JPH02119036A - 荷電粒子線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、試料の局所に視野を制限して観察又は分析を
行なう荷電粒子線分析装置に関する。

［従来の技術］ 例えば、試料の局所分析を行う写像型２次イオン質量分
析装置では、第３図に示すように真空室内に配置された
試料１へ数１０μｍの１次イオンビーム２を照射し、こ
の１次イオンビーム２の照射によって得られた試料より
の２次イオンビーム３は質量フィルター４に導かれ、更
に、該質量フィルターによって選択された特定イオンの
みが試料像を拡大するための光学系５に導かれる。そし
て、この光学系を通過した特定イオンはマルチチャンネ
ルプレート（図示しない）によって増幅され、近接して
置かれた螢光スクリーン６等の表示装置に試料表面の拡
大（元素）像Ａとして表示される。この表示された拡大
像Ａによって、大気側よりガラス窓あるいはファイバー
オブティクス等を通じて観察され試料表面における元素
の分布や深さ方向の元素分析等が行なわれる。そして、
この様な分析を行う場合、光学系の中間、即ち、光学経
路の途中に視野を制限するための絞り７を配置し、この
絞りによって視野を制限して観察領域内の分析領域を選
択して分析を行うようにしている。

［本発明が解決しようとする課題］ ところで、この様に構成された従来装置では、第４図に
示すように分析領域ａ以外の観察領域すの拡大像は前記
絞りによって完全にカットされるため、分析中に分析領
域以外の観察領域をモニターすることができない。従っ
て、分析者は表示されている分析領域が分析継続中に自
分が選択した分析領域ａか否か完全に知ることができず
不安であるばかりでなく、ドリフト等が発生している場
合には、自分が分析しようとしている分析領域ａ以外を
分析していることとなり、分析結果の信頼性が損なわれ
ることとなる。

本発明は以上の点に鑑み成されたもので、試料の局所分
析を視野を制限して行う荷電粒子線分析装置において、
試料の観察領域と分析領域を識別可能に同時に表示する
ことにより、分析者に自分が選択した分析領域を分析し
ていることを認知できるようにして信頼性の向上を図る
ことを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するための本発明は、試料に一次荷電粒
子線を照射し、該照射の結果該試料との相互作用によっ
て生じる二次荷電粒子線を結像レンズ系に導いて該試料
の像を結像させ、該結像された像を可視像として表示す
るための手段を備えた荷電粒子線分析装置において、前
記可視像よりの光を透過光と反射光に分けるための半透
明ミラーと、該透過光と反射光のうち一方の光路に配置
された視野制限絞り板と、前記他方の光路に配置された
第１の撮像手段と、前記絞り板の絞りを透過する光の光
路に配置された第２の撮像手段を備え、該第１の撮像手
段よりの信号に基づいて全視野像を表示すると共に前記
第２の撮像手段よりの信号に基づいて該全視野像中に前
記絞りによって制限された視野内の像を他の領域と識別
可能に表示するための手段を備えることを特徴としてい
る。

［実施例］ 以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。

第１図は本発明の一実施例を示す概略図で、第２図は表
示の一例を示す図である。

図において、Ｓは螢光物質層が塗布されたガラス板より
成る螢光スクリーンであり、このスクリーンＳにビーム
が照射されて螢光に基づく試料の拡大像Ａが形成されて
いる。拡大像Ａよりの光はガラス壁Ｇを通して大気側に
取り出されている。

１０は光学レンズ、１１は半透明ミラーで、ＡＩ。

Ａ２は光学レンズ１０が作る拡大像Ａの光学像である。

１２は視野制限絞り板で、選択する視野の位置と大きさ
を変えるため、その絞り穴の位置や大きさが可変できる
ようになっている。尚、第１図においては、Ａ１と視野
制限絞り板１２は離れた位置に示されているが、視野制
限絞り板１２はＡＩに重なる位置に配置される。１３は
前記視野制限絞り板１２と共に絞り穴を通して分析領域
ａを撮像し信号に変換するめだのＣＣＤ　（Ｃｈａ　ｒ
ｇｅ　　Ｃｏｕｐｌｅｄ　　Ｄｅｖｉｃｅ）カメラであ
り、１４は半透明ミラー１１よりの全観察領域すを撮像
し信号に変換するためのＣＣＤカメラである。１５はＣ
ＰＵ、１６は表示装置である。

このように構成された装置では、螢光スクリーンＳに形
成された拡大像Ａは、大気側に配置された光学レンズ１
０により投影されるが、この像Ａは半透明ミラー１１に
より二つの像、即ち、透過光像Ａｔ、と反射光像Ａ２に
部分される。そして、像Ａｌは視野制限絞り板１２によ
って分析領域が選択されるため、絞り部分に分析領域を
含む絞り板１２の像がＣＣＤカメラ１３によって撮像さ
れる。一方、像Ａ２は観察領域の像であり、別のＣＣＤ
カメラ１４によって撮像される。これらの像信号はＣＰ
Ｕ１５に送られ、拡大像として合成される。こうして得
られた合成像は、第２図に示すように全観察領域を表す
観察領域像すと、他の領域と識別できるように色分けさ
れて表示された分析領域像ａが同時に表示装置１６に表
示される。

この表示像中において、分析領域像ａの表示位置と大き
さが視野制限絞り板によって制限された通りの位置と大
きさになるように両画像信号の重畳が行なわれる。

従って、このような装置では、表示装置１６には試料の
観察領域像すと分析領域像ａが同時に表示されるため、
分析者は自分が選択した分析領域が例えば経時的に変化
した場合、それがドリフトによる観察領域全体の移動に
よるものであるか、それとも注目する領域自体が経時的
に変化したためであるかを確認しながら注目する領域の
観察乃至は分析を行い得る。

尚、上述した実施例は本発明を２次イオン質量分析装置
に適用した例であったが、本発明は透過型電子顕微鏡等
の他の荷電粒子線分析装置にも同様に適用できる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、試料
の局所分析を視野を制限して行う荷電粒子線分析装置に
おいて、拡大像を部分し、一方に全視野像を、他方に視
野制限像を形成させて、これらを合成し表示装置に試料
の観察領域と分析領域を識別可能に同時に表示するよう
にしたので、分析者は自分が選択した分析領域を分析し
ていることを確認することができ、従って、安心して分
析作業を続けることができると共に、分析結果の信頼性
の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図は表示
の一例を示す図、第３図は従来装置の概略図、第４図は
従来装置を説明するための図である。 １０：光学レンズ、１１：半透明ミラー　１２：視野制
限絞り板、１３：ＣＣＤカメラ、１４：ＣＣＤメラ、１
５：ＣＰＵ、１６：表示装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料に一次荷電粒子線を照射し、該照射の結果該試料と
   の相互作用によって生じる二次荷電粒子線を結像レンズ
   系に導いて該試料の像を結像させ、該結像された像を可
   視像として表示するための手段を備えた荷電粒子線分析
   装置において、前記可視像よりの光を透過光と反射光に
   分けるための半透明ミラーと、該透過光と反射光のうち
   一方の光路に配置された視野制限絞り板と、前記他方の
   光路に配置された第１の撮像手段と、前記絞り板の絞り
   を透過する光の光路に配置された第２の撮像手段を備え
   、該第１の撮像手段よりの信号に基づいて全視野像を表
   示すると共に前記第２の撮像手段よりの信号に基づいて
   該全視野像中に前記絞りによって制限された視野内の像
   を他の領域と識別可能に表示するための手段を備えるこ
   とを特徴とする荷電粒子線分析装置。