JP2001210261A - 透過電子顕微鏡 - Google Patents
透過電子顕微鏡Info
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 19
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 19
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 15
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 11
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、電子顕微鏡の照射レンズ系と結像レ
ンズ系との軸調整を高精度に行うことを目的とするもの
である。 【解決手段】本発明では、画像データを複数の領域に分
割し、分割された領域ごとの移動量を求めることによ
り、画像データの移動量を検出して電流軸または電圧軸
中心を求めるようにした。このような構成によれば高信
頼で高精度な電流軸または電圧軸中心合わせが可能とな
る。
ンズ系との軸調整を高精度に行うことを目的とするもの
である。 【解決手段】本発明では、画像データを複数の領域に分
割し、分割された領域ごとの移動量を求めることによ
り、画像データの移動量を検出して電流軸または電圧軸
中心を求めるようにした。このような構成によれば高信
頼で高精度な電流軸または電圧軸中心合わせが可能とな
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡に係わ
り、特に、照射レンズ系と結像レンズ系との電流軸また
は電圧軸中心を高信頼と高精度で合わせるのに適した透
過電子顕微鏡に関するものである。
り、特に、照射レンズ系と結像レンズ系との電流軸また
は電圧軸中心を高信頼と高精度で合わせるのに適した透
過電子顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、照射レンズ系の光軸が結像レン
ズ系の光軸に対して傾いているときは、電流軸合わせま
たは電圧軸合わせとよばれる光軸調整が行われる。
ズ系の光軸に対して傾いているときは、電流軸合わせま
たは電圧軸合わせとよばれる光軸調整が行われる。
【０００３】電流軸合わせとは、対物レンズ電流を増減
させると拡大像がある位置（電流軸中心）を中心にして
円周方向に移動することを利用して行われるもので、対
物レンズ電流を周期的に変化させて前記電流軸中心をオ
ペレータが見出し、電流軸中心が視野の中心となるよう
に偏向器を調整する軸合わせ方法である。
させると拡大像がある位置（電流軸中心）を中心にして
円周方向に移動することを利用して行われるもので、対
物レンズ電流を周期的に変化させて前記電流軸中心をオ
ペレータが見出し、電流軸中心が視野の中心となるよう
に偏向器を調整する軸合わせ方法である。
【０００４】一方、電圧軸合わせとは、電子銃の加速電
圧を増減させると拡大像がある位置（電圧軸中心）を中
心にして放射方向に移動することを利用して行われるも
ので、加速電圧を周期的に変化させて前記電圧軸中心を
オペレータが見出し、電圧軸中心が視野の中心となるよ
うに偏向器を調整する軸合わせ方法である。
圧を増減させると拡大像がある位置（電圧軸中心）を中
心にして放射方向に移動することを利用して行われるも
ので、加速電圧を周期的に変化させて前記電圧軸中心を
オペレータが見出し、電圧軸中心が視野の中心となるよ
うに偏向器を調整する軸合わせ方法である。
【０００５】ところが、このような軸合わせでは、拡大
像の動きと共に拡大像がボケてしまうので、電流軸また
は電圧軸中心を正確に見出すことが困難であり、オペレ
ータに相当の熟練を要する。
像の動きと共に拡大像がボケてしまうので、電流軸また
は電圧軸中心を正確に見出すことが困難であり、オペレ
ータに相当の熟練を要する。
【０００６】そこで、このような問題点を解決するため
に、様々な自動化の技術が提案されている。例えば特開
平4−192244 号公報では、対物レンズ電流または加速電
圧を変動させる前の画像データと変動させた後の画像デ
ータとの差分を求める。次に画像メモリの各座標を入力
とし、差分を出力とする近似関数を求める。そして近似
関数の極小値を示す画像メモリの座標を電流軸または電
圧軸中心とし自動的に光軸を調整する技術が提案されて
いる。
に、様々な自動化の技術が提案されている。例えば特開
平4−192244 号公報では、対物レンズ電流または加速電
圧を変動させる前の画像データと変動させた後の画像デ
ータとの差分を求める。次に画像メモリの各座標を入力
とし、差分を出力とする近似関数を求める。そして近似
関数の極小値を示す画像メモリの座標を電流軸または電
圧軸中心とし自動的に光軸を調整する技術が提案されて
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】特開平4−192244 号公
報に記載された従来技術では、対物レンズ電流または加
速電圧を変動させる前の画像データと変動させた後の画
像データの変化量を差分により検出している。
報に記載された従来技術では、対物レンズ電流または加
速電圧を変動させる前の画像データと変動させた後の画
像データの変化量を差分により検出している。
【０００８】例えば、対物レンズ電流を変動させる前の
画像データが図１（ａ）、変動させた後の画像データが
図１（ｂ）の場合、差分の画像データは図１（ｃ）とな
る。図１（ｃ）から明らかなように電流軸中心付近での
画像データが０となるのみで、電流軸中心から離れるに
従い画像データは単に図１（ａ）と図１（ｂ）を合成し
たものとなる。ここで画像メモリの各座標を入力とし、
差分の画像データを出力とする近似関数を算出した場
合、近似関数は前記公報に記載されているように明確に
電流中心で最小，電流中心から離れるにしたがって増加
するようにはならない。従ってこのような画像データの
場合、高信頼で近似関数の極小値から電流中心を求める
ことは不可能となる。
画像データが図１（ａ）、変動させた後の画像データが
図１（ｂ）の場合、差分の画像データは図１（ｃ）とな
る。図１（ｃ）から明らかなように電流軸中心付近での
画像データが０となるのみで、電流軸中心から離れるに
従い画像データは単に図１（ａ）と図１（ｂ）を合成し
たものとなる。ここで画像メモリの各座標を入力とし、
差分の画像データを出力とする近似関数を算出した場
合、近似関数は前記公報に記載されているように明確に
電流中心で最小，電流中心から離れるにしたがって増加
するようにはならない。従ってこのような画像データの
場合、高信頼で近似関数の極小値から電流中心を求める
ことは不可能となる。
【０００９】本発明の目的は、画像の移動量を検出する
ことにより高信頼と高精度で電流軸または電圧軸中心合
わせが可能な電子顕微鏡を提供することにある。
ことにより高信頼と高精度で電流軸または電圧軸中心合
わせが可能な電子顕微鏡を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明では、第１に電子源と、当該電子源から
放出される電子線の焦点を調節するためのレンズと、前
記試料に照射される電子線の照射位置を変更するための
偏向器とを備えた透過電子顕微鏡において、前記試料を
透過した電子に基づいて試料像を形成する手段と、当該
手段で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を算出
する手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微鏡を提
供する。
ために、本発明では、第１に電子源と、当該電子源から
放出される電子線の焦点を調節するためのレンズと、前
記試料に照射される電子線の照射位置を変更するための
偏向器とを備えた透過電子顕微鏡において、前記試料を
透過した電子に基づいて試料像を形成する手段と、当該
手段で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を算出
する手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微鏡を提
供する。
【００１１】このような構成によれば、電流軸合わせを
行う際、試料像のどの部分を中心に像が回転しているか
を明確に特定することが可能になる。
行う際、試料像のどの部分を中心に像が回転しているか
を明確に特定することが可能になる。
【００１２】また、第２に電子源と、当該電子源から放
出される電子線の加速電圧を調節するための手段と、試
料に照射される電子線の照射位置を変更するための偏向
器とを備えた透過電子顕微鏡において、前記試料を透過
した電子に基づいて試料像を形成する手段と、当該手段
で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を算出する
手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微鏡を提供す
る。
出される電子線の加速電圧を調節するための手段と、試
料に照射される電子線の照射位置を変更するための偏向
器とを備えた透過電子顕微鏡において、前記試料を透過
した電子に基づいて試料像を形成する手段と、当該手段
で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を算出する
手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微鏡を提供す
る。
【００１３】このような構成によれば、電圧軸合わせを
行う際、試料像のどの部分を中心として、試料像が放射
状に移動するかを明確に特定することができる。
行う際、試料像のどの部分を中心として、試料像が放射
状に移動するかを明確に特定することができる。
【００１４】以下、本発明の詳細な構成について説明す
る。
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】図２は本発明の実施例の電子顕微
鏡の構成図である。ＣＰＵ１は加速電圧制御装置２，偏
向器制御装置３，結像レンズ制御装置４，撮像器制御装
置５，外部記憶装置６，相関演算装置７，画像メモリ８
ａ，画像メモリ８ｂ，モニタ９に接続される。電子顕微
鏡の電子銃１０から放出された電子線１１は照射レンズ
１２によって収束され、さらに偏向器１３で偏向されて
試料１４に照射される。試料１４を透過した電子線は結
像レンズ１５によって拡大され、蛍光板１６上に最終像
が結像される。結像された最終像は撮像器１７によって
撮像され、撮像器制御装置５を介し、画像データとして
画像メモリ８ａまたは画像メモリ８ｂに記録される。外
部記憶装置６には、電子顕微鏡の各種制御プログラム、
及び下記アルゴリズム等が記憶されている。
鏡の構成図である。ＣＰＵ１は加速電圧制御装置２，偏
向器制御装置３，結像レンズ制御装置４，撮像器制御装
置５，外部記憶装置６，相関演算装置７，画像メモリ８
ａ，画像メモリ８ｂ，モニタ９に接続される。電子顕微
鏡の電子銃１０から放出された電子線１１は照射レンズ
１２によって収束され、さらに偏向器１３で偏向されて
試料１４に照射される。試料１４を透過した電子線は結
像レンズ１５によって拡大され、蛍光板１６上に最終像
が結像される。結像された最終像は撮像器１７によって
撮像され、撮像器制御装置５を介し、画像データとして
画像メモリ８ａまたは画像メモリ８ｂに記録される。外
部記憶装置６には、電子顕微鏡の各種制御プログラム、
及び下記アルゴリズム等が記憶されている。
【００１６】また、図２に示す透過電子顕微鏡鏡体に
は、図示しない対物レンズが組み込まれている。対物レ
ンズも他のレンズと同様に、ＣＰＵ１に接続されてい
る。当該対物レンズは、理想的には電磁レンズで構成さ
れ、励磁電流を制御することで焦点を調節することが可
能である。
は、図示しない対物レンズが組み込まれている。対物レ
ンズも他のレンズと同様に、ＣＰＵ１に接続されてい
る。当該対物レンズは、理想的には電磁レンズで構成さ
れ、励磁電流を制御することで焦点を調節することが可
能である。
【００１７】本発明による軸合わせについて、電流軸合
わせを例にして図２に示す電子顕微鏡の構成図、図３に
示す第一の実施例のフローチャート、図４乃至図１５に
示す表示の実施例及び説明図を用いて第一の実施例を説
明する。
わせを例にして図２に示す電子顕微鏡の構成図、図３に
示す第一の実施例のフローチャート、図４乃至図１５に
示す表示の実施例及び説明図を用いて第一の実施例を説
明する。
【００１８】Ａ１で任意の対物レンズ電流における画像
データＡが画像メモリ８ａに格納される。
データＡが画像メモリ８ａに格納される。
【００１９】Ａ２で画像メモリ８ａに格納された画像デ
ータＡがモニタ９に表示される。（図４） Ａ３で対物レンズ電流が増減され、拡大像が電流軸中心
を中心にして、中心軸からの距離の２乗に比例して円周
方向に移動される。
ータＡがモニタ９に表示される。（図４） Ａ３で対物レンズ電流が増減され、拡大像が電流軸中心
を中心にして、中心軸からの距離の２乗に比例して円周
方向に移動される。
【００２０】Ａ４で移動された画像データＢが画像メモ
リ８ｂに格納される。（図５） Ａ５で対物レンズ電流が復帰される。
リ８ｂに格納される。（図５） Ａ５で対物レンズ電流が復帰される。
【００２１】Ａ６で画像データＡ，Ｂが複数の同一領域
Ａｉｊ，Ｂｉｊに分割される。（図６，図７） Ａ７でＣＰＵ１に制御された相関演算装置７によって各
分割領域Ａｉｊ，Ｂij間で相関演算が行われ、２つの画
像の移動量（ΔＸ，ΔＹ)ｉｊが求められる。Ａ８でモ
ニタ９に分割された各領域ごとに移動量が前記画像に重
ねてベクトル表示される。（図８） Ａ９で各領域ごとの移動量が√（ΔＸ×ΔＸ＋ΔＹ×Δ
Ｙ)ｉｊで表わされ、これをＣｉｊとして画像メモリの
座標との関係を表わす近似関数Ｃｉｊ＝Ｆ(ｉ,ｊ）が最
小二乗法等により求められる。画像データＢは電流軸中
心を中心にして、中心軸からの距離の２乗に比例して円
周方向に移動されているため、近似関数は放物面を表わ
したものとなる。（図９） Ａ１０で近似関数Ｆ（ｉ，ｊ）の最小値を与える座標が
求められ電流軸中心となる。
Ａｉｊ，Ｂｉｊに分割される。（図６，図７） Ａ７でＣＰＵ１に制御された相関演算装置７によって各
分割領域Ａｉｊ，Ｂij間で相関演算が行われ、２つの画
像の移動量（ΔＸ，ΔＹ)ｉｊが求められる。Ａ８でモ
ニタ９に分割された各領域ごとに移動量が前記画像に重
ねてベクトル表示される。（図８） Ａ９で各領域ごとの移動量が√（ΔＸ×ΔＸ＋ΔＹ×Δ
Ｙ)ｉｊで表わされ、これをＣｉｊとして画像メモリの
座標との関係を表わす近似関数Ｃｉｊ＝Ｆ(ｉ,ｊ）が最
小二乗法等により求められる。画像データＢは電流軸中
心を中心にして、中心軸からの距離の２乗に比例して円
周方向に移動されているため、近似関数は放物面を表わ
したものとなる。（図９） Ａ１０で近似関数Ｆ（ｉ，ｊ）の最小値を与える座標が
求められ電流軸中心となる。
【００２２】Ａ１１でモニタ９に求められた電流軸中心
位置が前記画像に重ねて表示され、さらに視野中心を原
点とした電流軸中心座標が表示される。（図１０） Ａ１２でオペレータの終了要求がない場合、Ａ１へ戻り
同様の処理が繰り返される。この状態でオペレータが偏
向器１３を調整すると電流軸中心表示は逐次更新されて
モニタ９に表示される。
位置が前記画像に重ねて表示され、さらに視野中心を原
点とした電流軸中心座標が表示される。（図１０） Ａ１２でオペレータの終了要求がない場合、Ａ１へ戻り
同様の処理が繰り返される。この状態でオペレータが偏
向器１３を調整すると電流軸中心表示は逐次更新されて
モニタ９に表示される。
【００２３】オペレータが電流軸を合わせるには、電流
軸中心が合っていない場合、電流軸中心は図１０に示す
ように視野の中心からずれて表示されるため、モニタ９
に表示されている電流軸中心を見ながら電流軸中心が視
野中心となるように偏向器１３を調整する。またはモニ
タ９に表示されている電流軸中心座標がＸ，Ｙともに０
となるように偏向器１３を調整する。電流軸中心が合っ
た状態での移動量表示を図１１，移動量近似関数を図１
２，電流軸中心表示を図１３に示す。
軸中心が合っていない場合、電流軸中心は図１０に示す
ように視野の中心からずれて表示されるため、モニタ９
に表示されている電流軸中心を見ながら電流軸中心が視
野中心となるように偏向器１３を調整する。またはモニ
タ９に表示されている電流軸中心座標がＸ，Ｙともに０
となるように偏向器１３を調整する。電流軸中心が合っ
た状態での移動量表示を図１１，移動量近似関数を図１
２，電流軸中心表示を図１３に示す。
【００２４】上記した第一の実施例では電流軸合わせを
例にして説明したが、電圧軸合わせの場合、画像データ
が放射方向に移動するため、分割領域の移動量が放射方
向になるのみで同様に適用することができる。電圧軸中
心が合っていない状態での電圧軸中心表示を図１４，偏
向器１３を調整し電圧軸中心が合った状態での電圧軸中
心表示を図１５に示す。
例にして説明したが、電圧軸合わせの場合、画像データ
が放射方向に移動するため、分割領域の移動量が放射方
向になるのみで同様に適用することができる。電圧軸中
心が合っていない状態での電圧軸中心表示を図１４，偏
向器１３を調整し電圧軸中心が合った状態での電圧軸中
心表示を図１５に示す。
【００２５】次に自動的に軸合わせを行う第二の実施例
を、電流軸合わせを例にして図２に示す電子顕微鏡の構
成図、図１６に示す第二の実施例のフローチャートを用
いて説明する。
を、電流軸合わせを例にして図２に示す電子顕微鏡の構
成図、図１６に示す第二の実施例のフローチャートを用
いて説明する。
【００２６】Ｂ１で任意の対物レンズ電流における画像
データＡが画像メモリ８ａに格納される。
データＡが画像メモリ８ａに格納される。
【００２７】Ｂ２で対物レンズ電流が増減され、拡大像
が電流軸中心を中心にして、中心軸からの距離の２乗に
比例して円周方向に移動される。
が電流軸中心を中心にして、中心軸からの距離の２乗に
比例して円周方向に移動される。
【００２８】Ｂ３で移動された画像データＢが画像メモ
リ８ｂに格納される。
リ８ｂに格納される。
【００２９】Ｂ４で対物レンズ電流が復帰される。
【００３０】Ｂ５で画像データＡ，Ｂが複数の同一領域
Ａｉｊ，Ｂｉｊに分割される。
Ａｉｊ，Ｂｉｊに分割される。
【００３１】Ｂ６でＣＰＵ１に制御された相関演算装置
７によって各分割領域Ａｉｊ，Ｂij間で相関演算が行わ
れ、２つの画像の移動量（ΔＸ，ΔＹ)ｉｊが求められ
る。Ｂ７で各領域ごとの移動量が√（ΔＸ×ΔＸ＋ΔＹ
×ΔＹ)ｉｊで表わされ、これをＣｉｊとして画像メモ
リの座標との関係を表わす近似関数Ｃｉｊ＝Ｆ(ｉ,ｊ）
が最小二乗法等により求められる。
７によって各分割領域Ａｉｊ，Ｂij間で相関演算が行わ
れ、２つの画像の移動量（ΔＸ，ΔＹ)ｉｊが求められ
る。Ｂ７で各領域ごとの移動量が√（ΔＸ×ΔＸ＋ΔＹ
×ΔＹ)ｉｊで表わされ、これをＣｉｊとして画像メモ
リの座標との関係を表わす近似関数Ｃｉｊ＝Ｆ(ｉ,ｊ）
が最小二乗法等により求められる。
【００３２】Ｂ８で近似関数Ｆ（ｉ，ｊ）の最小値を与
える座標が求められ電流軸中心となる。
える座標が求められ電流軸中心となる。
【００３３】Ｂ９で精度向上のため、Ｂ５に戻り、今度
は電流軸中心が存在する領域Ａｉｊ，Ｂｉｊの内部が同
様に分割されＢ６〜Ｂ８が実行される。
は電流軸中心が存在する領域Ａｉｊ，Ｂｉｊの内部が同
様に分割されＢ６〜Ｂ８が実行される。
【００３４】Ｂ１０で前記電流軸中心の座標と拡大像の
中心座標との差分Δｘ，Δｙが求められ、予め実験的に
求められている電流軸中心の移動量に対する偏向器１３
の制御量から、電流軸中心の座標が拡大像の中心座標と
なるための偏向器の制御量が求められる。
中心座標との差分Δｘ，Δｙが求められ、予め実験的に
求められている電流軸中心の移動量に対する偏向器１３
の制御量から、電流軸中心の座標が拡大像の中心座標と
なるための偏向器の制御量が求められる。
【００３５】Ｂ１１で前記制御量に基づいて偏向器１３
が制御され、電流軸合わせが実行される。
が制御され、電流軸合わせが実行される。
【００３６】上記した第二の実施例では電流軸合わせを
例にして説明したが、電圧軸合わせの場合、画像が放射
方向に移動するため、分割領域の移動量が放射方向にな
るのみで同様に適用することができる。
例にして説明したが、電圧軸合わせの場合、画像が放射
方向に移動するため、分割領域の移動量が放射方向にな
るのみで同様に適用することができる。
【００３７】また、上記した実施例では本発明を透過電
子顕微鏡を例にして説明したが、走査電子顕微鏡にも適
用することができる。
子顕微鏡を例にして説明したが、走査電子顕微鏡にも適
用することができる。
【００３８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、次のような効果が期待される。
によれば、次のような効果が期待される。
【００３９】（１）対物レンズ電流または加速電圧を変
動させる前の画像データと変動させた後の画像データの
変化量を複数領域ごとの移動量により検出しているた
め、高信頼な電流軸または電圧軸中心の検出が可能とな
る。
動させる前の画像データと変動させた後の画像データの
変化量を複数領域ごとの移動量により検出しているた
め、高信頼な電流軸または電圧軸中心の検出が可能とな
る。
【００４０】（２）対物レンズ電流または加速電圧を変
動させる前の画像データと変動させた後の画像データの
移動量が画像データに重ねてモニタに表示されるため、
オペレータは画像データの移動量を確認しながら電流軸
または電圧軸合わせを行うことができる。
動させる前の画像データと変動させた後の画像データの
移動量が画像データに重ねてモニタに表示されるため、
オペレータは画像データの移動量を確認しながら電流軸
または電圧軸合わせを行うことができる。
【００４１】（３）電流軸または電圧軸中心位置が画像
データに重ねてモニタに表示されるため、また電流軸ま
たは電圧軸中心座標がモニタにされるためオペレータが
容易に電流軸または電圧軸合わせを行うことができる。
データに重ねてモニタに表示されるため、また電流軸ま
たは電圧軸中心座標がモニタにされるためオペレータが
容易に電流軸または電圧軸合わせを行うことができる。
【００４２】（４）自動軸調整においては高信頼な電流
軸または電圧軸中心が検出されるため、高信頼な光軸調
整の自動化が行える。また検出された軸中心付近の画像
データの領域をさらに細かく分割することにより、より
高精度な光軸調整の自動化が行える。
軸または電圧軸中心が検出されるため、高信頼な光軸調
整の自動化が行える。また検出された軸中心付近の画像
データの領域をさらに細かく分割することにより、より
高精度な光軸調整の自動化が行える。
【図１】発明が解決しようとする課題の説明図。
【図２】実施例の電子顕微鏡の構成図。
【図３】第一の実施例のフローチャート。
【図４】本発明実施例の画像データを示す図（画像デー
タＡ表示）。
タＡ表示）。
【図５】本発明実施例の画像データを示す図（画像デー
タＢ）。
タＢ）。
【図６】本発明実施例の画像データを示す図（画像デー
タＡ分割）。
タＡ分割）。
【図７】本発明実施例の画像データを示す図（画像デー
タＢ分割）。
タＢ分割）。
【図８】移動量の表示を示す図。
【図９】移動量近似関数を表示した例を示す図。
【図１０】電流軸中心表示例を示す図。
【図１１】移動量の表示を示す図。
【図１２】移動量近似関数を表示した例を示す図。
【図１３】移動量の表示を示す図。
【図１４】電流軸中心表示例を示す図。
【図１５】電流軸中心表示例を示す図。
【図１６】第二の実施例のフローチャート。
１…ＣＰＵ、２…加速電圧制御装置、３…偏向器制御装
置、４…結像レンズ制御装置、５…撮像器制御装置、６
…外部記憶装置、７…相関演算装置、８ａ，８ｂ…画像
メモリ、９…モニタ、１０…電子銃、１１…電子線、１
２…照射レンズ、１３…偏向器、１４…試料、１５…結
像レンズ、１６…蛍光板、１７…撮像器。
置、４…結像レンズ制御装置、５…撮像器制御装置、６
…外部記憶装置、７…相関演算装置、８ａ，８ｂ…画像
メモリ、９…モニタ、１０…電子銃、１１…電子線、１
２…照射レンズ、１３…偏向器、１４…試料、１５…結
像レンズ、１６…蛍光板、１７…撮像器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 弘幸 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立製作所計測器グループ内 Ｆターム(参考） 5C030 AA08 AB01
Claims (12)
- 【請求項１】電子源と、当該電子源から放出される電子
線の焦点を調節するためのレンズと、前記試料に照射さ
れる電子線の照射位置を変更するための偏向器とを備え
た透過電子顕微鏡において、 前記試料を透過した電子に基づいて試料像を形成する手
段と、 当該手段で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を
算出する手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微
鏡。 - 【請求項２】請求項１において、 前記レンズによる収束条件が変動した場合での前記複数
領域の中で前記像の移動が少ない部分の位置情報を表示
する手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１において、 前記試料を透過した電子に基づいて画像データを形成す
る手段と、当該手段で形成された画像データを記憶する
画像メモリと、前記画像データの座標データと前記像の
移動量に基づいて近似関数を算出する手段とを備えたこ
とを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項４】電子源と、当該電子源から放出される電子
線の加速電圧を調節するための手段と、試料に照射され
る電子線の照射位置を変更するための偏向器とを備えた
透過電子顕微鏡において、 前記試料を透過した電子に基づいて試料像を形成する手
段と、 当該手段で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を
算出する手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微
鏡。 - 【請求項５】請求項４において、 前記電子線の加速電圧が変動した場合での前記複数領域
の中で前記像の移動が少ない部分の位置情報を表示する
手段を備えたことを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項６】請求項４において、 前記試料を透過した電子に基づいて画像データを形成す
る手段と、当該手段で形成された画像データを記憶する
画像メモリと、前記画像データの座標データと前記像の
移動量に基づいて近似関数を算出する手段とを備えたこ
とを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項７】電子源と、当該電子源から放出される電子
線の焦点を調節するためのレンズと、前記試料に照射さ
れる電子線の照射位置を変更するための偏向器とを備え
た透過電子顕微鏡において、 前記試料を透過した電子に基づいて試料像を形成する手
段と、 当該手段で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を
算出する手段と、 前記複数領域の中で前記像の移動量が少ない領域に前記
電子線を位置づけるよう前記偏向器を制御する手段を備
えたことを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項８】請求項７において、前記移動量を算出する
手段は、前記レンズの収束条件を変動させた際の像の移
動量を算出するものであることを特徴とする透過電子顕
微鏡。 - 【請求項９】請求項８において、前記移動量の算出と前
記偏向器の制御を、複数回行うことを特徴とする透過電
子顕微鏡。 - 【請求項１０】電子源と、当該電子源から放出される電
子線の加速電圧を調節するための手段と、前記試料に照
射される電子線の照射位置を変更するための偏向器とを
備えた透過電子顕微鏡において、 前記試料を透過した電子に基づいて試料像を形成する手
段と、 当該手段で得られた試料像の複数領域毎の像の移動量を
算出する手段と、 前記複数領域の中で前記像の移動量が少ない領域に前記
電子線を位置づけるよう前記偏向器を制御する手段を備
えたことを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項１１】請求項１０において、前記移動量を算出
する手段は、前記電子線の加速電圧を変動させた際の像
の移動量を算出するものであることを特徴とする透過電
子顕微鏡。 - 【請求項１２】請求項１１において、前記移動量の算出
と前記偏向器の制御を、複数回行うことを特徴とする透
過電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000017993A JP2001210261A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 透過電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000017993A JP2001210261A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 透過電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001210261A true JP2001210261A (ja) | 2001-08-03 |
Family
ID=18544902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000017993A Pending JP2001210261A (ja) | 2000-01-25 | 2000-01-25 | 透過電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001210261A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7307711B2 (en) | 2004-10-29 | 2007-12-11 | Hitachi Via Mechanics (Usa), Inc. | Fluorescence based laser alignment and testing of complex beam delivery systems and lenses |
| US7548323B2 (en) | 2004-10-29 | 2009-06-16 | Hitachi Via Mechanics, Ltd | Displacement and flatness measurements by use of a laser with diffractive optic beam shaping and a multiple point sensor array using the back reflection of an illuminating laser beam |
| JP2010198826A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Jeol Ltd | 透過型電子顕微鏡のアライメント装置 |
| JP2010212067A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の自動試料傾斜装置 |
| JP2013239343A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 |
| JP2020042957A (ja) * | 2018-09-10 | 2020-03-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の調整方法 |
-
2000
- 2000-01-25 JP JP2000017993A patent/JP2001210261A/ja active Pending
Cited By (7)
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| JP7114417B2 (ja) | 2018-09-10 | 2022-08-08 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の調整方法 |
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