JP2020053272A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 試料に照射される荷電粒子線を偏向する偏向器と、前記荷電粒子線を前記試料の上で集束させる対物レンズと、を備える荷電粒子線装置であって、
前記対物レンズの一部を含み、前記荷電粒子線の収差や焦点ずれを補正するための電圧が印加される静電レンズと、
前記偏向器と前記静電レンズとの間に設けられ、前記静電レンズに印加される電圧と同符号であって一定の電圧が印加される電場固定電極と、をさらに備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記電場固定電極が前記静電レンズの形状に沿うように配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記電場固定電極は前記荷電粒子線の照射方向に分割され、分割された各電極には独立に電圧が印加されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置であって、
分割された各電極は同じ内径を有し、前記試料に近づくにつれて高い電圧が印加されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記電場固定電極は前記荷電粒子線の照射方向を軸とする周方向に分割され、分割された各電極には独立に電圧が印加されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
前記試料と前記対物レンズとの距離を変更する距離変更部と、
前記試料と前記対物レンズとの間に設けられる試料側電極と、をさらに備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置であって、
前記試料側電極に印加される電圧は、前記距離に応じて調整されることを特徴とする荷電粒子線装置。
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