JPH1196958A

JPH1196958A - 分析電子顕微鏡

Info

Publication number: JPH1196958A
Application number: JP9254858A
Authority: JP
Inventors: Yuji Sato; 雄司佐藤; Shigeto Isagozawa; 成人砂子沢; Wataru Shimoyama; 渡下山
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1997-09-19
Filing date: 1997-09-19
Publication date: 1999-04-09
Also published as: NL1010087C2; US20010045515A1; NL1010087A1

Abstract

(57)【要約】【課題】試料の複数の分析点の元素分析を効率的に行う
ことができる分析電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】電子源１から放出した電子線２はコンデン
サレンズ絞り３を通り、試料１２を照射する。試料１２
を透過した電子線２は対物レンズと複数の結像レンズ１
８により拡大され、蛍光板１３上に試料１２の電子顕微
鏡像が形成される。試料１２から発生した特性Ｘ線は元
素分析検出器１６と元素分析制御装置１７からなる元素
分析装置により検出され、解析される。試料の分析点１
及び２の位置及び照射電子線のスポットサイズは電子顕
微鏡制御装置１４に予め記憶され、分析がスタ−トする
と、その記憶された位置及びサイズ情報が読み出され、
その情報にもとづいて分析点１及び２並びに電子線サイ
ズが自動的に設定され、そして分析点１及び２の元素分
析が自動的に行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は分析電子顕微鏡、特
に試料の複数の分析点を効率的に元素分析するのに適し
た分析電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子顕微鏡で試料の所望部分を元素分析
する試みが多くなされるようになってきている。このタ
イプの電子顕微鏡は一般に分析電子顕微鏡と呼ばれてい
る。分析電子顕微鏡における元素分析は一般に次ぎのよ
うにして行われる。

【０００３】まず、分析したい試料を電子顕微鏡にセッ
トする。セットした試料の分析したい部分を探すため試
料を照射する電子線のサイズ（直径）を大きくするよう
照射レンズ電流を設定する。次に、倍率を低くし、蛍光
板で試料像を観察する。適当な分析部がない場合は、こ
れを、試料移動機能により試料を移動して探し出す。

【０００４】分析部が見つかったら、分析部全体の拡大
像を撮影したり、画像として記録したりし得るように倍
率を調整した上で、その拡大像を撮影、記録する。次ぎ
に、照射レンズ電流を調整し、分析部の大きさ（実質的
に電子線のサイズと同じ）を決める。たとえば電子線の
サイズを１nmに設定する。照射レンズ電流を可変するこ
とで電子線のサイズが試料上で同芯円上に変化するの
で、その設定は容易である。また、電子線の偏向コイル
電流の調整により、試料を照射する電子線を目的とする
任意の方向に移動することができる。したがって、試料
の任意の分析部の電子線による照射の設定は照射レンズ
及び偏向コイルの電流を調整することによって可能であ
る。

【０００５】試料を電子線で照射すると、その照射部分
から、構成元素に対応した特定X線が発生する。また、
試料を透過した電子線は試料の構成元素に対応して電子
線のエネルギーを失う。前者の特性Ｘ線を計測するのが
Ｘ線元素分析装置（ＥＤＳ：Energy Dispersive X-ray
Spectoroscopy）であり、後者の電子線のエネルギーを
計測するのが電子線エネルギー損失分析装置（ＥＥＬ
Ｓ：Electron Energy Loss Spectroscopy）と言われ
る、元素分析装置の一種である。一般的には、ＥＤＸは
扱いやすいが、軽元素の分析が不得意である。これに対
してＥＥＬＳは軽元素分析が得意としている。

【０００６】ここではＸ線元素分析装置について説明す
るに、試料を電子線で照射すると、その照射した部分か
ら元素に対応した特性Ｘ線が発生し、Ｘ線元素分析装置
はその特性Ｘ線の量を表示する。これにより試料の電子
線による照射部分にどのような元素が含まれているかを
知ることができる。

【０００７】加速された電子が原子に衝突すると原子核
の周りにある電子のうちあるものが追い出される。原子
はこれによりエネルギーの高められた励起状態になる。
このような電子のない空の場所に、より高いエネルギー
準位にある外殻電子が落ち込むとそのエネルギー差に相
当するＸ線（特性Ｘ線）を放射する。このエネルギー準
位は元素により決まっているので放射されるＸ線のエネ
ルギーを計測することで元素分析ができる。Ｘ線分析装
置は、横軸をＸ線のエネルギー、縦軸をカウント数（Ｘ
線の量）とするＸ線スペクトルを表示する機能をもつ。

【０００８】通常の分析手順によれば、電子顕微鏡の操
作により試料を電子線で照射し、その状態でＸ線分析装
置の、Ｘ線を積算開始するスイッチをオンにし、予めＸ
線分析装置に入力した積算時間だけＸ線を積算し、計測
する。計測したＸ線スペクトル表示を記録として残して
おくには、Ｘ線分析装置に保存するＸ線スペクトル表示
の名前を入力した後、保存するスイッチをオンにする。
そして表示画面のＸ線スペクトル表示を、一度クリアス
イッチをオンにして消去した後、次の分析を行なう。

【０００９】このように、通常は電子顕微鏡の操作は電
子顕微鏡の操作ユニットで、Ｘ線分析装置の操作Ｘ線分
析装置の操作ユニットでそれぞれ独立に行っている。

【００１０】なお、元素分析装置を備えた電子顕微鏡は
たとえば特開平１−１０２８３９号公報に記載されてい
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】最近では数ｎｍ離れた
点での組成の違いが重要な意味をもつようになり、した
がって、元素分析を行う場合、分析したい部分はもちろ
んのこと、その周辺の複数の部分の元素分析を行うこと
が必要になる。しかし、そのような場合、照射レンズ電
流を調整することで電子線のサイズを、偏向コイル電流
を調整することで試料の電子線による照射位置すなわち
分析位置をそれぞれ設定した後、元素分析装置をオンに
して、１００秒から２００秒間元素分析信号を計測し、
そしてこの操作を分析部の数だけ繰り返し行わなければ
ならない。

【００１２】本発明の目的は試料の複数の分析点の元素
分析を効率的に行うことができる分析電子顕微鏡を提供
することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、電子線を発生
させる手段と、試料を前記発生された電子線で照射する
手段と、その照射によって前記試料を透過する電子線を
拡大して前記試料の電子顕微鏡像を生成する手段と、前
記電子線による前記試料の照射部分を元素分析する元素
分析装置とを含む分析電子顕微鏡であって、前記試料の
複数の分析点の位置情報を記憶する手段を備え、その記
憶された位置情報の読み出し、その読み出された位置情
報にもとづく、前記電子線によって照射される分析点の
位置の設定、及びその照射される分析点の前記元素分析
装置による元素分析を前記複数の分析点について予め定
められた順序で自動的に実行するように構成したことを
特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１〜３は本発明による分析電子
顕微鏡の一実施例の概念図で、図１は試料をサイズ（直
径）の大きい電子線で照射している状態を、図２は試料
をサイズの小さい電子線で照射している状態を、図３は
試料の中心からずれた部分をサイズの小さい電子線で照
射している状態をそれぞれ示す。

【００１５】電子源１から放出された電子線２はコンデ
ンサレンズ絞り３を通り、試料１２を照射する。試料１
２は試料移動装置２０により電子線１と直角方向の平面
内で任意方位に任意量だけ移動可能である。第１照射レ
ンズ４、第２照射レンズ６及び対物レンズの前磁場レン
ズ１０ａは電子線２を集束するように働き、その集束状
態の変更は第１集束レンズ３及び第２集束レンズ６の励
磁電流を調整することによって可能である。第２集束レ
ンズ６及び対物レンズの前磁場レンズ１０ａ間に配置さ
れた偏向コイル８ａ、８ｂは電子線２を偏向して、電子
線２による試料１２の照射位置を変えるように働く。試
料１２を透過した電子線２は対物レンズの後磁場レンズ
１０ｂと複数の結像レンズ１８により拡大され、蛍光板
１３上に試料１２の電子顕微鏡像が形成される。

【００１６】試料１２が電子線２で照射されると、試料
１２からは該試料を構成している元素に対応した特性Ｘ
線が発生する。この特性Ｘ線は元素分析検出器１６と元
素分析制御装置１７からなる元素分析装置により検出さ
れ、解析される。

【００１７】第１照射レンズ４は第１照射レンズ電源５
により、第２照射レンズ６は第２照射レンズ電源７によ
り、偏向コイル８ａ、８ｂは偏向コイル電源９により、
対物レンズの前磁場レンズ１０ａと後磁場レンズ１０ｂ
は対物レンズ電源１１により、複数の結像レンズ系１８
は複数の結像レンズ電源系１９によりそれぞれ駆動さ
れ、制御される。

【００１８】電子顕微鏡制御装置１４は第１照射レンズ
電源５、第２照射レンズ電源７、偏向コイル電源９、対
物レンズ電源１１、結像レンズ系電源１９、試料移動装
置２０および元素分析インターフェース２１を駆動し、
制御するように働く。なお、図では一対の偏向コイル６
ａ、６ｂのみが図示されているが、実際にはその直角方
向にもう一対の偏向コイルが配置される。

【００１９】元素分析制御装置１７及び電子顕微鏡制御
装置１４は元素分析インターフェース２１を介して互い
に接続されている。インターフェース２１は少なくとも
元素分析装置の元素分析信号すなわち元素分析デ−タの
取り込みをオン／オフする機能、元素分析装置に取り込
んだ元素分析データの保存をオンする機能、元素分析装
置の元素分析デ−タ画面をクリアーする機能、元素分析
装置へ照射位置の識別データを送信する機能及び元素分
析装置から特定の元素の含有量又はカウント数を元素分
析を行った複数の分析点ごとに識別可能なデータと共に
元素分析装置から受信する機能を有している。

【００２０】図４は本発明による分析電子顕微鏡のもう
一つの実施例の概念図である。図１と異なる点は蛍光板
１３に形成された電子顕微鏡像を撮像する撮像装置２
２、該撮像装置に接続された画像制御表示装置２３及び
該画像制御表示装置に接続されたプリンタ２４が備えら
れていることであり、画像制御表示装置２３及びプリン
タ２４は電子顕微鏡制御装置１４によって制御される。

【００２１】図１〜４に示される実施例による一連の元
素分析手順を図５を参照しながら説明する。分析に先立
ってまず、分析しようとする試料１２が電子顕微鏡の所
定の位置にセットされ、分析の条件設定（たとえば分析
時間、試料名、日時、注目（分析）したい元素等の設
定）が行われる。

【００２２】ステップ１（Ｓ１）では視野探しが行われ
る。すなわち、走査卓１５を操作して電子線２のサイズ
（直径）を視野探しに適切な値に設定する（図１及び図
４参照）。この値は後述の元素分析時のそれよりも大き
い値である。この値の設定は、第１照射レンズ電源５及
び第２照射レンズ電源７を電子顕微鏡制御装置１４によ
り制御して、それらの電源により駆動される第１照射レ
ンズ３及び第２照射レンズ６の励磁電流を変えることに
より可能である。この状態で、試料１２の電子顕微鏡像
を蛍光板１３上で観察しながら元素分析したい所望の部
分を試料移動装置２０により試料を移動させて探した
後、その電子顕微鏡像を撮像装置２２で撮像し、これを
画像制御表示手段２３に表示すると共に、記憶し、保存
する。その記憶された電子顕微鏡像を図６に示す。同図
において、中央部にある縦縞状部が組成の違う粒界を示
し、この粒界近傍が元素分析をしたい部分（分析希望
部）であるとする。この場合、粒界部は分析希望部中の
分析希望中心部となる。

【００２３】ステップ２（Ｓ２）では、電子線２が、そ
の試料２上でのスポットサイズ（直径）がたとえば１ｎ
ｍとなるように試料２の中心に集束される（図２参
照）。このようにして決定された試料１２の電子線２に
よる試料照射点（分析点１）の位置情報及びその照射電
子線のサイズ情報は電子顕微鏡制御装置１４にその分析
点１の位置識別デ−タと共に記憶される。視野探しのと
きと同じように、電子線２のサイズ設定は電子顕微鏡制
御装置１４の制御下にある第１照射レンズ電源５及び第
２照射レンズ電源７により駆動される第１照射レンズ３
及び第２照射レンズ６の励磁電流を変えることにより可
能であり、その励磁電流の変更は操作卓１５を操作する
ことによって可能である。

【００２４】ステップ３（Ｓ３）では、他の分析を希望
する点（分析点２）が電子線２により照射されるように
その電子線２が偏向コイル８ａ、８ｂにより偏向され、
そしてそのようにして決定された分析点２の位置情報及
びその分析点２を照射している電子線２のサイズ情報が
電子顕微鏡制御装置１４に分析点２の位置識別デ−タと
共に記憶される。その電子線のサイズは分析点１を分析
するときに用いられる電子線のサイズと同じでよいが、
もし必要なら、異なってもよい。電子線２の偏向量は電
子顕微鏡制御装置１４の制御下にある偏向コイル電源９
により駆動される偏向コイル８ａ、８ｂを流れる偏向電
流によって決まり、その偏向電流の変更は操作卓１５を
操作することにより可能である。なお、分析点２を決定
する際には偏向コイル８ａ、８ｂの偏向電流を変える代
わりに試料１２を電子線２に対して移動させてもよい。

【００２５】ステップ４（Ｓ４）では分析点の総数Ｎが
設定され、電子顕微鏡制御装置１５に記憶される。ま
た、ステップ５（Ｓ５）では分析のタイプ（後述）が設
定される。これは操作卓１５を操作することにより可能
である。分析点の総数Ｎが、予め定められた少なくとも
３以上の場合、たとえばＮ＝５の場合は、分析点１及び
２以外の分析点３、４及び５についてはその位置を電子
顕微鏡制御装置１４により分析点１及び２の位置情報に
もとづいて算出することができる（後述）。

【００２６】ステップ６（Ｓ６）でｎ＝１として分析ス
タ−トスイッチ（図示せず）がオンにされると、ステッ
プ７（ステップ７）として、それにもとづいて、最初に
分析すべき分析点１の位置情報及びその分析点１を分析
する際の電子線２のサイズ情報が読み出され、その分析
点１及び電子線のサイズの設定が自動的に行われる。分
析点１の設定は電子顕微鏡制御装置１５が試料移動装置
２０又は偏向コイル電源９を制御することによって、ま
た、電子線のサイズの設定は電子顕微鏡制御装置１５が
第１照射レンズ電源５、第２照射レンズ電源７を制御す
ることによってそれぞれ自動的に行われる。

【００２７】その設定が行われた後、ステップ８（Ｓ
８）として、電子顕微鏡制御装置１５から元素分析装置
に分析開始信号が送信され、それにもとづいて、ステッ
プ９（Ｓ９）として分析装置は予め定められた条件にし
たがって分析点１の元素分析を開始する。分析点１の分
析が終了すると、ステップ１０（Ｓ１０）として分析装
置は分析結果を記憶、保存すると共に分析装置経の表示
画面をクリアし、そしてステップ１１（Ｓ１１）として
分析装置から顕微鏡制御装置１５に分析終了信号を送信
する。

【００２８】電子顕微鏡制御装置１５はステップ１２
（Ｓ１２）としてｎに１を加え（ｎ＝ｎ＋１）、更にス
テップ１３（Ｓ１３）としてｎ＜Ｎかどうかが判断され
る。この場合は、その判断の答えはＹＥＳとなるから、
フロ−はステップ７（Ｓ７）に戻り、分析点２について
分析点１の場合と同じステップが自動的に繰り返され
る。分析点２の分析が終了すると、分析点３の元素分析
が行われるが、分析点３の分析の場合もステップ１３
（Ｓ１３）での判断の答えはＹＥＳとなるから、フロ−
はステップ７（Ｓ７）に戻り、分析点３の位置が分析点
１及び２の位置情報にもとづいて算出され（後述）、そ
の算出された位置設定がなされる。この場合の電子線の
スポットサイズとしては分析点１を分析するときの電子
線のスポットサイズが優先的に用いられる。分析点３の
分析が終了すると、分析点４及び５の元素分析も分析点
３の分析の場合と同様にして行われ、最後にステップ１
３（Ｓ１３）での判断結果がＮＯとなったときにフロ−
は終了する。

【００２９】分析点３〜５の算出された位置情報は分析
点１及び２の位置情報と同様に電子顕微鏡制御装置１５
にその位置識別情報と共に予め記憶し、フロ−がステッ
プ７（Ｓ７）に戻ったとき、その記憶した位置情報を読
み出して設定するようにしてもよい。

【００３０】分析タイプとしては、たとえば図７〜９に
示されるようないくつかの分析タイプがある。図７のタ
イプは分析点１〜５が粒界内に存在する分析点１から粒
界外に存在する分析点２を通って延びる直線上にあるタ
イプである。分析点２と３、分析点３と４及び分析点４
と５の間隔は分析点１と２の間隔Ｌにそれぞれ等しく設
定されている。このタイプの場合は、分析点１及び２の
位置情報によりその間隔Ｌが電子顕微鏡制御装置１５に
よって求められ、そしてその間隔Ｌにもとづいて分析点
３〜５の位置がそれぞれ算出される。この場合は分析点
１〜５の互いに隣り合うものの間隔はＬである。

【００３１】図８のタイプは分析点１〜５が粒界内に存
在する分析点１と粒界外に存在する分析点２を結ぶ直線
上にあるタイプである。このタイプの場合も、電子顕微
鏡制御装置１５により分析点１及び２の位置情報により
その間隔Ｌが求められ、そしてその間隔Ｌにもとづいて
分析点３〜５の位置が電子顕微鏡制御装置１５によりそ
れぞれ算出される。この場合は、分析点３〜５は分析点
１からそれぞれ＋Ｌ、−２Ｌ、＋２Ｌの位置に存在し、
したがって、それらの分析点の互いに隣り合うものの間
隔はＬである。

【００３２】図９のタイプは分析点２〜５が粒界内にあ
る分析点１を中心として分析点１から分析点２に至る間
隔を半径とする円上に等角度間隔、すなわち、分析点の
総数Ｎから１を引いた数で３６０°を割った角度である
９０°間隔で存在するタイプである。このタイプの場合
も、電子顕微鏡制御装置１５により分析点１及び２の位
置情報によりその間隔Ｌが求められ、そしてその間隔Ｌ
にもとづいて分析点３〜５の位置がそれぞれ算出され
る。

【００３３】以上のように、分析点１及び２以外の分析
点の位置については、これを分析点１及び２の位置情報
にもとづいて算出するようにすれば、すべての分析点に
ついていちいち試料を移動したり、あるいは電子線を偏
向したりしてその位置を決める必要がなくなる。

【００３４】前述の例はＮを３以上とし、そして分析点
３〜５の位置についてはこれを分析点１及び２の位置情
報にもとづいて算出する例であるが、Ｎを２以上とし、
そして分析点３以降の分析点についてもステップ１（Ｓ
１）及びステップ２（Ｓ２）と全く同じステップ踏んで
その位置情報及び電子線サイズ情報を電子顕微鏡制御装
置１４にその位置識別デ−タと共に記憶するようにして
もよい。この場合は、分析点３以降の分析点の位置を、
既述のＮが３以上の場合の例のように分析点１及び２の
位置情報にもとづいて算出する必要はない。

【００３５】分析点の分析結果については、これを分析
装置に表示し、更に記憶、保存することができる。図１
０は分析点１の分析結果の表示例を示す。同図におい
て、横軸はエネルギ−を、縦軸はＸ線強度（カウント
数）を表す。この図のデ−タは半導体試料中に含まれる
酸素（Ｏ）、シリコン（Ｓ_i）及び燐（Ｐ）のスペクト
ルを示す。

【００３６】ステップ８（Ｓ８）において分析開始信号
が分析装置に送信されると同時に電子線像ののスポット
サイズの像を自動的に撮像装置２２によって撮像して画
像制御表示装置２３に表示し、更に記憶、保存すること
ができる。そのときの表示例を図１１に示す。また、ス
テップ１１（Ｓ１１）において分析終了信号を電子顕微
鏡制御装置１５に送信すると同時に電子線のスポットサ
イズの像を自動的に撮像装置２２によって撮像して画像
制御表示装置２３に表示し、更に記憶、保存することが
できる。そのときの表示例を図１２に示す。このように
すれば、保存されたスポット像の比較により元素分析時
と元素分析終了時の分析点の位置ずれをチェックするこ
とができる。

【００３７】また、分析希望領域の電子顕微鏡像に分析
点の実際の位置、電子線のサイズ情報及びその位置識別
デ−タ（分析点１とか分析点２というようなデ−タ）を
画像性ぎゅお表示装置２３に重ねて表示するようにして
もよい。たとえば分析点１及び２に位置、電子線のサイ
ズ情報及びその識別デ−タを分析希望部の像に重ねて表
示した例を図１３に示す。もちろん、表示される分析点
の数はもっと多くてもよい。これによれば、分析希望領
域中の各分析点の位置関係が明確となる。なお、電子線
のサイズ情報の表示は分析点１及び２については既に記
憶してあるそれを読み出して画像制御表示装置２３に取
り込むことで可能であり、また分析点３〜５については
その位置を算出したときにその位置識別情報を画像制御
表示装置２３に取り込むことで可能である。

【００３８】分析点１の元素分析データの１例を図１０
に示したが、その中のたとえば燐（Ｐ）のスペクトルに
注目して、元素分析制御装置１７で、図１４に示される
ように、エネルギーウインドウをたとえば燐リン（Ｐ）
に設定し、この後、分析点１〜５の位置とその位置識別
デ−タを画像制御表示装置２３に分析希望領域の電子顕
微鏡像と重ねて表示すると共に保存し、プリンタ２４で
出力したのが図１５である。ただし、図１５の例は分析
タイプが図８に示されるタイプである場合の例である。

【００３９】分析点１〜５の燐（Ｐ）の含有量の値を元
素分析制御装置１７からインターフェース手段２１を経
由して電子顕微鏡制御装置１４が受取り、これを電子顕
微鏡制御装置１４が画像制御表示装置２３に送る。画像
制御表示装置２３は図１６に示されるように分析点の間
隔Ｌ（本例ではＬ＝１ｎｍ）と燐（Ｐ）の含有量及び複
数の分析点（本例では分析点１〜５）の識別データから
複数個の分析点による燐（Ｐ）の含有量の変化をグラフ
に作成して、保存し、プリンタ２４で出力することがで
きる。

【００４０】既述の実施例では、元素分析装置としてＸ
線元素分析装置が用いられたが、もちろん、電子線エネ
ルギ−損失分析装置が用いられてもよい。

【００４１】以上説明した本発明の実施例によれば、所
望の複数個の分析点の元素分析を自動で効率的に行いこ
とができる。これにより電子顕微鏡による元素分析の操
作を簡単にし、所望の結果を短時間に作成、出力でき
る。

【００４２】また、従来は分析結果をまとめる作業とし
て、電子顕微鏡像を撮影した後現像、焼き付けを行い、
電子顕微鏡像写真上に分析した点（分析範囲）をシール
等を用いマークずけし、分析した点に対応した分析結果
から分布図を作成することを行っていたが、本発明の実
施例によればその分布を示すグラフが得られるために従
来のような面倒な作業は不要となる。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、試料の複数の分析点の
元素分析を効率的に行うことができる分析電子顕微鏡が
提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による分析電子顕微鏡の一実施例の概念
図で、試料をサイズの大きい電子線で照射している状態
を示している。

【図２】本発明による分析電子顕微鏡の一実施例の概念
図で、試料をサイズの小さい電子線で照射している状態
を示している。

【図３】本発明による分析電子顕微鏡の一実施例の概念
図で、試料の中心からずれた部分ををサイズの小さい電
子線で照射している状態を示している。

【図４】本発明による分析電子顕微鏡のもう一つの実施
例の概念図である。

【図５】本発明による分析手順の一例を示すフロ−チャ
−ト図である。

【図６】本発明による分析希望領域の電子顕微鏡像を示
す図である。

【図７】本発明による一つの分析タイプの説明図であ
る。

【図８】本発明によるもう一つの分析タイプの説明図で
ある。

【図９】本発明による更にもう一つの分析タイプの説明
図である。

【図１０】本発明による分析結果の表示例を示す図であ
る。

【図１１】本発明による分析開始時の電子線スポットサ
イズの像を示す図である。

【図１２】本発明による分析終了時の電子線スポットサ
イズの像を示す図である。

【図１３】本発明による分析希望領域の像に分析点の位
置及びその位置デ−タを重ねて表示した例を示す図であ
る。

【図１４】本発明による分析結果の別の表示例を示す図
である。

【図１５】本発明による分析希望領域の像に分析点の位
置及びその位置デ−タを重ねて表示した別の例を示す図
である。

【図１６】本発明による各分析点における燐（Ｐ）の含
有量のグラフを示す図である。

【符号の説明】

１：電子源、２：電子線、３：コンデンサ絞り、４：第
１照射レンズ、５：第１照射レンズ電源、６：第２照射
レンズ、７：第２照射レンズ電源、８ａ、８ｂ：偏向コ
イル、９：偏向コイル電源、１０ａ：対物レンズの前磁
場レンズ、１０ｂ：対物レンズの後磁場レンズ、１１：
対物レンズ電源、１２：試料、１３：蛍光板、１４：電
子顕微鏡制御装置、１５：操作卓、１６：元素分析検出
器、１７：元素分析制御装置、１８：結像レンズ系、１
９：結像レンズ系電源、２０：試料移動装置、２１：元
素分析インターフェース装置、２２：撮像装置、２３：
画像制御表示装置、２４：プリンタ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子線を発生させる手段と、試料を前記発
生された電子線で照射する手段と、その照射によって前
記試料を透過する電子線を拡大して前記試料の電子顕微
鏡像を生成する手段と、前記電子線による前記試料の照
射部分を元素分析する元素分析装置とを含む分析電子顕
微鏡であって、前記試料の複数の分析点の位置情報を記
憶する手段を備え、その記憶された位置情報の読み出
し、その読み出された位置情報にもとづく、前記電子線
によって照射される分析点の位置の設定、及びその照射
される分析点の前記元素分析装置による元素分析を前記
複数の分析点について予め定められた順序で自動的に実
行するように構成したことを特徴とする分析電子顕微
鏡。
【請求項２】電子線を発生させる手段と、前記試料を前
記発生された電子線で照射する手段と、その照射によっ
て前記試料を透過する電子線を拡大して前記試料の電子
顕微鏡像を生成する手段と、前記電子線による前記試料
の照射部分を元素分析する元素分析装置とを含む分析電
子顕微鏡であって、前記試料の複数の分析点の位置情報
及びその分析点を照射すべき前記電子線のサイズ情報を
記憶する手段を備え、その記憶された位置情報及びサイ
ズ情報の読み出し、その読み出された位置情報及びサイ
ズ情報にもとづく、前記電子線によって照射される分析
点の位置及びその電子線のサイズの設定、並びにその照
射される分析点の前記元素分析装置による元素分析を、
前記複数の分析点について予め定められた順序で自動的
に実行するように構成したことを特徴とする分析電子顕
微鏡。
【請求項３】電子線を発生させる手段と、試料を前記発
生された電子線で照射する手段と、その照射によって前
記試料を透過する電子線を拡大して前記試料の電子顕微
鏡像を生成する手段と、前記電子線による前記試料の照
射部分を元素分析する元素分析装置とを含む分析電子顕
微鏡であって、前記試料の複数の分析点の位置情報及び
その分析点を照射すべき前記電子線のサイズ情報を記憶
する手段と、その記憶された位置情報及びサイズ情報の
読み出し、その読み出された位置情報及びサイズ情報に
もとづく、前記電子線によって照射される分析点の位置
及びその電子線のサイズの設定、その照射される分析点
の前記元素分析装置による元素分析、並びにその元素分
析結果の保存を、前記複数の分析点について予め定めら
れた順序で自動的に実行するように構成したことを特徴
とする分析電子顕微鏡。
【請求項４】電子線を発生させる手段と、試料を前記発
生された電子線で照射する手段と、その照射によって前
記試料を透過する電子線を拡大して前記試料の電子顕微
鏡像を生成する手段と、前記電子線による前記試料の照
射部分を元素分析する元素分析装置とを含む分析電子顕
微鏡であって、前記試料の３以上の複数の分析点が予め
定められた順序で前記元素分析装置を用いて自動的に元
素分析されるように構成され、かつ前記複数の分析点の
うちの第１及び第２の分析点については、その位置情報
が予め記憶装置に記憶され、その記憶された位置情報に
もとづいてその位置が自動的に設定された上で前記元素
分析が行われ、そして前記複数の分析点のうちの残りの
分析点については、その位置が前記第１及び第２の分析
点の位置情報にもとづいて自動的に算出され、その算出
された位置情報にもとづいて前記残りの分析点の位置が
自動的に設定された上で前記元素分析が行われるように
構成したことを特徴とする分析電子顕微鏡。
【請求項５】電子線を発生させる手段と、試料を前記発
生された電子線で照射する手段と、その照射によって前
記試料を透過する電子線を拡大して前記試料の電子顕微
鏡像を生成する手段と、前記電子線による前記試料の照
射部分を元素分析する元素分析装置とを含む分析電子顕
微鏡であって、前記試料の３以上の複数の分析点が予め
定められた順序で前記元素分析装置を用いて自動的に元
素分析されるように構成され、かつ前記複数の分析点の
うちの第１及び第２の分析点についてはその位置情報及
びその分析点を照射すべき電子線のサイズ情報が予め記
憶装置に記憶され、その記憶された位置情報及びサイズ
情報にもとづいて前記第１及び第２の分析点の位置及び
その第１及び第２の分析点を照射する電子線のサイズが
自動的に設定された上で前記元素分析が行われ、前記複
数の分析点のうちの残りの分析点についてはその位置が
前記第１及び第２の分析点の位置情報にもとづいて自動
的に算出され、その算出された位置情報にもとづく前記
残りの分析点の位置及び前記記憶されたサイズ情報にも
とづく前記残りの位置を照射すべき電子線のサイズが自
動的に設定された上で前記元素分析が行われるように構
成したことを特徴とする分析電子顕微鏡。
【請求項６】電子線を発生させる手段と、試料を前記発
生された電子線で照射する手段と、その照射によって前
記試料を透過する電子線を拡大して前記試料の電子顕微
鏡像を生成する手段と、前記電子線による前記試料の照
射部分を元素分析する元素分析装置とを含む分析電子顕
微鏡であって、前記試料の３以上の複数の分析点が予め
定められた順序で前記元素分析装置を用いて自動的に元
素分析され、保存されるように構成され、かつ前記複数
の分析点のうちの第１及び第２の分析点についてはその
位置情報及びその分析点を照射すべき電子線のサイズ情
報が予め記憶装置に記憶され、その記憶された位置情報
及びサイズ情報にもとづいて前記第１及び第２の分析点
の位置及びその第１及び第２の分析点を照射する電子線
のサイズが自動的に設定された上で前記元素分析が行わ
れ、前記複数の分析点のうちの残りの分析点については
その位置が前記第１及び第２の分析点の位置情報にもと
づいて自動的に算出され、その算出された位置情報にも
とづく前記残りの分析点の位置及び前記記憶されたサイ
ズ情報にもとづく前記残りの分析点の位置を照射すべき
電子線のサイズが自動的に設定された上で前記元素分析
が行われるように構成したことを特徴とする分析電子顕
微鏡。
【請求項７】前記複数の分析点は前記第１及び第２の分
析点を結ぶ直線上にあることを特徴とする請求項４〜６
のいずれかに記載された分析電子顕微鏡。
【請求項８】前記複数の分析点の隣り合うものの間隔は
前記第１及び第２の分析点の間隔に等しいことを特徴と
する請求項７に記載された分析電子顕微鏡。
【請求項９】前記複数の分析点のうちの前記第１の分析
点以外の分析点はその第１の分析点を中心とし、前記第
１及び第２の分析点間の間隔を半径とする円上にあるこ
とを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載された分
析医電子顕微鏡。
【請求項１０】前記円上にある分析点は等間隔であるこ
とを特徴とする請求項８に記載された分析電子顕微鏡。
【請求項１１】前記第１の分析点は前記試料の分析希望
中心部にあることを特徴とする請求項４〜７のいずれか
に記載された分析電子顕微鏡。
【請求項１２】前記電子顕微鏡像を撮像する手段と、そ
の電子顕微鏡像を記憶する手段と、その電子顕微鏡像を
表示する手段とを備え、前記撮像手段は少なくとも前記
元素分析装置による分析の開始と終わりにおいて自動的
に作動されるようにしたことを特徴とする請求項１〜１
１のいずれかに記載された分析電子顕微鏡。
【請求項１３】前記複数の分析点の位置、その位置の識
別デ−タ及びその位置を照射する電子線のサイズ情報を
前記電子顕微鏡像と共に前記表示手段に表示するように
したことを特徴とする請求項１２に記載された分析電子
顕微鏡。
【請求項１４】前記元素分析装置による前記複数の分析
点ごとの元素分析結果をその複数の分析点ごとにその分
析点間の距離がわかるように前記分析位置デ−タと共に
表示し、記憶するようにしたことを特徴とする請求項１
３に記載された分析電子顕微鏡。
【請求項１５】前記分析結果は元素の含有量に関連した
ものであることを特徴とする請求項１４に記載された分
析電子顕微鏡。