JP5647761B2 - テンプレート作成方法及び画像処理装置 - Google Patents
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Description
102 第1陽極
103 第2陽極
104 一次電子線
105 集束レンズ
106 対物レンズ
107 ウェーハ(試料)
108 偏向コイル
109 偏向制御装置
110 二次電子
111 二次電子検出器
112 増幅器
113 CRT
Claims (3)
- 設計データに基づいて、画像取得装置にて用いられる画像認識用のテンプレートを作成するテンプレート作成方法において、
当該テンプレートによって特定される領域の材料情報、測定時におけるパターンの存在する層の位置情報、及びパターンの大きさ情報の3つの情報の選択に基づいて、当該3つの情報と輝度の関係記憶したテーブルの参照に基づく輝度の選択、或いは前記3つの情報に割り当てられたパラメータを用いた輝度の算出を実行し、当該選択或いは算出された輝度情報を、前記テンプレート内の各位置に設定することによって、画像認識用のテンプレートを作成すると共に、前記選択されたパターンの大きさが大きい程、高輝度となるように、前記テンプレートを作成することを特徴とするテンプレート作成方法。 - 請求項1において、
前記画像取得装置は、光学顕微鏡であることを特徴とするテンプレート作成方法。 - 半導体素子の設計データを記憶する記憶媒体と、
当該記憶媒体に記憶された前記設計データの一部を用いて、画像認識用のテンプレートを作成する演算装置を備えた画像処理装置において、
前記演算装置は、前記テンプレートによって特定される領域の材料情報、測定時におけるパターンの存在する層の位置情報、及びパターンの大きさ情報の3つの情報の選択に基づいて、当該3つの情報と輝度の関係記憶したテーブルの参照に基づく輝度の選択、或いは前記3つの情報に割り当てられたパラメータを用いた輝度の算出を実行し、当該選択或いは算出された輝度情報を、前記テンプレート内の各位置に設定することによって、画像認識用のテンプレートを作成すると共に、前記選択されたパターンの大きさが大きい程、高輝度となるように、前記テンプレートを作成することを特徴とする画像処理装置。
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