JP2017208285A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1−1)装置構成
図1に、TEMの構成例を示す。電子銃1から放出されて加速された電子線は、照射系レンズ2によって収束された後、第1偏向コイル3及び第2偏向コイル4によって偏向される。更に、電子線は、対物レンズ(前磁場)5によって試料台7に装着された試料6に結像される。電子線発生装置12は、電子銃1に与える電圧を調整して電子線のエネルギーを制御する。電子線を試料6に照射する電子線照射系は、破線で囲んで示す装置本体の内部に収納される。装置本体の内部は、真空排気ポンプ16によって真空に保たれる。
(a)処理の概要
電流軸中心の調整時、オペレータは、操作パネルの操作を通じて中央演算ユニット17aにアクセスし、該当するプログラムの実行を指示する。中央演算ユニット17aは、電子線調整装置13を制御し、対物レンズ5の電流値を正負の方向にわずかに変化させ続ける。対物レンズ5の電流値の変化により、蛍光板11に表示される蛍光板画像又はカメラ10で観察された試料透過像は回転され、同時に拡大又は縮小される。
図3に、電流軸中心調整時において、中央演算ユニット17aが実行する画像処理プログラムの処理手順例を示す。画像処理プログラムは、画像メモリ17d(又は17e)に保管された画像信号を処理対象とし、インターフェース画面19及び調整情報表示画面23に表示する情報の計算などを実行する。
前述したように、本実施例におけるTEM(図1)は、オペレータによる電磁的軸調整作業に際し、手動調整の前後で生じた変化や調整作業をサポートする各種の情報を計算してインターフェース画面19及び調整情報表示画面23に表示する。従って、オペレータは、適切な調整手順や調整量を参照して軸調整作業を行うことができ、調整精度と調整時間差のバラツキを共に低減できる。
(2−1)装置構成
本実施例においても、図1に示す構成のTEMを使用する。本実施例では、オペレータが、TEMの電圧軸中心を調整する場合の動作を説明する。
電圧軸中心の調整時も、オペレータは、操作パネルの操作を通じて中央演算ユニット17aにアクセスし、該当するプログラムの実行を指示する。中央演算ユニット17aは、電子線発生装置12を制御し、電子銃1に印加する電圧を正負の方向に交互に変化させ続ける。電子銃1に印加される電圧値が変化すると、蛍光板11に表示される蛍光板画像又はカメラ10で観察された試料透過像が対物レンズ5の電流値変化に合わせて拡大され又は縮小される。
前述したように、本実施例におけるTEM(図1)は、オペレータによる電磁的軸調整作業に際し、調整前後で生じた変化や調整作業をサポートする各種の情報を計算してインターフェース画面31及び調整情報表示画面35に表示する。従って、オペレータは、適切な調整手順や調整量を参照して軸調整作業を行うことができ、調整精度と調整時間差のバラツキを共に低減できる。
(3−1)装置構成
本実施例においても、図1に示す構成のTEMを使用する。本実施例では、オペレータが、TEMのビーム偏向支点を調整する場合の動作を説明する。
TEMの電子ビームを傾斜させるための偏向支点の調整時も、オペレータは、操作パネルの操作を通じて中央演算ユニット17aにアクセスし、該当するプログラムの実行を指示する。中央演算ユニット17aは、電子線調整装置13を制御して照射系レンズ2の電流値を変化させ、電子線が蛍光板11上でスポットとなるように調整する。その後、オペレータは、操作パネルを操作して中央演算ユニット17aにアクセスし、カメラ制御プログラムの実行を指示する。カメラ制御プログラムを実行した中央演算ユニット17aは、蛍光板11をカメラ9で撮影して、画像メモリ17d(又は17e)に保存する。
前述したように、本実施例におけるTEM(図1)は、オペレータによる電磁的軸調整作業に際し、調整前後で生じた変化や調整作業をサポートする各種の情報を計算してインターフェース画面51及び調整情報表示画面56に表示する。従って、オペレータは、適切な調整手順や調整量を参照して軸調整作業を行うことができ、調整精度と調整時間差のバラツキを共に低減できる。
(4−1)装置構成
本実施例においても、図1に示す構成のTEMを使用する。本実施例では、オペレータが、TEMのフォーカスを調整する場合の動作を説明する。
フォーカスの調整時も、オペレータは、操作パネル等の操作を通じて中央演算ユニット17aに対応するプログラムの実行を指示する。プログラムを実行した中央演算ユニット17aは、カメラ9で撮影された蛍光板画像を画像メモリ17d(又は17e)に格納する。さらに、オペレータは、操作パネル等を通じて電子線調整装置13を制御し、偏向コイル3又は偏向コイル4の電流値を変化させる。
前述したように、本実施例におけるTEM(図1)は、オペレータによる電磁的軸調整作業に際し、調整前後で生じた変化や調整作業をサポートする各種の情報を計算してインターフェース画面71及び調整情報表示画面76に表示する。従って、オペレータは、適切な調整手順や調整量を参照して軸調整作業を行うことができ、調整精度と調整時間差のバラツキを共に低減できる。
上述したように、実施例1〜4に係る画像処理機能を有するTEMには、電流軸中心調整、電圧軸中心調整、ビーム偏向支点調整又はフォーカス調整のいずれかの調整時に、以下に示す機能が実行される。
(a)表示装置18上の観察画面に特徴的な図形の重心位置(中心位置を含む。)を表示する機能
(b)軸調整のために移動する方向と移動量を表示する機能
(c)調整手順、調整時の簡易光線図、調整対象名、調整時に操作する偏向コイル又は磁界レンズを模した擬似ツマミ、ツマミの調整方向、調整量(縦方向のpixel値単位の移動量、横方向のpixel値単位の移動量を含む。)を表示する機能
(d)調整の前後で像の回転があった場合には、その回転中心を表示する機能
本発明は、上述した実施例に限定されるものでなく、様々な変形例を含んでいる。例えば、上述した実施例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備える必要はない。また、ある実施例の一部を他の実施例の構成に置き換えることができる。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることもできる。また、各実施例の構成の一部について、他の実施例の構成の一部を追加、削除又は置換することもできる。なお、前述の各実施例では、荷電粒子線装置の一例としてTEMを例示しているが、本発明は、荷電粒子(例えば電子線)によって照射される試料6の表面領域から出力される信号電子(例えば2次電子、反射電子など)を検出する走査型電子顕微鏡(いわゆるSEM)の軸調整等にも適用することができる。
2…照射系レンズ
3…第1偏向コイル
4…第2偏向コイル
5…対物レンズ
6…試料
7…試料台
8…結像系レンズ
9…カメラ(蛍光板撮影用)
10…カメラ(透過像撮影用)
11…蛍光板
12…電子線発生装置
13…電子線調整装置
14…試料移動装置
15…蛍光板駆動装置
16…真空排気ポンプ
17…コンピュータ
17a…中央演算ユニット
17b…画像表示用メモリ
17c…入出力インターフェース
17d…画像メモリ
17e…画像メモリ
17f…プログラム格納メモリ
17g…データ保存用メモリ
Claims (15)
- 荷電粒子線の照射によって生じる試料の像を撮影する撮影装置と、
前記荷電粒子線を偏向させる偏向コイルと、
前記荷電粒子線を集束させる磁界レンズと、
前記偏向コイル及び前記磁界レンズを制御する制御装置と、
前記荷電粒子線の電磁的軸調整に関する情報を表示するインターフェース部と
を有する荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、電流軸中心調整、電圧軸中心調整、ビーム偏向支点調整及びフォーカス調整に関する情報のうち少なくとも1つである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記撮影装置は、前記荷電粒子線によって照射される前記試料の表面像を撮影する撮影装置、前記試料を透過した前記荷電粒子線が蛍光板に形成する像を撮影する撮影装置、前記試料を通過した前記荷電粒子線の像を直接撮影する撮影装置のうちのいずれか1つ又は組み合わせである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整の前後で、同一の前記撮影装置を用いて取得された2枚の画像間の回転量である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整の前後で、同一の前記撮影装置を用いて取得された2枚の画像間で共通する特徴的な図形の縦方向と横方向の移動量のピクセル値である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載の荷電粒子線装置において、
前記ピクセル値は、特徴的な図形の画面上での長さである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整の前後で、同一の前記撮影装置を用いて取得された2枚の画像間で共通する特徴的な図形の中心位置又は重心位置を表示する記号である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整の前後で、同一の前記撮影装置を用いて取得された2枚の画像間のフォーカス量を表示する図形である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整手順である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整時の光線図である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整時に変化させる前記偏向コイル及び前記磁界レンズの両方又は一方の名称である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整時に変化させる前記偏向コイル及び前記磁界レンズの両方又は一方を擬したツマミである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整時に変化させる前記偏向コイル及び前記磁界レンズの両方又は一方に対応するツマミの回転方向である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電磁的軸調整に関する情報は、調整時に変化させる前記偏向コイル及び前記磁界レンズの両方又は一方に対応する電流値若しくは電流値に相当する値である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置に加えて、
前記インターフェース部は、前記電磁的軸調整に関する情報をリアルタイムに更新する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
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