JP4262269B2 - パターンマッチング方法及び装置 - Google Patents
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- 設計データと走査型電子顕微鏡にて取得される画像との間でパターンマッチングを行うパターンマッチング方法において、
前記設計データをビットマップに変換して、当該ビットマップ化された設計データと、前記走査型電子顕微鏡によって取得された画像との間で、エッジ強調が行われ、前記エッジ強調が行われたビットマップ及び走査型電子顕微鏡によって取得された画像に、さらに、平滑化処理が施された後に、画像相関に基づくパターンマッチングを行うことを特徴とするパターンマッチング方法。 - 設計データと走査型電子顕微鏡にて取得される画像との間でパターンマッチングを行うパターンマッチング装置において、
前記設計データをビットマップに変換する変換手段と、
前記ビットマップ化された設計データ及び前記走査型電子顕微鏡によって取得された画像についてエッジ強調処理を行うエッジ強調処理手段と、
前記エッジ強調が行われたビットマップ及び前記エッジ強調された走査型電子顕微鏡によって取得された画像に、平滑化処理を施す平滑化処理手段と、
前記平滑化処理が施されたビットマップと、前記平滑化処理された走査型電子顕微鏡によって取得された画像との間で、画像相関に基づくパターンマッチングを行うパターンマッチング処理手段と、
を備えることを特徴とするパターンマッチング装置。
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