JP4825021B2 - レポートフォーマット設定方法、レポートフォーマット設定装置、及び欠陥レビューシステム - Google Patents

Description

本発明は、自由な設定が容易にできるレポートフォーマット設定方法、レポートフォーマット設定装置、及び欠陥レビューシステムに関する。特に、半導体欠陥レビュー装置のように、欠陥分布，各種欠陥画像，ＥＤＸ（Energy Dispersive X-ray：エネルギー分散型Ｘ線）スペクトル，欠陥分類結果，等といった多種多様な情報を、状況に応じて取捨選択しながら複数のフォーマットで出力することが望まれている装置に関するものである。

半導体製造において高い歩留りを確保するためには、製造工程で発生する欠陥を早期に発見して、対策を施すことが重要である。近年、半導体の微細化に伴い、その歩留りに影響を与える欠陥も多様化しており、対策検討に必要とされる情報も増加している。

半導体欠陥レビュー装置は、このような多様な情報を取得するための装置であり、ウェーハ上の欠陥分布（以下、ウェーハマップと称する）、各種電子顕微鏡画像（以下、ＳＥＭ（scanning electron microscope）画像と称する）、光学顕微鏡画像（以下、ＯＭ画像と称する）、ＥＤＸスペクトル画像（以下、ＥＤＸ結果と称する）、欠陥分類結果（以下、ＡＤＣ（Automatic Defect Classification）結果と称する。なお、本来、ＡＤＣは欠陥自動分類の意味であるが、ここではマニュアルでの分類結果も含めてＡＤＣ結果と表現する）、欠陥サイズ分布（以下、サイズ分布と称する）、等を出力することができる。

さらに、ＳＥＭ画像には、上方検出器画像（以下、Ｔｏｐ画像と称する）、左方検出器画像（以下、Ｌｅｆｔ画像と称する）、右方検出器画像（以下、Ｒｉｇｈｔ画像と称する）、傾斜画像（以下、Ｔｉｌｔ画像と称する）、等がある。他にも、対策検討に必要とされる情報として、各種ＳＥＭ画像の倍率や光学条件等を記載した付帯情報や、ユーザが必要な情報を記載したメモ情報、等がある。ユーザは、このような多種多様な情報の中から、必要な情報を取捨選択して欠陥の対策を検討する。

ところが、対策検討に有効な情報は対象欠陥により異なることが多い。例えば、複数欠陥のサムネイル画像一覧のように一覧性が有効な場合や、特定の欠陥に関する拡大ＳＥＭ画像やＥＤＸ結果等のような詳細情報が有効な場合がある。また、レポートのフォーマットは、会社により、あるいはユーザの担当業務により、さらには注目する欠陥の種類により異なる場合が多い。半導体欠陥レビュー装置、或いは半導体欠陥レビュー装置の出力情報を編集することができる装置において、装置固有の出力フォーマットがユーザ所望のフォーマットに近い場合には、比較的容易にレポートを作成することができる。ところが、フォーマットが大きく異なる場合には、市販のソフトウェアを利用する等してレポートを作成することになり、手間がかかる。このような煩雑な作業を緩和する方法として、特許文献１では、ＳＥＭ画像と付帯情報をレポートに出力する装置が、特許文献２では、レポートの出力フォーマットを基に計測条件を設定するシステムが開示されている。
特開平１１−９６３８４号公報 特開２００４−３１７３４３号公報

特許文献１は、測定画像データ、付随するテキストデータを組み合わせて測定画像文書を作成する測定画像文書作成装置に関するもので、ＳＥＭ画像と付帯情報をまとめたレポートの作成には有効な場合があるが、その組合せ以外の、例えば、ウェーハマップ，Ｔｏｐ画像，Ｌｅｆｔ画像，Ｒｉｇｈｔ画像，Ｔｉｌｔ画像，ＯＭ画像，ＥＤＸ結果，ＡＤＣ結果，サイズ分布，付帯情報，メモ情報，等を組合せたレポートの作成には有効ではない。また、ＳＥＭ画像と付帯情報の組み合せが可能であっても、そのフォーマットをユーザが自由に変更したい場合には対応できない。

特許文献２は、必要な図表等を得て、計測結果報告書を作成する計測システムに関するもので、出力フォーマットを基に計測条件を設定するシステムであるが、その出力フォーマットのフォーマット設定に関しては何も具体的に記載されていない。

本発明は、このような問題点を鑑みなされたものであって、ユーザがレポートのフォーマットを自由に設定でき、簡単に所望のフォーマットでレポートを作成できる方法及び装置を提供することを目的とする。

本発明は、レポートの構成モジュールをアイコンとして表現し、必要なアイコンをマウス等のポインタ機能で選択し、ドラッグ＆ドロップで所望の位置に配置し、マウス等のポインタ機能でアイコンのサイズを変更することで、自由なフォーマット設定を実現することを最も主要な特徴とする。

そのために、本発明のレポートフォーマット設定方法は、欠陥画像を取得する装置のレビュー結果を報告するレビューレポートのレポートフォーマット設定方法であって、レポート出力におけるレビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとレポート出力する媒体を表す出力フォーマット設定領域とを有する編集画面を生成する編集画面生成ステップ、ポインティングデバイスの操作に対応してアイコンを編集画面上で移動配置させるアイコン制御ステップ、出力フォーマット設定領域に配置されたアイコンの当該出力フォーマット設定領域上における所在に対応する媒体上の位置に、当該アイコンが表すレビュー結果の構成要素を配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集するフォーマット作成編集ステップ、を有し、フォーマット作成編集ステップでは、レビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとして、欠陥マップを表すアイコンと当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果を表すアイコンとが出力フォーマット設定領域上に配置された場合に、欠陥マップ上の欠陥位置と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応関係を表す表示指示を含むレポート出力フォーマットの作成又は編集が実行され、表示指示は、欠陥マップ上の欠陥と欠陥マップ上の欠陥それぞれのレビュー結果とを接続する引出線であること、又は、表示指示は、欠陥マップ上の欠陥と欠陥マップ上の欠陥それぞれのレビュー結果との対応毎に色分け表示されることを特徴とする。

また、本発明の欠陥レビューシステムは、試料の欠陥部分に注目して画像を取得する欠陥レビュー装置のレビュー結果をレポート処理する欠陥レビューシステムであって、レポート出力におけるレビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとレポート出力する媒体を表す出力フォーマット設定領域とを有する編集画面を生成する編集画面生成手段と、ポインティングデバイスの操作に対応してアイコンを編集画面上で移動配置させるアイコン制御手段と、出力フォーマット設定領域に配置されたアイコンの当該出力フォーマット設定領域上における所在に対応する媒体上の位置に、当該アイコンが表すレビュー結果の構成要素を配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集するフォーマット作成編集手段とを備え、フォーマット作成編集手段は、レビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとして、欠陥マップを表すアイコンと当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果を表すアイコンとが出力フォーマット設定領域上に配置された場合に、欠陥マップ上の欠陥位置と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応関係を表す表示指示を含むレポート出力フォーマットを作成又は編集し、前記対応関係は、前記欠陥マップ上の欠陥と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果とを接続する引出線、又は前記欠陥マップ上の欠陥と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応毎にされた色分け表示によって示されることを特徴とする。

本発明によれば、ユーザは少ない労力によりレビューレポートのフォーマットを自由に変更でき、作業効率を向上させることができる。また、フォーマット事例はテンプレートとして容易に登録可能で、再利用できるため、ユーザだけでなく装置開発メーカにとっても、多様なフォーマットに対応した装置を、開発コストを抑えて提供できる効果がある。

本発明の一実施の形態について、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態であるレポートフォーマット設定方法が適用される半導体欠陥レビュー装置のシステム構成図である。

図１において、半導体欠陥レビュー装置１０は、電子ビーム１７を出射する電子銃１１、出射された電子ビームを集束する集束レンズ１２，電子ビーム１７を偏向させて照射するための偏向器１３，偏向された電子ビームを試料１５に照射するために集束する対物レンズ１４，レビュー対象の試料１５が載置されるステージ１６，電子ビーム１７を照射した試料１５表面から発生する２次電子若しくは反射電子を検出する二次粒子検出器１９を有する電子光学系と、試料１５に対する電子ビーム１７の照射を制御する電子光学系制御部２０，試料１５が載置されるステージ１６の位置を制御するステージ制御部２１，二次粒子検出器１９で検出された検出信号を信号処理してデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部２２，この試料１５表面から２次電子若しくは反射電子として検出される欠陥画像を参照画像（基準画像）に基づいて分類する画像処理部２４を備えた電子光学制御系と、この電子光学制御系を始めとする装置全体の制御並びに画像処理部２４による画像処理結果に基づいたレビュー処理等を行う全体制御部２３と、画像処理結果の蓄積等のための記憶装置２７と、ディスプレイ２５，キーボード２６，マウス２８といった入・出力手段と、等を備えて構成されている。

半導体欠陥レビュー装置１０では、電子銃１１から電子ビーム１７を発射し、これを集束レンズ１２で集束し、偏向器１３で偏向した後、対物レンズ１４で集束して試料１５に照射する。このとき、電子ビーム１７が照射された試料１５からは、試料１５の形状や材質に応じて二次電子や反射電子等の二次粒子１８が発生する。この発生した二次粒子１８を、二次粒子検出器１９で検出し、Ａ／Ｄ変換部２２でデジタル信号に変換して、ＳＥＭ画像を生成する。その上で、この生成されたＳＥＭ画像を使用して、欠陥検出等の画像処理を、画像処理部２４で実行する。

その際、集束レンズ１２、偏向器１３、対物レンズ１４の作動制御は、電子光学系ビーム制御部２０で行われる。また、電子ビーム１７を照射する試料１５の位置制御は、ステージ制御部２１によりステージ１６を作動制御することによって行われる。

全体制御部２３は、キーボード２６，マウス２８からの入力に基に、当該入力された指示や設定情報に基づき、記憶装置２７，電子光学系制御部２０，ステージ制御部２１，画像処理部２４等を制御して、欠陥検出等の画像処理結果のレビュー処理等を行い、必要に応じてディスプレイ２５，記憶装置２７にその処理結果を出力する。

ここで、半導体欠陥レビュー装置１０を適用した半導体製造ラインにおけるレビュー処理結果のネットワーク出力システムについて説明する。

図２は、半導体製造ラインに設けた複数の半導体欠陥レビュー装置それぞれによるレビュー処理結果についてレポート出力可能なネットワーク出力システムの構成例を示した図である。

図２（ａ）に示したネットワーク出力システムでは、各半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３が、ネットワーク９０を介して互いに接続されている。そして、各半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥には、自身及びネットワーク９０を介して互いに接続されている他の半導体欠陥レビュー装置１０それぞれのレビュー処理結果に関するレポートを出力するためのレポート出力機能４０がそれぞれ搭載されている。

図２（ａ）に示したネットワーク出力システムは、半導体製造ライン５０に少数の半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥しか導入されない場合には、図２（ｂ）に示すような、各半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥それぞれのレビュー処理結果に関するレポートを出力管理するレポート管理サーバ６０を導入する必要が無く、各半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥のレポート出力機能４０で、自身及びネットワーク９０を介して互いに接続されている他の半導体欠陥レビュー装置１０によるレビュー処理結果に関してのレポートを出力できるため、初期投資を抑えることができる。

図２（ｂ）は、図２（ａ）のようにレポート出力機能４０を半導体欠陥レビュー装置１０それぞれには搭載せずに、ネットワーク９０に接続されたレポート管理サーバ６０で、半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥それぞれのレビュー処理結果に関するレポート出力を集中管理する例を示したものである。このようにレポート管理サーバ６０を用いることによって、多数の半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥が導入されることが想定される場合には、半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥それぞれがレビュー処理結果のレポート出力機能を備えずとも、レビュー処理結果並びそのレポート出力に集中管理できる利点がある。加えて、レポートビューワー７０−１，７０−２を導入し、ネットワーク９０に接続すれば、半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥やレポート管理サーバ６０の設置場所から離れた別の場所からでも、レポート管理サーバ６０に集中管理されている多数の半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥それぞれのレビュー処理結果に関して、レポート設定，レポート出力，或いは過去レポートの確認が可能となる。

図２（ｃ）は、各半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥それぞれにレポート出力機能４０を搭載するとともに、さらに、レビュー処理結果の一括管理が可能なレポート管理サーバ６０と、半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３及びレポート管理サーバ６０の設置場所以外からレポート管理サーバ６０又は各半導体欠陥レビュー装置１０−１，１０−２，１０−３，‥それぞれへのアクセスが可能なレポートビューワー７０−１、７０−２とを導入した例である。

次に、図２に示したようなネットワーク出力システムにおいて、図２（ａ）に示したように半導体欠陥レビュー装置１０がレポート出力機能４０を搭載している場合を例に、レビュー処理結果のレポート出力に係り、その出力時に用いる出力フォーマット設定テンプレートの作成及び編集手順について説明する。

この場合、図１において、半導体欠陥レビュー装置１０の全体制御部２３には、レポート出力機能４０が搭載されている。また、この全体制御部２３には、レポート出力機能４０及び後述のテンプレート作成管理部３０を操作制御するためのＧＵＩ（Graphical User Interface）が備えられ、レポート出力機能４０をはじめとする各種処理の設定を、ＯＳＤ（On Screen Display）でディスプレイ２５の表示画面上から行える構成になっている。

その上で、全体制御部２３は、そのレポート出力機能４０に加えて、さらにテンプレート作成管理部３０を備えている。

テンプレート作成管理部３０は、レポート出力機能４０がレビュー処理結果をレビューレポートとして出力する際に用いる出力フォーマット設定テンプレートを、レポート出力機能４０に供給制御する。また、テンプレート作成管理部３０は、この出力フォーマット設定テンプレートの作成及び編集や、既存の出力フォーマット設定テンプレートの保存管理を行う。

そのため、テンプレート作成管理部３０は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して、ディスプレイ２５にＯＳＤ表示させた制御画面から、対話形式で出力フォーマット設定テンプレートの作成又は編集をユーザに行わせるとともに、この作成又は編集された出力フォーマット設定テンプレートに関する各種情報を、固有の識別を付して既存の出力フォーマット設定テンプレートのテンプレート情報ファイルとして記憶装置２７のテンプレート保存ファイルに記憶・蓄積して保存管理する。

図３は、本実施の形態の半導体欠陥レビュー装置によるレポート出力のための出力フォーマット設定テンプレートの作成又は編集手順を示したフローチャートである。

まず、全体制御部２３は、キーボード２６又はマウス２８の所定操作によって、レビューレポート出力のための出力フォーマット設定テンプレートの作成又は編集の実施が設定されると、テンプレート作成管理部３０を起動する。これにより、テンプレート作成管理部３０は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して、レポート出力機能４０によるレビューレポートの出力時に用いられる出力フォーマット設定テンプレートのテンプレート選択画面４００（図４参照）を、ディスプレイ２５にＯＳＤ表示する。

テンプレート作成管理部３０は、その後は、ディスプレイ２５にＯＳＤ表示されたテンプレート選択画面４００を始めとする制御画面によるＧＵＩ環境において、マウス２８等のポインティングデバイスによる画面操作信号に基づいて、その対応する指示を受け付ける。

図４は、出力フォーマット設定テンプレートのテンプレート選択画面の説明図である。
本実施の形態の出力フォーマット設定テンプレートのテンプレート選択画面４００は、タブ切り換え部４１０と、既存テンプレート選択部４２０と、新規作成選択部４３０と、設定部４４０とを備えた構成になっている。

タブ切り換え部４１０では、テンプレート選択画面，用紙選択画面（媒体選択画面），テンプレート編集画面のタブ４１１〜４１３による表示切り換えが可能であり、本実施の形態では、出力フォーマット設定テンプレートの作成又は編集の実施が設定されると、テンプレート作成管理部３０によってテンプレート選択画面４００がデフォルトとして選択され、表示されるようになっている。また、タブ切り換え部４１０では、選択された画面のタブ４１１〜４１３が他のタブ４１１〜４１３に対して強調表示されるようになっている。

このテンプレート選択画面４００では、既存テンプレート選択部４２０は、既存テンプレートリスト案内領域４２１と、プレビュー領域４２６とを有する構成になっている。

既存テンプレートリスト案内領域４２１には、既存テンプレートの識別選択用の番号表示欄４２２と、この識別選択用の番号欄の選択によって選択される既存テンプレートのレシピ内容を表示するレシピ内容欄４２３が形成されている。レシピ内容としては、標準のレビューレポートを表した「標準」４２３−１、欠陥画像が記載されたレビューレポートを表した「画像」４２３−２，ウェーハマップのような欠陥所在マップが記載されたレビューレポートを表した「マップ」４２３−３，マップ及び欠陥画像が記載されたレビューレポートを表した「マップ＆画像」４２３−４，・・・等がある。なお、この既存テンプレートリスト案内領域４２１に案内表示されるテンプレートは、メーカ側で作成してある既成のテンプレートに限定されるものではなく、従前にユーザが新規作成したテンプレートも含まれる。

テンプレート作成管理部３０は、前述したテンプレート選択画面４００を表示するに当たり、記憶装置２７に設けられた既存の出力フォーマット設定テンプレートを記憶・蓄積するためのテンプレート保存ファイルに記憶されている既存の出力フォーマット設定テンプレートのテンプレート情報ファイルから上述した既存テンプレートの識別選択用の番号及び当該既存テンプレートのレシピ内容を含むテンプレートプロパティファイルを抽出して既存テンプレートのリストデータを生成する。

また、既存テンプレートリスト案内領域４２１には、スクロールバー４２４が設けられており、既存テンプレートリスト案内領域４２１にリスト表示される既存テンプレートを、画面上で変更表示できる構成になっている。

そして、ユーザは、このテンプレート選択画面４００上で、テンプレートの新規作成を行うか、既存テンプレートの編集を行うかを選択する選択操作を行うことができる（図３、ステップＳ３０１）。

例えば、ユーザは、テンプレートの新規作成を行う場合は、新規作成選択部４３０の「新規作成」アイコン４３１上にマウス２８を操作してポインタを位置させてクリック操作を行えば、ディスプレイ２５のＯＳＤ機能によって、新規作成操作が全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して認識されると、本実施の形態の場合は、後述する用紙選択画面６００がディスプレイ２５にＯＳＤ表示され、テンプレート作成管理部３０は、用紙選択画面６００によるＧＵＩ環境に移行する（図３、ステップＳ３０２）。

これに対し、ユーザは、既存テンプレートの編集を行う場合は、例えば、既存テンプレートリスト案内領域４２１における所望のテンプレートの番号表示欄４２２若しくはレシピ内容欄４２３にマウス２８を操作してポインタを位置させてクリック操作を行えば、テンプレート作成管理部３０は、プレビュー領域４２６に当該選択された既存テンプレートのプレビューを表示する（図３、ステップＳ３０３）。

テンプレート作成管理部３０は、プレビュー領域４２６に当該選択された既存テンプレートのプレビューを表示する当たり、記憶装置２７のテンプレート保存ファイルから当該選択された既存テンプレートのテンプレート情報ファイルを自身のワークエリア上に読み出す。

図５は、図４に示したテンプレート選択画面において、選択された既存テンプレートのプレビュー表示状態画面を示したものである。

図５においては、プレビュー表示状態画面の一例として、既存テンプレートリスト案内領域４２１の画像出力用テンプレート４２３−２を選択操作した場合を示している。図示の場合は、プレビュー領域４２６に表示された画像出力用テンプレート４２３−２のプレビューから、画像出力用テンプレート４２３−２が、縦長用紙のヘッダー部分にメモ情報欄が「Ｍｅｍｏ」で表された大きさ分だけ記載され、その下方の用紙部分にＴｏｐ画像が「Ｔｏｐ」で表された大きさで複数配列されたテンプレートであることが理解できる。

また、テンプレート作成管理部３０は、選択された既存テンプレートが複数枚数の場合であることを確認した場合は、ページ送り及びページ戻しのためのアイコン４２７をプレビュー領域４２６にＯＳＤ表示するようになっている。

そして、ユーザは、選択した既存テンプレートの確認結果に応じて、例えば、タブ切り換え部４１０のテンプレート選択画面タブ４１１，用紙選択画面タブ４１２，テンプレート編集画面タブ４１３，又は設定部４４０の「保存」アイコン４４１若しくは「閉じる」アイコン４４２を操作する。

テンプレート作成管理部３０は、上記のようにして、テンプレート選択画面４００による出力フォーマット設定テンプレートのテンプレート選択処理において、新規作成選択部４３０の「新規作成」アイコン４３１又はタブ切り換え部４１０の用紙選択画面タブ４１２が操作されると、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して、テンプレート選択画面４００に代えて用紙選択画面６００をディスプレイ２５にＯＳＤ表示させ、用紙選択処理を実行する（図３、ステップＳ３０４）。

図６は、用紙選択画面の説明図である。
本実施の形態の用紙選択画面６００は、タブ切り換え部６１０と、用紙選択部６２０と、設定部６４０とを備えた構成になっている。

タブ切り換え部６１０及び設定部６４０は、テンプレート選択画面４００のタブ切り換え部４１０及び設定部４４０の場合と同様なアイコン構成になっている。

この用紙選択画面６００では、用紙選択部６２０は、用紙種類案内領域６２１と、プレビュー領域６２６とを有する構成になっている。用紙選択部６２０には、選択可能な用紙一覧がその方向性（縦長又は横長）も分けて用紙アイコン６２２で個別表示される。

そして、ユーザは、この用紙選択部６２０の用紙種類案内領域６２１から所望の用紙を選択し、その対応する用紙アイコン６２２にマウス２８を操作してポインタを位置させてクリック操作を行えば、用紙を選択することができる。
プレビュー領域６２６には、選択された用紙の概略図がプレビュー表示される。

なお、図６に示した用紙選択画面６００は、前述した出力フォーマット設定テンプレートの選択画面４００によるテンプレート選択処理で、新規作成選択部４３０の「新規作成」アイコン４３１を操作した場合の新規テンプレート作成処理による用紙選択画面６００を表している。

そして、ユーザは、選択した用紙の確認結果に応じて、例えば、タブ切り換え部６１０のテンプレート選択画面タブ６１１，用紙選択画面タブ６１２，テンプレート編集画面タブ６１２，又は設定部６４０の「保存」アイコン６４１若しくは「閉じる」アイコン６４２を操作する。

この場合、ユーザは、選択した用紙が適切である場合は、例えば、タブ切り換え部４１０のテンプレート編集画面タブ４１２を操作して、テンプレート編集作業を行う。

これにより、テンプレート作成管理部３０は、この用紙選択画面タブ４１２の操作を認識すると、選択された用紙情報を用紙情報ファイルとして自身のワークエリアに記憶するとともに、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して、用紙選択画面４００に代えてテンプレート編集画面８００をディスプレイ２５にＯＳＤ表示させ、テンプレート編集処理を実行する（図３、ステップＳ３０５）。

図７は、図５に示したテンプレート選択画面で既存テンプレートが選択された場合の、用紙選択画面の表示状態を示したものである。

図７は、例えば、前述したテンプレート選択画面４００によるテンプレート選択処理で既存テンプレートを選択した後、用紙選択画面タブ６１２を操作した場合、等に対応するものである。

この場合には、用紙選択部６２０の用紙種類案内領域６２１には、既存テンプレートの対応情報として記憶されている用紙の種類に該当する用紙アイコン６２２が強調表示され、プレビュー領域６２６には、選択されている既存テンプレートのプレビューが表示される。

テンプレート作成管理部３０は、上記のようにして、テンプレート選択画面４００によるテンプレート選択処理において、タブ切り換え部４１０のテンプレート編集画面タブ４１３、又は用紙選択画面６００による用紙選択処理において、タブ切り換え部６１０のテンプレート編集画面タブ６１３が操作されると、選択された用紙情報を用紙情報ファイルとして自身のワークエリアに記憶するとともに、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して後述の図８に示すテンプレート編集画面８００をディスプレイ２５にＯＳＤ表示させ、テンプレート編集処理を実行する。

テンプレート作成管理部３０は、テンプレート編集画面８００をディスプレイ２５にＯＳＤ表示させるに当たり、用紙選択画面６００による用紙選択処理で選択された選択用紙に合わせて、後述するテンプレート編集画面８００の出力フォーマット設定領域８５０が無駄なく大きく表示されるように、用紙選択画面６００による用紙選択処理において選択された用紙を表示調整する（図３、ステップＳ３０４）。例えば、縦長の用紙を選択した場合には後述の図１２に示すように、横長の用紙を選択した場合は図８に示すようにテンプレート編集画面８００を切り替え表示し、最適な大きさ、レイアウトで表示するする。

図８は、テンプレート編集のためのテンプレート編集画面の説明図である。
なお、図８に示したテンプレート編集画面８００は、前述の図６に示した用紙選択画面６００による用紙選択処理で、横長の用紙が選択され、上述のステップＳ３０４で述べた表示調整が行われた画面である。

図８において、本実施の形態のテンプレート編集画面８００は、タブ切り換え部８１０と、モジュール選択部８２０と、出力フォーマット設定領域（フォーマット画面領域）８５０と、詳細設定領域８６０と、編集操作部８７０と、設定部８４０とを備えた構成になっている。

なお、タブ切り換え部８１０及び設定部８４０は、テンプレート選択画面４００のタブ切り換え部４１０及び設定部４４０の場合と同様なアイコン構成になっている。

モジュール選択部８２０には、アイコン化されたレポートの構成要素（モジュール）が表示されている。本実施例の場合は、ウェーハマップを記載指定するための「ＭＡＰ」アイコン８２１， Ｌｅｆｔ画像を記載指定するための「Ｌｅｆｔ」アイコン８２２，Ｔｏｐ画像を記載指定するための「Ｔｏｐ」アイコン８２３，Ｒｉｇｈｔ画像を記載指定するための「Ｒｉｇｈｔ」アイコン８２４，Ｔｉｌｔ画像を記載指定するための「Ｔｉｌｔ」アイコン８２５，ＯＭ画像を記載指定するための「ＯＭ」アイコン８２６，ＥＤＸ結果を記載指定するための「ＥＤＸ」アイコン８２７，ＡＤＣ結果を記載指定するための「ＡＤＣ」アイコン８２８，サイズ分布を記載指定するための「Ｓｉｚｅ」アイコン８２９，メモ情報を記載指定するための「Ｍｅｍｏ」アイコン８３０が備えられている。

出力フォーマット設定領域（フォーマット画面領域）８５０は、レビューレポートの用紙紙面を表示し、上述したモジュールの記載レイアウトを編集するためのものである。また、この出力フォーマット設定領域８５０には、既存テンプレートが複数枚数である場合の編集及び確認のために、ページ送り及びページ戻しのためのアイコン８５１が備えられている。

詳細設定領域８６０は、レビューレポートに記載する内容等についての詳細を設定するためのものである。

編集操作部８７０は、モジュール選択部８２０に備えられた個別モジュール８２１〜８３０を出力フォーマット設定領域８５０で編集するに当たってのツールボタンで、本実施例では、「コピー」アイコン８７１，「貼り付け」アイコン８７２，「元に戻す」アイコン８７３が備えられている。

なお、図８の場合は、テンプレート新規作成時のテンプレート編集画面８００の初期状態であり、モジュール８２１〜８３０がレポート出力として未登録であるため、出力フォーマット設定領域８５０及び詳細設定領域８６０には何も表示されていない状態になっている。

次に、図９〜図１４に基づいて、本実施例のテンプレート編集画面８００による具体的な編集処理について説明する。

図９は、テンプレート編集画面によるテンプレートの具体的な編集操作の一例を示した図である。

ここでは、ユーザが、まず、所望のモジュールとしてウェーハマップを登録する場合を例に、テンプレート作成管理部３０が、ウェーハマップをそのレポートフォーマット上に登録する編集処理について説明する。

まず、ユーザは、マウス２８等のポインティングデバイスを用いて、モジュール選択部８２０からウェーハマップを示す「Ｍａｐ」アイコン８２１を選択し（図３、ステップＳ３０５）、ドラッグ＆ドロップ操作Ｓ０１により、出力フォーマット設定領域８５０の所望の位置に配置する（図３、ステップＳ３０６）。

次に、ユーザは、マウス２８等のポインティングデバイスを用いて、詳細設定を行うために出力フォーマット設定領域８５０に配置されている「Ｍａｐ」アイコン８２１を選択し、サイズ変更操作Ｓ０２により、所望のサイズＬ１に設定する。このとき、サイズ設定のサポート情報として、「Ｍａｐ」アイコン８２１の用紙上における座標位置及びサイズ情報８５２が表示される（図３、ステップＳ３０７）。

さらに、ユーザは、詳細設定領域８６０で選択モジュールの詳細情報を設定する。

ここでは、ウェーハマップを示す「Ｍａｐ」アイコン８２１が選択されているので、テンプレート作成管理部３０は、ウェーハマップに対応した詳細設定情報を、詳細設定領域８６０に表示する。

その表示設定欄８６１では、ウェーハマップに表示する欠陥を設定する。図示の場合は、検査情報に登録されている全欠陥を表示するモード８６１−１、レビューした欠陥のみを表示するモード８６１−２、未レビュー欠陥のみを表示するモード８６１−３が選択できる。

Ｍａｐ−画像リンク設定８６６では、レビューレポート上でのウェーハマップに表された各欠陥とこの各欠陥のＳＥＭ画像との対応表示方法を設定する。その対応表示方法としては、引出線を利用する引出線モード８６６−１，カラー色分け表示を利用するカラーモード８６６−２，ウェーハマップに表された各欠陥とＳＥＭ画像との対応表示をレビューレポート上で行わない無モード８６６−３が選択できる。これらモードのうち、引出線モード８６６−１及びカラーモード８６６−２の詳細については、後述する。

ユーザは、これらモードの選択及び設定について、モード毎に対応して表示されているチェックボックスを利用して、選択モジュールの詳細情報を設定する（図３、ステップＳ３０８）。

これら操作に伴い、テンプレート作成管理部３０は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を利用して出力フォーマット設定領域８５０にＯＳＤ表示された「Ｍａｐ」アイコン８２１の配置位置等に基づいて、本来のレポートフォーマット上の座標位置はじめとする各種フォーマット情報を取得し、これを自身のワークエリアにモジュール情報ファイルとして記憶する。

図１０は、テンプレート編集画面によるテンプレートの具体的な編集操作の別の例を示した図である。

ここでは、ここではメモ情報を登録する場合を例に、テンプレート作成管理部３０が、メモ情報をそのレポートフォーマット上に登録する編集処理について説明する。

ここでは、ユーザは、マウス２８等のポインティングデバイスを用いて、モジュール選択部８２０からメモ情報を記載指定するための「Ｍｅｍｏ」アイコン８３０を選択し（図３、ステップＳ３０５）、ドラッグ＆ドロップ操作Ｓ０１により、出力フォーマット設定領域８５０の所望の位置Ｐ１に配置する（図３、ステップＳ３０６）。

次に、ユーザは、マウス２８等のポインティングデバイスを用いて、詳細設定を行うために出力フォーマット設定領域８５０に配置されている「Ｍｅｍｏ」アイコン８３０を選択し、サイズ変更操作Ｓ０２により、所望のサイズＬ２に設定する。このとき、サイズ設定のサポート情報として、「Ｍｅｍｏ」アイコン８３０の用紙上における座標位置及びサイズ情報８５２が表示される（図３、ステップＳ３０７）。

さらに、ユーザは、詳細設定領域８６０で選択モジュールの詳細情報を設定する。
ここでは、メモ情報を示す「Ｍｅｍｏ」アイコン８３０が選択されているので、テンプレート作成管理部３０は、メモ情報に対応した詳細設定情報を、詳細設定領域８６０に表示する。

この場合の表示設定欄８６１では、メモ情報としてレビューレポートに記載する記載内容を設定する。例えば、図示の例では、レポート出力機能４０によって今回作成又は編集した出力フォーマット設定テンプレートを用いてレビューレポートを発行する際のレビュー対象の検査データの取得日時８６１−４，データ名称８６１−５，その検査に用いたレシピ名称８６１−６，撮像倍率８６１−７，ＦＯＶ（Field of View）サイズ８６１−８，ＳＥＭ設定条件８６１−９，オペレータ名称８６１−１０のチェックボックスが設けられている。加えて、入力エリア８６２が設けられ、キーボード２６等の入力デバイスを用いて所望の文字列を入力することにより、レビューレポート上に任意の文字列を表示することができる。

これら操作に伴い、テンプレート作成管理部３０は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を利用して出力フォーマット設定領域８５０にＯＳＤ表示された「Ｍｅｍｏ」アイコン８３０の配置位置等に基づいて、本来のレポートフォーマット上の座標位置はじめとする各種フォーマット情報を取得し、これを自身のワークエリアにモジュール情報ファイルとして記憶する。

個別モジュールをそのレポートフォーマット上に登録する編集処理は、上述したようにモジュール選択部８２０から所望の個別モジュール８２１〜８３０を出力フォーマット設定領域８５０の所望の位置に配置することを繰り返すことによって行われる（図３、ステップＳ３０９）。

図１１は、テンプレート編集画面によるテンプレートの具体的な編集操作のさらに別の例を示した図である。

図１１では、繰り返し登録するＴｏｐ画像，Ｔｉｌｔ画像，ＯＭ画像，ＥＤＸ結果を１セット９０１として選択し、編集操作部８７０の「コピー」アイコン８７１，「貼り付け」アイコン８７２を繰り返し用いることにより、合計５セットのＴｏｐ画像，Ｔｉｌｔ画像，ＯＭ画像，ＥＤＸ結果９０２を登録している（図３、ステップＳ３０５〜Ｓ３０９に対応）。
この場合も、ユーザは、詳細設定領域８６０で選択モジュールの詳細情報を設定する。

ここでは、「Ｔｏｐ」アイコン８２３，「Ｔｉｌｔ」アイコン８２５，「ＯＭ」アイコン８２６，「ＥＤＸ」アイコン８２７といったモジュールが選択されているので、テンプレート作成管理部３０は、これら検査結果に対応した詳細設定情報を、詳細設定領域８６０に表示する。

図示の例では、その欠陥選択欄８６３では、レポート出力機能４０によって今回作成又は編集した出力フォーマット設定テンプレートを用いてレビューレポートを発行する際にレポートに記載する欠陥の選択方法を設定する。レポートに記載する欠陥としては、レポート出力の際に記載する欠陥として所望の欠陥を選択できる選択モード８６３−１，記載する欠陥を自動的にランダム選択できるランダムモード８６３−２，欠陥番号の小さい方から順に自動選択できる先頭から順番モード８６３−３が設定可能になっている。

また、表示欄８６４では、レビューレポートに記載する各ＳＥＭ画像やＥＤＸ結果等に対応させて、欠陥ＩＤを表示するＩＤモード８６４−１，欠陥サイズを表示する欠陥サイズ８６４−２，倍率や電流又は電圧値等のＳＥＭ条件を表示するＳＥＭ条件モード８６４−３，ＡＤＣによる分類結果を表示するＡＤＣモード８６４−４，ＥＤＸ結果に基づく組成解析結果を表示する「Ｈｉ-Ａｕｔｏ ＩＤ」モード８６４−５が設定可能になっている。 ユーザは、これらモードの選択及び設定について、モード毎に対応して表示されているチェックボックスを利用して、選択モジュールの詳細情報を設定する（図３、ステップＳ３０８）。

これら操作に伴い、テンプレート作成管理部３０は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を利用して出力フォーマット設定領域８５０にＯＳＤ表示された「Ｔｏｐ」アイコン８２３等の配置位置等に基づいて、本来のレポートフォーマット上の座標位置はじめとする各種フォーマット情報を取得し、これを自身のワークエリアにモジュール情報ファイルとして記憶する。

なお、例えば、出力フォーマット設定領域８５０において、既存テンプレートが複数枚数である場合は、ページ送り及びページ戻しのためのアイコン８５１を操作することによって、次ページ以降、又は前ページ以前の内容を、編集及び確認することができる。

図１２は、用紙選択処理で縦長の用紙を選択した場合のテンプレート編集のためのテンプレート編集画面の説明図である。

図１２は、例えば、図７に示した用紙選択画面６００で、タブ切り換え部６１０のテンプレート編集画面タブ６１３が操作された場合に、テンプレート作成管理部３０が、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介してディスプレイ２５にＯＳＤ表示させる縦長の用紙のテンプレート編集画面８００に該当する。

図１２に示す縦長の用紙のテンプレート編集画面８００は、図８〜図１１に示した横長の用紙のテンプレート編集画面８００と、画面上における出力フォーマット設定領域（フォーマット画面領域）８５０，詳細設定領域８６０，編集操作部８７０，設定部８４０の画面上におけるレイアウトが異なり、テンプレート編集画面８００の出力フォーマット設定領域８５０が縦長の用紙に合わせて用紙長さ方向に多く表示できるようになっている。

図１３は、テンプレート編集のためのテンプレートが複数枚ある場合の複数枚目のテンプレート編集画面の説明図である。

図１３に示したテンプレート編集画面８００は、例えば、図１２に示した縦長の用紙のテンプレート編集画面８００が、レビューレポートが複数ページからなり、テンプレートもこのレビューレポートのページに対応して複数枚になる場合のレビューレポートの１ページに対応した１枚目のテンプレートが出力フォーマット設定領域（フォーマット画面領域）８５０に表示されているものとした場合に、そのページ送り及びページ戻しのためのアイコン８５１をページ送り操作することによって表示された２枚目のテンプレート編集画面８００に該当する。 この場合、図１２と図１３との各テンプレート編集画面８００の出力フォーマット設定領域（フォーマット画面領域）８５０に表示されているテンプレートの表示内容の差違を見れば理解できるように、本実施の形態では、テンプレートが複数枚になる場合であっても、テンプレート編集画面８００では、それぞれのテンプレートの編集が個別にできるようになっている。

以上、図８〜図１３に示したテンプレート編集画面８００において、設定部８４０の保存アイコン８４１が操作されると、テンプレート作成管理部３０は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して、テンプレート編集画面８００上に作成・編集したテンプレートを既存の出力フォーマット設定テンプレートとして記憶装置２７のテンプレート保存ファイルに保存するのに際して、図４に示したテンプレート選択画面４００のテンプレートリスト案内領域４２１のレシピ内容欄４２３にリスト表示させるための任意の文字列を入力するための入力エリア８８０がポップアップ表示させる。

そして、ユーザが、キーボード２６等の入力デバイスを用いてレシピ内容を識別可能な所望の文字列を入力することにより、テンプレート作成管理部３０は、自身のワークエリアにこの文字列を含むテンプレートプロパティファイルを生成し、今回作成又は編集した出力フォーマット設定テンプレートに係るこれらのテンプレートプロパティファイル，用紙情報ファイル，モジュール情報ファイルを総合したテンプレート情報ファイルを生成して、これを記憶装置２７のテンプレート保存ファイルに記憶・蓄積して保存管理する（図３、ステップＳ３１０）。

図１４は、この入力エリア８８０がポップアップ表示された状態のテンプレート編集画面を示したものである。

次に、本実施の形態で説明したテンプレート作成管理部３０と、テンプレートプロパティファイル，用紙情報ファイル，モジュール情報ファイル，これらを総合したテンプレート情報ファイル，及びテンプレート保存ファイルとの関係について、図面に基づいて説明する。

図１５は、テンプレート作成管理部が備える用紙設定機能と用紙情報ファイルとの関係を示したものである。

図１５（ａ）において、テンプレート作成管理部３０の用紙設定機能３６は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介して用紙選択画面６００により入力される用紙設定１６１に対して、用紙情報ファイル１６２を生成するとともに、テンプレート作成管理部３０のモジュール設定機能３８に、テンプレート編集画面８００の出力フォーマット設定領域８５０におけるテンプレート表示最適化のために、画像表示最適化１６３を供給する。図１５（ｂ）は、用紙情報ファイル１６２の構成を示したものである。

図１６は、テンプレート作成管理部が備えるモジュール設定機能と用紙情報ファイルとの関係を示したものである。

図１６（ａ）において、テンプレート作成管理部３０のモジュール設定機能３８は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介してテンプレート編集画面８００により入力されるモジュール設定１８１に対して、モジュール情報ファイル１８２を生成する。図１６（ｂ）は、モジュール情報ファイル１８２の構成を示したものである。

図１７は、テンプレート作成管理部が備えるテンプレート保存機能とテンプレート保存ファイルとの関係を示したものである。

図１７（ａ）において、テンプレート作成管理部３０の保存機能３９は、全体制御部２３のＧＵＩ機能を介してテンプレート編集画面８００により入力される保存設定１９１に対して、テンプレートプロパティファイル１９２を生成するとともに、これを用紙設定機能３６により生成した用紙情報ファイル１６２及びモジュール設定機能３８により生成したモジュール情報ファイル１８２と総合して、記憶装置２７に設けられた既存の出力フォーマット設定テンプレートとして記憶装置２７のテンプレート保存ファイル１９４に保存するためのテンプレート情報ファイル１９３を生成する。図１７（ｂ）は、テンプレート情報ファイル１９３の構成を示したものである。

次に、このような関係をもって生成され、記憶装置２７のテンプレート保存ファイル１９４に既存の出力フォーマット設定テンプレートとして保存されたテンプレート情報ファイル１９３を用いて、レポート出力機能４０が出力するレビューレポート２００について説明する。

ただし、以下では、図１７に示した記憶装置２７のテンプレート保存ファイル１９４に既存の出力フォーマット設定テンプレートとして保存されたテンプレート情報ファイル１９３を用いたレビューレポートの出力結果の説明が目的なので、各情報の詳細は表示せずに、アイコンイメージのままで表している。

図１８は、レポート出力機能が出力するウェーハマップを含むレビューレポートの出力結果の説明図である。

図１８（ａ）は、ウェーハマップ，メモ情報，Ｔｏｐ画像，Ｔｉｌｔ画像，ＯＭ画像，ＥＤＸ結果の組合せのレポート出力結果の一例である。

図示のレビューレポート２０１の場合は、ウェーハマップ２１０上の欠陥シンボル２１１とＴｏｐ画像２２１とを、引き出し線２３１で連結表示している構成になっている。図９で説明したＭａｐ−画像リンク設定８６６で引出線モード８６６−１を選択した場合、レポート出力機能４０は、テンプレート保存ファイル１９４に保存されたテンプレート情報ファイル１９３に基づき、このような連結表示を行う。

図１８（ｂ）も、ウェーハマップ，メモ情報，Ｔｏｐ画像，Ｔｉｌｔ画像，ＯＭ画像，ＥＤＸ結果の組合せのレポート出力結果の一例である。

図示のレビューレポート２０２の場合は、ウェーハマップ２１０上の欠陥シンボル２１１とＥＤＸ結果２２７が引き出し線２３１で連結されているだけでなく、欠陥シンボル２１１と対応するＥＤＸ結果２２７及びＴｏｐ画像２２３の表示枠外周を同一色のカラー表示している。図９で説明したＭａｐ−画像リンク設定８６６で引き出し線モード８６６−１とカラーモード８６６−２とを選択した場合、このような連結表示を行う。

このように、テンプレート保存ファイル１９４に保存されたテンプレート情報ファイル１９３によって、欠陥シンボル２１１とレビュー画像等とをレポート出力機能４０により連結表示させることによって、欠陥発生位置と画像若しくはＥＤＸ結果との対応が視覚的に容易に判断できるようになる。

図１９は、レポート出力機能が出力するメモ情報を含むレビューレポートの出力結果の説明図である。

図１９（ａ）は、メモ情報とウェーハマップの組合せのレポート出力結果の一例である。

図示のレビューレポート２０３の場合、メモ情報２３０−１は、共通条件や全体に対するコメント表示に、ウェーハマップ２１０は欠陥発生の分布を一覧し比較するのに、メモ情報２３０−２は各ウェーハマップ個別の条件表示に有効利用できる。複数のウェーハマップ２１０の一覧表示により、欠陥が特定の分布、例えば外周部に集中する傾向がある等を、容易に判断できる。

図１９（ｂ）は、ウェーハマップ２１０，メモ情報２３０，Ｔｏｐ画像２２３，Ｔｉｌｔ画像２２５，ＥＤＸ結果２２７に関する、複数データの組合せのレポート出力結果の一例である。

図示のレビューレポート２０４の場合、このような組合せ表示により、代表的な欠陥の分布，Ｔｏｐ画像２２３，Ｔｉｌｔ画像２２５，ＥＤＸ結果２２７等の詳細情報を、容易に比較、検討できる。

図２０は、メモ情報とＬｅｆｔ画像の組合せのレポート出力結果の説明図である。
図２０（ａ）のレビューレポート２０５の場合は、メモ情報２３０−１は共通条件や全体に対するコメント表示に、Ｌｅｆｔ画像２２２は画像一覧を確認するのに、メモ情報２３０−２は各画像個別の条件表示に有効利用できる。

ここで、Ｌｅｆｔ画像２２２を代表画像として選択しているのは、一枚の画像から欠陥の凹凸情報を確認するのに有効であるためであり、Ｒｉｇｈｔ画像の場合でも同様である。また、シミ状の欠陥のように凹凸情報は重要ではなく、ＳＥ画像の方が見やすい場合には、ＳＥ画像を選択することが可能である。

図１９（ａ）が複数データセットの欠陥分布に注目したフォーマットであり、欠陥分布の比較に有効であるのに対して、図２０（ａ）は欠陥画像に注目したフォーマットであり、欠陥そのものの比較に有効である。

図２０（ｂ）のレビューレポート２０６は、ウェーハマップ２１０，サイズ分布２２９，ＡＤＣ結果２２８，Ｌｅｆｔ画像２２２，ＯＭ画像２２６に関する複数データの組合せのレポート出力結果の一例である。サイズ分布２２９は欠陥サイズ分布の傾向を確認するのに、ＡＤＣ結果２２８は発生欠陥種の分布を確認するのに有効である。図１９（ｂ）のフォーマットと比較すると、ひとつのデータに関する欠陥画像数が増えており、代わりに比較対象のデータ数が半減している。このようなフォーマットは、例えばＡＤＣで分類した各欠陥種の代表的な画像を、二つのデータ間で詳細比較するのに有効である。また、ＳＥＭ画像（この場合、Ｌｅｆｔ画像２２２）とＯＭ画像２２６が対比して表示されるので、膜下欠陥など、ＳＥＭ画像では見づらい欠陥である、あるいは光学式検査装置の虚報判定に有効である。

図２１は、ウェーハマップとＡＤＣ結果の組合せのレポート出力結果の説明図である。
図２１（ａ）のレビューレポート２０７の場合は、ウェーハマップ２１０から欠陥分布が、ＡＤＣ結果２２８から欠陥種の分布が確認できる。ウェーハマップ２１０とＡＤＣ結果２２８は、例えばＡＤＣ分類した欠陥種毎にカラー表示することで、視覚的に対応させることが可能である。これらの情報を一覧表示することで、ウェーハマップ２１０から欠陥分布に特定の傾向があるなどの異常を、ＡＤＣ結果２２８から特定の欠陥が異常発生しているなどを、容易に検知することができる。

図２１（ｂ）のレビューレポート２０８は、ＡＤＣ結果２２８，サイズ分布２２９，Ｌｅｆｔ画像２２２の組合せのレポート出力結果の一例である。

この出力例はＡＤＣ結果２２８に注目したものであり、例えば、ＡＤＣ結果２２８から異常発生している特定の欠陥種に注目し、サイズ分布２２９から欠陥種のサイズに関する特徴を、Ｌｅｆｔ画像２２２から特定の欠陥種の画像的特徴を確認するのに有効である。また、これらの情報を複数データに関して一覧することで、例えば、特定の欠陥種の異常発生に関する過去事例と比較することができ、同様の事例があれば、対策検討に有効な情報となる。

このように、最適なレポート出力フォーマットは、注目する対象の違いに応じて異なる。

本発明によれば、レポート出力フォーマットを自由に、かつ容易に変更することが可能なため、必要に応じて最適なフォーマットでレポート出力することができる。

また、このようなレポート出力フォーマットはテンプレートとして保存でき、装置出荷時にサンプルとして登録することが可能である。ユーザはこれらのサンプルを既存テンプレートとしてそのまま利用、あるいは編集することができる。また、装置メーカは本発明を利用して、ソフトウェアのプログラムを変更することなく、新しいレポート出力フォーマットをテンプレートとして容易に作成することができるため、開発コストを削減することができる。

なお、本発明の実施の形態の説明では、欠陥レビュー装置がレポート出力機能を搭載している場合を例に、欠陥レビュー装置が本発明によるレポートフォーマット設定装置の構成全てを備える構成で説明したが、図２に示したネットワーク出力システムにおいて、欠陥レビュー装置以外のレポートビューワー、又はレポート管理サーバがレポートフォーマット設定装置の構成が本発明によるレポートフォーマット設定装置の構成全てを備えるようにしてもよく、また、ネットワーク出力システムのこれら構成装置間で本発明によるレポートフォーマット設定装置の構成を分担機能させるように構成してもよい。また、レポートフォーマットの作成編集画面の具体的構成も、上記説明した実施の形態の具体的対態様に限るものではなく、ＯＳＤ表示された同一のＧＵＩ画面上で、レビューレポートの構成要素としてのモジュールを出力フォーマット設定領域に任意に個別配置してレビューレポートのフォーマットを作成編集するものであるならばよい。

本発明の一実施形態であるレポートフォーマット設定方法が適用される半導体欠陥レビュー装置のシステム構成図である。 半導体製造ラインに設けた複数の半導体欠陥レビュー装置それぞれによるレビュー処理結果についてレポート出力可能なネットワーク出力システムの構成例を示した図である。 本実施の形態の半導体欠陥レビュー装置によるレポート出力のための出力フォーマット設定テンプレートの作成又は編集手順を示したフローチャートである。 出力フォーマット設定テンプレートのテンプレート選択画面の説明図である。 図４に示したテンプレート選択画面において、既存テンプレートのプレビュー表示状態画面の一実施例の構成図である。 用紙選択画面の説明図である。 図５に示したテンプレート選択画面で既存テンプレートが選択された場合の、用紙選択画面の表示状態の説明図である。 テンプレート編集のためのテンプレート編集画面の説明図である。 テンプレート編集画面によるテンプレートの具体的な編集操作の一例の説明図である。 テンプレート編集画面によるテンプレートの具体的な編集操作の別の例の説明図である。 テンプレート編集画面によるテンプレートの具体的な編集操作のさらに別の説明図である。 用紙選択処理で縦長の用紙を選択した場合のテンプレート編集のためのテンプレート編集画面の説明図である。 テンプレート編集のためのテンプレートが複数枚ある場合の複数枚目のテンプレート編集画面の説明図である。 今回作成又は編集完了した出力フォーマット設定テンプレートを登録するためのテンプレート編集画面の説明図である。 テンプレート作成管理部が備える用紙設定機能と用紙情報ファイルとの関係の説明図である。 テンプレート作成管理部が備えるモジュール設定機能と用紙情報ファイルとの関係の説明図である。 テンプレート作成管理部が備えるテンプレート保存機能とテンプレート保存ファイルとの関係の説明図である。 レポート出力機能が出力するウェーハマップを含むレビューレポートの出力結果の説明図である。 レポート出力機能が出力するメモ情報を含むレビューレポートの出力結果の説明図である。 メモ情報とＬｅｆｔ画像の組合せのレポート出力結果の説明図である。 ウェーハマップとＡＤＣ結果の組合せのレポート出力結果の説明図である。

符号の説明

１０ 半導体欠陥レビュー装置
１９ 二次粒子検出器
２０ 電子光学系制御部
２３ 全体制御部
２４ 画像処理部
２５ ディスプレイ
２６ キーボード
２７ 記憶装置
２８ マウス
３０ テンプレート作成管理部
４０ レポート出力機能
５０ 半導体製造ライン
６０ レポート管理サーバ
７０ レポートビューワー
９０ ネットワーク
８００ テンプレート編集画面
８２０ モジュール選択部
８５０ 出力フォーマット設定領域（フォーマット画面領域）
８６０ 詳細設定領域

Claims (10)

1. 欠陥画像を取得する装置のレビュー結果を報告するレビューレポートのレポートフォーマット設定方法であって、
   レポート出力におけるレビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとレポート出力する媒体を表す出力フォーマット設定領域とを有する編集画面を生成する編集画面生成ステップ、
   ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で移動配置させるアイコン制御ステップ、
   前記出力フォーマット設定領域に配置されたアイコンの当該出力フォーマット設定領域上における所在に対応する前記媒体上の位置に、当該アイコンが表すレビュー結果の構成要素を配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集するフォーマット作成編集ステップ、を有し、
   前記フォーマット作成編集ステップでは、前記レビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとして、欠陥マップを表すアイコンと当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果を表すアイコンとが前記出力フォーマット設定領域上に配置された場合に、前記欠陥マップ上の欠陥位置と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応関係を表す表示指示を含むレポート出力フォーマットの作成又は編集が実行され、前記表示指示は、前記欠陥マップ上の欠陥と前記欠陥マップ上の欠陥それぞれのレビュー結果とを接続する引出線である
   ことを特徴とするレポートフォーマット設定方法。
2. 欠陥画像を取得する装置のレビュー結果を報告するレビューレポートのレポートフォーマット設定方法であって、
   レポート出力におけるレビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとレポート出力する媒体を表す出力フォーマット設定領域とを有する編集画面を生成する編集画面生成ステップ、
   ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で移動配置させるアイコン制御ステップ、
   前記出力フォーマット設定領域に配置されたアイコンの当該出力フォーマット設定領域上における所在に対応する前記媒体上の位置に、当該アイコンが表すレビュー結果の構成要素を配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集するフォーマット作成編集ステップ、を有し、
   前記フォーマット作成編集ステップでは、前記レビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとして、欠陥マップを表すアイコンと当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果を表すアイコンとが前記出力フォーマット設定領域上に配置された場合に、前記欠陥マップ上の欠陥位置と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応関係を表す表示指示を含むレポート出力フォーマットの作成又は編集が実行され、前記表示指示は、前記欠陥マップ上の欠陥と前記欠陥マップ上の欠陥それぞれのレビュー結果との対応毎に色分け表示される
   ことを特徴とするレポートフォーマット設定方法。
3. 請求項１又は２に記載のレポートフォーマット設定方法であって、
   前記アイコン制御ステップでは、ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で拡縮させ、
   前記フォーマット作成編集ステップでは、前記アイコンが表すレビュー結果の構成要素を、当該アイコンに対応したサイズで配置することを指示するレポート出力フォーマットの作成又は編集が実行される
   ことを特徴とするレポートフォーマット設定方法。
4. 請求項３に記載のレポートフォーマット設定方法であって、
   前記アイコン制御ステップには、前記アイコンを前記編集画面上で移動配置及び拡縮させた際に、前記媒体上の対応する位置及び前記媒体上におけるサイズを前記編集画面上に表示する表示ステップ
   を含むことを特徴とするレポートフォーマット設定方法。
5. 請求項１又は２に記載のレポートフォーマット設定方法であって、
   前記フォーマット作成編集ステップによって作成又は編集されたレポート出力フォーマットを、編集可能なテンプレートとして記憶手段に保存する保存ステップをさらに有する
   ことを特徴とするレポートフォーマット設定方法。
6. 請求項１又は２に記載のレポートフォーマット設定方法であって、
   前記編集画面生成ステップは、レポート出力する媒体の大きさ又は向きの設定に応じて、前記編集画面に生成する前記出力フォーマット設定領域の大きさを調整する調整ステップを有する
   ことを特徴とするレポートフォーマット設定方法。
7. 欠陥画像を取得する装置のレビュー結果を報告するレビューレポートのレポートフォーマット設定装置であって、
   レポート出力におけるレビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとレポート出力する媒体を表す出力フォーマット設定領域とを有する編集画面を生成する編集画面生成手段と、
   ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で移動配置させるアイコン制御手段と、
   前記出力フォーマット設定領域に配置されたアイコンの当該出力フォーマット設定領域上における所在に対応する前記媒体上の位置に、当該アイコンが表すレビュー結果の構成要素を配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集するフォーマット作成編集手段とを備え、
   前記フォーマット作成編集手段は、前記レビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとして、欠陥マップを表すアイコンと当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果を表すアイコンとが前記出力フォーマット設定領域上に配置された場合に、前記欠陥マップ上の欠陥位置と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応関係を表す表示指示を含むレポート出力フォーマットを作成又は編集し、前記対応関係は、前記欠陥マップ上の欠陥と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果とを接続する引出線、又は前記欠陥マップ上の欠陥と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応毎にされた色分け表示によって示される
   ことを特徴とするレポートフォーマット設定装置。
8. 試料の欠陥部分に注目して画像を取得する欠陥レビュー装置のレビュー結果をレポート処理する欠陥レビューシステムであって、
   レポート出力におけるレビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとレポート出力する媒体を表す出力フォーマット設定領域とを有する編集画面を生成する編集画面生成手段と、
   ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で移動配置させるアイコン制御手段と、
   前記出力フォーマット設定領域に配置されたアイコンの当該出力フォーマット設定領域上における所在に対応する前記媒体上の位置に、当該アイコンが表すレビュー結果の構成要素を配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集するフォーマット作成編集手段とを備え、
   前記フォーマット作成編集手段は、前記レビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとして、欠陥マップを表すアイコンと当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果を表すアイコンとが前記出力フォーマット設定領域上に配置された場合に、前記欠陥マップ上の欠陥位置と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応関係を表す表示指示を含むレポート出力フォーマットを作成又は編集し、前記対応関係は、前記欠陥マップ上の欠陥と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果とを接続する引出線、又は前記欠陥マップ上の欠陥と当該欠陥マップ上の欠陥のレビュー結果との対応毎にされた色分け表示によって示される
   ことを特徴とする欠陥レビューシステム。
9. 請求項７に記載のレポートフォーマット設定装置であって、
   前記アイコン制御手段は、ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で拡縮し、
   前記フォーマット作成編集手段は、前記アイコンが表すレビュー結果の構成要素を、当該アイコンに対応したサイズで配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集する
   ことを特徴とするレポートフォーマット設定装置。
10. 請求項８に記載の欠陥レビューシステムであって、
    前記アイコン制御手段は、ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で拡縮し、
    前記フォーマット作成編集手段は、前記アイコンが表すレビュー結果の構成要素を、当該アイコンに対応したサイズで配置することを指示するレポート出力フォーマットを作成又は編集する
    ことを特徴とする欠陥レビューシステム。

Images