JP2008181786A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の荷電粒子線装置によると、対物レンズと試料の間に、荷電粒子線の軌道上に電場を生成する静電レンズが設けられている。静電レンズは、複数の電極に分割され、各電極には独立に電圧を印加することができる。この電圧を調整することにより、対物レンズの非点収差補正、軸外収差補正、及び、焦点ずれ補正のいずれかを行う。
【選択図】図1
Description
V2=v2 + Vst2
V3=v3 -Vst3
V4=v4 -Vst4
V5=v5 + Vst5 ・・・ 式(1)
V6=v6 + Vst6
V7=v7 -Vst7
V8=v8 -Vst8
V2=v2 + Vax2
V3=v3 + Vax3
V4=v4 + kVax4
V5=v5 -kVax5 ・・・ 式(2)
V6=v6 -Vax6
V7=v7 -Vax7
V8=v8 -kVax8
V2=v2 + Vf
V3=v3 + Vf
V4=v4 + Vf
V5=v5 + Vf ・・・ 式(3)
V6=v6 + Vf
V7=v7 + Vf
V8=v8 + Vf
V2=v2 + ΔV2
V3=v3 + ΔV3
V4=v4 + ΔV4
V5=v5 + ΔV5 ・・・ 式(4)
V6=v6 + ΔV6
V7=v7 + ΔV7
V8=v8 + ΔV8
ΔV2= + Vst2 + Vax2 + Vf
ΔV3= -Vst3 +Vax3 + Vf)
ΔV4= -Vst4 + kVax4 + Vf
ΔV5= + Vst5 -kVax5 + Vf ・・・ 式(5)
ΔV6= + Vst6 -Vax6 + Vf
ΔV7= -Vst7 -Vax7 + Vf
ΔV8= -Vst8 -kVax8 + Vf
先ず、レビューウィンドウについて説明する。レビューウィンドウは、レビュー条件を表示するInformation部位(501)と、欠陥レビュー作業の進捗、動作速度、残時間を表示するADR(AutoDefect Review) Progress部位およびADR Throughput部位(502)と、欠陥アライメントの為の低倍画像と、特許文献3の光学系で得られた各画像を表示するImage Display部位(503)と、欠陥分類毎の数量を表示するUserclass Histogram部位(504)と、図5のステップS411、及び、ステップS412の関数表示ウィンドウであるBeam Parameter部位(506)を含む。
Claims (20)
- 荷電粒子線を試料上に照射する照射レンズと、荷電粒子線を走査するための偏向レンズと、試料から生じた二次粒子および反射粒子を検出する検出器と、荷電粒子線を収束する対物レンズと、荷電粒子線の軌道上に電場を生成する静電レンズと、を備え、前記静電レンズは、複数の電極を含み、前記複数の電極への印加電圧は各々独立に制御されるように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1の荷電粒子線装置において、前記静電レンズは、前記対物レンズの磁極によって構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1の荷電粒子線装置において、前記印加電圧の値を調整することにより、前記荷電粒子線の軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つを補正することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1の荷電粒子線装置において、前記印加電圧は初期電圧と補正量の和として表され、該補正量を増減させることにより前記印加電圧が調整されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1の荷電粒子線装置において、前記印加電圧の値と前記荷電粒子線の軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの間の関数を記憶する記憶装置を設け、試料の撮像条件が与えられたとき、前記記憶装置に記憶された関数から、前記荷電粒子線の軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つが最小となるように、前記複数の電極への印加電圧を得ることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項5の荷電粒子線装置において、試料の像を表示する表示装置が設けられ、該表示装置には、撮像条件を入力するフィールドと、該撮像条件において上記関数のグラフを表示するフィールドを有する画面が表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項5の荷電粒子線装置において、前記表示装置に表示された画面には、前記荷電粒子線の軸外収差、非点収差、又は、焦点ずれを最小化するために前記印加電圧の値を変化させるためのボタン又はスライドバーが表示されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 電子線を試料上に照射する照射レンズと、電子線を走査するための偏向レンズと、試料から生じた二次電子および反射電子を検出する検出器と、電子線を収束する対物レンズと、前記対物レンズと試料の間に配置され電子線の軌道上に電場を生成する静電レンズと、前記試料の像を表示する表示装置と、オペレータからの命令を入力する入力装置と、前記レンズを制御するデータを記憶する記憶装置と、前記レンズの電圧を調整する制御装置と、を備え、前記静電レンズは複数の電極を含み、前記制御装置は、前記複数の電極の各々への印加電圧の値を調整することにより、軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つを補正することを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項8の走査電子顕微鏡装置において、前記静電レンズは、前記対物レンズの磁極によって構成されていることを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項8の走査電子顕微鏡装置において、前記印加電圧は初期電圧と補正量の和として表され、該補正量を増減させることにより前記印加電圧が調整されることを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項8の走査電子顕微鏡装置において、前記記憶装置には、前記印加電圧の値と前記荷電粒子線の軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの間の関数が記憶されており、前記入力装置を介して撮像条件が与えられたとき、前記制御装置は、前記記憶装置に記憶された関数から前記荷電粒子線の軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つが最小となるように前記複数の電極への印加電圧の値を読出すことを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項8の走査電子顕微鏡装置において、前記制御装置は、前記複数の電極への印加電圧の値を変化させたとき、前記試料の像から軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つを検出することによって、前記複数の電極への印加電圧の値と、前記軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つの間の関係を表す関数を導き出し、それを前記記憶装置に格納することを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項12の走査電子顕微鏡装置において、前記制御装置は、画像処理によって、前記試料の像から軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つを検出することを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項8の走査電子顕微鏡装置において、前記表示装置は、試料の像と共に、軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つと、前記複数の電極への印加電圧の値とを表示する画面を表示することを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項14の走査電子顕微鏡装置において、前記表示装置に表示される画面は、軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれを調整するためのタブ形式のウィンドウを有し、オペレータは、軸外収差を補正する場合には、軸外収差補正用のウィンドウ、非点収差を補正する場合には、非点収差補正用のウィンドウ、焦点ずれを補正する場合には、焦点ずれ補正用のウィンドウを選択することができるように構成されていることを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 請求項15の走査電子顕微鏡装置において、前記各ウィンドウには、補正用のボタン又はバーが表示され、オペレータが該ボタン又はバーを操作することによって、前記複数の電極への印加電圧の値が調整されることを特徴とする走査電子顕微鏡装置。
- 照射レンズによって電子線を試料上に照射するステップと、偏向レンズによって電子線を走査するステップと、試料から生じた二次電子および反射電子を検出するステップと、対物レンズによって電子線を収束するステップと、前記対物レンズと試料の間に配置された複数の電極を含む静電レンズによって電子線の軌道上に電場を生成するステップと、前記静電レンズの複数の電極への印加電圧の各々を独立に制御することによって、荷電粒子線の軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの少なくとも1つを補正するステップと、を含むことを特徴とする走査電子顕微鏡装置の制御方法。
- 請求項17に記載の走査電子顕微鏡装置の制御方法において、前記静電レンズは、前記対物レンズの磁極によって構成されていることを特徴とする走査電子顕微鏡装置の制御方法。
- 請求項17に記載の走査電子顕微鏡装置の制御方法において、前記複数の電極への印加電圧の値と前記軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれの間の関係を表す関数を求めるステップと、を有し、前記補正するステップは、撮像条件が与えられたとき、前記関数より前記静電レンズの複数の電極への印加電圧の値を求めることを特徴とする走査電子顕微鏡装置の制御方法。
- 請求項17に記載の走査電子顕微鏡装置の制御方法において、表示装置に、軸外収差、非点収差、及び、焦点ずれを調整するためのタブ形式のウィンドウを有する画面を表示するステップと、を有し、オペレータは、軸外収差を補正する場合には、軸外収差補正用のウィンドウ、非点収差を補正する場合には、非点収差補正用のウィンドウ、焦点ずれを補正する場合には、焦点ずれ補正用のウィンドウを選択することができるように構成されていることを特徴とする走査電子顕微鏡装置の制御方法。
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