JPS58155380A - 電子検出器 - Google Patents
電子検出器Info
- Publication number
- JPS58155380A JPS58155380A JP3906682A JP3906682A JPS58155380A JP S58155380 A JPS58155380 A JP S58155380A JP 3906682 A JP3906682 A JP 3906682A JP 3906682 A JP3906682 A JP 3906682A JP S58155380 A JPS58155380 A JP S58155380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- sample
- light guide
- electron beam
- painted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2002—Optical details, e.g. reflecting or diffusing layers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡等に用いられる電子検出器に関
し、特に反射電子検出器として用いて好適な電子検出器
に関する。
し、特に反射電子検出器として用いて好適な電子検出器
に関する。
走査電子顕微鏡で用いられる反射電子検出器としては、
半導体検出器を用いて反射電子を直接電流に変換して検
出する方式と、シンチレータを用いて反射電子を光に変
換し、その光を光電子増倍管等の光電検出手段で検出す
る方式がある。感度面では後者が優れているが、前者に
は検出面の形状を任意に設計できる特徴があり、検出器
を電子線光軸をはさんで対称に２分割し、夫々の検出信
号を加粋あるいは減算することにより、試料面の組成に
関する情報と凹凸に関する情報を分離して取出すことが
できるという優れた面を持っている。
半導体検出器を用いて反射電子を直接電流に変換して検
出する方式と、シンチレータを用いて反射電子を光に変
換し、その光を光電子増倍管等の光電検出手段で検出す
る方式がある。感度面では後者が優れているが、前者に
は検出面の形状を任意に設計できる特徴があり、検出器
を電子線光軸をはさんで対称に２分割し、夫々の検出信
号を加粋あるいは減算することにより、試料面の組成に
関する情報と凹凸に関する情報を分離して取出すことが
できるという優れた面を持っている。
その点シンチレータ方式は分割が困難であり、仮に同じ
ことをしようとすると、シンチレータと光電検出器と、
シンチレータから発生した光を光電検出器へ導くための
ライトガイドを２組用意しなければならず、装置が複雑
高価になるばかりでなく、試料上方のスペースが極めて
狭くなってしまい、実用的でない。
ことをしようとすると、シンチレータと光電検出器と、
シンチレータから発生した光を光電検出器へ導くための
ライトガイドを２組用意しなければならず、装置が複雑
高価になるばかりでなく、試料上方のスペースが極めて
狭くなってしまい、実用的でない。
本発明は上述した点に鑑みてなされたものであリ、シン
チレータを発光スペクトルの異なる少な−くとも２種の
材料で塗り分け、該２種のシンチレータ材料から夫々発
生した光を単一のライトガイドで導きだし、導き出され
た光を分光手段によって分離して別個に検出することに
より、単一のライトガイドで複数の情報を取出すことの
できる電子検出器を提供するものである。以下、図面を
用いて本発明を詳説する。
チレータを発光スペクトルの異なる少な−くとも２種の
材料で塗り分け、該２種のシンチレータ材料から夫々発
生した光を単一のライトガイドで導きだし、導き出され
た光を分光手段によって分離して別個に検出することに
より、単一のライトガイドで複数の情報を取出すことの
できる電子検出器を提供するものである。以下、図面を
用いて本発明を詳説する。
第１図は本発明の一実施例の構成を示し、図中１は走査
電子顕微５ｔｓｔ体２内に置かれた試料である。該試料
１上には図示しない電子銃で生成された電子線３が対物
レンズ４によって細く絞られて照射されると共に、走査
回路５から走査信号が供給される偏向コイル６Ｘ、６Ｙ
によってラスク走査される。７は試料面の上方の電子線
通路に゛１子線光軸に直交する方向から挿入されたライ
トガイドで、光透過性の良い樹脂等で形成され、電子線
通過口８が開けられている。該ライトガイド７の試料に
対向する面にはシンチレータ９が塗布されており、該シ
ンチレータ９は第２図（ａ ）又は（ｂ）に９Ａ、９Ｂ
で示す様に、電子線通過口８を挾んで略対称に２分割さ
れ、９Ａ、９Ｂは発光スペクトルの異なるシンチレータ
材料で塗り分けられている。
電子顕微５ｔｓｔ体２内に置かれた試料である。該試料
１上には図示しない電子銃で生成された電子線３が対物
レンズ４によって細く絞られて照射されると共に、走査
回路５から走査信号が供給される偏向コイル６Ｘ、６Ｙ
によってラスク走査される。７は試料面の上方の電子線
通路に゛１子線光軸に直交する方向から挿入されたライ
トガイドで、光透過性の良い樹脂等で形成され、電子線
通過口８が開けられている。該ライトガイド７の試料に
対向する面にはシンチレータ９が塗布されており、該シ
ンチレータ９は第２図（ａ ）又は（ｂ）に９Ａ、９Ｂ
で示す様に、電子線通過口８を挾んで略対称に２分割さ
れ、９Ａ、９Ｂは発光スペクトルの異なるシンチレータ
材料で塗り分けられている。
上記ライトガイド７の他端はＯリング等により気密を保
って鏡体２の外へ取出され、該他端には例えばプリズム
等の分光器１０が接続されている。
って鏡体２の外へ取出され、該他端には例えばプリズム
等の分光器１０が接続されている。
１１△は該分光器１０によって分光された光のうら、シ
ンチレータ９Ａから発生したものを検出するための光電
子増倍管、１１Ｂは同じくシンチレータ９Ｂから発生し
た光を検出するための光電子増倍管である。増幅器１２
Ａ、１２Ｂを介して夫々の増倍管から取出された出力信
号ＺＡ、ＺＢは演算回路１３へ送られて演算処理を受け
た後、前記走査回路５からの走査信号によって試料上で
の電子線走査と同期して走査される陰極線管表示装詔１
４へ輝度信号として送られる。
ンチレータ９Ａから発生したものを検出するための光電
子増倍管、１１Ｂは同じくシンチレータ９Ｂから発生し
た光を検出するための光電子増倍管である。増幅器１２
Ａ、１２Ｂを介して夫々の増倍管から取出された出力信
号ＺＡ、ＺＢは演算回路１３へ送られて演算処理を受け
た後、前記走査回路５からの走査信号によって試料上で
の電子線走査と同期して走査される陰極線管表示装詔１
４へ輝度信号として送られる。
上述の如き構成において、電子線照射に伴ない試料面か
ら放出された反射電子はシンチレータ９Ａ、９Ｂへ入射
するため、該シンチレータ９Ａ。
ら放出された反射電子はシンチレータ９Ａ、９Ｂへ入射
するため、該シンチレータ９Ａ。
９Ｂからは夫々の発光スペクトルに相当する光ＬＡ、Ｌ
Ｂが発生する。そして、該光ＬＡ、ｌ−８は共通のライ
トガイド７内を伝送されて分光器１０へ入射し、スペク
トルとして展開されるが、２つのシンチレータ９Ａ、９
Ｂは発光スペクトルが異なっているので、ＬＡとＬＢは
該分光器によって分離され、光電子増倍管１１Ａ、１１
Ｂによって夫々検出される。従って夫々の増倍管から得
られる出力ＺＡ、ＺＢは、試料上の電子線照射点から異
なった方向へ向けて放出された反射電子を別個に捕えた
ものとなり、該出力ＺＡ、ＺＢを処理回路１３へ送り加
稗又は減算処理により両者の和信号又は差信号を求め、
表示装Ｗ１１４へ送れば、該表示装置の画面には試料の
組成像又は凹凸像が表示されることになる。
Ｂが発生する。そして、該光ＬＡ、ｌ−８は共通のライ
トガイド７内を伝送されて分光器１０へ入射し、スペク
トルとして展開されるが、２つのシンチレータ９Ａ、９
Ｂは発光スペクトルが異なっているので、ＬＡとＬＢは
該分光器によって分離され、光電子増倍管１１Ａ、１１
Ｂによって夫々検出される。従って夫々の増倍管から得
られる出力ＺＡ、ＺＢは、試料上の電子線照射点から異
なった方向へ向けて放出された反射電子を別個に捕えた
ものとなり、該出力ＺＡ、ＺＢを処理回路１３へ送り加
稗又は減算処理により両者の和信号又は差信号を求め、
表示装Ｗ１１４へ送れば、該表示装置の画面には試料の
組成像又は凹凸像が表示されることになる。
上述の如く本発明によれば、シンチレータを異なった発
光スペクトルを持つ材料で塗り分け、夫々のシンチレー
タから発生した光を共通のライトガイドで導き出してい
るため、試料の上方に配置される構成は従来の単一の検
出器の場合と同様で４み、大きなスペースをとることな
く２種の情報を別個に取出すことができる。
光スペクトルを持つ材料で塗り分け、夫々のシンチレー
タから発生した光を共通のライトガイドで導き出してい
るため、試料の上方に配置される構成は従来の単一の検
出器の場合と同様で４み、大きなスペースをとることな
く２種の情報を別個に取出すことができる。
尚、Ｌ記実施例ではシンチレータを２分割したが、３分
割、４分割あるいはそれ以上に分割しても良く、夫々異
なった発光スペクトルを持つ材料ぐ塗り分ければ良い。
割、４分割あるいはそれ以上に分割しても良く、夫々異
なった発光スペクトルを持つ材料ぐ塗り分ければ良い。
第３図は本発明の他の実施例を示し、この実施例（・は
ライトガイド７が対物レンズ４の電子線通路内に挿入さ
れ、シンチレータ９から発生した光は対物レンズ内を上
方へ導きだされ、スペース的に余裕のある位冒でプリズ
ム等の反射手段１５によって電子線光軸と直交する方向
へ取出され、レンズ１６を介して分光器１０へ入射する
ように構成されている。
ライトガイド７が対物レンズ４の電子線通路内に挿入さ
れ、シンチレータ９から発生した光は対物レンズ内を上
方へ導きだされ、スペース的に余裕のある位冒でプリズ
ム等の反射手段１５によって電子線光軸と直交する方向
へ取出され、レンズ１６を介して分光器１０へ入射する
ように構成されている。
第４図は更に他の実施例を示し、この実施例ではライト
ガイド７は試料の斜め上方から電子線通路上に挿入され
ている。
ガイド７は試料の斜め上方から電子線通路上に挿入され
ている。
第１図、第３図及び第４図は夫々本発明の一実施例の構
成を示す図、第２図はシンチレータの塗り分は方を説明
するための図である。 １：試料、７：ライトガイド、８：電子線通過口、９Ａ
、９Ｂ：シンチレータ、１０：分光器、１１Ａ、１１Ｂ
：光電子増倍管、１３：演舞処理回路、１４：陰極線管
表示装置。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 加勢 忠雄
成を示す図、第２図はシンチレータの塗り分は方を説明
するための図である。 １：試料、７：ライトガイド、８：電子線通過口、９Ａ
、９Ｂ：シンチレータ、１０：分光器、１１Ａ、１１Ｂ
：光電子増倍管、１３：演舞処理回路、１４：陰極線管
表示装置。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 加勢 忠雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電子線光軸を囲むように配置されたシンチレータと
、該シンチレータから発生した光を導くためのライトガ
イドと、該ライトガイドから出射した光を検出する手段
を備えた電子検出器において、前記シンチレータを発光
スペクトルの異なる少なくとも２種の材料で塗り分け、
該２種のシンチレータ材料からの光を分離するために前
記ライトガイドの出射側に設置される分光手段と、分離
された光を夫々検出するための独立した光電検出手段を
設けたことを特徴とする電子検出器。 ２、前記シンチレータを発光スペクトルの異なる材料で
電子線光軸を挾んで対称に塗り分けた特許請求の範囲第
１項記載の電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3906682A JPS58155380A (ja) | 1982-03-12 | 1982-03-12 | 電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3906682A JPS58155380A (ja) | 1982-03-12 | 1982-03-12 | 電子検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58155380A true JPS58155380A (ja) | 1983-09-16 |
Family
ID=12542750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3906682A Pending JPS58155380A (ja) | 1982-03-12 | 1982-03-12 | 電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58155380A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4700075A (en) * | 1985-01-12 | 1987-10-13 | Carl-Zeiss-Stiftung | Detector for back-scattered electrons |
| EP1916696A1 (en) | 2006-10-25 | 2008-04-30 | ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh | Charged particle detector assembly, charged particle beam apparatus and method for generating an image |
| EP2521157A1 (en) * | 2011-05-05 | 2012-11-07 | Fei Company | Segmented charged particle detector using scintillator material |
| WO2014119350A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 複合荷電粒子線検出器および荷電粒子線装置ならびに荷電粒子線検出器 |
| JP2015181101A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-10-15 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 電子線を用いた試料観察方法、並びに、電子顕微鏡用アタッチメントおよび電子顕微鏡 |
-
1982
- 1982-03-12 JP JP3906682A patent/JPS58155380A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4700075A (en) * | 1985-01-12 | 1987-10-13 | Carl-Zeiss-Stiftung | Detector for back-scattered electrons |
| EP1916696A1 (en) | 2006-10-25 | 2008-04-30 | ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh | Charged particle detector assembly, charged particle beam apparatus and method for generating an image |
| US7842930B2 (en) | 2006-10-25 | 2010-11-30 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterpruftechnik mbH | Charged particle detector assembly, charged particle beam apparatus and method for generating an image |
| EP2521157A1 (en) * | 2011-05-05 | 2012-11-07 | Fei Company | Segmented charged particle detector using scintillator material |
| WO2014119350A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 複合荷電粒子線検出器および荷電粒子線装置ならびに荷電粒子線検出器 |
| CN104956461A (zh) * | 2013-01-31 | 2015-09-30 | 株式会社日立高新技术 | 复合带电粒子束检测器、带电粒子束装置以及带电粒子束检测器 |
| US9761409B2 (en) | 2013-01-31 | 2017-09-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Composite charged particle detector, charged particle beam device, and charged particle detector |
| US10128081B2 (en) | 2013-01-31 | 2018-11-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Composite charged particle beam detector, charged particle beam device, and charged particle beam detector |
| JP2015181101A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-10-15 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 電子線を用いた試料観察方法、並びに、電子顕微鏡用アタッチメントおよび電子顕微鏡 |
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