons atteint le point de fin el, le balayage prend fin Le signal en provenance du détecteur 16 de rayons X obtenu au moment du balayage est stocké dans une mémoire 66 de données de détection et est soumis au traitement de données par un circuit 67 de traitement de données, après quoi les données traitées sont envoyées à l'unité de sortie 9 Les informations de position indicatives des zones

d'analyse sont également envoyées à l'unité de sortie 9.

Dans le mode de réalisation décrit ci-dessus, l'établissement du trajet du faisceau d'électrons fait appel à un microscope optique et à une platine de support d'échantillon incorporés dans le corps principal

de l'appareil Toutefois, on peut utiliser un simulateur installé exté-

rieurement De plus, on suppose que les dimensions des zones représentées sur la figure 2 peuvent être fixées à une valeur maximale de 20 cm x 20 cm, Dans les deuxième A sixième modes de réalisation décrits ci-après, on effectue de la même manière que dans le premier mode de réalisation l'établissement ou détermination d'une position initiale P, des zones d'analyse S et des zones non analysées N, mais l'établissement ou

détermination du trajet est effectuée automatiquement.

On va décrire en se référant au figures 5 et 6 le deuxième mode de réalisation La position initiale P, les zones d'analyse S et les zones non irradiées N sont établies de la même manière que dans le premier mode de réalisation L'ordre de l'analyse des zones E analyser est décidé par un signal d'entrée arrivant du dispositif d'entrée 7 ou par une séquence de données en provenance de la mémoire 62 de coordonnées de zones d'analyse stockant les zones d'analyse S, et le trajet sur la surface de

l'échantillon est calculé à l'aide du dispositif 68 de calcul de trajet.

Le calcul de trajet est stocké dans la mémoire 64 de trajet, après quoi l'analyse est effectuée de la même manière que dans le premier mode de réalisation. On va décrire en se référant d la figure 6 le calcul du trajet On relie le point initial P et le point S 1 de début de la zone d'analyse S Ul par une ligne droite étant donné qu'il n'y a entre ces points aucune zone à ne pas irradier Le segment $ 21 trajet est ainsi établi Ensuite, on établit un segment de trajet allant du point e 1 de fin de zone d'analyse SU 1 jusqu'au point S 2 de la zone d'analyse suivante 522, puis on tente de relier le point de fin el et le point de début S 2 par une ligne droite 22 ' mais cette ligne droite, 22 traverse la zone non irradiée NI Par

conséquent, pour faire en sorte que la zone NI ne devant pas être irra-

diée ne soit pas traversée, on détermine les segments de trajet 1221 -& 222, 2223 de la façon suivante On obtient les points P 21, P 22, o la ligne droite j 22 intersecte la zone non irradiée NI par un calcul utilisant les données stockées dans la mémoire de coordonnées et on adopte comme segment 2221 la ligne droite entre le point d'extrémité e 1 et l'intersection P 21 On adopte comme segment 1222 de trajet la limite de la zone non irradiée NI s'étendant depuis l'intersection P 21 jusqu'à l'autre intersection P 22 On adopte comme segment Z 223 de trajet la ligne droite s'étendant depuis l'intersection P 22 jusqu'au point de début s 2 de la zone d'analyse 522 Le trajet 222 peut être de deux types, l'un étant le trajet indiqué par des flèches sur la figure 6 et l'autre étant un trajet traversant la partie périphérique extérieure de l'image sur le tube à rayons cathodiques 3 Du fait qu'il est possible que la partie périphérique extérieure soit une zone non irradiée, le trajet 222 sélectionné est celui qui ne traverse pas la partie périphérique extérieure On adopte comme segment 2223 de trajet s'étendant depuis l'intersection P 22 jusqu'au point de début S 2 ici encore en utilisant la ligne droite j 22 Le trajet allant du point de fin el jusqu'au point de

début s, est ainsi établi par - 221 î 1222, i 223.

Si on tente de relier le point e 2 de fin de la zone d'analyse 522 et le point de S 3 de début de la zone d'analyse 533 par une ligne droite

Z 3, la ligne droite 23 traverse la zone non irradiée N 2 Par consé-

quent, le trajet allant du point e 2 de fin de la zone d'analyse 522 jusqu'au point S 3 de début de la zone suivante 533 est établi comme segment de trajet 4231 î f 232 2233 d'une manière telle que le trajet

ne traverse pas la zone non irradiée N 2, comme on vient de le décrire ci-

dessus. Le segment 24 de trajet allant du point e 3 de fin de la zone d'analyse 533 jusqu'à la position initiale P est établi par une ligne droite étant donné qu'aucune zone non irradiée n'est présente entre ces

deux points.

On va maintenant décrire en se référant A la figure 5 le troisième

mode de réalisation de la présente invention A l'exception de l'établis-

sement du trajet, ce mode de réalisation est conçu de la même manière que le deuxième mode de réalisation On établit un segment linéaire 1 31 de trajet entre le point initial P et le point de S 1 de début de la zone d'analyse SU étant donné qu'aucune zone non irradiée n'est présente entre ces points Comme pour le trajet allant du point e 1 de la zone d'analyse Sll jusqu'au point S 2 de début de la zone d'analyse suivante 522, on obtient tout d'abord la ligne droite i 32 puis les points P 31, P 32 o la ligne droite 2 32 coupe la zone non irradiée NI de la même manière que dans le second mode de réalisation On établit un segment Y 321 de trajet allant le point de fin el jusqu'au point d'intersection P 31 de la même manière que le segment IÉ 221 de trajet du deuxième mode il de réalisation On établit le long de la ligne de délimitation de la zone non irradiée Ni un segment 2322 de trajet allant du point d'intersection P 31 jusqu'au point P 33 Le point P 33 est un point o la ligne droite partant du point S 2 de la zone d'analyse 522 est tangente à la ligne de délimitation Du fait qu'il n'existe pas de zone non irradiée entre le point P 33 et le point de début S 2, on peut relier ces points par une

ligne droite que l'on adopte comme segment 323 de trajet Par consé-

quent, le trajet allant du point de fin el jusqu'au point de début S 2 est établi par A 321 ' 322 '1323 Si on tentait de relier le point de fin

e 2 au point de début S 3 par une ligne droite 133, cette ligne traverse-

rait la zone non irradiée N 2 C'est pourquoi, on établit ce trajet a l'aide des segments linéaires 4331 P j 333, et du segment 2332 de trajet de la ligne de délimitation de la même manière que dans le cas du trajet mentionné ci-dessus On effectue, de la même manière que dans le deuxième mode de réalisation, une analyse basée sur les segments de

trajet 31, j 321, 322 é 23 4331, î 332, /333, et 234.

On va maintenant décrire, en se référant à la figure 8, le quatriè-

me mode de réalisation de la présente invention A l'exception de la détermination du trajet de déplacement, le quatrième mode de réalisation est conçu de la même manière que le deuxième mode de réalisation On établit un segment linéaire X 41 de trajet entre le point initial P et le point S 1 de début de la zone d'analyse SU, étant donné qu'il n'existe pas de zone non irradiée entre ces points Du fait que la zone non irradiée NI est présente entre le point el de fin de la zone d'analyse S Il et le point S 2 de début de la zone d'analyse 522, on établit le segment 242 de trajet par la technique suivante On obtient une zone Nil, qui est à peu prés un polygone contenant la zone non irradiée Ni sur son côté intérieur, et on désigne les coordonnées des sommets par N 1 l, n 12, N 13, N 14 De façon similaire, on désigne les coordonnées des sommets de la zone non irradiée N 2 par N 21, N 22, N 23, N 24 On sélectionne parmi les segments de ligne reliant le point de fin el et le point de début S 2 avec les sommets du polygone le trajet qui relie le point de fin e 1 et le

point de début S 2 et qui ne traverse pas les zones non irradiées Ni, N 2.

Par conséquent, on adopte le trajet le plus court parmi cet ensemble de segments de ligne comme segment j 42 de trajet dans le dispositif de calcul de trajet Sur la figure 8, le segment 142 de trajet est établi par le segment de trajet reliant le point d'extrémité e 1 et le sommet n 14, le segment de trajet reliant le sommet n 14 et le sommet N 13 et le segment de trajet reliant le sommet N 13 et le point de début S 2 On établit également par une procédure similaire à celle utilisée pour établir le segment de trajet v 42 le segment de trajet allant du point de

fin e 2 jusqu'au point S 3 de début de la zone d'analyse 533.

On va décrire en se référant à la figure 9 le cinquième mode de réalisation de la présente invention A l'exception de l'établissement du trajet, le cinquième mode de réalisation est conçu de la même manière que le deuxième mode de réalisation On trouve un point Q sur l'image du tube à rayons cathodiques et on établit un trajet en utilisant le point Q comme point relais On relie le point Q au point initial P, les points de début sl, S 2, S 3 et les points de fin e 1, e 2 e 3 des zones d'analyse

par des lignes droites 1509 411 i 5219 1522, I 53 et j 54, respectivement.

Ces lignes droites ne coupent pas les zones non irradiées Ni, N 2 Quand

on a trouvé le point Q, on adopte les lignes droites mentionnées ci-

dessus comme segments de trajet et on établit le trajet des segments de trajets allant du point initial P jusqu'au point Q, du point Q jusqu'au point de début S 1, du point de fin el jusqu'au point Q, du point Q jusqu'au point de début S 2, du point de fin e 2 jusqu'au point Q, du point Q jusqu'au point de début S 3, du point de fin e 3 jusqu'au point Q et du point Q jusqu'au point initial P On effectue une analyse en se basant sur ce trajet de la même manière que dans le deuxième mode de

réalisation.

On va décrire en se référant (à la figure 10 le sixième mode de réalisation de la présente invention A l'exception de l'établissement du trajet, le sixième mode de réalisation est conçu de la même manière que ledeuxième mode de réalisation En se référant à la figure 10, on va30 décrire un segment de trajet -<-62 allant du point e 1 de fin de la zone SU jusqu'au point S 2 de début de la zone 522 En considérant les champs de potentiel se trouvant dans l'image apparaissant sur le tube à rayons cathodiques on établit le potentiel du point de fin e 1 de manière qu'il soit plus élevé que celui du point S 2 et on décide que la direction du35 trajet allant du point de fin el jusqu'au point de début S 2 représente la direction du gradient de potentiel Par exemple, on choisit comme potentiel, dans l'ordre descendant, H 3, 12, El, G, LI, L 2, parmi lesquels on adopte 12 comme potentiel du point de fin el et L 2 comme potentiel du point de début S 2 Quand ceci a été effectué, on sélectionne5 un trajet & 62 comme étant celui que l'on obtient en reliant successivement les directions de gradient et les points de potentiel respectifs depuis le potentiel H 2 jusqu'au potentiel L 2 Si on adopte 12 comme potentiel des zones non irradiées NI, N 2, ce potentiel sera plus élevé que le potentiel HE du point de fin e 1 Par conséquent, on établit le trajet de déplacement 462 sans qu'il coupe les zones non irradiées Nl, N 2 A l'aide d'une technique similaire, on établit des trajets allant

du point initial P jusqu'au point de début si, du point de fin e 2 jusqu'au point de début S 3, et du point de fin e 3 jusqu'au point initial P On effectue une analyse en se basant sur ce trajet de la même manière15 que dans le deuxième mode de réalisation.

On peut inverser si on le désire les niveaux de potentiel du point de début et du point de fin.

Grâce à la présente invention il est possible de placer un faisceau d'électrons entre des zones d'analyse tout en évitant les parties qui ne doivent pas être irradiées par le faisceau d'électrons Ceci permet d'effectuer une analyse sans avoir A recourir à une protection contre le

faisceau d'électrons et sans endommagement de l'échantillon. Il est bien entendu que le description qui précède n'a été donnée qu'à titre illustratif et non limitatif et que des variantes et des

modifications peuvent y être apportées dans le cadre de la présente invention.

Claims (7)

REVENDICATIONS

1 Appareil d'analyse automatique e échantillon mobile pour analyser un échantillon par irradiation de cet échantillon avec un faisceau de particules chargées, caractérisé par le fait qu'il comprend: (a) un moyen d'affichage pour afficher une image de la surface de l'échantillon sur un tube à rayons cathodiques avec un grossissement déterminé; (b) un moyen d'établissement pour établir des zones d'analyse ou des positions d'analyse de l'échantillon affiché sur le tube A rayons cathodiques; (c) un moyen de désignation pour désigner un trajet du faisceau de particules chargées entre les zones d'analyse ou les positions d'analyse, et15 (d) un moyen de déplacement pour déplacer une platine de support d'échantillon de manière telle qu'un point de l'échantillon correspondant

au trajet désigné par le moyen de désignation soit amené sur l'axe optique du faisceau de particules chargées.

2 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen de déplacement comprend: un moyen pour calculer la quantité de déplacement de la platine de support d'échantillon en se basant sur des données indicatives d'une position désignée ou du trajet de déplacement sur le tube A rayons cathodiques; et

un dispositif d'entraînement de platine de support d'échantillon pour entraîner cette platine sur la distance de déplacement précitée.

3 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen de désignation comprend: un dispositif d'entrée ( 7), et une mémooire de trajets pour stocker les données indicatives du

trajet introduit par le dispositif d'entrée.

4 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen de désignation comprend:

un dispositif d'entrée pour entrer des zones d'analyse ou des posi-

tions d'analyse ainsi que des zones non irradiées; et un dispositif de calcul de trajet pour calculer le trajet en se

basant sur les données d'entrée en provenance de l'unité d'entrée.

Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que le dispositif de calcul de trajet comprend un moyen pour calculer une ligne droite reliant un point de fin et un point de début des zones d'analyse ou des positions d'analyses mutuellement adjacentes dans l'ordre de l'analyse, et un moyen pour obtenir les points d'intersection o la ligne droite

coupe intersecte une zone non irradiée.

6 Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que le dispo-

sitif de calcul de trajet comprend: un moyen pour calculer une ligne droite reliant un point de fin et un point de début de zones d'analyse ou des positions d'analyse qui sont mutuellement adjacentes dans l'ordre d'analyse; un moyen pour obtenir les points d'intersection o la ligne droite intersecte une zone non irradiée; et un moyen pour obtenir un segment de ligne qui est tangent 5 une ligne de délimitation de la zone non irradiée et qui passe par le point

de début.

7 Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'unité de calcul de trajet comprend: un moyen pour obtenir des segments de lignes qui relient le sommet

d'une zone non irradiée, laquelle a approximativement a forme d'un poly-

gone, avec un point de début et un point de fin des zones d'analyse ou des positions d'analyse qui sont mutuellement adjacentes dans l'ordre de l'analyse; et un moyen pour obtenir le segment de ligne le plus court parmi

lesdits segments de ligne.

8 Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'unité de calcul de trajet comprend un moyen pour obtenir des segments de ligne qui relient chaque point de fin et chaque point de début des zones ou des positions d'analyse, sans intersecter une zone non irradiée sur l'image de l'échantillon affichée sur le tube à rayons cathodiques. 9 Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'unité de calcul de trajet comprend: un moyen pour former des champs de potentiel par application de potentiels différents à chaque point de début et à chaque point de fin des zones d'analyse ou des positions d'analyse ainsi qu'aux zones non irradiées; et

un moyen pour obtenir des gradients des champs de potentiels.