JP5945159B2 - 荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 Download PDFInfo
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荷電粒子ビームを第1方向に偏向させる第1アライメントコイル、および前記荷電粒子ビームを前記第1方向と交差する第2方向に偏向させる第2アライメントコイルによって前記荷電粒子ビームの軸を調整し、前記荷電粒子ビームを試料に照射して、試料から発生した信号を検出し画像データを取得する荷電粒子ビーム装置における荷電粒子ビームの軸合わせ方法であって、
前記試料上における前記荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、前記第1アライメントコイルの励磁電流、および前記第2アライメントコイルの励磁電流の条件を変えて、前記画像データの組を複数取得する画像データ取得工程と、
前記画像データ取得工程において前記焦点位置を変えて取得した前記画像データの組の各々について、前記焦点位置の変化による像の回転に基づく像の回転中心の位置と、像の視野中心の位置と、を結ぶ回転中心位置ベクトルを算出する第1演算工程と、
前記第1演算工程で算出された前記回転中心位置ベクトルから、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する第2演算工程と、
を含み、
前記画像データ取得工程では、前記画像データの組である第1〜第3組を取得し、
前記第1組は、
前記焦点位置が第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第1位置と異なる第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、の組であり、
前記画像データ取得工程では、さらに、前記画像データの組である第4組および第5組
を取得し、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第4組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第5組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組である。
前記第1演算工程では、
前記第1組から、第1回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2組から、第2回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第3組から、第3回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第4組から、第4回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第5組から、第5回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2回転中心位置ベクトルの大きさと前記第3回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第3回転中心位置ベクトルの大きさと前記第4回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第4回転中心位置ベクトルの大きさと前記第5回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第5回転中心位置ベクトルの大きさと前記第2回転中心位置ベクトルの大きさの和に基づいて、前記第1〜第5回転中心位置ベクトルを選択し、
前記第2演算工程では、選択された前記第1〜第5回転中心位置ベクトルに基づいて、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出してもよい。
前記画像データ取得工程、前記第1演算工程、および前記第2演算工程を行った後に、前記第1電流値および前記第2電流値の少なくとも一方の値を変えて、前記画像データ取得工程、前記第1演算工程、および前記第2演算工程を行ってもよい。
荷電粒子ビームを第1方向に偏向させる第1アライメントコイル、および前記荷電粒子ビームを前記第1方向と交差する第2方向に偏向させる第2アライメントコイルによって前記荷電粒子ビームの軸を調整し、前記荷電粒子ビームを試料に照射して、試料から発生した信号を検出し画像データを取得する荷電粒子ビーム装置であって、
前記試料上における前記荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、前記第1アライメントコイルの励磁電流、および前記第2アライメントコイルの励磁電流の条件を変えて、前記画像データの組を複数取得する画像データ取得手段と、
前記画像データ取得手段により前記焦点位置を変えて取得された前記画像データの組の各々について、前記焦点位置の変化による像の回転に基づく像の回転中心の位置と、像の視野中心の位置と、を結ぶ回転中心位置ベクトルを算出する第1演算手段と、
前記第1演算手段が算出した前記回転中心位置ベクトルから、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する第2演算手段と、
を含み、
前記画像データ取得手段は、前記画像データの組である第1〜第3組を取得し、
前記第1組は、
前記焦点位置が第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第1位置と異なる第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイ
ルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、の組であり、
前記画像データ取得手段は、さらに、前記画像データの組である第4組および第5組を取得し、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第4組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第5組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組である。
前記第1演算手段は、
前記第1組から、第1回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2組から、第2回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第3組から、第3回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第4組から、第4回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第5組から、第5回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2回転中心位置ベクトルの大きさと前記第3回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第3回転中心位置ベクトルの大きさと前記第4回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第4回転中心位置ベクトルの大きさと前記第5回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第5回転中心位置ベクトルの大きさと前記第2回転中心位置ベクトルの大きさの和に基づいて、前記第1〜第5回転中心位置ベクトルを選択し、
前記第2演算手段は、選択された前記第1〜第5回転中心位置ベクトルに基づいて、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出してもよい。
1.1. 荷電粒子ビーム装置の構成
まず、第1実施形態に係る荷電粒子ビーム装置100の構成について説明する。図1は、本実施形態に係る荷電粒子ビーム装置100の構成を説明するための図である。ここでは、荷電粒子ビーム装置100が走査型電子顕微鏡(SEM)である場合について説明する。
次に、第1実施形態に係る荷電粒子ビーム装置100の動作について説明する。
次に、第2実施形態に係る荷電粒子ビーム装置における荷電粒子ビームの軸合わせ方法について説明する。なお、第2実施形態に係る荷電粒子ビーム装置は、上述した図1に示す荷電粒子ビーム装置100の構成と同様であり、その説明を省略する。
次に、第3実施形態に係る荷電粒子ビーム装置における荷電粒子ビームの軸合わせ方法について説明する。なお、第3実施形態に係る荷電粒子ビーム装置は、上述した図1に示す荷電粒子ビーム装置100の構成と同様であり、その説明を省略する。図11は、第3実施形態に係る荷電粒子ビームの軸合わせ工程のフローチャートである。なお、上述した第1実施形態に係る荷電粒子ビーム装置100の動作の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
次に、第4実施形態に係る荷電粒子ビーム装置における荷電粒子ビームの軸合わせ方法について説明する。
Claims (5)
- 荷電粒子ビームを第1方向に偏向させる第1アライメントコイル、および前記荷電粒子ビームを前記第1方向と交差する第2方向に偏向させる第2アライメントコイルによって前記荷電粒子ビームの軸を調整し、前記荷電粒子ビームを試料に照射して、試料から発生した信号を検出し画像データを取得する荷電粒子ビーム装置における荷電粒子ビームの軸合わせ方法であって、
前記試料上における前記荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、前記第1アライメントコイルの励磁電流、および前記第2アライメントコイルの励磁電流の条件を変えて、前記画像データの組を複数取得する画像データ取得工程と、
前記画像データ取得工程において前記焦点位置を変えて取得した前記画像データの組の各々について、前記焦点位置の変化による像の回転に基づく像の回転中心の位置と、像の視野中心の位置と、を結ぶ回転中心位置ベクトルを算出する第1演算工程と、
前記第1演算工程で算出された前記回転中心位置ベクトルから、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する第2演算工程と、
を含み、
前記画像データ取得工程では、前記画像データの組である第1〜第3組を取得し、
前記第1組は、
前記焦点位置が第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第1位置と異なる第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記
第1電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、の組であり、
前記画像データ取得工程では、さらに、前記画像データの組である第4組および第5組を取得し、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第4組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第5組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組である、荷電粒子ビームの軸合わせ方法。 - 請求項1において、
前記第1演算工程では、
前記第1組から、第1回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2組から、第2回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第3組から、第3回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第4組から、第4回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第5組から、第5回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2回転中心位置ベクトルの大きさと前記第3回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第3回転中心位置ベクトルの大きさと前記第4回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第4回転中心位置ベクトルの大きさと前記第5回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第5回転中心位置ベクトルの大きさと前記第2回転中心位置ベクトルの大きさの和に基づいて、前記第1〜第5回転中心位置ベクトルを選択し、
前記第2演算工程では、選択された前記第1〜第5回転中心位置ベクトルに基づいて、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する、荷電粒子ビームの軸合わせ方法。 - 請求項1または2において、
前記画像データ取得工程、前記第1演算工程、および前記第2演算工程を行った後に、前記第1電流値および前記第2電流値の少なくとも一方の値を変えて、前記画像データ取得工程、前記第1演算工程、および前記第2演算工程を行う、荷電粒子ビームの軸合わせ方法。 - 荷電粒子ビームを第1方向に偏向させる第1アライメントコイル、および前記荷電粒子ビームを前記第1方向と交差する第2方向に偏向させる第2アライメントコイルによって前記荷電粒子ビームの軸を調整し、前記荷電粒子ビームを試料に照射して、試料から発生した信号を検出し画像データを取得する荷電粒子ビーム装置であって、
前記試料上における前記荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、前記第1アライメントコイルの励磁電流、および前記第2アライメントコイルの励磁電流の条件を変えて、前記画像データの組を複数取得する画像データ取得手段と、
前記画像データ取得手段により前記焦点位置を変えて取得された前記画像データの組の各々について、前記焦点位置の変化による像の回転に基づく像の回転中心の位置と、像の視野中心の位置と、を結ぶ回転中心位置ベクトルを算出する第1演算手段と、
前記第1演算手段が算出した前記回転中心位置ベクトルから、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する第2演算手段と、
を含み、
前記画像データ取得手段は、前記画像データの組である第1〜第3組を取得し、
前記第1組は、
前記焦点位置が第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第1位置と異なる第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記
第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ変化させた電流値である前記画像データと、の組であり、
前記画像データ取得手段は、さらに、前記画像データの組である第4組および第5組を取得し、
前記第2組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第3組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ増加させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第4組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得された前記画像データと、の組であり、
前記第5組は、
前記焦点位置が前記第1位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、
前記焦点位置が前記第2位置にあり、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から前記第1変化電流値だけ減少させた電流値である条件で取得された前記画像データと、の組である、荷電粒子ビーム装置。 - 請求項4において、
前記第1演算手段は、
前記第1組から、第1回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2組から、第2回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第3組から、第3回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第4組から、第4回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第5組から、第5回転中心位置ベクトルを算出し、
前記第2回転中心位置ベクトルの大きさと前記第3回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第3回転中心位置ベクトルの大きさと前記第4回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第4回転中心位置ベクトルの大きさと前記第5回転中心位置ベクトルの大きさの和、前記第5回転中心位置ベクトルの大きさと前記第2回転中心位置ベクトルの大きさの和
に基づいて、前記第1〜第5回転中心位置ベクトルを選択し、
前記第2演算手段は、選択された前記第1〜第5回転中心位置ベクトルに基づいて、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する、荷電粒子ビーム装置。
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